JP5137396B2 - 移動装置 - Google Patents
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Description
11、12 第1、第2摩擦部材
19 水平方向移動枠
30 圧電体振動子
31、32 第1、第2圧電素子
31a、31b、31c 第1、第2、第3電極
32a、32b、32c 第4、第5、第6電極
34 シム
34a シム本体部
35a、35b、35c、35d 第1、第2、第3、第4支持部
50 固定台
50a 固定台本体部
53 固定部材
70 回路部
71 パラメータ発生部
72 比較器
73 屈曲モード振動入力部
74 伸縮モード振動入力部
75 電流モニタ
Claims (3)
- 圧電体振動子と、
前記圧電体振動子に対して、伸縮モード振動を励起する第1交流電圧、及び屈曲モード振動を励起する第2交流電圧を印加する回路部とを備え、
前記回路部は、前記圧電体振動子の前記伸縮モード振動と前記屈曲モード振動に基づく楕円運動によって被駆動体を移動させるために、前記第1交流電圧を印加した後であって、前記第1交流電圧の振幅が定常状態になる時点までの間に、前記第2交流電圧の印加を開始し、
前記圧電体振動子は、前記被駆動体によって付勢され、
前記第2交流電圧の印加開始タイミングは、前記第1交流電圧の印加開始から、前記第1交流電圧の印加によって励起される前記伸縮モード振動によって、前記圧電体振動子が前記被駆動体を押す力が、前記付勢される力を上回る時点までの時間に対応することを特徴とする移動装置。 - 前記回路部は、前記第1交流電圧の振幅を検出する検出部と、前記振幅が一定値以上の場合に、前記第2交流電圧の印加を開始する印加制御部とを有することを特徴とする請求項1に記載の移動装置。
- 前記印加制御部は、前記第1交流電圧の振幅が定常状態における振幅の半分となった時に、前記第2交流電圧の印加を開始することを特徴とする請求項2に記載の移動装置。
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