JP5153288B2 - Dielectric porcelain composition and electronic component - Google Patents
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Description
本発明は、たとえば積層セラミックコンデンサの誘電体層などとして用いられる誘電体磁器組成物と、その誘電体磁器組成物を誘電体層として用いる電子部品に関する。 The present invention relates to a dielectric ceramic composition used as, for example, a dielectric layer of a multilayer ceramic capacitor, and an electronic component using the dielectric ceramic composition as a dielectric layer.
電子部品の一例である積層セラミックコンデンサは、たとえば、所定の誘電体磁器組成物からなるセラミックグリーンシートと、所定パターンの内部電極層とを交互に重ね、その後一体化して得られるグリーンチップを、同時焼成して製造される。積層セラミックコンデンサの内部電極層は、焼成によりセラミック誘電体と一体化されるために、セラミック誘電体と反応しないような材料を選択する必要があった。このため、内部電極層を構成する材料として、従来では白金やパラジウムなどの高価な貴金属を用いることを余儀なくされていた。 A multilayer ceramic capacitor, which is an example of an electronic component, includes, for example, a ceramic green sheet made of a predetermined dielectric ceramic composition and an internal electrode layer having a predetermined pattern alternately stacked, and then integrated into a green chip obtained simultaneously. Manufactured by firing. Since the internal electrode layer of the multilayer ceramic capacitor is integrated with the ceramic dielectric by firing, it is necessary to select a material that does not react with the ceramic dielectric. For this reason, as a material constituting the internal electrode layer, conventionally, an expensive noble metal such as platinum or palladium has been inevitably used.
しかしながら、近年ではニッケルや銅などの安価な卑金属を用いることができる誘電体磁器組成物が開発され、大幅なコストダウンが実現した。 However, in recent years, dielectric ceramic compositions that can use inexpensive base metals such as nickel and copper have been developed, and a significant cost reduction has been realized.
近年、電子回路の高密度化に伴う電子部品の小型化に対する要求は高く、積層セラミックコンデンサの小型化、大容量化が急速に進んでいる。それに伴い、積層セラミックコンデンサにおける1層あたりの誘電体層の薄層化が進み、薄層化してもコンデンサとしての信頼性を維持できる誘電体磁器組成物が求められている。特に、高い定格電圧で使用される中耐圧用コンデンサの小型化、大容量には、誘電体磁器組成物に対して非常に高い信頼性が要求される。 In recent years, there has been a high demand for downsizing of electronic components accompanying the increase in the density of electronic circuits, and the downsizing and increase in capacity of multilayer ceramic capacitors are rapidly progressing. Accordingly, the dielectric layer per layer in the multilayer ceramic capacitor has been thinned, and a dielectric ceramic composition that can maintain the reliability as a capacitor even when the layer is thinned is demanded. In particular, very high reliability is required for the dielectric ceramic composition in order to reduce the size and capacity of the medium voltage capacitor used at a high rated voltage.
従来、内部電極を構成する材料として卑金属を用いることができ、しかも静電容量の温度変化がEIA規格のX7R特性(−55〜125℃、ΔC=±15%以内)を満足する技術として、本出願人は、特許文献1〜2などに開示されている誘電体磁器組成物を提案した。これらの技術は、いずれも、Y2 O3 を添加し、絶縁抵抗(IR)の加速寿命を改善しようとしたものであった。しかし、急速に小型化、大容量化が進むなか、さらなる信頼性の向上が求められている。 Conventionally, a base metal can be used as a material constituting the internal electrode, and the technology in which the temperature change of the capacitance satisfies the EIA standard X7R characteristic (−55 to 125 ° C., ΔC = ± 15% or less) The applicant has proposed a dielectric ceramic composition disclosed in Patent Documents 1-2 and the like. In any of these techniques, Y 2 O 3 was added to improve the accelerated lifetime of insulation resistance (IR). However, as miniaturization and capacity increase rapidly, further improvement in reliability is required.
一方、X7R特性を満足する別の技術として、たとえば特許文献3に開示されている誘電体磁器組成物も知られている。
On the other hand, as another technique that satisfies the X7R characteristic, for example, a dielectric ceramic composition disclosed in
このような誘電体磁器組成物は、チタン酸バリウムに、ScおよびYの少なくとも1種の希土類元素の酸化物と、Gd、TbおよびDyの少なくとも1種の希土類元素の酸化物とが添加されたものである。すなわち特許文献3に開示されている技術は、チタン酸バリウムに対し、任意に分けられた2つの元素群からそれぞれ選ばれる少なくとも2種類の希土類元素の酸化物を添加することにより、EIA規格のX7R特性を満足させ、しかも絶縁抵抗の加速寿命の向上を図ろうとするものである。
In such a dielectric ceramic composition, an oxide of at least one rare earth element of Sc and Y and an oxide of at least one rare earth element of Gd, Tb, and Dy are added to barium titanate. Is. That is, the technique disclosed in
しかしながら、特許文献3に開示された技術では、X7R特性を満足させようとすると、焼成後の絶縁抵抗の加速寿命が短くなり、X7R特性と寿命とのバランスを図ることに関して課題を有していた。しかも、さらなる小型化、大容量化が進むに従い、誘電損失(tanδ)が大きくなり、DCバイアスなどの信頼性も悪化する傾向があり、これらの改善が求められていた。
特に、定格電圧の高い中耐圧用の積層セラミックコンデンサの材料として用いようとすると、この信頼性の問題から誘電体厚みを15μm以上に十分に厚くする必要があった。
なお、EIA規格のX8R特性の範囲を満たすことを目的とした温度特性の良い誘電体材料が特許文献4に開示されている。これは、温度特性を良好に保つことを目的として、希土類元素を添加しているのであって、そのため、添加する希土類元素の種類が異なっており、また希土類元素のイオン半径に着目しているものではない。
In particular, if it is intended to be used as a material for a medium-voltage multilayer ceramic capacitor having a high rated voltage, it has been necessary to sufficiently increase the dielectric thickness to 15 μm or more because of this reliability problem.
Incidentally,
本発明の目的は、焼成時の耐還元性に優れ、焼成後には優れた容量温度特性を有するとともに、絶縁抵抗の加速寿命が高められた誘電体磁器組成物を提供することである。また、本発明は、このような誘電体磁器組成物を用いて製造され、信頼性が高められた積層セラミックコンデンサなどの電子部品を提供することも目的とする。特に定格電圧の高い中耐圧用などの積層セラミックコンデンサなどの電子部品を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a dielectric ceramic composition that is excellent in reduction resistance during firing, has excellent capacity-temperature characteristics after firing, and has an accelerated accelerated life of insulation resistance. Another object of the present invention is to provide an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor manufactured using such a dielectric ceramic composition and having improved reliability. In particular, an object of the present invention is to provide an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor for a medium withstand voltage having a high rated voltage.
上記目的を達成するために、本発明の第1の観点に係る誘電体磁器組成物は、
チタン酸バリウムからなる主成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、9配位時の有効イオン半径が106pm超108pm未満の希土類元素で構成される第1元素群から選ばれる少なくとも1種。ただし、少なくともYを含む)からなる第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、9配位時の有効イオン半径が108pm〜113pmの希土類元素で構成される第2元素群から選ばれる少なくとも1種)からなる第5副成分と、
MnOおよびCr 2 O 3 の少なくとも1種からなる第6副成分と、を有しており、
前記主成分100モルに対する第5副成分の比率が、Yの比率以上であり、
前記主成分100モルに対する第6副成分の比率が、第6副成分:0.5モル以下であり、
Scの酸化物を含まない。
In order to achieve the above object, a dielectric ceramic composition according to the first aspect of the present invention comprises:
A main component consisting of barium titanate,
Oxide of R1 (where R1 is at least one effective ionic radius for coordination number 9 is selected from a first element group composed of rare earth elements of less than 106pm super 108Pm. However, at least Y) consisting of A fourth subcomponent;
Oxides of R2 (although, R2 is at least one effective ionic radius for coordination number 9 is selected from the second element group composed of rare earth elements 108Pm~113pm) and a fifth auxiliary component composed of,
A sixth subcomponent consisting of at least one of MnO and Cr 2 O 3 ,
The ratio of the fifth subcomponent to 100 moles of the main component is not less than the ratio of Y;
The ratio of the sixth subcomponent to 100 mol of the main component is the sixth subcomponent: 0.5 mol or less,
Does not contain Sc oxide .
前記第1元素群に含まれるYの有効イオン半径をryとし、前記第2元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径をr2とした場合に、ryとr2との比(r2/ry)が、1.007<(r2/ry)<1.05の関係を満足するように、前記第2元素群が構成されていることが好ましい。 When the effective ionic radius of Y contained in the first element group is ry and the effective ionic radius of the rare earth element constituting the second element group is r2, the ratio (r2 / ry) of ry to r2 is It is preferable that the second element group is configured to satisfy the relationship of 1.007 <(r2 / ry) <1.05.
前記第1元素群に含まれるYの有効イオン半径をryとし、前記第2元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径をr2とした場合に、ryとr2との比(r2/ry)が、1.007<(r2/ry)<1.03の関係を満足するように、前記第2元素群が構成されていることが好ましい。 When the effective ionic radius of Y contained in the first element group is ry and the effective ionic radius of the rare earth element constituting the second element group is r2, the ratio (r2 / ry) of ry to r2 is The second element group is preferably configured so as to satisfy the relationship of 1.007 <(r2 / ry) <1.03.
前記主成分100モルに対する、第4副成分および第5副成分の合計の比率が、10モル以下(ただし、第4副成分および第5副成分のモル数は、R1およびR2単独での比率)であることが好ましい。 The total ratio of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent to 100 mol of the main component is 10 mol or less (however, the number of moles of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent is the ratio of R1 and R2 alone) It is preferable that
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、第4副成分:0.1〜10モル(ただし、第4副成分のモル数は、R1単独での比率)、第5副成分:0.1〜10モル(ただし、第5副成分のモル数は、R2単独での比率)であることが好ましい。 The ratio of each subcomponent with respect to 100 moles of the main component is the fourth subcomponent: 0.1 to 10 moles (however, the number of moles of the fourth subcomponent is the ratio of R1 alone), the fifth subcomponent: 0. It is preferable that it is 1-10 mol (however, the number of moles of the fifth subcomponent is the ratio of R2 alone).
MgO、CaO、SrOおよびBaOから選ばれる少なくとも1種からなる第1副成分をさらに有し、前記主成分100モルに対する第1副成分の比率が、第1副成分:0.1〜5モルであることが好ましい。
It further has a first subcomponent consisting of at least one selected from MgO, CaO, SrO and BaO, and the ratio of the first subcomponent to 100 mol of the main component is the first subcomponent: 0.1 to 5 mol. Preferably there is.
SiO2 系の焼結助剤からなる第2副成分をさらに有し、前記主成分100モルに対する第2副成分の比率が、第2副成分:2〜10モルであることが好ましい。この場合において、前記焼結助剤が、(Ba,Ca)x SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)であることが好ましい。
It is preferable to further include a second subcomponent made of a SiO 2 -based sintering aid, and the ratio of the second subcomponent to 100 mol of the main component is the second subcomponent: 2 to 10 mol. In this case, it is preferable that the sintering aid is (Ba, Ca) x SiO 2 + x (where x = 0.8 to 1.2).
V2 O5 ,MoO3 およびWO3 から選ばれる少なくとも1種からなる第3副成分をさらに有し、前記主成分100モルに対する第3副成分の比率が、第3副成分:0.5モル以下であることが好ましい。
Further comprising a third auxiliary component composed of at least one kind selected from V 2 O 5, MoO 3 and WO 3, the ratio of the third subcomponent with respect to 100 moles of the main, third subcomponent: 0.5 mole The following is preferable.
前記誘電体磁器組成物を構成する誘電体粒子のそれぞれの内部には、少なくとも前記R1およびR2を含む拡散部分が存在していることが好ましい。 It is preferable that a diffusion portion containing at least R1 and R2 is present in each of the dielectric particles constituting the dielectric ceramic composition.
前記誘電体粒子は、実質的に前記R1およびR2を含まない強誘電体部分と、該強誘電体部分の周りに存在する拡散部分とを有し、
該拡散部分の周りには、粒界偏析部分が存在し、
前記拡散部分および粒界偏析部分は、少なくとも前記R1およびR2を含み、
前記拡散部分でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMAR1およびMAR2とし、前記粒界偏析部分でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMBR1およびMBR2としたときに、(MBR1/MBR2)>1、および(MAR1/MAR2)<(MBR1/MBR2)の関係を満足することが好ましい。
The dielectric particle has a ferroelectric portion substantially not including the R1 and R2, and a diffusion portion existing around the ferroelectric portion;
Around the diffusion part, there is a grain boundary segregation part,
The diffusion portion and the grain boundary segregation portion include at least the R1 and R2.
When the respective abundances of R1 and R2 in the diffusion part are MAR1 and MAR2, and the abundances of R1 and R2 in the grain boundary segregation part are MBR1 and MBR2, (MBR1 / MBR2)> 1 And (MAR1 / MAR2) <(MBR1 / MBR2).
前記拡散部分内での(MAR1/MAR2)の値が、前記粒界偏析部分側から前記強誘電体部分側に向かうに連れて漸次減少していることが好ましい。
上記第1の観点に係る誘電体磁器組成物では、以下に示す態様の第4の観点に係る発明が好ましい。
本発明の第4の観点に係る誘電体磁器組成物は、
チタン酸バリウムからなる主成分と、
MgOからなる第1副成分と、
SiO2 系の焼結助剤からなる第2副成分と、
V2 O5 からなる第3副成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、Y)からなる第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、Dy、TbおよびGdから選ばれる少なくとも1種)からなる第5副成分と、
MnOからなる第6副成分とを、有する誘電体磁器組成物であって、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜5モル、
第2副成分:2〜10モル、
第3副成分:0.5モル以下、
第6副成分:0.25モル未満である。
第4の観点では、前記主成分100モルに対する、第4副成分および第5副成分の合計の比率が、10モル以下(ただし、第4副成分および第5副成分のモル数は、R1およびR2単独での比率)であることが好ましい。
第4の観点では、前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、第4副成分:0.1〜10モル(ただし、第4副成分のモル数は、R1単独での比率)、第5副成分:0.1〜10モル(ただし、第5副成分のモル数は、R2単独での比率)であることが好ましい。
第4の観点では、前記誘電体磁器組成物を構成する誘電体粒子のそれぞれの内部には、少なくとも前記R1およびR2を含む拡散部分が存在していることが好ましい。
第4の観点では、前記誘電体粒子は、実質的に前記R1およびR2を含まない強誘電体部分と、該強誘電体部分の周りに存在する拡散部分とを有し、
該拡散部分の周りには、粒界偏析部分が存在し、
前記拡散部分および粒界偏析部分は、少なくとも前記R1およびR2を含み、
前記拡散部分でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMAR1およびMAR2とし、前記粒界偏析部分でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMBR1およびMBR2としたときに、(MBR1/MBR2)>1、および(MAR1/MAR2)<(MBR1/MBR2)の関係を満足することが好ましい。
第4の観点では、前記拡散部分内での(MAR1/MAR2)の値が、前記粒界偏析部分側から前記強誘電体部分側に向かうに連れて漸次減少していることが好ましい。
第4の観点では、前記焼結助剤が、(Ba,Ca)x SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)であることが好ましい。
It is preferable that the value of (MAR1 / MAR2) in the diffusion portion gradually decreases from the grain boundary segregation portion side toward the ferroelectric portion side.
In the dielectric ceramic composition according to the first aspect, the invention according to the fourth aspect of the following aspect is preferable.
The dielectric ceramic composition according to the fourth aspect of the present invention is:
A main component consisting of barium titanate,
A first auxiliary component composed of MgO,
A second auxiliary component composed of sintering aid SiO 2 system,
A third subcomponent consisting of V 2 O 5 ;
A fourth subcomponent consisting of an oxide of R1 (where R1 is Y);
A fifth subcomponent consisting of an oxide of R2 (wherein R2 is at least one selected from Dy, Tb and Gd);
And a sixth auxiliary component composed of MnO, a dielectric ceramic composition having,
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
1st subcomponent: 0.1-5 mol,
Second subcomponent: 2 to 10 mol,
Third subcomponent: 0.5 mol or less,
Sixth subcomponent: less than 0.25 mol.
In a fourth aspect, the total ratio of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent to 100 mol of the main component is 10 mol or less (provided that the number of moles of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent is R1 and The ratio of R2 alone is preferable.
In a fourth aspect, the ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is the fourth subcomponent: 0.1 to 10 moles (however, the number of moles of the fourth subcomponent is the ratio of R1 alone), 5 subcomponents: 0.1 to 10 moles (however, the number of moles of the fifth subcomponent is preferably a ratio of R2 alone).
In the fourth aspect, it is preferable that a diffusion portion including at least the R1 and R2 exists in each of the dielectric particles constituting the dielectric ceramic composition.
In a fourth aspect, the dielectric particle has a ferroelectric portion substantially not including the R1 and R2, and a diffusion portion existing around the ferroelectric portion;
Around the diffusion part, there is a grain boundary segregation part,
The diffusion portion and the grain boundary segregation portion include at least the R1 and R2.
When the respective abundances of R1 and R2 in the diffusion part are MAR1 and MAR2, and the abundances of R1 and R2 in the grain boundary segregation part are MBR1 and MBR2, (MBR1 / MBR2)> 1 And (MAR1 / MAR2) <(MBR1 / MBR2).
In the fourth aspect, it is preferable that the value of (MAR1 / MAR2) in the diffusion portion gradually decreases from the grain boundary segregation portion side toward the ferroelectric portion side.
In a fourth aspect, the sintering aid is preferably (Ba, Ca) x SiO 2 + x (where x = 0.8 to 1.2).
本発明に係る電子部品は、誘電体層を有する電子部品であれば、特に限定されず、たとえば誘電体層と共に内部電極層とが交互に積層してあるコンデンサ素子本体を有する積層セラミックコンデンサ素子である。本発明では、前記誘電体層が、上記いずれかの誘電体磁器組成物で構成してある。内部電極層に含まれる導電材としては、特に限定されないが、たとえばNiまたはNi合金である。
特に好ましい電子部品は、
誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層を有する電子部品であって、
前記誘電体磁器組成物が、
チタン酸バリウムからなる主成分と、
MgOからなる第1副成分と、
SiO2 系の焼結助剤からなる第2副成分と、
V2 O5 からなる第3副成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、Y)からなる第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、Dy、TbおよびGdから選ばれる少なくとも1種)からなる第5副成分と、
MnOからなる第6副成分とを、有し、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜5モル、
第2副成分:2〜10モル、
第3副成分:0.5モル以下、
第4副成分および第5副成分の合計の比率:10モル以下(ただし、第4副成分および第5副成分のモル数は、R1およびR2単独での比率)、
第6副成分:0.25モル未満であり、
前記主成分100モルに対する第5副成分の比率が、Yの比率以上であり、
Scの酸化物を含まない。
この好ましい電子部品では、前記焼結助剤が、(Ba,Ca)x SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)であることが好ましい。この好ましい電子部品では、前記誘電体層と共に、NiまたはNi合金からなる導電材を主成分とする内部電極層とが交互に積層してあるコンデンサ素子本体を有することが好ましい。
定格電圧が100V以上の中耐圧用の積層セラミックコンデンサに特に適している。
The electronic component according to the present invention is not particularly limited as long as it is an electronic component having a dielectric layer. For example, the electronic component is a multilayer ceramic capacitor element having a capacitor element body in which internal electrodes are alternately laminated together with dielectric layers. is there. In the present invention, the dielectric layer is composed of any one of the above dielectric ceramic compositions. The conductive material contained in the internal electrode layer is not particularly limited, but is Ni or Ni alloy, for example.
Particularly preferred electronic components are
An electronic component having a dielectric layer composed of a dielectric ceramic composition,
The dielectric ceramic composition is
A main component consisting of barium titanate,
A first auxiliary component composed of MgO,
A second auxiliary component composed of sintering aid SiO 2 system,
A third subcomponent consisting of V 2 O 5 ;
A fourth subcomponent consisting of an oxide of R1 (where R1 is Y);
A fifth subcomponent consisting of an oxide of R2 (wherein R2 is at least one selected from Dy, Tb and Gd);
And a sixth auxiliary component composed of MnO, has,
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
1st subcomponent: 0.1-5 mol,
Second subcomponent: 2 to 10 mol,
Third subcomponent: 0.5 mol or less,
Total ratio of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent: 10 mol or less (provided that the number of moles of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent is the ratio of R1 and R2 alone),
Sixth subcomponent: less than 0.25 mol ,
The ratio of the fifth subcomponent to 100 moles of the main component is not less than the ratio of Y;
Does not contain Sc oxide .
In this preferable electronic component, it is preferable that the sintering aid is (Ba, Ca) x SiO 2 + x (where x = 0.8 to 1.2). This preferable electronic component preferably has a capacitor element body in which the dielectric layers and internal electrode layers mainly composed of a conductive material made of Ni or Ni alloy are alternately laminated.
It is particularly suitable for a medium voltage multilayer ceramic capacitor with a rated voltage of 100V or more.
なお、本明細書に記載のイオン半径は、文献「R.D.Shannon,Acta Crystallogr.,A32,751(1976)」に基づく値である。 In addition, the ionic radius described in the present specification is a value based on the document “RD Shannon, Acta Crystallogr., A32, 751 (1976)”.
本発明者らは、希土類元素のチタン酸バリウムに対する添加効果に関して研究を進め、複数の希土類元素をチタン酸バリウムに対して添加することが、高温負荷寿命の向上に効果的である、との知見を得た。そして、希土類元素のイオン半径の大小により、希土類元素以外に、ともに添加される添加物元素の分布状態が変化し、これにより、積層セラミックコンデンサに発現する電気特性が異なってくる、との知見を得た。その後、これらを前提にさらに研究を進めた結果、添加される希土類元素のイオン半径が大きいほど、チタン酸バリウム粒子への固溶性が大きくなり、当該希土類元素が前記チタン酸バリウム粒子の内部の深い部分にまで分布する。そして、希土類元素や、添加物元素、特にアルカリ土類元素の偏析が減少する。その結果、絶縁抵抗は高くなり、高温負荷寿命などの信頼性は向上するが、比誘電率は低下し、静電容量の温度変化が大きくなり、X7R特性を満足しなくなることを確認した。その反面、添加される希土類元素のイオン半径が小さい場合には、静電容量の温度変化は小さいが、希土類元素やアルカリ土類元素が、焼結助剤として添加されるSiなどともに偏析しやすく、コンデンサとしての信頼性が低下することを確認した。 The present inventors proceeded with research on the effect of addition of rare earth elements to barium titanate, and found that adding a plurality of rare earth elements to barium titanate is effective in improving the high temperature load life. Got. And the knowledge that the distribution of the additive elements added together with the rare earth element changes depending on the ionic radius of the rare earth element, which changes the electrical characteristics expressed in the multilayer ceramic capacitor. Obtained. After that, as a result of further research on the premise of these, as the ionic radius of the rare earth element added increases, the solid solubility in the barium titanate particles increases, and the rare earth element deepens inside the barium titanate particles. Distributed to the part. And segregation of rare earth elements and additive elements, particularly alkaline earth elements, is reduced. As a result, it was confirmed that although the insulation resistance is increased and the reliability such as the high temperature load life is improved, the relative permittivity is decreased, the temperature change of the capacitance is increased, and the X7R characteristic is not satisfied. On the other hand, when the ion radius of the rare earth element added is small, the temperature change of the capacitance is small, but rare earth elements and alkaline earth elements are easily segregated together with Si added as a sintering aid. It was confirmed that the reliability as a capacitor was lowered.
そこで、本発明者らは、チタン酸バリウムに対して、希土類元素のイオン半径に着目し、イオン半径の異なる複数の希土類元素を添加する研究を進めた結果、本発明に到達したものである。 Therefore, the present inventors have reached the present invention as a result of research on adding a plurality of rare earth elements having different ionic radii, focusing on the ionic radius of rare earth elements to barium titanate.
本発明の第1の観点では、様々な有効イオン半径を持つ希土類元素群を、108pmを境に2つの元素群に分け、これらをチタン酸バリウムに対して添加している。第2の観点では、希土類元素を、Yを含む元素群と、108pm以上の有効イオン半径を持つ希土類元素群との2つの元素群に分け、これらをチタン酸バリウムに対して添加している。第3の観点では、希土類元素を、108pm未満の有効イオン半径を持つ希土類元素群と、Tbを含む元素群との2つの元素群に分け、これらをチタン酸バリウムに対して添加している。 In the first aspect of the present invention, a rare earth element group having various effective ionic radii is divided into two element groups with a boundary of 108 pm, and these are added to barium titanate. In the second aspect, the rare earth elements are divided into two element groups, that is, an element group containing Y and a rare earth element group having an effective ion radius of 108 pm or more, and these are added to barium titanate. In the third aspect, the rare earth elements are divided into two element groups, a rare earth element group having an effective ion radius of less than 108 pm and an element group containing Tb, and these are added to barium titanate.
本発明の第1〜第3の観点に係る誘電体磁器組成物では、いずれも、焼成時の耐還元性に優れ、焼成後には、比誘電率、誘電損失、絶縁抵抗、バイアス特性、破壊電圧、容量温度特性などにおいて優れた特性を有するとともに、絶縁抵抗の加速寿命が高められる。 In the dielectric ceramic composition according to the first to third aspects of the present invention, all have excellent reduction resistance during firing, and after firing, relative permittivity, dielectric loss, insulation resistance, bias characteristics, breakdown voltage In addition to having excellent characteristics such as capacity-temperature characteristics, the accelerated life of the insulation resistance is enhanced.
本発明に係る電子部品では、本発明の誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層を有するので、絶縁抵抗の加速寿命が高められている結果、その信頼性が向上する。電子部品としては、特に限定されないが、積層セラミックコンデンサ、圧電素子、チップインダクタ、チップバリスタ、チップサーミスタ、チップ抵抗、その他の表面実装(SMD)チップ型電子部品が例示される。特に第4の観点によれば、定格電圧の高い(たとえば100V以上)中耐圧用などの積層セラミックコンデンサなどに適した電子部品を提供することができる。 Since the electronic component according to the present invention has the dielectric layer composed of the dielectric ceramic composition of the present invention, the accelerated life of the insulation resistance is enhanced, and as a result, the reliability is improved. Although it does not specifically limit as an electronic component, A multilayer ceramic capacitor, a piezoelectric element, a chip inductor, a chip varistor, a chip thermistor, a chip resistor, and other surface mount (SMD) chip type electronic components are illustrated. In particular, according to the fourth aspect, it is possible to provide an electronic component suitable for a multilayer ceramic capacitor or the like having a high rated voltage (for example, 100 V or more) and a medium withstand voltage.
なお、従来技術の欄で示した特許文献3では、任意に分けられた2つの元素群からそれぞれ選ばれる複数の希土類元素を、チタン酸バリウムに対して添加した誘電体磁器組成物が開示されている。しかしながら、この公報では、本発明のように、希土類元素をその9配位時の有効イオン半径の大小により2つの元素群に分けるという発明思想は何ら開示されていない。その結果、この公報では、YとともにScを1つの元素群に属させることとしている。これについては、従来技術の欄に示した特許文献4も同様である。
Note that
これに対し、本発明ではScを除外している。なぜなら、Scは、他の希土類元素と比較してイオン半径が大きく異なるため、9配位時の有効イオン半径が規定されていないからである。したがって本発明では、YがScとともに1つの元素群に属することはない。 In contrast, the present invention excludes Sc. This is because Sc has an ionic radius that is significantly different from that of other rare earth elements, so that an effective ionic radius at the time of nine coordination is not defined. Therefore, in the present invention, Y does not belong to one element group together with Sc.
仮に、Scを有効イオン半径108pm以下の元素として用いた場合、X7R特性を満足できるが、絶縁抵抗の加速寿命を改善できる傾向にないことが確認されている(表3の試料24参照)。このような傾向を示す理由は、Scのイオン半径は、Yをはじめとしたその他の希土類元素と比較してかなり小さいため、その他の希土類元素と比較してチタン酸バリウム粒子への固溶性が大きく異なり、アルカリ土類元素の偏析を抑制する効果がないためであると考えられる。
If Sc is used as an element having an effective ion radius of 108 pm or less, it has been confirmed that the X7R characteristic can be satisfied, but the accelerated life of the insulation resistance does not tend to be improved (see
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図、
図2(A)は本実施例の試料9を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析して表されたMgの偏析状態を示す写真、図2(B)は同試料を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析して表された希土類元素の偏析状態を示す写真、
図3(A)は比較例の試料19を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析して表されたMgの偏析状態を示す写真、図3(B)は同試料を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析して表された希土類元素の偏析状態を示す写真、
図4(A)は比較例の試料24を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析して表されたMgの偏析状態を示す写真、図4(B)は同試料を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析して表された希土類元素の偏析状態を示す写真、
図5(A)は比較例の試料18を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析して表されたMgの偏析状態を示す写真、図5(B)は同試料を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析して表された希土類元素の偏析状態を示す写真、
図6は本実施例の試料21と同一の組成であるが、BaTiO3 の粒径を1μmとした試料21−1を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をTEMにより観察した写真、
図7(A)は図6の誘電体磁器組成物に含まれる誘電体粒子の微細構造を模式的に表した模式図、図7(B)は同図(A)の誘電体粒子の各領域における希土類元素R1およびR2の分布濃度(存在量)を分析し、これを模式的に表した図、
図8は本発明の実施例と比較例のそれぞれの試料を用いたコンデンサの容量温度特性を示すグラフである。
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2A is a photograph showing the segregation state of Mg expressed by EPMA analysis of the microstructure of the dielectric ceramic composition using the sample 9 of this example, and FIG. 2B is the same sample. A photograph showing the segregation state of rare earth elements expressed by EPMA analysis of the microstructure of the dielectric ceramic composition;
3A is a photograph showing the segregation state of Mg expressed by EPMA analysis of the microstructure of the dielectric ceramic composition using the sample 19 of the comparative example, and FIG. 3B is a dielectric using the sample. A photograph showing the segregation state of rare earth elements represented by EPMA analysis of the microstructure of the body porcelain composition;
4A is a photograph showing the segregation state of Mg expressed by EPMA analysis of the microstructure of the dielectric ceramic composition using the
FIG. 5A is a photograph showing the segregation state of Mg expressed by EPMA analysis of the microstructure of the dielectric ceramic composition using the sample 18 of the comparative example, and FIG. 5B is a dielectric using the sample. A photograph showing the segregation state of rare earth elements represented by EPMA analysis of the microstructure of the body porcelain composition;
FIG. 6 shows a photograph of the microstructure of the dielectric ceramic composition using the sample 21-1 having the same composition as that of the
FIG. 7A is a schematic diagram schematically showing the fine structure of the dielectric particles contained in the dielectric ceramic composition of FIG. 6, and FIG. 7B is each region of the dielectric particles of FIG. Analysis of the distribution concentration (abundance) of rare earth elements R1 and R2 in FIG.
FIG. 8 is a graph showing the capacitance-temperature characteristics of capacitors using the samples of the examples of the present invention and the comparative examples.
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層された構成のコンデンサ素子本体10を有する。このコンデンサ素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。コンデンサ素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよいが、通常、(0.6〜5.6mm)×(0.3〜5.0mm)×(0.3〜1.9mm)程度である。
As shown in FIG. 1, a multilayer
内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。
The
誘電体層2は、本発明の誘電体磁器組成物を含有する。
第1の観点に係る誘電体磁器組成物では、チタン酸バリウム(好ましくは、組成式Bam TiO2+m で表され、mが0.995≦m≦1.010であり、BaとTiとの比が0.995≦Ba/Ti≦1.010である)を含む主成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、9配位時の有効イオン半径が108pm未満の希土類元素で構成される第1元素群から選ばれる少なくとも1種)を含む第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、9配位時の有効イオン半径が108pm〜113pmの希土類元素で構成される第2元素群から選ばれる少なくとも1種)を含む第5副成分とを、有する。
The
In the dielectric ceramic composition according to the first aspect, barium titanate (preferably represented by the composition formula Ba m TiO 2 + m , m is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, and the ratio of Ba to Ti Including 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010),
A fourth subcomponent including an oxide of R1 (wherein R1 is at least one selected from a first element group composed of rare earth elements having an effective ionic radius of 9 coordination of less than 108 pm);
And a second subcomponent including an oxide of R2 (wherein R2 is at least one selected from a second element group composed of rare earth elements having an effective ion radius of 108 pm to 113 pm at the time of 9 coordination) .
第1の観点では、前記第1元素群には、Y(107.5pm)、Ho(107.2pm)、Er(106.2pm)、Tm(105.2pm)、Yb(104.2pm)およびLu(103.2pm)が含まれる。また、第1の観点では、前記第2元素群には、Dy(108.3pm)、Tb(109.5pm)、Gd(110.7pm)、およびEu(112pm)が含まれる。Sm(113.2pm)、Pm(114.4pm)、Nd(116.3pm)、Pr(117.9pm)、Ce(119.6pm)およびLa(121.6pm)については、本発明では除かれる。これらのSm、Pm、Nd、Pr、CeおよびLaは、9配位時の有効イオン半径が113pmを超える希土類元素であるからである。括弧内の数字は9配位時の有効イオン半径を示す。以下同様である。なお、Scについては本発明では除かれる。Scについては9配位時の有効イオン半径が規定されていないからである。 In the first aspect, the first element group includes Y (107.5 pm), Ho (107.2 pm), Er (106.2 pm), Tm (105.2 pm), Yb (104.2 pm), and Lu. (103.2pm) is included. In the first aspect, the second element group includes Dy (108.3 pm), Tb (109.5 pm), Gd (110.7 pm), and Eu (112 pm). Sm (113.2 pm), Pm (114.4 pm), Nd (116.3 pm), Pr (117.9 pm), Ce (119.6 pm) and La (121.6 pm) are excluded in the present invention. This is because these Sm, Pm, Nd, Pr, Ce and La are rare earth elements having an effective ion radius of more than 113 pm at the time of nine coordination. The numbers in parentheses indicate effective ionic radii at the time of nine coordination. The same applies hereinafter. Note that Sc is excluded in the present invention. This is because the effective ionic radius at the time of nine coordination is not defined for Sc.
第1の観点では、前記第1元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径が106pm超であることが好ましい。このような第1元素群には、Y、Ho、Erが含まれる。第1元素群の中で有効イオン半径が小さい希土類元素を用いると、異相(偏析)が発生することがある。異相が発生すると、チタン酸バリウム粒子への固溶性が低下し、最終的にはコンデンサとしての信頼性が低下するおそれがある。
そこで、前記第1元素群を構成する希土類元素の中でも、有効イオン半径が大きいものを用いることがより好ましく、特に好ましくは、有効イオン半径が107pm超の前記第1元素群を構成する希土類元素を用いる。このような第1元素群には、Y、Hoが含まれる。より好ましくは、Yである。
In the first aspect, it is preferable that the effective ion radius of the rare earth element constituting the first element group is more than 106 pm. Such first element group includes Y, Ho, and Er. When a rare earth element having a small effective ion radius is used in the first element group, a heterogeneous phase (segregation) may occur. When the heterogeneous phase is generated, the solid solubility in the barium titanate particles is lowered, and the reliability as the capacitor may be lowered eventually.
Accordingly, among the rare earth elements constituting the first element group, those having a large effective ion radius are more preferably used, and particularly preferably, the rare earth elements constituting the first element group having an effective ion radius exceeding 107 pm are used. Use. Such a first element group includes Y and Ho. More preferably, it is Y.
第1の観点では、前記第1元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径をr1とし、前記第2元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径をr2とした場合に、r1とr2との比(r2/r1)が、1.007<r2/r1<1.06の関係を満足するように、前記第1元素群および前記第2元素群が構成されていることが好ましい。 In the first aspect, when the effective ion radius of the rare earth element constituting the first element group is r1, and the effective ion radius of the rare earth element constituting the second element group is r2, the relationship between r1 and r2 The first element group and the second element group are preferably configured so that the ratio (r2 / r1) satisfies a relationship of 1.007 <r2 / r1 <1.06.
第2の観点に係る誘電体磁器組成物では、チタン酸バリウム(好ましくは、組成式Bam TiO2+m で表され、mが0.995≦m≦1.010であり、BaとTiとの比が0.995≦Ba/Ti≦1.010である)を含む主成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、9配位時の有効イオン半径が108pm未満の希土類元素で構成される第1元素群から選ばれる少なくとも1種。ただし、少なくともYを含む)を含む第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、9配位時の有効イオン半径が108pm〜113pmの希土類元素で構成される第2元素群から選ばれる少なくとも1種)を含む第5副成分とを、有する。
In the dielectric ceramic composition according to the second aspect, barium titanate (preferably represented by the composition formula Ba m TiO 2 + m , m is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, and the ratio of Ba to Ti Including 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010),
A fourth element including an oxide of R1 (wherein R1 is at least one selected from a first element group composed of rare earth elements having an effective ionic radius of less than 108 pm in 9-coordination, including at least Y) Subcomponents,
And a second subcomponent including an oxide of R2 (wherein R2 is at least one selected from a second element group composed of rare earth elements having an effective ion radius of 108 pm to 113 pm at the time of 9 coordination) .
第2の観点では、前記第1元素群が、Yのみで構成されていることが好ましい。また、第2の観点では、前記第2元素群には、Dy、Tb、Gd、およびEuが含まれる。より好ましくはTbである。すなわち、YとTbの組み合わせが最も好ましい。 In the second aspect, it is preferable that the first element group is composed of only Y. In the second aspect, the second element group includes Dy, Tb, Gd, and Eu. More preferably, it is Tb. That is, the combination of Y and Tb is most preferable.
第2の観点では、前記第1元素群に含まれるYの有効イオン半径をryとし、前記第2元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径をr2とした場合に、ryとr2との比(r2/ry)が、1.007<(r2/ry)<1.05の関係を満足するように、前記第2元素群が構成されていることが好ましい。このような第2元素群には、Dy、Tb、Gd、Euが含まれる。 In a second aspect, when the effective ion radius of Y included in the first element group is ry and the effective ion radius of the rare earth element constituting the second element group is r2, the ratio of ry to r2 The second element group is preferably configured so that (r2 / ry) satisfies a relationship of 1.007 <(r2 / ry) <1.05. Such a second element group includes Dy, Tb, Gd, and Eu.
第2の観点では、前記第1元素群に含まれるYの有効イオン半径をryとし、前記第2元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径をr2とした場合に、ryとr2との比(r2/ry)が、1.007<(r2/ry)<1.03の関係を満足するように、前記第2元素群が構成されていることが好ましい。このような第2元素群には、Dy、Tb、Gdが含まれる。 In a second aspect, when the effective ion radius of Y included in the first element group is ry and the effective ion radius of the rare earth element constituting the second element group is r2, the ratio of ry to r2 The second element group is preferably configured so that (r2 / ry) satisfies a relationship of 1.007 <(r2 / ry) <1.03. Such a second element group includes Dy, Tb, and Gd.
第3の観点に係る誘電体磁器組成物では、チタン酸バリウム(好ましくは、組成式Bam TiO2+m で表され、mが0.995≦m≦1.010であり、BaとTiとの比が0.995≦Ba/Ti≦1.010である)を含む主成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、9配位時の有効イオン半径が108pm未満の希土類元素で構成される第1元素群から選ばれる少なくとも1種)を含む第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、9配位時の有効イオン半径が108pm〜113pmの希土類元素で構成される第2元素群から選ばれる少なくとも1種。ただし、少なくともTbを含む)を含む第5副成分とを、有する。
In the dielectric ceramic composition according to the third aspect, barium titanate (preferably represented by the composition formula Ba m TiO 2 + m , m is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, and the ratio of Ba to Ti Including 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010),
A fourth subcomponent including an oxide of R1 (wherein R1 is at least one selected from a first element group composed of rare earth elements having an effective ionic radius of 9 coordination of less than 108 pm);
R2 includes an oxide of R2 (wherein R2 is at least one selected from a second element group composed of rare earth elements having an effective ionic radius of 108 pm to 113 pm at the time of nine coordination, but includes at least Tb). 5 subcomponents.
第3の観点では、前記第1元素群には、Y、Ho、Er、Tm、YbおよびLuが含まれる。また、第3の観点では、前記第2元素群が、Tbのみで構成されていることが好ましい。 In a third aspect, the first element group includes Y, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu. Moreover, in the 3rd viewpoint, it is preferable that the said 2nd element group is comprised only by Tb.
第3の観点では、前記第1元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径をr1とし、前記第2元素群に含まれるTbの有効イオン半径をrtbとした場合に、r1とrtbとの比(rtb/r1)が、1.018<rtb/r1<1.062の関係を満足するように、前記第1元素群が構成されていることが好ましい。このような第1元素群には、Y、Ho、Er、Tm、Yb、Luが含まれる。 In a third aspect, when the effective ion radius of the rare earth element constituting the first element group is r1, and the effective ion radius of Tb contained in the second element group is rtb, the ratio between r1 and rtb The first element group is preferably configured so that (rtb / r1) satisfies the relationship of 1.018 <rtb / r1 <1.062. Such a first element group includes Y, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu.
第3の観点では、前記第1元素群を構成する希土類元素の有効イオン半径をr1とし、前記第2元素群に含まれるTbの有効イオン半径をrtbとした場合に、r1とrtbとの比(rtb/r1)が、1.018<rtb/r1<1.022の関係を満足するように、前記第1元素群が構成されていることが好ましい。このような第1元素群には、Y、Hoが含まれる。 In a third aspect, when the effective ion radius of the rare earth element constituting the first element group is r1, and the effective ion radius of Tb contained in the second element group is rtb, the ratio between r1 and rtb The first element group is preferably configured so that (rtb / r1) satisfies the relationship of 1.018 <rtb / r1 <1.022. Such a first element group includes Y and Ho.
本発明の誘電体磁器組成物では、前記主成分100モルに対する第5副成分の比率が、Yの比率以上であることが好ましい。ただし、第5副成分の比率が多すぎると、静電容量の温度特性が悪化するおそれがある。このため、第5副成分とYとの比率は、より好ましくは第5副成分:Y=50〜90%:10〜50%、さらに好ましくは第5副成分:Y=50〜70%:30〜50%である。 In the dielectric ceramic composition of the present invention, the ratio of the fifth subcomponent with respect to 100 moles of the main component is preferably equal to or greater than the ratio of Y. However, if the ratio of the fifth subcomponent is too large, the temperature characteristics of the capacitance may be deteriorated. For this reason, the ratio of the fifth subcomponent to Y is more preferably the fifth subcomponent: Y = 50 to 90%: 10 to 50%, and more preferably the fifth subcomponent: Y = 50 to 70%: 30. ~ 50%.
本発明の誘電体磁器組成物では、前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、第4副成分:0.1〜10モル、および第5副成分:0.1〜10モルであることが好ましく、より好ましくは、第4副成分:0.2〜5モル、および第5副成分:0.2〜5モルである。
第4副成分の比率は、R1酸化物のモル数ではなく、R1単独のモル比である。すなわち、例えば第4副成分としてY酸化物を用いた場合、第4副成分の比率が1モルであることは、Y2 O3 の比率が1モルなのではなく、Yの比率が1モルであることを意味する。第5副成分の比率は、R2酸化物のモル数ではなく、R2単独のモル比である。すなわち、例えば第5副成分としてTbの酸化物を用いた場合、第5副成分の比率が1モルであることは、Tb4 O7 の比率が1モルなのではなく、Tbの比率が1モルであることを意味する。
In the dielectric ceramic composition of the present invention, the ratio of each subcomponent to 100 mol of the main component is the fourth subcomponent: 0.1 to 10 mol and the fifth subcomponent: 0.1 to 10 mol. More preferably, the fourth subcomponent is 0.2 to 5 mol, and the fifth subcomponent is 0.2 to 5 mol.
The ratio of the fourth subcomponent is not the number of moles of the R1 oxide but the mole ratio of R1 alone. That is, for example, when a Y oxide is used as the fourth subcomponent, the ratio of the fourth subcomponent is 1 mol. The ratio of Y 2 O 3 is not 1 mol but the ratio of Y is 1 mol. It means that there is. The ratio of the fifth subcomponent is not the number of moles of the R2 oxide but the mole ratio of R2 alone. That is, for example, when the oxide of Tb is used as the fifth subcomponent, the ratio of the fifth subcomponent is 1 mol because the ratio of Tb 4 O 7 is not 1 mol but the ratio of Tb is 1 mol. It means that.
本発明の誘電体磁器組成物において、第4副成分(R1の酸化物)は、容量温度特性を平坦化する効果を示す。第4副成分の含有量が少なすぎると、このような効果が不十分となり、容量温度特性が悪くなってしまう。一方、含有量が多すぎると、焼結性が悪化する傾向にある。第4副成分のうちでは、特性改善効果が高く、しかも安価であることから、Y酸化物、Ho酸化物が好ましく、より好ましくはY酸化物である。 In the dielectric ceramic composition of the present invention, the fourth subcomponent (R1 oxide) exhibits the effect of flattening the capacity-temperature characteristics. When there is too little content of a 4th subcomponent, such an effect will become inadequate and a capacity | capacitance temperature characteristic will worsen. On the other hand, if the content is too large, the sinterability tends to deteriorate. Among the fourth subcomponents, Y oxides and Ho oxides are preferable, and Y oxides are more preferable because of high effect of improving characteristics and low cost.
本発明の誘電体磁器組成物において、第5副成分(R2の酸化物)は、絶縁抵抗(IR)、IR寿命およびDCバイアスを改善する効果を示す。ただし、R2酸化物の含有量が多すぎると、容量温度特性が悪化する傾向にある。第5副成分のうちでは、特性改善効果が高いことから、Dy酸化物、Tb酸化物、Gd酸化物が好ましく、より好ましくはTb酸化物である。 In the dielectric ceramic composition of the present invention, the fifth subcomponent (R2 oxide) exhibits an effect of improving insulation resistance (IR), IR lifetime, and DC bias. However, when the content of the R2 oxide is too large, the capacity-temperature characteristic tends to deteriorate. Among the fifth subcomponents, Dy oxide, Tb oxide, and Gd oxide are preferable because the effect of improving characteristics is high, and Tb oxide is more preferable.
本発明の誘電体磁器組成物では、前記主成分100モルに対する、第4副成分および第5副成分の合計の比率が、好ましくは10モル以下、より好ましくは5モル以下である。ただし、第4副成分および第5副成分のモル数は、R1およびR2単独での比率である。焼結性を良好に保つためである。 In the dielectric ceramic composition of the present invention, the total ratio of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 10 mol or less, more preferably 5 mol or less. However, the number of moles of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent is a ratio of R1 and R2 alone. This is for maintaining good sinterability.
本発明の誘電体磁器組成物には、必要に応じ、MgO、CaO、SrOおよびBaOから選ばれる少なくとも1種を含む第1副成分がさらに添加してあることが好ましい。前記主成分100モルに対する第1副成分の比率は、好ましくは0.1〜5モルである。第1副成分の含有量が少なすぎると、容量温度変化率が大きくなってしまう。一方、含有量が多すぎると、焼結性が悪化する。なお、第1副成分中における各酸化物の構成比率は任意である。 The dielectric ceramic composition of the present invention preferably further includes a first subcomponent containing at least one selected from MgO, CaO, SrO and BaO as necessary. The ratio of the first subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 0.1 to 5 mol. When there is too little content of a 1st subcomponent, a capacity | capacitance temperature change rate will become large. On the other hand, when there is too much content, sinterability will deteriorate. The composition ratio of each oxide in the first subcomponent is arbitrary.
本発明の誘電体磁器組成物には、SiO2 系の焼結助剤を含む第2副成分がさらに添加してあることが好ましい。この場合に、前記焼結助剤が、(Ba,Ca)x SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)であることがさらに好ましい。 It is preferable that the dielectric ceramic composition of the present invention further includes a second subcomponent containing a SiO 2 -based sintering aid. In this case, it is further preferable that the sintering aid is (Ba, Ca) x SiO 2 + x (where x = 0.8 to 1.2).
前記主成分100モルに対する第2副成分の比率は、好ましくは2〜10モル、より好ましくは2〜5モルである。第2副成分中に(Ba,Ca)x SiO2+x が含まれる場合において、第2副成分中のBaOおよびCaOは第1副成分にも含まれるが、複合酸化物である(Ba,Ca)x SiO2+x は融点が低いため主成分に対する反応性が良好なので、本実施形態ではBaOおよび/またはCaOを上記複合酸化物としても添加することが好ましい。第2副成分の含有量が少なすぎると、容量温度特性が悪くなり、また、IR(絶縁抵抗)が低下する。一方、含有量が多すぎると、IR寿命が不十分となるほか、誘電率の急激な低下が生じてしまう。(Ba,Ca)x SiO2+x におけるxは、好ましくは0.8〜1.2であり、より好ましくは0.9〜1.1である。xが小さすぎると、すなわちSiO2 が多すぎると、主成分に含まれるチタン酸バリウムと反応して誘電体特性を悪化させてしまう。一方、xが大きすぎると、融点が高くなって焼結性を悪化させるため、好ましくない。なお、第2副成分においてBaとCaとの比率は任意であり、一方だけを含有するものであってもよい。 The ratio of the second subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 2 to 10 mol, more preferably 2 to 5 mol. In the case where (Ba, Ca) x SiO 2 + x is contained in the second subcomponent, BaO and CaO in the second subcomponent are also contained in the first subcomponent, but are complex oxides (Ba, Ca). Since x SiO 2 + x has a low melting point, it has good reactivity with respect to the main component. Therefore, in this embodiment, it is preferable to add BaO and / or CaO as the composite oxide. When the content of the second subcomponent is too small, the capacity-temperature characteristic is deteriorated and IR (insulation resistance) is lowered. On the other hand, if the content is too large, the IR lifetime becomes insufficient, and a rapid decrease in dielectric constant occurs. X in (Ba, Ca) x SiO 2 + x is preferably 0.8 to 1.2, more preferably 0.9 to 1.1. If x is too small, that is, if SiO 2 is too much, it reacts with barium titanate contained in the main component and deteriorates dielectric properties. On the other hand, if x is too large, the melting point becomes high and the sinterability is deteriorated, which is not preferable. In the second subcomponent, the ratio of Ba and Ca is arbitrary, and may contain only one.
本発明の誘電体磁器組成物には、V2 O5 ,MoO3 およびWO3 から選ばれる少なくとも1種を含む第3副成分がさらに添加してあることが好ましい。前記主成分100モルに対する第3副成分の比率は、好ましくは0.5モル以下、より好ましくは0.01〜0.1モルである。第3副成分は、キュリー温度以上での容量温度特性を平坦化する効果と、IR寿命を向上させる効果とを示す。第3副成分の含有量が少なすぎると、このような効果が不十分となる。一方、含有量が多すぎると、IRが著しく低下する。なお、第3副成分中における各酸化物の構成比率は任意である。 It is preferable that the dielectric ceramic composition of the present invention further includes a third subcomponent including at least one selected from V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3 . The ratio of the third subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 0.5 mol or less, more preferably 0.01 to 0.1 mol. The third subcomponent exhibits the effect of flattening the capacity-temperature characteristic above the Curie temperature and the effect of improving the IR lifetime. If the content of the third subcomponent is too small, such an effect becomes insufficient. On the other hand, when there is too much content, IR will fall remarkably. The constituent ratio of each oxide in the third subcomponent is arbitrary.
本発明の誘電体磁器組成物には、MnOおよびCr2 O3 の少なくとも1種を含む第6副成分がさらに添加してあることが好ましい。この第6副成分は、焼結を促進する効果と、IRを高くする効果と、IR寿命を向上させる効果とを示す。このような効果を十分に得るためには、前記主成分100モルに対する第6副成分の比率が0.01モル以上であることが好ましい。ただし、第6副成分の含有量が多すぎると容量温度特性に悪影響を与えるので、好ましくは0.5モル以下とする。CR積を向上させるためには、より好ましくは0.25モル未満とする。 It is preferable that a sixth subcomponent containing at least one of MnO and Cr 2 O 3 is further added to the dielectric ceramic composition of the present invention. The sixth subcomponent exhibits an effect of promoting sintering, an effect of increasing IR, and an effect of improving the IR life. In order to sufficiently obtain such an effect, the ratio of the sixth subcomponent with respect to 100 mol of the main component is preferably 0.01 mol or more. However, if the content of the sixth subcomponent is too large, the capacity-temperature characteristic is adversely affected. In order to improve CR product, it is more preferably less than 0.25 mol.
本発明の誘電体磁器組成物には、上記各酸化物のほか、Al2 O3 が含まれていてもよい。Al2 O3 は容量温度特性にあまり影響を与えず、焼結性、IRおよびIR寿命を改善する効果を示す。ただし、Al2 O3 の含有量が多すぎると焼結性が悪化してIRが低くなるため、前記主成分100モルに対するAl2 O3 の比率は、好ましくは1モル以下、さらに好ましくは、誘電体磁器組成物全体の1モル以下である。 The dielectric ceramic composition of the present invention may contain Al 2 O 3 in addition to the above oxides. Al 2 O 3 does not significantly affect the capacity-temperature characteristics, and shows the effect of improving the sinterability, IR and IR life. However, if the content of Al 2 O 3 is too large, the sinterability deteriorates and the IR decreases, so the ratio of Al 2 O 3 to 100 mol of the main component is preferably 1 mol or less, more preferably, It is 1 mol or less of the whole dielectric ceramic composition.
なお、本明細書では、主成分および各副成分を構成する各酸化物を化学量論組成で表しているが、各酸化物の酸化状態は、化学量論組成から外れるものであってもよい。ただし、各副成分の上記比率は、各副成分を構成する酸化物に含有される金属量から上記化学量論組成の酸化物に換算して求める。 Note that, in this specification, each oxide constituting the main component and each subcomponent is represented by a stoichiometric composition, but the oxidation state of each oxide may be out of the stoichiometric composition. . However, the said ratio of each subcomponent is calculated | required by converting into the oxide of the said stoichiometric composition from the metal amount contained in the oxide which comprises each subcomponent.
なお、Sr,ZrおよびSnの少なくとも1種が、ペロブスカイト構造を構成する主成分中のBaまたはTiを置換している場合、キュリー温度が低温側にシフトするため、125℃以上での容量温度特性が悪くなる。このため、これらの元素を含むBaTiO3 [例えば(Ba,Sr)TiO3 ]を主成分として用いないことが好ましい。ただし、不純物として含有されるレベル(誘電体磁器組成物全体の0.1モル%程度以下)であれば、特に問題はない。 In addition, when at least one of Sr, Zr, and Sn substitutes Ba or Ti in the main component constituting the perovskite structure, the Curie temperature shifts to the low temperature side, so the capacity-temperature characteristics at 125 ° C. or higher Becomes worse. For this reason, it is preferable not to use BaTiO 3 [for example, (Ba, Sr) TiO 3 ] containing these elements as a main component. However, there is no particular problem as long as the level is contained as an impurity (about 0.1 mol% or less of the entire dielectric ceramic composition).
誘電体層2の厚さは、一層あたり、通常、40μm以下、特に30μm以下である。厚さの下限は、通常、0.5μm程度である。なお、誘電体層2の積層数は、通常2〜1000程度とする。
The thickness of the
誘電体層2は、たとえば図7(A)に示すように、誘電体粒子22と、該誘電体粒子22の周りに存在する粒界偏析部分24とで構成される。なお、同図での符号25は粒界を示す。誘電体粒子22は、強誘電体部分222と、該強誘電体部分222の周りに存在する拡散部分224とを有する。強誘電体部分222は、実質的に前記R1およびR2を含まないことが好ましい。実質的に前記R1およびR2を含まないとは、完全に強誘電体部分で構成されているものの他、本発明の作用効果を奏することができる程度にまでR1およびR2を含有しているものをも含む趣旨である。
For example, as shown in FIG. 7A, the
拡散部分224および粒界偏析部分24には、少なくとも前記R1およびR2が固溶していることが好ましい。
It is preferable that at least the R1 and R2 are dissolved in the
より好ましくは、粒界偏析部分24には、R1の方がR2より多く固溶している。すなわち粒界偏析部分24でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMBR1およびMBR2としたときに、(MBR1/MBR2)>1の関係を満足することがより好ましい。
More preferably, in the grain
より好ましくは、拡散部分224には、粒子22の内部方向(粒界偏析部分24側から強誘電体部分222側)に向かうに連れて、R2が多く固溶している。すなわち拡散部分224でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMAR1およびMAR2としたときの(MAR1/MAR2)の値が、前記粒界偏析部分24側から前記強誘電体部分222側に向かうに連れて漸次減少していることがより好ましい。
More preferably, a large amount of R2 is dissolved in the
より好ましくは、拡散部分224でのR1およびR2の存在量の比(MAR1/MAR2)の値が、粒界偏析部分24でのR1およびR2の存在量の比(MBR1/MBR2)の値よりも小さい。すなわち(MAR1/MAR2)<(MBR1/MBR2)の関係を満足することがより好ましい。 More preferably, the ratio of the abundance of R1 and R2 in the diffusion portion 224 (MAR1 / MAR2) is greater than the ratio of the abundance of R1 and R2 in the grain boundary segregation portion 24 (MBR1 / MBR2). small. That is, it is more preferable to satisfy the relationship of (MAR1 / MAR2) <(MBR1 / MBR2).
こうした構造の誘電体粒子22を有することで、誘電体磁器組成物の、−55℃〜125℃の温度範囲での容量温度依存性が小さくなり、絶縁抵抗の加速寿命(高温負荷寿命)が高められる。
By having the
誘電体粒子22の平均結晶粒径は、特に限定されず、誘電体層2の厚さなどに応じて例えば0.1〜5μmの範囲から適宜決定すればよい。容量温度特性は、一層あたりの誘電体層2が薄いほど悪化し、また、平均結晶粒径を小さくするほど悪化する傾向にある。このため、本発明の誘電体磁器組成物は、平均結晶粒径を小さくする必要がある場合に、具体的には、平均結晶粒径が0.1〜0.5μmである場合に特に有効である。また、平均結晶粒径を小さくすれば、IR寿命が長くなり、また、直流電界下での容量の経時変化が少なくなるため、この点からも平均結晶粒径は上記のように小さいことが好ましい。
上記第1〜3の観点に係る誘電体磁器組成物では、以下に示す態様の第4の観点に係る発明が好ましい。
本発明の第4の観点に係る誘電体磁器組成物は、
チタン酸バリウムを含む主成分と、
MgOを含む第1副成分と、
SiO2 系の焼結助剤を含む第2副成分と、
V2 O5 を含む第3副成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、Y)を含む第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、Dy、TbおよびGdから選ばれる少なくとも1種)を含む第5副成分と、
MnOを含む第6副成分とを、有する誘電体磁器組成物であって、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜5モル、
第2副成分:2〜10モル、
第3副成分:0.5モル以下、
第6副成分:0.25モル未満である。
第4の観点では、前記主成分100モルに対する、第4副成分および第5副成分の合計の比率が、10モル以下(ただし、第4副成分および第5副成分のモル数は、R1およびR2単独での比率)であることが好ましい。
第4の観点では、前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、第4副成分:0.1〜10モル(ただし、第4副成分のモル数は、R1単独での比率)、第5副成分:0.1〜10モル(ただし、第5副成分のモル数は、R2単独での比率)であることが好ましい。
第4の観点では、前記誘電体磁器組成物を構成する誘電体粒子22のそれぞれの内部には、少なくとも前記R1およびR2を含む拡散部分224が存在していることが好ましい。
第4の観点では、前記誘電体粒子22は、実質的に前記R1およびR2を含まない強誘電体部分222と、該強誘電体部分222の周りに存在する拡散部分224とを有し、
該拡散部分224の周りには、粒界偏析部分24が存在し、
前記拡散部分224および粒界偏析部分24は、少なくとも前記R1およびR2を含み、
前記拡散部分224でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMAR1およびMAR2とし、前記粒界偏析部分24でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMBR1およびMBR2としたときに、(MBR1/MBR2)>1、および(MAR1/MAR2)<(MBR1/MBR2)の関係を満足することが好ましい。
第4の観点では、前記拡散部分224内での(MAR1/MAR2)の値が、前記粒界偏析部分24側から前記強誘電体部分222側に向かうに連れて漸次減少していることが好ましい。
第4の観点では、前記焼結助剤が、(Ba,Ca)x SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)であることが好ましい。
The average crystal grain size of the
In the dielectric ceramic composition according to the first to third aspects, the invention according to the fourth aspect of the aspect described below is preferable.
The dielectric ceramic composition according to the fourth aspect of the present invention is:
A main component comprising barium titanate;
A first subcomponent comprising MgO;
A second subcomponent comprising a SiO 2 -based sintering aid;
A third subcomponent comprising V 2 O 5 ;
A fourth subcomponent comprising an oxide of R1 (where R1 is Y);
A fifth subcomponent containing an oxide of R2 (wherein R2 is at least one selected from Dy, Tb and Gd);
A dielectric ceramic composition having a sixth subcomponent containing MnO,
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
1st subcomponent: 0.1-5 mol,
Second subcomponent: 2 to 10 mol,
Third subcomponent: 0.5 mol or less,
Sixth subcomponent: less than 0.25 mol.
In a fourth aspect, the total ratio of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent to 100 mol of the main component is 10 mol or less (provided that the number of moles of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent is R1 and The ratio of R2 alone is preferable.
In a fourth aspect, the ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is the fourth subcomponent: 0.1 to 10 moles (however, the number of moles of the fourth subcomponent is the ratio of R1 alone), 5 subcomponents: 0.1 to 10 moles (however, the number of moles of the fifth subcomponent is preferably a ratio of R2 alone).
In the fourth aspect, it is preferable that a
In a fourth aspect, the
Around the
The
When the respective abundances of R1 and R2 in the
In the fourth aspect, it is preferable that the value of (MAR1 / MAR2) in the
In a fourth aspect, the sintering aid is preferably (Ba, Ca) x SiO 2 + x (where x = 0.8 to 1.2).
内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金としては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。なお、NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよい。内部電極層3の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、0.5〜5μm、特に0.5〜2.5μm程度であることが好ましい。
The conductive material contained in the
外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いることができる。外部電極4の厚さは用途等に応じて適宜決定されればよいが、通常、10〜50μm程度であることが好ましい。
The conductive material contained in the
本発明の誘電体磁器組成物を用いた積層セラミックコンデンサは、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。 In the multilayer ceramic capacitor using the dielectric ceramic composition of the present invention, as in the conventional multilayer ceramic capacitor, a green chip is produced by a normal printing method or sheet method using a paste, and this is fired, and then externally It is manufactured by printing or transferring an electrode and firing. Hereinafter, the manufacturing method will be specifically described.
まず、誘電体層用ペーストに含まれる誘電体磁器組成物粉末を準備し、これを塗料化して、誘電体層用ペーストを調整する。 First, the dielectric ceramic composition powder contained in the dielectric layer paste is prepared, and this is made into a paint to prepare the dielectric layer paste.
誘電体層用ペーストは、誘電体磁器組成物粉末と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水系の塗料であってもよい。 The dielectric layer paste may be an organic paint obtained by kneading a dielectric ceramic composition powder and an organic vehicle, or may be a water-based paint.
誘電体磁器組成物粉末としては、上記した酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。誘電体磁器組成物粉末中の各化合物の含有量は、焼成後に上記した誘電体磁器組成物の組成となるように決定すればよい。
塗料化する前の状態で、誘電体磁器組成物粉末の粒径は、通常、平均粒径0.1〜3μm程度である。
As the dielectric ceramic composition powder, the above-described oxides, mixtures thereof, and composite oxides can be used. In addition, various compounds that become the above-described oxides and composite oxides by firing, such as carbonates and An acid salt, a nitrate, a hydroxide, an organometallic compound, or the like can be appropriately selected and mixed for use. What is necessary is just to determine content of each compound in a dielectric ceramic composition powder so that it may become a composition of the above-mentioned dielectric ceramic composition after baking.
The particle size of the dielectric ceramic composition powder is usually about 0.1 to 3 [mu] m in average before the coating.
有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法など、利用する方法に応じて、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。 An organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from usual various binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. Further, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, toluene, and the like, depending on a method to be used such as a printing method or a sheet method.
また、誘電体層用ペーストを水系の塗料とする場合には、水溶性のバインダや分散剤などを水に溶解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよい。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定されず、例えば、ポリビニルアルコール、セルロース、水溶性アクリル樹脂などを用いればよい。 Further, when the dielectric layer paste is used as a water-based paint, a water-based vehicle in which a water-soluble binder or a dispersant is dissolved in water and a dielectric material may be kneaded. The water-soluble binder used for the water-based vehicle is not particularly limited, and for example, polyvinyl alcohol, cellulose, water-soluble acrylic resin, or the like may be used.
内部電極層用ペーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。
外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製すればよい。
The internal electrode layer paste is obtained by kneading the above-mentioned organic vehicle with various conductive metals and alloys as described above, or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. that become the above-mentioned conductive materials after firing. Prepare.
The external electrode paste may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.
上記した各ペースト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常の含有量、例えば、バインダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度とすればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は、10重量%以下とすることが好ましい。 There is no restriction | limiting in particular in content of the organic vehicle in each above-mentioned paste, For example, what is necessary is just about 1-5 weight% of binders, for example, about 10-50 weight% of binders. Each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like as necessary. The total content of these is preferably 10% by weight or less.
印刷法を用いる場合、誘電体層用ペーストおよび内部電極層用ペーストを、PET等の基板上に積層印刷し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグリーンチップとする。 When the printing method is used, the dielectric layer paste and the internal electrode layer paste are laminated and printed on a substrate such as PET, cut into a predetermined shape, and then peeled from the substrate to obtain a green chip.
また、シート法を用いる場合、誘電体層用ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグリーンチップとする。 When the sheet method is used, a dielectric layer paste is used to form a green sheet, the internal electrode layer paste is printed thereon, and these are stacked to form a green chip.
焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処理を施す。脱バインダ処理は、内部電極層ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、脱バインダ雰囲気中の酸素分圧を10−45 〜105 Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると、脱バインダ効果が低下する。また酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 Before firing, the green chip is subjected to binder removal processing. The binder removal treatment may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste. However, when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen partial pressure in the binder removal atmosphere is 10 It is preferable to be −45 to 10 5 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the binder removal effect is lowered. If the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to oxidize.
また、それ以外の脱バインダ条件としては、昇温速度を好ましくは5〜300℃/時間、より好ましくは10〜100℃/時間、保持温度を好ましくは180〜400℃、より好ましくは200〜350℃、温度保持時間を好ましくは0.5〜24時間、より好ましくは2〜20時間とする。また、焼成雰囲気は、空気もしくは還元性雰囲気とすることが好ましく、還元性雰囲気における雰囲気ガスとしては、たとえばN2 とH2 との混合ガスを加湿して用いることが好ましい。 As other binder removal conditions, the temperature rising rate is preferably 5 to 300 ° C./hour, more preferably 10 to 100 ° C./hour, and the holding temperature is preferably 180 to 400 ° C., more preferably 200 to 350. The temperature holding time is preferably 0.5 to 24 hours, more preferably 2 to 20 hours. The firing atmosphere is preferably air or a reducing atmosphere, and as an atmosphere gas in the reducing atmosphere, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used after being humidified.
グリーンチップ焼成時の雰囲気は、内部電極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、10−8〜10−4Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結を起こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 The atmosphere at the time of green chip firing may be appropriately determined according to the type of conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen content in the firing atmosphere The pressure is preferably 10 −8 to 10 −4 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode layer may be abnormally sintered and may be interrupted. Further, when the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.
また、焼成時の保持温度は、好ましくは1100〜1400℃、より好ましくは1200〜1350℃である。保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分となり、前記範囲を超えると、内部電極層の異常焼結による電極の途切れや、内部電極層構成材料の拡散による容量温度特性の悪化、誘電体磁器組成物の還元が生じやすくなる。 Moreover, the holding temperature at the time of baking becomes like this. Preferably it is 1100-1400 degreeC, More preferably, it is 1200-1350 degreeC. If the holding temperature is lower than the above range, the densification becomes insufficient. Reduction of the body porcelain composition is likely to occur.
これ以外の焼成条件としては、昇温速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300℃/時間、温度保持時間を好ましくは0.5〜8時間、より好ましくは1〜3時間、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300℃/時間とする。また、焼成雰囲気は還元性雰囲気とすることが好ましく、雰囲気ガスとしてはたとえば、N2 とH2 との混合ガスを加湿して用いることが好ましい。 As other firing conditions, the rate of temperature rise is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour, and the temperature holding time is preferably 0.5 to 8 hours, more preferably 1 to 3 hours. The time and cooling rate are preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour. Further, the firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere, and as the atmosphere gas, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used by humidification.
還元性雰囲気中で焼成した場合、コンデンサ素子本体にはアニールを施すことが好ましい。アニールは、誘電体層を再酸化するための処理であり、これによりIR寿命を著しく長くすることができるので、信頼性が向上する。 When firing in a reducing atmosphere, it is preferable to anneal the capacitor element body. Annealing is a process for re-oxidizing the dielectric layer, and this can significantly increase the IR lifetime, thereby improving the reliability.
アニール雰囲気中の酸素分圧は、10−3Pa以上、特に10−2〜10Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再酸化が困難であり、前記範囲を超えると内部電極層が酸化する傾向にある。 The oxygen partial pressure in the annealing atmosphere is preferably 10 −3 Pa or more, particularly preferably 10 −2 to 10 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, it is difficult to reoxidize the dielectric layer, and when it exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.
アニールの際の保持温度は、1100℃以下、特に500〜1100℃とすることが好ましい。保持温度が前記範囲未満であると誘電体層の酸化が不十分となるので、IRが低く、また、IR寿命が短くなりやすい。一方、保持温度が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化して容量が低下するだけでなく、内部電極層が誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性の悪化、IRの低下、IR寿命の低下が生じやすくなる。なお、アニールは昇温過程および降温過程だけから構成してもよい。すなわち、温度保持時間を零としてもよい。この場合、保持温度は最高温度と同義である。 The holding temperature at the time of annealing is preferably 1100 ° C. or less, particularly 500 to 1100 ° C. When the holding temperature is lower than the above range, the dielectric layer is not sufficiently oxidized, so that the IR is low and the IR life tends to be short. On the other hand, if the holding temperature exceeds the above range, not only the internal electrode layer is oxidized and the capacity is lowered, but the internal electrode layer reacts with the dielectric substrate, the capacity temperature characteristic is deteriorated, the IR is lowered, the IR Life is likely to decrease. Note that annealing may be composed of only a temperature raising process and a temperature lowering process. That is, the temperature holding time may be zero. In this case, the holding temperature is synonymous with the maximum temperature.
これ以外のアニール条件としては、温度保持時間を好ましくは0〜20時間、より好ましくは2〜10時間、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは100〜300℃/時間とする。また、アニールの雰囲気ガスとしては、たとえば、加湿したN2 ガス等を用いることが好ましい。 As other annealing conditions, the temperature holding time is preferably 0 to 20 hours, more preferably 2 to 10 hours, and the cooling rate is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 100 to 300 ° C./hour. . Further, as the annealing atmosphere gas, for example, humidified N 2 gas or the like is preferably used.
上記した脱バインダ処理、焼成およびアニールにおいて、N2 ガスや混合ガス等を加湿するには、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は5〜75℃程度が好ましい。 In the above-described binder removal processing, firing and annealing, for example, a wetter or the like may be used to wet the N 2 gas or mixed gas. In this case, the water temperature is preferably about 5 to 75 ° C.
脱バインダ処理、焼成およびアニールは、連続して行なっても、独立に行なってもよい。 The binder removal treatment, firing and annealing may be performed continuously or independently.
上記のようにして得られたコンデンサ素子本体に、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷または転写して焼成し、外部電極4を形成する。外部電極用ペーストの焼成条件は、例えば、加湿したN2 とH2 との混合ガス中で600〜800℃にて10分間〜1時間程度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、外部電極4表面に、めっき等により被覆層を形成する。
このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。
The capacitor element body obtained as described above is subjected to end surface polishing, for example, by barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is printed or transferred and baked to form the
The multilayer ceramic capacitor of the present invention thus manufactured is mounted on a printed circuit board by soldering or the like and used for various electronic devices.
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々なる態様で実施し得ることは勿論である。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to such embodiment at all, Of course, in the range which does not deviate from the summary of this invention, it can implement in various aspects. .
たとえば、上述した実施形態では、本発明に係る電子部品として積層セラミックコンデンサを例示したが、本発明に係る電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限定されず、上記組成の誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層を有するものであれば何でも良い。 For example, in the above-described embodiment, the multilayer ceramic capacitor is exemplified as the electronic component according to the present invention. However, the electronic component according to the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and is composed of a dielectric ceramic composition having the above composition. Any material having a dielectric layer can be used.
以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明はこれら実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described based on further detailed examples, but the present invention is not limited to these examples.
実施例1
それぞれ粒径0.1〜1μmの主成分原料および副成分原料を用意した。MgOおよびMnOの原料には炭酸塩を用い、他の原料には酸化物を用いた。また、第2副成分の原料には、主成分原料100モルに対して3モルの(Ba0.6 Ca0.4 )SiO3 を用いた。3モルの(Ba0.6 Ca0.4 )SiO3 は、1.8モルのBaCO3 、1.2モルのCaCO3 および3モルのSiO2 とをボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥後、1150℃で空気中で焼成し、さらに、ボールミルにより100時間湿式粉砕することにより製造した。これらの原料を、焼成後の組成が表1に示すものとなるように配合して、ボールミルにより16時湿式混合し、乾燥して誘電体原料を得た。
すなわち、本実施例の試料(試料8,9,16,17)では、R1(第4副成分)とR2(第5副成分)とが含まれているが、比較例の試料(試料1〜5,10,11,18)では、R1(第4副成分)か、R2(第5副成分)のいずれかしか含まれていない。
Example 1
A main component material and subcomponent materials each having a particle size of 0.1 to 1 μm were prepared. Carbonates were used as the raw materials for MgO and MnO, and oxides were used as the other raw materials. In addition, the raw material of the second subcomponent, 3 moles of (Ba 0.6 Ca 0.4) SiO 3 was used for the
That is, the sample of the present example (
なお、試料1ではScがさらに含まれている。また、試料18ではSmが含まれている。本実施例の試料では、R1(第4副成分)をYに固定し、R2(第5副成分)の種類を変化させたものである。
Note that
得られた誘電体原料100重量部と、アクリル樹脂4.8重量部と、塩化メチレン40重量部と、酢酸エチル20重量部と、ミネラルスピリット6重量部と、アセトン4重量部とをボールミルで混合し、ペースト化して誘電体層用ペーストを得た。 100 parts by weight of the obtained dielectric material, 4.8 parts by weight of acrylic resin, 40 parts by weight of methylene chloride, 20 parts by weight of ethyl acetate, 6 parts by weight of mineral spirit, and 4 parts by weight of acetone are mixed by a ball mill. The paste was made into a dielectric layer paste.
平均粒径0.2〜0.8μmのNi粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース8重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解したもの)40重量部と、ブチルカルビトール10重量部とを3本ロールにより混練し、ペースト化して内部電極層用ペーストを得た。 100 parts by weight of Ni particles having an average particle size of 0.2 to 0.8 μm, 40 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol), and 10 parts by weight of butyl carbitol It knead | mixed with 3 rolls and was made into the paste and obtained the paste for internal electrode layers.
得られた誘電体層用ペーストを用いてPETフィルム上にグリーンシートを形成した。この上に内部電極用ペーストを印刷した後、PETフィルムからシートを剥離した。次いで、これらのグリーンシートと保護用グリーンシート(内部電極層用ペーストを印刷しないもの)とを積層、圧着して、グリーンチップを得た。 Using the obtained dielectric layer paste, a green sheet was formed on a PET film. After the internal electrode paste was printed thereon, the sheet was peeled from the PET film. Next, these green sheets and protective green sheets (not printed with internal electrode layer paste) were laminated and pressure-bonded to obtain green chips.
次いで、グリーンチップを所定サイズに切断し、脱バインダ処理、焼成およびアニールを下記条件にて行って、積層セラミック焼成体を得た。脱バインダ処理条件は、昇温速度:30℃/時間、保持温度:260℃、温度保持時間:8時間、雰囲気:空気中とした。焼成条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:1280℃、温度保持時間:2時間、冷却速度:200℃/時間、雰囲気ガス:加湿したN2 +H2 混合ガス(酸素分圧:10−6Pa)とした。アニール条件は、保持温度:900℃、温度保持時間:9時間、冷却速度:300℃/時間、雰囲気ガス:加湿したN2 ガス(酸素分圧:10−2Pa)とした。なお、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿には、水温を35℃としたウエッターを用いた。 Next, the green chip was cut into a predetermined size and subjected to binder removal processing, firing and annealing under the following conditions to obtain a multilayer ceramic fired body. The binder removal treatment conditions were temperature rising rate: 30 ° C./hour, holding temperature: 260 ° C., temperature holding time: 8 hours, and atmosphere: in the air. Firing conditions were: temperature rising rate: 200 ° C./hour, holding temperature: 1280 ° C., temperature holding time: 2 hours, cooling rate: 200 ° C./hour, atmospheric gas: humidified N 2 + H 2 mixed gas (oxygen partial pressure: 10 −6 Pa). The annealing conditions were: holding temperature: 900 ° C., temperature holding time: 9 hours, cooling rate: 300 ° C./hour, atmospheric gas: humidified N 2 gas (oxygen partial pressure: 10 −2 Pa). Note that a wetter with a water temperature of 35 ° C. was used for humidifying the atmospheric gas during firing and annealing.
次いで、得られた積層セラミック焼成体の端面をサンドブラストにて研磨した後、外部電極としてIn−Gaを塗布し、図1に示す積層セラミックコンデンサのサンプルを得た。 Next, after polishing the end face of the obtained multilayer ceramic fired body by sand blasting, In-Ga was applied as an external electrode to obtain a sample of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG.
得られたコンデンササンプルのサイズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであり、内部電極層に挟まれた誘電体層の数は4、1層あたりの誘電体層の厚み(層間厚み)は約11.5μmまたは約9.5μmであり、内部電極層の厚さは1.5μmであった。各サンプルについて下記特性の評価を行った。 The size of the obtained capacitor sample is 3.2 mm × 1.6 mm × 0.6 mm, the number of dielectric layers sandwiched between internal electrode layers is 4, the thickness of the dielectric layers per layer (interlayer thickness) ) Was about 11.5 μm or about 9.5 μm, and the thickness of the internal electrode layer was 1.5 μm. The following characteristics were evaluated for each sample.
比誘電率(ε)、誘電損失(tanδ)、絶縁抵抗(IR)、CR積
コンデンサのサンプルに対し、基準温度25℃において、デジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1kHz,入力信号レベル(測定電圧)1Vrmsの条件下で、静電容量を測定した。そして、得られた静電容量から、比誘電率(単位なし)を算出した。その後、絶縁抵抗計(アドバンテスト社製R8340A)を用いて、25℃においてDC100Vを、コンデンササンプルに60秒間印加した後の絶縁抵抗IRを測定した。
For a sample of relative permittivity (ε), dielectric loss (tan δ), insulation resistance (IR), and CR product capacitor, at a reference temperature of 25 ° C., a digital LCR meter (YHP 4274A),
CR積は、静電容量(C,μF)と、絶縁抵抗(IR,MΩ)との積で表した。 誘電損失(tanδ)は、基準温度25℃において、デジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1kHz,入力信号レベル(測定電圧)1Vrmsの条件下で測定した。 The CR product is represented by the product of capacitance (C, μF) and insulation resistance (IR, MΩ). The dielectric loss (tan δ) was measured with a digital LCR meter (4274A manufactured by YHP) at a reference temperature of 25 ° C. under a frequency of 1 kHz and an input signal level (measurement voltage) of 1 Vrms.
比誘電率εは、小型で高誘電率のコンデンサを作成するために重要な特性である。本実施例では、比誘電率εの値は、コンデンサの試料数n=10個を用いて測定した値の平均値とし、好ましくは1800以上を良好とした。
本実施例では、誘電損失tanδの値は、コンデンサの試料数n=10個を用いて測定した値の平均値とし、好ましくは1.1%未満を良好、より好ましくは1.0%未満を良好とした。結果を表1に示す。
The relative dielectric constant ε is an important characteristic for producing a small and high dielectric constant capacitor. In this example, the value of the relative dielectric constant ε was an average value of values measured using the number of capacitor samples n = 10, and preferably 1800 or more.
In this example, the value of the dielectric loss tan δ is an average value of values measured using n = 10 capacitor samples, preferably less than 1.1%, more preferably less than 1.0%. It was good. The results are shown in Table 1.
静電容量の温度特性1
コンデンサのサンプルに対し、デジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1kHz、入力信号レベル(測定電圧)1Vrmsの条件下で、静電容量を測定し、基準温度を25℃としたとき、−55〜125℃の温度範囲内で、温度に対する静電容量変化率(ΔC/C)がEIA規格のX7R特性を満足するかどうかを調べ、満足する場合を○、満足しない場合を×とし、結果を表1に示す。
For the capacitor sample, the capacitance was measured with a digital LCR meter (YHP 4274A) under the conditions of a frequency of 1 kHz and an input signal level (measurement voltage) of 1 Vrms. In the temperature range of −55 to 125 ° C., it is examined whether the capacitance change rate (ΔC / C) with respect to the temperature satisfies the X7R characteristic of the EIA standard. The results are shown in Table 1.
DCバイアス特性(誘電率の直流電圧印加依存性)
コンデンサのサンプルに対し、一定温度(25℃)において、徐々に直流電圧をかけていった際の誘電率の変化(単位は%)を算出した(測定条件は4V/μm)。本実施例では、DCバイアス特性は、10個のコンデンササンプルを用いて測定・算出した値の平均値とし、好ましくは±(プラスマイナス)30%以内を良好とした。結果を表1に示す。本実施例の代表的な試料9については、高い電圧をかけても誘電率が減少しにくく、安定したDCバイアス特性を有することが確認された。
DC bias characteristics (dependence of dielectric constant on DC voltage application)
A change in dielectric constant (unit:%) when a DC voltage was gradually applied to a capacitor sample at a constant temperature (25 ° C.) was calculated (measurement condition was 4 V / μm). In this embodiment, the DC bias characteristic is an average value of values measured and calculated using ten capacitor samples, and preferably within ± (plus or minus) 30%. The results are shown in Table 1. It was confirmed that the representative sample 9 of this example has a stable DC bias characteristic because the dielectric constant hardly decreases even when a high voltage is applied.
高温負荷寿命(絶縁抵抗の加速寿命)
コンデンサのサンプルに対し、200℃で10V/μm、17.4V/μm、21V/μmの直流電圧の印加状態に保持することにより、高温負荷寿命を測定した。この高温負荷寿命は、誘電体層を薄層化する際に特に重要となるものである。本実施例では印加開始から抵抗が一桁落ちるまでの時間を寿命と定義し、これを10個のコンデンササンプルに対して行い、その平均寿命時間を算出した。結果を表1に示す。
High temperature load life (accelerated life of insulation resistance)
The capacitor sample was held at 200 ° C. in a DC voltage application state of 10 V / μm, 17.4 V / μm, and 21 V / μm to measure the high temperature load life. This high temperature load life is particularly important when the dielectric layer is thinned. In this example, the time from the start of application until the resistance drops by an order of magnitude was defined as the lifetime, and this was performed for 10 capacitor samples, and the average lifetime was calculated. The results are shown in Table 1.
破壊電圧
コンデンサのサンプルに対し、直流電圧を昇温速度100V/sec.で印加し、100mAの漏洩電流を検知するか、または素子の破壊時の電圧(破壊電圧、単位はV/μm)を測定した。本実施例では、破壊電圧は、10個のコンデンササンプルを用いて測定した値の平均値とし、好ましくは80V/μm以上を良好とした。結果を表1に示す。
A DC voltage was applied to a breakdown voltage capacitor sample at a heating rate of 100 V / sec. And a leakage current of 100 mA was detected, or a voltage at the time of destruction of the element (breakdown voltage, unit: V / μm) was measured. In this example, the breakdown voltage was an average value of values measured using 10 capacitor samples, and preferably 80 V / μm or more. The results are shown in Table 1.
表1(表2〜6も含む)中、絶縁抵抗(IR)の数値において、「mE+n」は「m×10+n」を意味する。 In Table 1 (including Tables 2 to 6), “mE + n” means “m × 10 + n ” in the numerical value of insulation resistance (IR).
表1に示すように、R1(第4副成分)とR2(第5副成分)とが含まれている本実施例の試料を用いたサンプルは、X7R特性を満足し、しかも、比誘電率および絶縁抵抗が十分に高く、誘電損失は問題なく、CR積が良好で、DCバイアス特性、高温負荷寿命、破壊電圧も良好であることが判明した。本実施例のサンプルは、X7R特性のほか、EIA規格のB特性も満足することが確認された。 これに対し、ScやR1(第4副成分)のみが含まれている比較例の試料(試料1〜5)を用いたサンプルでは、X7R特性は満足するが、高温負荷寿命または誘電損失が悪化することが確認できた。また、R2(第5副成分)のみが含まれている比較例の試料(試料11)を用いたサンプルでは、X7R特性すら満足せず、しかも誘電損失やDCバイアス、破壊電圧などの特性も悪化することが確認できた。
As shown in Table 1, the sample using the sample of this example containing R1 (fourth subcomponent) and R2 (fifth subcomponent) satisfies the X7R characteristic, and has a relative dielectric constant. It was also found that the insulation resistance was sufficiently high, the dielectric loss was satisfactory, the CR product was good, the DC bias characteristics, the high temperature load life, and the breakdown voltage were also good. It was confirmed that the sample of this example satisfies the B characteristic of the EIA standard in addition to the X7R characteristic. In contrast, in the sample using the comparative sample (
実施例2
下記表2に示す組成を有するサンプル(ただし、1層あたりの誘電体層の厚み(層間厚み)=9.5μm)を、実施例1と同様にして作製した。本実施例の試料(試料21〜23,23−1)では、R1(第4副成分)とR2(第5副成分)とが含まれているが、比較例の試料(試料24,19,20)では、R1(第4副成分)か、R2(第5副成分)のいずれかしか含まれていない。なお、試料24ではScがさらに含まれている。本実施例の試料では、R2(第5副成分)をTbに固定し、R1(第4副成分)の種類を変化させたものである。これらのサンプルについて、実施例1と同様な測定を行った。結果を表2に示す。
Example 2
A sample having the composition shown in Table 2 below (however, the thickness of the dielectric layer per one layer (interlayer thickness) = 9.5 μm) was produced in the same manner as in Example 1. In the samples of this example (
表2に示すように、R1(第4副成分)とR2(第5副成分)とが含まれている本実施例の試料を用いたサンプルは、X7R特性を満足し、しかも、比誘電率および絶縁抵抗が十分に高く、誘電損失は問題なく、CR積が良好で、DCバイアス特性、高温負荷寿命、破壊電圧も良好であることが判明した。本実施例のサンプルは、X7R特性のほか、EIA規格のB特性も満足していることが確認された。
これに対し、R1(第4副成分)のみが含まれている比較例の試料(試料19)を用いたサンプルでは、X7R特性は満足するが、高温負荷寿命または誘電損失が悪化することが確認できた。Scが含まれている比較例の試料(試料24)を用いたサンプルでは、誘電損失や高温負荷寿命が悪化することが確認できた。R2(第5副成分)のみが含まれている比較例の試料(試料20)を用いたサンプルでは、誘電損失やDCバイアス、破壊電圧、容量温度特性などが悪化することが確認できた。
なお、表2中の試料22、23および23−1は、参考例である。
As shown in Table 2, the sample using the sample of the present example including R1 (fourth subcomponent) and R2 (fifth subcomponent) satisfies the X7R characteristic and has a relative dielectric constant. It was also found that the insulation resistance was sufficiently high, the dielectric loss was satisfactory, the CR product was good, the DC bias characteristics, the high temperature load life, and the breakdown voltage were also good. It was confirmed that the sample of this example satisfied the B characteristic of the EIA standard in addition to the X7R characteristic.
On the other hand, the sample using the sample of the comparative example (sample 19) containing only R1 (fourth subcomponent) satisfies the X7R characteristic but confirms that the high temperature load life or the dielectric loss deteriorates. did it. It was confirmed that the dielectric loss and the high temperature load life deteriorated in the sample using the sample of the comparative example (sample 24) containing Sc. It was confirmed that the dielectric loss, DC bias, breakdown voltage, capacity-temperature characteristics, and the like deteriorated in the sample using the comparative sample (sample 20) containing only R2 (fifth subcomponent).
誘電体磁器組成物の微細構造1
本実施例の試料9(Y:2モル、Tb:2モル)と、比較例の試料19(Y:4モル),試料24(Tb:2モル、Sc:2モル),試料18(Y:2モル、Sm:2モル)とを用いた各誘電体磁器組成物の微細構造をEPMA分析し、Mgの偏析状態を表すそれぞれの写真を、図2(A)、図3(A)、図4(A)および図5(A)に示し、希土類元素の偏析状態を表すそれぞれの写真を、図2(B)、図3(B)、図4(B)および図5(B)に示した。
図3(A)および同図(B)に示すように、希土類元素としてYのみを添加した比較例の試料19では、希土類元素とアルカリ土類元素(Mg)の偏析がともに多く見られた。図4(A)および同図(B)に示すように、希土類元素としてTbとScを添加した比較例の試料24では、希土類元素の偏析は少ないが、アルカリ土類元素の偏析が多く見られた。図5(A)および同図(B)に示すように、希土類元素としてYとSmを添加した比較例の試料18では、アルカリ土類元素の偏析は少ないが、希土類元素の偏析が多く見られた。
これに対し、図2(A)および同図(B)に示すように、希土類元素としてYとTbを添加した実施例の試料9においては、希土類元素とアルカリ土類元素の偏析がともに抑制されていることが確認できた。
Microstructure of dielectric
Sample 9 of this example (Y: 2 mol, Tb: 2 mol), Sample 19 of comparative example (Y: 4 mol), Sample 24 (Tb: 2 mol, Sc: 2 mol), Sample 18 (Y: 2 mol, Sm: 2 mol) and EPMA analysis of the microstructure of each dielectric ceramic composition, and photographs showing the segregation state of Mg are shown in FIGS. 2 (A), 3 (A), FIG. 4 (A) and FIG. 5 (A), and photographs showing the segregation state of rare earth elements are shown in FIG. 2 (B), FIG. 3 (B), FIG. 4 (B) and FIG. 5 (B). It was.
As shown in FIGS. 3A and 3B, in the sample 19 of the comparative example in which only Y was added as the rare earth element, both segregation of the rare earth element and the alkaline earth element (Mg) was observed. As shown in FIG. 4 (A) and FIG. 4 (B), in the
On the other hand, as shown in FIGS. 2A and 2B, in the sample 9 of the example in which Y and Tb were added as rare earth elements, segregation of rare earth elements and alkaline earth elements was both suppressed. It was confirmed that
誘電体磁器組成物の微細構造2
本実施例の試料21と同一の組成であるが、BaTiO3 の粒径を1μmとした試料21−1を用いた誘電体磁器組成物の微細構造をTEM(Transmission Electron Microscope)により観察した写真を図6に示す。そして、この図6の誘電体磁器組成物に含まれる誘電体粒子の微細構造を模式的に表した模式図を図7(A)に示し、この図7(A)の誘電体粒子の各領域における希土類元素R1およびR2の分布濃度(存在量)を分析し、これの模式図を図7(B)に示す。
図6、図7(A)および図7(B)により、およそ、前記誘電体磁器組成物の微細構造は、誘電体粒子22と、該誘電体粒子22の周りに存在する粒界偏析部分24とで構成され、しかも誘電体粒子22は、強誘電体部分222と、該強誘電体部分222の周りに存在する拡散部分224とを有することが確認された。
Microstructure of dielectric
Although the composition is the same as that of the
6, 7 </ b> A, and 7 </ b> B, the microstructure of the dielectric ceramic composition is roughly divided into
図7(B)に示すように、強誘電体部分222には、添加されたR1およびR2の希土類元素が実質的に殆ど固溶されていないことが確認された。
また、拡散部分224および粒界偏析部分24には、R1およびR2の希土類元素がともに固溶されていることが確認された。
As shown in FIG. 7B, it was confirmed that the added rare-earth elements R1 and R2 were substantially hardly dissolved in the
Further, it was confirmed that the rare earth elements R1 and R2 were both dissolved in the
さらに、粒界偏析部分24には、R1の方がR2より多く固溶していることが確認された。すなわち粒界偏析部分24でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMBR1およびMBR2としたときに、(MBR1/MBR2)>1の関係を満足することが確認された。
さらにまた、拡散部分224でのR1およびR2の存在量の比(MAR1/MAR2)の値が、粒界偏析部分24でのR1およびR2の存在量の比(MBR1/MBR2)の値よりも小さいことが確認された。すなわち(MAR1/MAR2)<(MBR1/MBR2)の関係を満足することが確認された。
Furthermore, it was confirmed that R1 was more solidly dissolved in the grain
Furthermore, the ratio of the abundance of R1 and R2 in the diffusion portion 224 (MAR1 / MAR2) is smaller than the ratio of the abundance of R1 and R2 in the grain boundary segregation portion 24 (MBR1 / MBR2). It was confirmed. That is, it was confirmed that the relationship of (MAR1 / MAR2) <(MBR1 / MBR2) was satisfied.
静電容量の温度特性2
本発明の実施例としてY+Tbを含有するサンプル(試料21)、Ho+Tbを含有するサンプル(試料22)およびEr+Tbを含有するサンプル(試料23)を選び、比較例としてDy+Tbを含有するサンプル(試料20)を選び、これらのサンプルの−55℃〜125℃における容量温度特性を図8に示した。図8には、X7R特性を満足する矩形範囲を併記した。同図からも明らかなように、本実施例の試料21〜23につき、良好な容量温度特性を示すことが理解できる。
なお、比較例の試料20では、基準温度25℃を境に上に凸の曲線を描いているが、このような曲線を描く場合には、上述した誘電体粒子22内の強誘電体部分222にDyとTbとが相当量、固溶しているものと考えられる。
A sample containing Y + Tb (Sample 21), a sample containing Ho + Tb (Sample 22) and a sample containing Er + Tb (Sample 23) were selected as examples of the present invention, and a sample containing Dy + Tb (Sample 20) was selected as a comparative example. The capacity-temperature characteristics of these samples at −55 ° C. to 125 ° C. are shown in FIG. FIG. 8 also shows a rectangular range that satisfies the X7R characteristic. As is apparent from the figure, it can be understood that the
In the
実施例3
下記表3に示す組成を有するサンプルを、実施例2と同様にして作製した。これらのサンプルは、第4副成分のR1の種類および添加量、ならびに第5副成分のR2の種類および添加量、が実施例2の試料21と共通するが、V2 O5 の添加量を変化させた点で異なるものである。これらのサンプルについて、実施例2と同様な測定を行った。結果を表3に示す。
Example 3
Samples having the compositions shown in Table 3 below were produced in the same manner as in Example 2. These samples have the same kind and amount of addition of R1 as the fourth subcomponent and the kind and amount of addition of R2 as the fifth subcomponent, but the amount of addition of V 2 O 5 is the same as the
表3に示すように、V2 O5 の添加量を所定量まで増やしていくことで、高温負荷寿命が改善される傾向にあることが確認できた。 As shown in Table 3, it was confirmed that the high temperature load life tends to be improved by increasing the addition amount of V 2 O 5 to a predetermined amount.
実施例4
下記表4に示す組成を有するサンプルを、実施例1と同様にして作製した。これらのサンプルは、第4副成分のR1の種類および第5副成分のR2の種類が実施例1の試料9と共通するが、R1およびR2の添加量を変化させた点で異なるものである。これらのサンプルについて、実施例1と同様な測定を行った。結果を表4に示す。なお、表2における試料21も併せて記載した。
Example 4
Samples having the compositions shown in Table 4 below were produced in the same manner as in Example 1. These samples have the same type of R1 as the fourth subcomponent and the type of R2 as the fifth subcomponent in common with the sample 9 of Example 1, but are different in that the addition amounts of R1 and R2 are changed. . About these samples, the same measurement as Example 1 was performed. The results are shown in Table 4. In addition, the
表4に示すように、Y(R1)が多いと(試料30)、X7R特性は満足するが、高温負荷寿命が悪化する傾向が見られる。一方、Tb(R2)が多くなるにつれて(試料21,32)、高温負荷寿命が改善されていく傾向が見られる。しかしTbが多くなりすぎると、容量温度特性や高温負荷寿命が悪くなる傾向がある。
なお、表4中の試料30は、参考例である。
As shown in Table 4, when Y (R1) is large (sample 30), the X7R characteristics are satisfied, but the high temperature load life tends to deteriorate. On the other hand, as Tb (R2) increases (
In addition, the
実施例5
下記表5に示す組成を有するサンプルを、実施例1と同様にして作製した。これらのサンプルは、第4副成分のR1を複数用いた場合(試料33〜34)を示している。これらのサンプルについて、実施例1と同様な測定を行った。結果を表5に示す。
Example 5
Samples having the compositions shown in Table 5 below were produced in the same manner as in Example 1. These samples show the case where a plurality of fourth subcomponents R1 are used (samples 33 to 34). About these samples, the same measurement as Example 1 was performed. The results are shown in Table 5.
表5に示すように、2種の希土類元素を添加した場合のみならず、3種以上の希土類元素添加した場合においても、(9配位時の有効イオン半径に関して)本発明で規定した範囲を満たすように希土類元素の種類を選択すれば、本発明の効果が得られることが分かる。 As shown in Table 5, not only when two kinds of rare earth elements are added, but also when three or more kinds of rare earth elements are added, the range defined in the present invention (with respect to the effective ionic radius at the time of nine coordination) is It can be seen that the effects of the present invention can be obtained if the type of rare earth element is selected so as to satisfy.
実施例6
下記表6に示す組成を有するサンプルを、実施例1と同様にして作製した。これらのサンプルは、第6副成分のMn量を変化させた場合(試料35〜37)を示している。これらのサンプルについて、実施例1と同様な測定を行った。結果を表6に示す。
Example 6
Samples having the compositions shown in Table 6 below were produced in the same manner as in Example 1. These samples show the case where the amount of Mn of the sixth subcomponent is changed (samples 35 to 37). About these samples, the same measurement as Example 1 was performed. The results are shown in Table 6.
表6に示すように、Mn量を0.2モル、すなわち0.25モル未満にすることで、CR積を向上できることが分かる。 As shown in Table 6, it can be seen that the CR product can be improved by setting the amount of Mn to 0.2 mol, that is, less than 0.25 mol.
1… 積層セラミックコンデンサ
10… コンデンサ素子本体
2… 誘電体層
22… 誘電体粒子
222… 強誘電体部分
224… 拡散部分
24… 粒界偏析部分
25… 粒界
3… 内部電極層
4… 外部電極
DESCRIPTION OF
Claims (20)
R1の酸化物(ただし、R1は、9配位時の有効イオン半径が106pm超108pm未満の希土類元素で構成される第1元素群から選ばれる少なくとも1種。ただし、少なくともYを含む)からなる第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、9配位時の有効イオン半径が108pm〜113pmの希土類元素で構成される第2元素群から選ばれる少なくとも1種)からなる第5副成分と、
MnOおよびCr 2 O 3 の少なくとも1種からなる第6副成分と、を有しており、
前記主成分100モルに対する第5副成分の比率が、Yの比率以上であり、
前記主成分100モルに対する第6副成分の比率が、第6副成分:0.5モル以下であり、
Scの酸化物を含まない誘電体磁器組成物。 A main component consisting of barium titanate,
Oxide of R1 (where R1 is at least one effective ionic radius for coordination number 9 is selected from a first element group composed of rare earth elements of less than 106pm super 108Pm. However, at least Y) consisting of A fourth subcomponent;
Oxides of R2 (although, R2 is at least one effective ionic radius for coordination number 9 is selected from the second element group composed of rare earth elements 108Pm~113pm) and a fifth auxiliary component composed of,
A sixth subcomponent consisting of at least one of MnO and Cr 2 O 3 ,
The ratio of the fifth subcomponent to 100 moles of the main component is not less than the ratio of Y ;
The ratio of the sixth subcomponent to 100 mol of the main component is the sixth subcomponent: 0.5 mol or less,
A dielectric ceramic composition containing no oxide of Sc .
該拡散部分の周りには、粒界偏析部分が存在し、
前記拡散部分および粒界偏析部分は、少なくとも前記R1およびR2を含み、
前記拡散部分でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMAR1およびMAR2とし、前記粒界偏析部分でのR1およびR2のそれぞれの存在量をMBR1およびMBR2としたときに、(MBR1/MBR2)>1、および(MAR1/MAR2)<(MBR1/MBR2)の関係を満足する請求項10に記載の誘電体磁器組成物。 The dielectric particle has a ferroelectric portion substantially not including the R1 and R2, and a diffusion portion existing around the ferroelectric portion;
Around the diffusion part, there is a grain boundary segregation part,
The diffusion portion and the grain boundary segregation portion include at least the R1 and R2.
When the respective abundances of R1 and R2 in the diffusion part are MAR1 and MAR2, and the abundances of R1 and R2 in the grain boundary segregation part are MBR1 and MBR2, (MBR1 / MBR2)> 1 And the dielectric ceramic composition according to claim 10 , satisfying a relationship of (MAR1 / MAR2) <(MBR1 / MBR2).
前記誘電体磁器組成物が、
チタン酸バリウムからなる主成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、9配位時の有効イオン半径が106pm超108pm未満の希土類元素で構成される第1元素群から選ばれる少なくとも1種。ただし、少なくともYを含む)からなる第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、9配位時の有効イオン半径が108pm〜113pmの希土類元素で構成される第2元素群から選ばれる少なくとも1種)からなる第5副成分と、
MnOおよびCr 2 O 3 の少なくとも1種からなる第6副成分と、を有しており、
前記主成分100モルに対する第5副成分の比率が、Yの比率以上であり、
前記主成分100モルに対する第6副成分の比率が、第6副成分:0.5モル以下であり、
Scの酸化物を含まない電子部品。
An electronic component having a dielectric layer composed of a dielectric ceramic composition,
The dielectric ceramic composition is
A main component consisting of barium titanate,
Oxide of R1 (where R1 is at least one effective ionic radius for coordination number 9 is selected from a first element group composed of rare earth elements of less than 106pm super 108Pm. However, at least Y) consisting of A fourth subcomponent;
Oxides of R2 (although, R2 is at least one effective ionic radius for coordination number 9 is selected from the second element group composed of rare earth elements 108Pm~113pm) and a fifth auxiliary component composed of,
A sixth subcomponent consisting of at least one of MnO and Cr 2 O 3 ,
The ratio of the fifth subcomponent to 100 moles of the main component is not less than the ratio of Y;
The ratio of the sixth subcomponent to 100 mol of the main component is the sixth subcomponent: 0.5 mol or less,
Electronic component not containing Sc oxide .
前記誘電体磁器組成物が、
チタン酸バリウムからなる主成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、9配位時の有効イオン半径が106pm超108pm未満の希土類元素で構成される第1元素群から選ばれる少なくとも1種。ただし、少なくともYを含む)からなる第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、9配位時の有効イオン半径が108pm〜113pmの希土類元素で構成される第2元素群から選ばれる少なくとも1種)からなる第5副成分と、
MnOおよびCr 2 O 3 の少なくとも1種からなる第6副成分と、を有しており、
前記主成分100モルに対する第5副成分の比率が、Yの比率以上であり、
前記主成分100モルに対する第6副成分の比率が、第6副成分:0.5モル以下であり、
Scの酸化物を含まない積層セラミックコンデンサ。 A multilayer ceramic capacitor having a capacitor element body in which dielectric layers composed of dielectric ceramic compositions and internal electrode layers are alternately laminated,
The dielectric ceramic composition is
A main component consisting of barium titanate,
Oxide of R1 (where R1 is at least one effective ionic radius for coordination number 9 is selected from a first element group composed of rare earth elements of less than 106pm super 108Pm. However, at least Y) consisting of A fourth subcomponent;
Oxides of R2 (although, R2 is at least one effective ionic radius for coordination number 9 is selected from the second element group composed of rare earth elements 108Pm~113pm) and a fifth auxiliary component composed of,
A sixth subcomponent consisting of at least one of MnO and Cr 2 O 3 ,
The ratio of the fifth subcomponent to 100 moles of the main component is not less than the ratio of Y;
The ratio of the sixth subcomponent to 100 mol of the main component is the sixth subcomponent: 0.5 mol or less,
Multilayer ceramic capacitor not containing Sc oxide .
MgOからなる第1副成分と、
SiO2 系の焼結助剤からなる第2副成分と、
V2 O5 からなる第3副成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、Y)からなる第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、Dy、TbおよびGdから選ばれる少なくとも1種)からなる第5副成分と、
MnOからなる第6副成分とを、有する誘電体磁器組成物であって、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜5モル、
第2副成分:2〜10モル、
第3副成分:0.5モル以下、
第6副成分:0.25モル未満である請求項4、5、10、11および12のいずれかに記載の誘電体磁器組成物。 A main component consisting of barium titanate,
A first auxiliary component composed of MgO,
A second auxiliary component composed of sintering aid SiO 2 system,
A third subcomponent consisting of V 2 O 5 ;
A fourth subcomponent consisting of an oxide of R1 (where R1 is Y);
A fifth subcomponent consisting of an oxide of R2 (wherein R2 is at least one selected from Dy, Tb and Gd);
And a sixth auxiliary component composed of MnO, a dielectric ceramic composition having,
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
1st subcomponent: 0.1-5 mol,
Second subcomponent: 2 to 10 mol,
Third subcomponent: 0.5 mol or less,
The dielectric ceramic composition according to any one of claims 4, 5, 10 , 11, and 12 , wherein the sixth subcomponent is less than 0.25 mol.
前記誘電体磁器組成物が、
チタン酸バリウムからなる主成分と、
MgOからなる第1副成分と、
SiO2 系の焼結助剤からなる第2副成分と、
V2 O5 からなる第3副成分と、
R1の酸化物(ただし、R1は、Y)からなる第4副成分と、
R2の酸化物(ただし、R2は、Dy、TbおよびGdから選ばれる少なくとも1種)からなる第5副成分と、
MnOからなる第6副成分とを、有し、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜5モル、
第2副成分:2〜10モル、
第3副成分:0.5モル以下、
第4副成分および第5副成分の合計の比率:10モル以下(ただし、第4副成分および第5副成分のモル数は、R1およびR2単独での比率)、
第6副成分:0.25モル未満であり、
前記主成分100モルに対する第5副成分の比率が、Yの比率以上であり、
Scの酸化物を含まない積層セラミックコンデンサ。 A multilayer ceramic capacitor having a capacitor element body in which dielectric layers composed of a dielectric ceramic composition and internal electrode layers mainly composed of a conductive material made of Ni or Ni alloy are alternately laminated. ,
The dielectric ceramic composition is
A main component consisting of barium titanate,
A first auxiliary component composed of MgO,
A second auxiliary component composed of sintering aid SiO 2 system,
A third subcomponent consisting of V 2 O 5 ;
A fourth subcomponent consisting of an oxide of R1 (where R1 is Y);
A fifth subcomponent consisting of an oxide of R2 (wherein R2 is at least one selected from Dy, Tb and Gd);
And a sixth auxiliary component composed of MnO, has,
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
1st subcomponent: 0.1-5 mol,
Second subcomponent: 2 to 10 mol,
Third subcomponent: 0.5 mol or less,
Total ratio of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent: 10 mol or less (provided that the number of moles of the fourth subcomponent and the fifth subcomponent is the ratio of R1 and R2 alone),
Sixth subcomponent: less than 0.25 mol ,
The ratio of the fifth subcomponent to 100 moles of the main component is not less than the ratio of Y;
Multilayer ceramic capacitor not containing Sc oxide .
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