JP5187906B2 - 異種材料接合体及び異種材料接合方法 - Google Patents
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Description
まず、異種材料が高温接合時において無歪で接合された場合、室温において発生する応力分布について有限要素法解析を用いたシミュレーションを行った。
実際の応用である、光アイソレータの製造過程における接合を考え、表面が均一な基板9を用いて異種材料(磁気光学材料)8を接合した場合(図10参照)と、表面に分割島状接合部11、11Aを配置して成る基板10、10Aにそれぞれ異種材料8を接合した場合(図11(a)、(b)参照)との比較をした。
上記実施例2の接合実験を応用した例として、シリコン光回路上における、半導体レーザ集積回路の製造を、図面を用いて概略説明する。
2,5,8 異種材料
3,7,11,11A 分割島状接合部
4 離間部
12,12A 導波路
13 シリコン光回路
14 シリコン基板
15 ボックス層
16 シリコン導波路
18,100 InP基板
19 GaInAsP
101 導波層
102 磁気光学材料
Claims (8)
- 半導体材料から成る基板と、前記基板と材質の異なる異種材料とを接合して成る異種材料接合体であって、前記基板又は前記異種材料の表面上に、離間部を有して複数の分割島状接合部が配置され、前記異種材料が磁気光学材料であることを特徴とする異種材料接合体。
- 前記分割島状接合部の断面形状が矩形又は円形である請求項1に記載の異種材料接合体。
- 前記分割島状接合部の幅が1〜200μmである請求項1又は2に記載の異種材料接合体。
- 前記離間部の幅が前記分割島状接合部の幅に対して5〜60%である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異種材料接合体。
- 前記分割島状接合部の高さが10〜200nmである請求項1乃至4のいずれか1項に記載の異種材料接合体。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の異種材料接合体からなる光アイソレータ。
- 半導体材料から成る基板と、前記基板と材質の異なる異種材料とを接合する異種材料接合方法であって、前記基板又は前記異種材料の表面上に、離間部を有して複数の接合部が配置されることにより、前記基板と、前記異種材料とが接合され、前記異種材料が磁気光学材料であることを特徴とする異種材料接合方法。
- 前記接合部の断面形状が矩形又は円形である請求項7に記載の異種材料接合方法。
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