JP5136717B2 - Screen printing machine - Google Patents

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Description

本発明は、マスクプレートに形成されたマスクパターンのパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機に関するものである。   The present invention relates to a screen printing machine that prints a paste on a substrate through a pattern hole of a mask pattern formed on a mask plate.

スクリーン印刷機は、基板の電極の配置に応じたマスクパターンが形成されたマスクプレートと、マスクプレートの上方を水平方向に往復移動するスキージベースに取り付けられたスキージとを有し、マスクプレートを基板の上面に接触させ、スキージをマスクプレートに上方から当接させた状態でスキージベースとともに往復移動させてマスクプレート上を摺動させることにより、マスクプレート上に供給された半田ペーストや導電性ペースト等のペーストをマスクパターンのパターン孔内に充填させ、その後基板とマスクプレートとを分離することによってペーストを基板に転写させるようになっている。   The screen printing machine has a mask plate on which a mask pattern corresponding to the arrangement of electrodes on the substrate is formed, and a squeegee attached to a squeegee base that reciprocates horizontally above the mask plate. Solder paste or conductive paste supplied on the mask plate by sliding it on the mask plate by reciprocating with the squeegee base with the squeegee in contact with the mask plate from above. This paste is filled in the pattern holes of the mask pattern, and then the substrate and the mask plate are separated to transfer the paste to the substrate.

このようなスクリーン印刷機において、マスクプレート上のペーストが少なくなってきたときには、ペースト供給シリンジによってペーストがマスクプレート上に供給されるが(特許文献1)、このペースト供給シリンジは、スキージとは別個に移動できるようになっているもののほか、スキージベースに取り付けられてスキージと一体に移動するようになっているものがある。後者のものでは機構を簡単なものにすることができるだけでなく、ペースト供給シリンジ内のペーストが不足状態となった場合にその補充作業を迅速に行うことができるので、基板の生産性を高めることができる。   In such a screen printing machine, when the paste on the mask plate is reduced, the paste is supplied onto the mask plate by the paste supply syringe (Patent Document 1). This paste supply syringe is separate from the squeegee. In addition to those that can be moved, there are those that are attached to the squeegee base and move together with the squeegee. In the latter case, not only can the mechanism be simplified, but also when the paste in the paste supply syringe becomes insufficient, the replenishment work can be performed quickly, thus increasing the productivity of the substrate. Can do.

特開平4−107145号公報JP-A-4-107145

このようなスクリーン印刷機において、ペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業は、オペレータがスクリーン印刷機の前方から手作業で行う必要があり、そのためにはペースト供給シリンジはオペレータから見てスキージベースの前方の領域に設けられていることが好ましい。しかしながら、その一方、スキージは基板のサイズ等に応じて適宜交換する必要があり、ペースト供給シリンジがスキージベースの前方の領域に設けられているとスキージの交換作業を行いにくく、作業性が悪いという問題点があった。   In such a screen printing machine, it is necessary for the operator to manually refill the paste supply syringe from the front of the screen printing machine, and for this purpose, the paste supply syringe is viewed from the squeegee base. It is preferable to be provided in the front area. However, on the other hand, the squeegee needs to be replaced as appropriate according to the size of the substrate, etc. If the paste supply syringe is provided in the area in front of the squeegee base, it is difficult to replace the squeegee and workability is poor. There was a problem.

そこで本発明は、スキージの交換作業とペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業の双方を容易に行うことができるようにしたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printer capable of easily performing both the squeegee replacement operation and the paste replenishment operation in the paste supply syringe.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触され、基板の電極の配置に応じたマスクパターンが形成されたマスクプレートと、マスクプレートの上方を水平方向に往復移動するスキージベースに取り付けられ、マスクプレートに上方から当接した状態でスキージベースとともに水平方向に移動してマスクプレート上を摺動することにより、マスクプレート上で掻き寄せたペーストをマスクパターンのパターン孔内に充填させるスキージと、スキージベースから延びる軸線回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部が下方に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から前記軸線回りにほぼ90度揺動した格納姿勢との間での姿勢変換が可能であって、スキージベースのオペレータの作業位置側から見て前方の領域に設けられたペースト供給シリンジと、ペースト供給シリンジをペースト供給姿勢と格納姿勢との間で揺動させるシリンジ姿勢変換手段とを備え、前記ペースト供給シリンジの前記スキージベースの往復移動する方向と直交する方向への移動範囲は、少なくとも、前記基板の幅をカバーできる範囲を有するものである。   The screen printing machine according to claim 1 is provided with a mask plate that is in contact with the upper surface of the substrate and on which a mask pattern corresponding to the arrangement of the electrodes on the substrate is formed, and a squeegee base that reciprocates horizontally above the mask plate. Attached and moved in the horizontal direction together with the squeegee base while being in contact with the mask plate from above and sliding on the mask plate, the paste scraped on the mask plate is filled into the pattern holes of the mask pattern. Between a squeegee and a paste supply posture that is swingably mounted about an axis extending from the squeegee base, and a lower end nozzle portion extends downward, and a storage posture that is swung from the paste supply posture by approximately 90 degrees around the axis. Can be converted to the front area of the squeegee base operator as viewed from the working position side. A paste supply syringe, and a syringe posture changing means for swinging the paste supply syringe between a paste supply posture and a storage posture, and a direction orthogonal to a reciprocating direction of the squeegee base of the paste supply syringe The range of movement to at least has a range that can cover the width of the substrate.

本発明では、ペースト供給シリンジが、スキージベースから延びる軸線回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部が下方に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線回りにほぼ90度回転した格納姿勢との間での姿勢変換が可能となっているので、ペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業が容易になるように、ペースト供給シリンジをスキージベースのオペレータの作業位置側から見て前方の領域に設けた場合であっても、ペースト供給シリンジを格納姿勢にすることによってスキージベースの前方の領域を開放状態にすることができ、スキージの交換作業も容易に行うことができる。また、ペースト供給シリンジのスキージベースの往復移動する方向と直交する方向への移動範囲は、少なくとも、基板の幅をカバーできる範囲を有するものであるので、ペーストを基板上の幅方向に均等に供給することができる。   In the present invention, the paste supply syringe is swingably attached around the axis extending from the squeegee base, and the lower end nozzle portion extends downward, and the storage is rotated approximately 90 degrees around the axis from the paste supply attitude. Since the posture can be changed between the posture and the posture, it is possible to refill the paste into the paste supply syringe. Even if it is provided in the area, the area in front of the squeegee base can be opened by placing the paste supply syringe in the retracted posture, and the squeegee can be easily replaced. In addition, the movement range of the paste supply syringe in the direction orthogonal to the reciprocating direction of the squeegee base has a range that can cover at least the width of the substrate, so the paste is evenly supplied in the width direction on the substrate. can do.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のマスクプレートの平面図The top view of the mask plate of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージベースの部分斜視図The fragmentary perspective view of the squeegee base with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスキージ及びペースト供給シリンジの付近の側面図The side view of the vicinity of the squeegee and paste supply syringe of the screen printing machine in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスキージ及びペースト供給シリンジの付近の正面図The front view of the vicinity of the squeegee and paste supply syringe of the screen printing machine in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスキージ及びペースト供給シリンジの付近の正面図(A) (b) (c) Front view of the vicinity of the squeegee and paste supply syringe of the screen printing machine in one embodiment of the present invention. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の蓋部材の動作を説明する図(A) (b) The figure explaining operation | movement of the cover member of the screen printing machine in one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention (a)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の後方スキージの斜視図(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の後方スキージの側面図(A) Perspective view of rear squeegee of screen printer in one embodiment of the present invention (b) Side view of rear squeegee of screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すフローチャートThe flowchart which shows the flow of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1、図2及び図3において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は基板2の表面に設けられた電極3上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストをスクリーン印刷するものであり、基台11上に設けられて基板2の搬送及び所定の作業位置への位置決めを行う基板位置決めユニット12、基板位置決めユニット12の上方に設けられたマスクプレート13、ペースト供給シリンジ14、一対のスキージ15及びカメラユニット16を備えている。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機1における基板2の搬送方向(図1の紙面左右方向)をX軸方向、X軸方向と直交する水平方向(図1の紙面上下方向)をY軸方向、上下方向(図2の紙面上下方向)をZ軸方向とする。また、このスクリーン印刷機1のオペレータOP(図1)がスクリーン印刷機1に対して作業を行う側(図1の紙面下方)をスクリーン印刷機1の前方、その反対側(図1の紙面上方)をスクリーン印刷機1の後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1, 2, and 3, the screen printer 1 according to the present embodiment screen-prints a paste such as a solder paste or a conductive paste on an electrode 3 provided on the surface of a substrate 2. A substrate positioning unit 12 provided on the table 11 for carrying the substrate 2 and positioning it at a predetermined work position, a mask plate 13 provided above the substrate positioning unit 12, a paste supply syringe 14, a pair of squeegees 15, A camera unit 16 is provided. Hereinafter, for convenience of explanation, the conveyance direction (left and right direction in FIG. 1) of the substrate 2 in the screen printing machine 1 is the X axis direction, and the horizontal direction perpendicular to the X axis direction (up and down direction in FIG. 1) is the Y axis direction. The vertical direction (the vertical direction in FIG. 2) is taken as the Z-axis direction. Further, the operator OP (FIG. 1) of the screen printing machine 1 performs the operation on the screen printing machine 1 (lower side in FIG. 1) is the front side of the screen printing machine 1 and the opposite side (upper side in FIG. 1). ) Is the rear of the screen printer 1.

図2及び図3において、基板位置決めユニット12は、基台11に対してY軸方向に移動するYテーブル21a、Yテーブル21aに対してX軸方向に移動するXテーブル21b、Xテーブル21bに対してZ軸回りに回転するθテーブル21c及びθテーブル21cの上面に固定されたベーステーブル21dを備えて成る水平面内位置決め部21と、水平面内位置決め部21のベーステーブル21dに対して昇降する第1昇降テーブル22a、第1昇降テーブル22aに対して昇降する第2昇降テーブル22b、第2昇降テーブル22bの上面に設けられた下受けユニット22cを備えて成る上下方向位置決め部22、上下方向位置決め部22の第1昇降テーブル22aに取り付けられて基板2をX軸方向に搬送するとともに、その基板2を所定の作業位置に位置決めする一対のベルトコンベア機構から成る位置決めコンベア23、位置決めコンベア23の上方でY軸方向に開閉作動し、位置決めコンベア23上の基板2のY軸方向の両側部を基板2の側方からクランプして(挟んで)保持する一対のクランプ部材(クランパ)24を備えて成る。   2 and 3, the substrate positioning unit 12 is provided for the Y table 21a that moves in the Y-axis direction with respect to the base 11, the X table 21b that moves in the X-axis direction with respect to the Y table 21a, and the X table 21b. A horizontal table positioning part 21 having a θ table 21c that rotates about the Z axis and a base table 21d fixed to the top surface of the θ table 21c, and a first that moves up and down relative to the base table 21d of the horizontal plane positioning part 21 Up and down direction positioning unit 22 comprising up and down table 22a, second up and down table 22b that moves up and down relative to first up and down table 22a, and lower receiving unit 22c provided on the upper surface of second up and down table 22b, up and down direction positioning unit 22 The substrate 2 is attached to the first lifting table 22a and transports the substrate 2 in the X-axis direction. A positioning conveyor 23 comprising a pair of belt conveyor mechanisms for positioning at a predetermined work position, and opening / closing operation in the Y-axis direction above the positioning conveyor 23, both sides of the substrate 2 on the positioning conveyor 23 in the Y-axis direction are It comprises a pair of clamp members (clampers) 24 that are clamped (clamped) from the side.

図1及び図2において、基板位置決めユニット12を構成する位置決めコンベア23のX軸方向の両側(基板2の搬送方向の上流側と下流側)の位置には、スクリーン印刷機1の外部(図1及び図2の紙面左側)から投入された基板2を搬送(搬入)して位置決めコンベア23に受け渡す搬入コンベア25と、位置決めコンベア23から受け渡された基板2をスクリーン印刷機1の外部(図1及び図2の紙面右側)に搬送(搬出)する搬出コンベア26が設けられている。   1 and 2, the positions of the positioning conveyor 23 constituting the substrate positioning unit 12 on both sides in the X-axis direction (upstream and downstream in the transport direction of the substrate 2) are outside the screen printing machine 1 (FIG. 1). 2 on the left side of the drawing in FIG. 2 and transports (loads) the substrate 2 to the positioning conveyor 23, and transfers the substrate 2 transferred from the positioning conveyor 23 to the outside of the screen printing machine 1 (see FIG. 2). A carry-out conveyor 26 for carrying (carrying out) is provided on the right side of FIG. 1 and FIG.

図1及び図4において、マスクプレート13は平面視において矩形形状を有する枠部材13wによって四辺が支持されており、枠部材13wによって囲まれた矩形の領域には、基板2上の複数の電極3に対応して設けられた(すなわち電極3の配置に応じた)多数のパターン孔phから成るマスクパターンMPが形成されている。   In FIG. 1 and FIG. 4, the mask plate 13 is supported on four sides by a frame member 13w having a rectangular shape in plan view, and a plurality of electrodes 3 on the substrate 2 are formed in a rectangular region surrounded by the frame member 13w. A mask pattern MP including a large number of pattern holes ph provided corresponding to (that is, according to the arrangement of the electrodes 3) is formed.

図1において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側位置合わせマークmkが設けられている。一方、図4において、マスクプレート13には、基板側位置合わせマークmkに対応して配置された2つ一組のマスク側位置合わせマークMKが設けられている。   In FIG. 1, two sets of substrate side alignment marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 4, the mask plate 13 is provided with a pair of mask side alignment marks MK arranged in correspondence with the substrate side alignment marks mk.

マスクプレート13は、オペレータOPがこのマスクプレート13の両端部を両手で把持してスクリーン印刷機1の前方から基板位置決めユニット12の上方をY軸方向に延びて設けられた一対のマスク支持レール27(図1及び図4)の間に挿入し、枠部材13wの先頭部がマスク支持レール27上に設けられたストッパ27a(図1及び図4)に当接するまで後方に押し込むことによって、所定の位置に設置される。   The mask plate 13 is provided with a pair of mask support rails 27 provided by the operator OP holding both ends of the mask plate 13 with both hands so as to extend from the front of the screen printing machine 1 above the substrate positioning unit 12 in the Y-axis direction. (FIG. 1 and FIG. 4), and by pushing backward until the leading portion of the frame member 13w comes into contact with a stopper 27a (FIGS. 1 and 4) provided on the mask support rail 27, a predetermined amount is obtained. Installed in position.

図1及び図2において、基台11上には搬入コンベア25及び搬出コンベア26をそれぞれY軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム28が設けられており、これら一対の門型フレーム28にはX軸方向に延びたX軸ステージ29aの両端部がY軸方向にスライド自在に支持されている。X軸ステージ29a上にはカメラ支持ステージ29bがX軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ29bには前述のカメラユニット16が取り付けられている。カメラユニット16は、撮像視野を下方に向けた第1カメラ16aと撮像視野を上方に向けた第2カメラ16bを備えている(図3)。   1 and 2, a pair of gate-type frames 28 are provided on the base 11 so as to straddle the carry-in conveyor 25 and the carry-out conveyor 26 in the Y-axis direction, respectively. Both ends of the X-axis stage 29a extending in the direction are supported to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 29b is provided on the X-axis stage 29a so as to be movable in the X-axis direction. The camera unit 16 is attached to the camera support stage 29b. The camera unit 16 includes a first camera 16a whose imaging field is directed downward and a second camera 16b whose imaging field is directed upward (FIG. 3).

図1において、上記一対の門型フレーム28にはX軸方向に延びたスキージベース30の両端が支持されており、スキージベース30は門型フレーム28に沿ってY軸方向に往復移動自在となっている。このスキージベース30には前述の一対のスキージ15がY軸方向に対向して設けられている。各スキージ15はX軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、それぞれスキージベース30に対して昇降自在に取り付けられている。以下、一対のスキージ15のうち前方に設けられているスキージ15を前方スキージ15a、後方に設けられているスキージ15を後方スキージ15bと称する。   In FIG. 1, both ends of a squeegee base 30 extending in the X-axis direction are supported by the pair of portal frames 28, and the squeegee base 30 can reciprocate in the Y-axis direction along the portal frame 28. ing. The squeegee base 30 is provided with the pair of squeegees 15 facing each other in the Y-axis direction. Each squeegee 15 is made of a “spar” -like member extending in the X-axis direction, and is attached to the squeegee base 30 so as to be movable up and down. Hereinafter, the squeegee 15 provided in the front of the pair of squeegees 15 is referred to as a front squeegee 15a, and the squeegee 15 provided in the rear is referred to as a rear squeegee 15b.

ペースト供給シリンジ14は、図5及び図6に示すように、スキージベース30の前部(図6の紙面左側)にシリンジ取り付けブラケット31を介して取り付けられており、シリンジ取り付けブラケット31はスキージベース30と対向する後面に設けられたスライダ32が、スキージベース30の前面をX軸に延びて設けられたスライドガイド33に噛み合ってスキージベース30の往復移動方向(Y軸方向)と直交する水平方向(X軸方向)に移動自在になっている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the paste supply syringe 14 is attached to the front portion of the squeegee base 30 (on the left side in FIG. 6) via a syringe attachment bracket 31, and the syringe attachment bracket 31 is attached to the squeegee base 30. The slider 32 provided on the rear surface opposite to the squeegee base 30 is engaged with a slide guide 33 provided with the front surface of the squeegee base 30 extending in the X-axis so as to be perpendicular to the reciprocating movement direction (Y-axis direction) of the squeegee base 30 ( It is movable in the X axis direction).

図5、図6及び図7において、スキージベース30の上面前端部のX軸方向両端部には一対のモータ取り付けブラケット(モータ取り付けブラケット34及び従動プーリ取り付けブラケット35)が取り付けられており、モータ取り付けブラケット34にはシリンジ移動モータ36が取り付けられている。シリンジ移動モータ36の駆動軸36a(図6)はモータ取り付けブラケット34を水平に貫通して前方に延びており、その先端部には駆動プーリ37が取り付けられている。一方、従動プーリ取り付けブラケット35から水平前方に延びたプーリ軸(図示せず)には従動プーリ38が取り付けられている。   5, 6, and 7, a pair of motor mounting brackets (motor mounting bracket 34 and driven pulley mounting bracket 35) are attached to both ends in the X-axis direction of the front end of the upper surface of the squeegee base 30. A syringe moving motor 36 is attached to the bracket 34. A drive shaft 36a (FIG. 6) of the syringe movement motor 36 extends horizontally through the motor mounting bracket 34, and a drive pulley 37 is attached to the tip thereof. On the other hand, a driven pulley 38 is attached to a pulley shaft (not shown) extending horizontally forward from the driven pulley mounting bracket 35.

図5、図6及び図7において、駆動プーリ37と従動プーリ38には歯付ベルト39が掛け渡されており、歯付ベルト39の下面にはシリンジ取り付けブラケット31の上部の上面が固定されている。このためシリンジ移動モータ36の駆動軸36aが駆動されて駆動プーリ37が回転すると、駆動プーリ37及び従動プーリ38と噛合した歯付ベルト39がX軸方向に走行し、これに伴ってシリンジ取り付けブラケット31が(したがってペースト供給シリンジ14が)、スキージベース30の前方の領域を、スキージベース30に対して、スキージベース30の往復移動する方向(Y軸方向)と直交する方向(X軸方向)に移動する。すなわち本実施の形態において、シリンジ移動モータ36、駆動プーリ37、従動プーリ38及び歯付ベルト39から成る機構は、ペースト供給シリンジ14をスキージベース30の往復移動方向(Y軸方向)と直交する水平方向に移動させるシリンジ移動機構40を構成している。   In FIGS. 5, 6, and 7, a toothed belt 39 is stretched over the driving pulley 37 and the driven pulley 38, and the upper surface of the upper portion of the syringe mounting bracket 31 is fixed to the lower surface of the toothed belt 39. Yes. For this reason, when the drive shaft 36a of the syringe moving motor 36 is driven and the drive pulley 37 rotates, the toothed belt 39 meshed with the drive pulley 37 and the driven pulley 38 travels in the X-axis direction, and accordingly, the syringe mounting bracket 31 (therefore, the paste supply syringe 14), the region in front of the squeegee base 30 is in a direction (X-axis direction) perpendicular to the reciprocating direction of the squeegee base 30 (Y-axis direction) with respect to the squeegee base 30. Moving. In other words, in the present embodiment, the mechanism including the syringe moving motor 36, the drive pulley 37, the driven pulley 38, and the toothed belt 39 causes the paste supply syringe 14 to be horizontally orthogonal to the reciprocating movement direction (Y-axis direction) of the squeegee base 30. A syringe moving mechanism 40 is configured to move in the direction.

ここで、ペースト供給シリンジ14は、図6に示すペースト供給姿勢にある状態において、内部に貯蔵した半田ペーストや導電性ペースト等のペーストを、斜め下方に向けて供給する動作を行う。なお、このシリンジ移動機構40によるペースト供給シリンジ14のX軸方向への移動範囲(移動ストローク)は、少なくとも、スクリーン印刷機1によって取り扱う基板2の幅(X軸方向寸法)をカバーできる範囲を有するものとする。   Here, the paste supply syringe 14 performs an operation of supplying a paste such as a solder paste or a conductive paste stored in an obliquely downward direction in the paste supply posture shown in FIG. 6. Note that the movement range (movement stroke) of the paste supply syringe 14 in the X-axis direction by the syringe movement mechanism 40 has a range that can cover at least the width (dimension in the X-axis direction) of the substrate 2 handled by the screen printing machine 1. Shall.

図5、図6及び図7において、スキージベース30の前方に設けられたシリンジ取り付けブラケット31の前面には、スキージベース30の往復移動方向(Y軸方向)と平行な垂直面内(図6の紙面と平行なYZ面内)を水平線HL(図6)に対して前方斜め下方に傾いて延びる軸線41の回りに揺動(回転)自在なシリンジホルダ42が設けられており、ペースト供給シリンジ14はこのシリンジホルダ42に保持されて軸線41の回りに揺動(回転)自在になっている。このためシリンジホルダ42に保持されるペースト供給シリンジ14は、下端のノズル部14aが前方スキージ15aの直下に位置するように、上記垂直面内(YZ面内)を垂直線VL(図6)に対して所定角度θだけ後方(図6の紙面右側)斜めに傾いて延びるペースト供給姿勢(図5、図6及び図7)と、このペースト供給姿勢から上記軸線41回りにほぼ90度回転した格納姿勢(図1)との間での姿勢変換が可能になっている。ここで、上記所定角度θは、ペースト供給シリンジ14がペースト供給姿勢にある状態で、前方スキージ15aの直下にペーストを供給できるような角度として任意に設定される。   5, 6, and 7, the front surface of the syringe mounting bracket 31 provided in front of the squeegee base 30 is in a vertical plane (in FIG. 6) parallel to the reciprocating direction (Y-axis direction) of the squeegee base 30. A syringe holder 42 is provided that can swing (rotate) around an axis 41 that extends obliquely forward and downwardly downward with respect to the horizontal line HL (FIG. 6) in the YZ plane parallel to the paper surface. Is held by the syringe holder 42 and can swing (rotate) about the axis 41. For this reason, the paste supply syringe 14 held by the syringe holder 42 has the vertical plane (YZ plane) aligned with the vertical line VL (FIG. 6) so that the lower end nozzle portion 14a is positioned directly below the front squeegee 15a. The paste supply posture (FIGS. 5, 6, and 7) extending obliquely backward (a right side in FIG. 6) with respect to the predetermined angle θ and the storage rotated about 90 degrees around the axis 41 from the paste supply posture Posture conversion between postures (FIG. 1) is possible. Here, the predetermined angle θ is arbitrarily set as an angle at which the paste can be supplied directly below the front squeegee 15a in a state where the paste supply syringe 14 is in the paste supply posture.

また、図5及び図7に示すように、スキージベース30の前方下部には下方に延びる案内部材取り付けブラケット43が設けられており、この案内部材取り付けブラケット43の前面には、スキージベース30のX軸方向中央側に向かってなだらかに降下する曲面状の案内面44aを有した案内部材(カム部材)44が前方に突出して設けられている。   As shown in FIGS. 5 and 7, a guide member mounting bracket 43 extending downward is provided at the lower front portion of the squeegee base 30, and the X of the squeegee base 30 is disposed on the front surface of the guide member mounting bracket 43. A guide member (cam member) 44 having a curved guide surface 44a that gently descends toward the center in the axial direction is provided to protrude forward.

ペースト供給シリンジ14がスキージベース30のY軸方向中央部においてペースト供給姿勢にある状態から、シリンジ移動モータ36が駆動されてペースト供給シリンジ14がスキージベース30の案内部材44側の端部方向(図8では紙面左側)に移動し、ペースト供給シリンジ14の移動ストロークの端部付近に達すると(図8(a)中に示す矢印A1)、ペースト供給シリンジ14の側面であって、軸線41よりも下方の位置に設けられた従動部材としての第1のカムフォロア45が案内部材44の案内面44aに当接する(図8(a))。そして、その後、更にスキージベース30が案内部材44側の端部方向に移動すると(図8(b)中に示す矢印A2)、第1のカムフォロア45は案内面44a上を転動する(案内される)ので、ペースト供給シリンジ14の下部は案内部材44によって押し上げられて軸線41回りに揺動し(図8(b))、最終的にはほぼ90度揺動した水平な格納姿勢となる(図8(c))。   From the state in which the paste supply syringe 14 is in the paste supply posture at the center in the Y-axis direction of the squeegee base 30, the syringe movement motor 36 is driven so that the paste supply syringe 14 is in the direction toward the guide member 44 side of the squeegee base 30 (see FIG. 8 on the left side of the paper surface) and reaches the vicinity of the end of the movement stroke of the paste supply syringe 14 (arrow A1 shown in FIG. 8A). A first cam follower 45 as a driven member provided at a lower position contacts the guide surface 44a of the guide member 44 (FIG. 8A). After that, when the squeegee base 30 further moves in the direction toward the end of the guide member 44 (arrow A2 shown in FIG. 8B), the first cam follower 45 rolls (guides) on the guide surface 44a. Therefore, the lower portion of the paste supply syringe 14 is pushed up by the guide member 44 and swings around the axis 41 (FIG. 8B), and finally becomes a horizontal retracted posture swinging approximately 90 degrees ( FIG. 8 (c)).

すなわち本実施の形態において、案内部材44は、ペースト供給姿勢にあるペースト供給シリンジ14がシリンジ移動機構40によってスキージベース30の往復移動方向(Y軸方向)と直交する水平方向(X軸方向)に移動されたとき、ペースト供給シリンジ14の軸線41よりも下方の部分に設けられた第1のカムフォロア45を案内し、ペースト供給シリンジ14を軸線41回りにほぼ90度揺動させてペースト供給シリンジ14を格納姿勢にするものとなっている。   That is, in the present embodiment, the guide member 44 is arranged in a horizontal direction (X-axis direction) perpendicular to the reciprocating movement direction (Y-axis direction) of the squeegee base 30 by the syringe moving mechanism 40 when the paste supply syringe 14 in the paste supply posture is used. When moved, the first cam follower 45 provided in a portion below the axis 41 of the paste supply syringe 14 is guided, and the paste supply syringe 14 is swung about the axis 41 by approximately 90 degrees to paste the paste supply syringe 14. Is in the retracted position.

スキージ15は基板2のサイズ等に応じて適宜交換する必要があり、このスキージ15の交換作業では、オペレータOPは、スクリーン印刷機1の前方からスキージベース30の下方に手を差し入れるようにするが、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、上記のように、ペースト供給シリンジ14をペースト供給姿勢から格納姿勢に姿勢変換することができるようになっているので、ペースト供給シリンジ14をスキージベース30のオペレータOPの作業位置側から見て前方の領域に設けた場合であっても、ペースト供給シリンジ14を格納姿勢にすることによってスキージベース30の前方の領域を開放状態にすることができ、スキージ15の交換作業を容易に行うことができる。そして、ペースト供給シリンジ14をペースト供給姿勢から格納姿勢に姿勢変換させる機構として、ペーストPstを基板2の幅方向に均等に供給させるために、ペースト供給シリンジ14をスキージベース30の往復移動方向と直交する水平方向に移動させるシリンジ移動機構40を利用しているので、ペースト供給シリンジ14を格納姿勢にする構成を簡単なものとすることができる。   The squeegee 15 needs to be appropriately replaced according to the size of the substrate 2 and the operator OP inserts his hand from the front of the screen printing machine 1 to the lower side of the squeegee base 30 in the replacement operation of the squeegee 15. However, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, since the paste supply syringe 14 can be changed from the paste supply posture to the retracted posture as described above, the paste supply syringe 14 is changed to the squeegee base. Even in the case where it is provided in the front area as seen from the working position side of the operator OP of 30, the area in front of the squeegee base 30 can be opened by placing the paste supply syringe 14 in the retracted posture. The replacement work of the squeegee 15 can be easily performed. As a mechanism for changing the posture of the paste supply syringe 14 from the paste supply posture to the retracted posture, the paste supply syringe 14 is orthogonal to the reciprocating direction of the squeegee base 30 in order to supply the paste Pst evenly in the width direction of the substrate 2. Since the syringe moving mechanism 40 that moves in the horizontal direction is used, the configuration in which the paste supply syringe 14 is in the retracted position can be simplified.

また、図5及び図7において、案内部材取り付けブラケット43の前面であって、案内部材44が設けられている位置よりもスキージベース30の中央側(図5及び図7では紙面右側)の位置には蓋部材46が取り付けられている。この蓋部材46は、その一端側が案内部材取り付けブラケット43の前面から水平前方(Y軸方向)に突出して設けられた蓋部材揺動軸47に枢支されており、その蓋部材揺動軸47に枢支された側の端部(枢支側端部)を中心に、反対側の端部(非枢支側端部)が蓋部材揺動軸47のスキージベース30の中央側に位置して案内部材取り付けブラケット43の前面に設けられた第1ストッパ43a(図7)に上方から当接する水平姿勢(非閉塞姿勢。図5、図8(a)及び図9(a))と、非枢支側端部が蓋部材揺動軸47の直上に位置する垂直姿勢(閉塞姿勢。図8(c)及び図9(b))との間で揺動自在となっている。   5 and 7, the front surface of the guide member mounting bracket 43 is located at the center side of the squeegee base 30 (the right side in FIG. 5 and FIG. 7) from the position where the guide member 44 is provided. A lid member 46 is attached. One end of the lid member 46 is pivotally supported by a lid member swinging shaft 47 provided so as to project horizontally forward (Y-axis direction) from the front surface of the guide member mounting bracket 43. The opposite end (non-pivot end) is located on the center side of the squeegee base 30 of the lid member swinging shaft 47, with the end (pivot end) on the side pivoted to the center. The horizontal posture (non-closed posture; FIGS. 5, 8 (a) and 9 (a)) that contacts the first stopper 43 a (FIG. 7) provided on the front surface of the guide member mounting bracket 43 from above, It is swingable between a vertical posture (closed posture; FIGS. 8 (c) and 9 (b)) in which the pivot-side end is located immediately above the lid member swing shaft 47.

図5及び図9(a),(b)において、蓋部材46の枢支側端部の後方側(スキージベース30側)には、蓋部材46と直交する方向に延びた押圧片46aが設けられており、この押圧片46aは、蓋部材46が非閉塞姿勢になっているときには蓋部材46の枢支側端部から垂直上方に延びて位置し(図5、図8(a)及び図9(a))、蓋部材46が閉塞姿勢になっているときには、蓋部材46の枢支側端部から、スキージベース30の中央側とは反対の側に水平方向に延びて位置し(図8(c)及び図9(b))、案内部材取り付けブラケット43の前面に設けられた第2ストッパ43b(図5及び図7)に上方から当接するようになっている(図8(c))。   5 and 9 (a) and 9 (b), a pressing piece 46a extending in a direction orthogonal to the lid member 46 is provided on the rear side (squeegee base 30 side) of the end of the pivot member on the lid member 46. When the lid member 46 is in the non-closed posture, the pressing piece 46a extends vertically upward from the pivot side end of the lid member 46 (see FIGS. 5, 8 (a) and 8). 9 (a)), when the lid member 46 is in the closed position, the lid member 46 is positioned so as to extend in the horizontal direction from the pivotally supported end of the lid member 46 to the side opposite to the center side of the squeegee base 30 (see FIG. 8 (c) and FIG. 9 (b)), a second stopper 43b (FIGS. 5 and 7) provided on the front surface of the guide member mounting bracket 43 is contacted from above (FIG. 8 (c)). ).

図5及び図7において、シリンジ取り付けブラケット31には、シリンジ取り付けブラケット31の移動方向(X軸方向)であって、案内部材44が設けられている側とは反対の側(図5及び図7では紙面右側)に水平方向に延びたアーム部材48が設けられている。このアーム部材48の先端部は、図5、図7及び図9に示すように下方に屈曲して延びた屈曲部48aとなっており、この屈曲部48aには水平前方(Y軸方向)に突出した軸(図示せず)の回りに回転自在な第2のカムフォロア49が取り付けられている。   5 and 7, the syringe mounting bracket 31 has a moving direction (X-axis direction) of the syringe mounting bracket 31 opposite to the side on which the guide member 44 is provided (FIGS. 5 and 7). Then, an arm member 48 extending in the horizontal direction is provided on the right side of the drawing. The distal end portion of the arm member 48 is a bent portion 48a that is bent downward and extended as shown in FIGS. 5, 7, and 9, and the bent portion 48a is horizontally forward (Y-axis direction). A second cam follower 49 that is rotatable around a protruding shaft (not shown) is attached.

上記のように、シリンジ移動モータ36が駆動されてペースト供給シリンジ14がペースト供給姿勢から格納姿勢に姿勢変換する過程において、アーム部材48の屈曲部48aに設けられた第2のカムフォロア49が、非閉塞姿勢にある蓋部材46の押圧片46aにスキージベース30の中央部側(図5及び図7の紙面右側)から当接した後、蓋部材46を案内部材44側(図5及び図7の紙面左側)に押圧する(図9(a)中に示す矢印B1)。これにより蓋部材46は蓋部材揺動軸47回りに揺動し、水平な非閉塞姿勢から垂直な閉塞姿勢になって(図9(b)中に示す矢印B2)、格納姿勢になった直後のペースト供給シリンジ14のノズル部14aを側方から閉塞する(蓋をする)。このように、ペースト供給シリンジ14がペースト供給姿勢からほぼ90度回転した格納姿勢において、ノズル部14aが蓋部材46によって閉塞される(蓋をされる)ことから、ペースト供給シリンジ14がペーストPstを供給しない格納姿勢となっている状態において、そのノズル部14aからペーストPstが垂れることが防止される。   As described above, in the process in which the syringe moving motor 36 is driven and the paste supply syringe 14 changes its posture from the paste supply posture to the retracted posture, the second cam follower 49 provided in the bent portion 48a of the arm member 48 is not After coming into contact with the pressing piece 46a of the lid member 46 in the closed position from the center side of the squeegee base 30 (the right side in FIG. 5 and FIG. 7), the lid member 46 is moved to the guide member 44 side (of FIGS. 5 and 7). (Left arrow on the paper surface) (arrow B1 shown in FIG. 9A). As a result, the lid member 46 swings about the lid member swinging shaft 47 and changes from a horizontal non-closed posture to a vertical closed posture (arrow B2 shown in FIG. 9B), immediately after the retracted posture is reached. The nozzle part 14a of the paste supply syringe 14 is closed from the side (covered). Thus, in the retracted posture in which the paste supply syringe 14 is rotated by approximately 90 degrees from the paste supply posture, the nozzle portion 14a is closed (covered) by the lid member 46, so that the paste supply syringe 14 receives the paste Pst. The paste Pst is prevented from dripping from the nozzle portion 14a in the storage posture in which it is not supplied.

なお、ペースト供給シリンジ14が格納姿勢からペースト供給姿勢になるときには、ペースト供給シリンジ14のノズル部14aが垂直姿勢になっている蓋部材46をスキージベース30の中央部側(図5及び図7の紙面右側)に押圧するので、蓋部材46は蓋部材揺動軸47回りに揺動して垂直な閉塞姿勢から水平な非閉塞姿勢になる(押圧片46aは水平姿勢から垂直姿勢になる)。これにより、蓋部材46によるペースト供給シリンジ14のノズル部14aの閉塞状態が解除される(図8(c)→図8(b)→図8(a))。なお、蓋部材46が第2のカムフォロア49によって押圧されていない状態では確実に非閉塞姿勢になるように、蓋部材46を非閉塞姿勢の方向にばね等で付勢する構造としてもよい。   When the paste supply syringe 14 is changed from the retracted posture to the paste supply posture, the lid member 46 in which the nozzle portion 14a of the paste supply syringe 14 is in the vertical posture is moved to the center portion side of the squeegee base 30 (see FIGS. 5 and 7). The cover member 46 swings about the cover member swinging shaft 47 and changes from the vertical closed position to the horizontal non-closed position (the pressing piece 46a changes from the horizontal position to the vertical position). Accordingly, the closed state of the nozzle portion 14a of the paste supply syringe 14 by the lid member 46 is released (FIG. 8 (c) → FIG. 8 (b) → FIG. 8 (a)). Note that the lid member 46 may be biased by a spring or the like in the direction of the non-closed posture so that the lid member 46 is surely in the non-closed posture in a state where the lid member 46 is not pressed by the second cam follower 49.

このスクリーン印刷機1において、基板2の搬送を行う基板搬送路としての搬入コンベア25、位置決めコンベア23及び搬出コンベア26の各動作は、制御装置50(図10)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構51(図10)の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材24による基板2のクランプ動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構52(図10)の作動制御を行うことによってなされる。   In this screen printing machine 1, each operation of the carry-in conveyor 25, the positioning conveyor 23, and the carry-out conveyor 26 as a board conveyance path for carrying the board 2 is carried by the control device 50 (FIG. 10), which is a board conveyance composed of an actuator not shown. The clamp operation of the substrate 2 by the clamp member 24 is performed by controlling the operation of the path operation mechanism 51 (FIG. 10), and the operation control of the clamp member operation mechanism 52 (FIG. 10) including an actuator (not shown) is performed by the control device 50. Made by doing.

基台11に対するYテーブル21aのY軸方向への移動、Yテーブル21aに対するXテーブル21bのX軸方向への移動、Xテーブル21bに対するθテーブル21cの(すなわちベーステーブル21dの)Z軸回りの回転、ベーステーブル21dに対する第1昇降テーブル22aの昇降、第1昇降テーブル22aに対する第2昇降テーブル22bの(すなわち下受けユニット22cの)昇降の各動作は、制御装置50がYテーブル駆動モータMyやXテーブル駆動モータMx(図2及び図3参照)等のアクチュエータ等から成る基板位置決めユニット作動機構53(図10)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the Y table 21a relative to the base 11 in the Y-axis direction, movement of the X table 21b relative to the Y table 21a in the X-axis direction, rotation of the θ table 21c relative to the X table 21b (ie, the base table 21d) around the Z axis The control device 50 controls the Y table drive motor My and X for each operation of raising and lowering the first raising and lowering table 22a with respect to the base table 21d and raising and lowering the second raising and lowering table 22b with respect to the first raising and lowering table 22a. This is done by controlling the operation of the substrate positioning unit operating mechanism 53 (FIG. 10) including an actuator such as a table driving motor Mx (see FIGS. 2 and 3).

カメラユニット16の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム28に対するX軸ステージ29aのY軸方向への移動動作及びX軸ステージ29aに対するカメラ支持ステージ29bのX軸方向への移動動作の各制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構54(図10)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the camera unit 16 in the horizontal plane, that is, movement of the X-axis stage 29a in the Y-axis direction with respect to the pair of portal frames 28 and movement of the camera support stage 29b in the X-axis direction with respect to the X-axis stage 29a Each control is performed when the control device 50 controls the operation of the camera unit moving mechanism 54 (FIG. 10) including an actuator (not shown).

一対のスキージ15をY軸方向に往復移動させるスキージベース30の動作制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るスキージ移動機構55(図10)の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ15のスキージベース30に対する昇降動作は、制御装置50がスキージベース30の上部に取り付けられたスキージ昇降シリンダ56の作動制御を行うことによってなされる。   The operation control of the squeegee base 30 for reciprocating the pair of squeegees 15 in the Y-axis direction is performed by the control device 50 controlling a squeegee moving mechanism 55 (FIG. 10) including an actuator (not shown). The raising / lowering operation of each squeegee 15 with respect to the squeegee base 30 is performed by controlling the operation of a squeegee raising / lowering cylinder 56 attached to the upper part of the squeegee base 30.

ペースト供給シリンジ14をX軸方向へ移動させるペースト供給シリンジ14の移動動作制御は、制御装置50が前述のシリンジ移動モータ36の作動制御を行うことによってなされる。また、ペースト供給シリンジ14によるペーストPstの供給動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給機構57(図10)の作動制御を行うことによってなされる。   The movement control of the paste supply syringe 14 that moves the paste supply syringe 14 in the X-axis direction is performed by the control device 50 performing the operation control of the syringe movement motor 36 described above. In addition, the supply operation of the paste Pst by the paste supply syringe 14 is performed by the operation control of the paste supply mechanism 57 (FIG. 10) including an actuator or the like that is not illustrated by the control device 50.

図11(a)において、後方スキージ15bのスキージ面(ペーストPstを掻く面であり、後方スキージ15bでは前方に向く面)には、後方スキージ15bの幅方向(X軸方向)の一端側に設けられてX軸方向に検査光Lの投光を行う投光器58aと、後方スキージ15bの幅方向の他端側に設けられて投光器58aが投光する検査光Lの受光を行う受光器58bから成るペースト高さ検出センサ58が設けられている。   In FIG. 11 (a), the squeegee surface of the rear squeegee 15b (the surface for scraping the paste Pst and facing forward in the rear squeegee 15b) is provided on one end side in the width direction (X-axis direction) of the rear squeegee 15b. And a light receiver 58a that projects the inspection light L in the X-axis direction and a light receiver 58b that is provided on the other end side in the width direction of the rear squeegee 15b and receives the inspection light L projected by the light projector 58a. A paste height detection sensor 58 is provided.

制御装置50は、後方スキージ15bにマスクプレート13上のペーストPstを接触させた状態で、ペースト高さ検出センサ58の投光器58aが投光する検査光Lが受光器58bによって受光されたことを検知した場合(図11(b)に示す状態の場合)には、そのペーストPstの高さh(図11(b))が、マスクプレート13の上面から測った検査光Lの高さに相当する所定値(所定高さ)H(図11(b))を下回っており、ペーストPstの供給が必要であるとの認識を行う。   The control device 50 detects that the inspection light L emitted by the light projector 58a of the paste height detection sensor 58 is received by the light receiver 58b in a state where the paste Pst on the mask plate 13 is in contact with the rear squeegee 15b. In this case (in the state shown in FIG. 11B), the height h (FIG. 11B) of the paste Pst corresponds to the height of the inspection light L measured from the upper surface of the mask plate 13. It is below the predetermined value (predetermined height) H (FIG. 11B), and it is recognized that the supply of the paste Pst is necessary.

カメラユニット16を構成する第1カメラ16aは、制御装置50に制御されて、基板位置決めユニット12によって作業位置に位置決めされた基板2の基板側位置合わせマークmkの撮像を行い、第2カメラ16bは、制御装置50に制御されて、マスクプレート13に設けられたマスク側位置合わせマークMKの撮像を行う。第1カメラ16aの撮像によって得られた画像データと第2カメラ16bの撮像によって得られた画像データはともに制御装置50に入力される(図10)。   The first camera 16a constituting the camera unit 16 is controlled by the control device 50 to image the substrate side alignment mark mk of the substrate 2 positioned at the work position by the substrate positioning unit 12, and the second camera 16b is Under the control of the control device 50, the mask side alignment mark MK provided on the mask plate 13 is imaged. Both the image data obtained by imaging with the first camera 16a and the image data obtained by imaging with the second camera 16b are input to the control device 50 (FIG. 10).

次に、図12のフローチャート及び図13〜図16の動作説明図を用いてスクリーン印刷機1の動作について説明する。スクリーン印刷機1の制御装置50は、図示しない検出手段によってオペレータOP(或いはスクリーン印刷機1の上流側に設置された図示しない他の装置)から搬入コンベア25に基板2が投入されたことを検知したら、搬入コンベア25と位置決めコンベア23を連動作動させてスクリーン印刷機1内に基板2を搬入し(図13(a)中に示す矢印C)、図示しない検知手段により、位置決めコンベア23が搬送する基板2が所定の作業位置に到達したことを検知したら、位置決めコンベア23の作動を停止させて基板2の位置決めを行う(図13(b)。基板の搬入及び位置決め工程。図12のステップST1)。   Next, the operation of the screen printing machine 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. 12 and the operation explanatory diagrams of FIGS. The control device 50 of the screen printing machine 1 detects that the substrate 2 has been put into the carry-in conveyor 25 from the operator OP (or another device (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1) by a detection means (not shown). Then, the carry-in conveyor 25 and the positioning conveyor 23 are operated in conjunction to carry the substrate 2 into the screen printing machine 1 (arrow C shown in FIG. 13A), and the positioning conveyor 23 conveys it by a detection means (not shown). When it is detected that the substrate 2 has reached a predetermined work position, the operation of the positioning conveyor 23 is stopped and the substrate 2 is positioned (FIG. 13 (b). Loading and positioning step of the substrate, step ST1 in FIG. 12). .

制御装置50は、基板2の作業位置への位置決めを行ったら、基板位置決めユニット12が備える上下方向位置決め部22の第2昇降テーブル22bを第1昇降テーブル22aに対して上昇させ(図14(a)中に示す矢印D1)、下受けユニット22cが基板2の下面に接触したら第2昇降テーブル22bの上昇を停止させる。そして、クランプ部材24を作動させ、位置決めコンベア23上の基板2の両側部をクランプする(図14(b)中に示す矢印E1。基板クランプ工程。図12のステップST2)。   After positioning the substrate 2 to the work position, the control device 50 raises the second lifting table 22b of the vertical positioning portion 22 included in the substrate positioning unit 12 with respect to the first lifting table 22a (FIG. 14A). ) When the arrow D1) shown in the figure is in contact with the lower surface of the substrate 2, the raising of the second elevating table 22b is stopped. Then, the clamp member 24 is actuated to clamp both sides of the substrate 2 on the positioning conveyor 23 (arrow E1 shown in FIG. 14 (b), substrate clamping step, step ST2 in FIG. 12).

制御装置50は、クランプ部材24により基板2をクランプして保持したら、再び第2昇降テーブル22bを第1昇降テーブル22aに対して上昇させ(図14(c)中に示す矢印D2)、下受けユニット22cで基板2を押し上げる。これにより基板2は両端をクランプ部材24に対して摺動させながら上昇し(これにより基板2は位置決めコンベア23から上方に離間する)、基板2の上面が両クランプ部材24の上面とほぼ同じ高さになったところで下受けユニット22cの押し上げが停止される(図14(c))。   When the control device 50 clamps and holds the substrate 2 with the clamp member 24, the control device 50 raises the second lift table 22b again with respect to the first lift table 22a (arrow D2 shown in FIG. 14C), and receives the lower support. The substrate 2 is pushed up by the unit 22c. As a result, the substrate 2 rises while sliding both ends with respect to the clamp member 24 (thereby, the substrate 2 is separated upward from the positioning conveyor 23), and the upper surface of the substrate 2 is substantially the same height as the upper surfaces of both the clamp members 24. At this point, the push-up of the receiving unit 22c is stopped (FIG. 14 (c)).

制御装置50は、基板2の上面が両クランプ部材24の上面とほぼ同じ高さになったところで下受けユニット22cの押し上げを停止させたら、カメラユニット移動機構54の作動制御を行ってカメラユニット16を基板2とマスクプレート13の間の領域に移動させ、第1カメラ16aにより基板2に設けられた基板側位置合わせマークmkの撮像を行わせるとともに、第2カメラ16bによりマスクプレート13に設けられたマスク側位置合わせマークMKの撮像を行わせる。そして、得られた基板側位置合わせマークmkの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側位置合わせマークMKの画像データからマスクプレート13の位置を把握する。   When the upper surface of the substrate 2 is almost at the same height as the upper surfaces of the clamp members 24, the control device 50 controls the operation of the camera unit moving mechanism 54 to stop the camera unit 16c. Is moved to a region between the substrate 2 and the mask plate 13 to cause the first camera 16a to image the substrate-side alignment mark mk provided on the substrate 2, and to be provided on the mask plate 13 by the second camera 16b. The mask side alignment mark MK is imaged. Then, the position of the substrate 2 is grasped from the image data of the obtained substrate side alignment mark mk, and the position of the mask plate 13 is grasped from the obtained image data of the mask side alignment mark MK.

制御装置50は、基板2の位置とマスクプレート13の位置を把握したら、基板位置決めユニット12が備える水平面内位置決め部21の作動制御を行って基板2を水平方向に移動させ、基板側位置合わせマークmkとマスク側位置合わせマークMKとが上下に対向するように、基板2とマスクプレート13の水平方向の位置合わせを行う。そして、基板2とマスクプレート13の水平方向位置合わせが終わったら、制御装置50は、基板位置決めユニット12が備える上下方向位置決め部22の第1昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して上昇させ(図15(a)中に示す矢印D3)、基板2の被印刷面である上面をマスクプレート13に下方から接触させる(図15(a)。基板・マスクプレート接触工程。図12のステップST3)。これによりマスクプレート13のパターン孔phと基板2上の電極3とが上下方向に合致した状態となる。   After grasping the position of the substrate 2 and the position of the mask plate 13, the control device 50 performs the operation control of the in-horizontal positioning unit 21 provided in the substrate positioning unit 12 to move the substrate 2 in the horizontal direction, thereby aligning the substrate side alignment mark. The substrate 2 and the mask plate 13 are aligned in the horizontal direction so that mk and the mask side alignment mark MK are vertically opposed to each other. When the horizontal alignment between the substrate 2 and the mask plate 13 is completed, the control device 50 raises the first lifting table 22a of the vertical positioning portion 22 provided in the substrate positioning unit 12 with respect to the base table 21d (see FIG. The arrow D3 shown in FIG. 15 (a), and the upper surface, which is the printing surface of the substrate 2, is brought into contact with the mask plate 13 from below (FIG. 15 (a): substrate / mask plate contacting step, step ST3 in FIG. 12). As a result, the pattern hole ph of the mask plate 13 and the electrode 3 on the substrate 2 are aligned in the vertical direction.

制御装置50は、基板2をマスクプレート13に接触させたら、必要に応じてマスクプレート13上にペーストPstの供給を行う(ペースト供給工程。図12のステップST4)。このペーストPstの供給を行う場合には、制御装置50は、先ず、スキージベース30をY軸方向に移動させて前方スキージ15aが前方のクランプ部材24の直上に位置するようにする。そして、シリンジ移動モータ36の作動制御を行ってシリンジ移動機構40を駆動し、ペースト供給シリンジ14をスキージベース30の前方の領域をX軸方向に移動させ、ペースト供給シリンジ14を格納姿勢から軸線41回りに90度回転させてペースト供給姿勢にしたうえで、ペースト供給シリンジ14より前方スキージ15aの直下のマスクプレート13上にペーストPstを供給させる。なお、このペーストPstの供給時には、シリンジ移動機構40によってペースト供給シリンジ14をX軸方向に移動させ、ペーストPstが基板2の幅方向に均等に供給されるようにする。制御装置50は、ペースト供給シリンジ14によるマスクプレート13上へのペーストPstの供給が終わったら、シリンジ移動機構40を駆動して、ペースト供給シリンジ14をペースト供給姿勢から格納姿勢にする。   After the substrate 2 is brought into contact with the mask plate 13, the control device 50 supplies the paste Pst onto the mask plate 13 as necessary (paste supply process; step ST4 in FIG. 12). When supplying the paste Pst, the control device 50 first moves the squeegee base 30 in the Y-axis direction so that the front squeegee 15a is positioned directly above the front clamp member 24. Then, the operation of the syringe moving motor 36 is controlled to drive the syringe moving mechanism 40, the paste supply syringe 14 is moved in the X-axis direction in the area in front of the squeegee base 30, and the paste supply syringe 14 is moved from the retracted position to the axis 41. The paste Pst is supplied from the paste supply syringe 14 onto the mask plate 13 directly below the front squeegee 15a after being rotated 90 degrees around to the paste supply posture. When the paste Pst is supplied, the paste supply syringe 14 is moved in the X-axis direction by the syringe moving mechanism 40 so that the paste Pst is evenly supplied in the width direction of the substrate 2. When the supply of the paste Pst onto the mask plate 13 by the paste supply syringe 14 is finished, the control device 50 drives the syringe moving mechanism 40 to change the paste supply syringe 14 from the paste supply posture to the retracted posture.

制御装置50は、基板2をマスクプレート13に接触させ、必要に応じてマスクプレート13上へのペーストPstの供給を行ったら、スキージベース30をY軸方向に往復移動させて、マスクプレート13のマスクパターンMPのパターン孔ph内にペーストPstを充填させる(ペースト充填工程。図12のステップST5)。このペーストPstの充填動作は、具体的には、先ず、前方スキージ15aを下降させてその下縁をマスクプレート13の上面に当接させた後、スキージベース30の後方に移動させ、前方スキージ15aをマスクプレート13上で摺動させることによって、後方のクランプ部材24の上面領域までペーストPstを掻き寄せる(図15(b)中に示す矢印F1)。ペーストPstを後方のクランプ部材24の上面領域まで掻き寄せたら、スキージベース30の移動を停止させたうえで、前方スキージ15aを上昇させてマスクプレート13から離間させるとともに、後方スキージ15bを下降させてその下縁をマスクプレート13の上面に当接させる。そして、スキージベース30を矢印F1とは反対の方向に移動させ、後方スキージ15bをマスクプレート13上で摺動させることによって、前方のクランプ部材24の上面領域までペーストPstを掻き寄せる(図15(c)中に示す矢印F2)。これによりマスクプレート13のパターン孔ph内にペーストPstが充填される。   When the control device 50 brings the substrate 2 into contact with the mask plate 13 and supplies the paste Pst onto the mask plate 13 as necessary, the control device 50 moves the squeegee base 30 back and forth in the Y-axis direction, The paste Pst is filled into the pattern holes ph of the mask pattern MP (paste filling step, step ST5 in FIG. 12). Specifically, the filling operation of the paste Pst is performed by first lowering the front squeegee 15a and bringing its lower edge into contact with the upper surface of the mask plate 13, and then moving it to the rear of the squeegee base 30 to move the front squeegee 15a. Is slid on the mask plate 13 to scrape the paste Pst to the upper surface region of the rear clamp member 24 (arrow F1 shown in FIG. 15B). When the paste Pst is scraped to the upper surface area of the rear clamp member 24, the movement of the squeegee base 30 is stopped, the front squeegee 15a is raised and separated from the mask plate 13, and the rear squeegee 15b is lowered. The lower edge is brought into contact with the upper surface of the mask plate 13. Then, the squeegee base 30 is moved in the direction opposite to the arrow F1 and the rear squeegee 15b is slid on the mask plate 13 to scrape the paste Pst to the upper surface area of the front clamp member 24 (FIG. 15 ( c) Arrow F2) shown in the figure. As a result, the paste Pst is filled into the pattern holes ph of the mask plate 13.

制御装置50は、マスクプレート13のパターン孔ph内にペーストPstを充填させたら、第1昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して下降させ、マスクプレート13を基板2から離間させる(図16(a)中に示す矢印D4)。これにより版離れが行われ、ペーストPstが基板2の電極3上に印刷された状態となる(版離れ工程。図12のステップST6)。   When the control device 50 fills the pattern hole ph of the mask plate 13 with the paste Pst, the control device 50 lowers the first elevating table 22a with respect to the base table 21d and separates the mask plate 13 from the substrate 2 (FIG. 16A). ) Arrow D4) shown in the figure. As a result, plate separation is performed, and the paste Pst is printed on the electrode 3 of the substrate 2 (plate separation step, step ST6 in FIG. 12).

制御装置50は、基板2へのペーストPstの印刷が終了したら、クランプ部材24を作動させて基板2のクランプを解除する(図16(b)中に示す矢印E2。クランプ解除工程。図12のステップST7)。そして、第2昇降テーブル22bを第1昇降テーブル22aに対して下降させ、基板2を位置決めコンベア23上に降ろす(図16(c)中に示す矢印D5)。そして、基板位置決めユニット12が備える水平面内位置決め部21を作動させ、搬出コンベア26に対する位置決めコンベア23の位置調整を行ったうえで、位置決めコンベア23と搬出コンベア26を作動させ、位置決めコンベア23上の基板2を搬出コンベア26に受け渡してそのままスクリーン印刷機1の外部に搬出する(基板搬出工程。図12のステップST8)。   When the printing of the paste Pst on the substrate 2 is completed, the control device 50 operates the clamp member 24 to release the clamp of the substrate 2 (arrow E2 shown in FIG. 16B). Clamp release step, FIG. Step ST7). And the 2nd raising / lowering table 22b is lowered | hung with respect to the 1st raising / lowering table 22a, and the board | substrate 2 is lowered | hung on the positioning conveyor 23 (arrow D5 shown in FIG.16 (c)). Then, the positioning unit 21 in the horizontal plane provided in the substrate positioning unit 12 is operated to adjust the position of the positioning conveyor 23 with respect to the carry-out conveyor 26, and then the positioning conveyor 23 and the carry-out conveyor 26 are operated, so that the substrate on the positioning conveyor 23 is obtained. 2 is delivered to the carry-out conveyor 26 and carried out as it is to the outside of the screen printing machine 1 (substrate carry-out process, step ST8 in FIG. 12).

制御装置50は、基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(判断工程。図12のステップST9)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って基板2の搬入及び位置決めを行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷工程を終了する。   After unloading the substrate 2, the control device 50 determines whether there is another substrate 2 to be screen printed (determination step; step ST9 in FIG. 12). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in and position the substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing steps. Exit.

このようなスクリーン印刷工程において、制御装置50は、上記ステップST5のペースト充填工程で、後方スキージ15bによってペーストPstをマスクプレート13の前方に掻き寄せる際、ペースト高さ検出センサ58からの検出情報に基づいて、後方スキージ15bの前方のペーストPstの高さh(図11(b))が所定値H(図11(b))を下回っているか否かの判断を行う。そして、その結果、ペーストPstの高さhが、マスクプレート13の上面から測った検査光Lの高さに相当する所定値Hを下回っており、ペーストPstの供給が必要であるとの認識を行ったときには、その旨(ペーストPstの供給が必要であるとの認識を行った旨)を図示しない記憶部に記憶し、次回のペースト充填工程(ステップST5)を実行する前に、ペースト供給シリンジ14を格納姿勢からペースト供給姿勢にして、マスクプレート13上へのペーストPstの供給(ステップST4)を実行するようにしている。これにより前方のクランプ部材24上のペーストPstに追加分のペーストPstが加えられ、減少したペーストPstの量が回復される。また、ペーストPstを前方に掻き寄せた状態で前方スキージ15aの直下にペーストPstの供給を行う構成となっているため、基板2の搬送中にペーストPstの供給を行ったとしても、マスクプレート13のパターン孔phからペーストPstが垂れ落ちることはない。   In such a screen printing process, the control device 50 uses the detection information from the paste height detection sensor 58 when the paste Pst is scraped forward of the mask plate 13 by the rear squeegee 15b in the paste filling process of step ST5. Based on this, it is determined whether or not the height h (FIG. 11 (b)) of the paste Pst in front of the rear squeegee 15b is below a predetermined value H (FIG. 11 (b)). As a result, it is recognized that the height h of the paste Pst is lower than a predetermined value H corresponding to the height of the inspection light L measured from the upper surface of the mask plate 13, and it is necessary to supply the paste Pst. When it is performed, the fact (recognizing that it is necessary to supply the paste Pst) is stored in a storage unit (not shown), and before the next paste filling step (step ST5), the paste supply syringe is stored. 14 is changed from the storage posture to the paste supply posture, and the supply of the paste Pst onto the mask plate 13 (step ST4) is executed. As a result, the additional paste Pst is added to the paste Pst on the front clamp member 24, and the reduced amount of paste Pst is recovered. Further, since the paste Pst is supplied immediately below the front squeegee 15a with the paste Pst scraped forward, even if the paste Pst is supplied while the substrate 2 is being transported, the mask plate 13 The paste Pst does not drop from the pattern hole ph.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基板2の上面に接触され、基板2の電極3の配置に応じたマスクパターンMPが形成されたマスクプレート13と、マスクプレート13の上方を水平方向に往復移動するスキージベース30に取り付けられ、マスクプレート13に上方から当接した状態でスキージベース30とともに水平方向に移動してマスクプレート13上を摺動することにより、マスクプレート13上で掻き寄せたペーストPstをマスクパターンMPのパターン孔ph内に充填させるスキージ15と、スキージベース30からスキージベース30の往復移動方向と平行な垂直面内を水平線HLに対して下方に傾いて延びる軸線41回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部14aがスキージ15(前方スキージ15a)の直下に位置するように上記垂直面内を垂直線VLに対して斜め方向に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線41回りにほぼ90度回転した格納姿勢との間での姿勢変換が可能なペースト供給シリンジ14と、ペースト供給シリンジ14をペースト供給姿勢と格納姿勢との間で揺動させるシリンジ姿勢変換手段(シリンジ移動機構40及び案内部材44)を備えたものとなっている。   As described above, the screen printer 1 according to the present embodiment is in contact with the upper surface of the substrate 2 and has the mask plate 13 on which the mask pattern MP according to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2 is formed. Is attached to a squeegee base 30 that reciprocally moves in the horizontal direction above the squeegee, and moves in the horizontal direction together with the squeegee base 30 in contact with the mask plate 13 from above to slide on the mask plate 13. The squeegee 15 that fills the pattern holes ph of the mask pattern MP with the paste Pst that has been scraped on the surface 13, and the vertical plane parallel to the reciprocating direction of the squeegee base 30 from the squeegee base 30 is inclined downward with respect to the horizontal line HL. The nozzle portion 14a at the lower end is attached to the squeegee 1 so as to be swingable around the extending axis 41. A paste supply posture extending obliquely with respect to the vertical line VL in the vertical plane so as to be located immediately below (the front squeegee 15a) and a retracted posture rotated about 90 degrees around the axis 41 from the paste supply posture Provided with paste supply syringe 14 capable of changing the posture between them, and syringe posture changing means (syringe moving mechanism 40 and guide member 44) for swinging paste supply syringe 14 between the paste supply posture and the storage posture It has become.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、ペースト供給シリンジ14が、スキージベース30から延びる軸線41回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部14aが下方に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線41回りにほぼ90度回転した格納姿勢との間での姿勢変換が可能となっているので、ペースト供給シリンジ14内へのペーストPstの補充作業が容易になるように、ペースト供給シリンジ14をスキージベース30のオペレータOPの作業位置側から見て前方の領域に設けた場合であっても、ペースト供給シリンジ14を格納姿勢にすることによってスキージベース30の前方の領域を開放状態にすることができ、スキージ15の交換作業も容易に行うことができる。また、ペースト供給シリンジ14のスキージベース30の往復移動する方向と直交する方向(X軸方向)への移動範囲は、少なくとも、基板2の幅をカバーできる範囲を有するものであるので、ペーストPstを基板2上の幅方向に均等に供給することができる。   In the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the paste supply syringe 14 is swingably attached around the axis 41 extending from the squeegee base 30, and the lower end nozzle portion 14a extends downward, and the paste supply posture. From the storage position rotated approximately 90 degrees around the axis 41, so that the paste supply syringe can be easily refilled with paste Pst in the paste supply syringe 14. Even when 14 is provided in a region in front of the squeegee base 30 as viewed from the operator OP working position, the region in front of the squeegee base 30 is opened by placing the paste supply syringe 14 in the retracted position. The squeegee 15 can be easily replaced. In addition, the movement range of the paste supply syringe 14 in the direction orthogonal to the reciprocating direction of the squeegee base 30 (X-axis direction) has a range that can cover at least the width of the substrate 2. It can be evenly supplied in the width direction on the substrate 2.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、スクリーン印刷機1は2つのスキージ15(前方スキージ15a及び後方スキージ15b)を備えるものであったが、これは一例であり、1つのスキージ15しか備えないものであっても構わない。   Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those shown in the above-described embodiments. For example, in the above-described embodiment, the screen printing machine 1 includes the two squeegees 15 (the front squeegee 15a and the rear squeegee 15b). However, this is an example, and only one squeegee 15 is provided. It does not matter.

また、上述の実施の形態では、ペースト供給シリンジ14をペースト供給姿勢と格納姿勢との間で揺動させるシリンジ姿勢変換手段は、シリンジ移動機構40と案内部材44の組み合わせから成るものであったが、シリンジ姿勢変換手段はペースト供給シリンジ14をペースト供給姿勢と格納姿勢との間での姿勢変換できる構成のものであればよく、その構成は上述の実施の形態に示したものに限定されない。したがって、軸線41に一致した駆動軸を有するモータによってペースト供給シリンジ14を直接揺動させる構成等であってよい。また、上述の実施の形態では、ペースト供給シリンジ14は水平方向に移動することによってペースト供給姿勢と格納姿勢との間で揺動するようになっていたが、ペースト供給シリンジ14がペースト供給姿勢と格納姿勢との間で揺動する過程において、ペースト供給シリンジ14が水平方向に移動することは、必須の要件ではない。   In the above-described embodiment, the syringe posture changing means for swinging the paste supply syringe 14 between the paste supply posture and the storage posture is a combination of the syringe moving mechanism 40 and the guide member 44. The syringe posture changing means only needs to have a configuration capable of changing the posture of the paste supply syringe 14 between the paste supply posture and the storage posture, and the configuration is not limited to that shown in the above-described embodiment. Therefore, the paste supply syringe 14 may be directly oscillated by a motor having a drive shaft that coincides with the axis 41. In the above-described embodiment, the paste supply syringe 14 swings between the paste supply posture and the retracted posture by moving in the horizontal direction, but the paste supply syringe 14 has the paste supply posture. It is not an essential requirement for the paste supply syringe 14 to move in the horizontal direction in the process of swinging between the retracted postures.

スキージの交換作業とペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業の双方を容易に行うことができるようにしたスクリーン印刷機を提供する。   A screen printer capable of easily performing both a squeegee replacement operation and a paste replenishment operation in a paste supply syringe.

1 スクリーン印刷機
2 基板
3 電極
13 マスクプレート
14 ペースト供給シリンジ
14a ノズル部
15 スキージ
30 スキージベース
40 シリンジ移動機構(シリンジ姿勢変換手段)
41 軸線
44 案内部材(シリンジ姿勢変換手段)
HL 水平線
VL 垂直線
MP マスクパターン
ph パターン孔
Pst ペースト
OP オペレータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Board | substrate 3 Electrode 13 Mask plate 14 Paste supply syringe 14a Nozzle part 15 Squeegee 30 Squeegee base 40 Syringe movement mechanism (syringe attitude | position conversion means)
41 Axis 44 Guide member (syringe posture changing means)
HL horizontal line VL vertical line MP mask pattern ph pattern hole Pst paste OP operator

Claims (1)

基板の上面に接触され、基板の電極の配置に応じたマスクパターンが形成されたマスクプレートと、
マスクプレートの上方を水平方向に往復移動するスキージベースに取り付けられ、マスクプレートに上方から当接した状態でスキージベースとともに水平方向に移動してマスクプレート上を摺動することにより、マスクプレート上で掻き寄せたペーストをマスクパターンのパターン孔内に充填させるスキージと、
スキージベースから延びる軸線回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部が下方に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から前記軸線回りにほぼ90度揺動した格納姿勢との間での姿勢変換が可能であって、スキージベースのオペレータの作業位置側から見て前方の領域に設けられたペースト供給シリンジと、
ペースト供給シリンジをペースト供給姿勢と格納姿勢との間で揺動させるシリンジ姿勢変換手段とを備え、
前記ペースト供給シリンジの前記スキージベースの往復移動する方向と直交する方向への移動範囲は、少なくとも、前記基板の幅をカバーできる範囲を有するものであることを特徴とするスクリーン印刷機。
A mask plate that is in contact with the upper surface of the substrate and on which a mask pattern according to the arrangement of the electrodes on the substrate is formed
Attached to a squeegee base that reciprocally moves in the horizontal direction above the mask plate, and moves in the horizontal direction together with the squeegee base while in contact with the mask plate from above, it slides on the mask plate. A squeegee that fills the pattern holes of the mask pattern with the paste that has been scraped;
Posture change between a paste supply posture in which a lower end nozzle portion extends downward and a retracted posture in which the nozzle portion of the lower end swings approximately 90 degrees from the paste supply posture to the axis extending from the squeegee base. A paste supply syringe provided in a region in front of the squeegee base operator as viewed from the working position side;
Syringe posture changing means for swinging the paste supply syringe between the paste supply posture and the storage posture,
The screen printer according to claim 1, wherein the paste supply syringe has a range in which the paste supply syringe moves in a direction perpendicular to the reciprocating direction of the squeegee base so as to cover at least the width of the substrate.
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