JP5182048B2 - Method for manufacturing droplet discharge head - Google Patents

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本発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a droplet discharge head.

微小なインク滴を用いて画像を記録する方法として、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）のようにノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを用いる方法がある。液滴吐出ヘッドでは、圧力室の例えば底部の振動板（ダイヤフラムとも称される。）に設けてある圧電素子に電圧を印加することによりダイヤフラムを変形させて圧力室内の液体のインクに圧力を付与する。この圧力の付与により、ノズル孔から液滴を記録紙等に向けて吐出し、この吐出された液滴が記録紙に付着することによって画像が形成される。   As a method for recording an image using minute ink droplets, there is a method using a droplet discharge head that discharges droplets from nozzles, such as an ink jet recording head (hereinafter, recording head). In a droplet discharge head, for example, a voltage is applied to a piezoelectric element provided on a diaphragm (also referred to as a diaphragm) at the bottom of a pressure chamber to deform the diaphragm and apply pressure to liquid ink in the pressure chamber. To do. By applying this pressure, droplets are ejected from the nozzle holes toward the recording paper, and the ejected droplets adhere to the recording paper to form an image.

液滴吐出ヘッドは、高速で高解像度の記録を行うことができることが望まれ、１つの液滴吐出ヘッドが備えるノズル孔数、つまりは、圧電素子の数も増加し、しかも、小型化のためにノズル孔密度が高くなって圧電素子の配置密度も高くなっている。多数の圧電素子を歩留まり良く高密度配置できる液滴吐出ヘッドの例として以下がある。   The droplet discharge head is desired to be able to perform high-resolution and high-resolution recording, and the number of nozzle holes, that is, the number of piezoelectric elements included in one droplet discharge head is increased. In addition, the nozzle hole density is increased and the arrangement density of the piezoelectric elements is also increased. The following are examples of droplet discharge heads that can arrange a large number of piezoelectric elements with high yield and high density.

特許文献１に記載されている液滴吐出ヘッドは、振動板に上電極及び下電極を有する圧電素子部材（バルク型圧電素子部材）を接合し、これにドライフィルム等により液滴吐出ヘッドに配置される圧力室に対応したマスクパターンをフォトリソグラフィー技術により形成する。振動板に接合され、マスクパターンが形成された圧電素子部材に対してブラスト加工を行うことにより、圧力室個々に対応し分割された圧電素子を形成している。
特開２００７−６２２４４号公報 In the droplet discharge head described in Patent Document 1, a piezoelectric element member (bulk type piezoelectric element member) having an upper electrode and a lower electrode is joined to a diaphragm, and this is disposed on the droplet discharge head by a dry film or the like. A mask pattern corresponding to the pressure chamber to be formed is formed by photolithography. By blasting the piezoelectric element member bonded to the diaphragm and having the mask pattern formed, piezoelectric elements divided corresponding to each pressure chamber are formed.
JP 2007-62244 A

しかしながら、特許文献１に記載の振動板に圧電素子を形成する方法は、液滴吐出ヘッドに固定され駆動素子として利用される部分以外の圧電素子部材はブラスト加工により除去・廃棄されるため、廃棄される部分が多くコスト高になる。   However, in the method of forming a piezoelectric element on the diaphragm described in Patent Document 1, the piezoelectric element members other than the part that is fixed to the droplet discharge head and used as the driving element are removed and discarded by blasting. Many parts are made and the cost is high.

また、圧電素子部材の状態で良好であってもブラスト加工後に個々に分離された圧電素子の電気特性や形状に不良（特に割れ）が発生する場合があり、液滴吐出ヘッドへの組み付け後の圧電素子の動作試験でないと良否判定ができない。このため、不良となった圧電素子と共にこの圧電素子が組み付けられている液滴吐出ヘッドも不良となるため、製造効率が著しく低下してしまう。   In addition, even if the piezoelectric element member is in good condition, the electrical characteristics and shape of the piezoelectric elements that are individually separated after blasting may be defective (particularly cracked), and after the assembly to the droplet discharge head The pass / fail judgment cannot be made unless it is an operation test of the piezoelectric element. For this reason, since the droplet discharge head in which this piezoelectric element is assembled together with the defective piezoelectric element also becomes defective, the manufacturing efficiency is significantly reduced.

また、個々の圧電素子の良否を分別して振動板に貼り付ける場合、分離された圧電素子は分極方向の判別が容易に外観では分からない場合がある。この場合、液滴吐出ヘッドに分極方向を判別して圧電素子を組み付ける工程は煩雑となり製造効率が低下する。   In addition, when the quality of individual piezoelectric elements is classified and pasted to the diaphragm, the separated piezoelectric elements may not be easily recognized in terms of their polarization directions. In this case, the process of discriminating the polarization direction in the droplet discharge head and assembling the piezoelectric element becomes complicated and the manufacturing efficiency is lowered.

本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、無駄となる圧電素子部材を抑え、貼り付ける前に個々の品質を容易に確保することができ、圧電素子を効率よく組み付けることができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and the object of the present invention is to suppress wasted piezoelectric element members and easily ensure individual quality before bonding. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a droplet discharge head capable of efficiently assembling elements.

上記の課題は、以下の構成により解決される。   Said subject is solved by the following structures.

１．液体を液滴として吐出する複数のノズル孔に連通する圧力室と、前記圧力室の一部の壁面を形成している振動板と、前記振動板の外壁面に固定される圧電素子と、を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子は、互いに略平行に対向し、電極をそれぞれに備える第１主面と前記第１主面より面積が小さい第２主面とを有し分極方向が揃っている短冊状であり、
前記振動板の配置に対応した上面の位置に窪みが設けられている配置プレートの前記窪みに前記圧電素子を入れて配置する圧電素子配置工程と、
前記窪みに配置された前記圧電素子の前記第１主面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
前記振動板の外壁面と接着剤が塗布された前記第１主面とを対応させ、重ね合わせて接着する接着工程と、を有し、
前記窪みは、前記第１主面が前記上面と同じ方向に向いて平面状に並び、前記圧電素子を位置決めするように前記圧電素子を保持することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 1. A pressure chamber communicating with a plurality of nozzle holes for discharging liquid as droplets, a diaphragm forming a partial wall surface of the pressure chamber, and a piezoelectric element fixed to the outer wall surface of the diaphragm. In the manufacturing method of the provided droplet discharge head,
The piezoelectric element has a strip shape facing a substantially parallel to each other and having a first main surface provided with electrodes and a second main surface having an area smaller than that of the first main surface and having a uniform polarization direction,
A piezoelectric element arranging step of placing the piezoelectric element in the depression of the arrangement plate provided with a depression at the position of the upper surface corresponding to the arrangement of the diaphragm;
An adhesive application step of applying an adhesive to the first main surface of the piezoelectric element disposed in the depression;
An adhesion step in which the outer wall surface of the diaphragm and the first main surface to which an adhesive is applied correspond to each other and are bonded together,
The method of manufacturing a droplet discharge head, wherein the depression holds the piezoelectric element so that the first main surface is aligned in a plane with the same direction as the upper surface and the piezoelectric element is positioned.

２．前記圧電素子は、少なくとも１方向の断面形状が略台形であることを特徴とする前記１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。   2. 2. The method of manufacturing a droplet discharge head according to 1, wherein the piezoelectric element has a substantially trapezoidal cross-sectional shape in at least one direction.

３．前記窪みの底面は、前記第２主面と接して前記第２主面を前記上面に対して略平行に支持し、
前記上面から前記窪みの底面までの深さは、前記圧電素子の厚さより浅く、
前記上面における前記窪みの開口は、前記窪みの底面が前記第２主面を支持した前記圧電素子が前記上面と交差してなす断面形状と略同じであることを特徴とする前記１又は２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 3. The bottom surface of the recess is in contact with the second main surface and supports the second main surface substantially parallel to the upper surface,
The depth from the upper surface to the bottom surface of the recess is shallower than the thickness of the piezoelectric element,
The opening of the recess in the upper surface is substantially the same as the cross section formed by the piezoelectric element having the bottom surface of the recess supporting the second main surface intersecting the upper surface. A method for manufacturing the liquid droplet ejection head as described.

４．前記窪みの底面は、前記第２主面と接して前記第２主面を前記上面に対して略平行に支持し、
前記上面から前記窪みの底面までの深さは、前記圧電素子の厚さと同じであり、
前記上面における前記窪みの開口は、前記第１主面と同じであり、
前記窪みの深さ方向に対して垂直な面と前記窪みが交差してなす開口断面及び前記窪みの底面は、前記第１主面の大きさ未満であることを特徴とする前記１又は２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 4). The bottom surface of the recess is in contact with the second main surface and supports the second main surface substantially parallel to the upper surface,
The depth from the upper surface to the bottom surface of the recess is the same as the thickness of the piezoelectric element,
The opening of the depression on the upper surface is the same as the first main surface,
In the above 1 or 2, characterized in that an opening cross section formed by intersecting the surface perpendicular to the depth direction of the recess and the recess and a bottom surface of the recess are less than the size of the first main surface. A method for manufacturing the liquid droplet ejection head as described.

５．前記圧電素子配置工程において、
前記配置プレートの周囲は、前記圧電素子が前記上面から外れないように前記上面より突出している外周壁を備え、
前記上面の上に複数の圧電素子を任意に配置した後、前記配置プレートに振動を加える方法、前記配置プレートの上面を傾ける方法及び前記上面の上をへら状部材を移動させる方法の少なくとも何れか一つの方法により、前記上面の上の前記圧電素子を移動させ、前記窪みに前記圧電素子を入れて配置することを特徴とする前記１から４の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 5. In the piezoelectric element arranging step,
The periphery of the arrangement plate includes an outer peripheral wall protruding from the upper surface so that the piezoelectric element does not come off from the upper surface,
After arbitrarily arranging a plurality of piezoelectric elements on the upper surface, at least one of a method of applying vibration to the arrangement plate, a method of tilting the upper surface of the arrangement plate, and a method of moving a spatula member over the upper surface 5. The droplet discharge head according to claim 1, wherein the piezoelectric element on the upper surface is moved by one method, and the piezoelectric element is placed in the recess. Production method.

６．前記圧電素子配置工程の後、前記窪みに配置された前記圧電素子を検査する検査工程を有し、
前記配置プレートは、前記窪みの底面で前記第２主面の電極に接し、且つ前記配置プレートの外壁に露出部を有する検査用電極を備え、
前記検査工程は、前記検査用電極と前記第１主面の電極とを用いて、前記窪みに入っている圧電素子の静電容量、共振周波数及び変位量の少なくとも何れか一つを検査することを特徴とする前記１から５の何れか一項記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 6). After the piezoelectric element arrangement step, the inspection step of inspecting the piezoelectric element arranged in the depression,
The arrangement plate includes an inspection electrode that is in contact with the electrode of the second main surface at a bottom surface of the depression and has an exposed portion on an outer wall of the arrangement plate;
The inspection step is to inspect at least one of capacitance, resonance frequency, and displacement of the piezoelectric element in the recess using the inspection electrode and the electrode on the first main surface. The method of manufacturing a droplet discharge head according to any one of 1 to 5, wherein:

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、第２主面が第１主面より面積が小さく短冊状で分極が揃っている圧電素子は、形状が単純で圧電素子部材から効率良く切り出すことができ、振動板の位置に対応した配置プレートの上面の位置に備える窪みで、圧電素子の第１主面が平面状に並び位置決めされて保持され、第１主面に接着剤が塗布され、第１主面と振動板の外壁面とを対応させて接着することができる。   According to the method for manufacturing a droplet discharge head of the present invention, a piezoelectric element whose second main surface has a smaller area than the first main surface and has a strip shape and a uniform polarization is simple in shape and efficiently cut out from the piezoelectric element member. The first main surface of the piezoelectric element is aligned and held in a recess at the position of the upper surface of the arrangement plate corresponding to the position of the diaphragm, and an adhesive is applied to the first main surface. The first main surface and the outer wall surface of the diaphragm can be bonded in correspondence.

更に、例えば配置プレートの窪みの底面に、配置プレートの外壁に露出部を有する検査用電極を備えることにより、圧電素子が第１主面及び第２主面に備える電極に検査のための電気的な接続を容易にすることができる。   Further, for example, an inspection electrode having an exposed portion on the outer wall of the arrangement plate is provided on the bottom surface of the depression of the arrangement plate, so that the electrodes provided on the first main surface and the second main surface of the piezoelectric element are electrically connected for inspection. Connection can be facilitated.

よって、無駄となる圧電素子部材を抑え、貼り付ける前に個々の品質を容易に確保することができると共に、圧電素子を効率よく組み付けることができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。   Therefore, it is possible to provide a method for manufacturing a droplet discharge head that can suppress unnecessary piezoelectric element members, easily ensure individual quality before being attached, and efficiently assemble the piezoelectric elements. .

本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。   Although the present invention will be described based on the illustrated embodiment, the present invention is not limited to the embodiment.

本発明に係わる液滴吐出ヘッドの製造方法により製造される液滴吐出ヘッドについて説明する。   A droplet discharge head manufactured by the method of manufacturing a droplet discharge head according to the present invention will be described.

図１は、液滴吐出ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドＡと称する。）の構成の分解斜視図を示している。図１において、１はノズルプレート、５は中間プレート、２はボディプレート、３は圧電素子、３０はパイプ接続部、４２は圧電素子３に電力を供給するフレキシブル基板（以降、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔｓ）と称する。）を模式的に示している。   FIG. 1 shows an exploded perspective view of a configuration of an ink jet recording head (hereinafter referred to as recording head A) as an example of a droplet discharge head. In FIG. 1, 1 is a nozzle plate, 5 is an intermediate plate, 2 is a body plate, 3 is a piezoelectric element, 30 is a pipe connection portion, 42 is a flexible substrate that supplies power to the piezoelectric element 3 (hereinafter referred to as FPC (Flexible printed circuits). ) Is schematically shown.

ノズルプレート１には、インク吐出のためのノズル孔１１を複数配列してある。ノズル孔１１の液滴を吐出する吐出口を有する吐出面１３には撥液膜４５がある。中間プレート５には、ノズル孔１１に連通する貫通孔１２が設けてあり、貫通孔１２の径はノズル孔１１の径より大きい。   The nozzle plate 1 has a plurality of nozzle holes 11 for discharging ink. There is a liquid repellent film 45 on the ejection surface 13 having an ejection port for ejecting droplets from the nozzle hole 11. The intermediate plate 5 is provided with a through hole 12 communicating with the nozzle hole 11, and the diameter of the through hole 12 is larger than the diameter of the nozzle hole 11.

また、ボディプレート２には、中間プレート５を介してノズルプレート１を貼り合わせることで圧力室となる圧力室溝２４、インク供給路となるインク供給路溝２３及び共通インク室となる共通インク室溝２２、並びにインク供給口２１が形成されている。   Further, the nozzle plate 1 is bonded to the body plate 2 via the intermediate plate 5 so that the pressure chamber groove 24 serving as a pressure chamber, the ink supply path groove 23 serving as an ink supply path, and the common ink chamber serving as a common ink chamber. A groove 22 and an ink supply port 21 are formed.

ノズルプレート１のノズル孔１１とボディプレート２の圧力室溝２４とが一対一で対応するように、中間プレート５を挟んでノズルプレート１とボディプレート２と貼り合わせることで、流路ユニットＭを形成する。ここで、以後、上記で説明に使用した圧力室溝、供給路溝、共通インク室溝の各符号は、それぞれ圧力室、供給路、共通インク室にも使用する。また、インク供給口２１に連通するようにパイプ接続部３０を固定してある。パイプ接続部３０と別途準備するインク貯蔵部（図示しない）とをパイプ（図示しない）で接続することで、流路ユニットＭにインクを供給することができる。   By attaching the nozzle plate 1 and the body plate 2 with the intermediate plate 5 interposed therebetween so that the nozzle holes 11 of the nozzle plate 1 and the pressure chamber grooves 24 of the body plate 2 correspond one-to-one, the flow path unit M is Form. Hereafter, the reference numerals of the pressure chamber groove, the supply path groove, and the common ink chamber groove used in the above description are also used for the pressure chamber, the supply path, and the common ink chamber, respectively. Further, the pipe connection portion 30 is fixed so as to communicate with the ink supply port 21. Ink can be supplied to the flow path unit M by connecting the pipe connecting unit 30 and a separately prepared ink storage unit (not shown) with a pipe (not shown).

流路ユニットＭにおいて、圧力室２４の容積を変化させてノズル孔１１から液滴を吐出させるアクチュエータとして、圧電素子３をボディプレート２の中間プレート５を有する面と反対面で、各圧力室２４の振動板として機能する底部の外壁面に固定してある。   In the flow path unit M, as an actuator for changing the volume of the pressure chamber 24 and ejecting droplets from the nozzle hole 11, the piezoelectric element 3 is disposed on the surface opposite to the surface having the intermediate plate 5 of the body plate 2. It is fixed to the outer wall surface of the bottom that functions as a diaphragm.

図２は、図１に示す記録ヘッドＡにおけるノズルプレート１のＸ１−Ｘ１’、中間プレート５のＸ２−Ｘ２’及びボディプレート２のＸ３−Ｘ３’の位置での断面を、圧電素子３を含めて模式的に示している。記録ヘッドＡには、圧電素子３をボディプレート２の中間プレート５を接着する面と反対側の各圧力室２４を構成する壁の一部である底部２５の外壁面に接着してある。底部２５は、圧電素子３の振動を圧力室２４内のインクに振動を伝える振動板（ダイヤフラムとも称す。）として機能する。   2 includes a cross section of the recording head A shown in FIG. 1 at positions X1-X1 ′ of the nozzle plate 1, X2-X2 ′ of the intermediate plate 5, and X3-X3 ′ of the body plate 2 including the piezoelectric element 3. This is shown schematically. In the recording head A, the piezoelectric element 3 is bonded to the outer wall surface of the bottom portion 25 which is a part of the wall constituting each pressure chamber 24 on the opposite side to the surface to which the intermediate plate 5 of the body plate 2 is bonded. The bottom portion 25 functions as a diaphragm (also referred to as a diaphragm) that transmits the vibration of the piezoelectric element 3 to the ink in the pressure chamber 24.

図３は、図１に示す記録ヘッドＡにおけるノズルプレート１のＹ１−Ｙ１’、中間プレート５のＹ２−Ｙ２’及びボディプレート２のＹ３−Ｙ３’の位置で隣接する２つの圧電素子３が設けてある圧力室２４の底部２５の周辺断面を、圧電素子３を含めて模式的に示し、また圧電素子３を駆動する駆動回路５０を示している。圧電素子３には、それぞれの両面に電極２０１、２０２が設けてある。電極２０１は電気的接続が可能な導電性接着剤等により、ボディプレート２の底部２５の外壁面に形成されているベース電極３５に固定されている。   3 is provided with two piezoelectric elements 3 adjacent to each other at positions Y1-Y1 ′ of the nozzle plate 1, Y2-Y2 ′ of the intermediate plate 5, and Y3-Y3 ′ of the body plate 2 in the recording head A shown in FIG. A sectional view around the bottom 25 of the pressure chamber 24 including the piezoelectric element 3 is schematically shown, and a drive circuit 50 for driving the piezoelectric element 3 is shown. The piezoelectric element 3 is provided with electrodes 201 and 202 on both surfaces. The electrode 201 is fixed to the base electrode 35 formed on the outer wall surface of the bottom portion 25 of the body plate 2 by a conductive adhesive or the like that can be electrically connected.

記録ヘッドＡにおいて、駆動回路５０とベース電極３５とは共通配線ＣＬで、また駆動回路５０と各圧電素子３の電極２０２とは個別配線Ｌ１、Ｌ２で接続される。駆動回路５０より圧電素子３に駆動パルス電圧が印加され、圧電素子３が変形変位することで発生する振動が圧力室２４の底部２５に伝えられる。この底部２５の振動により圧力室２４内にあるインクに加える圧力を変動させることでノズル孔１１からインク滴を吐出させる。   In the recording head A, the drive circuit 50 and the base electrode 35 are connected by a common line CL, and the drive circuit 50 and the electrode 202 of each piezoelectric element 3 are connected by individual lines L1 and L2. A drive pulse voltage is applied to the piezoelectric element 3 from the drive circuit 50, and vibration generated by the deformation and displacement of the piezoelectric element 3 is transmitted to the bottom 25 of the pressure chamber 24. The ink droplets are ejected from the nozzle holes 11 by changing the pressure applied to the ink in the pressure chamber 24 by the vibration of the bottom portion 25.

本発明に係わる圧電素子３の断面形状は、図２、図３に示すように略台形であり、これに関しては以降で説明する。   The cross-sectional shape of the piezoelectric element 3 according to the present invention is substantially trapezoidal as shown in FIGS. 2 and 3, which will be described later.

記録ヘッドＡを製造する製造工程のフロー図を図４に示す。図４に沿って、記録ヘッドＡの製造に関して、適宜図面を参照しながら説明する。   FIG. 4 shows a flowchart of the manufacturing process for manufacturing the recording head A. The manufacture of the recording head A will be described with reference to the drawings as appropriate along FIG.

（ノズルプレートの製造、ボディプレートの製造、中間プレートの製造工程）
図１に示す流路ユニットＭを構成するノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２をそれぞれ製造する。ノズルプレート１とボディプレート２を成す材料はＳｉとし、中間プレート５を成す材料は、可動イオンを含む硼珪酸ガラスが好ましい。各プレートをこれらの材料とすることで後述する陽極接合を容易に行うことができる。 (Manufacture of nozzle plate, body plate, intermediate plate)
The nozzle plate 1, the intermediate plate 5, and the body plate 2 constituting the flow path unit M shown in FIG. The material forming the nozzle plate 1 and the body plate 2 is Si, and the material forming the intermediate plate 5 is preferably borosilicate glass containing mobile ions. By using each plate for these materials, anodic bonding described later can be easily performed.

ノズルプレート１にノズル孔１１を形成する方法、中間プレート５に貫通孔１２を形成する方法、ボディプレート２に圧力室溝２４等を形成する方法は、公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）及びエッチング技術等を用いることができる。エッチング方法としては、ドライエッチングが好ましい。これらの方法により、ノズルプレート１、ボディプレート２及び中間プレート５を準備する。   A method of forming the nozzle holes 11 in the nozzle plate 1, a method of forming the through holes 12 in the intermediate plate 5, and a method of forming the pressure chamber grooves 24 and the like in the body plate 2 include known photolithography techniques (resist coating, exposure, Development) and etching techniques can be used. As an etching method, dry etching is preferable. The nozzle plate 1, the body plate 2, and the intermediate plate 5 are prepared by these methods.

（接合工程）
準備したノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２の３枚のプレートを重ね合わせ陽極接合により接合して圧力室２４を形成する。 (Joining process)
The prepared three plates of the nozzle plate 1, the intermediate plate 5, and the body plate 2 are overlapped and joined by anodic bonding to form the pressure chamber 24.

陽極接合は、陽極接合温度で中間プレート５の中の可動イオンが高電界に引かれて移動拡散する現象であり、この現象が顕著なガラスが好ましい。好ましいガラスとしてテンパックス フロート（登録商標）及びパイレックス（登録商標）がある。   The anodic bonding is a phenomenon in which mobile ions in the intermediate plate 5 are attracted to a high electric field and move and diffuse at the anodic bonding temperature, and glass in which this phenomenon is remarkable is preferable. Preferred glasses include Tempax Float (R) and Pyrex (R).

陽極接合することに関して図１６を用いて説明する。ノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２は、十分に洗浄して乾燥させ、接合面にゴミが無いようにする。ノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２の各接合面は、研磨等により各表面粗さを１０ｎｍ未満にするのが好ましい。   Anodic bonding will be described with reference to FIG. The nozzle plate 1, the intermediate plate 5, and the body plate 2 are sufficiently washed and dried so that there is no dust on the joint surfaces. It is preferable that the surface roughness of each joint surface of the nozzle plate 1, the intermediate plate 5, and the body plate 2 is less than 10 nm by polishing or the like.

次に、プレート固定台２０の電極２０ａ上にボディプレート２、中間プレート５、ノズルプレート１を順に重ね合わせる。電極となる押圧部材１１０をノズルプレート１の上に設けてノズルプレート１を押圧し、この状態でプレート固定台２０が備えているヒーター（図示しない）により重ね合わせた３枚のプレートを加熱する。   Next, the body plate 2, the intermediate plate 5, and the nozzle plate 1 are superimposed on the electrode 20 a of the plate fixing base 20 in this order. A pressing member 110 serving as an electrode is provided on the nozzle plate 1 to press the nozzle plate 1, and in this state, the three stacked plates are heated by a heater (not shown) provided in the plate fixing base 20.

陽極接合温度（概ね３５０℃から５５０℃の範囲）まで３枚のプレートを加熱し、陽極接合温度を維持した状態で直流電圧（概ね０．５ｋＶから２ｋＶの範囲）を３枚のプレートに印加する。具体的には、ボディプレート２に接触する電極２０ａと、押圧板１１０に接触する電極１２０とをプラスとし、中間プレート５に接触する電極１３０をマイナスとして直流電源１５０より直流電圧を３枚のプレートに印加する。   The three plates are heated to the anodic bonding temperature (approximately 350 ° C. to 550 ° C.), and a DC voltage (approximately 0.5 kV to 2 kV) is applied to the three plates while maintaining the anodic bonding temperature. . Specifically, the electrode 20a in contact with the body plate 2 and the electrode 120 in contact with the pressing plate 110 are positive, the electrode 130 in contact with the intermediate plate 5 is negative, and the DC voltage from the DC power source 150 is three plates. Apply to.

押圧部材１１０で押圧することで、３枚のプレート間の間隔を狭くして空気層を周囲に押し出し、空気が押し出された領域は、研磨等で表面粗さＲａが１０ｎｍ未満としている場合は間隔が非常に小さくなり、面同士が接触して分子間力で密着させることができる。ノズルプレート１を押圧する押圧部材１１０は、電極となる材料であれば特に限定されない。   By pressing with the pressing member 110, the space between the three plates is narrowed and the air layer is pushed out to the surroundings. When the surface roughness Ra is less than 10 nm by polishing or the like, the region where the air is pushed is spaced. Becomes very small, and the surfaces come into contact with each other and can be brought into close contact by intermolecular force. The pressing member 110 that presses the nozzle plate 1 is not particularly limited as long as it is a material that becomes an electrode.

本実施の形態では、同時に３つのプレートを接合することで製造工程を簡略化、時間短縮しているが、ボディプレート２と中間プレート５を接合し、次に中間プレート５とノズルプレート１とを接合するように順次陽極接合を行ってもよい。   In the present embodiment, the manufacturing process is simplified and the time is shortened by joining three plates at the same time. However, the body plate 2 and the intermediate plate 5 are joined, and then the intermediate plate 5 and the nozzle plate 1 are joined. Anodic bonding may be sequentially performed so as to be bonded.

（洗浄工程）
ノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２を陽極接合した流路ユニットＭの洗浄を行う。洗浄により清浄した吐出面１３に後述の撥液膜４５を形成することで、吐出面１３に対する撥液膜４５の密着力を十分に確保でき、耐久性を向上することができる。また、後述のベース電極３５を形成する場合も、上記と同様に、流路ユニットＭの底部２５の外壁面にベース電極３５の密着力を十分に確保することができる。 (Washing process)
The flow path unit M in which the nozzle plate 1, the intermediate plate 5, and the body plate 2 are anodically bonded is cleaned. By forming a later-described liquid-repellent film 45 on the ejection surface 13 that has been cleaned by cleaning, sufficient adhesion of the liquid-repellent film 45 to the ejection surface 13 can be ensured, and durability can be improved. Further, when the base electrode 35 described later is formed, the adhesion force of the base electrode 35 can be sufficiently secured to the outer wall surface of the bottom portion 25 of the flow path unit M, as described above.

洗浄方法としては、例えば超音波洗浄が有り、洗浄液は、流路ユニットＭを成す材料に浸食等の化学的変化を生じないものであれば特に限定されず、汚染物質に応じて適宜選択すれば良い。例えば、ガラスやＳｉ等の粒子汚れの除去性や脱脂力に優れているアルカリ洗剤、取り扱いが容易な中性洗剤を挙げられ、また、ＲＣＡ洗浄法を適用しても良い。   As a cleaning method, for example, there is ultrasonic cleaning, and the cleaning liquid is not particularly limited as long as it does not cause chemical change such as erosion in the material constituting the flow path unit M, and may be appropriately selected according to the contaminant. good. For example, alkaline detergents that are excellent in removal of particle dirt such as glass and Si and degreasing power, neutral detergents that are easy to handle, and RCA cleaning methods may be applied.

洗浄後、流路ユニットＭを純水によりリンス処理を行い乾燥させ、この後、更に酸素プラズマによるアッシング処理を行ってもよい。   After cleaning, the flow path unit M may be rinsed with pure water and dried, and then further ashed with oxygen plasma.

（撥液膜形成工程）
ノズルプレート１の吐出面１３に撥液膜４５を設ける。撥液膜４５を設けることで、ノズル孔１１から液体が吐出面１３に馴染むことによる染み出しや広がりを抑制することができる。撥液膜４５は、例えば液体が水性であれば撥水性を有する材料が用いられ、液体が油性であれば撥油性を有する材料が用いられる。一般に、ＦＥＰ（四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフロロエチレン）、フッ素化シロキサン、フルオロアルキルシラン、アモルファスパーフルオロ樹脂等のフッ素樹脂等が用いられることが多く、塗布方法、真空蒸着方法、浸漬方法で吐出面１３に成膜する。撥液膜４５の厚みは、撥液膜４５の材料、形成方法により適宜決めればよい。 (Liquid repellent film forming process)
A liquid repellent film 45 is provided on the ejection surface 13 of the nozzle plate 1. By providing the liquid repellent film 45, it is possible to suppress the seepage and spread due to the liquid getting into the ejection surface 13 from the nozzle hole 11. For example, a material having water repellency is used for the liquid repellent film 45, and a material having oil repellency is used if the liquid is oily. In general, fluororesins such as FEP (ethylene tetrafluoride, propylene hexafluoride), PTFE (polytetrafluoroethylene), fluorinated siloxane, fluoroalkylsilane, and amorphous perfluororesin are often used. A film is formed on the discharge surface 13 by a vacuum deposition method or an immersion method. The thickness of the liquid repellent film 45 may be appropriately determined depending on the material and the forming method of the liquid repellent film 45.

撥液膜４５は、撥液膜４５の密着性を向上させるために、下地層、例えばプラズマＣＶＤ法で形成できるＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）膜を介して成膜するのが好ましい。   In order to improve the adhesion of the liquid repellent film 45, the liquid repellent film 45 is preferably formed through an underlayer, for example, a TEOS (tetraethoxysilane) film that can be formed by a plasma CVD method.

（ベース電極形成工程）
流路ユニットＭの背面（ノズルプレート１がある側と反対側の面）の圧力室２４の位置に該当する部分（所謂振動板として機能する部分）にベース電極３５を設ける（図２、図３参照）。ベース電極３５は、この上に設ける全ての圧電素子３に電圧を印加して駆動するための共通電極として機能する。このベース電極３５の材料は、電極となる材料であれば特に限定することはなく、例えば、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｇが挙げられ、密着性を良くするためのＣｒ等の下地層を設けてもよい。ベース電極３５を形成する方法は、特に限定はなく、例えば公知のスパッタリングや真空蒸着がある。 (Base electrode formation process)
A base electrode 35 is provided on a portion corresponding to the position of the pressure chamber 24 (a portion functioning as a diaphragm) on the back surface of the flow path unit M (the surface opposite to the side where the nozzle plate 1 is present) (FIGS. 2 and 3). reference). The base electrode 35 functions as a common electrode for driving by applying a voltage to all the piezoelectric elements 3 provided thereon. The material of the base electrode 35 is not particularly limited as long as it is a material that serves as an electrode, and examples thereof include Al, Au, Cu, and Ag. An underlayer such as Cr is provided to improve adhesion. Also good. The method for forming the base electrode 35 is not particularly limited, and examples thereof include known sputtering and vacuum deposition.

（圧電素子固定工程）
振動板として機能する底部２５の外壁面に設けられたベース電極３５の上に圧電素子３を固定することに関して説明するが、説明を容易にするためベース電極３５を省いて底部２５の外壁面に圧電素子３を固定するものとして以降の説明を行う。 (Piezoelectric element fixing process)
A description will be given of fixing the piezoelectric element 3 on the base electrode 35 provided on the outer wall surface of the bottom portion 25 that functions as a diaphragm. However, for ease of explanation, the base electrode 35 is omitted and the outer wall surface of the bottom portion 25 is omitted. The following description will be made assuming that the piezoelectric element 3 is fixed.

底部２５の外壁面に圧電素子３を固定する場合、主に、後述する配置プレートの窪みに圧電素子を入れて配置する圧電素子配置工程、圧電素子に接着剤を塗布する接着剤塗布工程、及び底部２５の外壁面と圧電素子と重ね合わせて接着する接着工程とがあり、順次説明する。   When fixing the piezoelectric element 3 to the outer wall surface of the bottom portion 25, mainly, a piezoelectric element disposing step of disposing the piezoelectric element in a recess of the disposing plate which will be described later, an adhesive applying step of applying an adhesive to the piezoelectric element, and There are bonding steps in which the outer wall surface of the bottom portion 25 and the piezoelectric element are overlapped and bonded, which will be described in order.

（圧電素子配置工程）
圧電素子３は、分極方向が揃っており、直交方向の断面形状の少なくとも一方は略台形であるのが好ましく、図２、図３に示す様に直交する両方向の断面形状が略台形であるのがより好ましい。圧電素子３の断面形状が略台形であると、分極処理されたバルク型圧電素子部材を切り離して形成される圧電素子３の分極方向（極性）を容易に判別でき、また、後述する配置プレートの窪みに圧電素子３を入れて配置する際、圧電素子３の分極方向を揃えて窪みに容易に入れることができる。圧電素子３の配置プレートへ窪みに入れることに関しては、後で詳細に説明する。 (Piezoelectric element placement process)
The piezoelectric elements 3 have the same polarization direction, and at least one of the cross-sectional shapes in the orthogonal direction is preferably substantially trapezoidal, and the cross-sectional shapes in both directions orthogonal to each other are substantially trapezoidal as shown in FIGS. Is more preferable. When the cross-sectional shape of the piezoelectric element 3 is substantially trapezoidal, the polarization direction (polarity) of the piezoelectric element 3 formed by separating the bulk-type piezoelectric element member that has been subjected to the polarization treatment can be easily determined. When placing the piezoelectric element 3 in the depression, the piezoelectric element 3 can be easily placed in the depression with the polarization direction of the piezoelectric element 3 aligned. The insertion of the piezoelectric element 3 into the arrangement plate will be described in detail later.

圧電素子３の断面形状を略台形としているが、略台形に関して以下に説明する。図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、互いに平行な短い辺を上底３０１とし、長い辺を下底３０２とすると、上底３０１と下底３０２との間における上底３０１（又は下底３０２）に平行な方向の幅３Ｗが、少なくとも下底３０２の幅より小さいものであればよい。又、幅３Ｗは、上底３０１と下底３０２との間の全ての範囲で必ずしも上底３０１より大きくなくてもよく、一時的に幅３Ｗが上底３０１より小さい括れ形状であってもよい。   Although the cross-sectional shape of the piezoelectric element 3 is substantially trapezoidal, the substantially trapezoid will be described below. As shown in FIGS. 7A, 7B, and 7C, when a short side parallel to each other is an upper base 301 and a long side is a lower base 302, the upper side between the upper base 301 and the lower base 302 is the upper side. The width 3W in the direction parallel to the bottom 301 (or the lower bottom 302) may be at least smaller than the width of the lower bottom 302. Further, the width 3W does not necessarily have to be larger than the upper base 301 in the entire range between the upper base 301 and the lower base 302, and the width 3W may temporarily be a constricted shape smaller than the upper base 301. .

例えば、理想的な台形形状を示す図７（ａ）ように上底３０１の両端とこれに対向する下底３０２の両端同士を結ぶ辺が必ず直線である必要はなく、図７（ｂ）、（ｃ）に示すような内側に凹む又は外側に膨らむ曲線でもよい。また、上底３０１又は下底３０２に垂直な軸で図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のように線対称であるのが好ましいが、図７（ｄ）に示す様に線対称で無くても良い。但し、振動板に接着する複数の圧電素子３においては、複数のノズル孔からの液滴の吐出性能が均一となるように断面形状が揃っていることが好ましい。   For example, as shown in FIG. 7A showing an ideal trapezoidal shape, the side connecting both ends of the upper base 301 and both ends of the lower base 302 facing each other does not necessarily have to be a straight line. The curve may be concave inward or bulge outward as shown in (c). Moreover, it is preferable that the axis is perpendicular to the upper base 301 or the lower base 302 as shown in FIGS. 7A, 7B, and 7C. However, as shown in FIG. It does not have to be. However, it is preferable that the plurality of piezoelectric elements 3 bonded to the diaphragm have the same cross-sectional shape so that the discharge performance of droplets from the plurality of nozzle holes is uniform.

圧電素子３の形状の例を図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す。図８（ａ）は、直交する２方向Ｖ−Ｖ’、Ｗ−Ｗ’の断面形状が略台形である圧電素子３の外観を斜視図で示す。圧電素子３は、短冊状であって台形台を成し、台形台を成す互いに略平行で対向する面の内、面積の大きい方を第１主面３１０とし、面積が小さい方を第２主面３２０とする。図８（ａ）の圧電素子３を第２主面３２０側から見た様子を図８（ｂ）に示す。２方向の断面形状が略台形である圧電素子３は、後で説明する配置プレートの窪みにより容易に入れることができるより好ましい形態である。   Examples of the shape of the piezoelectric element 3 are shown in FIGS. 8A, 8B, 8C, and 8D. FIG. 8A is a perspective view showing the appearance of the piezoelectric element 3 whose cross-sectional shapes in two orthogonal directions V-V ′ and W-W ′ are substantially trapezoidal. The piezoelectric element 3 has a strip shape and forms a trapezoidal trapezoid. Of the surfaces of the trapezoidal trapezoid that are substantially parallel to each other and face each other, the larger one is the first main surface 310 and the smaller one is the second main surface. Let it be surface 320. FIG. 8B shows a state in which the piezoelectric element 3 in FIG. 8A is viewed from the second main surface 320 side. The piezoelectric element 3 having a substantially trapezoidal cross-sectional shape in two directions is a more preferable form that can be easily inserted by the depression of the arrangement plate described later.

圧電素子３の断面形状が略台形である方向は、必ず直交する２方向Ｖ−Ｖ’、Ｗ−Ｗ’である必要はなく、少なくとも１方向の断面形状が略台形であればよい。１方向の断面形状のみが略台形である圧電素子３の第２主面３２０側から見た様子を図８（ｃ）、（ｄ）に示す。図８（ｃ）では、Ｗ−Ｗ’方向の断面形状が略台形であり、図８（ｄ）では、Ｖ−Ｖ’方向の断面形状が略台形であり、図８（ｃ）のＶ−Ｖ’方向及び図８（ｄ）のＷ−Ｗ’方向の断面形状は長方形である。   The direction in which the cross-sectional shape of the piezoelectric element 3 is substantially trapezoid does not necessarily have to be two orthogonal directions V-V ′ and W-W ′, and the cross-sectional shape in at least one direction may be substantially trapezoidal. FIGS. 8C and 8D show a state in which the piezoelectric element 3 having a substantially trapezoidal shape only in one direction is viewed from the second main surface 320 side. 8C, the cross-sectional shape in the WW ′ direction is a substantially trapezoid, and in FIG. 8D, the cross-sectional shape in the VV ′ direction is a substantially trapezoid, and V− in FIG. The cross-sectional shape in the V ′ direction and the WW ′ direction in FIG. 8D is a rectangle.

図８（ａ）に示すような２方向の断面形状が略台形の短冊状で分極方向が揃っている圧電素子３は、例えば図９に示す様な圧電素子母体２０５の表裏両面に電極２０１、２０２を備え、電極方向に分極されているバルク型圧電素子部材２００を用いて以下の方法により形成することができる。   As shown in FIG. 8 (a), the piezoelectric element 3 having a substantially trapezoidal cross-sectional shape in two directions and a uniform polarization direction includes, for example, electrodes 201 on both front and back surfaces of a piezoelectric element base body 205 as shown in FIG. 202 and can be formed by the following method using a bulk type piezoelectric element member 200 polarized in the electrode direction.

図１０（ａ）に示すように、固定台８０にバルク型圧電素子部材２００を熱剥離シート等の粘着固定シート８２を介して固定し、このバルク型圧電素子部材２００の表面に、フォトリソグラフィー技術により短冊格子状のマスク８６を形成する。この後、図１０（ｂ）に示すように酸化アルミナ等の微小球を吹き付ける（矢印で示す）ブラスト加工を行う。   As shown in FIG. 10A, a bulk type piezoelectric element member 200 is fixed to a fixing base 80 via an adhesive fixing sheet 82 such as a heat release sheet, and a photolithography technique is applied to the surface of the bulk type piezoelectric element member 200. Thus, a strip lattice mask 86 is formed. Thereafter, as shown in FIG. 10B, blasting is performed (indicated by arrows) by spraying microspheres such as alumina oxide.

また、図１１に示すように、固定台８０に、バルク型圧電素子部材２００をダイシングシート等の粘着固定シート８２を介して固定し、刃先がテーパ状のブレード８４（例えば、（株）ディスコ ＮＢＣ−Ｚ１０９０ＬＧ２Ｓ３Ｔ２ ５６×０．１５×４０×４５°）を備えたダイサーを用いて直交する２方向に短冊状に切断する。尚、図１０、１１に示すバルク型圧電素子部材２００においては、上下面の電極２０１、２０２を省略している。   Further, as shown in FIG. 11, a bulk type piezoelectric element member 200 is fixed to a fixing base 80 via an adhesive fixing sheet 82 such as a dicing sheet, and a blade 84 having a tapered blade edge (for example, DISCO NBC Inc.) -Z1090LG2S3T2 56 × 0.15 × 40 × 45 °) is cut into strips in two orthogonal directions. In the bulk type piezoelectric element member 200 shown in FIGS. 10 and 11, the electrodes 201 and 202 on the upper and lower surfaces are omitted.

バルク型圧電素子部材２００を切断し、２方向の断面が略台形の短冊状の圧電素子３とした様子の一部分を図１２に示す。図１２に示す様に、圧電素子３は、バルク型圧電素子部材２００を規則正しく切断して得ることができるため、廃棄する部分の発生を抑えて、バルク型圧電素子部材２００から効率良く得ることができる。尚、断面形状を長方形とする場合は、例えば、刃先がテーパ状でない板状のブレードを用いればよい。   FIG. 12 shows a part of a state in which the bulk-type piezoelectric element member 200 is cut into a strip-shaped piezoelectric element 3 having substantially trapezoidal cross sections in two directions. As shown in FIG. 12, since the piezoelectric element 3 can be obtained by regularly cutting the bulk type piezoelectric element member 200, it is possible to obtain it efficiently from the bulk type piezoelectric element member 200 while suppressing the generation of a portion to be discarded. it can. When the cross-sectional shape is rectangular, for example, a plate-like blade whose blade edge is not tapered may be used.

上記のようにして得た断面形状が略台形の圧電素子３を流路ユニットＭの各圧力室２４の底部２５の外壁面に、以下で説明する配置プレートを用いて固定させる。   The piezoelectric element 3 having a substantially trapezoidal cross-sectional shape obtained as described above is fixed to the outer wall surface of the bottom 25 of each pressure chamber 24 of the flow path unit M by using an arrangement plate described below.

図５に示すように、配置プレート６０は、上面６１に窪み６２を備えている。この窪み６２は、流路ユニットＭにおける各圧力室２４の振動板として機能する底部２５の配置に対応する位置に設けられ、圧電素子３の第２主面３２０を窪み６２の底部に向けて窪み６２に入れられ位置決めするように保持される。   As shown in FIG. 5, the arrangement plate 60 includes a recess 62 on the upper surface 61. The depression 62 is provided at a position corresponding to the arrangement of the bottom portion 25 functioning as a diaphragm of each pressure chamber 24 in the flow path unit M, and the second principal surface 320 of the piezoelectric element 3 is depressed toward the bottom portion of the depression 62. 62 is held for positioning.

窪み６２に圧電素子３が入れられて保持されている様子を図５のＺ１−Ｚ１’位置での部分断面で図６に示す。図６（ａ）、（ｂ）においては、窪み６２の底面６２１は、第２主面３２０と接し、第２主面３２０を上面６１に対し略平行に圧電素子３を支持し、配置プレート６０の上面６１から底面６２１までの深さは、圧電素子３の厚さより小さい。このため、圧電素子３の第１主面３１０は上面６１より浮いた位置となる。   FIG. 6 shows a partial cross section at the position Z1-Z1 ′ in FIG. 5 in which the piezoelectric element 3 is held in the depression 62. 6A and 6B, the bottom surface 621 of the recess 62 is in contact with the second main surface 320, supports the piezoelectric element 3 with the second main surface 320 substantially parallel to the upper surface 61, and the arrangement plate 60. The depth from the upper surface 61 to the bottom surface 621 is smaller than the thickness of the piezoelectric element 3. For this reason, the first main surface 310 of the piezoelectric element 3 is at a position floating from the upper surface 61.

また、上面６１での窪み６２の開口は、圧電素子３を底面６２１で支持した状態で、上面６１と交差する断面形状と略同じである。このため、圧電素子３は、流路ユニットＭの底部２５の配置に対応した上面６１の位置に設けた窪み６２により位置決めされた状態で保持される。窪み６２の深さ方向に対して垂直な面と窪みの内壁面とが交差する開口横断面は、図６（ａ）のように底面６２１に向かって小さくなっても良いし、図６（ｂ）のように上面６１における開口形状と同じとして良く、特にこれらに限定しない。   The opening of the recess 62 on the upper surface 61 is substantially the same as the cross-sectional shape intersecting the upper surface 61 in a state where the piezoelectric element 3 is supported by the bottom surface 621. For this reason, the piezoelectric element 3 is held in a state of being positioned by the depression 62 provided at the position of the upper surface 61 corresponding to the arrangement of the bottom portion 25 of the flow path unit M. The cross section of the opening where the surface perpendicular to the depth direction of the recess 62 intersects with the inner wall surface of the recess may be reduced toward the bottom surface 621 as shown in FIG. The opening shape on the upper surface 61 may be the same as in FIG.

尚、底面６２１は、第２主面３２０全面と必ずしも接する必要はなく、第２主面３２０と接する部分は、例えば田の字等の格子状としてもよい。   Note that the bottom surface 621 is not necessarily in contact with the entire surface of the second main surface 320, and the portion in contact with the second main surface 320 may have a lattice shape such as a square shape.

窪み６２の別の態様として図６（ｃ）を示す。図６（ｃ）において、窪み６２の底面６２１は、第２主面３２０と接し、第２主面３２０を上面６１と略平行に圧電素子３を支持し、配置プレート６０の上面６１から底面６２１までの深さは、圧電素子３の厚さと同じである。このため、圧電素子３の第１主面３１０は上面６１と同一面内となる。   FIG. 6C shows another embodiment of the recess 62. In FIG. 6C, the bottom surface 621 of the recess 62 is in contact with the second main surface 320, supports the piezoelectric element 3 with the second main surface 320 substantially parallel to the top surface 61, and extends from the top surface 61 to the bottom surface 621 of the arrangement plate 60. The depth up to is the same as the thickness of the piezoelectric element 3. Therefore, the first main surface 310 of the piezoelectric element 3 is in the same plane as the upper surface 61.

また、上面６１での窪み６２の開口は、圧電素子３の第１主面３１０と略同じであり、圧電素子３は、流路ユニットＭの底部２５の配置に対応した上面６１の位置に設けた窪み６２により位置決めされた状態で保持される。窪み６２の深さ方向に対して垂直な面と窪みの内壁面とが交差する開口断面（開口横断面）は、第１主面３１０の大きさ未満である。このため、上面６１での開口が第１主面３１０と大きさが同じであっても、窪み６２には第１主面３１０が窪み６２の底面に向いた状態では保持されない。   The opening of the recess 62 on the upper surface 61 is substantially the same as the first main surface 310 of the piezoelectric element 3, and the piezoelectric element 3 is provided at the position of the upper surface 61 corresponding to the arrangement of the bottom 25 of the flow path unit M. It is held in a state of being positioned by the recess 62. The opening cross section (opening cross section) where the surface perpendicular to the depth direction of the recess 62 intersects the inner wall surface of the recess is less than the size of the first main surface 310. For this reason, even if the opening on the upper surface 61 is the same size as the first main surface 310, the recess 62 is not held in a state where the first main surface 310 faces the bottom surface of the recess 62.

上記で説明した窪み６２の２つの態様において、上面６１での開口から底面６２１までの窪み６２の深さ方向の開口横断面が圧電素子３の第２主面３２０より大きく第１主面３１０より小さい範囲であって、図６（ａ）、（ｃ）に示すように、圧電素子３が第２主面３２０を底面６２１に向けて窪み６２により容易に入るように、窪み６２の深さ方向に対して平行な面と窪みの内壁面とが交差する開口断面（開口縦断面）はテーパ状とするのが好ましい。尚、テーパを成す斜面は、圧電素子３が入れば良く、必ずしも直線である必要はない。   In the two embodiments of the recess 62 described above, the opening cross section in the depth direction of the recess 62 from the opening on the upper surface 61 to the bottom surface 621 is larger than the second main surface 320 of the piezoelectric element 3 and from the first main surface 310. As shown in FIGS. 6A and 6C, the depth direction of the recess 62 is such that the piezoelectric element 3 can easily enter the recess 62 with the second main surface 320 facing the bottom surface 621, as shown in FIGS. It is preferable that the opening cross section (opening vertical cross section) where the plane parallel to the inner surface intersects with the inner wall surface of the depression is tapered. In addition, the slope which comprises a taper should just contain the piezoelectric element 3, and does not necessarily need to be a straight line.

尚、図６（ａ）から（ｃ）において窪み６２の開口縦断面形状は、図８（ａ）に示す圧電素子３のＶ−Ｖ’方向に対応する図５のＺ１−Ｚ１’方向の断面形状に対して説明したが、圧電素子３のＷ−Ｗ’方向に対応する図５のＺ２−Ｚ２’方向の断面形状に対しても図６（ａ）から（ｃ）と同様であるため説明を省略する。また、図８（ｃ）、（ｄ）に示した、一方の方向の断面形状が長方形である圧電素子３が窪み６２に配置される様子の例を図６（ｄ）、（ｅ）に示す。図６（ｄ）は、図６（ａ）、（ｂ）のように第１主面３１０が上面６１より浮いている状態を示し、図６（ｅ）は、図６（ｃ）のように第１主面３１０が上面６１と同一面内である状態を示す。   6A to 6C, the opening longitudinal cross-sectional shape of the recess 62 is a cross-section in the Z1-Z1 ′ direction of FIG. 5 corresponding to the VV ′ direction of the piezoelectric element 3 shown in FIG. 8A. Although the shape has been described, the cross-sectional shape in the Z2-Z2 ′ direction in FIG. 5 corresponding to the WW ′ direction of the piezoelectric element 3 is also the same as that in FIGS. 6A to 6C. Is omitted. Further, an example of the state in which the piezoelectric element 3 having a rectangular cross-sectional shape in one direction shown in FIGS. 8C and 8D is disposed in the depression 62 is shown in FIGS. 6D and 6E. . 6D shows a state in which the first main surface 310 is lifted from the upper surface 61 as shown in FIGS. 6A and 6B, and FIG. 6E is as shown in FIG. 6C. A state in which the first main surface 310 is in the same plane as the upper surface 61 is shown.

尚、配置プレートに設ける窪み６２の実際の具体的な寸法は、圧電素子３の外形寸法の公差や底部２５の配置に対応する位置の許容誤差等を考慮して決めれば良い。   The actual specific dimension of the recess 62 provided in the arrangement plate may be determined in consideration of the tolerance of the outer dimension of the piezoelectric element 3 and the tolerance of the position corresponding to the arrangement of the bottom 25.

次に、圧電素子３を配置プレート６０の窪み６２に入れて位置決めするように保持させる。具体的には、配置プレート６０の上面６１上の任意の位置に圧力室２４の数以上の圧電素子３を置いて、図１３（ａ）に示す様に配置プレート６０を例えばモータ４００を正逆転させる等でシーソー状態に傾斜させる方法、図１３（ｂ）に示す様に配置プレート６０に例えばエアーシリンダ４１０のロッドを間欠的に配置プレートの背面に当てる等で振動を加える方法、図１３（ｃ）に示す様に配置プレートの上をへら状の部材４２０を例えばモータ等で圧電素子３に接触させて移動させる方法がある。何れの方法においても、圧電素子３を上面６１の上を移動させて、圧電素子３を窪み６２に入るようにする。これらの方法は、一つでも良いし、組み合わせても良い。   Next, the piezoelectric element 3 is held in the recess 62 of the arrangement plate 60 so as to be positioned. Specifically, the piezoelectric elements 3 equal to or more than the number of the pressure chambers 24 are placed at arbitrary positions on the upper surface 61 of the arrangement plate 60, and the arrangement plate 60 is rotated forward or backward, for example, as shown in FIG. A method of inclining to a seesaw state by, for example, applying a vibration to the arrangement plate 60 by intermittently applying a rod of the air cylinder 410 to the rear surface of the arrangement plate, as shown in FIG. There is a method in which a spatula-shaped member 420 is moved on the arrangement plate by contacting the piezoelectric element 3 with a motor or the like as shown in FIG. In any method, the piezoelectric element 3 is moved on the upper surface 61 so that the piezoelectric element 3 enters the recess 62. These methods may be used alone or in combination.

配置プレート６０の周囲には、上面６１に置かれて移動させられる圧電素子３が上面６１上から逸脱しない様に上面６１より高く突出した外周壁６５を設けておく。上記の方法によって、これまで説明した圧電素子３の形状と窪み６２の形状とから、圧電素子３は、第２主面３２０を窪み６２の底面６２１に向けて窪み６２に入り位置決めされて保持される。   An outer peripheral wall 65 that protrudes higher than the upper surface 61 is provided around the arrangement plate 60 so that the piezoelectric element 3 that is placed and moved on the upper surface 61 does not deviate from the upper surface 61. By the above method, the piezoelectric element 3 is positioned and held in the recess 62 with the second main surface 320 facing the bottom surface 621 of the recess 62 from the shape of the piezoelectric element 3 described above and the shape of the recess 62. The

（接着剤塗布工程及び接着工程）
配置プレート６０の窪み６２に配置された圧電素子３の第１主面３１０に導電性接着剤、例えば、銀ペースト、カーボンペースト等を塗布し、圧電素子３を配置した配置プレート６０に流路ユニットＭを各圧力室２４の底部２５に対応するように重ね合わせて接着する。これらに関して、図１４を用いて説明する。 (Adhesive application process and adhesion process)
A conductive adhesive, such as silver paste or carbon paste, is applied to the first main surface 310 of the piezoelectric element 3 disposed in the recess 62 of the arrangement plate 60, and the flow path unit is disposed on the arrangement plate 60 on which the piezoelectric element 3 is disposed. M is superposed and bonded so as to correspond to the bottom 25 of each pressure chamber 24. These will be described with reference to FIG.

配置プレート６０の窪み６２に配置された圧電素子３は、配置プレート６０の上面６１側に第１主面３１０が揃っている。また、圧電素子３を形成する際に母材としたバルク型圧電素子部材２００は、厚みが精度良く形成されているため、配置プレート６０の上面６１から窪み６２の底面６２１までの深さを均一とすることにより、上面６１から各圧電素子３の第１主面３１０までの高さを均一にすることができる。よって、圧電素子３は、第１主面が平面状に揃って並ぶことになる。   In the piezoelectric element 3 arranged in the depression 62 of the arrangement plate 60, the first main surface 310 is aligned on the upper surface 61 side of the arrangement plate 60. In addition, since the bulk type piezoelectric element member 200 used as a base material when forming the piezoelectric element 3 is formed with high accuracy, the depth from the upper surface 61 of the arrangement plate 60 to the bottom surface 621 of the recess 62 is uniform. Thus, the height from the upper surface 61 to the first major surface 310 of each piezoelectric element 3 can be made uniform. Accordingly, the piezoelectric elements 3 are arranged such that the first main surfaces are aligned in a planar shape.

第１主面３１０に導電性接着剤を塗布する際、第１主面３１０の高さが均一であると、塗布が容易であると共に塗布量を均一化しやすい。接着剤を塗布する方法は、公知の方法で良く、第１主面３１０が上面６１より浮いている状態の場合は、スプレー法や転写法が好ましく、第１主面３１０が上面６１と同一面内の場合は印刷やディスペンサ法が好ましい。   When the conductive adhesive is applied to the first main surface 310, if the height of the first main surface 310 is uniform, the application is easy and the application amount is easily made uniform. The method of applying the adhesive may be a known method, and when the first main surface 310 is floating from the upper surface 61, a spray method or a transfer method is preferable, and the first main surface 310 is flush with the upper surface 61. In the case of the inside, printing and a dispenser method are preferable.

図１４（ａ）はディスペンサによる接着剤塗布の例を示す。ディスペンサ７５は、配置プレート６０の窪み６２に保持されている圧電素子３の第１主面３１０に接着剤を順次塗布する。この後、図１４（ｂ）に示すように、配置プレート６０の圧電素子３の位置と流路ユニットＭの底部２５の位置とが合うように位置調整を行い、配置プレート６０に流路ユニットＭを重ねる。底部２５の外壁部に圧電素子３を固定した後、図１４（ｃ）に示すように、配置プレート６０から流路ユニットＭを離すと、各圧力室２４の底部２５の外壁面に圧電素子３が固定された流路ユニットＭを得ることができる。   FIG. 14 (a) shows an example of adhesive application by a dispenser. The dispenser 75 sequentially applies an adhesive to the first main surface 310 of the piezoelectric element 3 held in the recess 62 of the arrangement plate 60. Thereafter, as shown in FIG. 14B, the position adjustment is performed so that the position of the piezoelectric element 3 of the arrangement plate 60 and the position of the bottom portion 25 of the flow path unit M are matched, and the flow path unit M is adjusted to the arrangement plate 60. Repeat. After fixing the piezoelectric element 3 to the outer wall portion of the bottom portion 25, when the flow path unit M is separated from the arrangement plate 60 as shown in FIG. 14C, the piezoelectric element 3 is placed on the outer wall surface of the bottom portion 25 of each pressure chamber 24. Can be obtained.

（検査工程）
圧電素子３は、バルク型圧電素子部材から分極が揃っている台形台の形状で切り出されるため、電極を備えている第１主面３１０と第２主面３２０とから分極方向を容易に判別することができる。このため、流路ユニットＭに圧電素子３を固定する前に、個々の圧電素子３対して静電容量、共振周波数及び変位量等の特性を容易に検査することができ、流路ユニットＭに固定する前に不良の圧電素子３を取り除くことが容易にできる。よって、流路ユニットＭに組み付けられた圧電素子３は不良が発生せず、効率良く組み立てを行うことができる。 (Inspection process)
Since the piezoelectric element 3 is cut out from the bulk type piezoelectric element member in the shape of a trapezoidal trapezoid whose polarization is uniform, the polarization direction is easily determined from the first main surface 310 and the second main surface 320 provided with electrodes. be able to. For this reason, before fixing the piezoelectric element 3 to the flow path unit M, it is possible to easily inspect the individual piezoelectric elements 3 for characteristics such as capacitance, resonance frequency, and displacement amount. It is possible to easily remove the defective piezoelectric element 3 before fixing. Therefore, the piezoelectric element 3 assembled in the flow path unit M is not defective and can be efficiently assembled.

個々の圧電素子３を検査する場合、配置プレート６０の窪み６２で圧電素子３を保持させた後は、圧電素子３は分極方向が揃って整列した状態であるため、圧電素子３をより容易に検査することができる。具体的には、図１５に示すように、配置プレート６０の窪み６２の底面６２１に検査用電極９０を設けておいて、この窪み６２に圧電素子３を入れて保持すると、第２主面３２０の電極２０２は検査用電極９０に接触し電気的に結合される。このように圧電素子３が配置プレート６０に配列された状態で、検査用電極９０の配置プレートの外壁部に露出している部分と第１主面３１０の電極２０１に静電容量、共振周波数及び変位量等の検査を行う検査装置９５の電極端子９２、９３をそれぞれより容易に効率よく接続することができる。よって、流路ユニットＭに圧電素子３を固定する前に各圧電素子３の良否判定をより効率良く行うことができる。また、流路ユニットＭに組み付けられた圧電素子３は不良が発生せず、より効率良く記録ヘッドの製造を行うことができる。   When inspecting the individual piezoelectric elements 3, after the piezoelectric elements 3 are held in the recesses 62 of the arrangement plate 60, the piezoelectric elements 3 are aligned and aligned, so that the piezoelectric elements 3 can be more easily aligned. Can be inspected. Specifically, as shown in FIG. 15, when the inspection electrode 90 is provided on the bottom surface 621 of the recess 62 of the arrangement plate 60 and the piezoelectric element 3 is inserted and held in the recess 62, the second main surface 320. The electrode 202 contacts and is electrically coupled to the inspection electrode 90. In the state where the piezoelectric elements 3 are arranged on the arrangement plate 60 in this way, the capacitance, the resonance frequency, and the portion of the electrode 90 for inspection exposed on the outer wall portion of the arrangement plate and the electrode 201 of the first main surface 310. The electrode terminals 92 and 93 of the inspection device 95 that inspects the displacement amount can be more easily and efficiently connected. Therefore, the pass / fail judgment of each piezoelectric element 3 can be performed more efficiently before the piezoelectric element 3 is fixed to the flow path unit M. Further, the piezoelectric element 3 assembled in the flow path unit M does not cause a defect, and the recording head can be manufactured more efficiently.

（ＦＰＣ配線工程）
次に、流路ユニットＭに固定した各圧電素子３に電力を供給する配線をする。図３に示す様なＦＰＣ４２を流路ユニットＭの背面に接着剤等で固定する。流路ユニットＭの背面にＦＰＣ４２が固定され、ベース電極３５及び各圧電素子３とＦＰＣ４２と接続されている様子を図１７に示す。ＦＰＣ４２は、ベース電極３５に接続する共通配線ＣＬと各圧電素子３に接続する個別配線Ｌｉ（ｉ＝１、２、・・・）とを含んでいる。共通配線ＣＬは、銀ペースト等の導電性接着剤ＣＰでベース電極３５と電気的に接続し、各圧電素子３の電極２０２と個別配線Ｌｉとは、例えばＡｕ線をワイヤＷとしたワイヤボンディングにて接続する。 (FPC wiring process)
Next, wiring for supplying electric power to each piezoelectric element 3 fixed to the flow path unit M is provided. An FPC 42 as shown in FIG. 3 is fixed to the back surface of the flow path unit M with an adhesive or the like. FIG. 17 shows a state in which the FPC 42 is fixed to the back surface of the flow path unit M and is connected to the base electrode 35 and each piezoelectric element 3 and the FPC 42. The FPC 42 includes a common wiring CL connected to the base electrode 35 and individual wirings Li (i = 1, 2,...) Connected to each piezoelectric element 3. The common wiring CL is electrically connected to the base electrode 35 with a conductive adhesive CP such as silver paste, and the electrode 202 of each piezoelectric element 3 and the individual wiring Li are, for example, wire bonding using Au wires as wires W. Connect.

（インク供給路固定工程）
流路ユニットＭに開口しているインク供給口２１にインクを供給するためのパイプ接続部３０を接着剤等で固定する。パイプ接続部３０を流路ユニットＭに設けることで、パイプ接続部３０と別途設けるインク貯蔵部（図示しない）とをパイプで接続することができ、流路ユニットＭにインクを供給することができる。 (Ink supply path fixing process)
A pipe connecting portion 30 for supplying ink to the ink supply port 21 opened in the flow path unit M is fixed with an adhesive or the like. By providing the pipe connection part 30 in the flow path unit M, the pipe connection part 30 and a separately provided ink storage part (not shown) can be connected by a pipe, and ink can be supplied to the flow path unit M. .

以上でもって、記録ヘッドＡを完成することができる。   Thus, the recording head A can be completed.

インクジェット式記録ヘッドの一例を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view showing an example of an ink jet recording head. インクジェット式記録ヘッドの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of an inkjet recording head. インクジェット式記録ヘッドの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of an inkjet recording head. インクジェット式記録ヘッドを製造する製造工程を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the manufacturing process which manufactures an ink jet type recording head. 配置プレートに圧電素子を配置する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that a piezoelectric element is arrange | positioned to an arrangement | positioning plate. 配置プレートの窪みに圧電素子が配置されている様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the piezoelectric element is arrange | positioned in the hollow of the arrangement | positioning plate. 圧電素子の断面形状である略台形を説明する図である。It is a figure explaining the substantially trapezoid which is a cross-sectional shape of a piezoelectric element. 圧電素子の形状の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the shape of a piezoelectric element. バルク型圧電素子部材を示す図である。It is a figure which shows a bulk type piezoelectric element member. バルク型圧電素子部材から圧電素子を得る加工方法の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the processing method which obtains a piezoelectric element from a bulk type piezoelectric element member. バルク型圧電素子部材から圧電素子を得る加工方法の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the processing method which obtains a piezoelectric element from a bulk type piezoelectric element member. バルク型圧電素子部材から圧電素子を切り離した様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the piezoelectric element was cut | disconnected from the bulk type piezoelectric element member. 配置プレートの窪みに圧電素子を配置する方法を説明する図である。It is a figure explaining the method of arrange | positioning a piezoelectric element in the hollow of an arrangement | positioning plate. 流路ユニットに配置プレートに配置されている圧電素子を貼り付ける工程を示す図である。It is a figure which shows the process of affixing the piezoelectric element arrange | positioned on the arrangement | positioning plate to a flow-path unit. 配置プレートに配置された圧電素子を検査する方法を説明する図である。It is a figure explaining the method to test | inspect the piezoelectric element arrange | positioned at the arrangement | positioning plate. 陽極接合を説明する図である。It is a figure explaining anodic bonding. インクジェット式記録ヘッドにフレキシブル基板が接続されている様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the flexible substrate is connected to the inkjet recording head.

符号の説明Explanation of symbols

１ ノズルプレート
２ ボディプレート
３ 圧電素子
５ 中間プレート
１１ ノズル孔
１２ 貫通孔
２１ インク供給口
２２ 共通インク室（溝）
２３ インク供給路（溝）
２４ 圧力室（溝）
２５ 底部
３５ ベース電極
４５ 撥液膜
５０ 駆動回路
６０ 配置プレート
６１ 上面
６２ 窪み
６２１ 底面
９０ 検査用電極
２００ バルク型圧電素子部材
２０１、２０２ 電極
２０５ 圧電素子母体
３１０ 第１主面
３２０ 第２主面
Ａ 記録ヘッド
Ｍ 流路ユニット
ＣＬ 共通配線
Ｌ１、Ｌ２ 個別配線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Nozzle plate 2 Body plate 3 Piezoelectric element 5 Intermediate plate 11 Nozzle hole 12 Through hole 21 Ink supply port 22 Common ink chamber (groove)
23 Ink supply path (groove)
24 Pressure chamber (groove)
25 Bottom 35 Base electrode 45 Liquid repellent film 50 Drive circuit 60 Arrangement plate 61 Upper surface 62 Recess 621 Bottom surface 90 Inspection electrode 200 Bulk type piezoelectric element member 201, 202 Electrode 205 Piezoelectric element base 310 First main surface 320 Second main surface A Recording head M Channel unit CL Common wiring L1, L2 Individual wiring

Claims (6)

液体を液滴として吐出する複数のノズル孔に連通する圧力室と、前記圧力室の一部の壁面を形成している振動板と、前記振動板の外壁面に固定される圧電素子と、を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子は、互いに略平行に対向し、電極をそれぞれに備える第１主面と前記第１主面より面積が小さい第２主面とを有し分極方向が揃っている短冊状であり、
前記振動板の配置に対応した上面の位置に窪みが設けられている配置プレートの前記窪みに前記圧電素子を入れて配置する圧電素子配置工程と、
前記窪みに配置された前記圧電素子の前記第１主面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
前記振動板の外壁面と接着剤が塗布された前記第１主面とを対応させ、重ね合わせて接着する接着工程と、を有し、
前記窪みは、前記第１主面が前記上面と同じ方向に向いて平面状に並び、前記圧電素子を位置決めするように前記圧電素子を保持することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 A pressure chamber communicating with a plurality of nozzle holes for discharging liquid as droplets, a diaphragm forming a partial wall surface of the pressure chamber, and a piezoelectric element fixed to the outer wall surface of the diaphragm. In the manufacturing method of the provided droplet discharge head,
The piezoelectric element has a strip shape facing a substantially parallel to each other and having a first main surface provided with electrodes and a second main surface having an area smaller than that of the first main surface and having a uniform polarization direction,
A piezoelectric element arranging step of placing the piezoelectric element in the depression of the arrangement plate provided with a depression at the position of the upper surface corresponding to the arrangement of the diaphragm;
An adhesive application step of applying an adhesive to the first main surface of the piezoelectric element disposed in the depression;
An adhesion step in which the outer wall surface of the diaphragm and the first main surface to which an adhesive is applied correspond to each other and are bonded together,
The method of manufacturing a droplet discharge head, wherein the depression holds the piezoelectric element so that the first main surface is aligned in a plane with the same direction as the upper surface and the piezoelectric element is positioned. 前記圧電素子は、少なくとも１方向の断面形状が略台形であることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 The method of manufacturing a droplet discharge head according to claim 1, wherein the piezoelectric element has a substantially trapezoidal cross-sectional shape in at least one direction. 前記窪みの底面は、前記第２主面と接して前記第２主面を前記上面に対して略平行に支持し、
前記上面から前記窪みの底面までの深さは、前記圧電素子の厚さより浅く、
前記上面における前記窪みの開口は、前記窪みの底面が前記第２主面を支持した前記圧電素子が前記上面と交差してなす断面形状と略同じであることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 The bottom surface of the recess is in contact with the second main surface and supports the second main surface substantially parallel to the upper surface,
The depth from the upper surface to the bottom surface of the recess is shallower than the thickness of the piezoelectric element,
3. The opening of the depression on the upper surface is substantially the same as a cross-sectional shape formed by the piezoelectric element having the bottom surface of the depression supporting the second main surface intersecting the upper surface. A manufacturing method of a droplet discharge head described in 1. 前記窪みの底面は、前記第２主面と接して前記第２主面を前記上面に対して略平行に支持し、
前記上面から前記窪みの底面までの深さは、前記圧電素子の厚さと同じであり、
前記上面における前記窪みの開口は、前記第１主面と同じであり、
前記窪みの深さ方向に対して垂直な面と前記窪みが交差してなす開口断面及び前記窪みの底面は、前記第１主面の大きさ未満であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 The bottom surface of the recess is in contact with the second main surface and supports the second main surface substantially parallel to the upper surface,
The depth from the upper surface to the bottom surface of the recess is the same as the thickness of the piezoelectric element,
The opening of the depression on the upper surface is the same as the first main surface,
3. An opening cross section formed by intersecting a surface perpendicular to the depth direction of the recess and the recess and a bottom surface of the recess are less than the size of the first main surface. A manufacturing method of a droplet discharge head described in 1. 前記圧電素子配置工程において、
前記配置プレートの周囲は、前記圧電素子が前記上面から外れないように前記上面より突出している外周壁を備え、
前記上面の上に複数の圧電素子を任意に配置した後、前記配置プレートに振動を加える方法、前記配置プレートの上面を傾ける方法及び前記上面の上をへら状部材を移動させる方法の少なくとも何れか一つの方法により、前記上面の上の前記圧電素子を移動させ、前記窪みに前記圧電素子を入れて配置することを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 In the piezoelectric element arranging step,
The periphery of the arrangement plate includes an outer peripheral wall protruding from the upper surface so that the piezoelectric element does not come off from the upper surface,
After arbitrarily arranging a plurality of piezoelectric elements on the upper surface, at least one of a method of applying vibration to the arrangement plate, a method of tilting the upper surface of the arrangement plate, and a method of moving a spatula member over the upper surface 5. The liquid droplet ejection head according to claim 1, wherein the piezoelectric element on the upper surface is moved by one method and the piezoelectric element is placed in the recess. 6. Manufacturing method. 前記圧電素子配置工程の後、前記窪みに配置された前記圧電素子を検査する検査工程を有し、
前記配置プレートは、前記窪みの底面で前記第２主面の電極に接し、且つ前記配置プレートの外壁に露出部を有する検査用電極を備え、
前記検査工程は、前記検査用電極と前記第１主面の電極とを用いて、前記窪みに入っている圧電素子の静電容量、共振周波数及び変位量の少なくとも何れか一つを検査することを特徴とする請求項１から５の何れか一項記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 After the piezoelectric element arrangement step, the inspection step of inspecting the piezoelectric element arranged in the depression,
The arrangement plate includes an inspection electrode that is in contact with the electrode of the second main surface at a bottom surface of the depression and has an exposed portion on an outer wall of the arrangement plate;
The inspection step is to inspect at least one of capacitance, resonance frequency, and displacement of the piezoelectric element in the recess using the inspection electrode and the electrode on the first main surface. The method for manufacturing a droplet discharge head according to claim 1, wherein:
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