JP5133322B2 - Vacuum processing equipment, graph line display method - Google Patents

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Description

本発明は、真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置を用いた量産技術に関する。   The present invention relates to a technical field of a vacuum processing apparatus, and more particularly to mass production technology using a vacuum processing apparatus.

真空処理技術は、スパッタリング方法、ＣＶＤ方法、蒸着方法等の成膜技術や、エッチング技術、表面改質技術、不純物注入技術、真空乾燥技術等があり、広い分野で用いられている。
真空処理技術によって同一品種の製品を量産する場合、同一規格の処理対象物に同じ真空処理を行うが、品質にバラツキが発生する。
品質のバラツキが生じた原因を確認する場合や、バラツキが不良品を発生させないように製造工程を管理する場合、動作中の真空処理装置の状態を測定し、測定結果をロット間で比較、検証することが行われている。 Vacuum processing techniques include film formation techniques such as sputtering, CVD, and vapor deposition, etching techniques, surface modification techniques, impurity implantation techniques, and vacuum drying techniques, and are used in a wide range of fields.
When mass-producing products of the same product type using vacuum processing technology, the same vacuum processing is performed on objects to be processed of the same standard, but the quality varies.
When checking the cause of quality variation or managing the manufacturing process so that the variation does not cause defective products, measure the status of the vacuum processing equipment in operation and compare and verify the measurement results between lots. To be done.

特に、真空処理装置内の機器の動作電流量、温度、圧力等の差違をロット間や真空処理装置間で定量的に確認しようとする場合、製造工程中に測定して測定値を記憶しておき、検査装置によって測定値をグラフ化し、その形の比較を行っていた。
しかしながら、真空処理装置内の測定対象の機器が増加し、また、測定する項目である物理量の種類も増え、大量の測定値をグラフ化して比較することが困難になっている。 In particular, if you want to quantitatively check the difference in operating current, temperature, pressure, etc. of equipment in the vacuum processing equipment between lots or between vacuum processing equipment, measure and memorize the measured values during the manufacturing process. In addition, the measured values were graphed by an inspection device and their shapes were compared.
However, the number of devices to be measured in the vacuum processing apparatus has increased, and the types of physical quantities that are items to be measured have increased, making it difficult to graph and compare large amounts of measured values.

特に、視認によって装置データを比較できることは最近重要になっているが、複数の真空処理に対する測定値をグラフ化したとき、複数のグラフ線を重ね合わせて比較できると視認性が向上するが、測定時刻や測定値を操作して重ね合わせるのは非常に手間がかかっている。 In particular, it has recently become important to be able to compare device data by visual recognition, but when graphing measured values for multiple vacuum treatments, visibility can be improved if multiple graph lines can be overlaid for comparison. It is very time-consuming to superimpose by manipulating time and measured values.

特開２００９−８０８４４号公報JP 2009-80844 A

本発明は上記従来技術の問題点を解決する技術を提供することを課題としており、本発明によれば、多種多量の測定値を簡単、正確に重ね合わせて比較することが可能となる。   An object of the present invention is to provide a technique for solving the above-described problems of the prior art, and according to the present invention, it is possible to easily and accurately superimpose and compare a large number of measurement values.

本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値を前記記憶装置に記憶する真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、同一の前記ロットに属する前記グラフ線は、複数本であり、かつ、同一の前記Ｘ−Ｙ座標上に表示され、表示された前記グラフ線のうち、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ−Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値を前記記憶装置に記憶する真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、表示した前記グラフ線のうち、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ−Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるように構成され、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記時間軸上の所定位置を前記基準時刻とし、前記動作開始時刻と前記動作停止時刻を、前記基準時刻からの前記時間軸上の時間である時間軸上換算時刻に換算し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、選択された前記グラフ線と同じ前記ロットに属する前記タイミングチャートは、選択された前記グラフ線と一緒に、前記時間軸と平行で同方向に同距離移動させる真空処理装置である。
また、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、連続して前記真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶する真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、表示した前記タイミングチャートのうち、いずれか一個の前記タイミングチャートを選択すると、選択された前記タイミングチャートが属する前記ロットに属する他の表示された前記タイミングチャートも一緒に選択され、選択された前記タイミングチャートは前記時間軸上を前記時間軸が伸びる方向に一緒に同方向に同距離移動できるように構成され、選択された前記タイミングチャートと同じ前記ロットに属する前記グラフ線は、選択された前記タイミングチャートと一緒に同方向に同距離移動されるように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、移動された前記グラフ線の前記測定値の前記Ｘ軸の位置から前記Ｘ軸上換算時刻を再計算し、前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択し、前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第一の時刻として指示されると、前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ線毎に表示し、前記第一の測定値同士の差を表示するように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、前記表示装置に表示され、前記第一選択群以外の複数の前記グラフ線のうちから第二選択群のグラフ線が選択され、前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第二の時刻として指示されると、前記第二選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第二の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第二の測定値を各前記グラフ線毎の第二の測定値とし、前記第一の測定値と前記第二の測定値の差を前記表示装置に表示させるように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一、第二の主メジャー線を表示し、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第一の時刻とし、前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第二の時刻とし、前記第一、第二の主メジャー線の位置は変更できるように構成され、前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二の主メジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、所定枚数の前記処理対象物を連続して前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、同一の前記ロットに属する前記グラフ線は、複数本であり、かつ、同一の前記Ｘ−Ｙ座標上に表示され、表示された前記グラフ線のうち、所望のグラフ線を選択できるようにし、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ−Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるようにされたグラフ線表示方法である。
また、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、所定枚数の前記処理対象物を連続して前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、表示した前記グラフ線のうち、所望のグラフ線を選択できるようにし、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ−Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるようにし、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶されており、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記時間軸上の所定位置を前記基準時刻とし、前記動作開始時刻と前記動作停止時刻を、前記基準時刻からの前記時間軸上の時間である時間軸上換算時刻に換算し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、選択された前記グラフ線と同じ前記ロットに属する前記タイミングチャートは、選択された前記グラフ線と一緒に、前記時間軸と平行で同方向に同距離移動させるグラフ線表示方法である。
また、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、連続して前記真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、表示した前記タイミングチャートのうち、いずれか一個の前記タイミングチャートを選択すると、選択された前記タイミングチャートが属する前記ロットに属する他の表示された前記タイミングチャートも一緒に選択され、選択された前記タイミングチャートは前記時間軸上を前記時間軸が伸びる方向に一緒に同方向に同距離移動できるように構成され、選択された前記タイミングチャートと同じ前記ロットに属する前記グラフ線は、選択された前記タイミングチャートと一緒に同方向に同距離移動させるグラフ線表示方法である。
また、本発明は、移動させた前記グラフ線の前記測定値の前記Ｘ軸の位置から前記Ｘ軸上換算時刻を再計算し、前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択させ、前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第一の時刻として指示されると、前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ線毎に表示し、前記第一の測定値同士の差を表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記表示装置に表示した、前記第一選択群以外の複数の前記グラフ線のうちから第二選択群のグラフ線を選択させ、前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第二の時刻として指示されると、前記第二選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第二の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第二の測定値を各前記グラフ線毎の第二の測定値とし、前記第一の測定値と前記第二の測定値の差を前記表示装置に表示させるグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一、第二の主メジャー線を表示し、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第一の時刻とし、前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第二の時刻とし、前記第一、第二の主メジャー線の位置は変更できるように構成され、前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二の主メジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更するグラフ線表示方法である。 The present invention relates to a vacuum processing unit that vacuum-processes an object to be processed arranged in a vacuum chamber, and a plurality of measurement values output from the vacuum processing unit, together with a measurement time of the measurement value, in association with the vacuum processing. A storage device for storing, a calculation device for calculating the measurement value, and a display device for displaying a calculation result of the calculation device, and when a predetermined number of the processing objects are continuously subjected to the same vacuum processing The measurement value is one lot, and the vacuum processing apparatus stores the measurement values of a plurality of lots in the storage device. The storage device stores a data analysis program, and the data analysis program When a measurement value that displays a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is set to an X axis that is a time from a predetermined reference time. When converted above The position of the measured value on the X-axis is obtained from the converted time on the X-axis, with the predetermined position on the X-axis of the XY coordinate as the position of the reference time, and from the magnitude of the measured value A position on the Y axis is obtained, a graph line is generated from the position on the X axis and the position on the Y axis of the plurality of measurement values at which the measurement times are continuous, and together with the XY coordinates, the graph line is generated. The graph lines that are displayed on the display device and belong to the same lot are plural, and are displayed on the same XY coordinates, and any one of the displayed graph lines is displayed. When a graph line is selected, the other displayed graph lines belonging to the lot of the selected graph line are also selected, and the selected graph line is the X axis on the XY coordinates. Configured to move the same distance together in the direction in which the Is empty processing apparatus.
Further, the present invention corresponds to a vacuum processing unit that vacuum-processes a processing object disposed in a vacuum chamber, and a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit together with the vacuum processing together with a measurement time of the measurement value. And a storage device that stores information, a calculation device that calculates the measurement value, and a display device that displays a calculation result of the calculation device, and a predetermined number of the processing objects are continuously subjected to the same vacuum processing. The vacuum processing apparatus stores the measured values of a plurality of lots in the storage device in the storage device, and the storage device stores a data analysis program, and the data analysis program When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time. On the X axis Converted into arithmetic time, the position on the X-axis of the measured value is obtained from the converted time on the X-axis with the predetermined position on the X-axis of the XY coordinate as the position of the reference time, and the magnitude of the measured value Then, a position on the Y-axis is obtained, and a graph line is generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values having continuous measurement times, and the XY coordinates are generated. And when any one of the displayed graph lines is selected, the other displayed graph lines belonging to the lot of the selected graph lines are also displayed. And the selected graph line is configured to be able to move on the XY coordinate together in the direction in which the X axis extends, and an operation signal for operating the processing apparatus that performs the vacuum processing; Control including stop signal to stop operation The control signal is stored in the storage device together with an operation start time for starting the operation and an operation stop time for stopping the operation, and the data analysis program is stored in the storage device. When a measurement value that displays a graph line is selected from the plurality of measured values, the measurement time of the selected measurement value is converted into an X-axis conversion time that is a time from a predetermined reference time. On the display device, a time axis is displayed in parallel to the X axis at a position separated from the X axis, the predetermined position on the time axis is set as the reference time, and the operation start time and the operation stop are displayed. The time is converted into a time-axis converted time that is a time on the time axis from the reference time, and the X points indicated by intersections where a straight line parallel to the Y axis intersects the X axis and the time axis, respectively. On-axis conversion time and the above The position on the time axis of the operation start time and the operation stop time is determined so that the conversion time on the time axis is the same time, and the operation signal and the position on the time axis are displayed on the display device. The control signal is displayed in a timing chart having horizontal line segments with different heights indicating a stop signal, and the timing chart belonging to the same lot as the selected graph line is combined with the selected graph line, It is a vacuum processing apparatus that moves in the same direction and the same distance in parallel with the time axis.
In addition, the present invention stores a vacuum processing unit that vacuum-processes an object to be processed disposed in a vacuum chamber, and a plurality of measurement values output from the vacuum processing unit in association with the vacuum processing together with a measurement time. A storage device; a calculation device that calculates the measurement value; and a display device that displays a calculation result of the calculation device. The measurement value when the processing object is continuously subjected to the same vacuum processing is taken as one lot, the measurement values of a plurality of the lots are stored in the storage device, and an operation signal for operating the vacuum processing device And a control signal including a stop signal for stopping the operation is stored in the storage device in association with the vacuum processing together with the operation start time for starting the operation and the operation stop time for stopping the operation. A data processing program is stored in the storage device, and the data analysis program selects a measurement value for displaying a graph line from the plurality of measurement values stored in the storage device. Then, the measurement time of the selected measurement value is converted into an X-axis conversion time that is a time from a predetermined reference time, and a predetermined position on the X-axis of an XY coordinate is converted to the position of the reference time. As described above, the position on the X-axis of the measurement value is obtained from the converted time on the X-axis, the position on the Y-axis is obtained from the magnitude of the measurement value, and the plurality of measurement values having the measurement time continuous A plurality of graph lines are generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis, and are displayed on the display device together with the XY coordinates, and the operation start time stored in the storage device and the Operation stop time from the reference time The time converted on the time axis is obtained, and on the display device, the time axis is displayed at a position separated from the X axis in parallel with the X axis, and a straight line parallel to the Y axis is Finding the position on the time axis of the operation start time and the operation stop time so that the converted time on the X axis and the converted time on the time axis respectively indicated by the intersections intersecting with the time axis are the same time, On the display device, on the time axis, the control signal is displayed in a timing chart having horizontal lines having different heights indicating the operation signal and the stop signal, and any one of the displayed timing charts When one timing chart is selected, other displayed timing charts belonging to the lot to which the selected timing chart belongs are also selected together, and the selected timing is selected. And the graph line belonging to the same lot as the selected timing chart is configured to be able to move on the time axis together in the same direction in the same direction in the direction in which the time axis extends. The vacuum processing apparatus is configured to be moved by the same distance in the same direction together with the timing chart.
Further, the present invention recalculates the converted time on the X-axis from the X-axis position of the measured value of the moved graph line, and two of the plurality of graph lines displayed on the display device. When the above graph line is selected as the first selection group and the X-axis conversion time on the X-axis is designated as the first time, the graph line on the X-axis of the first selection group Of the conversion times, the first measurement value corresponding to the X-axis conversion time closest to the first time is set as the first measurement value for each graph line, and the display device Thus, the first measurement value is displayed for each selected graph line, and the difference between the first measurement values is displayed.
Moreover, this invention is displayed on the said display apparatus, the graph line of the 2nd selection group is selected from the said several graph lines other than the said 1st selection group, and the said X-axis conversion time on the said X-axis is When instructed as the second time, the measurement value corresponding to the X-axis converted time closest to the second time among the X-axis converted times of the graph lines of the second selection group The second measurement value is a second measurement value for each graph line, and the vacuum processing is configured to display the difference between the first measurement value and the second measurement value on the display device Device.
In the present invention, the display device displays first and second main major lines parallel to the Y axis, and an intersection of each graph line and the first main major line of the first selection group. The converted time on the X-axis is the first time for each graph line, and the converted time on the X-axis of the intersection of each graph line of the second selection group and the second main major line Is the second time for each graph line, and the positions of the first and second main major lines can be changed, and the positions of the first and second main major lines are changed. Then, said 1st, 2nd time is a vacuum processing apparatus comprised so that it might each be changed to the said X-axis conversion time which said 1st, 2nd main major line changed.
Further, the present invention corresponds to a vacuum processing unit that vacuum-processes a processing object disposed in a vacuum chamber, and a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit together with the vacuum processing together with a measurement time of the measurement value. And a storage device that stores information, a calculation device that calculates the measurement value, and a display device that displays a calculation result of the calculation device, and when a predetermined number of the processing objects are continuously subjected to the vacuum processing The measured value of one lot is taken as one lot, and a graph line of the measured value stored in the storage device of the vacuum processing apparatus in which the measured values of the plurality of lots are stored in the storage device is displayed on the display device. In the graph line display method, when a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is set to a predetermined value. The time from the reference time Converted into the converted time on the X axis, the position on the X axis of the measured value is obtained from the converted time on the X axis, with the predetermined position on the X axis of the XY coordinate as the position of the reference time, and the measurement A position on the Y-axis is obtained from the magnitude of the value, a graph line is generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values having the measurement time continuous, and the X The graph lines that are displayed on the display device together with the -Y coordinate and belong to the same lot are plural and are displayed on the same XY coordinate, and among the displayed graph lines, The desired graph line can be selected, and when any one of the graph lines is selected, the other displayed graph lines belonging to the lot of the selected graph lines are also selected and selected together. The graph line is on the XY coordinate and the X axis is Building a is graph line display method to be the distance moved together in the direction.
Further, the present invention corresponds to a vacuum processing unit that vacuum-processes a processing object disposed in a vacuum chamber, and a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit together with the vacuum processing together with a measurement time of the measurement value. And a storage device that stores information, a calculation device that calculates the measurement value, and a display device that displays a calculation result of the calculation device, and when a predetermined number of the processing objects are continuously subjected to the vacuum processing The measured value of one lot is taken as one lot, and a graph line of the measured value stored in the storage device of the vacuum processing apparatus in which the measured values of the plurality of lots are stored in the storage device is displayed on the display device. In the graph line display method, when a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is set to a predetermined value. The time from the reference time Converted into the converted time on the X axis, the position on the X axis of the measured value is obtained from the converted time on the X axis, with the predetermined position on the X axis of the XY coordinate as the position of the reference time, and the measurement A position on the Y-axis is obtained from the magnitude of the value, a graph line is generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values having the measurement time continuous, and the X -Displayed on the display device together with the Y coordinate, so that a desired graph line can be selected from the displayed graph lines, and when any one of the graph lines is selected, the selected graph line The other displayed graph lines belonging to the lot are also selected together, and the selected graph lines can be moved on the XY coordinates together by the same distance in the direction in which the X axis extends, and the vacuum processing is performed. An operation signal for operating a processing device for A control signal including a stop signal for stopping the operation is output from the control device, and the control signal is stored in the storage device together with an operation start time for starting the operation and an operation stop time for stopping the operation, When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Converted to on-axis conversion time, on the display device, a time axis is displayed in parallel with the X axis at a position separated from the X axis, and a predetermined position on the time axis is set as the reference time, and the operation The start time and the operation stop time are converted into a time-axis converted time that is a time on the time axis from the reference time, and a straight line parallel to the Y-axis crosses the X-axis and the time axis. The X-axis indicated by each intersection The position on the time axis of the operation start time and the operation stop time is determined so that the conversion time on the time axis and the conversion time on the time axis are the same time, and on the time axis on the display device, The control signal is displayed in a timing chart having horizontal line segments with different heights indicating the operation signal and the stop signal, and the timing chart belonging to the same lot as the selected graph line is the selected graph line And a graph line display method for moving the same distance in the same direction parallel to the time axis.
In addition, the present invention stores a vacuum processing unit that vacuum-processes an object to be processed disposed in a vacuum chamber, and a plurality of measurement values output from the vacuum processing unit in association with the vacuum processing together with a measurement time. A storage device; a calculation device that calculates the measurement value; and a display device that displays a calculation result of the calculation device. The measurement value when the processing object is continuously subjected to the same vacuum processing is taken as one lot, the measurement values of a plurality of the lots are stored in the storage device, and an operation signal for operating the vacuum processing device And a control signal including a stop signal for stopping the operation are stored in the storage device in association with the vacuum processing together with an operation start time for starting the operation and an operation stop time for stopping the operation. A graph line display method for displaying a graph line of the measurement value stored in the storage device of the empty processing device on the display device, wherein a graph line is obtained from a plurality of the measurement values stored in the storage device. Is selected, the measurement time of the selected measurement value is converted into an X-axis conversion time that is a time from a predetermined reference time, and the X-Y coordinate on the X-axis is converted. Using the predetermined position as the reference time position, the position on the X axis of the measurement value is obtained from the converted time on the X axis, the position on the Y axis is obtained from the magnitude of the measurement value, and the measurement time is continuous. A plurality of graph lines are generated from the positions on the X-axis and the positions on the Y-axis of the plurality of measurement values being displayed, displayed on the display device together with the XY coordinates, and stored in the storage device The reference of the operation start time and the operation stop time performed The time converted on the time axis, which is the time from the beginning, is obtained. On the display device, the time axis is displayed in parallel with the X axis at a position separated from the X axis, and a straight line parallel to the Y axis is The converted time on the X axis and the converted time on the time axis indicated by the intersections intersecting the X axis and the time axis are the same time, and the operation start time and the operation stop time on the time axis. A position is obtained, and on the display device, the control signal is displayed in a timing chart having horizontal line segments having different heights indicating the operation signal and the stop signal on the time axis, and the timing chart is displayed. When any one of the timing charts is selected, other displayed timing charts belonging to the lot to which the selected timing chart belongs are also selected and selected. The timing chart is configured to be able to move on the time axis in the same direction and in the same direction in the direction in which the time axis extends, and the graph line belonging to the same lot as the selected timing chart is selected. And a graph line display method of moving the same distance in the same direction together with the timing chart.
Further, the present invention recalculates the converted time on the X-axis from the X-axis position of the measured value of the moved graph line, and outputs two of the plurality of graph lines displayed on the display device. When the graph line is selected as the first selection group and the X-axis conversion time on the X-axis is designated as the first time, the graph line on the X-axis of the first selection group Of the conversion times, the first measurement value corresponding to the X-axis conversion time closest to the first time is set as the first measurement value for each graph line, and the display device In the graph line display method, the first measurement value is displayed for each selected graph line, and the difference between the first measurement values is displayed.
In the present invention, the graph line of the second selection group is selected from the plurality of graph lines other than the first selection group displayed on the display device, and the X-axis conversion time on the X-axis is When instructed as the second time, the measurement value corresponding to the X-axis converted time closest to the second time among the X-axis converted times of the graph lines of the second selection group The second measured value is a second measured value for each graph line, and the difference between the first measured value and the second measured value is displayed on the display device.
In the present invention, the display device displays first and second main major lines parallel to the Y axis, and an intersection of each graph line and the first main major line of the first selection group. The converted time on the X-axis is the first time for each graph line, and the converted time on the X-axis of the intersection of each graph line of the second selection group and the second main major line Is the second time for each graph line, and the positions of the first and second main major lines can be changed, and the positions of the first and second main major lines are changed. Then, the first and second times are graph line display methods for changing to the X-axis converted times indicated by the changed first and second main major lines, respectively.

測定値のグラフ線を簡単に重ね合わせて比較することができるので、真空処理の分析を容易に行うことができる。
制御信号の折線を一致させることで真空処理の測定値のグラフ線を重ね合わせることができるので、制御信号に基づいた比較を行うことができる。
ノイズによって乱れたグラフ始点を一致させることができるので、比較が正確になる。グラフ線の移動を制御信号の折線やグラフ線の形状を見ながらできるので、修正が簡単である。 Since the graph lines of the measurement values can be easily overlapped and compared, the vacuum processing can be easily analyzed.
Since the graph lines of the measured values of the vacuum processing can be superimposed by matching the broken lines of the control signal, the comparison based on the control signal can be performed.
Since the graph start points disturbed by noise can be matched, the comparison becomes accurate. Since the movement of the graph line can while watching the shape of the polyline and graph lines of the control signals, modification is simple.

本発明の真空処理装置を説明するためのブロック図The block diagram for demonstrating the vacuum processing apparatus of this invention 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(１)Screen of display device for explaining analysis method of vacuum processing of the present invention (1) 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(２)Screen (2) of the display device for explaining the analysis method of the vacuum processing of the present invention 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(３)Screen (3) of the display device for explaining the analysis method of the vacuum processing of the present invention 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(４)Screen (4) of the display device for explaining the analysis method of the vacuum processing of the present invention 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(５)Screen (5) of the display device for explaining the analysis method of the vacuum processing of the present invention

図１の符号１は、本発明の真空処理装置の一例であり、真空処理部２０を有している。
真空処理部２０は、真空槽１１を有している。
真空槽１１の内部には、処理対象物である基板の真空処理を行う処理機器群２３が配置されている。 Reference numeral 1 in FIG. 1 is an example of the vacuum processing apparatus of the present invention, and includes a vacuum processing unit 20.
The vacuum processing unit 20 has a vacuum chamber 11.
Inside the vacuum chamber 11, a processing equipment group 23 that performs vacuum processing of a substrate as a processing target is disposed.

処理機器群２３は、複数の処理機器を有しており、ここでは処理機器には、真空槽１１の底面に配置された蒸着源３４と、蒸着源３４に電子線を照射するＥＢガン３３と、蒸着源３４の上方に配置された保持装置３１と、保持装置３１の内部に配置されたヒータ３２とが含まれる。   The processing equipment group 23 includes a plurality of processing equipment. Here, the processing equipment includes a vapor deposition source 34 disposed on the bottom surface of the vacuum chamber 11, and an EB gun 33 that irradiates the vapor deposition source 34 with an electron beam. The holding device 31 arranged above the vapor deposition source 34 and the heater 32 arranged inside the holding device 31 are included.

図１の符号１５は、処理対象物である基板であり、成膜面を蒸着源３４に向けて保持装置３１に保持されている。
真空槽１１の外部には周辺機器群２４と制御部２１とが配置されている。
周辺機器群２４は、複数の周辺機器を有しており、ここでは周辺機器には、真空排気系３６と、ガス導入系３７と、ヒータ用電源３８と、蒸着用電源３９とが含まれている。 Reference numeral 15 in FIG. 1 denotes a substrate that is an object to be processed, and is held by the holding device 31 with the film formation surface facing the vapor deposition source 34.
A peripheral device group 24 and a control unit 21 are arranged outside the vacuum chamber 11.
The peripheral device group 24 includes a plurality of peripheral devices. Here, the peripheral devices include a vacuum exhaust system 36, a gas introduction system 37, a heater power supply 38, and a vapor deposition power supply 39. Yes.

真空排気系３６とガス導入系３７は真空槽１１に接続されており、真空排気系３６を動作させて真空槽１１の内部を真空排気することができ、ガス導入系３７を動作させて真空槽１１の内部にガス導入系３７から反応性ガス等のガスを導入でき、例えば反応性蒸着を行うことができる。   The evacuation system 36 and the gas introduction system 37 are connected to the vacuum chamber 11, and the inside of the vacuum chamber 11 can be evacuated by operating the vacuum evacuation system 36, and the vacuum chamber is operated by operating the gas introduction system 37. 11, a gas such as a reactive gas can be introduced from the gas introduction system 37. For example, reactive vapor deposition can be performed.

ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９は、ヒータ３２とＥＢガン３３にそれぞれ接続されており、ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９からヒータ３２とＥＢガン３３にそれぞれ電力を供給する。
ヒータ３２は供給された電力で発熱し、保持装置３１を昇温させて真空雰囲気中で基板１５を加熱する。ＥＢガン３３は供給された電力で蒸着源３４に電子ビームを照射し、蒸着源３４内に配置された蒸着材料を加熱し、真空槽１１内の真空雰囲気中に蒸着材料の蒸気を放出させる。
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板１５に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。 The heater power supply 38 and the vapor deposition power supply 39 are connected to the heater 32 and the EB gun 33, respectively, and supply power from the heater power supply 38 and the vapor deposition power supply 39 to the heater 32 and the EB gun 33, respectively.
The heater 32 generates heat with the supplied electric power and raises the temperature of the holding device 31 to heat the substrate 15 in a vacuum atmosphere. The EB gun 33 irradiates the vapor deposition source 34 with an electron beam with the supplied electric power, heats the vapor deposition material disposed in the vapor deposition source 34, and releases vapor of the vapor deposition material into the vacuum atmosphere in the vacuum chamber 11.
The vapor reaches the substrate 15 in a vacuum atmosphere or a reactive gas atmosphere, and forms a thin film on the film formation surface.

周辺機器群２４には、処理機器群２３に含まれる処理機器にセンサ部分が取り付けられ、温度測定や圧力測定などの物理量の測定を行う測定装置も含まれており、また、ヒータ用電源３８や蒸着用電源３９等の内部に配置され、電流や電圧等の物理量を測定する測定装置も含まれている。
周辺機器群２４では、周辺機器群２４に含まれる周辺機器が測定した真空槽１１内の圧力、基板１５の温度、ガス導入量、ヒータ３２へ流れた電流量、ＥＢガン３３に供給した電力等の測定値が生成されており、測定値は、測定値と測定値の発生時刻とが対応されて、周辺機器群２４から制御部２１に入力されている。 The peripheral device group 24 includes a measuring device in which a sensor part is attached to the processing device included in the processing device group 23 and performs physical quantity measurement such as temperature measurement and pressure measurement. A measuring device is also included which is disposed inside the vapor deposition power source 39 and the like and measures physical quantities such as current and voltage.
In the peripheral device group 24, the pressure in the vacuum chamber 11 measured by the peripheral devices included in the peripheral device group 24, the temperature of the substrate 15, the amount of gas introduced, the amount of current flowing to the heater 32, the power supplied to the EB gun 33, etc. The measured values are input to the control unit 21 from the peripheral device group 24 in association with the measured values and the generation times of the measured values.

制御部２１には、シーケンサ４１とコンピュータ４０とが配置されており、周辺機器群２４から入力された測定値と測定時刻は、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に入力される。
コンピュータ４０は、演算装置４２と、記憶装置４３と、表示装置４４とを有しており、入力された測定値は、測定時刻と共に記憶装置４３に記憶される。
A sequencer 41 and a computer 40 are arranged in the control unit 21, and measurement values and measurement times input from the peripheral device group 24 are input to the computer 40 via the sequencer 41.
The computer 40 includes an arithmetic device 42, a storage device 43, and a display device 44, and the input measurement value is stored in the storage device 43 together with the measurement time.

真空槽１１では、真空処理がされた基板１５は真空槽１１の外部に搬出され、未処理の基板が搬入され、真空処理が行われる。
所定枚数の基板は連続して処理する基板ごとにロット番号が付与されており、測定値のロット番号が分かるように、測定値を記憶装置４３に記憶させる。ファイル名称には、ロット番号やロット名称等、ロットを区別できる表示が含まれており、また、一つのロット内でも、異なる真空処理は区別できるように、真空処理番号等の真空処理が区別できる表示もふくまれており、従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理に対応付けされていることになる。 In the vacuum chamber 11, the substrate 15 that has been subjected to vacuum processing is carried out of the vacuum chamber 11, an unprocessed substrate is carried in, and vacuum processing is performed.
A predetermined number of substrates are assigned a lot number for each substrate to be processed continuously, and the measured value is stored in the storage device 43 so that the lot number of the measured value is known. The file name includes a lot number, lot name, and other indications that can distinguish lots. In addition, vacuum processing such as vacuum processing numbers can be distinguished so that different vacuum treatments can be distinguished within a single lot. The display also includes the measurement value. Therefore, the measured value is associated with the lot and the vacuum processing from the file name.

他方、シーケンサ４１には、真空処理部２０を動作させる手順が記憶されており、シーケンサ４１からは、周辺機器群２４や処理機器群２３に対して、周辺機器群２４や処理機器群２３を制御しながら動作させて真空処理を行うための制御信号が出力されている。この制御信号には、周辺機器群２４や処理機器群２３を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが少なくとも含まれている。   On the other hand, the sequencer 41 stores a procedure for operating the vacuum processing unit 20. The sequencer 41 controls the peripheral device group 24 and the processing device group 23 with respect to the peripheral device group 24 and the processing device group 23. However, a control signal for performing vacuum processing while operating is output. This control signal includes at least an operation signal for operating the peripheral device group 24 and the processing device group 23 and a stop signal for stopping the operation.

制御信号は、周辺機器群２４に含まれる周辺機器３６〜３９や処理機器群２３に含まれる処理機器３１〜３４に出力されると共に、コンピュータ４０にも出力されている。また、シーケンサ４１からコンピュータ４０には、制御信号と共に、動作信号の出力が開始された開始時刻と、停止信号の出力が開始された停止時刻とが、動作信号と停止信号に対応付けて出力されており、制御信号は、制御信号によって行われた真空処理のロット番号や真空処理番号等が付され、ロットと真空処理に対応付けられ、開始時刻と停止時刻と共に記憶される。   The control signal is output to the peripheral devices 36 to 39 included in the peripheral device group 24 and the processing devices 31 to 34 included in the processing device group 23 and also to the computer 40. The sequencer 41 outputs to the computer 40 the control signal and the start time when the output of the operation signal is started and the stop time when the output of the stop signal is started in association with the operation signal and the stop signal. The control signal is assigned a lot number, a vacuum processing number, and the like of the vacuum processing performed by the control signal, is associated with the lot and the vacuum processing, and is stored together with the start time and the stop time.

この真空処理装置１では、複数ロットの基板の真空処理が行われ、記憶装置４３に複数ロットの真空処理の測定値と、測定値に対応した測定時刻と、その真空処理を制御した制御信号と、制御信号中の開始時刻と停止時刻とが記憶されているものとし、複数の真空処理の測定結果を比較して分析するための、コンピュータ４０の操作手順について説明する。   In this vacuum processing apparatus 1, a plurality of lots of substrates are subjected to vacuum processing, and the storage device 43 has a plurality of lots of vacuum processing measurement values, measurement times corresponding to the measurement values, and control signals for controlling the vacuum processing. It is assumed that the start time and stop time in the control signal are stored, and the operation procedure of the computer 40 for comparing and analyzing the measurement results of a plurality of vacuum processes will be described.

記憶装置４３には、真空処理の分析を行うプログラムが記憶されており、このプログラムを起動し、複数の真空処理に対応する測定値を、測定値が生成された測定時刻と共に、演算処理を行うメモリ等に読み込む。
測定値が生成されたロット番号や真空処理番号等のロットと真空処理は、測定値のファイル名称によって区別できる。 The storage device 43 stores a program for analyzing the vacuum processing. This program is activated, and the measurement values corresponding to the plurality of vacuum processing are processed together with the measurement times at which the measurement values are generated. Read into memory etc.
The lot and vacuum processing such as the lot number or vacuum processing number in which the measurement value is generated can be distinguished by the file name of the measurement value.

分析する測定値は、ここでは、同じ処理機器３１〜３４又は周辺機器３６〜３９の測定結果であり、同じ物理量であり、測定時刻の間隔は、一真空処理中で一定であり、真空処理間でも一定値であるようにされている。
また、読み込む測定値が生成されたときの真空処理を制御していた制御信号も、読み込む。開始時刻と停止時刻は、例えば、測定時刻中に含まれる時刻にすることができる。制御信号のロットや真空処理との対応関係は、制御信号のファイルの名称で分かるものとする。 The measured values to be analyzed here are the measurement results of the same processing devices 31 to 34 or the peripheral devices 36 to 39, are the same physical quantities, and the intervals of the measurement times are constant during one vacuum processing, and between the vacuum processing But it is set to a constant value.
Further, the control signal that controls the vacuum processing when the measurement value to be read is generated is also read. The start time and the stop time can be set to the time included in the measurement time, for example. The correspondence between the lot of control signals and the vacuum processing can be understood from the name of the control signal file.

図２の符号１００は、コンピュータ４０に接続された表示装置４４の画面を示している。コンピュータ４０とＬＡＮ等の手段によって交信する他のコンピュータの表示装置の画面であっても良い。
画面１００には、読み込みを行った測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄１１０と、制御信号特定欄１２０とが設けられており、測定値の変化と、制御信号の変化を対応して視認できるように、測定値のグラフ線を表示するグラフ表示領域１３０と、制御信号を表示するタイミングチャート表示領域１４０とに区分けされている。タイミングチャート表示領域１４０では、動作信号と停止信号を区別でき、開始時刻と停止時刻の位置が分かるように制御信号が表示される。 Reference numeral 100 in FIG. 2 indicates a screen of the display device 44 connected to the computer 40. It may be a screen of a display device of another computer that communicates with the computer 40 by means such as a LAN.
The screen 100 is provided with a measured value specifying column 110 and a control signal specifying column 120 for specifying the measured value that has been read and the control signal corresponding to the measured value. And a graph display area 130 for displaying the graph line of the measurement value and a timing chart display area 140 for displaying the control signal so that the change of the control signal can be visually recognized correspondingly. In the timing chart display area 140, the operation signal and the stop signal can be distinguished, and the control signal is displayed so that the position of the start time and the stop time can be known.

測定値は、ロットと真空処理に加え、そのファイル名称１５１で、測定値の種類(例えば、電流値、電圧、圧力等)を特定できるようにされており、測定値特定欄１１０には、読み込みを行った各測定値のファイル名称１５１(名称１〜６)を縦一列に表示する名称表示列１１１が設けられている。
また、測定値特定欄１１０には、読み込みを行った測定値のうち、グラフ表示をする測定値を指示するための表示指示列１１４が設けられている。 In addition to the lot and vacuum processing, the measurement value can be specified by the file name 151 so that the type of measurement value (for example, current value, voltage, pressure, etc.) can be specified. There is provided a name display column 111 for displaying the file names 151 (names 1 to 6) of the respective measurement values subjected to the measurement in a vertical row.
The measured value specifying column 110 is provided with a display instruction column 114 for instructing a measured value to be displayed in a graph among the read measured values.

表示するＸ−Ｙ座標は、Ｙ軸を左側と右側の二本有しており、測定値を左側のＹ軸の目盛か、右側のＹ軸の目盛のいずれかに対応させてグラフ表示することができ、測定値特定欄１１０には、Ｙ軸を選択するためのＹ軸指示列１１５が設けられており、また、後述するメジャー線の表示を指示をするメジャー指示列１１３とが設けられている。 X-Y coordinate to be displayed, the Y-axis has left and right two, or scale measurements left Y-axis, graph Display in correspondence to one of the scales of the right Y-axis The measured value specifying column 110 is provided with a Y-axis instruction column 115 for selecting the Y-axis, and a measure instruction column 113 for instructing display of a major line, which will be described later. It has been.

表示指示列１１４に縦一列に表示されたチェックボックス１５４にチェックすると、チェックを付された測定値がグラフ表示領域１３０にグラフ表示され、Ｙ軸指示列１１５にそれぞれ縦一列に表示された左側のＹ軸のチェックボックス１５６と、右側のＹ軸のチェックボックス１５５のいずれか一方にチェックを付すことで、測定値を対応させるＹ軸が左か右かを選択され、メジャー指示列１１３に縦一列に配置されたチェックボックス１５３に一本用のマーク又は二本用のマークを付すことで、所望のメジャー線が表示される。   When the check box 154 displayed in the vertical column in the display instruction column 114 is checked, the checked measurement values are displayed in a graph in the graph display area 130 and are displayed on the left side displayed in the vertical axis in the Y axis instruction column 115 respectively. By checking either the Y-axis check box 156 or the right-side Y-axis check box 155, the Y-axis corresponding to the measurement value is selected to be left or right, and one vertical column is displayed in the measure indication column 113. A desired major line is displayed by attaching a single mark or a double mark to the check box 153 arranged in the box.

また、測定値特定欄１１０には、グラフ線の色を指示するための色指示列１１２が設けられており、色指示列１１２に縦一列に表示される色サンプル１５２の色を変更することで、表示されるグラフ線の色を変更することができる。
各列１１１〜１１４のチェックボックス等の表示内容は、表示内容と測定値の名称１５１との対応が見やすいように、表示内容と名称１５１は同一高さに表示されている。 Further, the measurement value specifying column 110 is provided with a color instruction column 112 for instructing the color of the graph line , and by changing the color of the color sample 152 displayed in a vertical column in the color instruction column 112. The color of the displayed graph line can be changed.
Display contents such as check boxes in the columns 111 to 114 are displayed at the same height so that the correspondence between the display contents and the measurement value names 151 can be easily seen.

制御信号特定欄１２０についても、Ｙ軸指示列１１５以外は、測定値特定欄１１０と同様にされており、名称表示列１２１と、色指示列１２２と、メジャー指示列１２３と、表示指示列１２４とが設けられている。
メジャー指示列１２３で指示されたメジャー線と制御信号のグラフ線(折線)との交点は、交点の制御信号が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態を、ハイを示す数値かローを示す数値を制御信号の信号値として画面１００に表示する。交点が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態は、記号や図形など、他の方法で示しても良い。 The control signal specifying column 120 is the same as the measured value specifying column 110 except for the Y-axis indicating column 115, and includes a name display column 121, a color indicating column 122, a major indicating column 123, and a display indicating column 124. And are provided.
The intersection of the major line indicated by the major indication column 123 and the graph line (folded line) of the control signal indicates whether the control signal at the intersection is an operation signal or a stop signal. Is displayed on the screen 100 as the signal value of the control signal. The signal state of whether the intersection is an operation signal or a stop signal may be indicated by other methods such as symbols and figures.

図中、符号１６１はロットや真空処理が特定できる制御信号の名称(名称１１〜１６)を示し、符号１６２は色サンプル、符号１６３、１６４は、チェックボックスを示している。
測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０のチェックボックス１５３〜１５６、１６３、１６４を使用し、チェックを記載して表示する測定値を選択し、図３に示すように、グラフ表示領域１３０には、選択された測定値から作製されたグラフ線１３２が表示される。このグラフ線１３２は、真空処理毎に別々に、Ｘ−Ｙ座標１３１と一緒に表示される。
タイミングチャート表示領域１４０には、制御信号から作製された折線１３４が時間軸１４１と一緒に表示されている。時間軸１４１は、画面１００上でＸ−Ｙ座標１３１のＸ軸の真下に位置し、Ｘ軸と平行である。 In the figure, reference numeral 161 indicates the names of control signals (names 11 to 16) that can specify the lot and vacuum processing, reference numeral 162 indicates a color sample, and reference numerals 163 and 164 indicate check boxes.
Using the check boxes 153 to 156, 163, and 164 in the measured value specifying column 110 and the control signal specifying column 120, the measured value to be displayed with a check is selected, and as shown in FIG. Displays a graph line 132 created from the selected measurement values. The graph line 132 is displayed together with the XY coordinates 131 separately for each vacuum process.
In the timing chart display area 140, a broken line 134 generated from the control signal is displayed together with the time axis 141. The time axis 141 is located directly below the X axis of the XY coordinates 131 on the screen 100 and is parallel to the X axis.

測定値に対応した測定時刻と、制御信号の動作開始と停止開始とにそれぞれ対応した開始時刻と停止時刻は、一日を２４時間とし、午前零時を始点とした時刻であり、西暦及び月日付も付随して、同一時刻でも西暦、月、又は日付のうちの一つが異なれば、異なる時刻になるようにされている。
異なる時刻である基準時刻が真空処理毎に設定されており、測定値に対応された測定時刻を、その測定値が測定された真空処理の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、測定値と対応付けてメモリや記憶装置４３に記憶する。 The measurement time corresponding to the measurement value and the start time and stop time corresponding to the operation start and stop start of the control signal are the time starting from 24 hours a day and starting from midnight. Along with the date, even if the same time, one of the year, month, or date is different, the time is different.
A reference time, which is a different time, is set for each vacuum process, and the measurement time corresponding to the measured value is converted to a converted time on the X-axis that is the time from the reference time of the vacuum process at which the measured value was measured. Then, it is stored in the memory or the storage device 43 in association with the measured value.

基準時刻は、測定値が測定された真空処理を行った周辺機器群２４や処理機器群２３を制御した制御信号に含まれる開始時刻や停止時刻などを用いることができる。基準時刻は測定値に対応付けられた時刻である。
ここでは、読み込まれる測定値は異なるロットに属しており、読み込まれる測定値の真空処理を行った制御信号に含まれる最初の動作信号を基準時刻として設定している。 As the reference time, a start time, a stop time, or the like included in a control signal for controlling the peripheral device group 24 or the processing device group 23 that has performed the vacuum processing in which the measured value is measured can be used. The reference time is a time associated with the measurement value.
Here, the read measurement values belong to different lots, and the first operation signal included in the control signal obtained by performing vacuum processing on the read measurement values is set as the reference time.

Ｘ軸の単位長さ当たりの時間は、キーボードから入力され、又は、読み込む測定値の時間などから算出されており、測定値のＸ座標は、基準時刻のＸ軸上の位置と、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間とにより、測定値に対応した各測定値のＸ軸上換算時刻をＸ軸上の位置に換算することで求められている。ここではＸ軸と選択された左側Ｙ軸の交点がＸ−Ｙ座標の原点であり、基準時刻の位置は、原点よりも右側のＸ軸上の所定位置に配置されている。   The time per unit length of the X axis is input from the keyboard or calculated from the time of the measured value to be read, and the X coordinate of the measured value is the position of the reference time on the X axis and the X axis. It is obtained by converting the conversion time on the X axis of each measurement value corresponding to the measurement value into a position on the X axis based on the time per unit length. Here, the intersection of the X axis and the selected left Y axis is the origin of the XY coordinates, and the position of the reference time is arranged at a predetermined position on the X axis on the right side of the origin.

本例で用いた測定値は、同じ周辺機器３６〜３９又は処理機器３１〜３４から送信された測定値であり、測定値に対応付けられて記憶された測定時刻間の時間間隔は、一真空処理中で一定値にされており、また、真空処理間でも一定値であるようにされている。従って、一個のＸ軸上換算時刻には、複数の測定値が対応されている。   The measurement values used in this example are measurement values transmitted from the same peripheral devices 36 to 39 or processing devices 31 to 34, and the time interval between measurement times stored in association with the measurement values is one vacuum. It is set to a constant value during processing, and is also set to a constant value during vacuum processing. Therefore, a plurality of measured values correspond to one X-axis converted time.

また、左右のＹ軸のうち、Ｙ軸指示列１１５によって指定されたＹ軸上の単位長さ当たりの値と、Ｘ軸と指示されたＹ軸との交点の値は、キーボード等から入力され、又は測定値の大きさから求められている。
従って、Ｙ軸とＸ軸の交点の値とＹ軸の単位長さ当たりの値により、各測定値の選択されたＹ軸上の位置であるＹ座標は、測定値の値から求められている。 Of the left and right Y axes, the value per unit length on the Y axis designated by the Y axis designation column 115 and the value of the intersection between the X axis and the designated Y axis are input from a keyboard or the like. Or the magnitude of the measured value.
Therefore, the Y coordinate which is the position on the selected Y axis of each measurement value is determined from the value of the measurement value based on the value of the intersection of the Y axis and the X axis and the value per unit length of the Y axis. .

このように、各測定値のＸ座標とＹ座標が求められ、同じ真空処理の測定値を最小二乗法等で一本のグラフ線にしたり、測定値の座標値の点を線分で結んでグラフ化する。図３に示すように、表示指示列１１４のチェックボックス１５４へのチェックによって指示された測定値がグラフ線１３２として表示される。ここではグラフ線１３２は５本である。
開始時刻と停止時刻は、測定値と同じ基準時刻を基準とし、基準時刻からの時間軸１４１上の時間である時間軸上換算時刻に換算されている。 In this way, the X coordinate and Y coordinate of each measurement value are obtained, and the measurement value of the same vacuum processing is made into a single graph line by the least square method or the coordinate value points of the measurement value are connected by line segments. Graph. As shown in FIG. 3, the measurement values instructed by checking the check box 154 in the display instruction column 114 are displayed as graph lines 132. Here, there are five graph lines 132.
The start time and stop time are converted to time-converted time that is the time on the time axis 141 from the reference time, with the same reference time as the measurement value as a reference.

時間軸１４１の原点は、Ｘ−Ｙ座標１３１の左側のＹ軸の延長線が時間軸１４１と交叉する点であり、時間軸１４１上の基準時刻の位置は、Ｘ軸上の基準時刻を通るＸ軸に対する垂線が時間軸１４１と交叉する点にされている。時間軸の単位長さ当たりの時間は決められており、従って、開始時刻と停止時刻は、その時間軸上換算時刻の値に応じた時間軸１４１上の位置になる。   The origin of the time axis 141 is a point where the extension line of the Y axis on the left side of the XY coordinate 131 intersects the time axis 141, and the position of the reference time on the time axis 141 passes through the reference time on the X axis. A perpendicular to the X axis intersects with the time axis 141. The time per unit length of the time axis is determined, and therefore the start time and stop time are located on the time axis 141 according to the value of the converted time on the time axis.

本例では、時間軸の単位長さ当たりの時間は、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間と同じにされており、従って、Ｘ軸と時間軸１４１とに垂直に交叉する直線は、同じ値のＸ軸上換算時刻と時間軸上換算時刻を通るようになっている。
制御信号に含まれる動作信号と停止信号は、時間軸１４１と平行で、高さが異なる横線分で表示されており、開始時刻を換算した時間軸上時刻では、一つの停止信号の終点と次の動作信号の始点との間と、一つの動作信号の終点と、次の停止信号の始点とが、垂直な縦線分で結ばれて形成された折線１３４によって制御信号が表示されている。
縦線分は、開始時刻と停止時刻を換算した時間軸上時刻に位置している。 In this example, the time per unit length of the time axis is the same as the time per unit length of the X axis, and therefore the straight line that intersects the X axis and the time axis 141 perpendicularly has the same value. The conversion time on the X axis and the conversion time on the time axis are passed.
The operation signal and the stop signal included in the control signal are displayed in horizontal line segments that are parallel to the time axis 141 and have different heights, and at the time on the time axis converted from the start time, the end point and the next of one stop signal are displayed. The control signal is displayed by a broken line 134 formed by connecting the start point of one operation signal, the end point of one operation signal, and the start point of the next stop signal by a vertical vertical line segment.
The vertical line segment is located at the time on the time axis obtained by converting the start time and the stop time.

図３に示すように、グラフ表示領域１３０とタイミングチャート表示領域１４０には、複数のグラフ線１３２と複数の折線１３４がそれぞれ表示されており、各測定値に対する制御信号中の最初の開始時刻が基準時刻とされたグラフ線１３２中では、グラフ線１３２のピーク位置が左方にある突起形状１３２ａと右方にある突起形状１３２ｂが見られる。 As shown in FIG. 3, a plurality of graph lines 132 and a plurality of broken lines 134 are respectively displayed in the graph display area 130 and the timing chart display area 140, and the first start time in the control signal for each measurement value is displayed. In the graph line 132 set as the reference time, a protrusion shape 132a with the peak position of the graph line 132 on the left side and a protrusion shape 132b on the right side can be seen.

このプログラムでは、グラフ表示領域１３０には、Ｘ軸と垂直な複数(本例では二本)のメジャー線を表示させることができ、また、タイミングチャート表示領域１４０にも、時間軸１４１に垂直な複数(本例では二本)の補助メジャー線を表示させることができる。
メジャー線と補助メジャー線をそれぞれ表示させる場合は、メジャー指示列１１３、１２３のチェックボックス１５３、１６３にマークを付ける。 In this program, a plurality (two in this example) of major lines perpendicular to the X axis can be displayed in the graph display area 130, and the timing chart display area 140 is also perpendicular to the time axis 141. Multiple (two in this example) auxiliary measure lines can be displayed.
When displaying the major line and the auxiliary major line, respectively, mark the check boxes 153 and 163 in the major instruction columns 113 and 123.

本例では、コンピュータ４０は、メジャー線と補助メジャー線を二本ずつ表示させるように構成されており、図４では、第一のメジャー線１０１が、左方の突起形状１３２ａのグラフ線１３２のピークを通り、第二のメジャー線１０２が、右方の突起形状１３２ｂのグラフ線１３２のピークを通るように配置されている。 In this example, the computer 40 is configured to display two major lines and two auxiliary major lines. In FIG. 4, the first major line 101 is a graph line 132 having a left protrusion shape 132a. The second major line 102 is arranged so as to pass through the peak and the peak of the graph line 132 of the right protrusion shape 132b.

メジャー線と補助メジャー線はＸ軸上換算時刻や時間軸上換算時刻を入力して移動させたり、マウス等で移動させることができる。
第一のメジャー線１０１が位置するＸ軸上換算時刻と第一の補助メジャー線１０３が位置する時間軸上換算時刻は等しくなるようにされており、また、第二のメジャー線１０２が位置するＸ軸上換算時刻と第二の補助メジャー線１０４が位置する時間軸上換算時刻も等しくなるようにされている。 The major line and the auxiliary major line can be moved by inputting the converted time on the X-axis or the converted time on the time axis, or can be moved with a mouse or the like.
The converted time on the X-axis where the first major line 101 is located and the converted time on the time-axis where the first auxiliary major line 103 is located are made equal, and the second major line 102 is located. The X-axis converted time and the time-axis converted time at which the second auxiliary major line 104 is positioned are also made equal.

第一、第二のメジャー線１０１、１０２を移動させる場合、メジャー指示列１１３でマークが付されて選択された測定値中に、移動のために入力されたＸ軸上換算時刻や、マウスでの移動による移動先のＸ軸上換算時刻に対応する測定値が無かった場合は、マークで選択された測定値中で、入力されたＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値と対応付けられているＸ軸上換算時刻に第一、第二のメジャー線１０１、１０２は移動される。   When moving the first and second major lines 101 and 102, the conversion time on the X-axis input for movement or the mouse is selected in the measured value selected by marking in the major instruction column 113 or with the mouse. If there is no measurement value corresponding to the conversion time on the X-axis of the movement destination due to movement, the measurement value selected by the mark is closest to the input conversion time on the X-axis and is associated with the measurement value. The first and second major lines 101 and 102 are moved at the converted time on the X axis.

第一、第２の補助メジャー線１０３、１０４は、第一、第二のメジャー線１０１、１０２が移動されたＸ軸上換算時刻と同じ時刻である時間軸上換算時刻に移動される。
逆に、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４を移動させると、移動された第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４の時間軸上換算時刻と同じ時刻のＸ軸上換算時刻に第一のメジャー線１０１が移動される。 The first and second auxiliary major lines 103 and 104 are moved to a time-axis converted time which is the same time as the X-axis converted time to which the first and second major lines 101 and 102 are moved.
Conversely, when the first and second auxiliary major lines 103 and 104 are moved, the converted time on the X axis that is the same as the converted time on the time axis of the moved first and second auxiliary major lines 103 and 104. First major line 101 is moved.

このとき、第一、第二のメジャー線１０１、１０２の移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されている場合は、第一、第二のメジャー線１０１、１０２がそのＸ軸上換算時刻に移動され、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４は、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に移動される。   At this time, if the measurement value corresponds to the conversion time on the X axis of the movement destination of the first and second major lines 101 and 102, the first and second major lines 101 and 102 are on the X axis. Moved to the conversion time, the first and second auxiliary major lines 103 and 104 are moved to the conversion time on the time axis that is the same as the conversion time on the X-axis.

他方、移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていなかった場合は、メジャー指示列１１３のマークにより選択された測定値の中で、移動先のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値に対応付けられているＸ軸上換算時刻が選択され、そのＸ軸上換算時刻と、それと同時刻の時間軸上換算時刻に、第一又は第二のメジャー線１０１、１０２と第一又は第二の補助メジャー線１０３、１０４とがそれぞれ移動される。   On the other hand, if the measured value does not correspond to the conversion time on the X-axis of the movement destination, the measurement value selected by the mark in the measure indication column 113 is closest to the conversion time on the X-axis of the movement destination, The X-axis converted time associated with the measurement value is selected, and the first or second major line 101, 102 and the first major line 101, 102 are first and the X-axis converted time and the time-axis converted time at the same time. Alternatively, the second auxiliary major lines 103 and 104 are moved, respectively.

また、メジャー指示列１１３でマークが付されて選択された測定値中で、第一、第二のメジャー線１０１、１０２が位置するＸ軸上換算時刻を第一、第二の時刻とし、第一、第二の時刻に対応する測定値を第一、第二の測定値と呼ぶとすると、第一、第二の時刻は位置が分かるようにされ、第一、第二の時刻間の時間と共に図４の計算値１として画面１００に表示され、第一、第二の測定値は、第一、第二のメジャー線１０１、１０２とグラフ線１３２との交点を区別する記号Ｐ１〜Ｐ４と共に画面１００に表示される。 In addition, among the measurement values selected by being marked in the major instruction column 113, the X-axis converted times at which the first and second major lines 101 and 102 are located are the first and second times, and the first If the measured values corresponding to the first and second times are referred to as the first and second measured values, the positions of the first and second times can be known, and the time between the first and second times. 4 is displayed on the screen 100 as the calculated value 1 in FIG. 4, and the first and second measured values are displayed together with symbols P1 to P4 for distinguishing the intersections of the first and second major lines 101 and 102 and the graph line 132. It is displayed on the screen 100.

本発明では、表示された複数のグラフ線１３２のうち、一以上の所望個数のグラフ線１３２を選択して移動できるように構成されており、選択して移動させるＸ軸上の距離を時間としてキーボードから入力したり、又は、グラフ線１３２中で指定した測定点を位置させるＸ軸上換算時刻の入力、マウスで所望個数選択してマウスのポインタと共に移動させ、または、所望個数選択した後、キーボードの特定キーの押下時間に対応させて移動するなどの移動方法によって、選択された所望個数のグラフ線１３２をＸ軸と平行に移動できるようになっている。 In the present invention, one or more desired number of graph lines 132 out of the plurality of displayed graph lines 132 can be selected and moved, and the distance on the X axis to be selected and moved is defined as time. After inputting from the keyboard or inputting the converted time on the X-axis for positioning the measurement point specified in the graph line 132, selecting the desired number with the mouse and moving it with the mouse pointer, or after selecting the desired number, A desired number of selected graph lines 132 can be moved in parallel with the X axis by a moving method such as moving in accordance with the pressing time of a specific key on the keyboard.

上述したように、測定値の測定時間は等間隔であり、従って、測定値に対応するＸ軸上換算時刻も等間隔になっている。一つのグラフ線１３２中の一個の測定値に対応されたＸ軸上換算時刻には、他のグラフ線１３２中の測定値も対応されており、グラフ線１３２の移動量は、隣接するＸ軸上換算時刻間の時間を単位時間として、単位時間の整数倍にされている。 As described above, the measurement time of the measurement value is equally spaced, and therefore, the X-axis converted time corresponding to the measurement value is also equally spaced. X-axis is one of one of the X-axis on the conversion time is corresponding to the measured values in the graph line 132, the measured value in the other graph line 132 are associated, the amount of movement of the graph line 132, the adjacent The time between the up-converted times is set as an integral multiple of the unit time with the unit time.

従って、グラフ線１３２の移動量として指定された移動時間や、移動先として指定されたＸ軸上換算時刻から求められた移動時間は、四捨五入、切り上げ、切り捨てなどによって単位時間の整数倍の移動時間に変換され、各測定点のＸ軸上換算時刻は、変換された移動時間に基づいて変更され、その測定値のグラフ線１３２も移動後のＸ軸上換算時刻に基づいて書き換えられる。 Therefore, the movement time specified as the movement amount of the graph line 132 and the movement time obtained from the converted time on the X-axis specified as the movement destination are movement times that are integral multiples of the unit time by rounding, rounding up, or rounding down. The X-axis converted time of each measurement point is changed based on the converted moving time, and the graph line 132 of the measured value is also rewritten based on the converted X-axis converted time.

このとき、選択されたグラフ線１３２に関連する制御信号、例えば、選択されたグラフ線１３２の真空処理を行った制御信号は、開始時刻と停止時刻の時間軸上変換時刻がＸ軸上換算時刻を変更する移動時間と同時間変更され、折線１４１も、グラフ線１３２の移動時間と同時間、同方向に時間軸１４１と平行に移動される。 At this time, a control signal related to the selected graph line 132, for example, a control signal obtained by performing vacuum processing on the selected graph line 132, has a conversion time on the time axis of the start time and the stop time converted to an X-axis conversion time. The broken line 141 is also moved in parallel with the time axis 141 in the same direction and in the same direction as the moving time of the graph line 132.

タイミングチャート表示領域１４０に表示された折線１４１の所望のものを選択し、キーボードでの入力、移動先のＸ軸上換算時刻の指定、マウスのポインタの移動と共に移動、カーソルでの移動等、グラフ線１３２を移動させるときと同じ手段によって移動させ、移動させる制御信号に関連した測定値のグラフ線１３２、例えば、選択した折線１４１の制御信号が制御した真空処理の際に測定された測定値のグラフ線１３２を一緒に移動させてもよい。 Select a desired broken line 141 displayed in the timing chart display area 140, input with the keyboard, specify the conversion time on the X-axis of the movement destination, move with the movement of the mouse pointer, move with the cursor, etc. moved by the same means as when moving the line 132, the graph line 132 of measurements associated with the control signal for moving, for example, the measurement value measured during the vacuum processing control signal is controlled fold lines 141 selected The graph lines 132 may be moved together.

この場合も、隣接する測定値のＸ軸上換算時刻間の時間を単位時間とすると、移動量は単位時間の整数倍であり、入力された時間や、移動先の時間軸上換算時刻は、上記と同様に、四捨五入、切り上げ、切り捨てなどによって単位時間の整数倍である移動時間に変換され、移動される制御信号の時間軸上変換時刻や、移動される測定値のＸ軸上換算時刻は、変換された移動時間に基づいて計算され、表示される。   In this case as well, when the time between adjacent measured values on the X-axis is the unit time, the movement amount is an integral multiple of the unit time, and the input time and the destination time-converted time are Similarly to the above, the conversion time on the time axis of the control signal to be moved and the conversion time on the X axis of the measurement value to be moved are converted to a movement time that is an integral multiple of the unit time by rounding, rounding up, rounding down, etc. Calculated and displayed based on the converted travel time.

第一の時刻と第二の時刻の差は、左方の突起形状１３２ａのグラフ線１３２と、右方の突起形状１３２ｂのグラフ線１３２とのピーク位置の時間差であり、マウス等によって一方の突起形状のグラフ線１３２を選択し、他方の突起形状のグラフ線１３２との間のピーク位置の時間差がゼロになるように移動させると、各グラフ線１３２のピーク位置が図５に示すように重なり合い、各グラフ線１３２の形状や高さを簡単に比較することができる。 The difference between the first time and the second time is the time difference between the peak positions of the graph line 132 of the left protrusion shape 132a and the graph line 132 of the right protrusion shape 132b. select graph line 132 of shape, the time difference between the peak position between the graph line 132 of the other protrusion shapes are moved to be zero, the peak position of each graph line 132 overlap as shown in FIG. 5 The shape and height of each graph line 132 can be easily compared.

また、折線１３４は、動作信号を上、停止信号を下にして描かれており、タイミングチャート表示領域１４０では、折線１３４には、動作信号の立上り１８１の時刻が基準時刻とされた形状１３４ａのものと、制御信号に含まれるノイズの立上り１８２が動作信号と誤認され、基準信号とされた形状１３４ｂとがあることが分かる。   The broken line 134 is drawn with the operation signal up and the stop signal down. In the timing chart display area 140, the broken line 134 has a shape 134a in which the time of the rising edge 181 of the operation signal is the reference time. It can be seen that there is a shape 134b in which the rising edge 182 of the noise included in the control signal is mistaken as an operation signal and is used as a reference signal.

各グラフ線１３２は、各グラフ線１３２に対応した制御信号に含まれる最初の動作信号の時間軸上換算時刻を基準時刻としているが、誤認された形状１３４ｂの正しい立上り１８３を基準時刻の位置に移動させるように、折線１３４を移動させ、対応するグラフ線１３２を一緒に移動させて重ね合わせてもよい。 Each graph line 132 uses the converted time on the time axis of the first operation signal included in the control signal corresponding to each graph line 132 as the reference time, but the correct rising edge 183 of the misidentified shape 134b is set to the position of the reference time. The fold lines 134 may be moved so that they move, and the corresponding graph lines 132 may be moved together to overlap.

グラフ線１３２が移動され、測定値に対応したＸ軸上換算時刻は移動量だけ修正されるので、画面１００に表示される第一、第二の測定値は、測定時刻が修正後のＸ軸上換算時刻に等しい測定値になる。従って、指定されたグラフ線１３２の第一の測定値の差は、移動しなかったグラフ線１３２の第一の測定値と、移動後のグラフ線１３２の第一の測定値の差となる。 Since the graph line 132 is moved and the X-axis conversion time corresponding to the measurement value is corrected by the movement amount, the first and second measurement values displayed on the screen 100 are the X-axis after the measurement time is corrected. The measured value is equal to the upper conversion time. Accordingly, the difference between the first measurement values of the designated graph line 132 is the difference between the first measurement value of the graph line 132 that has not moved and the first measurement value of the graph line 132 that has been moved.

図６は、各グラフ線１３２のピークが一致した状態であり、第一、第二のメジャー線１０１、１０２を一致後のグラフ線１３２上で移動させることで、観察したい位置のＸ軸上換算時刻や第一、第二の測定値を表示させることができる。 FIG. 6 shows a state in which the peaks of the respective graph lines 132 coincide with each other. By moving the first and second major lines 101 and 102 on the graph lines 132 after coincidence, the position to be observed is converted on the X axis. The time and first and second measured values can be displayed.

１……真空処理装置
１１……真空槽
１５……処理対象物
２０……真空処理部
２１……制御部
２３……処理機器群
２４……周辺機器群
３１〜３４……処理機器
３６〜３９……周辺機器
４０……コンピュータ
４２……演算装置
４３……記憶装置
４４……表示装置
１０１……第一のメジャー線
１０２……第二のメジャー線
１０３……第一の補助メジャー線
１０４……第二の補助メジャー線
１３１……Ｘ−Ｙ座標
１４１……時間軸
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Vacuum processing apparatus 11 ... Vacuum tank 15 ... Processing object 20 ... Vacuum processing part 21 ... Control part 23 ... Processing equipment group 24 ... Peripheral equipment group 31-34 ... Processing equipment 36-39 ...... peripherals 40 ...... computer 42 ...... arithmetic unit 43 ...... storage device 44 ...... display equipment
1 01 …… First major line 102 …… Second major line 103 …… First auxiliary major line 104 …… Second auxiliary major line 131 …… XY coordinates 141 …… Time axis

Claims (12)

真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値を前記記憶装置に記憶する真空処理装置であって、
前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
前記データ分析プログラムは、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
同一の前記ロットに属する前記グラフ線は、複数本であり、かつ、同一の前記Ｘ−Ｙ座標上に表示され、
表示された前記グラフ線のうち、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ−Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるように構成された真空処理装置。 A vacuum processing unit for vacuum processing the processing object disposed in the vacuum chamber;
A storage device that stores a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit in association with the vacuum processing together with the measurement time of the measurement values;
A computing device for computing the measured value;
A display device for displaying a calculation result of the calculation device;
A vacuum processing apparatus that stores the measured values of a plurality of lots in the storage device as one lot of the measured value when the vacuum processing is continuously performed on a predetermined number of the processing objects,
The storage device stores a data analysis program,
The data analysis program includes:
When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Convert to on-axis conversion time,
Using the predetermined position on the X axis of the XY coordinates as the position of the reference time, the position on the X axis of the measured value is obtained from the converted time on the X axis, and the Y axis is calculated from the magnitude of the measured value. A position is obtained, a graph line is generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values having the continuous measurement time, and displayed on the display device together with the XY coordinates. And
The graph lines belonging to the same lot are plural and displayed on the same XY coordinate,
When any one of the displayed graph lines is selected, the other displayed graph lines belonging to the lot of the selected graph line are also selected and selected. The vacuum processing apparatus is configured such that the graph line can move on the XY coordinates together in the extending direction of the X axis by the same distance. 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値を前記記憶装置に記憶する真空処理装置であって、
前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
前記データ分析プログラムは、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
表示した前記グラフ線のうち、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ−Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるように構成され、
前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が制御装置から出力され、
前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
前記データ分析プログラムは、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
前記時間軸上の所定位置を前記基準時刻とし、前記動作開始時刻と前記動作停止時刻を、前記基準時刻からの前記時間軸上の時間である時間軸上換算時刻に換算し、
前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
選択された前記グラフ線と同じ前記ロットに属する前記タイミングチャートは、選択された前記グラフ線と一緒に、前記時間軸と平行で同方向に同距離移動させる真空処理装置。 A vacuum processing unit for vacuum processing the processing object disposed in the vacuum chamber;
A storage device that stores a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit in association with the vacuum processing together with the measurement time of the measurement values;
A computing device for computing the measured value;
A display device for displaying a calculation result of the calculation device;
A vacuum processing apparatus that stores the measured values of a plurality of lots in the storage device as one lot of the measured value when the vacuum processing is continuously performed on a predetermined number of the processing objects,
The storage device stores a data analysis program,
The data analysis program includes:
When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Convert to on-axis conversion time,
Using the predetermined position on the X axis of the XY coordinates as the position of the reference time, the position on the X axis of the measured value is obtained from the converted time on the X axis, and the Y axis is calculated from the magnitude of the measured value. A position is obtained, a graph line is generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values having the continuous measurement time, and displayed on the display device together with the XY coordinates. And
When any one of the displayed graph lines is selected, the other displayed graph lines belonging to the lot of the selected graph line are also selected and selected. The graph line is configured to be able to move together on the XY coordinate in the same direction in the direction in which the X axis extends,
A control signal including an operation signal for operating the processing device that performs the vacuum processing and a stop signal for stopping the operation is output from the control device,
The control signal is stored in the storage device together with an operation start time for starting the operation and an operation stop time for stopping the operation,
The data analysis program includes:
When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Convert to on-axis conversion time,
On the display device, a time axis is displayed in parallel with the X axis at a position separated from the X axis,
The predetermined position on the time axis is set as the reference time, the operation start time and the operation stop time are converted into a time axis conversion time which is a time on the time axis from the reference time,
The operation start time and the time conversion time are set so that the conversion time on the X axis and the conversion time on the time axis indicated by intersections where a straight line parallel to the Y axis intersects the X axis and the time axis are the same time, respectively. Find the position on the time axis of the operation stop time,
On the display device, on the time axis, the control signal is displayed in a timing chart having horizontal line segments having different heights indicating the operation signal and the stop signal,
The vacuum processing apparatus, wherein the timing chart belonging to the same lot as the selected graph line is moved in the same direction and the same distance in parallel with the time axis together with the selected graph line. 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
連続して前記真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、
所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、
前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶する真空処理装置であって、
前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
前記データ分析プログラムは、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
表示した前記タイミングチャートのうち、いずれか一個の前記タイミングチャートを選択すると、選択された前記タイミングチャートが属する前記ロットに属する他の表示された前記タイミングチャートも一緒に選択され、選択された前記タイミングチャートは前記時間軸上を前記時間軸が伸びる方向に一緒に同方向に同距離移動できるように構成され、
選択された前記タイミングチャートと同じ前記ロットに属する前記グラフ線は、選択された前記タイミングチャートと一緒に同方向に同距離移動されるように構成された真空処理装置。 A vacuum processing unit for vacuum processing the processing object disposed in the vacuum chamber;
A storage device that stores a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit in association with the vacuum processing together with a measurement time;
A computing device for computing the measured value;
A display device for displaying a calculation result of the calculation device;
A predetermined number of substrates that have been vacuum-processed continuously are taken as one lot,
The measured value when the predetermined number of the processing objects are continuously subjected to the same vacuum processing is set as one lot, and the measured values of a plurality of the lots are stored in the storage device,
A control signal including an operation signal for operating the apparatus that performs the vacuum processing and a stop signal for stopping the operation includes the operation start time for starting the operation and the operation stop time for stopping the operation. A vacuum processing apparatus for storing in the storage device in association with
The storage device stores a data analysis program,
The data analysis program includes:
When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Convert to on-axis conversion time,
Using the predetermined position on the X axis of the XY coordinates as the position of the reference time, the position on the X axis of the measured value is obtained from the converted time on the X axis, and the Y axis is calculated from the magnitude of the measured value. The display device obtains a position, generates a plurality of graph lines from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values at which the measurement times are continuous, and the display device together with the XY coordinates Displayed on the
Obtaining a time-converted time that is a time from the reference time of the operation start time and the operation stop time stored in the storage device;
On the display device, a time axis is displayed in parallel with the X axis at a position separated from the X axis,
The operation start time and the time conversion time are set so that the conversion time on the X axis and the conversion time on the time axis indicated by intersections where a straight line parallel to the Y axis intersects the X axis and the time axis are the same time, respectively. Find the position on the time axis of the operation stop time,
On the display device, on the time axis, the control signal is displayed in a timing chart having horizontal line segments having different heights indicating the operation signal and the stop signal,
When any one of the displayed timing charts is selected, the other displayed timing charts belonging to the lot to which the selected timing chart belongs are also selected, and the selected timing chart is selected. The chart is configured to move on the time axis in the same direction and the same distance together in the direction in which the time axis extends,
The vacuum processing apparatus configured such that the graph lines belonging to the same lot as the selected timing chart are moved in the same direction and the same distance together with the selected timing chart. 移動された前記グラフ線の前記測定値の前記Ｘ軸の位置から前記Ｘ軸上換算時刻を再計算し、
前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択し、
前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第一の時刻として指示されると、
前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ線毎に表示し、
前記第一の測定値同士の差を表示するように構成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の真空処理装置。 Recalculate the converted time on the X-axis from the X-axis position of the measured value of the moved graph line;
Selecting two or more of the graph lines from among the plurality of graph lines displayed on the display device as a first selection group;
When the X-axis conversion time on the X-axis is designated as the first time,
Among the converted time on the X-axis of each graph line of the first selection group, each of the first measured values that are measured values corresponding to the converted time on the X-axis that is closest to the first time As the first measurement value for each graph line, on the display device, the first measurement value is displayed for each selected graph line,
The vacuum processing apparatus according to claim 1, wherein the vacuum processing apparatus is configured to display a difference between the first measurement values. 前記表示装置に表示され、前記第一選択群以外の複数の前記グラフ線のうちから第二選択群のグラフ線が選択され、
前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第二の時刻として指示されると、
前記第二選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第二の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第二の測定値を各前記グラフ線毎の第二の測定値とし、
前記第一の測定値と前記第二の測定値の差を前記表示装置に表示させるように構成された請求項４記載の真空処理装置。 Displayed on the display device, a graph line of the second selection group is selected from among the plurality of graph lines other than the first selection group,
When the X-axis conversion time on the X-axis is designated as a second time,
Among the converted time on the X-axis of each graph line of the second selection group, each of the second measured values that are measured values corresponding to the converted time on the X-axis closest to the second time As a second measurement for each graph line,
The vacuum processing apparatus according to claim 4, wherein a difference between the first measurement value and the second measurement value is displayed on the display device. 前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一、第二の主メジャー線を表示し、
前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第一の時刻とし、
前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第二の時刻とし、
前記第一、第二の主メジャー線の位置は変更できるように構成され、
前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二の主メジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された請求項５記載の真空処理装置。 Displaying the first and second main major lines parallel to the Y-axis on the display device;
The X-axis converted time of the intersection of each graph line of the first selection group and the first main major line is the first time for each graph line,
The X-axis converted time at the intersection of each graph line of the second selection group and the second main major line is the second time for each graph line,
The positions of the first and second main major lines can be changed,
When the positions of the first and second main major lines are changed, the first and second times are changed to the converted time on the X-axis indicated by the changed first and second main major lines. The vacuum processing apparatus according to claim 5, which is configured to be changed respectively. 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
所定枚数の前記処理対象物を連続して前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
同一の前記ロットに属する前記グラフ線は、複数本であり、かつ、同一の前記Ｘ−Ｙ座標上に表示され、
表示された前記グラフ線のうち、所望のグラフ線を選択できるようにし、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ−Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるようにされたグラフ線表示方法。 A vacuum processing unit for vacuum processing the processing object disposed in the vacuum chamber;
A storage device that stores a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit in association with the vacuum processing together with the measurement time of the measurement values;
A computing device for computing the measured value;
A display device for displaying a calculation result of the calculation device;
The storage device of the vacuum processing apparatus in which the measured value when the predetermined number of the processing objects are continuously vacuum processed is defined as one lot, and the measured values of the plurality of lots are stored in the storage device. A graph line display method for displaying a graph line of the stored measurement value on the display device,
When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Convert to on-axis conversion time,
Using the predetermined position on the X axis of the XY coordinates as the position of the reference time, the position on the X axis of the measured value is obtained from the converted time on the X axis, and the Y axis is calculated from the magnitude of the measured value. A position is obtained, a graph line is generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values having the continuous measurement time, and displayed on the display device together with the XY coordinates. And
The graph lines belonging to the same lot are plural and displayed on the same XY coordinate,
Among the displayed graph lines, a desired graph line can be selected, and when any one of the graph lines is selected, the other displayed graphs belonging to the lot of the selected graph lines. A graph line display method in which a line is also selected, and the selected graph line can be moved on the XY coordinates together by the same distance in the direction in which the X axis extends. 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
所定枚数の前記処理対象物を連続して前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
表示した前記グラフ線のうち、所望のグラフ線を選択できるようにし、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ−Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるようにし、
前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が制御装置から出力され、
前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶されており、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
前記時間軸上の所定位置を前記基準時刻とし、前記動作開始時刻と前記動作停止時刻を、前記基準時刻からの前記時間軸上の時間である時間軸上換算時刻に換算し、
前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
選択された前記グラフ線と同じ前記ロットに属する前記タイミングチャートは、選択された前記グラフ線と一緒に、前記時間軸と平行で同方向に同距離移動させるグラフ線表示方法。 A vacuum processing unit for vacuum processing the processing object disposed in the vacuum chamber;
A storage device that stores a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit in association with the vacuum processing together with the measurement time of the measurement values;
A computing device for computing the measured value;
A display device for displaying a calculation result of the calculation device;
The storage device of the vacuum processing apparatus in which the measured value when the predetermined number of the processing objects are continuously vacuum processed is defined as one lot, and the measured values of the plurality of lots are stored in the storage device. A graph line display method for displaying a graph line of the stored measurement value on the display device,
When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Convert to on-axis conversion time,
Using the predetermined position on the X axis of the XY coordinates as the position of the reference time, the position on the X axis of the measured value is obtained from the converted time on the X axis, and the Y axis is calculated from the magnitude of the measured value. A position is obtained, a graph line is generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values having the continuous measurement time, and displayed on the display device together with the XY coordinates. And
Among the displayed graph lines, a desired graph line can be selected, and when any one of the graph lines is selected, the other displayed graph lines belonging to the lot of the selected graph lines. Are selected together so that the selected graph lines can be moved the same distance on the XY coordinates in the direction in which the X axis extends,
A control signal including an operation signal for operating the processing device that performs the vacuum processing and a stop signal for stopping the operation is output from the control device,
The control signal is stored in the storage device together with an operation start time for starting the operation and an operation stop time for stopping the operation,
When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Convert to on-axis conversion time,
On the display device, a time axis is displayed in parallel with the X axis at a position separated from the X axis,
The predetermined position on the time axis is set as the reference time, the operation start time and the operation stop time are converted into a time axis conversion time which is a time on the time axis from the reference time,
The operation start time and the time conversion time are set so that the conversion time on the X axis and the conversion time on the time axis indicated by intersections where a straight line parallel to the Y axis intersects the X axis and the time axis are the same time, respectively. Find the position on the time axis of the operation stop time,
On the display device, on the time axis, the control signal is displayed in a timing chart having horizontal line segments having different heights indicating the operation signal and the stop signal,
The graph line display method in which the timing chart belonging to the same lot as the selected graph line is moved in the same direction and in the same direction in parallel with the time axis together with the selected graph line. 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
連続して前記真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、
所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、
前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
表示した前記タイミングチャートのうち、いずれか一個の前記タイミングチャートを選択すると、選択された前記タイミングチャートが属する前記ロットに属する他の表示された前記タイミングチャートも一緒に選択され、選択された前記タイミングチャートは前記時間軸上を前記時間軸が伸びる方向に一緒に同方向に同距離移動できるように構成され、
選択された前記タイミングチャートと同じ前記ロットに属する前記グラフ線は、選択された前記タイミングチャートと一緒に同方向に同距離移動させるグラフ線表示方法。 A vacuum processing unit for vacuum processing the processing object disposed in the vacuum chamber;
A storage device that stores a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit in association with the vacuum processing together with a measurement time;
A computing device for computing the measured value;
A display device for displaying a calculation result of the calculation device;
A predetermined number of substrates that have been vacuum-processed continuously are taken as one lot,
The measured value when the predetermined number of the processing objects are continuously subjected to the same vacuum processing is set as one lot, and the measured values of a plurality of the lots are stored in the storage device,
A control signal including an operation signal for operating the apparatus that performs the vacuum processing and a stop signal for stopping the operation includes the operation start time for starting the operation and the operation stop time for stopping the operation. A graph line display method of displaying a graph line of the measurement value stored in the storage device of the vacuum processing device stored in the storage device in association with the display device,
When a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is a time from a predetermined reference time X Convert to on-axis conversion time,
Using the predetermined position on the X axis of the XY coordinates as the position of the reference time, the position on the X axis of the measured value is obtained from the converted time on the X axis, and the Y axis is calculated from the magnitude of the measured value. The display device obtains a position, generates a plurality of graph lines from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values at which the measurement times are continuous, and the display device together with the XY coordinates Displayed on the
Obtaining a time-converted time that is a time from the reference time of the operation start time and the operation stop time stored in the storage device;
On the display device, a time axis is displayed in parallel with the X axis at a position separated from the X axis,
The operation start time and the time conversion time are set so that the conversion time on the X axis and the conversion time on the time axis indicated by intersections where a straight line parallel to the Y axis intersects the X axis and the time axis are the same time, respectively. Find the position on the time axis of the operation stop time,
On the display device, on the time axis, the control signal is displayed in a timing chart having horizontal line segments having different heights indicating the operation signal and the stop signal,
When any one of the displayed timing charts is selected, the other displayed timing charts belonging to the lot to which the selected timing chart belongs are also selected, and the selected timing chart is selected. The chart is configured to move on the time axis in the same direction and the same distance together in the direction in which the time axis extends,
A graph line display method in which the graph lines belonging to the same lot as the selected timing chart are moved by the same distance in the same direction together with the selected timing chart. 移動させた前記グラフ線の前記測定値の前記Ｘ軸の位置から前記Ｘ軸上換算時刻を再計算し、
前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択させ、
前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第一の時刻として指示されると、
前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ線毎に表示し、
前記第一の測定値同士の差を表示する請求項７乃至請求項９のいずれか１項記載のグラフ線表示方法。 Recalculate the converted time on the X-axis from the X-axis position of the measured value of the moved graph line;
Two or more graph lines are selected as a first selection group from the plurality of graph lines displayed on the display device,
When the X-axis conversion time on the X-axis is designated as the first time,
Among the converted time on the X-axis of each graph line of the first selection group, each of the first measured values that are measured values corresponding to the converted time on the X-axis that is closest to the first time As the first measurement value for each graph line, on the display device, the first measurement value is displayed for each selected graph line,
The graph line display method according to claim 7, wherein a difference between the first measurement values is displayed. 前記表示装置に表示した、前記第一選択群以外の複数の前記グラフ線のうちから第二選択群のグラフ線を選択させ、
前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第二の時刻として指示されると、
前記第二選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第二の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第二の測定値を各前記グラフ線毎の第二の測定値とし、
前記第一の測定値と前記第二の測定値の差を前記表示装置に表示させる請求項１０記載のグラフ線表示方法。 The graph line of the second selection group is selected from the plurality of graph lines other than the first selection group displayed on the display device,
When the X-axis conversion time on the X-axis is designated as a second time,
Among the converted time on the X-axis of each graph line of the second selection group, each of the second measured values that are measured values corresponding to the converted time on the X-axis closest to the second time As a second measurement for each graph line,
The graph line display method according to claim 10, wherein a difference between the first measurement value and the second measurement value is displayed on the display device. 前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一、第二の主メジャー線を表示し、
前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第一の時刻とし、
前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第二の時刻とし、
前記第一、第二の主メジャー線の位置は変更できるように構成され、
前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二の主メジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更する請求項１１記載のグラフ線表示方法。
Displaying the first and second main major lines parallel to the Y-axis on the display device;
The X-axis converted time of the intersection of each graph line of the first selection group and the first main major line is the first time for each graph line,
The X-axis converted time at the intersection of each graph line of the second selection group and the second main major line is the second time for each graph line,
The positions of the first and second main major lines can be changed,
When the positions of the first and second main major lines are changed, the first and second times are changed to the converted time on the X-axis indicated by the changed first and second main major lines. The graph line display method according to claim 11, wherein each graph line is changed.
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