JP5111962B2 - Liquefied gas supply method and apparatus - Google Patents
Liquefied gas supply method and apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP5111962B2 JP5111962B2 JP2007185859A JP2007185859A JP5111962B2 JP 5111962 B2 JP5111962 B2 JP 5111962B2 JP 2007185859 A JP2007185859 A JP 2007185859A JP 2007185859 A JP2007185859 A JP 2007185859A JP 5111962 B2 JP5111962 B2 JP 5111962B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquefied gas
- gas
- gas supply
- amount
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
本発明は、液化ガス供給方法及び装置に関し、詳しくは、半導体製造工場で使用する半導体用特殊材料ガスを連結配管で連結した複数の液化ガス容器から供給するためのガス供給方法及び装置に関する。 The present invention relates to a liquefied gas supply method and apparatus, and more particularly to a gas supply method and apparatus for supplying a semiconductor special material gas used in a semiconductor manufacturing factory from a plurality of liquefied gas containers connected by connecting pipes.
半導体製造工場で使用する半導体用特殊材料ガスを供給するためのシリンダーキャビネットや液化ガス供給設備において、液化ガス容器1本からの供給可能なガス量は、その充填量に応じた液層部表面積と外気からの自然対流による入熱とにより定まる。すなわち、容器への入熱量Q[J/h]は、Q=h・A・ΔT(h:自然対流による熱伝達係数、A:液層部表面積、ΔT:外気温度と液層温度差)で求められ、供給可能ガス量q[kg/h]は、q=Q/H(H:蒸発潜熱)で求めることができる。このように供給可能なガス量は、気化熱に見合った外気からの入熱量で推算が可能である。 In cylinder cabinets and liquefied gas supply equipment for supplying special material gases for semiconductors used in semiconductor manufacturing factories, the amount of gas that can be supplied from one liquefied gas container is the surface area of the liquid layer according to the filling amount. It is determined by the heat input by natural convection from the outside air. That is, the heat input amount Q [J / h] into the container is Q = h · A · ΔT (h: heat transfer coefficient by natural convection, A: surface area of liquid layer part, ΔT: difference between outside air temperature and liquid layer temperature) The gas amount q [kg / h] that can be supplied can be obtained by q = Q / H (H: latent heat of vaporization). The amount of gas that can be supplied in this way can be estimated from the amount of heat input from the outside air commensurate with the heat of vaporization.
一般的に、使用ガス量が多く見込まれる場合には、蒸発表面積を増加させるために液化ガス容器の本数を増やし、各液化ガス容器を連結配管で接続してガスを供給することが行われている。これらの複数の液化ガス容器は、液化ガス容器内の液化ガスの残量を管理され、いずれか一つの液化ガス容器の残量があらかじめ設定した下限値に減少したときに、すべての液化ガス容器からのガス供給を停止し、すべての液化ガス容器を新しい液化ガス容器に同時に交換するようにしている。 In general, when a large amount of gas is expected, the number of liquefied gas containers is increased in order to increase the evaporation surface area, and gas is supplied by connecting each liquefied gas container with a connecting pipe. Yes. The plurality of liquefied gas containers are managed when the remaining amount of the liquefied gas in the liquefied gas container is managed, and when the remaining amount of any one liquefied gas container is reduced to a preset lower limit value, all the liquefied gas containers are The gas supply from is stopped, and all the liquefied gas containers are replaced with new liquefied gas containers at the same time.
一方、LPガスの供給では周知の事実であるように、複数の液化ガス容器を連結配管で連結してガス供給を行う場合、計画したガス供給量に近い量のガスを定常的に供給しているときには、各液化ガス容器間は平衡状態となるので各液化ガス容器内の液化ガスは平均的に消費されていくが、計画量に比べてガス供給量が少ないときには、各液化ガス容器間の環境温度が異なると、温度の高い液化ガス容器で蒸発したガスが温度の低い液化ガス容器で凝縮することにより液化ガスが移動する現象、即ち液移動が発生する。 On the other hand, as is well known in the supply of LP gas, when gas is supplied by connecting a plurality of liquefied gas containers with connecting pipes, an amount of gas close to the planned gas supply amount is steadily supplied. When liquefied gas containers are in an equilibrium state, the liquefied gas in each liquefied gas container is consumed on average, but when the amount of gas supply is smaller than the planned amount, When the environmental temperature is different, a phenomenon in which the liquefied gas moves, that is, liquid movement, occurs because the gas evaporated in the liquefied gas container having a high temperature is condensed in the liquefied gas container having a low temperature.
このため、各液化ガス容器間で液化ガスの残量が異なる状態になることから、前述のようにすべての液化ガス容器を交換すると、液化ガスの残量が多い容器も交換することになるため、経済性に問題が発生する。なお、残量が下限値に達した液化ガス容器のみを交換することも可能であるが、一つ一つの容器交換を頻繁に行う必要があり、作業性、経済性の点から一般的には行われていない。 For this reason, since the remaining amount of the liquefied gas is different between the liquefied gas containers, if all the liquefied gas containers are replaced as described above, the containers having a large amount of liquefied gas are also replaced. There is a problem with economy. Although it is possible to replace only the liquefied gas container whose remaining amount has reached the lower limit, it is necessary to frequently replace each container, and in general from the viewpoint of workability and economy Not done.
このような液移動に対処するため、複数の液化ガス容器の各々に、前記液化ガス容器内の液化ガスの残量を測定する残量測定手段と、各液化ガス容器からのガス供給量を制御する制御手段とを備え、複数の制御手段を、各々対応する前記液化ガス容器に備えられた残量測定手段の測定結果に基づいて制御することにより、複数の液化ガス容器の各々について液化ガスが所定の残量になるまで使用することができ、効率的かつ経済的に液化ガス容器の交換を可能としたガス供給装置の制御方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
しかし、特許文献1に記載された制御方法では、残量測定手段の測定結果が規定残量に達した液化ガス容器からのガス供給を停止し、他の液化ガス容器からのガス供給は続行するようにしているため、ガス供給を行っている液化ガス容器の本数が次第に減少し、最終的には1本の液化ガス容器からのガス供給になってしまうことから、計画したガス供給量に見合った量のガスを供給することができなくなってしまう。
However, in the control method described in
そこで本発明は、計画したガス供給量に見合った量のガスを供給可能な状態を保つとともに、液移動が発生しても各液化ガス容器内の液化ガスの残量を平均化することができる液化ガス供給方法及び装置を提供することを目的としている。 Therefore, the present invention can maintain a state in which an amount of gas corresponding to the planned gas supply amount can be supplied, and can average the remaining amount of liquefied gas in each liquefied gas container even if liquid movement occurs. An object of the present invention is to provide a liquefied gas supply method and apparatus.
上記目的を達成するため、本発明の液化ガス供給方法は、複数の液化ガス容器から減圧弁を備えたガス供給管を介してガスを供給する液化ガス供給方法において、前記複数の液化ガス容器を前記減圧弁の一次側で連結配管で連結し、前記複数の液化ガス容器内の液化ガスの量をそれぞれ測定し、残量が最大の液化ガス容器に対して他の液化ガス容器内の液化ガスの残量との差があらかじめ設定された残量差の範囲内に収まるように各液化ガス容器からのガス供給量を制御することを特徴としている。 To achieve the above object, the liquefied gas supply method of the present invention is a liquefied gas supply method for supplying a gas via the gas supply pipe provided with a pressure reducing valve from a liquefied gas container of multiple, said plurality of liquefied gas containers Are connected by a connecting pipe on the primary side of the pressure reducing valve, and the amount of liquefied gas in each of the plurality of liquefied gas containers is measured, and liquefaction in another liquefied gas container is compared with the liquefied gas container having the largest remaining amount. It is characterized in that the gas supply amount from each liquefied gas container is controlled so that the difference from the remaining amount of gas falls within a preset remaining amount difference range.
さらに、本発明の液化ガス供給方法は、前記ガス供給量の制御が残量が最小の液化ガス容器からのガス供給のみを停止すること、ガス供給圧力があらかじめ設定した規定圧力以下になったときや、複数の液化ガス容器内の液化ガスの合計量があらかじめ設定した残量低下基準値に減少したときには、ガス供給停止中の液化ガス容器からのガス供給を再開すること、また、複数の液化ガス容器内の液化ガスの合計量があらかじめ設定した残量下限基準値に減少したときには、すべての液化ガス容器からのガス供給を停止すること、さらに、前記ガス供給量の制御は、現在のガス供給量に見合う液化ガス容器の本数を算出し、残量が多い液化ガス容器から順に算出した本数分の液化ガス容器を選択してガス供給を行うことを特徴としている。 Further, the liquefied gas supply method of the present invention is such that the control of the gas supply amount stops only the gas supply from the liquefied gas container with the smallest remaining amount, and the gas supply pressure becomes lower than a preset specified pressure. When the total amount of liquefied gas in multiple liquefied gas containers has decreased to a preset remaining amount reduction reference value, restart the gas supply from the liquefied gas container when the gas supply is stopped. When the total amount of liquefied gas in the gas container decreases to a preset remaining amount lower limit reference value, the gas supply from all the liquefied gas containers is stopped, and the control of the gas supply amount The number of liquefied gas containers corresponding to the supply amount is calculated, and gas supply is performed by selecting the number of liquefied gas containers calculated in order from the liquefied gas containers with the largest remaining amount.
また、本発明の液化ガス供給装置は、複数の液化ガス容器から減圧弁を備えたガス供給管を介してガスを供給する液化ガス供給装置において、前記複数の液化ガス容器を前記減圧弁の一次側で連結する連結配管と、前記複数の液化ガス容器内の液化ガスの量をそれぞれ測定する液化ガス量測定手段と、該液化ガス量測定手段で測定した各液化ガス容器内の液化ガスの残量を比較して残量が最大の液化ガス容器と残量が最小の液化ガス容器とを選出する残量比較手段と、選出された両液化ガス容器の残量の差があらかじめ設定した範囲から外れたときに残量が最小の液化ガス容器からのガス供給を停止するガス供給停止手段とを備えていることを特徴としている。 Further, the liquefied gas supply device of the present invention is a liquefied gas supply device for supplying a gas via the gas supply pipe provided with a pressure reducing valve from a liquefied gas container of multiple, a plurality of liquefied gas containers of the pressure reducing valve A connecting pipe connected on the primary side, a liquefied gas amount measuring means for measuring the amount of liquefied gas in each of the plurality of liquefied gas containers, and a liquefied gas in each liquefied gas container measured by the liquefied gas amount measuring means. The remaining amount comparison means for selecting the liquefied gas container having the largest remaining amount and the liquefied gas container having the smallest remaining amount by comparing the remaining amount, and the range in which the difference between the remaining amounts of the selected liquefied gas containers is set in advance. And a gas supply stop means for stopping the gas supply from the liquefied gas container having the smallest remaining amount when the fuel gas comes off.
本発明によれば、残量が最大の液化ガス容器に対して他の液化ガス容器内の液化ガス量との差があらかじめ設定された範囲内に収まるように各液化ガス容器からのガス供給量を制御することにより、例えば、残量が最小の液化ガス容器からのガス供給を停止したり、ガス供給量を絞ったりすることにより、残量が少ない液化ガス容器の液化ガス減少量を小さくすることができ、各液化ガス容器内の液化ガス残量を平均化することができる。 According to the present invention, the amount of gas supplied from each liquefied gas container so that the difference between the liquefied gas container in the remaining liquefied gas container and the amount of liquefied gas in other liquefied gas containers is within a preset range. For example, by stopping gas supply from the liquefied gas container with the smallest remaining amount or reducing the gas supply amount, the amount of decrease in liquefied gas in the liquefied gas container with little remaining amount can be reduced. The remaining amount of liquefied gas in each liquefied gas container can be averaged.
また、各液化ガス容器からのガス供給量の制御として、現在のガス供給量が計画量に比べて少ない場合には、現在のガス供給量に見合う本数で、残量が多い液化ガス容器から順にガス供給を行うことにより、残量が多い液化ガス容器の液化ガス減少量を大きくすることができ、前記同様に、各液化ガス容器内の液化ガス残量を平均化することができる。 In addition, as a control of the gas supply amount from each liquefied gas container, if the current gas supply amount is small compared to the planned amount, the number corresponding to the current gas supply amount, in order from the liquefied gas container with the remaining amount in order. By performing the gas supply, the amount of liquefied gas decreased in the liquefied gas container having a large remaining amount can be increased, and the liquefied gas remaining amount in each liquefied gas container can be averaged as described above.
さらに、各残量が設定範囲内にあるときには、すべての液化ガス容器からガス供給を行うことになるので、計画したガス供給量に見合った量のガスを供給可能な状態を保つことができる。 Further, when each remaining amount is within the set range, gas supply is performed from all the liquefied gas containers, so that it is possible to maintain a state in which an amount of gas corresponding to the planned gas supply amount can be supplied.
図1は、本発明の液化ガス供給方法を実施する液化ガス供給装置の一形態例を示す説明図である。 FIG. 1 is an explanatory view showing an example of a liquefied gas supply apparatus for carrying out the liquefied gas supply method of the present invention.
この液化ガス供給装置は、複数の液化ガス容器11a,11b,11cを、ガス供給弁12a,12b,12cを介して連結配管13で連結し、該連結管13から減圧弁14、元弁15及び圧力計16を備えたガス供給管17を介して使用先にガスを供給するようにしている。各液化ガス容器11a,11b,11cは、各液化ガス容器内の液化ガスの量をそれぞれ測定する液化ガス量測定手段である重量計18a,18b,18cに載置されており、重量によって各液化ガス容器内の液化ガスの残量を測定するようにしている。
In this liquefied gas supply device, a plurality of
各液化ガス容器11a,11b,11cからのガス供給を制御するための制御手段19は、重量計18a,18b,18cで測定した各液化ガス容器11a,11b,11c内の液化ガスの残量を比較して残量が最大の液化ガス容器と残量が最小の液化ガス容器とを選出する残量比較手段と、選出された両液化ガス容器の残量の差があらかじめ設定した範囲から外れたときに残量が最小の液化ガス容器からのガス供給を停止するガス供給停止手段とを備えている。
The control means 19 for controlling the gas supply from each of the liquefied
制御手段19によるガス供給の制御を行うためには、まず、容器内の液化ガス残量を平均化するためのガス供給制御を開始する残量差ΔW_close及びガス供給制御を終了する残量差ΔW_open、減圧弁14の一次側に要求される下限圧力P_min、合計残量が減少したときに前記ガス供給制御を終了するための残量低下基準値W_care及び液化ガス供給装置からのガス供給を停止するための残量下限基準値W_alarmをそれぞれ設定する。
In order to control the gas supply by the control means 19, first, the remaining amount difference ΔW_close for starting the gas supply control for averaging the remaining amount of the liquefied gas in the container and the remaining amount difference ΔW_open for ending the gas supply control. The lower limit pressure P_min required for the primary side of the
以下、液化ガス容器11a,11b,11cの液化ガス初期充填量が30kg、1本当たりのガス供給可能ガス量が毎分1.1kgであり、前述のガス供給制御を開始する残量差ΔW_closeを3kg、ガス供給制御を終了する残量差ΔW_openを1kg、下限圧力P_minを0.4MPa、残量低下基準値W_careを15kg、残量下限基準値W_alarmを9kgにそれぞれ設定した場合で説明する。
Hereinafter, the initial amount of liquefied gas in the
ガス供給を行っているときに、各液化ガス容器11a,11b,11cの重量を各重量計18a,18b,18cにて一定時間毎に測定し、最も重い液化ガス容器、すなわち、内部の液化ガスの残量が最大(最大残量W_max)であるガス容器、例えば液化ガス容器11aを選出するとともに、最も軽い液化ガス容器、すなわち、内部の液化ガスの残量が最小(最小残量W_min)であるガス容器、例えば液化ガス容器11bを選出する。
When the gas is supplied, the weights of the
次に、最大残量W_maxと最小残量W_minとの差が前記残量差ΔW_closeの範囲内に収まっているかを判定し、3kgの範囲内に収まっている場合はそのままガス供給を継続し、3kgの範囲を超えた場合は(W_max−W_min>ΔW_close(3kg))、ガス供給弁12bを閉じて残量が最小の液化ガス容器11bからのガス供給を停止する(図2参照)。
Next, it is determined whether the difference between the maximum remaining amount W_max and the minimum remaining amount W_min is within the range of the remaining amount difference ΔW_close. If the difference is within the range of 3 kg, the gas supply is continued and 3 kg Is exceeded (W_max−W_min> ΔW_close (3 kg)), the
他の2本の液化ガス容器11a,11cからのガス供給を行って液化ガス容器11aの重量が減少し、最大残量W_maxと最小残量W_minとの差が前記残量差ΔW_openである1kgを下回ったら(W_max−W_min<ΔW_open(1kg))、ガス供給弁12bを開いて液化ガス容器11bからのガス供給を再開する(図3参照)。
Gas is supplied from the other two liquefied
なお、2本の液化ガス容器11a,11cからのガス供給を行っているときに、液化ガス容器11cの重量が液化ガス容器11bの重量を下回り、かつ、液化ガス容器11aと液化ガス容器11cとの残量の差が前記残量差ΔW_closeを超えたときには、制御対象を液化ガス容器11cに切り換え、ガス供給弁12bを開いて液化ガス容器11bからのガス供給を再開するとともに、ガス供給弁12cを閉じて液化ガス容器11cからのガス供給を停止するようにしてもよい。また、ガス供給量が少なく、1本の液化ガス容器からのガス供給で賄えるようなときには、ガス供給弁12bを閉じた状態のまま、ガス供給弁12cを閉じて液化ガス容器11aのみからガス供給を行うことも可能である(図4参照)。
When the gas is supplied from the two liquefied
さらに、ガス供給中には、圧力計16の測定圧力P_detと下限圧力P_minとを常時比較し、圧力計16の測定圧力P_detが下限圧力P_min(0.4MPa)を下回ったときに(P_det<P_min(0.4MPa))、ガス供給制御によって閉じられているガス供給弁があった場合には、そのガス供給弁を開いてすべての液化ガス容器11a,11b,11cからガス供給を行うようにしてガス供給圧力を所定圧力に保持する。これにより、液化ガス供給装置からのガス供給量を確保することができ、ガス使用先でのガス圧力の低下やガス流量の低下を防止することができる。
Further, during the gas supply, the measured pressure P_det of the
また、液化ガス容器内の液化ガス残量が少なくなると、外気からの入熱を受けるために必要な面積が確保できなくなり、容器内圧力が低下することになるため、ガス供給の継続によって全液化ガス容器11a,11b,11cの合計残量W_supが前記残量低下基準値W_careの15kgを下回った場合にも(W_sup<W_care(15kg))、ガス供給制御によって閉じられているガス供給弁を開いてすべての液化ガス容器11a,11b,11cからガス供給を行う。これにより、液化ガス容器における外気からの入熱面積を確保することができ、所定のガス供給を継続することができる。
In addition, if the remaining amount of liquefied gas in the liquefied gas container decreases, the area required to receive heat input from the outside air cannot be secured, and the pressure in the container will decrease. Even when the total remaining amount W_sup of the
さらに、全液化ガス容器11a,11b,11cの合計残量W_supが残量下限基準値W_alarmの9kgを下回ったときには(W_sup<W_alarm(9kg))、すべてのガス供給弁12a,12b,12cを閉じ、この液化ガス供給装置からのガス供給を停止する。これにより、残液中に濃縮された不純物が使用先に供給されてしまうことを防止できる。なお、半導体製造工場における液化ガス供給設備では、同じような構成のガス供給装置を複数設けているため、一つのガス供給装置からのガス供給が停止したときには、自動的に他のガス供給装置からのガス供給が開始される。
Further, when the total remaining amount W_sup of all the liquefied
このようにして液化ガス容器からのガス供給を制御することにより、ガス供給量が計画量より少なくて液移動が発生した場合でも、複数の液化ガス容器内の液化ガス残量を平均化することができ、ガスの利用効率を向上させることができる。さらに、ガス供給圧力や全体の液化ガス残量に応じてガス供給弁12a,12b,12cのすべてを開くようにしているので、使用先へのガス供給を確実に行うことができる。
By controlling the gas supply from the liquefied gas containers in this way, even if the gas supply amount is less than the planned amount and liquid movement occurs, the remaining liquefied gas amounts in the plurality of liquefied gas containers can be averaged. And the utilization efficiency of gas can be improved. Furthermore, since all of the
また、ガス供給装置における液化ガス容器の設置本数が多く、ガス供給装置のガス供給能力に比べてガス供給量が少ない場合は、液化ガス残量の多い液化ガス容器を選択してガス供給を行うようにすることもできる。例えば、液化ガス容器が10本設置されていて、ガス供給量が液化ガス容器5本分で賄えるまかなえる場合には、液化ガス残量の多い液化ガス容器から順に5本の液化ガス容器を選択してガス供給を行うこともでき、ガス供給量が大幅に少ない場合は、1本の液化ガス容器のみからガス供給することも可能である。逆に、液化ガス残量の少ない液化ガス容器から順にガス供給を停止していき、残りの液化ガス容器からガス供給を行うことができる。 If the number of liquefied gas containers installed in the gas supply device is large and the gas supply amount is small compared to the gas supply capacity of the gas supply device, the gas supply is performed by selecting a liquefied gas container with a large amount of liquefied gas remaining. It can also be done. For example, if ten liquefied gas containers are installed and the gas supply can be covered by five liquefied gas containers, select the five liquefied gas containers in order from the liquefied gas container with the largest amount of liquefied gas remaining. Gas can also be supplied. When the amount of gas supply is significantly small, it is also possible to supply gas from only one liquefied gas container. On the contrary, the gas supply can be stopped in order from the liquefied gas container with the small remaining amount of liquefied gas, and the gas can be supplied from the remaining liquefied gas containers.
この場合、各液化ガス残量の変化に応じてガス供給を停止する液化ガス容器を切り換えていくことにより、液化ガス残量を平均化することができる。また、ガス供給圧力が下限圧力を下回った場合や、液化ガスの合計残量が残量低下基準値を下回った場合には、前述のようにすべての液化ガス容器からガス供給を行うようにしてもよいが、ガス供給を停止しているガス容器の中で液化ガス残量の多い液化ガス容器から順にガス供給を再開させるようにしてもよい。 In this case, the remaining amount of liquefied gas can be averaged by switching the liquefied gas container that stops the gas supply in accordance with the change in the remaining amount of liquefied gas. When the gas supply pressure falls below the lower limit pressure, or when the total remaining amount of liquefied gas falls below the reference value for lowering the remaining amount, supply gas from all liquefied gas containers as described above. However, the gas supply may be resumed in order from the liquefied gas container having the largest remaining amount of liquefied gas among the gas containers in which the gas supply is stopped.
なお、液化ガスの種類、液化ガス容器の構造や大きさ及び本数、液化ガス量測定手段の種類、ガス供給弁の種類等は任意に選択することが可能であり、ガス供給量の制御は、ガス供給弁を開閉するものに限らず、流量を絞るような制御も可能である。 The type of liquefied gas, the structure and size and number of liquefied gas containers, the type of liquefied gas amount measuring means, the type of gas supply valve, etc. can be arbitrarily selected. Control is not limited to opening and closing the gas supply valve, and control to reduce the flow rate is also possible.
11a,11b,11c…液化ガス容器、12a,12b,12c…ガス供給弁、13…連結配管、14…減圧弁、15…元弁、16…圧力計、17…ガス供給管、18a,18b,18c…重量計、19…制御手段 11a, 11b, 11c ... liquefied gas containers, 12a, 12b, 12c ... gas supply valve, 13 ... connection piping, 14 ... pressure reducing valve, 15 ... original valve, 16 ... pressure gauge, 17 ... gas supply pipe, 18a, 18b, 18c ... Weigh scale, 19 ... Control means
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007185859A JP5111962B2 (en) | 2007-07-17 | 2007-07-17 | Liquefied gas supply method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007185859A JP5111962B2 (en) | 2007-07-17 | 2007-07-17 | Liquefied gas supply method and apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009024727A JP2009024727A (en) | 2009-02-05 |
JP5111962B2 true JP5111962B2 (en) | 2013-01-09 |
Family
ID=40396724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007185859A Active JP5111962B2 (en) | 2007-07-17 | 2007-07-17 | Liquefied gas supply method and apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5111962B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019095029A (en) * | 2017-11-27 | 2019-06-20 | 大陽日酸株式会社 | Gas supply device and gas supply method |
JP2021181816A (en) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | 大陽日酸株式会社 | Liquid gas supply device and liquid gas supply method |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6128874B2 (en) * | 2013-02-08 | 2017-05-17 | エア・ウォーター・プラントエンジニアリング株式会社 | Liquefied gas supply apparatus and method |
JP5968836B2 (en) * | 2013-07-18 | 2016-08-10 | 大陽日酸株式会社 | Gas supply system and method for controlling gas supply system |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5193417A (en) * | 1975-02-13 | 1976-08-16 | ||
JP2944611B2 (en) * | 1998-02-19 | 1999-09-06 | 山形日本電気株式会社 | Control method of gas supply device |
JP3960524B2 (en) * | 2002-03-13 | 2007-08-15 | 本田技研工業株式会社 | Gas fuel supply device for vehicles |
JP4552399B2 (en) * | 2003-08-07 | 2010-09-29 | トヨタ自動車株式会社 | Tank system comprising multiple tanks and control method thereof |
JP2006269330A (en) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Suzuki Motor Corp | Hydrogen supply device |
JP5091539B2 (en) * | 2007-05-17 | 2012-12-05 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | Liquefied gas supply system |
-
2007
- 2007-07-17 JP JP2007185859A patent/JP5111962B2/en active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019095029A (en) * | 2017-11-27 | 2019-06-20 | 大陽日酸株式会社 | Gas supply device and gas supply method |
JP2021181816A (en) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | 大陽日酸株式会社 | Liquid gas supply device and liquid gas supply method |
JP7271472B2 (en) | 2020-05-20 | 2023-05-11 | 大陽日酸株式会社 | Liquefied gas supply device and liquefied gas supply method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009024727A (en) | 2009-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5091539B2 (en) | Liquefied gas supply system | |
JP4795825B2 (en) | Gas supply apparatus and gas supply method | |
EP2772677B1 (en) | Bulk cryogenic liquid pressurized dispensing system and method | |
JP5111962B2 (en) | Liquefied gas supply method and apparatus | |
JP6784711B2 (en) | Liquefied gas supply device and liquefied gas supply method | |
NO327866B1 (en) | A procedure for control and / or monitoring | |
JP4950518B2 (en) | Gas supply method and gas supply apparatus | |
JP2011174528A (en) | Method for filling hydrogen gas in hydrogen gas packing equipment | |
KR20110106238A (en) | Systems and methods for gas supply and usage | |
US20120241088A1 (en) | Cylinder cabinet and semiconductor manufacturing system | |
EP1333224A2 (en) | Gas supply apparatus and gas supply method | |
JP5792608B2 (en) | Liquefied gas supply apparatus and method | |
JP5583820B2 (en) | Method for suppressing boil-off gas in liquefied gas storage equipment | |
JP2008196687A (en) | Low-temperature liquefied gas supply method and device | |
KR20130062086A (en) | System for controlling the pcv | |
JP7228983B2 (en) | A BOG recondenser and LNG supply system comprising the same. | |
JP5507304B2 (en) | Vaporized gas production system | |
TWI530639B (en) | Liquefied gas supply device and method | |
WO2014083810A1 (en) | Refrigerant cooling device and method | |
JP5295298B2 (en) | Method for suppressing boil-off gas in liquefied gas storage equipment | |
TWI616612B (en) | Heating control system and method for liquefied gas distribution system | |
JP6316606B2 (en) | Gas holder | |
Kulitsa et al. | Advances in Geo-Energy Research | |
JP6681423B2 (en) | Operation method of liquefied gas vaporizer | |
JP7271472B2 (en) | Liquefied gas supply device and liquefied gas supply method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120702 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121002 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121010 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5111962 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |