JP5183566B2 - 回転位置検出装置およびレーザ加工機 - Google Patents

回転位置検出装置およびレーザ加工機 Download PDF

Info

Publication number
JP5183566B2
JP5183566B2 JP2009118637A JP2009118637A JP5183566B2 JP 5183566 B2 JP5183566 B2 JP 5183566B2 JP 2009118637 A JP2009118637 A JP 2009118637A JP 2009118637 A JP2009118637 A JP 2009118637A JP 5183566 B2 JP5183566 B2 JP 5183566B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dog
sensor
detected
rotating body
origin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009118637A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010266362A (ja
Inventor
了太郎 長井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2009118637A priority Critical patent/JP5183566B2/ja
Priority to TW099109036A priority patent/TW201043387A/zh
Priority to CN201010175598XA priority patent/CN101885110B/zh
Publication of JP2010266362A publication Critical patent/JP2010266362A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5183566B2 publication Critical patent/JP5183566B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は回転位置検出装置およびレーザ加工機に関し、特に、オーバートラベルが発生する回転軸の回転位置を検出する方法に関する。
360°以上の回転ストロークを有する回転軸では、回転軸が360°だけ回転すると、元の位置に戻ってくるため、ドグの有無による原点センサのオンまたはオフを判別するだけでは、回転軸が何回転したのか判別することができない。このため、ボールネジなどを介して回転軸の回転運動を直動運動に変換し、その直動運動による近接センサのオンまたはオフを判別することで、回転軸が何回転したのか判別する方法がある。
また、特許文献1には、ドグとドグの有無を検知するためのセンサの状態により回転軸をCWまたはCCW方向に回転させ、ドグとセンサの位置関係が同一になる場合に、回転軸をCCW方向に回転させ、駆動源に取付けられたエンコーダのパルス数が制御上異なることを利用することで、回転軸の回転動作範囲が360°以上の場合でも、全ての回転角度位置において原点の検出ができるようにした技術が開示されている。
特開平8−313298号公報
しかしながら、回転運動を直動運動に変換する方法では、ボールネジや平歯車などの直動変換部品が必要になる。このため、コストアップを招いたり、組立調整に手間がかかるようになったりするとともに、直動変換部品の劣化破損などに起因して故障が発生しやすくなるという問題があった。
また、特許文献1に開示された方法では、駆動源に取付けられたエンコーダのパルス数をカウントする必要があり、エンコーダやカウンタや比較器などの部品が別途必要になるという問題があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、回転運動を直動運動に変換することなく、ドグの有無を検知するためのセンサからの信号のみを用いることで、360°以上の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出することが可能な回転位置検出装置およびレーザ加工機を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の回転位置検出装置は、回転軸に同期して回転する第1の回転体と、前記第1の回転体の回転に伴って前記第1の回転体の回転周期の非整数倍で回転し、前記第1の回転体よりも回転周期の小さな第2の回転体と、前記第1の回転体に設けられた第1のドグと、前記第2の回転体に設けられた第2のドグと、前記第1の回転体が原点位置から360°だけ回転するごとに前記第1のドグを検知する原点センサと、前記第1の回転体が前記原点位置から+360N°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第2のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、前記第1の回転体が前記原点位置から−360N°だけ回転した時に前記第2のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第2のドグが検知されない時に前記第1の回転体が原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第2のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知された時に前記第1の回転体が+360N°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第2のドグが検知された時に前記第1の回転体が−360N°だけ回転したと判別する回転位置判別部とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、回転運動を直動運動に変換することなく、ドグの有無を検知するためのセンサからの信号のみを用いることで、360°以上の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出することが可能という効果を奏する。
図1は、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態1が適用されるレーザ加工機の概略構成を示す斜視図である。 図2は、図1のレーザ加工機の概略構成を示すブロック図である。 図3−1は、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態1が適用される加工ヘッドの概略構成を示す断面図である。 図3−2は、図3−1のE1方向から見た加工ヘッドの概略構成を示す矢視図である。 図4は、図3−2のOT+センサ16a、OT−センサ16bおよび原点センサ16cにてそれぞれ検出されるドグ20a、20b、20cの検知位置を示す図である。 図5−1は、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態2が適用される加工ヘッドの概略構成を示す断面図である。 図5−2は、図5−1のE2方向から見た加工ヘッドの概略構成を示す矢視図である。 図6は、図5−2のOT+センサ26a、OT−センサ26bおよび原点センサ26cにてそれぞれ検出されるドグ30a、30b、30c、30dの検知位置を示す図である。 図7−1は、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態3が適用される加工ヘッドの概略構成を示す断面図である。 図7−2は、図7−1のE3方向から見た加工ヘッドの概略構成を示す矢視図である。 図8は、図7−2のOT+センサ36a、OT−センサ36bおよび原点センサ36cにてそれぞれ検出されるドグ40a、40cの検知位置を示す図である。
以下に、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態1が適用されるレーザ加工機の概略構成を示す斜視図、図2は、図1のレーザ加工機の概略構成を示すブロック図である。図1および図2において、レーザ加工機には、加工ヘッド13を支持する加工機本体11、NC制御を行うNC制御部12、レーザ発振器15にて生成されたレーザ光を加工対象物Kに出射する加工ヘッド13、加工ヘッド13をW方向に回転させる駆動力を発生するサーボモータ14およびレーザ光を発生するレーザ発振器15が設けられている。
ここで、加工機本体11には、加工対象物Kを設置するテーブル10が設けられ、テーブル10はX方向に移動できるように支持されている。また、加工ヘッド13は、YZ方向に移動できるように加工機本体11にて支持されるとともに、UW方向に回転できるように構成されている。
また、レーザ加工機には、加工ヘッド13の原点位置を検知する原点センサ16c、加工ヘッド13が+360°だけ回転した位置を検知するOT+センサ16a、加工ヘッド13が−360°だけ回転した位置を検知するOT−センサ16bが設けられている。
また、NC制御部12には、原点センサ16c、OT+センサ16aおよびOT−センサ16bからの信号に基づいて、加工ヘッド13の回転位置を判別する回転位置判別部12aおよび回転位置判別部12aによる判別結果に基づいて、サーボモータ14の駆動制御を行うモータ駆動制御部12bが設けられている。
図3−1は、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態1が適用される加工ヘッドの概略構成を示す断面図、図3−2は、図3−1のE1方向から見た加工ヘッドの概略構成を示す矢視図である。図3−1および図3−2において、サーボモータ14駆動軸には、減速器18を介して小プーリ17aが連結され、加工ヘッド13の回転軸には、大プーリ17bが連結されている。なお、小プーリ17aの回転周期は、大プーリ17bの回転周期よりも小さくすることができ。また、小プーリ17aおよび大プーリ17bは、小プーリ17aが大プーリ17bの回転周期の非整数倍で回転するように構成することができる。
そして、小プーリ17aおよび大プーリ17bには、小プーリ17aの回転力を大プーリ17bに伝達するベルト19が架け渡されている。
また、小プーリ17aには、ドグ20a、20bが設けられるとともに、大プーリ17bには、ドグ20cが設けられている。
そして、原点センサ16cは、大プーリ17bが原点位置から360°だけ回転するごとにドグ20cが検知されるように配置されている。また、OT+センサ16aは、大プーリ17bが原点位置から+360°だけ回転した時にドグ20bが検知されないようにしてドグ20aが検知されるように配置されている。また、OT−センサ16bは、大プーリ17bが原点位置から−360°だけ回転した時にドグ20aが検知されないようにしてドグ20bが検知されるように配置されている。
そして、図2のNC制御部12にてサーボモータ14が駆動されると、サーボモータ14の回転が減速器18にて減速されながら、小プーリ17aに伝えられる。そして、小プーリ17aが回転すると、その回転力がベルト19を介して大プーリ17bに伝えられ、大プーリ17bの回転に伴って加工ヘッド13が回転される。
一方、レーザ発振器15にて発生されたレーザ光は、加工機本体11を介して加工ヘッド13に導かれ、加工ヘッド13の位置が制御されながら加工対象物Kに出射される。
そして、サーボモータ14の駆動力により大プーリ17bが回転すると、大プーリ17bが原点位置から360°だけ回転するごとにドグ20cが原点センサ16cにて検知され、その検知信号が回転位置判別部12aに送られる。
また、大プーリ17bの回転に伴って小プーリ17aが右回りに回転し、大プーリ17bが原点位置から+360°だけ回転した時にドグ20aがOT+センサ16aにて検知され、その検知信号が回転位置判別部12aに送られる。
また、大プーリ17bの回転に伴って小プーリ17aが左回りに回転し、大プーリ17bが原点位置から−360°だけ回転した時にドグ20bがOT−センサ16bにて検知され、その検知信号が回転位置判別部12aに送られる。
そして、回転位置判別部12aにおいて、原点センサ16cにてドグ20cが検知されるとともに、OT+センサ16aおよびOT−センサ16bにてドグ20a、20bがそれぞれ検知されない時に加工ヘッド13が原点位置にあると判別され、その判別結果がモータ駆動制御部12bに送られる。
また、回転位置判別部12aにおいて、原点センサ16cにてドグ20cが検知されるとともに、OT−センサ16bにてドグ20bが検知されることなく、OT+センサ16aにてドグ20aが検知された時に加工ヘッド13が+360°だけ回転したと判別され、その判別結果がモータ駆動制御部12bに送られる。
さらに、回転位置判別部12aにおいて、原点センサ16cにてドグ20cが検知されるとともに、OT+センサ16aにてドグ20aが検知されることなく、OT−センサ16bにてドグ20bが検知された時に加工ヘッド13が−360°だけ回転したと判別され、その判別結果がモータ駆動制御部12bに送られる。
そして、加工ヘッド13の回転軸のストロークが720°に設定されている場合、回転位置判別部12aにおいて、加工ヘッド13が原点位置から±360°だけ回転したと判別された場合、モータ駆動制御部12bは、サーボモータ14の回転を停止させ、加工ヘッド13のオーバートラベルを防止する。
図4は、図3−2のOT+センサ16a、OT−センサ16bおよび原点センサ16cにてそれぞれ検出されるドグ20a、20b、20cの検知位置を示す図である。なお、図4では、小プーリ17aおよび大プーリ17bが回転した時に、ドグ20aの位置をAで表し、ドグ20bの位置をBで表し、ドグ20cの位置をCで表した。
図4において、大プーリ17bが原点位置にある時、原点位置から+360°だけ回転した位置にある時および原点位置から−360°だけ回転した位置にある時にドグ20cが検知されるように原点センサ16cが配置されている。
また、大プーリ17bが原点位置から+360°だけ回転した時に、ドグ20bが検知されることなく、ドグ20aが検知されるようにOT+センサ16aが配置されている。さらに、大プーリ17bが原点位置から−360°だけ回転した時に、ドグ20aが検知されることなく、ドグ20bが検知されるようにOT−センサ16bが配置されている。
ここで、大プーリ17bの回転周期の非整数倍で小プーリ17aが回転するように構成したので、大プーリ17bが原点位置から+360°だけ回転した時にOT+センサ16aにてドグ20aが検知されるように配置することにより、大プーリ17bが原点位置にある時と、大プーリ17bが原点位置から−360°だけ回転した位置にある時に、OT+センサ16aにてドグ20aが検知されることはない。
また、大プーリ17bが原点位置から−360°だけ回転した時にOT−センサ16bにてドグ20bが検知されるように配置することにより、大プーリ17bが原点位置にある時と、大プーリ17bが原点位置から+360°だけ回転した位置にある時に、OT−センサ16bにてドグ20bが検知されることはない。
このため、原点センサ16cにてドグ20cが検知されるとともに、OT+センサ16aおよびOT−センサ16bにてドグ20a、20bがそれぞれ検知されない時に加工ヘッド13が原点位置にあると判別させることができる。
また、原点センサ16cにてドグ20cが検知されるとともに、OT−センサ16bにてドグ20bが検知されることなく、OT+センサ16aにてドグ20aが検知された時に加工ヘッド13が+360°だけ回転したと判別させることができる。
さらに、原点センサ16cにてドグ20cが検知されるとともに、OT+センサ16aにてドグ20aが検知されることなく、OT−センサ16bにてドグ20bが検知された時に加工ヘッド13が−360°だけ回転したと判別させることができる。
これにより、ドグ20a〜20cの有無をそれぞれ検知するためのOT+センサ16a、OT−センサ16bおよび原点センサ16cからの信号のみを用いることで、720°の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出することが可能となる。このため、720°の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出するために、回転運動を直動運動に変換したり、エンコーダやカウンタや比較器などの部品を別途用意したりする必要がなくなり、コストアップを抑制するとともに、組立調整にかかる手間を軽減することができる。
なお、上述した実施の形態1では、サーボモータ14による駆動力を加工ヘッド13側に伝達するために、小プーリ17a、大プーリ17bおよびベルト19を用いる方法について説明したが、歯車などを用いることで、サーボモータ14による駆動力を加工ヘッド13側に伝達するようにしてもよい。
また、上述した実施の形態1では、ドグ20cを大プーリ17bに取り付ける方法について説明したが、ドグ20cの取り付け位置は、大プーリ17b以外にも加工ヘッド13の回転に伴って回転する部位ならばどこでもよく、例えば、加工ヘッド13に直接取り付けるようにしてもよい。また、上述した実施の形態1では、ドグ20a、20bを小プーリ17aに取り付ける方法について説明したが、大プーリ17bの回転周期よりも小さく、大プーリ17bの回転周期の非整数倍で回転する部位ならばどこでもよい。
また、上述した実施の形態1では、検出位置の細やかな調整ができるようにするために、2個のドグ20a、ドグ20bを小プーリ17aに設ける方法について説明したが、必ずしも2個のドグ20a、ドグ20bを小プーリ17aに設ける必要はなく、2個のドグ20a、ドグ20bのうちのいずれか1個はなくてもよい。例えば、2個のドグ20a、ドグ20bのうちのドグ20bを除去したものとすると、大プーリ17bが+360°だけ回転した時にドグ20aがOT+センサ16aにて検知されるようにOT+センサ16aを配置し、大プーリ17bが−360°だけ回転した時にドグ20aがOT−センサ16bにて検知されるようにOT−センサ16bを配置することで、原点位置と、+360°だけ回転した位置と、−360°だけ回転した位置とを判別させることができる。
また、上述した実施の形態1では、原点位置と、+360°だけ回転した位置と、−360°だけ回転した位置とを判別する方法について説明したが、原点位置と、+360N°(Nは正の整数)だけ回転した位置と、−360N°だけ回転した位置とを判別する方法に適用するようにしてもよい。
なお、Nが2以上の場合、原点位置と±360°だけ回転した位置とを区別するために、例えば、一旦左回りに回転し、OT−検知がされた後、今度は右回りに360°以上回転し、原点検知を行わせるようにしてもよい。
実施の形態2.
図5−1は、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態2が適用される加工ヘッドの概略構成を示す断面図、図5−2は、図5−1のE2方向から見た加工ヘッドの概略構成を示す矢視図である。図5−1および図5−2において、サーボモータ24による駆動軸には、減速器28を介して小プーリ27aが連結され、加工ヘッドの回転軸には、大プーリ27bが連結されている。なお、小プーリ27aの回転周期は、大プーリ27bの回転周期よりも小さくすることができる。また、小プーリ27aおよび大プーリ27bは、小プーリ27aが大プーリ27bの回転周期の非整数倍で回転するように構成することができる。
そして、小プーリ27aおよび大プーリ27bには、小プーリ27aの回転力を大プーリ27bに伝達するベルト29が架け渡されている。
また、小プーリ27aには、ドグ30a、30bが設けられるとともに、大プーリ27bには、ドグ30c、30dが設けられている。ここで、ドグ30dは、大プーリ27bのドグ30cに対して180°だけずれた位置に取り付けられている。
そして、原点センサ26cは、大プーリ27bが原点位置から180°だけ回転するごとにドグ30c、30dが交互に検知されるように配置されている。また、OT+センサ26aは、大プーリ27bが原点位置から+180°だけ回転した時にドグ30bが検知されないようにしてドグ30aが検知されるように配置されている。また、OT−センサ26bは、大プーリ27bが原点位置から−180°だけ回転した時にドグ30aが検知されないようにしてドグ30bが検知されるように配置されている。
そして、サーボモータ24の駆動力により大プーリ27bが回転すると、大プーリ27bが原点位置から180°だけ回転するごとにドグ30c、30dが原点センサ26cにて交互に検知される。
また、大プーリ27bの回転に伴って小プーリ27aが右回りに回転し、大プーリ27bが原点位置から+180°だけ回転した時にドグ30aがOT+センサ26aにて検知される。
また、大プーリ27bの回転に伴って小プーリ27aが左回りに回転し、大プーリ27bが原点位置から−180°だけ回転した時にドグ30bがOT−センサ26bにて検知される。
そして、原点センサ26cにてドグ30cが検知されるとともに、OT+センサ26aおよびOT−センサ26bにてドグ30a、30bがそれぞれ検知されない時に加工ヘッドが原点位置にあると判別される。
また、原点センサ26cにてドグ30dが検知されるとともに、OT−センサ26bにてドグ30bが検知されることなく、OT+センサ26aにてドグ30aが検知された時に加工ヘッドが+180°だけ回転したと判別される。
さらに、原点センサ26cにてドグ30dが検知されるとともに、OT+センサ26aにてドグ30aが検知されることなく、OT−センサ26bにてドグ30bが検知された時に加工ヘッドが−180°だけ回転したと判別される。
図6は、図5−2のOT+センサ26a、OT−センサ26bおよび原点センサ26cにてそれぞれ検出されるドグ30a、30b、30c、30dの検知位置を示す図である。なお、図6では、小プーリ27aおよび大プーリ27bが回転した時に、ドグ30aの位置をAで表し、ドグ30bの位置をBで表し、ドグ30cの位置をCで表し、ドグ30dの位置をDで表した。
図6において、大プーリ27bが原点位置にある時にドグ30cが検知されるとともに、原点位置から+180°だけ回転した位置にある時および原点位置から−180°だけ回転した位置にある時にドグ30dが検知されるように原点センサ26cが配置されている。
また、大プーリ27bが原点位置から+180°だけ回転した時に、ドグ30bが検知されることなく、ドグ30aが検知されるようにOT+センサ26aが配置されている。さらに、大プーリ27bが原点位置から−180°だけ回転した時に、ドグ30aが検知されることなく、ドグ30bが検知されるようにOT−センサ26bが配置されている。
ここで、大プーリ27bの回転周期の非整数倍で小プーリ27aが回転するように構成したので、大プーリ27bが原点位置から+180°だけ回転した時にOT+センサ26aにてドグ30aが検知されるように配置することにより、大プーリ27bが原点位置にある時と、大プーリ27bが原点位置から−180°だけ回転した位置にある時に、OT+センサ26aにてドグ30aが検知されることはない。
また、大プーリ27bが原点位置から−180°だけ回転した時にOT−センサ26bにてドグ30bが検知されるように配置することにより、大プーリ27bが原点位置にある時と、大プーリ27bが原点位置から+180°だけ回転した位置にある時に、OT−センサ26bにてドグ30bが検知されることはない。
このため、原点センサ26cにてドグ30cが検知されるとともに、OT+センサ26aおよびOT−センサ26bにてドグ30a、30bがそれぞれ検知されない時に加工ヘッドが原点位置にあると判別させることができる。
また、原点センサ26cにてドグ30dが検知されるとともに、OT−センサ26bにてドグ30bが検知されることなく、OT+センサ26aにてドグ30aが検知された時に加工ヘッドが+180°だけ回転したと判別させることができる。
さらに、原点センサ26cにてドグ30dが検知されるとともに、OT+センサ26aにてドグ30aが検知されることなく、OT−センサ26bにてドグ30bが検知された時に加工ヘッドが−180°だけ回転したと判別させることができる。
これにより、ドグ30a〜30dの有無をそれぞれ検知するためのOT+センサ26a、OT−センサ26bおよび原点センサ26cからの信号のみを用いることで、360°の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出することが可能となる。このため、360°の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出するために、回転運動を直動運動に変換したり、エンコーダやカウンタや比較器などの部品を別途用意したりする必要がなくなり、コストアップを抑制するとともに、組立調整にかかる手間を軽減することができる。
なお、上述した実施の形態2では、サーボモータ24による駆動力を加工ヘッド側に伝達するために、小プーリ27a、大プーリ27bおよびベルト29を用いる方法について説明したが、歯車などを用いることで、サーボモータ24による駆動力を加工ヘッド側に伝達するようにしてもよい。
また、上述した実施の形態2では、ドグ30c、30dを大プーリ27bに取り付ける方法について説明したが、ドグ30c、30dの取り付け位置は、大プーリ27b以外にも加工ヘッドの回転に伴って回転する部位ならばどこでもよく、例えば、加工ヘッドに直接取り付けるようにしてもよい。また、上述した実施の形態2では、ドグ30a、30bを小プーリ27aに取り付ける方法について説明したが、大プーリ27bの回転周期よりも小さく、大プーリ27bの回転周期の非整数倍で回転する部位ならばどこに取り付けてもよい。
また、上述した実施の形態2では、検出位置の細やかな調整ができるようにするために、2個のドグ30a、ドグ30bを小プーリ27aに設ける方法について説明したが、必ずしも2個のドグ30a、ドグ30bを小プーリ27aに設ける必要はなく、2個のドグ30a、ドグ30bのうちのいずれか1個はなくてもよい。例えば、2個のドグ30a、ドグ30bのうちのドグ30bを除去したものとすると、大プーリ27bが+180°だけ回転した時にドグ30aがOT+センサ26aにて検知されるようにOT+センサ26aを配置し、大プーリ27bが−180°だけ回転した時にドグ30aがOT−センサ26bにて検知されるようにOT−センサ26bを配置することで、原点位置と、+180°だけ回転した位置と、−180°だけ回転した位置とを判別させることができる。
また、上述した実施の形態2では、原点位置と、+180°だけ回転した位置と、−180°だけ回転した位置とを判別する方法について説明したが、原点位置と、+360(N−1)+180°だけ回転した位置と、−360(N−1)−180°だけ回転した位置とを判別する方法に適用するようにしてもよい。
なお、Nが2以上の場合、原点位置と±180°だけ回転した位置とを区別するために、例えば、一旦左回りに回転し、OT−検知がされた後、今度は右回りに360°以上回転し、原点検知を行わせるようにしてもよい。
実施の形態3.
図7−1は、本発明に係る回転位置検出装置の実施の形態3が適用される加工ヘッドの概略構成を示す断面図、図7−2は、図7−1のE3方向から見た加工ヘッドの概略構成を示す矢視図である。図7−1および図7−2において、サーボモータ34による駆動軸には、減速器38を介して小プーリ37aが連結され、加工ヘッド33の回転軸には、大プーリ37bが連結されている。なお、小プーリ37aの回転周期は、大プーリ37bの回転周期よりも小さくすることができ。また、小プーリ37aおよび大プーリ37bは、小プーリ37aが大プーリ37bの回転周期の非整数倍で回転するように構成することができる。
そして、小プーリ37aおよび大プーリ37bには、小プーリ37aの回転力を大プーリ37bに伝達するベルト39が架け渡されている。
また、小プーリ37aには、ドグ40aが設けられるとともに、大プーリ37bには、ドグ40cが設けられている。
そして、原点センサ36cは、大プーリ37bが原点位置から360°だけ回転するごとにドグ40cが検知されるように配置されている。また、OT+センサ36aは、大プーリ37bが原点位置から+720°だけ回転した時にドグ40aが検知されることなく、大プーリ37bが原点位置から−720°だけ回転した時にドグ40aが検知されるように配置されている。また、OT−センサ36bは、大プーリ37bが原点位置から−720°だけ回転した時にドグ40aが検知されることなく、大プーリ37bが原点位置から+720°だけ回転した時にドグ40aが検知されるように配置されている。
そして、サーボモータ34の駆動力により大プーリ37bが回転すると、大プーリ37bが原点位置から360°だけ回転するごとにドグ40cが原点センサ36cにて検知される。
また、大プーリ37bの回転に伴って小プーリ37aが右回りに回転し、大プーリ37bが原点位置から+720°だけ回転した時にドグ40aがOT−センサ36bにて検知される。
また、大プーリ37bの回転に伴って小プーリ37aが左回りに回転し、大プーリ37bが原点位置から−720°だけ回転した時にドグ40aがOT+センサ36aにて検知される。
そして、原点センサ36cにてドグ40cが検知されるとともに、OT+センサ36aおよびOT−センサ36bにてドグ40aが検知されない時に加工ヘッドが原点位置または±360°だけ回転した位置にあると判別される。
なお、原点位置と±360°だけ回転した位置とを区別するために、例えば、一旦左回りに回転し、OT−検知がされた後、今度は右回りに360°以上回転し、原点検知を行わせるようにしてもよい。
また、原点センサ36cにてドグ40cが検知されるとともに、OT−センサ36bにてドグ40aが検知されることなく、OT+センサ36aにてドグ40aが検知された時に加工ヘッドが−720°だけ回転したと判別される。
さらに、原点センサ36cにてドグ40cが検知されるとともに、OT+センサ36aにてドグ40aが検知されることなく、OT−センサ36bにてドグ40aが検知された時に加工ヘッドが+720°だけ回転したと判別される。
図8は、図7−2のOT+センサ36a、OT−センサ36bおよび原点センサ36cにてそれぞれ検出されるドグ40a、40cの検知位置を示す図である。なお、図8では、小プーリ37aおよび大プーリ37bが回転した時に、ドグ40aの位置をAで表し、ドグ40cの位置をCで表した。
図8において、大プーリ37bが原点位置にある時、原点位置から+360°だけ回転した位置にある時、原点位置から−360°だけ回転した位置にある時、原点位置から+720°だけ回転した位置にある時、原点位置から−720°だけ回転した位置にある時にドグ40cが検知されるように原点センサ36cが配置されている。
また、大プーリ37bが原点位置から+720°だけ回転した時に、ドグ40aが検知されるようにOT−センサ36bが配置されている。さらに、大プーリ37bが原点位置から−720°だけ回転した時に、ドグ40aが検知されるようにOT+センサ36aが配置されている。
ここで、大プーリ37bの回転周期の非整数倍で小プーリ37aが回転するように構成したので、大プーリ37bが原点位置から+720°だけ回転した時にOT−センサ36bにてドグ40aが検知されるように配置することにより、大プーリ37bが原点位置にある時と、大プーリ37bが原点位置から+360°だけ回転した位置にある時と、大プーリ37bが原点位置から−360°だけ回転した位置にある時と、大プーリ37bが原点位置から−720°だけ回転した位置にある時に、OT−センサ36bにてドグ40aが検知されることはない。
また、大プーリ37bが原点位置から−720°だけ回転した時にOT+センサ36aにてドグ40aが検知されるように配置することにより、大プーリ37bが原点位置にある時と、大プーリ37bが原点位置から−360°だけ回転した位置にある時と、大プーリ37bが原点位置から+360°だけ回転した位置にある時と、大プーリ37bが原点位置から+720°だけ回転した位置にある時に、OT+センサ36aにてドグ40aが検知されることはない。
このため、原点センサ36cにてドグ40cが検知されるとともに、OT+センサ36aおよびOT−センサ36bにてドグ40aが検知されない時に加工ヘッドが原点位置または±360°だけ回転した位置にあると判別させることができる。
なお、原点位置と±360°だけ回転した位置とを区別するために、例えば、一旦左回りに回転し、OT−検知がされた後、今度は右回りに360°以上回転し、原点検知を行わせるようにしてもよい。
また、原点センサ36cにてドグ40cが検知されるとともに、OT+センサ36aにてドグ40aが検知されることなく、OT−センサ36bにてドグ40aが検知された時に加工ヘッドが+720°だけ回転したと判別させることができる。
さらに、原点センサ36cにてドグ40cが検知されるとともに、OT−センサ36bにてドグ40aが検知されることなく、OT+センサ36aにてドグ40aが検知された時に加工ヘッドが−720°だけ回転したと判別させることができる。
これにより、ドグ40a、40cの有無をそれぞれ検知するためのOT+センサ36a、OT−センサ36bおよび原点センサ36cからの信号のみを用いることで、1440°の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出することが可能となる。このため、1440°の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出するために、回転運動を直動運動に変換したり、エンコーダやカウンタや比較器などの部品を別途用意したりする必要がなくなり、コストアップを抑制するとともに、組立調整にかかる手間を軽減することができる。
なお、上述した実施の形態3では、サーボモータ34による駆動力を加工ヘッド側に伝達するために、小プーリ37a、大プーリ37bおよびベルト39を用いる方法について説明したが、歯車などを用いることで、サーボモータ34による駆動力を加工ヘッド側に伝達するようにしてもよい。
また、上述した実施の形態3では、ドグ40cを大プーリ37bに取り付ける方法について説明したが、ドグ40cの取り付け位置は、大プーリ37b以外にも加工ヘッドの回転に伴って回転する部位ならばどこでもよく、例えば、加工ヘッドに直接取り付けるようにしてもよい。また、上述した実施の形態では、ドグ40aを小プーリ37aに取り付ける方法について説明したが、大プーリ37bの回転周期よりも小さく、大プーリ37bの回転周期の非整数倍で回転する部位ならばどこに取り付けてもよい。
また、上述した実施の形態3では、1個のドグ40aを小プーリ37aに設ける方法について説明したが、検出位置の細やかな調整ができるようにするために、2個のドグを小プーリ37aに設けるようにしてもよい。
また、上述した実施の形態3では、+720°だけ回転した位置と、−720°だけ回転した位置とを判別する方法について説明したが、+360N°だけ回転した位置と、−360N°だけ回転した位置とを判別する方法に適用するようにしてもよい。
また、上述した実施の形態1〜3では、本発明の回転位置検出装置をレーザ加工機に適用した構成を例にとって説明したが、本発明の回転位置検出装置はレーザ加工機に限定されることなく、例えば、溶接ロボットなどの回転位置検出に適用してもよいし、マニピュレータなどの回転位置検出に適用してもよい。
また、上述した実施の形態1〜3では、サーボモータの駆動力をベルトドライブ方式にて加工ヘッドに伝達させる方式について説明したが、ダイレクトドライブ方式の回転位置検出に適用する場合、ダイレクトドライブ方式にて回転される回転体のよりも回転周期の小さなダミーの回転体を別途設け、ダイレクトドライブ方式にて回転される回転体の回転周期の非整数倍でダミーの回転体を回転させるようにしてもよい。
以上のように本発明に係る回転位置検出装置は、ドグの有無を検知するためのセンサからの信号のみを用いることで、原点位置と、+360°だけ回転した位置と、−360°だけ回転した位置とを判別することができ、回転運動を直動運動に変換することなく、360°以上の回転ストロークを有する回転軸の回転位置を検出する方法に適している。
10 テーブル
11 加工機本体
12 NC制御部
12a 回転位置判別部
12b モータ駆動制御部
13、33 加工ヘッド
14、24、34 サーボモータ
15 レーザ発振器
16a、26a OT+センサ
16b、26b OT−センサ
16c、26c 原点センサ
K 加工対象物
17a、27a、37a 小プーリ
17b、27b、37b 大プーリ
18、28、38 減速器
19、29、39 ベルト
20a〜20c、30a〜30d、40a、40c ドグ

Claims (8)

  1. 回転軸に同期して回転する第1の回転体と、
    前記第1の回転体の回転に伴って前記第1の回転体の回転周期の非整数倍で回転し、前記第1の回転体よりも回転周期の小さな第2の回転体と、
    前記第1の回転体に設けられた第1のドグと、
    前記第2の回転体に設けられた第2のドグと、
    前記第1の回転体が原点位置から360°だけ回転するごとに前記第1のドグを検知する原点センサと、
    前記第1の回転体が前記原点位置から+360N°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第2のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、
    前記第1の回転体が前記原点位置から−360N°だけ回転した時に前記第2のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、
    前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第2のドグが検知されない時に前記第1の回転体が原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第2のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知された時に前記第1の回転体が+360N°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第2のドグが検知された時に前記第1の回転体が−360N°だけ回転したと判別する回転位置判別部とを備えることを特徴とする回転位置検出装置。
  2. 回転軸に同期して回転する第1の回転体と、
    前記第1の回転体の回転に伴って前記第1の回転体の回転周期の非整数倍で回転し、前記第1の回転体よりも回転周期の小さな第2の回転体と、
    前記第1の回転体に設けられた第1のドグと、
    前記第2の回転体に設けられた第2のドグと、
    前記第2の回転体に設けられた第3のドグと、
    前記第1の回転体が原点位置から360°だけ回転するごとに前記第1のドグを検知する原点センサと、
    前記第1の回転体が+360N°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第3のドグが検知されないようにして前記第2のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、
    前記第1の回転体が−360N°だけ回転した時に前記第2のドグが検知されないようにして前記第3のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、
    前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第2のドグおよび前記第3のドグがそれぞれ検知されない時に前記第1の回転体が原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第3のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知された時に前記第1の回転体が+360N°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第3のドグが検知された時に前記第1の回転体が−360N°だけ回転したと判別する回転位置判別部とを備えることを特徴とする回転位置検出装置。
  3. 回転軸に同期して回転する第1の回転体と、
    前記第1の回転体の回転に伴って前記第1の回転体の回転周期の非整数倍で回転し、前記第1の回転体よりも回転周期の小さな第2の回転体と、
    前記第1の回転体に設けられた第1のドグと、
    前記第1の回転体に前記第1のドグに対して180°だけずれた位置に設けられた第2のドグと、
    前記第2の回転体に設けられた第3のドグと、
    前記第1の回転体が原点位置から180°だけ回転するごとに前記第1のドグおよび前記第2のドグを交互に検知する原点センサと、
    前記第1の回転体が前記原点位置から+360(N−1)+180°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第3のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、
    前記第1の回転体が前記原点位置から−360(N−1)−180°だけ回転した時に前記第3のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、
    前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第3のドグが検知されない時に前記第1の回転体が原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第2のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第3のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第3のドグが検知された時に前記第1の回転体が+360(N−1)+180°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第2のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第3のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第3のドグが検知された時に前記第1の回転体が−360(N−1)−180°だけ回転したと判別する回転位置判別部とを備えることを特徴とする回転位置検出装置。
  4. 回転軸に同期して回転する第1の回転体と、
    前記第1の回転体の回転に伴って前記第1の回転体の回転周期の非整数倍で回転し、前記第1の回転体よりも回転周期の小さな第2の回転体と、
    前記第1の回転体に設けられた第1のドグと、
    前記第1の回転体に前記第1のドグに対して180°だけずれた位置に設けられた第2のドグと、
    前記第2の回転体に設けられた第3のドグと、
    前記第2の回転体に設けられた第4のドグと、
    前記第1の回転体が原点位置から180°だけ回転するごとに前記第1のドグおよび前記第2のドグを交互に検知する原点センサと、
    前記第1の回転体が前記原点位置から+360(N−1)+180°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第4のドグが検知されないようにして前記第3のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、
    前記第1の回転体が前記原点位置から−360(N−1)−180°だけ回転した時に前記第3のドグが検知されないようにして前記第4のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、
    前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第3のドグおよび前記第4のドグがそれぞれ検知されない時に前記第1の回転体が原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第2のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第4のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第3のドグが検知された時に前記第1の回転体が+360(N−1)+180°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第2のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第3のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第4のドグが検知された時に前記第1の回転体が−360(N−1)−180°だけ回転したと判別する回転位置判別部とを備えることを特徴とする回転位置検出装置。
  5. レーザ光を発生するレーザ発振器と、
    前記レーザ発振器にて発生されたレーザ光を加工対象物に出射する加工ヘッドと、
    前記加工ヘッドを回転させる駆動力を発生するサーボモータと、
    前記加工ヘッドの回転軸に同期して回転する大プーリと、
    前記サーボモータによる駆動軸側に設けられ、前記大プーリの回転周期の非整数倍で回転し、前記大プーリよりも回転周期の小さな小プーリと、
    前記大プーリに設けられた第1のドグと、
    前記小プーリに設けられた第2のドグと、
    前記加工ヘッドが原点位置から360°だけ回転するごとに前記第1のドグを検知する原点センサと、
    前記大プーリが前記原点位置から+360N°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第2のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、
    前記大プーリが前記原点位置から−360N°だけ回転した時に前記第2のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、
    前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第2のドグが検知されない時に前記加工ヘッドが原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第2のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知された時に前記加工ヘッドが+360N°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第2のドグが検知された時に前記加工ヘッドが−360N°だけ回転したと判別する回転位置判別部と、
    前記回転位置判別部による判別結果に基づいて、前記サーボモータの駆動制御を行うモータ駆動制御部とを備えることを特徴とするレーザ加工機。
  6. レーザ光を発生するレーザ発振器と、
    前記レーザ発振器にて発生されたレーザ光を加工対象物に出射する加工ヘッドと、
    前記加工ヘッドを回転させる駆動力を発生するサーボモータと、
    前記加工ヘッドの回転軸に同期して回転する大プーリと、
    前記サーボモータによる駆動軸側に設けられ、前記大プーリの回転周期の非整数倍で回転し、前記大プーリよりも回転周期の小さな小プーリと、
    前記大プーリに設けられた第1のドグと、
    前記小プーリに設けられた第2のドグと、
    前記小プーリに設けられた第3のドグと、
    前記加工ヘッドが原点位置から360°だけ回転するごとに前記第1のドグを検知する原点センサと、
    前記大プーリが前記原点位置から+360N°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第3のドグが検知されないようにして前記第2のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、
    前記大プーリが前記原点位置から−360N°だけ回転した時に前記第2のドグが検知されないようにして前記第3のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、
    前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第2のドグおよび前記第3のドグがそれぞれ検知されない時に前記加工ヘッドが原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第3のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知された時に前記加工ヘッドが+360N°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第2のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第3のドグが検知された時に前記加工ヘッドが−360N°だけ回転したと判別する回転位置判別部と、
    前記回転位置判別部による判別結果に基づいて、前記サーボモータの駆動制御を行うモータ駆動制御部とを備えることを特徴とするレーザ加工機。
  7. レーザ光を発生するレーザ発振器と、
    前記レーザ発振器にて発生されたレーザ光を加工対象物に出射する加工ヘッドと、
    前記加工ヘッドを回転させる駆動力を発生するサーボモータと、
    前記加工ヘッドの回転軸に同期して回転する大プーリと、
    前記サーボモータによる駆動軸側に設けられ、前記大プーリの回転周期の非整数倍で回転し、前記大プーリよりも回転周期の小さな小プーリと、
    前記大プーリに設けられた第1のドグと、
    前記大プーリに前記第1のドグに対して180°だけずれた位置に設けられた第2のドグと、
    前記小プーリに設けられた第3のドグと、
    前記加工ヘッドが原点位置から180°だけ回転するごとに前記第1のドグおよび前記第2のドグを交互に検知する原点センサと、
    前記大プーリが前記原点位置から+360(N−1)+180°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第3のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、
    前記大プーリが前記原点位置から−360(N−1)−180°だけ回転した時に前記第3のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、
    前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第3のドグが検知されない時に前記加工ヘッドが原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第2のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第3のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第3のドグが検知された時に前記加工ヘッドが+360(N−1)+180°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第2のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第3のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第3のドグが検知された時に前記加工ヘッドが−360(N−1)−180°だけ回転したと判別する回転位置判別部と、
    前記回転位置判別部による判別結果に基づいて、前記サーボモータの駆動制御を行うモータ駆動制御部とを備えることを特徴とするレーザ加工機。
  8. レーザ光を発生するレーザ発振器と、
    前記レーザ発振器にて発生されたレーザ光を加工対象物に出射する加工ヘッドと、
    前記加工ヘッドを回転させる駆動力を発生するサーボモータと、
    前記加工ヘッドの回転軸に同期して回転する大プーリと、
    前記サーボモータによる駆動軸側に設けられ、前記大プーリの回転周期の非整数倍で回転し、前記大プーリよりも回転周期の小さな小プーリと、
    前記大プーリに設けられた第1のドグと、
    前記大プーリに前記第1のドグに対して180°だけずれた位置に設けられた第2のドグと、
    前記小プーリに設けられた第3のドグと、
    前記小プーリに設けられた第4のドグと、
    前記加工ヘッドが原点位置から180°だけ回転するごとに前記第1のドグおよび前記第2のドグを交互に検知する原点センサと、
    前記大プーリが前記原点位置から+360(N−1)+180°(Nは正の整数)だけ回転した時に前記第4のドグが検知されないようにして前記第3のドグが検知されるように配置されたOT+センサと、
    前記大プーリが前記原点位置から−360(N−1)−180°だけ回転した時に前記第3のドグが検知されないようにして前記第4のドグが検知されるように配置されたOT−センサと、
    前記原点センサにて前記第1のドグが検出されるとともに、前記OT+センサおよび前記OT−センサにて前記第3のドグおよび前記第4のドグがそれぞれ検知されない時に前記加工ヘッドが原点位置にあると判別し、前記原点センサにて前記第2のドグが検出されるとともに、前記OT−センサにて前記第4のドグが検知されることなく、前記OT+センサにて前記第3のドグが検知された時に前記加工ヘッドが+360(N−1)+180°だけ回転したと判別し、前記原点センサにて前記第2のドグが検出されるとともに、前記OT+センサにて前記第3のドグが検知されることなく、前記OT−センサにて前記第4のドグが検知された時に前記加工ヘッドが−360(N−1)−180°だけ回転したと判別する回転位置判別部と、
    前記回転位置判別部による判別結果に基づいて、前記サーボモータの駆動制御を行うモータ駆動制御部とを備えることを特徴とするレーザ加工機。
JP2009118637A 2009-05-15 2009-05-15 回転位置検出装置およびレーザ加工機 Active JP5183566B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009118637A JP5183566B2 (ja) 2009-05-15 2009-05-15 回転位置検出装置およびレーザ加工機
TW099109036A TW201043387A (en) 2009-05-15 2010-03-26 Rotational position detecting device and laser beam machine
CN201010175598XA CN101885110B (zh) 2009-05-15 2010-05-17 旋转位置检测装置以及激光加工机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009118637A JP5183566B2 (ja) 2009-05-15 2009-05-15 回転位置検出装置およびレーザ加工機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010266362A JP2010266362A (ja) 2010-11-25
JP5183566B2 true JP5183566B2 (ja) 2013-04-17

Family

ID=43071288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009118637A Active JP5183566B2 (ja) 2009-05-15 2009-05-15 回転位置検出装置およびレーザ加工機

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5183566B2 (ja)
CN (1) CN101885110B (ja)
TW (1) TW201043387A (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104655097B (zh) 2013-11-21 2017-04-19 科沃斯机器人股份有限公司 激光测距传感器及其测距方法
CN104655161B (zh) 2013-11-21 2017-05-10 科沃斯机器人股份有限公司 测距装置及其寻找测距起始点的方法
CN105826229A (zh) * 2016-01-05 2016-08-03 天津华海清科机电科技有限公司 晶圆夹持机构
CN115038560B (zh) * 2020-03-17 2023-07-18 瑞德医疗机器股份有限公司 旋转位置检测单元

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1240712B (it) * 1990-08-23 1993-12-17 Comau Spa Dispositivo per il sopporto e la movimentazione di una testa di focalizzazione di fascio laser
JPH04340608A (ja) * 1991-05-17 1992-11-27 Citizen Watch Co Ltd 回転軸制御方法および装置
JPH08313298A (ja) * 1995-05-22 1996-11-29 Canon Inc 原点位置検出装置及びその検出方法
JP3648875B2 (ja) * 1996-09-30 2005-05-18 日本精工株式会社 回転軸ストッパ機構
JPH10325715A (ja) * 1997-05-26 1998-12-08 Tamagawa Seiki Co Ltd 位置検出方法及び装置
JP2999439B2 (ja) * 1997-09-05 2000-01-17 シナノケンシ株式会社 オフセット印刷装置
JP3588455B2 (ja) * 2002-01-23 2004-11-10 三菱電機株式会社 回転角度検出器の製造方法
JP4402057B2 (ja) * 2006-02-21 2010-01-20 三菱電機株式会社 制御装置一体型回転電機
JP2009023040A (ja) * 2007-07-18 2009-02-05 Nsk Ltd 原点位置設定装置、原点位置設定方法、リンク機構及び脚車輪型ロボット

Also Published As

Publication number Publication date
CN101885110A (zh) 2010-11-17
CN101885110B (zh) 2013-07-24
JP2010266362A (ja) 2010-11-25
TW201043387A (en) 2010-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5183566B2 (ja) 回転位置検出装置およびレーザ加工機
US7117609B2 (en) Device, CNC measuring device, and method for measuring a rotationally symmetric precision part
US9534931B2 (en) Encoder, encoder installation method, torque-limiting mechanism, driving apparatus, and robot apparatus
US20180019640A1 (en) Drive apparatus and robot device
JP4875889B2 (ja) エンコーダのカウントミス検出回路およびエンコーダのカウントミス検出方法
JP2007113932A (ja) ギヤ付きモータの多回転絶対値エンコーダ
US10613113B2 (en) Position detecting device
EP2682716A2 (en) Encoder and motor device
US10877460B2 (en) Security check instrument motion control system
WO2015115029A1 (ja) アクチュエータ
WO2017081792A1 (ja) 検出装置の異常判定システム、検出装置、検出装置の異常判定装置、および検出装置の異常判定方法
AU2016210960B2 (en) Apparatus and procedure for homing and subsequent positioning of axes of a numerical control machine
JP2016003947A5 (ja)
JP2015152926A (ja) 光電センサ及び監視領域内の物体の検出方法
JP2012209747A (ja) 非接触通信装置、通信方法及びロボット装置
JP2018051675A (ja) エンコーダ装置、ロボット
CN211042090U (zh) 一种转轴定位装置
JP4342364B2 (ja) ワーク保持装置
JPS59226801A (ja) 位置検出器
JP2020038141A (ja) 検出誤差を低減可能な磁気式変位検出器
JP2019027782A (ja) トルク検出用モジュール、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、及び制御装置
KR101027912B1 (ko) 엔코더장치
JP5621822B2 (ja) レーザレーダ装置
JP2006142463A (ja) 複合加工装置
JP2017087321A (ja) 工作機械

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110603

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121213

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121218

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130115

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5183566

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250