JP5111450B2 - 薄膜太陽電池およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1−1は、本発明の実施の形態1にかかる薄膜太陽電池である薄膜太陽電池モジュール(以下、モジュールと呼ぶ)1の概略構成を示す平面図である。図1−2は、モジュール1の断面構造を説明するための図であり、図1−1の線分A−A’方向における要部断面図である。図1−3は、モジュール1を構成する薄膜太陽電池セル(以下、セルと呼ぶ)Cの構成を示す要部断面図である。
図10は、側面の傾斜角度θ(基板に対して垂直方向を0°とする)を0°から90°まで変化させてトレンチ(溝)を加工・作製したトレンチ基板上に、スパッタリング法で裏面電極層(Ag膜)5を形成した際の傾斜角度θと段差被覆率との関係を示す特性図である。ここで、トレンチ基板は、図示しない透光性絶縁基板上にセルCと同様に透明電極層3および発電層4を積層形成してセルを作製し、該発電層4に対して透明電極層3に達するトレンチ(溝)を形成してある。トレンチ(溝)の深さは3μmであり、裏面電極層(Ag膜)5は目標膜厚200nmで製膜している。
2 透光性絶縁基板(ガラス基板)
3 透明電極層
4 発電層
4a 傾斜部
5 裏面電極層
5a 第1の裏面電極層
5b 第2の裏面電極層
5c 第3の裏面電極層
6 第1発電層
7 第1中間層
8 第2発電層
9 第2中間層
10 第3発電層
11 スリット
12 開口部
C 薄膜太陽電池セル(セル)
C1 第1セル
C2 第2セル
D1 第1の溝
D2 第2の溝(接続溝)
D3 第3の溝(分離溝)
I 電流
L レーザ光
P 傾斜接続部の形成領域
θ 傾斜角度
Claims (5)
- 透光性絶縁基板上に、透明導電膜からなる透明電極層と、半導体膜からなり光電変換を行う発電層と、光を反射する導電膜からなる裏面電極層と、がこの順で積層されてなる複数の薄膜太陽電池セルが配設され、隣接する薄膜太陽電池セルの間に一方のセルの透明電極層に達する発電層の溝部を有して、前記溝部内で前記一方のセルの前記透明電極層と他方のセルの前記裏面電極層とが電気的に直列接続された薄膜太陽電池であって、
前記溝部の前記他方のセル側の前記発電層の側部に前記溝部が延在する第1の方向に沿って前記発電層の上面から前記透明電極層へ向かって厚みが薄くなり前記透明電極層に達する傾斜部と、
前記溝部内の前記一方のセルの前記透明電極層上から前記傾斜部の傾斜面上を経て前記他方のセルの前記裏面電極層に連続する導電膜と、
を備えることを特徴とする薄膜太陽電池。 - 前記透光性絶縁基板の面内方向に対する垂直方向と前記傾斜部とのなす傾斜角度が、20°以上89.9°以下であること、
を特徴とする請求項1に記載の薄膜太陽電池。 - 透光性絶縁基板上に、透明導電膜からなる透明電極層と、半導体膜からなり光電変換を行う発電層と、光を反射する導電膜からなる裏面電極層と、がこの順で積層されてなる複数の薄膜太陽電池セルが配設され、隣接する薄膜太陽電池セルの間に一方のセルの前記透明電極層に達する前記発電層の溝部を有して、前記溝部内で前記一方のセルの前記透明電極層と他方のセルの前記裏面電極層とが電気的に直列接続された薄膜太陽電池の製造方法であって、
前記透光性絶縁基板上に、基板面内で互いに分離された複数の前記透明電極層を形成する第1工程と、
前記透明電極層上および前記透光性絶縁基板上に、前記発電層を形成する第2工程と、
第1の方向において前記発電層の上面から前記透明電極層へ向かって厚みが薄くなり前記透明電極層に達する傾斜部を有するとともに前記傾斜部に隣接する領域の前記透明電極層が露出した開口部を前記透明電極層上の前記他方のセル側の前記発電層に形成する第3工程と、
前記開口部が前記第1の方向に沿って延在する前記溝部内の前記他方のセル側の側部に位置するように隣接する薄膜太陽電池セルの間の前記発電層に前記溝部を形成する第4工程と、
前記発電層上および前記傾斜部上を含む前記開口部内に前記光を反射する導電膜を形成して、前記開口部内の前記一方のセルの前記透明電極層上から前記傾斜部の傾斜面上を経て前記他方のセルの前記発電層上に連続する前記光を反射する導電膜からなる前記裏面電極層を形成する第5工程と、
を含むことを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。 - 前記透光性絶縁基板の面内方向に対する垂直方向と前記傾斜部とのなす傾斜角度を、20°以上89.9°以下とすること、
を特徴とする請求項3に記載の薄膜太陽電池の製造方法。 - 前記第3工程では、エネルギー強度が中心では高く、前記第1の方向において中心から外方に行くにしたがって低くなるエネルギー強度分布を有するレーザ光を前記発電層に照射することにより前記開口部を形成すること、
を特徴とする請求項3に記載の薄膜太陽電池の製造方法。
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