JP5118445B2 - Processing equipment - Google Patents

Processing equipment Download PDF

Info

Publication number
JP5118445B2
JP5118445B2 JP2007292397A JP2007292397A JP5118445B2 JP 5118445 B2 JP5118445 B2 JP 5118445B2 JP 2007292397 A JP2007292397 A JP 2007292397A JP 2007292397 A JP2007292397 A JP 2007292397A JP 5118445 B2 JP5118445 B2 JP 5118445B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image drawing
input
processing
area
numerical data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007292397A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009117776A (en
Inventor
直哉 徳満
真樹 坂井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corp filed Critical Disco Corp
Priority to JP2007292397A priority Critical patent/JP5118445B2/en
Priority to CN 200810173195 priority patent/CN101428452B/en
Publication of JP2009117776A publication Critical patent/JP2009117776A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5118445B2 publication Critical patent/JP5118445B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Numerical Control (AREA)
  • Dicing (AREA)

Description

本発明は、操作パネルを備える切削装置等の加工装置に関するものである。   The present invention relates to a processing apparatus such as a cutting apparatus provided with an operation panel.

ＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが複数形成されたウエーハは、裏面が研削されて所定の厚さに形成され、ダイシング装置等の加工装置によって個々のデバイスに分割されて携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。   A wafer on which a plurality of devices such as IC and LSI are formed is ground to a predetermined thickness by grinding the back surface, and is divided into individual devices by a processing device such as a dicing device to be used as an electronic device such as a mobile phone or a personal computer. Used.

ダイシング装置でのダイシングは、高速回転した切削ブレードが保持手段に保持された被加工物に切り込み、切削ブレードと保持手段とが相対的に移動することで、切削ブレードが切り込んだ量のみ切削加工される（例えば、特許文献１等参照）。   In the dicing with the dicing machine, the cutting blade rotated at high speed is cut into the work piece held by the holding means, and the cutting blade and the holding means are moved relative to each other so that only the amount of cutting blade is cut. (See, for example, Patent Document 1).

上述のダイシング時には、所望の加工結果を得るために、被加工物への切り込み量や保持手段の送り速度等の細かい諸々の加工条件を被加工物毎に入力し、ダイシングを行っている。   At the time of the above-mentioned dicing, in order to obtain a desired machining result, dicing is performed by inputting various machining conditions such as the amount of cut into the workpiece and the feed speed of the holding means for each workpiece.

特開２００３−３３４７５１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-334751

加工条件の設定は、上述のように被加工物毎に多種の数値データを入力する必要があり、入力の際には、オペレータが細心の注意を払っている。しかしながら、従来の加工装置の操作パネルにあっては、個々の加工条件の数値データの入力欄のみ表示されているだけであり、入力ミスを見逃し、その後の実際の加工工程で製品が破損して初めて入力ミスに気づくことがある。   In setting the machining conditions, it is necessary to input various numerical data for each workpiece as described above, and the operator pays careful attention when inputting. However, in the operation panel of the conventional processing device, only the numerical data input field for each processing condition is displayed, and an input error is overlooked, and the product is damaged in the subsequent actual processing process. You may notice an input error for the first time.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工条件設定のための数値データの入力ミスを低減させることが可能な加工装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a machining apparatus capable of reducing input errors of numerical data for setting machining conditions.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる加工装置は、被加工物を保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を個々のデバイスに分割する切削ブレードを有する加工手段と、複数の加工条件を入力する操作パネルと、前記加工手段を前記保持面に対して垂直なＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段と、前記切削ブレードの軸心方向であるＹ軸方向に前記加工手段を割り出し送りするＹ軸移動手段と、前記保持手段をＺ軸方向およびＹ軸方向に直交するＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動手段とを備える加工装置であって、前記操作パネルは、加工条件設定画面として、個々の加工条件の数値データの入力を受付けるための複数の入力欄を配列した入力領域と、個々の加工条件の内容をイメージ描画で表現したイメージ描画領域と、前記入力領域中の各入力欄と前記イメージ描画領域中の対応するイメージ描画を連結した連結線とを表示するとともに、前記加工条件設定画面では、前記入力領域には、切削ブレードの加工条件と１対１で対応しかつ対応した切削ブレードの加工条件の数値データを表示する入力欄と、前記加工条件としての対象とする被加工物の寸法を表示する入力欄と、前記加工条件としての前記Ｚ軸移動手段の送り量を表示する入力欄と、前記加工条件としての前記Ｙ軸移動手段の移動量を表示する入力欄と、前記加工条件としての前記Ｘ軸移動手段の加工送り速度を表示する入力欄とが、全ての前記加工条件分同時に表示され、前記イメージ描画領域には、切削ブレードの加工条件と１対１で対応しかつ対応した切削ブレードの加工条件の内容を表示するイメージ描画と、前記被加工物の寸法を表示するイメージ描画と、前記Ｚ軸移動手段の送り量を表示するイメージ描画と、前記Ｙ軸移動手段の移動量を表示するイメージ描画と、前記Ｘ軸移動手段の加工送り速度を表示するイメージ描画と、全ての前記加工条件分同時に表示され、前記連結線が、前記入力欄と、前記イメージ描画領域中の対応する前記イメージ描画とを全て連結していることを特徴とする。
本発明にかかる加工装置は、被加工物を保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物のストリートエッジ内にレーザ光線を照射するレーザ光線照射手段を有する加工手段と、レーザ光線照射手段の加工条件を入力する操作パネルとを備え、かつ、前記レーザ光線照射手段が前記ストリートエッジ内にレーザ光線を複数カットライン分に分けて順次照射ことで溝を形成させる加工装置であって、前記操作パネルは、加工条件設定画面として、個々の加工条件の数値データの入力を受付けるための複数の入力欄を配列した入力領域と、個々の加工条件の内容をイメージ描画で表現したイメージ描画領域と、前記入力領域中の各入力欄と前記イメージ描画領域中の対応するイメージ描画を連結した連結線とを表示するとともに、前記加工条件設定画面では、前記入力領域には、各カットライン毎の前記レーザ光線照射手段の加工条件と１対１で対応しかつ対応したレーザ光線照射手段の加工条件の数値データを表示する入力欄が、前記複数のカットライン分同時に表示され、前記イメージ描画領域には、各カットライン毎の前記レーザ光線照射手段の加工条件と１対１で対応しかつ対応したレーザ光線照射手段の加工条件の内容を表示するイメージ描画が、前記複数のカットライン分同時に表示され、前記連結線が、前記入力欄と、前記イメージ描画領域中の対応する前記イメージ描画とを全て連結していることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a processing apparatus according to the present invention includes a holding unit having a holding surface for holding a workpiece, and the workpieces held by the holding unit as individual devices. A machining means having a cutting blade that is divided into two, an operation panel for inputting a plurality of machining conditions, a Z-axis moving means for moving the machining means in a Z-axis direction perpendicular to the holding surface, Y-axis moving means for indexing and feeding the machining means in the Y-axis direction that is the axial direction, and X-axis moving means for machining and feeding the holding means in the Z-axis direction and the X-axis direction orthogonal to the Y-axis direction. An operation panel, wherein the operation panel displays an image of an input area in which a plurality of input fields for accepting input of numerical data of each processing condition are arranged and a content of each processing condition as a processing condition setting screen An image drawing area expressed, The rewritable display and a connecting line connecting the image drawing corresponding in said image drawing region and each of the input fields in the input region, in the processing condition setting screen, the input region An input field for displaying numerical data of the machining conditions of the cutting blade corresponding to and corresponding to the machining conditions of the cutting blade; and an input field for displaying the dimensions of the target workpiece as the machining conditions; , An input field for displaying the feed amount of the Z-axis moving unit as the machining condition, an input field for displaying the amount of movement of the Y-axis moving unit as the machining condition, and the X-axis movement as the machining condition An input field for displaying the machining feed rate of the means is displayed at the same time for all the machining conditions, and the image drawing area has a one-to-one correspondence with the machining conditions of the cutting blade. An image drawing for displaying the contents of the machining conditions for the raid, an image drawing for displaying the dimensions of the workpiece, an image drawing for displaying the feed amount of the Z-axis moving means, and a moving amount of the Y-axis moving means. The image drawing to be displayed, the image drawing to display the machining feed rate of the X-axis moving means, and all the machining conditions are displayed at the same time, and the connection line corresponds to the input field and the image drawing area. All the image drawing is connected .
The processing apparatus according to the present invention includes a holding unit having a holding surface for holding a workpiece, and a processing unit having a laser beam irradiation unit for irradiating a laser beam into a street edge of the workpiece held by the holding unit. And an operation panel for inputting processing conditions of the laser beam irradiation means, and the laser beam irradiation means divides the laser beam into a plurality of cut lines within the street edge and sequentially forms grooves to form grooves. The operation panel, as a machining condition setting screen, displays an input area in which a plurality of input fields for receiving numerical data of individual machining conditions are arranged, and details of the individual machining conditions by image drawing. When displaying the expressed image drawing area, each input field in the input area, and a connection line connecting the corresponding image drawing in the image drawing area In addition, on the processing condition setting screen, the input area displays numerical data of the processing conditions of the laser beam irradiating means that correspond one-to-one with the processing conditions of the laser beam irradiating means for each cut line. An input field to be displayed is simultaneously displayed for the plurality of cut lines, and the image drawing area has a one-to-one correspondence with the processing conditions of the laser beam irradiation unit for each cut line and the corresponding laser beam irradiation unit. Image drawing displaying the contents of the processing conditions is displayed simultaneously for the plurality of cut lines, and the connection line connects all the input fields and the corresponding image drawing in the image drawing area. It is characterized by.

また、本発明にかかる加工装置は、上記発明において、前記操作パネルは、前記入力欄に入力される数値データに連動して前記イメージ描画領域中の対応するイメージ描画を変更することを特徴とする。   The processing device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the operation panel changes the corresponding image drawing in the image drawing area in conjunction with numerical data input in the input field. .

本発明にかかる加工装置は、操作パネルにおいて加工条件設定画面では、数値データ入力のための複数の入力欄を配列した入力領域と、加工条件の内容をイメージ描画で表現したイメージ描画領域とが併設表示され、かつ、個々の入力欄と対応するイメージ描画とが連結線で連結されて表示されるので、入力欄に対する数値データの入力の際にはその加工条件の内容を理解しやすく、数値データの入力ミスを低減させることができるという効果を奏する。特に、入力された数値データに連動させてイメージ描画を変更させることで、入力された数値データが誤っている場合にはイメージ描画の状態を見ることで容易に気づかせることができ、数値データの再入力を促し、数値データの入力ミスを低減させることができるという効果を奏する。   The processing apparatus according to the present invention includes an input area in which a plurality of input fields for inputting numerical data are arranged and an image drawing area in which the contents of the processing conditions are expressed by image drawing on the processing condition setting screen on the operation panel. Each input field and the corresponding image drawing are displayed connected with a connecting line, so when entering numerical data in the input field, it is easy to understand the contents of the processing conditions, and the numerical data There is an effect that input errors can be reduced. In particular, by changing the image drawing in conjunction with the input numerical data, if the input numerical data is incorrect, it can be easily noticed by looking at the image drawing status. Re-input is promoted, and there is an effect that input errors of numerical data can be reduced.

以下、本発明を実施するための最良の形態である加工装置について図面を参照して説明する。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A processing apparatus that is the best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

（実施の形態１）
本実施の形態１は、加工装置として、切削ブレードを有する加工手段を備える切削装置への適用例を示す。図１は、本発明の実施の形態１の加工装置の一例を示す外観斜視図であり、図２は、その加工手段周りの構成を抽出して示す斜視図である。本実施の形態１の加工装置１０は、被加工物Ｗを分割予定ラインに沿って切削する切削装置に適用したものであり、概略構成として、図１に示すように、保持手段１１、撮像手段１２、加工手段２０、操作パネル３０および制御手段４０を備える。 (Embodiment 1)
The first embodiment shows an application example to a cutting apparatus provided with a processing means having a cutting blade as the processing apparatus. FIG. 1 is an external perspective view showing an example of a processing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an extracted configuration around the processing means. The processing apparatus 10 according to the first embodiment is applied to a cutting apparatus that cuts a workpiece W along a planned division line. As shown in FIG. 1, a holding unit 11 and an imaging unit are schematically shown. 12, the processing means 20, the operation panel 30, and the control means 40 are provided.

加工手段２０は、２つの切削ブレードをＹ軸方向に対向配置させて並行して切削動作が可能なデュアルカット方式のもので、保持手段１１の保持面１１ａに保持された被加工物Ｗの分割予定ラインに沿って、第１の切削ブレード２１ａがハーフカットを行い、第２の切削ブレードがハーフカット済み部分のフルカットを行うものである。ここで、加工手段２０のうち、第１のブレード２１ａ側は、第１の切削ブレード２１ａが着脱自在に装着されたスピンドル２２ａと、このスピンドル２２ａを回転可能に支持するとともに回転駆動する図示しない駆動源を含む円筒状のハウジング２３ａとを備える。加工手段２０のうち、フルカット用の第２のブレード側も同様に構成され、ハウジング２３ｂ等を備える。   The processing means 20 is of a dual cut type in which two cutting blades are arranged opposite to each other in the Y-axis direction and can perform a cutting operation in parallel, and the work W held on the holding surface 11a of the holding means 11 is divided. The first cutting blade 21a performs a half cut along the planned line, and the second cutting blade performs a full cut on the half-cut portion. Here, in the processing means 20, the first blade 21a side includes a spindle 22a on which the first cutting blade 21a is detachably mounted, and a drive (not shown) that rotatably supports and rotates the spindle 22a. And a cylindrical housing 23a including a source. Of the processing means 20, the second blade side for full cut is similarly configured and includes a housing 23 b and the like.

また、第１の切削ブレード２１ａおよび第２の切削ブレードは、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。本実施の形態１では、ハーフカット用の第１の切削ブレード２１ａは、フルカット用の第２の切削ブレードよりも厚めのものが用いられている。   The first cutting blade 21a and the second cutting blade are ultrathin cutting grindstones having a substantially ring shape. In the first embodiment, the first cutting blade 21a for half-cutting is thicker than the second cutting blade for full-cutting.

撮像手段１２は、図２に示すように、ハウジング２３ａの側部に設けられたもので、保持手段１１に保持された被加工物Ｗの表面を撮像するＣＣＤカメラ等を搭載した顕微鏡であり、切削すべき分割予定ラインに対する第１の切削ブレード２１ａの位置付けに供するアライメント用である。   As shown in FIG. 2, the imaging means 12 is provided on the side of the housing 23a, and is a microscope equipped with a CCD camera or the like that images the surface of the workpiece W held by the holding means 11. This is for alignment used for positioning the first cutting blade 21a with respect to the division line to be cut.

保持テープＴを介してフレームＦと一体となった状態のウエーハ状の被加工物Ｗを保持する保持面１１ａを有する保持手段１１は、図２に示すように、駆動源１３に連結されて回転可能とされている。駆動源１３は、移動基台１４に固定されている。   A holding means 11 having a holding surface 11a for holding a wafer-like workpiece W in a state integrated with the frame F via a holding tape T is connected to a drive source 13 and rotated as shown in FIG. It is possible. The drive source 13 is fixed to the moving base 14.

操作パネル３０は、加工装置１０の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配設されて、加工装置１０に内蔵された制御手段４０による制御の下に、撮像手段１２が撮像した画像の他、加工処理等に伴う必要な各種情報を表示する表示パネルを兼用するとともに、加工手段２０の加工条件設定等に必要な入力操作を行うためのキー表示等を行うタッチパネル構成のものである。   The operation panel 30 is disposed at a location that is easy to see and operate in the housing of the processing apparatus 10, and under the control of the control means 40 built in the processing apparatus 10, In addition to the display panel that displays various information necessary for processing, etc., the touch panel is configured to display keys for performing input operations necessary for setting processing conditions of the processing means 20.

ここで、加工装置１０は、切削動作に必要な送り動作を行うためのＸ軸移動手段５０、Ｚ軸移動手段６０およびＹ軸移動手段７０を備える。図２は、第１の切削ブレード２１ａに対する送り機構の構成例を示しているが、第２の切削ブレードに対する送り機構も対称的に同様の構成とされている。   Here, the processing apparatus 10 includes an X-axis moving unit 50, a Z-axis moving unit 60, and a Y-axis moving unit 70 for performing a feeding operation necessary for the cutting operation. FIG. 2 shows an example of the configuration of the feed mechanism for the first cutting blade 21a, but the feed mechanism for the second cutting blade is symmetrically configured similarly.

Ｘ軸移動手段５０は、移動基台１４をＸ軸方向に移動させることで、保持手段１１を加工手段２０の第１のブレード２１ａに対して相対的にＸ軸方向に加工送りするためのものである。Ｘ軸移動手段５０は、Ｘ軸方向に配設されたボールねじ５１と、ボールねじ５１の一端に連結されたパルスモータ５２と、ボールねじ５１と平行に配列された一対のガイドレール５３とから構成され、ボールねじ５１には、移動基台１４の下部に設けられた図示しないナットが螺合している。ボールねじ５１は、パルスモータ５２に駆動されて回転し、それに伴って移動基台１４がガイドレール５３にガイドされてＸ軸方向に移動する構成となっている。   The X-axis moving means 50 is for processing and feeding the holding means 11 relative to the first blade 21a of the processing means 20 in the X-axis direction by moving the moving base 14 in the X-axis direction. It is. The X-axis moving means 50 includes a ball screw 51 disposed in the X-axis direction, a pulse motor 52 connected to one end of the ball screw 51, and a pair of guide rails 53 arranged in parallel with the ball screw 51. A nut (not shown) provided at the lower part of the moving base 14 is screwed to the ball screw 51. The ball screw 51 is driven and rotated by a pulse motor 52, and accordingly, the moving base 14 is guided by a guide rail 53 and moves in the X-axis direction.

Ｚ軸移動手段６０は、第１のブレード２１ａのハウジング２３ａを支持する支持部１５を壁部１６に対して相対的にＺ軸方向に移動させることで、加工手段２０の第１のブレード２１ａを昇降させて被加工物Ｗに対する切り込み量を制御するためのものである。Ｚ軸移動手段６０は、壁部１６の一方の面においてＺ軸方向に配設されたボールねじ６１と、このボールねじ６１を回動させるパルスモータ６２と、ボールねじ６１と平行に配列された一対のガイドレール６３とを有し、支持部１５の内部の図示しないナットがボールねじ６１に螺合している。支持部１５は、パルスモータ６２によって駆動されてボールねじ６１が回動するのに伴ってガイドレール６３にガイドされてＺ軸方向に昇降し、支持部１５に支持された第１の切削ブレード２１ａもＺ軸方向に昇降する構成となっている。   The Z-axis moving means 60 moves the first blade 21a of the processing means 20 by moving the support portion 15 supporting the housing 23a of the first blade 21a relative to the wall portion 16 in the Z-axis direction. It is for raising and lowering and controlling the amount of cut with respect to the workpiece W. The Z-axis moving means 60 is arranged in parallel with the ball screw 61 disposed on one surface of the wall portion 16 in the Z-axis direction, a pulse motor 62 that rotates the ball screw 61, and the ball screw 61. A nut (not shown) inside the support portion 15 is screwed into the ball screw 61. The support portion 15 is driven by the pulse motor 62 and is guided by the guide rail 63 as the ball screw 61 rotates to move up and down in the Z-axis direction, and the first cutting blade 21a supported by the support portion 15 is supported. Is also configured to move up and down in the Z-axis direction.

Ｙ軸移動手段７０は、第１のブレード２１ａのハウジング２３ａを、支持部１５を介して支持する壁部１６をＹ軸方向に移動させることで、加工手段２０の第１のブレード２１ａを保持手段１１に対して相対的にＹ軸方向に割り出し送りするためのものである。Ｙ軸移動手段７０は、Ｙ軸方向に配設されたボールねじ７１と、ボールねじ７１の一端に連結されたパルスモータ７２と、ボールねじ７１と平行に配列された一対のガイドレール７３とから構成され、ボールねじ７１には、壁部１６と一体に形成された移動基台１７の内部に設けられた図示しないナットが螺合している。ボールねじ７１は、パルスモータ７２に駆動されて回転し、それに伴って移動基台１７がガイドレール７３にガイドされてＹ軸方向に移動する構成となっている。   The Y-axis moving means 70 holds the first blade 21a of the processing means 20 by moving the wall portion 16 supporting the housing 23a of the first blade 21a via the support portion 15 in the Y-axis direction. 11 for indexing and feeding relative to the Y-axis direction. The Y-axis moving means 70 includes a ball screw 71 disposed in the Y-axis direction, a pulse motor 72 connected to one end of the ball screw 71, and a pair of guide rails 73 arranged in parallel with the ball screw 71. A nut (not shown) provided inside the moving base 17 formed integrally with the wall portion 16 is screwed to the ball screw 71. The ball screw 71 is rotated by being driven by a pulse motor 72, and accordingly, the moving base 17 is guided by the guide rail 73 and moves in the Y-axis direction.

ここで、本実施の形態１の加工装置１０による被加工物Ｗのステップカット動作について説明する。本実施の形態１の加工装置１０においては、第１の切削ブレード２１ａを用いて分割予定ラインに沿って被加工物Ｗの表面から所定の切り込み量で切削溝を形成するハーフカット動作に並行して、既にハーフカットされた切削溝部分を第２の切削ブレードを用いてフルカットすることで、被加工物Ｗをデバイス毎に分割するものである。   Here, the step cut operation of the workpiece W by the processing apparatus 10 according to the first embodiment will be described. In the processing apparatus 10 according to the first embodiment, the first cutting blade 21a is used to perform a half-cut operation in which a cutting groove is formed with a predetermined cut amount from the surface of the workpiece W along the scheduled division line. Then, the workpiece W is divided for each device by full-cutting the already cut half-cut groove portion using the second cutting blade.

まず、高速回転させた第１の切削ブレード２１ａをＺ軸移動手段６０による切り込み送りで保持手段１１上の被加工物Ｗに所定の切り込み深さで切り込ませながら、加工手段２０の第１の切削ブレード２１ａに対して保持手段１１をＸ軸移動手段５０でＸ軸方向に相対的に加工送りすることで、被加工物Ｗ上の分割予定ラインを切削加工してハーフカットされた切削溝を形成する。同一方向の次の分割予定ラインの切削加工は、保持手段１１に対して第１の切削ブレード２１ａをＹ軸移動手段７０でＹ軸方向に分割予定ライン幅分だけ相対的に割り出し送りすることで、同様に繰り返す。そして、同一方向の全ての分割予定ラインについてハーフカットされた切削溝を形成した後、保持手段１１の回転により被加工物Ｗを９０°回転させ、新たにＸ軸方向に配された全ての分割予定ラインについて第１の切削ブレード２１ａで同様の切削加工を繰り返すことにより、ハーフカットされた切削溝を形成する。   First, the first cutting blade 21a rotated at a high speed is cut into the workpiece W on the holding means 11 with a predetermined cutting depth by the cutting feed by the Z-axis moving means 60, while the first cutting blade 21a of the processing means 20 is cut. By cutting and feeding the dividing line on the workpiece W by half-cutting the cutting groove, the holding means 11 is processed and fed relative to the cutting blade 21a in the X-axis direction by the X-axis moving means 50. Form. Cutting the next division line in the same direction is performed by indexing and feeding the first cutting blade 21a relative to the holding unit 11 by the Y-axis moving unit 70 in the Y-axis direction by an amount corresponding to the division line. Repeat as well. Then, after forming cut grooves that are half-cut for all the division lines in the same direction, the workpiece W is rotated by 90 ° by the rotation of the holding means 11, and all the divisions newly arranged in the X-axis direction are performed. By repeating the same cutting with the first cutting blade 21a for the planned line, a half-cut cutting groove is formed.

このような第１の切削ブレード２１ａによる分割予定ラインに沿ったハーフカット動作に並行して、高速回転させた第２の切削ブレードをＺ軸移動手段による切り込み送りで保持手段１１上の被加工物Ｗに所定の切り込み深さで切り込ませながら、第２の切削ブレードに対して保持手段１１をＸ軸移動手段でＸ軸方向に相対的に加工送りすることで、被加工物Ｗ上のハーフカットされた切削溝を切削加工してフルカットする。同一方向の次のハーフカットされた切削溝のフルカットは、保持手段１１に対して第２の切削ブレードをＹ軸移動手段でＹ軸方向に分割予定ライン幅分だけ相対的に割り出し送りすることで、同様に繰り返す。そして、同一方向の全てのハーフカットされた切削溝についてフルカットした後、保持手段１１の回転により被加工物Ｗを９０°回転させ、新たにＸ軸方向に配されてハーフカット済みの切削溝について第２の切削ブレードで同様のフルカット加工を繰り返すことにより、個々のデバイスに分割される。   In parallel with the half-cutting operation along the line to be divided by the first cutting blade 21a, the workpiece on the holding means 11 is fed by cutting the second cutting blade rotated at high speed by the Z-axis moving means. While the W is cut at a predetermined cutting depth, the holding means 11 is processed and moved relative to the second cutting blade in the X-axis direction by the X-axis moving means, so that the half on the workpiece W is cut. The cut groove is cut and fully cut. For full cut of the next half-cut cutting groove in the same direction, the second cutting blade is indexed relative to the holding means 11 by the Y-axis moving means relative to the planned dividing line width in the Y-axis direction. Then repeat in the same way. Then, after all the half-cut cutting grooves in the same direction are fully cut, the workpiece W is rotated by 90 ° by the rotation of the holding means 11, and the half-cut cutting grooves are newly arranged in the X-axis direction. Is divided into individual devices by repeating the same full-cutting process with the second cutting blade.

次に、本実施の形態１の加工装置１０が備える制御系の構成について説明する。図３は、本実施の形態１の加工装置１０が備える制御手段４０の構成例を示す概略ブロック図である。制御手段４０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え加工装置１０全体の制御を司るマイクロプロセッサ４１を主体に構成されている。加工手段２０、Ｘ軸移動手段５０、Ｙ軸移動手段７０、およびＺ軸移動手段６０はマイクロプロセッサ４１に接続されこのマイクロプロセッサ４１により加工動作、移動動作等の動作が制御される。また、マイクロプロセッサ４１は、操作パネル３０に対して必要な表示情報を記憶部４２やパネル表示画面記憶部４３から読み出して表示制御部４４を介して表示内容を制御するとともに、操作パネル３０上で指示操作された入力情報を解析し、各部の動作制御、表示制御等に供する。パネル表示画面記憶部４３には、操作パネル３０に対する各種モードに応じた操作キー等の表示パターンが設定された表示画面情報が格納されている。パネル表示画面記憶部４３は、本実施の形態では、この表示画面情報の一つとして、後述の加工条件設定画面用の基本表示パターン情報、並びにその変形用の様々なイメージ描画情報が格納されている。   Next, the configuration of the control system provided in the processing apparatus 10 according to the first embodiment will be described. FIG. 3 is a schematic block diagram illustrating a configuration example of the control unit 40 provided in the processing apparatus 10 according to the first embodiment. The control means 40 is composed mainly of a microprocessor 41 that includes an arithmetic processing unit constituted by, for example, a CPU, a ROM, a RAM, etc., and controls the entire processing apparatus 10. The processing means 20, the X-axis moving means 50, the Y-axis moving means 70, and the Z-axis moving means 60 are connected to the microprocessor 41, and operations such as processing operations and moving operations are controlled by the microprocessor 41. Further, the microprocessor 41 reads display information necessary for the operation panel 30 from the storage unit 42 and the panel display screen storage unit 43 and controls the display contents via the display control unit 44, and on the operation panel 30. The input information that has been instructed is analyzed and used for operation control and display control of each unit. The panel display screen storage unit 43 stores display screen information in which display patterns such as operation keys corresponding to various modes for the operation panel 30 are set. In this embodiment, the panel display screen storage unit 43 stores basic display pattern information for a processing condition setting screen, which will be described later, and various image drawing information for deformation as one of the display screen information. Yes.

また、マイクロプロセッサ４１は、撮像手段１２に対してアライメント時やカーフチェック時の撮像動作を制御するとともに、撮像手段１２が撮像した画像情報の処理制御を行う。この画像情報の処理制御として、撮像手段１２が撮像した画像情報をそのまま記憶部４２に記憶させたり、画像情報を画像処理部４５で画像処理したデータ等を記憶部４２に記憶させたりする制御を行う。   In addition, the microprocessor 41 controls the image pickup unit 12 in an image pickup operation at the time of alignment or kerf check, and controls processing of image information picked up by the image pickup unit 12. As processing control of the image information, control is performed such that the image information captured by the imaging unit 12 is stored in the storage unit 42 as it is, or data obtained by performing image processing on the image information in the image processing unit 45 is stored in the storage unit 42. Do.

次に、本実施の形態１の操作パネル３０の表示例について説明する。図４は、当該加工装置１０によりステップカットを行う際に操作パネル３０に表示される加工条件設定画面の一例を示す正面図である。操作パネル３０は、概略的にメインエリア３１とソフトウエアキーボードエリア３２とからなり、所定のメニュー画面において、ステップカット用の加工条件設定モードを選択操作すると、マイクロプロセッサ４１および表示制御部４４による制御の下に、操作パネル３０のメインエリア３１には、ステップカット用の加工条件設定画面として、図４に示すように、入力領域３３とイメージ描画領域３４とが同時に併設表示される。   Next, a display example of the operation panel 30 according to the first embodiment will be described. FIG. 4 is a front view illustrating an example of a processing condition setting screen displayed on the operation panel 30 when performing a step cut by the processing apparatus 10. The operation panel 30 generally includes a main area 31 and a software keyboard area 32. When a processing condition setting mode for step cutting is selected and operated on a predetermined menu screen, the operation panel 30 is controlled by the microprocessor 41 and the display control unit 44. In the main area 31 of the operation panel 30, as shown in FIG. 4, an input area 33 and an image drawing area 34 are simultaneously displayed as a processing condition setting screen for step cutting.

ここで、例えばメインエリア３１の左側略半分を占める入力領域３３は、ステップカットなる加工を行う上で必要となる個々の加工条件の入力を受付けるための複数の入力欄３３ａ〜３３ｌを縦一列に纏めて配列表示させたものである。入力領域３３は、具体的には、ワーク（被加工物Ｗ）の形状に応じた横、縦のサイズの入力欄３３ａ〜３３ｃ、Ｙ軸移動手段７０によるインデックス量（割り出し送り量）のチャンネルＣＨ１，ＣＨ２毎の入力欄３３ｄ，３３ｅ、Ｚ１ブレード（第１の切削ブレード２１ａ）に関する回転数や切り残し量（切削ブレードの送り量）の入力欄３３ｆ，３３ｇ、Ｚ２ブレード（第２の切削ブレード）に関する回転数や切り残し量（切削ブレードの送り量）の入力欄３３ｈ，３３ｉ、ワーク（被加工物Ｗ）厚みやテープＴ厚みに関する入力欄３３ｊ，３３ｋ、およびＸ軸移動手段５０による保持手段１１の送り速度（加工送り速度）に関する入力欄３３ｌからなる。   Here, for example, the input area 33 occupying approximately half of the left side of the main area 31 has a plurality of input fields 33a to 33l for receiving inputs of individual processing conditions necessary for performing the process of step cut in a vertical line. These are arranged and displayed together. Specifically, the input area 33 includes horizontal and vertical size input fields 33a to 33c corresponding to the shape of the workpiece (workpiece W), and an index amount (index feed amount) channel CH1 by the Y-axis moving means 70. , CH2 input fields 33d, 33e, Z1 blade (first cutting blade 21a) rotation speed and uncut amount (cutting blade feed amount) input fields 33f, 33g, Z2 blade (second cutting blade) Input fields 33h and 33i for the number of rotations and uncut length (feed amount of the cutting blade), input fields 33j and 33k for workpiece (workpiece W) thickness and tape T thickness, and holding means 11 by the X-axis moving means 50 The input field 33l is related to the feed speed (processing feed speed).

一方、例えばメインエリア３１の右側略半分を占めるイメージ描画領域３４は、ステップカットにおける個々の加工条件の内容をイメージ描画による表示で纏めて表現した領域である。本実施の形態１の場合、イメージ描画領域３４に表示されるイメージ描画としては、例えば、ワーク（被加工物Ｗ）の円形平面形状や四角平面形状を示すイメージ描画３４ａ，３４ｂ、これらイメージ描画３４ａ，３４ｂに付されてワーク（被加工物Ｗ）の平面寸法を示す寸法線によるイメージ描画３４ｃ，３４ｄ、イメージ描画３４ａ，３４ｂ中に付されてチャンネルＣＨ１，ＣＨ２毎のＹ軸割り出し送り量を示す寸法線によるイメージ描画３４ｅ，３４ｆが含まれている。また、このイメージ描画領域３４に表示されるイメージ描画としては、例えば、Ｚ１ブレード（第１の切削ブレード２１ａ）、Ｚ２ブレード（第２の切削ブレード）、保持手段１１、ワーク（被加工物Ｗ）、およびテープＴを含む加工部のそれぞれの断面構造を表現したイメージ描画３４ｇ〜３４ｋ、イメージ描画３４ｇ，３４ｈ中に付されＺ１ブレード（第１の切削ブレード２１ａ）、Ｚ２ブレード（第２の切削ブレード）の回転数を示す矢印によるイメージ描画３４ｌ，３４ｍ、イメージ描画３４ｇ，３４ｈの真下に付されてＺ１ブレード（第１の切削ブレード２１ａ）、Ｚ２ブレード（第２の切削ブレード）による切り残し量を示す寸法線によるイメージ描画３４ｎ，３４ｏ、イメージ描画３４ｉ中に付されて保持手段１１の送り速度を示す矢印によるイメージ描画３４ｐ、イメージ描画３４ｊ，３４ｋに対して付されてワーク（被加工物Ｗ）、およびテープＴの厚みを示す寸法線によるイメージ描画３４ｑ，３４ｒが含まれる。   On the other hand, for example, the image drawing area 34 occupying approximately half of the right side of the main area 31 is an area in which the contents of individual processing conditions in the step cut are collectively expressed by display by image drawing. In the case of the first embodiment, as the image drawing displayed in the image drawing area 34, for example, image drawing 34a and 34b indicating a circular plane shape or a square plane shape of a work (workpiece W), these image drawing 34a. , 34b attached to the image drawing 34c, 34d and the image drawing 34a, 34b by the dimension line indicating the planar dimension of the workpiece (workpiece W) and indicating the Y-axis index feed amount for each of the channels CH1, CH2. Image drawing 34e and 34f by dimension lines are included. The image drawing displayed in the image drawing area 34 includes, for example, a Z1 blade (first cutting blade 21a), a Z2 blade (second cutting blade), a holding unit 11, and a workpiece (workpiece W). , And the image drawing 34g-34k representing the cross-sectional structure of the processing portion including the tape T, and the Z1 blade (first cutting blade 21a) and Z2 blade (second cutting blade) attached to the image drawing 34g, 34h. ) Of the image drawing 341, 34m and the image drawing 34g, 34h by the arrows indicating the number of rotations) and the uncut amount by the Z1 blade (first cutting blade 21a) and the Z2 blade (second cutting blade). Feed speed of the holding means 11 attached to the image drawing 34n, 34o and the image drawing 34i by the indicated dimension line Image drawing 34p by the arrow shown, image drawing 34j, is a work (workpiece W) attached relative to 34k, and image drawing 34q by dimension lines showing the thickness of the tape T, it is included 34r.

なお、加工条件設定モードの選択操作によりメインエリア３１に表示される加工条件設定画面は、基本となる加工条件設定画面であり、ステップカット処理の態様に対応させて、Ｚ１ブレード（第１の切削ブレード２１ａ）はワーク（被加工物Ｗ）に対してハーフカット状態、Ｚ２ブレード（第２の切削ブレード）はテープＴまで切り込むフルカット状態となるイメージ描画となるように設定されている。   Note that the machining condition setting screen displayed in the main area 31 by the selection operation of the machining condition setting mode is a basic machining condition setting screen, and corresponds to the mode of the step cutting process with the Z1 blade (first cutting). The blade 21a) is set so as to perform image drawing in a half-cut state with respect to the workpiece (workpiece W) and the Z2 blade (second cutting blade) in a full-cut state in which the tape T is cut.

さらに、このステップカット用の加工条件設定画面においては、入力領域３３中の各入力欄３３ａ〜３３ｌとイメージ描画領域３４中の対応するイメージ描画を連結した連結線３５ａ〜３５ｋも、併せて同時に表示される。すなわち、連結線３５ａは、入力欄３３ａ，３３ｂとイメージ描画３４ａ，３４ｂ上のイメージ描画３４ｃとを連結し、連結線３５ｂは、入力欄３３ｃとイメージ描画３４ａ，３４ｂに対して付されたイメージ描画３４ｄとを連結し、連結線３５ｃは、入力欄３３ｄとイメージ描画３４ａ，３４ｂ中に付されたイメージ描画３４ｅとを連結し、連結線３５ｄは、入力欄３３ｅとイメージ描画３４ａ，３４ｂ中に付されたイメージ描画３４ｆとを連結したものである。   Further, on the processing condition setting screen for step cutting, the connection lines 35a to 35k connecting the input fields 33a to 33l in the input area 33 and the corresponding image drawing in the image drawing area 34 are also displayed at the same time. Is done. That is, the connecting line 35a connects the input fields 33a and 33b and the image drawing 34c on the image drawing 34a and 34b, and the connecting line 35b is an image drawing attached to the input field 33c and the image drawing 34a and 34b. The connection line 35c connects the input field 33d and the image drawing 34e attached to the image drawing 34a, 34b, and the connection line 35d is attached to the input field 33e and the image drawing 34a, 34b. The image drawing 34f is connected.

また、連結線３５ｅは、入力欄３３ｆとイメージ描画３４ｇ中に付されたイメージ描画３４ｌとを連結し、連結線３５ｆは、入力欄３３ｇとイメージ描画３４ｇの真下に付されたイメージ描画３４ｎとを連結し、連結線３５ｇは、入力欄ｈとイメージ描画３４ｈ中に付されたイメージ描画３４ｍとを連結し、連結線３５ｈは、入力欄３３ｉとイメージ描画３４ｈの真下に付されたイメージ描画３４ｏとを連結したものである。さらに、連結線３５ｉは、入力欄３３ｊとイメージ描画３４ｊに付されたイメージ描画３４ｑとを連結し、連結線３５ｊは、入力欄３３ｋとイメージ描画３４ｋに付されたイメージ描画３４ｒとを連結し、連結線３５ｋは、入力欄３３ｌとイメージ描画３４ｉ中に付されたイメージ描画３４ｐとを連結したものである。   The connecting line 35e connects the input field 33f and the image drawing 34l attached in the image drawing 34g, and the connecting line 35f connects the input field 33g and the image drawing 34n attached immediately below the image drawing 34g. The connection line 35g connects the input field h and the image drawing 34m added in the image drawing 34h, and the connection line 35h connects the input field 33i and the image drawing 34o directly below the image drawing 34h. Are concatenated. Further, the connecting line 35i connects the input field 33j and the image drawing 34q attached to the image drawing 34j, and the connecting line 35j connects the input field 33k and the image drawing 34r attached to the image drawing 34k. The connection line 35k connects the input field 33l and the image drawing 34p added in the image drawing 34i.

さらに、メインエリア３１の右欄には、確定キー３６ａ、エンターキー３６ｂ、イクジットキー３６ｃ等が表示される。確定キー３６ａは、加工条件設定画面における入力データを最終的に確定する場合に押下するためのキーである。エンターキー３６ｂは、入力欄３３ａ〜３３ｌに対して入力した数値データを一時的に確定する場合に押下するためのキーである。イクジットキー３６ｃは、加工条件設定画面から他のモード画面へ移行する場合に押下するためのキーである。   Further, a confirmation key 36a, an enter key 36b, an exit key 36c, and the like are displayed in the right column of the main area 31. The confirmation key 36a is a key to be pressed when the input data on the processing condition setting screen is finally confirmed. The enter key 36b is a key to be pressed when the numerical data input to the input fields 33a to 33l is temporarily confirmed. The exit key 36c is a key to be pressed when shifting from the processing condition setting screen to another mode screen.

また、操作パネル３０におけるソフトウエアキーボードエリア３２は、機能切替ボタン３７の選択操作に応じて所望のキーボードを操作可能に表示する領域である。図４では、機能切替ボタン３７中の数字入力ボタン３７ａの操作により、数値データ入力のために０〜９等のテンキー３８が表示されている例を示している。なお、機能切替ボタン３７中の他のボタンを操作すれば、文字入力等も可能となる。この他、ソフトウエアキーボードエリア３２には、カーソル移動および入力制御ボタン３９も表示されている。   A software keyboard area 32 on the operation panel 30 is an area for displaying a desired keyboard in response to a selection operation of the function switching button 37. FIG. 4 shows an example in which numeric keys 38 such as 0 to 9 are displayed for numerical data input by operating the numeric input button 37a in the function switching button 37. If other buttons in the function switching button 37 are operated, it is possible to input characters. In addition, cursor movement and input control buttons 39 are also displayed in the software keyboard area 32.

これにより、ステップカット用の加工条件設定画面において、個々の加工条件の数値データを入力する際には、入力領域３３中の所望の入力欄３３ａ〜３３ｌをタッチ指定し、または、カーソル移動および入力制御ボタン３９の操作により指定し、テンキー３８の操作で所望の数値データを図４中に示す如く入力し、エンターキー３６ｂや確定キー３６ａを押下することで行われる。このような数値データの入力の際、操作パネル３０のメインエリア３１においては、数値データの入力欄だけでなく、数値データ入力のための複数の入力欄３３ａ〜３３ｌを配列した入力領域３３と、加工条件の内容をイメージ描画３４ａ〜３４ｒで表現したイメージ描画領域３４とが併設表示され、かつ、個々の入力欄３３ａ〜３３ｌと対応するイメージ描画とが連結線３５ａ〜３５ｋで連結されて表示されるので、入力欄３３ａ〜３３ｌに対する数値データの入力の際には、その加工条件の内容は入力領域３３における文字表現に比べてイメージ描画３４ａ〜３４ｒを通じて理解しやすく、数値データの入力ミスを低減させることができる。   Thereby, when inputting numerical data of individual processing conditions on the processing condition setting screen for step cut, the desired input fields 33a to 33l in the input area 33 are specified by touch, or cursor movement and input are performed. The operation is performed by designating by operating the control button 39, inputting desired numerical data as shown in FIG. 4 by operating the numeric keypad 38, and pressing the enter key 36b or the enter key 36a. When inputting such numerical data, in the main area 31 of the operation panel 30, not only the numerical data input field but also an input area 33 in which a plurality of input fields 33a to 33l for numerical data input are arranged; An image drawing area 34 in which the contents of the processing conditions are expressed by image drawing 34a to 34r is displayed side by side, and each input field 33a to 33l and the corresponding image drawing are connected and displayed by connecting lines 35a to 35k. Therefore, when numerical data is input to the input fields 33a to 33l, the contents of the processing conditions are easier to understand through the image drawing 34a to 34r than the character representation in the input area 33, and numerical data input errors are reduced. Can be made.

例えば、入力欄３３ｇへの数値データの入力時であれば、「Ｚ１切り残し量（ハイト）（ｍｍ）」と文字表示された当該入力欄３３ｇにより設定される加工条件の内容は、連結線３５ｆを辿ることで、寸法線のイメージ描画３４ｎが対応していることが判り、このイメージ描画３４ｎを見ることで、Ｚ１ブレード（第１の切削ブレード２１ａ）によるワーク（被加工物Ｗ）に対する送り量を設定する欄であることを視覚的に容易に認識することができ、適正な数値データ入力を促進させることができる。他の入力欄３３ａ〜３３ｆ，３３ｈ〜３３ｌに対する数値データの入力時であっても同様である。   For example, at the time of inputting numerical data into the input field 33g, the contents of the machining condition set by the input field 33g, which is displayed as "Z1 uncut amount (height) (mm)", is represented by the connecting line 35f. , It can be seen that the image drawing 34n of the dimension line corresponds, and by looking at this image drawing 34n, the feed amount to the workpiece (workpiece W) by the Z1 blade (first cutting blade 21a) It is possible to easily visually recognize that this is a field for setting the value, and it is possible to promote appropriate numerical data input. The same applies even when numerical data is input to the other input fields 33a to 33f and 33h to 33l.

また、各入力欄を対応するイメージ描画の間近な位置に配置させれば、連結線を省略することも可能であるが、本実施の形態１によれば、連絡線３５ａ〜３５ｋを活用することで、複数の入力欄３３ａ〜３３ｌを纏めて配列させて入力領域３３とすることができ、数値データの入力操作をその配列に従い順次行えばよく、ばらばらに配置される場合に比べ、入力欄の指定を含め、入力操作性のよいものとなる。   Further, if each input field is arranged at a position close to the corresponding image drawing, the connecting line can be omitted. However, according to the first embodiment, the connection lines 35a to 35k are utilized. Thus, a plurality of input fields 33a to 33l can be arranged together to form the input area 33, and numerical data input operations may be performed sequentially in accordance with the array. Including specification, input operability is improved.

ところで、上述したような加工条件設定画面の入力欄３３ａ〜３３ｌを通じて入力された数値データの適否を判断しやすくするため、本実施の形態１の加工装置１０の制御手段４０は、入力欄３３ａ〜３３ｌに入力された数値データに連動させてイメージ描画領域３４中のイメージ描画３４ａ〜３４ｒの状態を簡易的に変更させるように表示パネル３０の表示を制御する。ここでは、説明を簡単にするため、各種イメージ描画中、Ｚ１ブレード（第１の切削ブレード２１ａ）やＺ２ブレード（第２の切削ブレード）による切り残し量（ハイト）の例について説明する。   By the way, in order to make it easier to determine the suitability of numerical data input through the input fields 33a to 33l of the processing condition setting screen as described above, the control means 40 of the processing apparatus 10 according to the first embodiment uses the input fields 33a to 33d. The display on the display panel 30 is controlled so as to simply change the state of the image drawing 34a to 34r in the image drawing area 34 in conjunction with the numerical data input to 33l. Here, in order to simplify the description, an example of an uncut amount (height) by a Z1 blade (first cutting blade 21a) or a Z2 blade (second cutting blade) during drawing of various images will be described.

Ｚ軸方向の送り量を意味する切り残し量に関する数値データの適否を概略的に判断するためには、Ｚ１ブレードとＺ２ブレードのＺ軸方向における概略位置がわかればよい。そこで、イメージ描画領域３４中に表示すべき加工部におけるイメージ描画データとしては、図５中に示すように、表示位置を異ならせた４種類のパターン１〜４を選択自在に用意しておけばよい。パターン１は、ブレードを示すイメージ描画３４ｇ，３４ｈがワークを示すイメージ描画３４ｉに浅く切り込んでいるパターン例を示している。パターン２は、イメージ描画３４ｇ，３４ｈがイメージ描画３４ｉの中ほどまで切り込んでいるパターン例を示している。パターン３は、イメージ描画３４ｇ，３４ｈがワークを示すイメージ描画３４ｉをフルカットし、テープＴを示すイメージ描画３４ｋまで切り込んでいるパターン例を示している。パターン４は、イメージ描画３４ｇ，３４ｈがワークを示すイメージ描画３４ｉに対して切り込んでいないパターン例を示している。   In order to roughly determine the suitability of numerical data relating to the uncut amount that means the feed amount in the Z-axis direction, it is only necessary to know the approximate positions of the Z1 blade and the Z2 blade in the Z-axis direction. Therefore, as the image drawing data in the processing portion to be displayed in the image drawing area 34, as shown in FIG. 5, four types of patterns 1 to 4 having different display positions can be selected. Good. Pattern 1 shows a pattern example in which the image drawing 34g and 34h showing the blade are cut shallowly into the image drawing 34i showing the workpiece. Pattern 2 shows an example of a pattern in which the image drawings 34g and 34h are cut to the middle of the image drawing 34i. Pattern 3 shows an example of a pattern in which the image drawing 34g, 34h cuts the image drawing 34i showing the workpiece to the image drawing 34k showing the tape T. Pattern 4 shows an example of a pattern in which the image drawing 34g, 34h is not cut with respect to the image drawing 34i indicating the workpiece.

これらのパターン１〜４の態様のイメージ描画は、パネル表示画面記憶部４３中にその変形用データ例として予め選択自在に格納され、マイクロプロセッサ４１による判定・指示の下に必要なパターンが選択される。なお、これらパターン１〜４に関して、Ｚ１ブレード周りについてはパターン２のイメージ描画、Ｚ２ブレード周りについてはパターン３のイメージ描画が、それぞれ基本の加工条件設定画面用に選択されており、図４に示したような表示に使用される。   The image drawing in the form of these patterns 1 to 4 is stored in the panel display screen storage unit 43 in advance as an example of data for deformation, and a necessary pattern is selected under the judgment / instruction by the microprocessor 41. The Regarding these patterns 1 to 4, pattern 2 image drawing around the Z1 blade and pattern 3 image drawing around the Z2 blade are selected for the basic processing condition setting screen, respectively, as shown in FIG. Used for display.

ここで、入力欄３３ａ〜３３ｌに対する数値データ中、Ｚ１切り残し量をＺ１、Ｚ２切り残し量をＺ２、ワークの厚みをＷ、テープ厚みをＴとし、入力された数値データに連動するイメージ描画の表示変更制御例について、図６〜図８を参照して説明する。図６は、ステップカット用の加工条件設定時の操作制御例を示す概略フローチャートであり、図７は、図６中の入力データ判定処理例のサブルーチンを示す概略フローチャートであり、図８は、誤りのある数値データ入力時の操作パネルの表示例を示す概略正面図である。   Here, in the numerical data for the input fields 33a to 33l, the Z1 uncut amount is Z1, the Z2 uncut amount is Z2, the workpiece thickness is W, the tape thickness is T, and image drawing linked to the input numerical data is performed. Display change control examples will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a schematic flowchart showing an example of operation control at the time of setting the machining conditions for step cutting, FIG. 7 is a schematic flowchart showing a subroutine of the input data determination processing example in FIG. 6, and FIG. It is a schematic front view which shows the example of a display of the operation panel at the time of a certain numerical data input.

まず、操作パネル３０の初期メニュー画面において、ステップカット用の加工条件設定モードが選択されると（ステップＳ１：Ｙｅｓ）、マイクロプロセッサ４１は、パネル表示画面記憶部４３から対応するステップカット用の基本となる加工条件設定画面の表示データを呼び出し、表示制御部４４を通じて操作パネル３０のメインエリア３１に図４に示したような入力領域３３、イメージ描画領域３４および連結線３５ａ〜３５ｋを含む加工条件設定画面を表示させる（ステップＳ２）。この画面表示において、必要な入力欄３３ａ〜３３ｌの指定と、テンキー３８等を通じた数値データの入力とを、エンターキー３６ｂが押下されるまで繰り返す（ステップＳ３：Ｙｅｓ，ステップＳ４：Ｙｅｓ、ステップＳ５）。全ての入力欄３３ａ〜３３ｌについて数値データの入力があり、エンターキー３６が押下されると（ステップＳ５：Ｙｅｓ）、マイクロプロセッサ４１は、入力された数値データに基づき入力データ判定処理を実行する（ステップＳ６）。この入力データ判定処理を経てオペレータにより入力された数値データが適正であると判断され、確定キー３６ａが押下されると（ステップＳ７：Ｙｅｓ）、ステップカット用の加工条件の設定が完了する。   First, when the processing condition setting mode for step cut is selected on the initial menu screen of the operation panel 30 (step S1: Yes), the microprocessor 41 reads the corresponding step cut basic from the panel display screen storage unit 43. The processing conditions including the input area 33, the image drawing area 34, and the connecting lines 35 a to 35 k as shown in FIG. 4 are displayed in the main area 31 of the operation panel 30 through the display control unit 44. A setting screen is displayed (step S2). In this screen display, the designation of necessary input fields 33a to 33l and the input of numerical data through the numeric keypad 38 and the like are repeated until the enter key 36b is pressed (step S3: Yes, step S4: Yes, step S5). ). When there is input of numerical data for all the input fields 33a to 33l and the enter key 36 is pressed (step S5: Yes), the microprocessor 41 executes input data determination processing based on the input numerical data ( Step S6). When it is determined that the numerical data input by the operator through the input data determination process is appropriate and the confirmation key 36a is pressed (step S7: Yes), the setting of the processing conditions for the step cut is completed.

ここで、ステップＳ６の入力データ判定処理においては、図７に示すように、まず、切り残し量Ｚ１がテープ厚みＴよりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１１）。Ｚ１＞Ｔでなければ（ステップＳ１１：Ｎｏ）、テープＴまで切り込む数値データであることから、Ｚ１ブレード周りに関するイメージ描画の表示を基本のパターン２からパターン３に変更させる（ステップＳ１２）。一方、Ｚ１＞Ｔであれば（ステップＳ１１：Ｙｅｓ）、切り残し量Ｚ１がワークとテープとの厚み（Ｔ＋Ｗ）よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ１３）。（Ｔ＋Ｗ）＞Ｚ１でなければ（ステップＳ１３：Ｎｏ）、ワークに対して全く切り込まない数値データであることから、Ｚ１ブレード周りに関するイメージ描画の表示を基本のパターン２からパターン４に変更させる（ステップＳ１４）。（Ｔ＋Ｗ）＞Ｚ１であれば（ステップＳ１３：Ｙｅｓ）、ステップカットのハーフカットとして正常な範囲内であり、Ｚ１ブレード周りに関するイメージ描画の表示は基本のパターン２のままとする。   Here, in the input data determination process of step S6, as shown in FIG. 7, it is first determined whether or not the uncut amount Z1 is larger than the tape thickness T (step S11). If Z1> T is not satisfied (step S11: No), since the numerical data is cut up to the tape T, the image drawing display about the Z1 blade is changed from the basic pattern 2 to the pattern 3 (step S12). On the other hand, if Z1> T (step S11: Yes), it is determined whether or not the uncut amount Z1 is smaller than the thickness (T + W) between the workpiece and the tape (step S13). If (T + W)> Z1 is not satisfied (step S13: No), since the numerical data is not cut into the workpiece at all, the image drawing display about the Z1 blade is changed from the basic pattern 2 to the pattern 4 ( Step S14). If (T + W)> Z1 (step S13: Yes), the half-cut of the step cut is within a normal range, and the image drawing display about the Z1 blade remains as the basic pattern 2.

同様に、切り残し量Ｚ２がテープ厚みＴよりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１５）。Ｚ２＞Ｔでなければ（ステップＳ１５：Ｎｏ）、切り残し量Ｚ２がワークとテープとの厚み（Ｔ＋Ｗ）よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ１６）。（Ｔ＋Ｗ）＞Ｚ２でなければ（ステップＳ１６：Ｎｏ）、ワークに対して全く切り込まない数値データであることから、Ｚ２ブレード周りに関するイメージ描画の表示を基本のパターン３からパターン４に変更させる（ステップＳ１７）。一方、Ｔ≦Ｚ２であって（Ｔ＋Ｗ）＞Ｚ２の場合であれば（ステップＳ１６：Ｙｅｓ）、テープＴまで切り込まないハーフカット状態の数値データであることから、Ｚ２ブレード周りに関するイメージ描画の表示を基本のパターン３からパターン２に変更させる（ステップＳ１８）。さらに、Ｔ＞Ｚ２であれば（ステップＳ１５：Ｙｅｓ）、ステップカットのフルカットとして正常な範囲内であり、Ｚ２ブレード周りに関するイメージ描画の表示は基本のパターン３のままとする。   Similarly, it is determined whether or not the uncut amount Z2 is larger than the tape thickness T (step S15). If Z2> T is not satisfied (step S15: No), it is determined whether the uncut amount Z2 is smaller than the thickness (T + W) between the workpiece and the tape (step S16). If (T + W)> Z2 is not satisfied (step S16: No), since the numerical data is not cut into the workpiece at all, the image drawing display about the Z2 blade is changed from the basic pattern 3 to the pattern 4 ( Step S17). On the other hand, if T ≦ Z2 and (T + W)> Z2 (step S16: Yes), since the numerical data is in a half-cut state that is not cut to the tape T, the image drawing display about the Z2 blade is displayed. Is changed from basic pattern 3 to pattern 2 (step S18). Further, if T> Z2 (step S15: Yes), the full cut of the step cut is within a normal range, and the image drawing display about the Z2 blade remains as the basic pattern 3.

なお、イメージ描画に関するパターンの変更がある場合、対応する入力欄とを結ぶ連結線３５ｅ〜３５ｈの位置も、パターン変更に伴うイメージ描画表示位置の変更に連動して変更される。この制御は、各パターンのイメージ描画毎に画面上での連結点の座標位置を予め設定しておき、対応する入力欄の連結点を結ぶように制御すればよい。   When there is a change in the pattern relating to image drawing, the positions of the connecting lines 35e to 35h connecting the corresponding input fields are also changed in conjunction with the change in the image drawing display position accompanying the pattern change. For this control, the coordinate position of the connection point on the screen is set in advance for each image drawing of each pattern, and control is performed so as to connect the connection points of the corresponding input fields.

そして、ステップＳ１２，Ｓ１４，Ｓ１７，Ｓ１８のような変更パターンでのイメージ描画がなされた場合には、オペレータは、対応する入力欄の数値データを変更するための数値データの入力を行う。テンキー３８等による数値データの入力があり（ステップＳ１９）、エンターキー３６ｂが押下された場合には（ステップＳ２０）、再度、ステップＳ１１以降の入力データ判定処理をやり直す。ステップＳ１２，Ｓ１４，Ｓ１７，Ｓ１８のような変更パターンでのイメージ描画がなくなり、数値データの新たな入力がなくなると（ステップＳ１９：Ｎｏ）、ステップＳ７に戻り、確定キー３６ａの押下を待つ。   When the image is drawn with the change pattern as in steps S12, S14, S17, and S18, the operator inputs numerical data for changing the numerical data in the corresponding input field. When numeric data is input using the numeric keypad 38 (step S19) and the enter key 36b is pressed (step S20), the input data determination process after step S11 is performed again. When image drawing with the change pattern such as steps S12, S14, S17, and S18 is no longer performed and new input of numerical data is lost (step S19: No), the process returns to step S7 and waits for pressing of the enter key 36a.

図８は、図４に示したような基本となるステップカット用の加工条件設定画面において、入力欄３３ａ〜３３ｌの一部に、例えば桁を間違えた数値データを入力し、エンターキー３６ｂを押下した場合の、ステップＳ６の入力データ判定処理結果例を示すものである。例えば、入力欄３３ｇに対して入力された数値データ“０．０１”に対応するイメージ描画側は、ステップＳ１１：ＮｏおよびステップＳ１２の処理に従い、基本となる当初のパターン２によるイメージ描画表示からパターン３によるイメージ描画表示に変更されている。また、入力欄３３ｉに対した入力された数値データ“０．５”に対応するイメージ描画側は、ステップＳ１５：Ｎｏ，ステップＳ１６：ＮｏおよびステップＳ１７の処理に従い、基本となる当初のパターン３によるイメージ描画表示からパターン４によるイメージ描画表示に変更されている。   FIG. 8 shows, for example, numerical data with wrong digits entered in a part of the input fields 33a to 33l on the basic step cutting machining condition setting screen as shown in FIG. 4, and the enter key 36b is pressed. In this case, an example of input data determination processing result in step S6 is shown. For example, the image drawing side corresponding to the numerical data “0.01” input to the input field 33g follows the processing of step S11: No and step S12, and the pattern is changed from the basic image drawing display by the pattern 2 to the pattern. 3 is changed to image drawing display. Further, the image drawing side corresponding to the numerical data “0.5” input to the input field 33i follows the basic initial pattern 3 in accordance with the processing of step S15: No, step S16: No and step S17. The image drawing display is changed to the image drawing display by the pattern 4.

このような入力された数値データに応じたイメージ描画の状態（位置）の変更により、オペレータは、ハーフカットを行うべきＺ１ブレードがフルカット状態にあり、フルカットを行うべきＺ２ブレードが空カット状態にあり、入力した数値データに誤り（桁違い）があることを視覚的に容易に気づくことができ、対応する数値データの入力し直しが促される。この際、誤りのある数値データの入力欄は、変更されたイメージ描画側から連結線によって入力欄側に辿ることで、容易に判別できる。図８に示す例では、テープＴまで切り込んでしまう寸法線によるイメージ描画３４ｎから連結線３５ｆを辿ることで入力欄３３ｇの数値データに誤りがあり、同様に、ワークから浮いてしまう寸法線によるイメージ描画３４ｏから連結線３３ｈを辿ることで入力欄３３ｉの数値データに誤りがあることがわかる。   By changing the image drawing state (position) according to such input numerical data, the operator has the Z1 blade to be half cut in the full cut state and the Z2 blade to be full cut is in the empty cut state. Therefore, it is possible to easily visually recognize that there is an error (digit difference) in the input numerical data, and the user is prompted to input the corresponding numerical data again. At this time, the input column of numerical data with errors can be easily identified by tracing the changed image drawing side to the input column side by a connecting line. In the example shown in FIG. 8, there is an error in the numerical data in the input field 33g by tracing the connecting line 35f from the image drawing 34n by the dimension line cut to the tape T, and similarly, the image by the dimension line floating from the workpiece. By tracing the connecting line 33h from the drawing 34o, it can be seen that there is an error in the numerical data in the input field 33i.

そこで、これらの入力欄３３ｇ，３３ｉの数値データを入力し直し、エンターキー３６ｂを押下すると、ステップＳ６の入力データ判定処理結果例は、図４に示す基本の加工条件設定画面における表示パターン例となり、確定キー３６ａによる入力データの確定が可能となる。   Therefore, when the numerical data in these input fields 33g and 33i are input again and the enter key 36b is pressed, the input data determination processing example in step S6 becomes a display pattern example on the basic processing condition setting screen shown in FIG. The input data can be confirmed by the confirmation key 36a.

なお、Ｚ１ブレード、Ｚ２ブレードがともにハーフカット状態の設定で、いずれが切り込み量が深いか、浅いかを知らせたい場合には、両者の切り残し量の大小を比較し、その結果に応じて、一方をパターン１のイメージ描画表示とし、他方をパターン２のイメージ描画表示とし、両者の設定状態が異なることを示すようにすればよい。   In addition, when both Z1 blade and Z2 blade are set in a half cut state and it is desired to know which is deeper or shallower, compare the amount of uncut amount of both, and according to the result, One may be an image drawing display of the pattern 1 and the other may be an image drawing display of the pattern 2 to indicate that the setting states of the two are different.

また、ここでは、ブレードによる切り残し量に関するイメージ描画の変更例について例を挙げて説明したが、この他、例えばワークに関するイメージ描画について、基本となる正方形パターンのイメージ描画の他に横長パターンのイメージ描画や縦長パターンのイメージ描画のデータを予めパネル表示画面記憶部４３に記憶させておき、入力欄３３ｂ，３３ｃに入力された数値データの大小に連動させてイメージ描画の状態（形状）を変更させるように制御される。インデックス量を示すイメージ描画に関しても、基本となる正方形パターンのイメージ描画の他に横長パターンのイメージ描画や縦長パターンのイメージ描画のデータを予めパネル表示画面記憶部４３に記憶させておき、入力欄３３ｄ，３３ｅに入力された数値データの大小に連動させてイメージ描画の状態（形状）を変更させるように制御される。   Also, here, an example of changing the image drawing related to the amount of uncut by the blade has been described as an example, but in addition to this, for example, for image drawing related to a workpiece, in addition to the basic square pattern image drawing, an image of a horizontally long pattern Data for drawing or image drawing of a vertically long pattern is stored in the panel display screen storage unit 43 in advance, and the state (shape) of image drawing is changed in conjunction with the magnitude of the numerical data input to the input fields 33b and 33c. To be controlled. Also for image drawing indicating the index amount, in addition to the basic square pattern image drawing, data for horizontal pattern image drawing and vertical pattern image drawing is stored in the panel display screen storage unit 43 in advance, and the input field 33d. , 33e is controlled so as to change the image drawing state (shape) in conjunction with the magnitude of the numerical data input to 33e.

（実施の形態２）
本実施の形態２は、加工装置として、切削ブレードに代えて、被加工物にパルスレーザ光線を照射するレーザ光線照射手段を有する加工手段を備えるレーザ加工装置への適用例を示す。被加工物の保持手段や、保持手段に対するＸ軸移動手段や、レーザ光線照射手段に対するＺ軸移動手段、Ｙ軸移動手段、並びに制御系は、実施の形態１の場合と同様に構成し得るので、本実施の形態２のレーザ加工装置の構成および制御系についての図示および説明は省略する。 (Embodiment 2)
The second embodiment shows an application example to a laser processing apparatus that includes a processing unit having a laser beam irradiation unit that irradiates a workpiece with a pulsed laser beam instead of a cutting blade. The workpiece holding means, the X-axis moving means for the holding means, the Z-axis moving means for the laser beam irradiation means, the Y-axis moving means, and the control system can be configured in the same manner as in the first embodiment. The illustration and description of the configuration and control system of the laser processing apparatus of the second embodiment are omitted.

ここでは、本実施の形態２の操作パネル８０の表示例について説明する。図９は、本実施の形態２のレーザ加工装置により被加工物に対してレーザ加工を行う際に操作パネル８０に表示される加工条件設定画面の一例を示す正面図である。なお、操作パネル３０に相当する本実施の形態の操作パネル８０を示す図９等においては、ソフトウエアキーボードエリアやメインエリア中の右側のエンターキー等の部分は省略してある。   Here, a display example of the operation panel 80 according to the second embodiment will be described. FIG. 9 is a front view illustrating an example of a processing condition setting screen displayed on the operation panel 80 when laser processing is performed on a workpiece by the laser processing apparatus according to the second embodiment. In FIG. 9 and the like showing the operation panel 80 of the present embodiment corresponding to the operation panel 30, the software keyboard area and the right enter key in the main area are omitted.

操作パネル８０の所定のメニュー画面において、加工条件設定モードを選択操作すると、実施の形態１の場合と同様、マイクロプロセッサおよび表示制御部による制御の下に、操作パネル８０のメインエリア８１には、レーザ加工用の加工条件設定画面として、図９に示すように、入力領域８３とイメージ描画領域８４とが同時に併設表示される。   When the machining condition setting mode is selected on the predetermined menu screen of the operation panel 80, the main area 81 of the operation panel 80 is under the control of the microprocessor and the display control unit, as in the first embodiment. As a processing condition setting screen for laser processing, as shown in FIG. 9, an input area 83 and an image drawing area 84 are simultaneously displayed.

ここで、例えばメインエリア８１の左側略半分を占める入力領域８３は、レーザ加工を行う上で必要となる個々の加工条件の入力を受付けるための複数の入力欄８３ａ〜８３ｆを縦一列に纏めて配列表示させたものである。入力領域８３は、具体的には、ワーク（被加工物Ｗ）の形状に応じた横、縦のサイズの入力欄８３ａ〜８３ｃ、Ｙ軸移動手段によるインデックス量（割り出し送り量）のチャンネルＣＨ１，ＣＨ２毎の入力欄８３ｄ，８３ｅ、カットモードを特定するための入力欄８３ｇ、レーザ加工するストリート幅に関する入力欄８３ｈからなる。なお、入力領域８３中には、カットモード設定画面用ボタン８２を有する。   Here, for example, the input area 83 occupying approximately half of the left side of the main area 81 includes a plurality of input fields 83a to 83f for receiving inputs of individual processing conditions necessary for performing laser processing in a vertical row. An array is displayed. Specifically, the input area 83 includes horizontal and vertical size input fields 83a to 83c corresponding to the shape of the workpiece (workpiece W), and an index amount (index feed amount) channel CH1 of the Y axis moving means. Input fields 83d and 83e for each CH2, an input field 83g for specifying a cut mode, and an input field 83h for a street width to be laser processed. The input area 83 has a cut mode setting screen button 82.

一方、例えばメインエリア８１の右側略半分を占めるイメージ描画領域８４は、レーザ加工における個々の加工条件の内容をイメージ描画による表示で纏めて表現した領域である。本実施の形態２の場合、イメージ描画領域８４に表示されるイメージ描画としては、例えば、ワーク（被加工物）の円形平面形状や四角平面形状を示すイメージ描画８４ａ，８４ｂ、これらイメージ描画８４ａ，８４ｂに付されてワーク（被加工物）の平面寸法を示す寸法線によるイメージ描画８４ｃ，８４ｄ、イメージ描画８４ａ，８４ｂ中に付されてチャンネルＣＨ１，ＣＨ２毎のＹ軸割り出し送り量を示す寸法線によるイメージ描画８４ｅ，８４ｆが含まれている。また、このイメージ描画領域８４に表示されるイメージ描画としては、例えば、ワーク（被加工物）におけるストリートエッジを示すイメージ描画８４ｇおよびこのイメージ描画８４ｇに対して付されてストリート幅を示す寸法線によるイメージ描画８４ｈが含まれている。   On the other hand, for example, an image drawing area 84 occupying approximately half of the right side of the main area 81 is an area in which the contents of individual processing conditions in laser processing are collectively expressed by display by image drawing. In the case of the second embodiment, as the image drawing displayed in the image drawing area 84, for example, image drawing 84a and 84b showing a circular plane shape or a square plane shape of a workpiece (workpiece), these image drawing 84a, Dimension line indicating the Y-axis index feed amount for each of the channels CH1 and CH2 attached to the image drawing 84c and 84d and the image drawing 84a and 84b by the dimension line indicating the planar dimension of the workpiece (workpiece) attached to 84b. Image drawing 84e and 84f are included. The image drawing displayed in the image drawing area 84 is, for example, an image drawing 84g indicating a street edge in a work (workpiece) and a dimension line attached to the image drawing 84g and indicating a street width. An image drawing 84h is included.

さらに、このレーザ加工用の加工条件設定画面においては、入力領域８３中の各入力欄８３ａ〜８３ｇとイメージ描画領域８４中の対応するイメージ描画を連結した連結線８５ａ〜８５ｅも、併せて同時に表示される。すなわち、連結線８５ａは、入力欄８３ａ，８３ｂとイメージ描画８４ａ，８４ｂ上のイメージ描画８４ｃとを連結し、連結線８５ｂは、入力欄８３ｃとイメージ描画８４ａ，８４ｂに対して付されたイメージ描画８４ｄとを連結し、連結線８５ｃは、入力欄８３ｄとイメージ描画８４ａ，８４ｂ中に付されたイメージ描画８４ｅとを連結し、連結線８５ｄは、入力欄８３ｅとイメージ描画８４ａ，８４ｂ中に付されたイメージ描画８４ｆとを連結し、連結線８５ｅは、入力欄８３ｇとイメージ描画８４ｈとを連結したものである。   Further, on the processing condition setting screen for laser processing, connection lines 85a to 85e connecting the input fields 83a to 83g in the input area 83 and the corresponding image drawing in the image drawing area 84 are also displayed at the same time. Is done. That is, the connecting line 85a connects the input fields 83a and 83b and the image drawing 84c on the image drawing 84a and 84b, and the connecting line 85b is an image drawing attached to the input field 83c and the image drawing 84a and 84b. 84d is connected, and a connection line 85c connects the input field 83d and the image drawing 84e attached to the image drawing 84a and 84b, and a connection line 85d is attached to the input field 83e and the image drawing 84a and 84b. The connected image drawing 84f is connected, and a connecting line 85e connects the input field 83g and the image drawing 84h.

これにより、レーザ加工用の加工条件設定画面において、個々の加工条件の数値データを入力する際には、実施の形態１の場合と同様に、入力領域８３中の所望の入力欄８３ａ〜８３ｇをタッチ指定し、または、カーソル移動および入力制御ボタンの操作により指定し、テンキーや文字キーの操作で所望の数値データを図９中に示す如く入力し、エンターキーや確定キーを押下することで行われる。このような数値データの入力の際、操作パネル８０のメインエリア８１においては、数値データの入力欄だけでなく、数値データ入力のための複数の入力欄８３ａ〜８３ｇを配列した入力領域８３と、加工条件の内容をイメージ描画８４ａ〜８４ｈで表現したイメージ描画領域８４とが併設表示され、かつ、個々の入力欄８３ａ〜８３ｇと対応するイメージ描画とが連結線８５ａ〜８５ｅで連結されて表示されるので、入力欄８３ａ〜８３ｇに対する数値データの入力の際には、その加工条件の内容は入力領域８３における文字表現に比べてイメージ描画８４ａ〜８４ｒを通じて理解しやすく、数値データの入力ミスを低減させることができる。   Thus, when inputting numerical data of individual processing conditions on the processing condition setting screen for laser processing, as in the case of the first embodiment, desired input fields 83a to 83g in the input area 83 are displayed. It is specified by touching or by operating the cursor movement and input control buttons, inputting desired numerical data as shown in FIG. 9 by operating numeric keys or character keys, and pressing the enter key or confirm key. Is called. When inputting such numerical data, in the main area 81 of the operation panel 80, an input area 83 in which a plurality of input fields 83a to 83g for inputting numerical data as well as numerical data input fields are arranged; An image drawing area 84 in which the contents of the processing conditions are expressed by image drawing 84a to 84h is displayed side by side, and each input field 83a to 83g and the corresponding image drawing are connected and displayed by connecting lines 85a to 85e. Therefore, when numerical data is input to the input fields 83a to 83g, the contents of the processing conditions are easier to understand through the image drawing 84a to 84r than the character representation in the input area 83, and numerical data input errors are reduced. Can be made.

ここで、図９では、レーザ加工におけるカットモードとして、インデックスサブシーケンスカットモード（ＳＵＢ＿ＳＥＱ）が選択指定されている画面例を示している。このインデックスサブシーケンスカットモードは、被加工物の比較的広いストリートエッジ内に対してレーザ光線照射手段からのレーザ光線を複数カットライン分に分けて順次照射することで溝を形成させる（アブレーションによる溝形成）加工モードである。   Here, FIG. 9 shows a screen example in which the index subsequence cut mode (SUB_SEQ) is selected and designated as the cut mode in laser processing. In this index sub-sequence cut mode, a groove is formed by sequentially irradiating a laser beam from a laser beam irradiation unit into a plurality of cut lines within a relatively wide street edge of a workpiece (groove by ablation). Forming) processing mode.

そこで、レーザ加工用の図９に示すような加工条件設定画面において、カットモード設定画面ボタン８２を押下すると、マイクロプロセッサおよび表示制御部による制御の下に、操作パネル８０のメインエリア８１には、ＳＵＢ＿ＳＥＱモード用の加工条件設定画面として、図１０に示すように、入力領域９３とイメージ描画領域９４とが同時に併設表示される。ここで、ＳＵＢ＿ＳＥＱモードでは、ストリートエッジ内のカットライン毎にレーザ出力、周波数、デフォーカス量、送り量およびストリートアジャストセンタ位置からのインデックス値を入力する必要があり、入力領域９３には、例えばカット順序を示すＮｏ．１〜Ｎｏ．６の６本のカットライン毎に上記項目を入力する入力欄９３ａ〜９３ｆが表形式で表示される。   Therefore, when the cut mode setting screen button 82 is pressed on the processing condition setting screen as shown in FIG. 9 for laser processing, in the main area 81 of the operation panel 80 under the control of the microprocessor and the display control unit, As the processing condition setting screen for the SUB_SEQ mode, as shown in FIG. 10, an input area 93 and an image drawing area 94 are simultaneously displayed. Here, in the SUB_SEQ mode, it is necessary to input the laser output, frequency, defocus amount, feed amount, and index value from the street adjustment center position for each cut line in the street edge. No. indicating the order. 1-No. Input fields 93a to 93f for inputting the above items are displayed in tabular form for every six cut lines of six.

また、イメージ描画領域９４においては、ストリートエッジを示すイメージ描画９４ａ上に、ストリートアジャストセンタ位置を示すイメージ描画９４ｂが付され、かつ、それぞれカット順を示す１〜６の数字が付されてストリートアジャストセンタ位置からの位置に応じたカットラインを示すイメージ描画９４ｃ〜９４ｈが表示される。また、イメージ描画領域９４においては、ストリートアジャストセンタ位置からのインデックス値の正負方向を示す指針となるイメージ描画９４ｉも表示される。   In the image drawing area 94, an image drawing 94b indicating the street adjustment center position is added on the image drawing 94a indicating the street edge, and numbers 1 to 6 indicating the cut order are added to the street drawing. Image drawings 94c to 94h showing cut lines corresponding to the position from the center position are displayed. In the image drawing area 94, an image drawing 94i serving as a pointer indicating the positive / negative direction of the index value from the street adjustment center position is also displayed.

さらに、このＳＵＢ＿ＳＥＱモード用のカットモード設定画面なる加工条件設定画面においては、入力領域９３中のカットライン毎の入力欄９３ａ〜９３ｆとイメージ描画領域９４中の対応するイメージ描画９４ｃ〜９４ｈとを連結した連結線９５ａ〜８５ｆも、併せて同時に表示される。すなわち、連結線９５ａは、Ｎｏ．１のカットライン用の入力欄９３ａと数字１が付されたカットラインを示すイメージ描画９４ｆとを連結し、連結線９５ｂは、Ｎｏ．２のカットライン用の入力欄９３ｂと数字２が付されたカットラインを示すイメージ描画９４ａとを連結し、連結線９５ｃは、Ｎｏ．３のカットライン用の入力欄９３ｃと数字３が付されたカットラインを示すイメージ描画９４ｅとを連結し、連結線９５ｄは、Ｎｏ．４のカットライン用の入力欄９３ｄと数字４が付されたカットラインを示すイメージ描画９４ｂとを連結し、連結線９５ｅは、Ｎｏ．５のカットライン用の入力欄９３ｅと数字５が付されたカットラインを示すイメージ描画９４ｄとを連結し、連結線９５ｆは、Ｎｏ．６のカットライン用の入力欄９３ｆと数字６が付されたカットラインを示すイメージ描画９４ｃとを連結したものである。   Further, in the machining condition setting screen, which is a cut mode setting screen for the SUB_SEQ mode, input fields 93a to 93f for each cut line in the input area 93 and corresponding image drawing 94c to 94h in the image drawing area 94 are connected. The connected lines 95a to 85f are also displayed at the same time. That is, the connecting line 95a is No. 1 is connected to the input field 93a for the cut line 1 and the image drawing 94f indicating the cut line to which the numeral 1 is attached. 2 is connected to the input field 93b for the cut line 2 and the image drawing 94a indicating the cut line to which the numeral 2 is attached. 3 is connected to the input line 93c for the cut line 3 and the image drawing 94e indicating the cut line to which the numeral 3 is attached. 4 is connected to the input field 93d for the cut line 4 and the image drawing 94b indicating the cut line to which the numeral 4 is attached. 5 is connected to an input field 93e for a cut line 5 and an image drawing 94d indicating a cut line to which the numeral 5 is attached. 6 is an input field 93f for a cut line and an image drawing 94c indicating a cut line to which the numeral 6 is attached.

これにより、ＳＵＢ＿ＳＥＱモード用の加工条件設定画面において、個々の加工条件の数値データを入力する際には、入力領域９３中の所望Ｎｏ．の入力欄９３ａ〜９３ｆをタッチ指定し、または、カーソル移動および入力制御ボタンの操作により指定し、テンキーの操作で所望の数値データを図１０に示す如く入力し、エンターキーや確定キーを押下することで行われる。このような数値データの入力の際、操作パネル８０のメインエリア８１においては、数値データの入力欄だけでなく、数値データ入力のための複数の入力欄９３ａ〜９３ｆを配列した入力領域９３と、加工条件の内容をイメージ描画９４ａ〜９４ｆで表現したイメージ描画領域９４とが併設表示され、かつ、個々のＮｏ．の入力欄９３ａ〜９３ｆと対応するカットラインのイメージ描画９４ａ〜９４ｆとが連結線９５ａ〜９５ｆで連結されて表示されるので、入力欄９３ａ〜９３ｆに対する数値データの入力の際には、その加工条件の内容（カットライン位置）はメージ描画９４ａ〜９４ｆを通じて理解しやすく、数値データの入力ミスを低減させることができる。   Thereby, when inputting numerical data of individual processing conditions on the processing condition setting screen for the SUB_SEQ mode, the desired No. in the input area 93 is displayed. The input fields 93a to 93f are designated by touching or designated by moving the cursor and operating the input control buttons, and the desired numeric data is input as shown in FIG. 10 by operating the numeric keys, and the enter key or the enter key is pressed. Is done. When inputting such numerical data, in the main area 81 of the operation panel 80, an input area 93 in which a plurality of input fields 93a to 93f for inputting numerical data as well as numerical data input fields are arranged; An image drawing area 94 in which the contents of the processing conditions are expressed by image drawing 94a to 94f is displayed side by side. Input fields 93a to 93f and corresponding cut line image drawings 94a to 94f are connected and displayed by connecting lines 95a to 95f. Therefore, when numerical data is input to the input fields 93a to 93f, the processing is performed. The content of the condition (cut line position) can be easily understood through the image drawing 94a to 94f, and numerical data input errors can be reduced.

ところで、上述したような加工条件設定画面を通じて入力された数値データの適否を判断しやすくするため、本実施の形態２のレーザ加工装置においても、図示しない制御手段は、実施の形態１の場合と同様に、入力欄９３ａ〜９３ｆに入力された数値データに連動させてイメージ描画領域９４中のイメージ描画３９ａ〜９４ｆの状態、例えば位置を変更させるように表示パネル８０の表示を制御する。   By the way, in order to make it easy to determine the suitability of the numerical data input through the processing condition setting screen as described above, in the laser processing apparatus of the second embodiment, the control means (not shown) is the same as in the first embodiment. Similarly, the display of the display panel 80 is controlled so as to change the state, for example, the position of the image drawing 39a to 94f in the image drawing area 94 in conjunction with the numerical data input to the input fields 93a to 93f.

図１１は、図１０に示したような基本となるＳＵＢ＿ＳＥＱモード用の加工条件設定画面において、入力欄９３ａ〜９３ｆの一部に、例えば桁を間違えた数値データを入力し、エンターキーを押下した場合の入力データ判定処理結果例を示すものである。例えば、インデックス値に対する桁を間違えて入力された数値データ“−０．２”の入力欄９３ｃに対応するイメージ描画９４ｅは、基本となる図１０中に示すような位置でのイメージ描画表示から図１１中に示すような位置でのイメージ描画表示に変更される。   FIG. 11 is a basic processing condition setting screen for the SUB_SEQ mode as shown in FIG. 10. For example, numerical data with wrong digits is input to a part of the input fields 93 a to 93 f and the enter key is pressed. The example of the input data determination processing result in the case is shown. For example, the image drawing 94e corresponding to the input field 93c of the numerical data “−0.2” inputted with the wrong digit for the index value is displayed from the image drawing display at the basic position shown in FIG. 11 is changed to an image drawing display at a position as shown in FIG.

このような入力された数値データに応じたイメージ描画の状態（位置）の変更により、オペレータは、３番目のカットラインついてのインデックス値がストリート幅（中心から０．０５ｍｍ）の範囲内に収まらずストリートから外れた状態にあり、入力した数値データに誤り（桁違い）があることを視覚的に容易に気づくことができ、対応する数値データの入力し直しが促される。この際、誤りのある数値データの入力欄は、変更されたイメージ描画側から連結線によって入力欄側に辿ることで、容易に判別できる。   By changing the image drawing state (position) in accordance with the input numerical data, the operator does not have the index value for the third cut line within the range of the street width (0.05 mm from the center). It is in a state of being off the street, and it is possible to easily visually recognize that there is an error (digit difference) in the input numerical data, and it is prompted to input the corresponding numerical data again. At this time, the input column of numerical data with errors can be easily identified by tracing the changed image drawing side to the input column side by a connecting line.

そこで、入力欄９３ｃのインデックス値の数値データを入力し直し、エンターキーを押下すると、入力データ判定処理結果例は、図１０に示す基本の加工条件設定画面における表示パターン例となり、確定キーによる入力データの確定が可能となる。   Therefore, when the numerical data of the index value in the input field 93c is input again and the enter key is pressed, the input data determination processing result example becomes a display pattern example on the basic processing condition setting screen shown in FIG. Data can be confirmed.

本発明は、以下の実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。すなわち、実施の形態１，２では、切削ブレードによるステップカットモード時の加工条件設定画面例や、レーザ加工装置によるＳＵＢ＿ＳＥＱモード用の加工条件設定画面例で説明したが、このような加工モード時の加工条件設定画面に限らず、各種加工モード時の加工条件設定画面についても同様に適用し得るのはもちろんである。また、イメージ描画領域において表示するイメージ描画も、図示例に限らず、加工条件の内容をオペレータに判りやすく呈示し得るものであれば、適宜変更し得ることももちろんである。   The present invention is not limited to the following embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. That is, in the first and second embodiments, the processing condition setting screen example in the step cut mode by the cutting blade and the processing condition setting screen example for the SUB_SEQ mode by the laser processing apparatus have been described. Needless to say, the present invention is not limited to the processing condition setting screen, but can be applied to the processing condition setting screen in various processing modes. Further, the image drawing displayed in the image drawing area is not limited to the illustrated example, and it is needless to say that the image drawing can be appropriately changed as long as the contents of the processing conditions can be easily presented to the operator.

本発明の実施の形態１の加工装置の一例を示す外観斜視図である。It is an external appearance perspective view which shows an example of the processing apparatus of Embodiment 1 of this invention. 図１の加工手段周りの構成を抽出して示す斜視図である。It is a perspective view which extracts and shows the structure around the process means of FIG. 実施の形態１の加工装置が備える制御手段の構成例を示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows the structural example of the control means with which the processing apparatus of Embodiment 1 is provided. 当該加工装置によりステップカットを行う際に操作パネルに表示される加工条件設定画面の一例を示す正面図である。It is a front view which shows an example of the process condition setting screen displayed on an operation panel when performing a step cut with the said processing apparatus. 表示位置を異ならせたイメージ描画データのパターン例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of a pattern of the image drawing data which varied the display position. ステップカット用の加工条件設定時の操作制御例を示す概略フローチャートである。It is a schematic flowchart which shows the example of operation control at the time of the process condition for step cuts. 図６中の入力データ判定処理例のサブルーチンを示す概略フローチャートである。It is a schematic flowchart which shows the subroutine of the example of input data determination processing in FIG. 誤りのある数値データ入力時の操作パネルの表示例を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the example of a display of the operation panel at the time of numerical data with an error. 本発明の実施の形態２のレーザ加工装置により被加工物に対してレーザ加工を行う際に操作パネルに表示される加工条件設定画面の一例を示す正面図である。It is a front view which shows an example of the process condition setting screen displayed on an operation panel, when performing laser processing with respect to a workpiece by the laser processing apparatus of Embodiment 2 of this invention. ＳＵＢ＿ＳＥＱモード用の加工条件設定画面の一例を示す正面図である。It is a front view which shows an example of the process condition setting screen for SUB_SEQ mode. 誤りのある数値データ入力時の操作パネルの表示例を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the example of a display of the operation panel at the time of numerical data with an error.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 加工装置
１１ 保持手段
１１ａ 保持面
２０ 加工手段
２１ａ 切削ブレード
３０ 操作パネル
３３ 入力領域
３３ａ〜３３ｌ 入力欄
３４ イメージ描画領域
３４ａ〜３４ｒ イメージ描画
３５ａ〜３５ｋ 連結線
５０ Ｘ軸移動手段
６０ Ｚ軸移動手段
７０ Ｙ軸移動手段
８０ 操作パネル
８３ 入力領域
８３ａ〜８３ｇ 入力欄
８４ イメージ描画領域
８４ａ〜８４ｈ イメージ描画
８５ａ〜８５ｅ 連結線
９３ 入力領域
９３ａ〜９３ｆ 入力欄
９４ イメージ描画領域
９４ａ〜９４ｉ イメージ描画
９５ａ〜９５ｆ 連結線
Ｗ 被加工物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Processing apparatus 11 Holding means 11a Holding surface 20 Processing means 21a Cutting blade 30 Operation panel 33 Input area 33a-331 Input field 34 Image drawing area 34a-34r Image drawing 35a-35k Connecting line 50 X-axis moving means 60 Z-axis moving means 70 Y-axis moving means 80 Operation panel 83 Input area 83a to 83g Input field 84 Image drawing area 84a to 84h Image drawing 85a to 85e Connection line 93 Input area 93a to 93f Input field 94 Image drawing area 94a to 94i Image drawing 95a to 95f Connecting wire W Workpiece

Claims (3)

被加工物を保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を個々のデバイスに分割する切削ブレードを有する加工手段と、複数の加工条件を入力する操作パネルと、前記加工手段を前記保持面に対して垂直なＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段と、前記切削ブレードの軸心方向であるＹ軸方向に前記加工手段を割り出し送りするＹ軸移動手段と、前記保持手段をＺ軸方向およびＹ軸方向に直交するＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動手段とを備える加工装置であって、
前記操作パネルは、加工条件設定画面として、個々の加工条件の数値データの入力を受付けるための複数の入力欄を配列した入力領域と、個々の加工条件の内容をイメージ描画で表現したイメージ描画領域と、前記入力領域中の各入力欄と前記イメージ描画領域中の対応するイメージ描画を連結した連結線とを表示するとともに、
前記加工条件設定画面では、
前記入力領域には、切削ブレードの加工条件と１対１で対応しかつ対応した切削ブレードの加工条件の数値データを表示する入力欄と、前記加工条件としての対象とする被加工物の寸法を表示する入力欄と、前記加工条件としての前記Ｚ軸移動手段の送り量を表示する入力欄と、前記加工条件としての前記Ｙ軸移動手段の移動量を表示する入力欄と、前記加工条件としての前記Ｘ軸移動手段の加工送り速度を表示する入力欄とが、全ての前記加工条件分同時に表示され、
前記イメージ描画領域には、切削ブレードの加工条件と１対１で対応しかつ対応した切削ブレードの加工条件の内容を表示するイメージ描画と、前記被加工物の寸法を表示するイメージ描画と、前記Ｚ軸移動手段の送り量を表示するイメージ描画と、前記Ｙ軸移動手段の移動量を表示するイメージ描画と、前記Ｘ軸移動手段の加工送り速度を表示するイメージ描画と、全ての前記加工条件分同時に表示され、
前記連結線が、前記入力欄と、前記イメージ描画領域中の対応する前記イメージ描画とを全て連結している、
ことを特徴とする加工装置。 A holding means having a holding surface for holding the workpiece ; a processing means having a cutting blade for dividing the workpiece held by the holding means into individual devices; an operation panel for inputting a plurality of machining conditions ; Z-axis moving means for moving the processing means in the Z-axis direction perpendicular to the holding surface; Y-axis moving means for indexing and feeding the processing means in the Y-axis direction that is the axial direction of the cutting blade; A processing apparatus comprising: an X-axis moving unit that processes and feeds the holding unit in the X-axis direction orthogonal to the Z-axis direction and the Y-axis direction ,
The operation panel includes, as a machining condition setting screen, an input area in which a plurality of input fields for accepting input of numerical data of individual machining conditions and an image drawing area in which the contents of each machining condition are expressed by image drawing When, the rewritable display and a connecting line connecting the image drawing corresponding in said image drawing region and each of the input fields in the input region,
In the processing condition setting screen,
The input area corresponds to the cutting blade processing conditions in a one-to-one manner and displays an input field for displaying numerical data of the corresponding cutting blade processing conditions, and the dimensions of the target workpiece as the processing conditions. An input field for displaying, an input field for displaying the feed amount of the Z-axis moving means as the machining conditions, an input field for displaying the movement amount of the Y-axis moving means as the machining conditions, and the machining conditions And an input field for displaying the machining feed rate of the X-axis moving means is simultaneously displayed for all the machining conditions,
In the image drawing area, there is an image drawing that displays the content of the cutting blade processing conditions that correspond one-to-one with the cutting blade processing conditions, the image drawing that displays the dimensions of the workpiece, Image drawing for displaying the feed amount of the Z-axis moving means, Image drawing for showing the move amount of the Y-axis moving means, Image drawing for displaying the machining feed speed of the X-axis moving means, and all the machining conditions Are displayed at the same time,
The connecting line connects all the input fields and the corresponding image drawing in the image drawing area,
A processing apparatus characterized by that. 被加工物を保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物のストリートエッジ内にレーザ光線を照射するレーザ光線照射手段を有する加工手段と、レーザ光線照射手段の加工条件を入力する操作パネルとを備え、かつ、前記レーザ光線照射手段が前記ストリートエッジ内にレーザ光線を複数カットライン分に分けて順次照射ことで溝を形成させる加工装置であって、
前記操作パネルは、加工条件設定画面として、個々の加工条件の数値データの入力を受付けるための複数の入力欄を配列した入力領域と、個々の加工条件の内容をイメージ描画で表現したイメージ描画領域と、前記入力領域中の各入力欄と前記イメージ描画領域中の対応するイメージ描画を連結した連結線とを表示するとともに、
前記加工条件設定画面では、
前記入力領域には、各カットライン毎の前記レーザ光線照射手段の加工条件と１対１で対応しかつ対応したレーザ光線照射手段の加工条件の数値データを表示する入力欄が、前記複数のカットライン分同時に表示され、
前記イメージ描画領域には、各カットライン毎の前記レーザ光線照射手段の加工条件と１対１で対応しかつ対応したレーザ光線照射手段の加工条件の内容を表示するイメージ描画が、前記複数のカットライン分同時に表示され、
前記連結線が、前記入力欄と、前記イメージ描画領域中の対応する前記イメージ描画とを全て連結している、
ことを特徴とする加工装置。 A holding means having a holding surface for holding a workpiece, a processing means having a laser beam irradiating means for irradiating a laser beam into a street edge of the workpiece held by the holding means, and processing of the laser beam irradiating means An operation panel for inputting conditions , and the laser beam irradiation means forms a groove by sequentially irradiating a laser beam into a plurality of cut lines in the street edge ,
The operation panel includes, as a machining condition setting screen, an input area in which a plurality of input fields for accepting input of numerical data of individual machining conditions and an image drawing area in which the contents of each machining condition are expressed by image drawing And displaying each input field in the input area and a connection line connecting the corresponding image drawing in the image drawing area ,
In the processing condition setting screen,
In the input area, there is an input field that has a one-to-one correspondence with the processing conditions of the laser beam irradiation means for each cut line and displays numerical data of the processing conditions of the corresponding laser beam irradiation means. Lines are displayed at the same time,
In the image drawing area, an image drawing that has a one-to-one correspondence with the processing conditions of the laser beam irradiating means for each cut line and displays the contents of the processing conditions of the corresponding laser beam irradiating means is the plurality of cuts. Lines are displayed at the same time,
The connecting line connects all the input fields and the corresponding image drawing in the image drawing area,
A processing apparatus characterized by that. 前記操作パネルは、前記入力欄に入力される数値データに連動して前記イメージ描画領域中の対応するイメージ描画を変更することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の加工装置。 The operation panel, the processing apparatus according to claim 1 or claim 2, characterized in that to change the corresponding image drawing in the image drawing area in conjunction with the numerical data input to the input field.
JP2007292397A 2007-11-09 2007-11-09 Processing equipment Active JP5118445B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007292397A JP5118445B2 (en) 2007-11-09 2007-11-09 Processing equipment
CN 200810173195 CN101428452B (en) 2007-11-09 2008-11-06 Machining device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007292397A JP5118445B2 (en) 2007-11-09 2007-11-09 Processing equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009117776A JP2009117776A (en) 2009-05-28
JP5118445B2 true JP5118445B2 (en) 2013-01-16

Family

ID=40644204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007292397A Active JP5118445B2 (en) 2007-11-09 2007-11-09 Processing equipment

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5118445B2 (en)
CN (1) CN101428452B (en)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013191618A (en) * 2012-03-12 2013-09-26 Disco Abrasive Syst Ltd Processing device
JP5991874B2 (en) * 2012-07-26 2016-09-14 株式会社ディスコ Processing equipment
JP6433178B2 (en) * 2014-07-02 2018-12-05 株式会社ディスコ Processing equipment
JP6518141B2 (en) * 2015-06-16 2019-05-22 株式会社ディスコ Touch panel device
JP2018187707A (en) * 2017-05-01 2018-11-29 株式会社ディスコ Cutting device
JP6944291B2 (en) 2017-07-05 2021-10-06 株式会社ディスコ Processing equipment
CN109697009A (en) * 2017-10-20 2019-04-30 毅德机械股份有限公司 Dialog mode control system
JP7261786B2 (en) * 2018-02-16 2023-04-20 東京エレクトロン株式会社 processing equipment
JP7365108B2 (en) 2018-06-05 2023-10-19 株式会社ディスコ processing equipment
JP7232077B2 (en) * 2019-02-22 2023-03-02 株式会社ディスコ processing equipment
JP7176474B2 (en) * 2019-05-21 2022-11-22 カシオ計算機株式会社 Graphics display program, server, graphics display device and graphics display method
JP6651275B1 (en) 2019-08-01 2020-02-19 株式会社ディスコ Processing equipment
JP7321038B2 (en) * 2019-09-13 2023-08-04 株式会社ディスコ processing equipment
JP7385504B2 (en) * 2020-03-06 2023-11-22 浜松ホトニクス株式会社 Inspection equipment and processing system
JP7563886B2 (en) * 2020-03-06 2024-10-08 浜松ホトニクス株式会社 Inspection device and inspection method
JP7423158B2 (en) 2020-05-25 2024-01-29 株式会社ディスコ processing equipment
TWI765709B (en) * 2021-05-19 2022-05-21 佳陞科技有限公司 Cutting tool changing device and operating method for cutting tool changing device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06320386A (en) * 1993-05-11 1994-11-22 Yamazaki Mazak Corp Interlocutory type automatic programming device
JPH07214457A (en) * 1994-02-02 1995-08-15 Jeol Ltd Cutting work data input processing device
JPH08115117A (en) * 1994-10-18 1996-05-07 Imao Corp:Kk Interference check method by means of working simulation
JP3659993B2 (en) * 1994-10-21 2005-06-15 株式会社アマダ Machine tool component information display method, alarm information display method and operation information display method
JP2003334751A (en) * 2003-06-27 2003-11-25 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting method
JP2005046979A (en) * 2003-07-31 2005-02-24 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting device
JP2007019478A (en) * 2005-06-07 2007-01-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method of dicing wafer, dicing apparatus, and semiconductor device
JP4640731B2 (en) * 2005-10-18 2011-03-02 株式会社ディスコ Cutting device operation system

Also Published As

Publication number Publication date
CN101428452A (en) 2009-05-13
JP2009117776A (en) 2009-05-28
CN101428452B (en) 2013-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5118445B2 (en) Processing equipment
JP4749892B2 (en) Hole data input device and spectacle lens processing device including the same
JP5134216B2 (en) Wafer processing result management method
JP6351745B2 (en) Machine tool control method and machine tool control apparatus
JP6584488B2 (en) Machine tool control method and machine tool control apparatus
JP6518141B2 (en) Touch panel device
JP2009206206A (en) Processing device
US20080186446A1 (en) Eyeglass lens processing apparatus
US20170131692A1 (en) Control device for machine tool
JP7084533B1 (en) Display control device
JP6400095B2 (en) Machine tool controller
JPWO2015056339A1 (en) Processing machine line
JP5028025B2 (en) Eyeglass lens peripheral processing equipment
JP4841269B2 (en) Eyeglass lens processing equipment
JP6584593B2 (en) Machine Tools
JP5028024B2 (en) Facet machining area setting device
JP3803428B2 (en) Position setting device for movable member in plate processing machine
KR20180121836A (en) Cutting apparatus
JP7450350B2 (en) cutting equipment
EP4169684A1 (en) Method for machining panels and machine to carry out such a method
US11772292B2 (en) Drawing device and drawing method
JP2022108181A (en) Cutting device
JP2009056488A (en) Teaching device in three-dimensional laser beam machine
JP2022116492A (en) Machining device, program, and storage medium

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101018

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120629

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120703

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120903

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121002

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121019

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5118445

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250