JP5173305B2 - 測定信号のノイズ処理方法 - Google Patents
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Description
偏光感受型光コヒーレンストモグラフィーは試料の位相遅延量(位相情報)は、一般に、位相角度で表されその値(信号)は、たとえば、0〜180度のような正の値で計算される。このように分布する信号の場合、0度あるいは180度付近の微小信号領域では、それに重畳されるノイズの分布が対称(たとえばガウス分布)であっても測定信号は対象とならない。これは、たとえば偏光感受型光コヒーレンストモグラフィーで得られる位相情報のような観測信号が正の限られた値(0度より大180度より小)しか取り得ないからである。
位相遅延量そのもの大きさは角度として計算されるため、0〜180度などの正の値をとる。一方、未知のノイズは一般的に対象な分布を持っている(図2(b)参照)。観測値は真の値にノイズが重畳したものである(図2(c)参照)。
偏光感受型光コヒーレンストモグラフィーは、前述のとおり、試料の位相遅延量の最大(あるいは最小)の方向(速軸あるいは遅軸方向)を測定することができる。速軸方向は一般に角度で表され、その値は、0〜180度のような正の値で計算される。
2 光源
3、12 偏光子
4 EO変調器(偏光変調器、電気光学変調器)
5 ファイバーカプラー(光カプラー)
6 参照アーム
7 試料アーム
8 分光器
9 ファイバー
10、15、18 偏波コントローラ
11 コリメートレンズ
13 集光レンズ
14 参照鏡(固定鏡)
16 ガルバノ鏡
17 試料
19 回折格子
20 フーリエ変換レンズ
21 偏光ビームスプリッター
22、23 光検出器(ラインCCDカメラ)
24 固定鏡
Claims (3)
- 偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー装置によって、測定信号として、試料の偏光依存性を表す偏光位相遅延量を測定し、該測定信号に基づき試料の構造を計測する場合に、偏光位相遅延量の誤差を生じる測定信号のノイズを処理する方法であって、
偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー装置による測定信号は、該測定信号に重畳されたノイズ信号が0付近であって対称ではない分布曲線を有する微小信号領域については、測定信号の最大値を真値として利用することを特徴とする測定信号のノイズ処理方法。 - 偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー装置によって、測定信号として、試料の偏光依存性を表す偏光位相遅延量を測定し、該測定信号に基づき試料の構造を計測する場合に、偏光位相遅延量の誤差を生じる測定信号のノイズを処理する方法であって、
偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー装置による測定信号は、該測定信号の信号領域が限られている場合、真値が信号領域の端に近い値の場合、それに重畳されたノイズ信号によって微小測定信号が対称ではない分布曲線を有する信号領域については、測定信号の最大値を真値として利用することを特徴とする信号領域の限られた測定信号のノイズ処理方法。 - 偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー装置によって、測定信号として、試料の偏光依存性を表す偏光位相遅延量を測定し、該測定信号に基づき試料の構造を計測する場合に、偏光位相遅延量の誤差を生じる測定信号のノイズを処理する方法であって、
偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー装置による測定信号は、真値に重畳されたノイズ信号によって測定信号が対称ではない分布曲線を有する信号については、測定信号の最大値を真値として利用することを特徴とする測定信号のノイズ処理方法。
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