JP4064365B2 - アクチュエータ、およびアクチュエータを備えた制御機器 - Google Patents
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Description
ここで、図1に示すように、第2の圧電素子17の伸縮方向が弾性体10の変位方向に対して略垂直となる方向である場合には、第2の圧電素子17の伸縮により、接触部材18は、弾性体10の変位方向に対して略垂直となる方向に伸縮する。したがって、伸縮方向が弾性体10の変位方向に略垂直でない場合よりも、効率良く被駆動体30をA方向またはB方向に駆動させることができる。
10 弾性体
11 節位置
12 中央腹位置
13 支持部材(弾性体用支持部材)
14 負荷質量体
15 第1の圧電素子
16 圧電素子用支持部材(第2の圧電素子用支持部材)
17 第2の圧電素子
18 接触部材
20 自由端
30 被駆動体
40 腹位置
50 端部固定部材
Claims (10)
- 第1の圧電素子と、
前記第1の圧電素子の伸縮に伴って、屈曲振動を生じる弾性体と、
前記弾性体の変位方向に対して垂直となる方向の成分を有して伸縮する第2の圧電素子と、
前記屈曲振動により変位が生じる、弾性体の表面領域に配設されると共に、前記第2の圧電素子を伸縮可能な状態で支持する第2の圧電素子用支持部材と、
前記第2の圧電素子に配設されると共に、前記第2の圧電素子の伸縮に伴って、前記第2の圧電素子の伸縮方向に変位し、かつ、少なくとも屈曲振動時に、駆動対象となる被駆動体と前記弾性体の変位方向において接触する接触部材とを備え、
前記接触部材と前記被駆動体との接触圧力が所定の値以上となった場合に、前記第2の圧電素子を伸縮させることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記第2の圧電素子の伸縮方向が、弾性体の変位方向に対して略垂直となる方向であることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 屈曲振動時に生じる弾性体の節位置に、弾性体を支持する弾性体用支持部材を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。
- 前記第1の圧電素子の伸縮方向側の一端に、負荷重量体が取り付けられることを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータ。
- 前記第1の圧電素子の伸縮方向側の他端に、前記弾性体が取り付けられていることを特徴とする請求項4に記載のアクチュエータ。
- 前記第2の圧電素子用支持部材は、屈曲振動時に生じる弾性体の腹位置に配設されることを特徴とする請求項1から5いずれか1項に記載のアクチュエータ。
- 前記弾性体の端部が屈曲振動の自由端であって、かつ、前記第2の圧電素子用支持部材が前記端部に配設されることを特徴とする請求項1から5いずれか1項に記載のアクチュエータ。
- 前記第2の圧電素子用支持部材、前記第2の圧電素子、および前記接触部材を駆動用部材とすると、前記駆動用部材が、屈曲振動時における弾性体の変位の状態が同一となる表面領域に、複数組設けられていることを特徴とする請求項1から5いずれか1項に記載のアクチュエータ。
- 前記駆動用部材は、それぞれ、弾性体の変位方向の変位が最大となる表面領域に設けられていることを特徴とする請求項8に記載のアクチュエータ。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載のアクチュエータを備えたことを特徴とする制御機器。
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