JP5194464B2 - 分光器 - Google Patents

分光器 Download PDF

Info

Publication number
JP5194464B2
JP5194464B2 JP2007020919A JP2007020919A JP5194464B2 JP 5194464 B2 JP5194464 B2 JP 5194464B2 JP 2007020919 A JP2007020919 A JP 2007020919A JP 2007020919 A JP2007020919 A JP 2007020919A JP 5194464 B2 JP5194464 B2 JP 5194464B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
spectroscope
optical trap
optical
slit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007020919A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008185525A (ja
Inventor
智光 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2007020919A priority Critical patent/JP5194464B2/ja
Publication of JP2008185525A publication Critical patent/JP2008185525A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5194464B2 publication Critical patent/JP5194464B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

本発明は、分光光度計などの光学装置に幅広く利用される分光器に関し、さらに詳しくは、分光器における迷光の低減技術に関する。
特定の波長を有する単色光を取り出すための分光器は、分光光度計などの光学装置に広く利用されている。図3は一般的な分光器の概略構成図である。
光源2から出射した様々な波長成分を含む光は入射光学系3を介して分光器1の入射ポート11に集光され、入口スリット12を通して分光器1の内部に取り込まれる。この光は反射鏡(コリメート鏡)13で反射されて、凹面回折格子(波長分散素子)14の格子面に収束される。凹面回折格子14で波長分散された光(回折光)は反射鏡(フォーカス鏡)15で反射されて出口スリット16に集光され、特定の波長を有する回折光が出口スリット16を通過して出射ポート17から出射される。
こうした分光器1では、凹面回折格子14の回折式で規定された以外の不所望の波長の光、つまり迷光の出射をできるだけ抑えることが望ましい。このため、従来より、様々な方法によって迷光の低減が図られている。例えば、分光器の内部に設けられている反射鏡のエッジに当たった光が不所望の方向に反射して迷光となる場合がある。そこで、反射鏡のエッジに黒い遮光帯を設けることで不所望な方向への反射光を減らして迷光を低減することが行われている。また、分光器の内部において、例えば0次光など比較的大きな光量の不所望の光が当たる個所に光吸収率の高い物質を貼り付けた光トラップ板を設置することで迷光を低減することも行われている(例えば特許文献1など参照)。
ところで、こうした分光器を利用した光学装置では、その測定の目的などに応じて分光器から取り出したい回折光の絞り(F値)を変えたい場合がある。例えば上記のような構成の分光器1では、入射光学系3のレンズなどを変えることにより、入射ポート11から分光器1内に取り込む光の絞りを変え、それに伴って出射ポート17から出射する回折光の絞りも変えることが可能である。もちろん、分光器1としての明るさ(つまりF値)の可変範囲は内部の光学素子の大きさや光路構成などによって異なる。
分析感度を高くしたい場合には、一般に回折光の絞りを緩め(F値を小さくし)光量を増加させることが好ましい。一方、分解能を上げるためには、一般に回折光を絞り込むことが行われる。しかしながら、入射光を絞ることにより回折光を絞り込んだ場合、迷光の量が同じであっても相対的に迷光の影響が大きくなり回折光のS/Nが下がることになる。したがって、本来は、取り出される回折光の絞りに応じて迷光の除去構造を変更することが望ましいが、こうした分光器は従来存在しなかった。
特開平2−254327号公報
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、回折光の絞り(明るさ)に応じて迷光をより効果的に低減することで分析精度を向上させることができる分光器を提供することである。
上記課題を解決するために成された本発明は、入口スリット、波長分散素子、出口スリットを具備し、入口スリットを通して入射される光の絞りを変えることにより出口スリットから出射する回折光の絞りを変えることが可能な分光器において、
前記出口スリットの直前の光路上に、光束の外縁外側から光軸方向に突出する突片を有する迷光遮蔽用の光トラップを備え、該光トラップの突片の突出長さが前記入口スリットを通して入射される光の絞りに応じて変更可能な構造であることを特徴としている。
また本発明の具体的な一態様である分光器にあって、前記光トラップは分光器本体に着脱可能であって、前記入口スリットを通して入射される光の絞りに応じて前記突片の突出長さが相違する光トラップに交換する構造とすることができる。
例えば分解能を上げるために回折光を暗くして、つまりは絞られた光を出口スリットから出射させる場合には、光トラップを通過する光の光束も小さくなるため、光軸方向への突出長さが大きな突片を有する光トラップを用いても回折光は遮られない。一方で、突片の突出長さを大きくすれば、出口スリットを通過し得る光の入射角度範囲が狭くなって迷光はそれだけ通過しにくくなり、迷光の除去性能が向上する。即ち、所望の回折光を遮ることなく、迷光の除去効果を上げることができる。
これに対し、例えば感度を上げるために回折光を明るくして、つまりは絞りが緩い回折光を出口スリットから出射させる場合には、光軸方向への突出長さが小さな突片を有する光トラップを用いることで、光トラップを通過する光束の大きな回折光が遮られることなく得られる。また、光トラップのない構造に比べれば、迷光除去の効果が得られS/Nも良好である。
このようにして本発明に係る分光器によれば、分光器の出口スリットから取り出される回折光の明るさ(F値)に応じて、回折光を遮ることなく迷光の低減効果を高めることが可能となる。
本発明の一実施例による分光器について図面を参照して説明する。本実施例による分光器1の基本的な構成は上述した図3と同じであるが、出口スリット16の直前の光路上、具体的には図3において点線Aで示す位置に、迷光を遮断するための光トラップ部材20を装着する。
図1はこの光トラップ部材20の構造と原理を示す概略断面図である。光トラップ部材20は、出口スリット16に向かって収束される光束の光軸Cに向かってその外周から突出する突片21を光軸Cの方向に複数(この例では3)有している。隣接する突片21の間は光軸Cに直交する方向に窪んだ凹部22になっている。突片21はそれ自体が光吸収率の高い材料から成るか、或いはその表面に光吸収率の高い部材が貼り付けられており、図1中に示すように、異なる方向から入射して来た迷光Lbは突片21に当たって反射を繰り返して凹部22の奥に進む間に吸収される。したがって、こうした迷光が出口スリット16を通り抜けてしまうことは回避される。
分光器1へ絞り込みの小さな(F値の小さな)光が入射された場合には、例えば図1中で「明るい(F値小)」として示すように相対的に大きな入射角度で以て出口スリット16に回折光が集光する。この場合、この回折光を遮らないようにするために、光トラップ部材20の突片21の突出長さを相対的に小さくしておく必要がある。
一方、分光器1へ絞り込みの大きな(F値の大きな)光が入射された場合、例えば図1中で「暗い(F値大)」として示すように相対的に小さな入射角度で以て出口スリット16に回折光が集光する。この場合、上記のように突片21の突出長さが小さいと、回折光の光束の外縁と突片21の内側端との間の隙間が大きくなり、例えば迷光Laの矢印で示すように回折光の光束の外縁外側に位置する迷光が出口スリット16を通り抜けてしまう。そこで、このように回折光の入射角度が小さい場合には、図1中に点線で示すように突出長さの大きな突片21を有する光トラップ部材20を用いる。これにより、迷光Laを除去しながら、回折光は遮ることなく通過させることができる。
図2は光トラップ部材20の装着構造を示す断面図である。分光器1の出射ポート17側のハウジング壁面31の外側には位置決めピン32が立設されており、光トラップ部材20に穿設された孔に位置決めピン32を挿入することで光トラップ部材20の位置が決まる。さらに、出口スリット16を内側に備えるスリット部材33に穿設された孔に位置決めピン32を挿入することでスリット部材33の位置も決まる。
光トラップ部材20としては、例えば、光束の絞りに応じて、F値:3、F値:4、F値:8、F値:16用などの突片21の突出長さの相違する複数のものを用意しておき、ユーザーがそのときの分光器1の仕様に応じて光トラップ部材20を適宜交換する。図2(a)は出射光束のF値が小さい場合、図2(b)は出射光束のF値が大きい場合の例であり、光トラップ部材20のみを交換することで回折光を遮ることなく迷光を極力減らすことができる。
なお、上記実施例では、光トラップ部材20自体を交換することで突片21の突出長さを変えるようにしたが、例えば突片21をスライド移動可能な構造としておき、そのスライドによってユーザーが突出長さを変更可能としてもよい。
また、上記実施例は本発明の一例であるから、本発明の趣旨の範囲で変形、修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含される。
本発明の一実施例による分光器における光トラップ部材の構造と原理を示す概略断面図。 本実施例の分光器における光トラップ部材の装着構造を示す断面図。 分光器の概略構成図。
符号の説明
1…分光器
11…入射ポート
12…入口スリット
13…反射鏡(コリメート鏡)
14…凹面回折格子
15…反射鏡(フォーカス鏡)
16…出口スリット
17…出射ポート
20…光トラップ部材
21…突片
22…凹部
2…光源
3…入射光学系
31…ハウジング壁面
32…位置決めピン
33…スリット部材

Claims (2)

  1. 入口スリット、波長分散素子、出口スリットを具備し、入口スリットを通して入射される光の絞りを変えることにより出口スリットから出射する回折光の絞りを変えることが可能な分光器において、
    前記出口スリットの直前の光路上に、光束の外縁外側から光軸方向に突出する突片を有する迷光遮蔽用の光トラップを備え、該光トラップの突片の突出長さが前記入口スリットを通して入射される光の絞りに応じて変更可能な構造であることを特徴とする分光器。
  2. 前記光トラップは分光器本体に着脱可能であって、前記入口スリットを通して入射される光の絞りに応じて前記突片の突出長さが相違する光トラップに交換する構造であることを特徴とする請求項1に記載の分光器。
JP2007020919A 2007-01-31 2007-01-31 分光器 Active JP5194464B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007020919A JP5194464B2 (ja) 2007-01-31 2007-01-31 分光器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007020919A JP5194464B2 (ja) 2007-01-31 2007-01-31 分光器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008185525A JP2008185525A (ja) 2008-08-14
JP5194464B2 true JP5194464B2 (ja) 2013-05-08

Family

ID=39728672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007020919A Active JP5194464B2 (ja) 2007-01-31 2007-01-31 分光器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5194464B2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8717561B2 (en) 2010-04-19 2014-05-06 Oto Photonics, Inc. Miniature spectrometer with stray light filtering structure
CN103759826B (zh) * 2010-04-19 2017-08-18 台湾超微光学股份有限公司 具有杂散光滤除构造的微型光谱仪
KR101139776B1 (ko) * 2011-12-09 2012-04-26 국방과학연구소 입자계수기용 또는 형광검출장비용 빔 덤퍼
CN104457984A (zh) * 2014-12-30 2015-03-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种低杂散光小型单色仪
JP6743500B2 (ja) * 2016-06-14 2020-08-19 株式会社島津製作所 分光器及びこれに用いられる入射光制限部材
JP6686754B2 (ja) * 2016-07-14 2020-04-22 株式会社島津製作所 分光器
EP3683571B1 (en) * 2017-10-19 2023-06-28 Otsuka Pharmaceutical Co., Ltd. Diffracted light removal slit and optical sample detection system using same
US10641656B1 (en) 2018-12-20 2020-05-05 Shimadzu Corporation Spectrometer and incident light limiting member to be used for the same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5942670Y2 (ja) * 1976-06-16 1984-12-14 株式会社日立製作所 分光器
JPH05215604A (ja) * 1992-02-03 1993-08-24 Shimadzu Corp 分光分析装置
JP3250426B2 (ja) * 1995-09-27 2002-01-28 安藤電気株式会社 光スペクトラム測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008185525A (ja) 2008-08-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5194464B2 (ja) 分光器
TWI429887B (zh) 能消除拖尾效應之光譜儀
US20090091753A1 (en) Three mirror anastigmat spectrograph
JP6380662B2 (ja) フーリエ変換型分光光度計
JP2011013167A (ja) 分光蛍光光度計及び試料セル
JP3250426B2 (ja) 光スペクトラム測定装置
US11385101B2 (en) High resolution and high throughput spectrometer
JP2017223494A (ja) 分光器及びこれに用いられる入射光制限部材
TWI468653B (zh) 能接收零階光譜分量及一階光譜分量之微型光譜儀
JP6167985B2 (ja) 分光センサ
CN100408989C (zh) 一种降低光谱仪器中杂散光的装置
US8717561B2 (en) Miniature spectrometer with stray light filtering structure
KR102185944B1 (ko) 집적화된 프리즘 분광기
TWI437215B (zh) 具有雜散光濾除構造之微型光譜儀
TWI522608B (zh) 光罩用穿透率測定裝置及穿透率測定方法
JP2016130732A (ja) 光学装置
JP6335433B2 (ja) Icp発光分光分析装置
CN111579069B (zh) 光谱自校准光栅以及光谱仪
JP6597428B2 (ja) 分光器及びこれに用いられる0次光減衰機構
JP2001264166A (ja) 測光装置
KR102491141B1 (ko) 어퍼처리스 분광기
JP5900248B2 (ja) 分光光度計
JP4009818B2 (ja) 分光器及びそれを用いた光スペクトラムアナライザ
US11307091B2 (en) Apertureless spectrometer
JP2018009885A (ja) 分光器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090511

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110606

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110823

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111021

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20111021

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120508

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130108

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130121

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5194464

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215

Year of fee payment: 3