JP5120640B2 - ガス分析計 - Google Patents

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Description

本発明はガス分析計に関し、詳しくは、測定対象ガスが流れる管路内に測定光を入射させ、前記測定対象ガスを通過した測定光の波長吸収量に基づいて前記測定対象ガス中の測定対象成分の濃度を測定するガス分析計に関するものである。
図4は、従来のガス分析計の一例として示すレーザ式ガス分析計の構成図である。このレーザ式ガス分析計は、排ガスが流れる煙道などに直接取り付けて分析を行う直挿型として構成されている。
測定対象ガスSGが、管路100内を図中上から下へと流れている。管路100の対向する壁面には、取り付け管101,102の各一方の端部が固定されている。取り付け管101の他方の端部には、管路100を流れる測定対象ガスSGに向けてレーザ光を出射する光源部2が固定されている。また、取り付け管102の他方の端部には、測定対象ガスSGを通過したレーザ光を受光する受光部4が固定されている。取り付け管101,102の内部は、それぞれウェッジウィンドウで構成されたウィンドウ部131,132によって仕切られており、測定対象ガスSGはこれらのウィンドウ部よりも管路100側を流れるように隔離されている。
なお、ウィンドウ部131,132を構成するウェッジウィンドウは、互いの対向面が平行でない平面を有する光学素子であり、光源へ光が戻らないように反射させるために使用される部品である。また、Lは光源部2から受光部4までのレーザ光の光路を示している。
受光部4にて受光される測定対象ガスSGを通過したレーザ光から、測定対象成分に固有の吸収波長の減衰度合いを計測し、この計測結果に基づいて測定対象ガス中に含まれる測定対象成分の濃度が求められる。
ところで、測定対象ガスSGには粉塵や油分などの汚れDが含まれている。ウィンドウ部131,132の管路100側の面は、測定対象ガスSGに直接接触するため、汚れDの付着により表面が汚れる場合がある。光路L上に汚れが生じると、レーザ光の通過が遮られ、正常なレーザ光の照射および受光ができない。そのため、測定対象ガスSGの分析結果に誤差が生じてしまう。
そこで、ウィンドウ部131,132の表面にパージガスPGを連続的に噴射することによって、ウィンドウ部131,132の表面に汚れが生じるのを防止している。パージガスPGとしては、通常の空気や窒素が用いられることが多い。
下記特許文献1には、レーザ光を発信(または受信)する発信器(または受信器)の前部に設けられた集光レンズ表面の汚れ防止のために、パージガスを連続的に供給するレーザ式分析計が記載されている。
特開2006−125848号公報
しかしながら、上記のようなガス分析計では、ウィンドウ部131,132の表面が汚れるのを防止するために常にパージガスPGを供給し続けなければならず、多額のメンテナンスコストやランニングコストが必要となる。
また、ガス分析計のアプリケーションによっては、パージガスPGの供給により測定対象ガスSGのガス組成のバランスが崩れてしまい、測定対象ガスSGを正確に分析することができなくなってしまう。
たとえば、燃焼制御等の目的でごみ焼却炉や灰溶融炉の排ガス中の酸素濃度を測定する場合には、パージガスPGとして空気を用いると、排ガス中の酸素濃度に変動が生じる。そのため、パージガスPGとして利用できるガスが窒素などに限定されてしまう。
また、そのような適切なパージガスPGを供給できる設備がないところでは、上記のようなガス分析計を利用することができない。
本発明は、従来装置の問題をなくし、パージを行う必要のないガス分析計を提供することを目的とする。
上記のような目的を達成するために、請求項1の発明は、
測定対象ガスが流れる管路内に測定光を入射させ、測定対象ガスを通過した測定光の波長吸収量に基づいて測定対象ガス中の測定対象成分の濃度を測定するガス分析計において、
測定光の光路上であって、管路内部に表面が露出するように配置されるウィンドウ部と、
このウィンドウ部の測定対象ガスの流れ方向に沿った両端部に取り付けられ、電圧が印加される電極部とを備え、
ウィンドウ部は、管路内部に露出する表面に、電解質イオンを含む薬剤が塗布されたことを特徴とする。
請求項2の発明は、
請求項1に記載のガス分析計において、薬剤は、測定光に対する波長吸収のピークが測定対象成分と異なることを特徴とする。
請求項3の発明は、
請求項1または2に記載のガス分析計において、薬剤は、ゲル状であることを特徴とする。
請求項4の発明は、
請求項1〜3のいずれかに記載のガス分析計において、ウィンドウ部は、電極部を介して管路に固定されていることを特徴とする。
請求項5の発明は、
請求項1〜4のいずれかに記載のガス分析計において、電極部は、所定の周期で電圧が印加されることを特徴とする。
請求項6の発明は、
請求項1〜5のいずれかに記載のガス分析計において、測定光はレーザ光であることを特徴とする。
請求項1の発明によれば、
ウィンドウ部に電解質イオンを含む薬剤を塗布し、このウィンドウ部に電極部を取り付けて電圧を印加し、電解質イオンが移動するのを利用してウィンドウ部に付着した汚れを測定光の光路上から除去することにより、パージを行う必要のないガス分析計を提供することができる。
ガス分析計をパージレスとしたことにより、パージを行うことにより問題が生じていたアプリケーションにも、ガス分析計を適用することができる。さらに、パージに起因するメンテナンスコストやランニングコストを削減できる。
請求項2の発明によれば、
薬剤の測定光に対する波長吸収のピークが測定対象成分と異なるため、測定対象ガスによる波長吸収に影響を与える心配がない。
請求項3の発明によれば、
薬剤がゲル状であるため、乾燥しにくく、長期間安定してウィンドウ部に付着した汚れを除去できる。
請求項4の発明によれば、
ウィンドウ部が電極部を介して管路に固定されているため、電極部が固定部材としての機能を兼ね、少ない部品数でガス分析計を構成できる。
請求項5の発明によれば、
電極部は、所定の周期で電圧が印加されるため、ウィンドウ部に付着した汚れがある程度たまった段階で効率良く汚れを除去できる。
請求項6の発明によれば、
測定光をレーザ光とすることにより、レーザ式ガス分析計を構成することができる。
図1は、本発明を直挿型のレーザ式ガス分析計に適用した一実施例を示す構成図であり、従来例と同じ構成要素には同じ番号を付して説明を省略する。
測定対象ガスSGが管路1内を図中上から下へと流れている。管路1の対向する壁面には、レーザ光を透過させるウィンドウ部31,32が固定され、さらにこれらのウィンドウ部31,32にはそれぞれ取り付け管11,12の一方の端部が固定されている。取り付け管11の他方の端部には光源部2が固定され、取り付け管12の他方の端部には受光部4が固定されている。
取り付け管11,12はそれぞれウィンドウ部31,32によって管路1から仕切られており、測定対象ガスSGから隔離されている。
ウィンドウ部31,32は、それぞれレーザ光の光路Lにほぼ直交する垂直面(以下、単に「垂直面」と記載する。)と斜交する傾斜面とを有している。ウィンドウ部31,32は、ともに垂直面がレーザ光の入射側、すなわち光源部2側を向くように、さらに、レーザ光の戻り光がないように光路Lに対し各々若干傾斜させた状態で固定・配置されている。ウィンドウ部31は、傾斜面が管路1の内部に露出するようにして固定されている。また、ウィンドウ部32は、垂直面が管路1の内部に露出するようにして固定されている。
ウィンドウ部31の測定対象ガスSGの上流側の端面には電極部310が、下流側の端面には電極部311が設けられている。同様に、ウィンドウ部32の測定対象ガスSGの上流側の端面には電極部320が、下流側の端面には電極部321が設けられている。電極部310,320は電源部5の正(+)側の出力端子に接続され、電極部311,321は電源部5の負(−)側の出力端子に接続される。これにより、ウィンドウ部31,32に対して所定の電圧が印加できるようになっている。
図2はウィンドウ部31,32およびこれらのウィンドウ部に設けられた電極部を示す図である。図2の(a)はウィンドウ部31とその電極部310,311、(b)はウィンドウ部32とその電極部320,321である。
図2の(a)において、ウィンドウ部31は、ウェッジウィンドウ31aと、このウェッジウィンドウ31aの表面に塗布された薬剤31bとから構成されている。電極部310,311は、それぞれ薬剤31bに接触するようにウェッジウィンドウ31aに取り付けられている。なお、電極部310,311は、ウィンドウ部31全体を管路1に固定するための固定部材としての機能を兼ねる。
薬剤31bは、ウェッジウィンドウ31aの傾斜面、すなわち管路1の内部に露出する面に塗布される。薬剤31bは、導電性高分子ゲルなど、電解質イオンを含むものを使用する。また、薬剤31bは、光源部2からのレーザ光に対する波長吸収のピークが、測定対象ガスSGに含まれる測定対象成分による吸収波長のピークと異なるものを使用する。
薬剤31bは電解質イオンを含んでいるため、電源部5からウィンドウ部31に電圧が印加されると、薬剤31b中の電解質イオンは一定の方向に移動する。すなわち、薬剤31b中の陰イオンは正電圧が印加される電極部311側へ移動し、陽イオンは負電圧が印加される電極部310側へ移動する。
図2の(b)に示すウィンドウ部32は、垂直面に薬剤が塗布されている点以外はウィンドウ部31と同じ構造である。
ウィンドウ部32は、ウェッジウィンドウ32aと、このウェッジウィンドウ32aの垂直面の表面に塗布された薬剤32bとから構成されている。電極部320,321は、それぞれ薬剤32bに接触するようにウェッジウィンドウ32aに取り付けられている。なお、電極部320,321は、ウィンドウ部32全体を管路1に固定するための固定部材としての機能を兼ねる。
薬剤32bは、薬剤31bと同じものを用いる。電源部5からウィンドウ部32に電圧が印加されると、薬剤32b中の陰イオンは正電圧が印加される電極部321側へ移動し、陽イオンは負電圧が印加される電極部320側へ移動する。
図3は、本実施例のレーザ式ガス分析計の動作説明図である。図3では、ウィンドウ部31,32に付着した汚れDの除去について、代表してウィンドウ部31で説明する。
管路1を測定対象ガスSGが流れる際に、測定対象ガスSG中に含まれる汚れDがウィンドウ部31の光路L内に付着する。このとき、図3の(a)に示すように、汚れDはウェッジウィンドウ31aに直接付着するのではなく、薬剤31bに付着する。薬剤31bに付着した汚れDは、薬剤31b中の陰イオンまたは陽イオンのいずれかと結合する。
電源部5からウィンドウ部31に電圧が印加されると、薬剤31b中の陰イオン、陽イオンは、それぞれ電極部311側、電極部310側へ移動する。このとき、汚れDも、結合した電解質イオンの極性に応じて電極部311,310のいずれかの方向に引き寄せられる。すなわち、汚れDが結合した電解質イオンが陰イオンであった場合には汚れDは電極部311側へ移動し、汚れDが結合した電解質イオンが陽イオンであった場合には汚れDは電極部310側へ移動する。図3の(b)は、汚れDが陰イオンと結合して電極部311側へ移動する様子を示している。このようにして、汚れDは、光路L外へと排除される。
移動した汚れDは、図3の(c)に示すように、ウィンドウ部31の傾斜面の縁部に蓄積されていく。汚れDは、ある程度蓄積された時点で、図3の(d)に示すように、測定対象ガスSGの流れによってさらに下流側へと飛ばされていく。
なお、図3の(b),(c)では、汚れDが陰イオンと結合して電極部311側へ移動する例を示したが、汚れDが陽イオンと結合した場合には、汚れDは電極部310側へ移動する。汚れDの移動方向は、測定対象ガスSGの上流側である電極部310側であっても問題ない。汚れDを、ウィンドウ部31上に最初に付着した地点からいずれかの方向に移動させて光路Lから排除することにより、レーザ式ガス分析計の本来の分析精度が保たれる。
本実施例は以上のように構成され、
ウェッジウィンドウ31a,32aに電解質イオンを含む薬剤31b,32bを塗布してウィンドウ部31,32を構成し、このウィンドウ部31,32に電極部310,311,320,321を取り付けて電圧を印加し、電解質イオンが移動するのを利用してウィンドウ部31,32に付着した汚れDをレーザ光の光路L上から除去することにより、パージを行う必要のないレーザ式ガス分析計を提供することができる。
電極部310,311,320,321に電圧を印加するだけで容易に汚れDを光路L上から除去できる。また、電極部310,311,320,321に電圧を印加しておけば、ウィンドウ部31,32のメンテナンスを長期間不要とすることができる。
本実施例のレーザ式ガス分析計はパージレスであるため、パージを行うことにより問題が生じていたアプリケーションにも適用することができる。さらに、パージに起因するメンテナンスコストやランニングコストを削減できる。
また、光路L上に薬剤31b,32bが存在することになるが、薬剤31b,32bのレーザ光に対する波長吸収のピークは測定対象成分による波長吸収のピークと異なるため、測定対象ガスSGの分析結果に影響を与えない。塗布する薬剤を、レーザ式ガス分析計のアプリケーションに合わせて選定すれば、様々な測定対象成分の分析に対応できる。
また、薬剤31b,32bはゲル状であるため、乾燥しにくく、長期間安定してウィンドウ部31,32に付着した汚れDを除去できる。
また、ウィンドウ部31,32は、電極部310,311,320,321を介して管路1に固定されているため、これらの電極部が固定部材としての機能を兼ね、少ない部品数でレーザ式ガス分析計を構成できる。
なお、本実施例では、各電極部はウィンドウ部31,32の上流・下流方向の両端部に取り付けられていたが、電極部の取り付け位置はこれに限らず、少なくとも光路Lを挟む位置に配置すれば光路L上の汚れが除去できる。
また、本実施例では電源部5は常時電圧を印加していたが、所定の周期で電圧を印加するようにしてもよい。たとえば、ウィンドウ部の光路L上にある程度汚れがたまったと考えられる周期で電圧を印加すれば、汚れをまとめて除去することができ、効率がよい。
また、本実施例では、ウィンドウ部31,32に対する電圧の印加方向が固定されていたが、電圧の印加方向は定期的に逆転させてもよい。
また、本実施例では、汚れDに電気的な極性がないという前提で説明したが、汚れDに特定の極性がある場合には、その極性に応じてウィンドウ部31,32に対する電圧の印加方向を決定する。電圧の印加方向は、汚れDが薬剤31b,32bに付着した後、測定対象ガスSGの下流側に移動するように決定する。たとえば、汚れDが負(−)極性を有している場合には、電極部311,321に正(+)側の電圧を印加し、汚れDが下流側に引き寄せられるようにする。
本発明の一実施例を示すレーザ式ガス分析計の構成図である。 ウィンドウ部31,32およびこれらのウィンドウ部に設けられた電極部を示す図である。 レーザ式ガス分析計の動作説明図である。 従来のガス分析計の一例を示す構成図である。
符号の説明
1 管路
2 光源部
31,32 ウィンドウ部
31a,32a ウェッジウィンドウ
31b,32b 薬剤
310,320 電極部
311,321 電極部
4 受光部
5 電源部
D 汚れ
L 光路
SG 測定対象ガス

Claims (6)

  1. 測定対象ガスが流れる管路内に測定光を入射させ、前記測定対象ガスを通過した測定光の波長吸収量に基づいて前記測定対象ガス中の測定対象成分の濃度を測定するガス分析計において、
    前記測定光の光路上であって、前記管路内部に表面が露出するように配置されるウィンドウ部と、
    このウィンドウ部の前記測定対象ガスの流れ方向に沿った両端部に取り付けられ、電位差が与えられる電極部とを備え、
    前記ウィンドウ部は、前記管路内部に露出する表面に、電解質イオンを含む薬剤が塗布されたことを特徴とするガス分析計。
  2. 前記薬剤は、前記測定光に対する波長吸収のピークが前記測定対象成分と異なることを特徴とする請求項1に記載のガス分析計。
  3. 前記薬剤は、ゲル状であることを特徴とする請求項1または2に記載のガス分析計。
  4. 前記ウィンドウ部は、前記電極部を介して前記管路に固定されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のガス分析計。
  5. 前記電極部は、所定の周期で電位差が与えられることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のガス分析計。
  6. 前記測定光はレーザ光であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のガス分析計。
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JP6641171B2 (ja) * 2015-12-14 2020-02-05 株式会社堀場製作所 吸光度計
JP7128733B2 (ja) * 2018-12-05 2022-08-31 株式会社堀場エステック 吸光分析装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5522737B2 (ja) * 1973-02-08 1980-06-18
JPS58103656A (ja) * 1981-12-16 1983-06-20 Hitachi Ltd 電気泳動用装置
JPS59193111A (ja) * 1982-12-04 1984-11-01 Asahi Okuma Ind Co Ltd 油浄化装置
JPS6182142A (ja) * 1984-06-12 1986-04-25 ザ・シコネクス・コ−ポレ−シヨン ガス流中におけるガスの濃度測定装置
JPS6114558A (ja) * 1984-06-30 1986-01-22 Fuji Photo Film Co Ltd 電気泳動用媒体材料
DE19711898A1 (de) * 1997-03-21 1998-09-24 Gerhard Dr Weber Verfahren und Vorrichtung zur trägerfreien Ablenkungs-Elektrophorese im Intervall-Betrieb
JP4266450B2 (ja) * 1999-08-26 2009-05-20 水道機工株式会社 水質計
JP2005257652A (ja) * 2004-03-15 2005-09-22 Advance Co Ltd 生体試料の検出装置および解析方法
JP2006125848A (ja) * 2004-10-26 2006-05-18 Takuma Co Ltd レーザ式分析計

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