JP5103805B2 - Light emitting device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emitting device hard to fail in forming a lower electrode and hard to cause burs on a surface, and to provide its manufacturing method. <P>SOLUTION: The light emitting device 10 includes a light emitting element 18, a substrate 15 having an upper surface for mounting the light emitting element 18 and a lower surface opposite to the upper surface, a pair of upper surface electrodes 16a and 16b formed on the upper surface of the substrate 15 and connected with the light emitting element 18, a pair of lower surface electrodes 27a and 27b formed on the lower surface of the substrate 15, and connections 22a and 22b for bringing the upper surface electrodes 16a and 16b and the lower surface electrodes 27a and 27b into conduction. The substrate 15 has a step 33 on the side of the lower surface. The side face 12d of the step 33 is inclined from the lower surface to make an angle &theta; of the step 33 into an obtuse angle, and the lower surface electrodes 27a and 27b are extended at least to the side face 12d where the step 33 is inclined. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、段差を有する基板を備えたサイドビュー型の発光装置及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a side-view type light emitting device including a substrate having a step and a method for manufacturing the same.

携帯電話等の液晶画面のバックライト用の発光装置として、発光面を横向きに実装する、いわゆるサイドビュー型の発光装置が知られている(例えば特許文献1及び2参照。)。発光装置の小型化が進み、これに伴って発光装置の電極等の各部品も小寸法になっている。発光装置を実装基板に実装するときには、発光装置の電極と、実装基板の配線パターンとをハンダによって接続するが、発光装置の電極が小型になると、ハンダがはみ出して電極間を短絡することや、又は短絡を避けるためにハンダの量を減らすと発光装置の固定力が不足するなどの問題があった。   As a light emitting device for a backlight of a liquid crystal screen such as a cellular phone, a so-called side view type light emitting device in which a light emitting surface is mounted sideways is known (for example, see Patent Documents 1 and 2). With the progress of miniaturization of light emitting devices, parts such as electrodes of the light emitting devices are also reduced in size. When mounting the light-emitting device on the mounting substrate, the electrodes of the light-emitting device and the wiring pattern of the mounting substrate are connected by soldering, but when the electrodes of the light-emitting device become smaller, the solder protrudes and the electrodes are short-circuited, Alternatively, if the amount of solder is reduced to avoid a short circuit, there is a problem that the fixing force of the light emitting device is insufficient.

これらの問題を解決するために、図9及び図10に示すような垂直な垂直段差29を有する基板を備えた発光装置が知られている(例えば特許文献3参照。)。
この発光装置100は、長さの異なる2枚の基板(第1基板12、第2基板14)を積層した積層基板15の上面に、発光素子18を実装し、さらに発光素子18を封止する透明樹脂層20によってシリンドリカル状のレンズを形成している。
積層基板15は、長さの短い第1基板12の上面12aに長さの長い第2基板14を積層して構成されているので、積層基板15の下面15b側の両端に垂直段差29が形成される。垂直段差29に面した第1基板12の側面12c及び第2基板14の下面14bには、発光装置100の下面電極27a、27bが形成されていて、ハンダ28を用いて実装基板30の配線パターン32に接続及び固定することができる。
In order to solve these problems, a light emitting device including a substrate having a vertical vertical step 29 as shown in FIGS. 9 and 10 is known (see, for example, Patent Document 3).
In the light emitting device 100, the light emitting element 18 is mounted on the upper surface of the laminated substrate 15 in which two substrates (first substrate 12 and second substrate 14) having different lengths are stacked, and the light emitting element 18 is further sealed. A cylindrical lens is formed by the transparent resin layer 20.
Since the multilayer substrate 15 is configured by laminating the second substrate 14 having a long length on the upper surface 12a of the first substrate 12 having a short length, the vertical step 29 is formed at both ends on the lower surface 15b side of the multilayer substrate 15. Is done. Lower surface electrodes 27a and 27b of the light emitting device 100 are formed on the side surface 12c of the first substrate 12 facing the vertical step 29 and the lower surface 14b of the second substrate 14, and the wiring pattern of the mounting substrate 30 using the solder 28 is formed. 32 can be connected and fixed.

この発光装置100では、実装時のハンダ28が垂直段差29に留まりやすいので、ハンダの量を減らさなくても短絡を十分に抑制することができる。また、下面電極27a、27bが第1基板12の側面12cの面積に相当する分だけ広くなっているので、発光装置100を固定する面積が広くとれる。これらの理由により、図9及び図10の発光装置100は、高い固定力で実装基板30に実装することができる。
特開2001−177156号公報 特開2003−234507号公報 意匠登録第1257104号公報
In the light emitting device 100, since the solder 28 during mounting tends to stay at the vertical step 29, a short circuit can be sufficiently suppressed without reducing the amount of solder. Moreover, since the lower surface electrodes 27a and 27b are widened by an amount corresponding to the area of the side surface 12c of the first substrate 12, the area for fixing the light emitting device 100 can be widened. For these reasons, the light emitting device 100 of FIGS. 9 and 10 can be mounted on the mounting substrate 30 with a high fixing force.
JP 2001-177156 A JP 2003-234507 A Design Registration No. 1257104

図9及び図10のような発光装置100を製造するときには、図10のY方向に、複数の発光装置100が結合したような形態で、積層基板15の作製、発光素子18の実装、及び透明樹脂層20の形成を行い、その後に所定の厚みに切断して個々の発光装置100に分割する方法を採用することが多い。この製造方法は、取扱いしやすい大きめの寸法形状で殆どの工程を進めることができる点と、多数の発光装置100を同時に製造できるので生産性に優れている点で有利である。
しかしながら、この製造方法で形成すると、いくつかの問題点が生じていた。
When the light emitting device 100 as shown in FIGS. 9 and 10 is manufactured, the multilayer substrate 15 is manufactured, the light emitting element 18 is mounted, and the transparent substrate 100 is formed in a form in which a plurality of light emitting devices 100 are coupled in the Y direction of FIG. In many cases, the resin layer 20 is formed and then cut into a predetermined thickness and divided into individual light emitting devices 100. This manufacturing method is advantageous in that most of the steps can be performed with a large size and shape that is easy to handle, and that a large number of light emitting devices 100 can be manufactured at the same time, so that the productivity is excellent.
However, some problems have occurred when formed by this manufacturing method.

第1の問題点は、下面電極27a、27bの形成不良の問題である。
図9に示すように、下面電極27a、27bは、第1メッキ層24a、24bと、第2メッキ層25a、25bと、メッキ層26a、26bとから構成されている。第1メッキ層24a、24b及び第2メッキ層25a、25bは、第1基板12と第2基板14とを積層する前に、無電解メッキ、物理蒸着法又は化学蒸着法などにより所定位置に形成される。そして、第1基板12と第2基板14とを積層した後に、第1メッキ層24a、24bと第2メッキ層25a、25bとの導通を確実にするために、電解メッキによりメッキ層26a、26bを形成している。
メッキ層26a、26bの形成時には、積層の完了した積層基板15をメッキ浴に浸漬するが、単に浸漬しただけでは垂直段差29から空気が抜けないことがあった。そのため、垂直段差29に面した部分にはメッキ層26a、26bが形成されず、下面電極27a、27bの形成不良が起こっていた。
The first problem is a problem of poor formation of the lower surface electrodes 27a and 27b.
As shown in FIG. 9, the lower surface electrodes 27a and 27b are composed of first plating layers 24a and 24b, second plating layers 25a and 25b, and plating layers 26a and 26b. The first plating layers 24a and 24b and the second plating layers 25a and 25b are formed at predetermined positions by electroless plating, physical vapor deposition, chemical vapor deposition, or the like before the first substrate 12 and the second substrate 14 are laminated. Is done. And after laminating | stacking the 1st board | substrate 12 and the 2nd board | substrate 14, in order to ensure conduction | electrical_connection with 1st plating layer 24a, 24b and 2nd plating layer 25a, 25b, plating layer 26a, 26b is electroplated. Is forming.
When the plating layers 26a and 26b are formed, the laminated substrate 15 that has been laminated is immersed in the plating bath, but air may not escape from the vertical step 29 simply by immersion. For this reason, the plating layers 26a and 26b are not formed on the portion facing the vertical step 29, and the formation of the lower surface electrodes 27a and 27b is poor.

第2の問題点は、個々の発光装置100に分割するときの、バリの問題である。
発光装置100を分割するときは、透明樹脂層20から39積層基板15に向かって切断刃で切断するが、このときに、金属から形成された下面電極27a、27bが切断刃によって引っ張られてバリを発生する(図11参照)。発光装置100を実装基板に実装するときには、マウンターが発光装置100の表面形状を認識して実装位置を位置決めするが、バリ50が発生して見かけの表面形状が変化すると、マウンターが発光装置100の形状を誤認して、実装精度を低下させるおそれがある。
A second problem is a problem of burrs when the light emitting devices 100 are divided.
When dividing the light emitting device 100, the transparent resin layer 20 is cut from the transparent resin layer 20 toward the 39-layer substrate 15 with a cutting blade. At this time, the lower surface electrodes 27a and 27b formed of metal are pulled by the cutting blade and the burrs are cut. (See FIG. 11). When the light emitting device 100 is mounted on the mounting substrate, the mounter recognizes the surface shape of the light emitting device 100 and positions the mounting position. However, when the apparent surface shape changes due to the generation of the burr 50, the mounter moves the mounting surface of the light emitting device 100. There is a risk that the mounting accuracy may be lowered by misidentifying the shape.

マウンターの誤認の原因は、発光装置100の実装面(これを裏面100bとする)のバリよりも、表面100aのバリ50に依存する。そこで、発光素子100に分割する前に、下面電極27a、27bのうち、発光装置100の表面100aに接する部分を除去することが考えられる。そのように小さい領域の下面電極を除去するには、フォトレジストを用いて下面電極をエッチングする方法が最適であり、下面電極のうち残したい領域の形状、又は除去したい領域の形状に合わせたマスクを使用して、フォトレジストを露光し、その後にエッチングにより下面電極を除去する。発光装置100の下面電極27a、27bの場合には、フォトレジストの露光時には、積層基板15の下面15bからZ方向に向けて光を照射するが、第1基板12の側面12cが光の照射方向と平行になるので、側面12c上に形成されたフォトレジストは十分に露光されず、その結果、下面電極27a、27bには、未除去部分270が残ってしまう(図12参照)。そして、発光装置100の分割のときに、切断刃がこの未除去部分270を通ると、針状のバリ50が発生する。このような針状のバリ50は、実装時に発光装置100から実装基板30に落下しやすく、配線パターンの短絡の原因となる可能性が高い。   The cause of the misidentification of the mounter depends on the burr 50 on the front surface 100a rather than the burr on the mounting surface of the light emitting device 100 (this is referred to as the back surface 100b). Therefore, it is conceivable to remove portions of the lower surface electrodes 27 a and 27 b that are in contact with the surface 100 a of the light emitting device 100 before being divided into the light emitting elements 100. In order to remove the lower surface electrode in such a small region, the method of etching the lower surface electrode using a photoresist is optimal, and the shape of the region of the lower surface electrode to be left or the shape of the region to be removed is adjusted. Is used to expose the photoresist and then the bottom electrode is removed by etching. In the case of the lower surface electrodes 27a and 27b of the light emitting device 100, light is irradiated from the lower surface 15b of the laminated substrate 15 toward the Z direction during exposure of the photoresist, but the side surface 12c of the first substrate 12 is irradiated with light. As a result, the photoresist formed on the side surface 12c is not sufficiently exposed, and as a result, the unremoved portion 270 remains on the lower surface electrodes 27a and 27b (see FIG. 12). When the light emitting device 100 is divided and the cutting blade passes through the unremoved portion 270, a needle-like burr 50 is generated. Such needle-like burrs 50 are likely to fall from the light emitting device 100 to the mounting substrate 30 during mounting, and are likely to cause a short circuit of the wiring pattern.

そこで、本発明は、下部電極の形成不良が起こりにくく、表面にバリの出来にくい発光装置を提供することを目的とする。また、本発明は、上記の発光装置の製造に適した製造方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a light emitting device in which formation of a lower electrode is unlikely to occur and burrs are hardly formed on the surface. Moreover, an object of this invention is to provide the manufacturing method suitable for manufacture of said light-emitting device.

本発明の発光装置は、発光素子と、前記発光素子を実装する上面と該上面に対向する下面とを備えた基板と、前記基板の前記上面に形成され前記発光素子と接続された一対の上面電極と、前記基板の前記下面に形成された一対の下面電極と、前記上面電極と前記下面電極とを導通する接続部と、を備えた発光装置であって、前記基板は、前記下面側に断面逆台形の突出部を有することによって段差を備え、前記段差の側面は、前記段差の角度θが鈍角になるように、前記下面に対して傾斜しており、前記下面電極が、少なくとも前記段差の傾斜した前記側面まで延設されていることを特徴とする。前記基板の上面と下面とは平行であることが好ましい。
本明細書では、「段部の角度θ」とは、段差の開口部分の角度を指している。段差の角度θが鈍角であると、基板の下面側から傾斜した側面が観察されるようになる。

A light emitting device of the present invention includes a light emitting element, a substrate including an upper surface on which the light emitting element is mounted and a lower surface facing the upper surface, and a pair of upper surfaces formed on the upper surface of the substrate and connected to the light emitting element. A light-emitting device comprising: an electrode; a pair of lower surface electrodes formed on the lower surface of the substrate; and a connection portion that conducts the upper surface electrode and the lower surface electrode, wherein the substrate is disposed on the lower surface side. By providing a projecting portion having an inverted trapezoidal cross section, a step is provided, and a side surface of the step is inclined with respect to the lower surface so that an angle θ of the step is an obtuse angle, and the lower electrode is at least the step It is extended to the said inclined side surface. The upper surface and the lower surface of the substrate are preferably parallel.
In this specification, “the angle θ of the step portion” refers to the angle of the opening portion of the step. When the step angle θ is an obtuse angle, a side surface inclined from the lower surface side of the substrate is observed.

本発明の発光装置は、段部の側面に下面電極を備えることにより、特許文献3の発光装置と変わらない下面電極の面積を維持している。そして、段部の角度θを鈍角にすることにより、メッキ浴に浸漬したときの段部からの空気の抜けを良好にすることができる。よって、傾斜した段部側面に形成された下面電極の表面には、電解液に接触して十分な厚さの金属メッキを施すことができる。また、フォトリソグラフィー技術を用いた下面電極のパターニングでは、段部の側面が傾斜しているので、下面電極の全面を十分に露光することができる。よって、連続した形態で形成した発光装置を分割するときに生じていたバリを発生させずに、個々の発光装置に分割することができる。   The light emitting device of the present invention maintains the same area of the lower surface electrode as that of the light emitting device of Patent Document 3 by providing the lower surface electrode on the side surface of the stepped portion. And by making the angle θ of the step portion an obtuse angle, air escape from the step portion when immersed in the plating bath can be improved. Therefore, the surface of the lower electrode formed on the inclined step portion side surface can be subjected to metal plating with a sufficient thickness in contact with the electrolytic solution. Further, in the patterning of the lower surface electrode using the photolithography technique, since the side surface of the step portion is inclined, the entire surface of the lower surface electrode can be sufficiently exposed. Therefore, it is possible to divide the light emitting devices into individual light emitting devices without generating burrs that are generated when the light emitting devices formed in a continuous form are divided.

また、本発明の発光装置の製造方法は断面逆台形の帯状部分を含む第1板状体の上面側に第2板状体を積層して積層板状体を形成する工程と、前記積層板状体の上面から下面まで貫通した複数の貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔の内部に導電性材料を配置して接続部を形成する工程と前記積層板状体の上面に、前記接続部の上端と接触する上面電極を形成する工程と、前記積層板状体の下面に、前記接続部の下端と接触する下面電極を形成する工程と、前記積層板状体の上面に発光素子を実装する工程と、前記第1基板の長手方向と略垂直方向に前記積層板状体を切断して、個々の発光装置に分離する工程とを備えることを特徴とする。   The method for manufacturing a light emitting device according to the present invention includes a step of laminating a second plate-like body on the upper surface side of the first plate-like body including a strip-like portion having an inverted trapezoidal cross section to form a laminated plate-like body, Forming a plurality of through-holes penetrating from the upper surface to the lower surface of the rod-shaped body, a step of forming a connecting portion by disposing a conductive material inside the through-hole, and the connection on the upper surface of the laminated plate-shaped body Forming a top electrode in contact with the upper end of the portion, forming a bottom electrode in contact with the lower end of the connecting portion on the lower surface of the laminated plate-like body, and forming a light emitting element on the upper surface of the laminated plate-like body A mounting step; and a step of cutting the laminated plate-like body in a direction substantially perpendicular to a longitudinal direction of the first substrate and separating the laminated plate-like body into individual light emitting devices.

本発明の製造方法は、断面逆台形の帯状部分を含む第1板状体と第2板状体とを用いることにより、角度θが鈍角の段差を有する積層板状体を形成する。この積層板状体は、上記の複数の基板が連続した形態となっており、積層板状体の段階で発光素子に必要な構成を形成し、後に積層板状体を分割することにより、同時に多数の発光装置を形成することができる。また、第1板状体122と第2板状体142とを積層することにより、傾斜した段差側面を有する基板を容易に形成することができる。さらに、小型の発光装置の製造であっても、比較的ハンドリングしやすい寸法形状の基板で製造して、最後に平行に切断すれば、簡単に製造することができる。   The manufacturing method of the present invention forms a laminated plate-like body having a step having an obtuse angle θ by using a first plate-like body and a second plate-like body including a band-shaped portion having an inverted trapezoidal cross section. In this laminated plate-like body, the plurality of substrates described above are in a continuous form, and at the stage of the laminated plate-like body, a necessary structure for the light-emitting element is formed, and then the laminated plate-like body is divided at the same time. Many light emitting devices can be formed. Further, by laminating the first plate-like body 122 and the second plate-like body 142, a substrate having an inclined step side surface can be easily formed. Further, even a small light-emitting device can be easily manufactured by manufacturing a substrate having a dimension and shape that is relatively easy to handle and finally cutting in parallel.

本発明の発光装置は、下部電極の形成不良が起こりにくくいので、製品のコストパフォーマンスが高く、また表面にバリが出来にくいので、実装時のバリの落下のおそれがない。また、本発明の製造方法によれば、上記の発光装置を容易に製造することができる。   Since the light emitting device of the present invention is less likely to cause a lower electrode formation failure, the cost performance of the product is high, and burrs are hardly formed on the surface, so there is no risk of burrs falling during mounting. Moreover, according to the manufacturing method of this invention, said light-emitting device can be manufactured easily.

<実施の形態1>
図1及び図2に図示されているように、本実施の形態の発光装置10は、長手方向がX方向に向くように配置された第1基板12及び第2基板14を含んでいる。これらの基板をZ方向に積層し、そして第1基板12の上面12aと第2基板14の下面14bとの間を固定部材36によって固定することにより、積層基板15が構成されている。
<Embodiment 1>
As shown in FIGS. 1 and 2, the light emitting device 10 of the present embodiment includes a first substrate 12 and a second substrate 14 that are arranged so that the longitudinal direction thereof is in the X direction. These substrates are laminated in the Z direction, and the laminated substrate 15 is configured by fixing the upper surface 12a of the first substrate 12 and the lower surface 14b of the second substrate 14 by a fixing member 36.

第1基板12は、上面12aから下面12bに向かって狭くなる逆台形の断面形状を有し、そして第2基板14は長矩形の断面形状を有している。第1基板12の上面12aをX方向の長さ12Xとし、第2基板14のX方向の長さ4Xとすると、第1基板12と第2基板14との寸法関係は、12X>14Xになっている。そのため、積層基板15を形成するときには、第1基板12の両端の傾斜面12dを、第2基板14の側面14cよりも内方に位置するように第1基板12と第2基板14とを積層することができる。第1基板12の傾斜面12dと第2基板の下面14bとの間には、傾斜段部33が形成される。
なお、本実施の形態では、第1基板12のY方向の寸法は、第2基板14のY方向の寸法と略等しく、Y方向においては、第1基板12と第2基板14とを実質的に面一に積層することができる。
The first substrate 12 has an inverted trapezoidal cross-sectional shape that narrows from the upper surface 12a toward the lower surface 12b, and the second substrate 14 has an oblong cross-sectional shape. Assuming that the upper surface 12a of the first substrate 12 has a length 12X in the X direction and a length 4X in the X direction of the second substrate 14, the dimensional relationship between the first substrate 12 and the second substrate 14 is 12X> 14X. ing. Therefore, when forming the laminated substrate 15, the first substrate 12 and the second substrate 14 are laminated so that the inclined surfaces 12 d at both ends of the first substrate 12 are positioned inward of the side surfaces 14 c of the second substrate 14. can do. An inclined step portion 33 is formed between the inclined surface 12d of the first substrate 12 and the lower surface 14b of the second substrate.
In the present embodiment, the dimension of the first substrate 12 in the Y direction is substantially the same as the dimension of the second substrate 14 in the Y direction, and the first substrate 12 and the second substrate 14 are substantially separated in the Y direction. Can be laminated flush with each other.

第2基板14の上面14aには、一対の上面電極16a、16bが形成され、また、上面電極16a、16bの間には発光素子(例えば発光ダイオード)18が固定されている。発光素子18は、上面電極16a、16bと導電性ワイヤ38a、38bによって接続されている。
第2基板14の上面14aは、透明樹脂から成る透明樹脂層20によって覆われており、発光素子18を外部環境から保護している。本実施の形態では、透明樹脂層20の発光面42を、Z方向に突出したシリンドリカルレンズに成形することにより、発光素子18からYZ面内に広がる光を、Z方向に収束させるようにしている。
A pair of upper surface electrodes 16a and 16b are formed on the upper surface 14a of the second substrate 14, and a light emitting element (for example, a light emitting diode) 18 is fixed between the upper surface electrodes 16a and 16b. The light emitting element 18 is connected to the upper surface electrodes 16a and 16b and the conductive wires 38a and 38b.
The upper surface 14a of the second substrate 14 is covered with a transparent resin layer 20 made of a transparent resin, and protects the light emitting element 18 from the external environment. In the present embodiment, the light emitting surface 42 of the transparent resin layer 20 is formed into a cylindrical lens protruding in the Z direction, so that the light spreading from the light emitting element 18 in the YZ plane is converged in the Z direction. .

上面電極16a、16bの直下には、第1基板12の下面12bから第2基板14の上面14aまで貫通する貫通孔34が形成されており、この貫通孔34の内部に導電性材料が充填されて、接続部22a、22bを構成している。
第1基板14の下面14bには、接続部22a、22bの下面側に接触し且つ貫通孔34を封止する第1金属膜24a、24bが形成されている。
A through hole 34 penetrating from the lower surface 12b of the first substrate 12 to the upper surface 14a of the second substrate 14 is formed immediately below the upper surface electrodes 16a and 16b, and the inside of the through hole 34 is filled with a conductive material. Thus, the connecting portions 22a and 22b are configured.
On the lower surface 14 b of the first substrate 14, first metal films 24 a and 24 b that are in contact with the lower surfaces of the connection portions 22 a and 22 b and seal the through holes 34 are formed.

第1基板12の下面12bの一部と傾斜面12dとには、第1金属膜が形成されている。また、第2基板14の下面14aには、第2金属膜25a、25bが適当な間隔をあけて形成されており、第1基板12と第2基板14との間で接続部22a、22bと接触している。そして、露出した第1金属膜24a、24b及び第2金属膜25a、25bの表面には、メッキ層26a、26bが形成されている。メッキ層26a、26bは、第1金属膜24a、24bから対応する第2金属膜25a、25bまでを覆って、それらの間の導通を取っている。本実施形態では、第1金属膜24a、24bと、第2金属膜25a、25bと、メッキ層26a、26bと、下面電極27a、27bが構成される。   A first metal film is formed on a part of the lower surface 12b of the first substrate 12 and the inclined surface 12d. In addition, second metal films 25a and 25b are formed on the lower surface 14a of the second substrate 14 with an appropriate interval between the first substrate 12 and the second substrate 14, and the connection portions 22a and 22b. In contact. Plated layers 26a and 26b are formed on the exposed surfaces of the first metal films 24a and 24b and the second metal films 25a and 25b. The plated layers 26a and 26b cover the first metal films 24a and 24b to the corresponding second metal films 25a and 25b, and establish conduction between them. In the present embodiment, first metal films 24a and 24b, second metal films 25a and 25b, plating layers 26a and 26b, and lower surface electrodes 27a and 27b are formed.

この発光装置10では、実装時のハンダ28が傾斜段差33に留まりやすいので、隣接する下面電極27a、27bの間でのハンダ28の漏れだしが起こりにくく、そのためハンダの量を減らさなくても短絡を十分に抑制することができる。また、下面電極27a、27bが第1基板12の傾斜面12dの面積に相当する分だけ広くなっているので、発光装置10を固定する面積が広くとれる。さらにサイドビュー型の発光装置であるため、実装安定性が良い。これらの理由により、発光装置10は、高い固定力で実装基板30に実装することができる。   In the light emitting device 10, the solder 28 at the time of mounting tends to stay at the inclined step 33, so that the leakage of the solder 28 between the adjacent lower surface electrodes 27 a and 27 b hardly occurs, and therefore short-circuiting without reducing the amount of solder. Can be sufficiently suppressed. Moreover, since the lower surface electrodes 27a and 27b are widened by an amount corresponding to the area of the inclined surface 12d of the first substrate 12, the area for fixing the light emitting device 10 can be widened. Furthermore, since it is a side view type light emitting device, the mounting stability is good. For these reasons, the light emitting device 10 can be mounted on the mounting substrate 30 with a high fixing force.

傾斜段部33の角度θは、少なくとも鈍角(90°より大きく、180°未満の角度)にされるが、特に95°〜165°であるのが好ましく、さらに110°〜130°であるとより好ましい。角度θが95°未満であると、メッキ層26a、26bの形成時に傾斜段部33から空気が抜けにくく、また下面電極27a、27bをフォトリソグラフィー技術を用いてエッチング加工する場合には、第1基板12の傾斜面12d上のフォトレジストを十分に露光しにくいので好ましくない。角度θが165°より大きいと、ハンダ28が傾斜段部33から漏れやすくなるので好ましくない。   The angle θ of the inclined step portion 33 is at least an obtuse angle (an angle greater than 90 ° and less than 180 °), but is preferably 95 ° to 165 °, and more preferably 110 ° to 130 °. preferable. When the angle θ is less than 95 °, the air is difficult to escape from the inclined step portion 33 when the plated layers 26a and 26b are formed, and the first electrode is used when the lower surface electrodes 27a and 27b are etched using a photolithography technique. This is not preferable because the photoresist on the inclined surface 12d of the substrate 12 is not sufficiently exposed. If the angle θ is larger than 165 °, the solder 28 is likely to leak from the inclined step portion 33, which is not preferable.

また、第1基板12の下面12bのX方向の長さ120Xは、接続部22a、22bの下端の開口位置に影響するので、ある一定範囲の長さに形成されるのが好ましい。特に、22a、22bと第1基板12の下面12bの角部との間隔dが、100μm以上になるように、長さ120Xが調整されるのが好ましい。間隔dが、100μm未満であると、接続部22a、22bが形成しにくくなるので好ましくない。なお、長さ120Xは、第1基板12の上面の長さ12X、傾斜段部33の角度θ、及び第1基板12の厚さ12tの3つの設定を変更することにより、調節できる。   In addition, since the length 120X in the X direction of the lower surface 12b of the first substrate 12 affects the opening position of the lower ends of the connecting portions 22a and 22b, it is preferably formed in a certain range of length. In particular, the length 120X is preferably adjusted such that the distance d between 22a and 22b and the corner of the lower surface 12b of the first substrate 12 is 100 μm or more. If the distance d is less than 100 μm, it is difficult to form the connection portions 22a and 22b, which is not preferable. The length 120X can be adjusted by changing three settings: the length 12X of the upper surface of the first substrate 12, the angle θ of the inclined step portion 33, and the thickness 12t of the first substrate 12.

第2金属膜25a、25bは、第1基板12と第2基板14との間で接続部22a、22bと接触しているので、接続部22a、22bの内部にこもりやすい熱を外部に逃がす放熱経路として有効である。これにより、半導体発光装置10の積層基板15が反るなどの熱による悪影響を抑制することができる。また発光素子18から発生する熱を効率的に外部に逃すことができる。なお、それぞれの第2金属膜25a、25bは、短絡しないように間隔をあけて形成され、第2金属膜25a、25bの短絡を避けるために、固定部材36には絶縁性の固定用材料(例えば接着剤)を使用する。   Since the second metal films 25a and 25b are in contact with the connection portions 22a and 22b between the first substrate 12 and the second substrate 14, heat dissipation that releases heat that tends to be trapped inside the connection portions 22a and 22b to the outside. It is effective as a route. Thereby, the bad influence by heat, such as the multilayer substrate 15 of the semiconductor light-emitting device 10, warping can be suppressed. Further, the heat generated from the light emitting element 18 can be efficiently released to the outside. The second metal films 25a and 25b are formed at intervals so as not to be short-circuited. In order to avoid short-circuiting of the second metal films 25a and 25b, the fixing member 36 has an insulating fixing material ( For example, an adhesive) is used.

次に、本実施の形態に係る発光装置の製造方法について説明する。
1.積層板状体152の作製
図3は、第1基板12を形成するための第1板状体122と、第2基板14を形成するための第2板状体142とを示している。この第1板状体122及び第2板状体142は、複数個の発光装置10を同時に形成することができる。
Next, a method for manufacturing the light emitting device according to this embodiment will be described.
1. Production of Laminate Plate 152 FIG. 3 shows a first plate 122 for forming the first substrate 12 and a second plate 142 for forming the second substrate 14. The first plate body 122 and the second plate body 142 can form a plurality of light emitting devices 10 simultaneously.

第1板状体122には、Y方向に長いスロット52が複数(この例では2つ)並列して形成されている。このスロット52には、第1板状体122の下面122a側の周辺および内壁に、第1金属膜の一部241a、241b(スロットの左右で区別されている)が被覆されている。なお、スロット52周辺の上面側122aには、金属膜は被覆されていない。隣接するスロット52の周辺に形成された第1金属膜の一部241a、241bは、互いが接触しないように間隔をあけて成膜されている。
スロット52のX方向の寸法は、第1板状体122の下面122bから上面122aに向かって狭くなるように形成されており、これにより、スロット52の断面形状が台形になっている。これにより、スロット52の間に位置している第1板状体122の帯状部分123(後に第1基板12となる)の断面形状を逆台形にすることができる。
In the first plate-like body 122, a plurality (two in this example) of slots 52 that are long in the Y direction are formed in parallel. The slot 52 is covered with portions 241a and 241b of the first metal film (distinguished on the left and right of the slot) on the periphery and the inner wall of the first plate 122 on the lower surface 122a side. The upper surface 122a around the slot 52 is not covered with a metal film. The portions 241a and 241b of the first metal film formed around the adjacent slot 52 are formed at intervals so as not to contact each other.
The dimension of the slot 52 in the X direction is formed so as to become narrower from the lower surface 122b of the first plate-like body 122 toward the upper surface 122a, whereby the cross-sectional shape of the slot 52 is trapezoidal. As a result, the cross-sectional shape of the band-like portion 123 (which will later become the first substrate 12) of the first plate-like body 122 located between the slots 52 can be inverted trapezoidal.

第2板状体142は、裏面142b側に、Y方向に延びた複数の第2金属膜25a、25b(この例では2つ)が形成されている。第2金属膜25a、25bは、第1板状体122のスロット52の形成位置に位置合わせしてパターニングされている。また、隣接する第2金属膜25a、25b同士は、互いに接触しないように間隔をあけて成膜されている。   The second plate-like body 142 has a plurality of second metal films 25a and 25b (two in this example) extending in the Y direction on the back surface 142b side. The second metal films 25 a and 25 b are patterned in alignment with the positions where the slots 52 of the first plate-like body 122 are formed. Further, the adjacent second metal films 25a and 25b are formed at intervals so as not to contact each other.

図3の第1板状体122と第2板状体142とは、固定材層36を間に挟んで積層して、図4Aに示すような積層板状体152を形成する。このとき、Z方向から観察して、第1板状体122のスロット52から、第2板状体142の第2金属膜25a、25bが部分的に露出するように、第1板状体122と第2板状体142とを位置合わせをして積層する。
この位置合わせがずれると、個々の発光装置10に分割するときに、第1基板12及び第2基板14のそれぞれに設定された切断位置がずれてしまうので、分割後の発光装置10が不良品になる恐れがある。よって、第1板状体122のスロットと、第2板状体142の第2金属膜25a、25bとの位置をできるだけ精度よく位置合わせするのが好ましい。
The first plate 122 and the second plate 142 in FIG. 3 are stacked with the fixing material layer 36 interposed therebetween to form a stacked plate 152 as shown in FIG. 4A. At this time, the first plate 122 is observed from the Z direction so that the second metal films 25 a and 25 b of the second plate 142 are partially exposed from the slot 52 of the first plate 122. And the second plate-like body 142 are aligned and stacked.
If this alignment is misaligned, the cutting positions set for the first substrate 12 and the second substrate 14 will be deviated when the light emitting device 10 is divided into individual light emitting devices 10, so that the light emitting device 10 after the division is defective. There is a risk of becoming. Therefore, it is preferable to align the slots of the first plate 122 and the second metal films 25a and 25b of the second plate 142 as accurately as possible.

2.積層板状体152の加工
図4Aのように積層した積層板状体152に、第1板状体122の下面から第2板状体142の上面まで貫通した貫通孔34を形成する(図4B参照)。貫通孔は、第1板状体122の2つのスロット52の間に、X方向に2つ並べて形成する。特に、各貫通孔34が、第2金属膜25a、25bを貫通するように位置を決定するのが良い。なお、複数の発光装置10を同時に形成するときには、1つの発光装置10当たり、X方向に並んだ2つの貫通孔34を含むように、積層板状体152に必要な個数の貫通孔34を形成する。
2. Processing of laminated plate-like body 152 Through-hole 34 penetrating from the lower surface of first plate-like body 122 to the upper surface of second plate-like body 142 is formed in laminated plate-like body 152 laminated as shown in FIG. 4A (FIG. 4B). reference). Two through holes are formed side by side in the X direction between the two slots 52 of the first plate-like body 122. In particular, the position of each through hole 34 is preferably determined so as to penetrate the second metal films 25a and 25b. When a plurality of light emitting devices 10 are simultaneously formed, the necessary number of through holes 34 are formed in the laminated plate-like body 152 so that each light emitting device 10 includes two through holes 34 arranged in the X direction. To do.

形成した貫通孔34に金属ペーストを充填し、又は貫通孔34内に金属メッキを施して、接続部22a、22bを形成する。接続部22a、22bの上端(第2板状体142の上面側)には上面電極16a、16bを形成する。また、接続部22a、22bの下端(第1板状体122の下面側)には、第1金属膜の一部241a、241bから延設された金属膜(この延設された金属膜と、第1金属膜の一部241a、241bとから、第1金属膜24a、24bが構成される)が形成される(図4C参照)。   The formed through-hole 34 is filled with a metal paste, or metal plating is performed in the through-hole 34 to form the connecting portions 22a and 22b. Upper surface electrodes 16a and 16b are formed on the upper ends of the connection portions 22a and 22b (the upper surface side of the second plate-like body 142). Further, at the lower ends of the connection portions 22a and 22b (the lower surface side of the first plate-like body 122), a metal film extending from the first metal film portions 241a and 241b (this extended metal film and The first metal films 24a and 24b are formed from the first metal film portions 241a and 241b) (see FIG. 4C).

3.下面電極27a、27bの形成
第1板状体122と第2板状体142とを積層したときに、第1金属膜24a、24bと第2金属膜25a、25bとは絶縁性の固定材層36によって絶縁されるか、または僅かに接触する状態である。そこで、第1金属膜24a、24bと第2金属膜25a、25bとの導通を確保するために、それらの金属膜を覆うメッキ層26a、26bを形成する。メッキ層26a、26bは、電解メッキ法によって形成するのが好ましく、導電性の第1金属膜24a、24b及び第2金属膜25a、25bの上に、選択的にメッキすることができる。本実施の形態では、電解浴に浸漬したときに空気が逃げにくい積層板状体152の段差部分を角度θの傾斜段部33とすることにより、空気の逃げを良くすることができる。これにより、傾斜段部33に形成された第1金属膜24a、24b及び第2金属膜25a、25bの表面に、電解液が十分に接触し、所望の厚さのメッキ層26a、26bを形成することができる。
こうして、第1金属膜24a、24b、第2金属膜25a、25b、及びメッキ層26a、26bから成る下面電極27a、27bが形成される(図4D参照)。
3. Formation of lower surface electrodes 27a, 27b When the first plate 122 and the second plate 142 are laminated, the first metal films 24a, 24b and the second metal films 25a, 25b are insulative fixing material layers. Insulated by 36 or in slight contact. Therefore, in order to ensure electrical continuity between the first metal films 24a and 24b and the second metal films 25a and 25b, plating layers 26a and 26b covering these metal films are formed. The plating layers 26a and 26b are preferably formed by electrolytic plating, and can be selectively plated on the conductive first metal films 24a and 24b and the second metal films 25a and 25b. In the present embodiment, air escape can be improved by making the stepped portion of the laminated plate-like body 152 where the air hardly escapes when immersed in the electrolytic bath into the inclined stepped portion 33 having the angle θ. As a result, the electrolytic solution is sufficiently in contact with the surfaces of the first metal films 24a and 24b and the second metal films 25a and 25b formed on the inclined step portion 33, thereby forming plated layers 26a and 26b having desired thicknesses. can do.
In this way, lower surface electrodes 27a and 27b composed of the first metal films 24a and 24b, the second metal films 25a and 25b, and the plating layers 26a and 26b are formed (see FIG. 4D).

形成された下面電極27a、27bは、さらにフォトリソグラフィー技術によってパターニングされて、所望の電極形状に成形される(図4D参照)。パターニングは、フォトレジスト(図示せず)を用いたエッチングで行われ、まず下面電極27a、27bの表面にフォトレジストを塗布し、所望の電極形状を有するマスク46で覆った状態で光Lを照射して、フォトレジストを所定パターンに感光させる。そして、フォトレジストで部分的に保護された下面電極27a、27bをエッチングすることにより、所望のパターンの下面電極27a、27bが得られる。   The formed lower surface electrodes 27a and 27b are further patterned by a photolithography technique to be formed into a desired electrode shape (see FIG. 4D). The patterning is performed by etching using a photoresist (not shown). First, a photoresist is applied to the surfaces of the lower surface electrodes 27a and 27b, and the light L is irradiated in a state of being covered with a mask 46 having a desired electrode shape. Then, the photoresist is exposed to a predetermined pattern. Then, the lower surface electrodes 27a and 27b partially protected with the photoresist are etched to obtain the lower surface electrodes 27a and 27b having a desired pattern.

図5Aのように、パターニングされた下面電極27a、27bは、X方向に延び、Y方向に断続する縞状の除去部272により分断される。除去部272からは、基板12の傾斜部12dが露出している。また、第1板状体122と第2板状体142との間に位置してエッチングされずに残った第2金属膜25a、25bも、除去部272から露出する。
本実施の形態では、第1板状体122の側部を傾斜部12dとすることにより、フォトレジストの感光のときに、第1板状体122の傾斜部12dを含む下面電極27a、27bの表面全体を光Lによって十分に露光できる。よって、フォトレジストがマスク46の形状どおりに感光し、下面電極27a、27bを所定の形状にパターニングすることができる。
As shown in FIG. 5A, the patterned lower surface electrodes 27a and 27b are divided by striped removal portions 272 that extend in the X direction and are intermittent in the Y direction. From the removal portion 272, the inclined portion 12d of the substrate 12 is exposed. In addition, the second metal films 25 a and 25 b that are located between the first plate 122 and the second plate 142 and remain without being etched are also exposed from the removing portion 272.
In the present embodiment, the side portions of the first plate-like body 122 are inclined portions 12d, so that the lower surface electrodes 27a and 27b including the inclined portions 12d of the first plate-like body 122 are exposed during photoresist exposure. The entire surface can be sufficiently exposed by the light L. Therefore, the photoresist is exposed according to the shape of the mask 46, and the lower surface electrodes 27a and 27b can be patterned into a predetermined shape.

4.発光素子18の実装
下面電極27a、27bのパターニングが完了した積層板状体152に、発光素子18を実装する。発光素子18は、積層板状体152の上面に、2つの上面電極16a、16bの間に位置するようにダイボンドされる。そして、発光素子18の電極は、導電性ワイヤ38a、38bによって、積層板状体152の上面電極16a、16にワイヤボンドされる(図4E参照)。複数の発光装置10を同時に製造する場合には、Y方向に沿って複数の発光素子18を実装することができる。
4). The light emitting element 18 is mounted on the laminated plate-like body 152 in which the patterning of the mounting lower surface electrodes 27a and 27b of the light emitting element 18 is completed. The light emitting element 18 is die-bonded on the upper surface of the laminated plate-like body 152 so as to be positioned between the two upper surface electrodes 16a and 16b. And the electrode of the light emitting element 18 is wire-bonded to the upper surface electrodes 16a and 16 of the laminated plate-like body 152 by the conductive wires 38a and 38b (see FIG. 4E). When a plurality of light emitting devices 10 are manufactured at the same time, a plurality of light emitting elements 18 can be mounted along the Y direction.

5.透明樹脂層20の形成
積層板状体152の上面に、発光素子18、上面電極16a、16b及び導電性ワイヤ38a、38bを封止する透明樹脂層20を形成する(図4F及び図5B参照)。図4Fのように、X方向に並列に実装された複数の発光素子18に、同時に透明樹脂20を形成することができる。また、図5Bのように、Y方向に実装された複数の発光素子18に、同時に透明樹脂層20を設けることもできる。透明樹脂層20は2層以上の複数層でもよい。例えば、蛍光体が含有された1層目が発光素子を覆うように形成されており、フィラーが含有された2層目が該1層目を覆うように形成された透明樹脂層20とすることもできる。
透明樹脂層20は、レンズ形状を有する金型を用い、トランスファモールド、圧縮成形、射出成形などの方法により形成可能である。なお、透明樹脂層20には、発光素子18からの発光を波長変換するための蛍光体を含んでもよい。
5). Formation of the transparent resin layer 20 The transparent resin layer 20 that seals the light emitting element 18, the upper surface electrodes 16a and 16b, and the conductive wires 38a and 38b is formed on the upper surface of the laminated plate-like body 152 (see FIGS. 4F and 5B). . As shown in FIG. 4F, the transparent resin 20 can be simultaneously formed on the plurality of light emitting elements 18 mounted in parallel in the X direction. Further, as shown in FIG. 5B, the transparent resin layer 20 can be provided simultaneously on the plurality of light emitting elements 18 mounted in the Y direction. The transparent resin layer 20 may be two or more layers. For example, the transparent resin layer 20 is formed so that the first layer containing the phosphor covers the light emitting element, and the second layer containing the filler covers the first layer. You can also.
The transparent resin layer 20 can be formed by a method such as transfer molding, compression molding, injection molding, or the like, using a lens-shaped mold. The transparent resin layer 20 may include a phosphor for converting the wavelength of light emitted from the light emitting element 18.

6.発光装置10への分割
最後に、図5A及び図5Bの切断線C及びCに沿って積層板状体152を切断する。切断線C及びCは、切断後の各発光装置10に、1つの発光素子18と一対の接続部22a、22bとが含まれるように設定される。なお、切断線Cは、第1基板12のスロット52の中心線に一致している。
切断後は、図4Gに示すように、個々に分割された発光装置10が、同時に複数得られる。得られた発光装置10の傾斜段部33は、図6に示すように、発光装置10の表面10a側に接する下面電極27a、27bが、除去部272によって十分に除去されているので、図12に示すような未除去部270が存在せず、よって発光装置10の表面10aにはバリ50が発生しない。
6). The split end of the light emitting device 10 to cut the laminate plate body 152 along section line C 1 and C 2 in FIG. 5A and 5B. Cut lines C 1 and C 2, each light emitting device 10 after cutting, one of the light emitting element 18 and a pair of connecting portions 22a, is set to include and 22b. The cutting line C 2 coincides with the center line of the slot 52 of the first substrate 12.
After the cutting, as shown in FIG. 4G, a plurality of individually divided light emitting devices 10 can be obtained at the same time. As shown in FIG. 6, the lower surface electrodes 27a and 27b in contact with the surface 10a side of the light emitting device 10 are sufficiently removed by the removing portion 272 in the obtained inclined step portion 33 of the light emitting device 10. The unremoved portion 270 as shown in FIG. 6 does not exist, and therefore the burr 50 is not generated on the surface 10 a of the light emitting device 10.

本実施の形態の製造方法は、スロット52を有する第1板状体122を第2板状体142に積層し、最後にスロット52の長手方向に延びる中心線に一致する切断線Cと、それに直交する切断線Cとによって切断することにより、長さの異なる第1基板12と第2基板とを積層した積層基板15を備えた発光装置を、同時に多数形成することができる。また、断面逆台形の第1基板12を有する積層基板15を、断面台形のスロットを備えた第1板状体122を用いることで、容易に製造することができる。さらに、小型の発光装置10の製造であっても、比較的ハンドリングしやすい寸法形状の基板で製造して、最後に平行に切断すれば、簡単に製造することができる。 Manufacturing method of the present embodiment, by laminating a first plate-like body 122 having a slot 52 in the second plate member 142, the cutting line C 2, which coincides with the center line of the last extending in the longitudinal direction of the slot 52, by cutting by the cutting line C 1 perpendicular thereto, a light-emitting device having multilayer substrate 15 obtained by laminating a first substrate 12 having different lengths and the second substrate may be a large number at the same time. Further, the laminated substrate 15 having the first substrate 12 having the inverted trapezoidal cross section can be easily manufactured by using the first plate-like body 122 having the trapezoidal cross section. Furthermore, even if the light emitting device 10 is manufactured in a small size, it can be easily manufactured by manufacturing it with a substrate having a dimension and shape that is relatively easy to handle and finally cutting in parallel.

以下、発光装置10の各構成について詳細に説明する。   Hereinafter, each configuration of the light emitting device 10 will be described in detail.

(第1基板12、第2基板14)
第1基板12及び第2基板14は、適当な機械的強度と絶縁性を有する材料であれば特に限定されない。例えば、BTレジン、ガラスエポキシ等を用いることができる。また、エポキシ系樹脂シートを多層張り合わせたものでも良い。
(First substrate 12, second substrate 14)
The first substrate 12 and the second substrate 14 are not particularly limited as long as the materials have appropriate mechanical strength and insulating properties. For example, BT resin, glass epoxy, or the like can be used. Moreover, what laminated | stacked the multilayered epoxy resin sheet may be used.

(上面電極16a、16b、第1金属膜24a、24b、第2金属膜25a、25b)
第1基板12及び第2基板14に形成する上面電極16a、16b、第1金属膜24a、24b、及び第2金属膜25a、25bは、Cuを主成分とする金属層とすることが好ましく、例えば、Cu/Ni/Agによって構成することができる。
(Top electrodes 16a and 16b, first metal films 24a and 24b, second metal films 25a and 25b)
The top electrodes 16a and 16b, the first metal films 24a and 24b, and the second metal films 25a and 25b formed on the first substrate 12 and the second substrate 14 are preferably metal layers mainly composed of Cu, For example, it can be composed of Cu / Ni / Ag.

(メッキ層26a、26b)
第1基板12の表面に形成されるメッキ層26a、26bは、電解メッキによって形成されており、Niを下地層とし、Agを表面に配置する構成が好ましい。NiとAgとの間にAuなどを設けてもよい。また、Agの代わりにPd、Rhなどを用いても良い。Ni層の厚さは3μm以上、Ag層の厚さは2μm以上が好ましいが、適宜変更することもできる。
(Plating layers 26a, 26b)
The plated layers 26a and 26b formed on the surface of the first substrate 12 are formed by electrolytic plating, and it is preferable that Ni be an underlayer and Ag be disposed on the surface. Au or the like may be provided between Ni and Ag. Further, Pd, Rh, etc. may be used instead of Ag. The thickness of the Ni layer is preferably 3 μm or more, and the thickness of the Ag layer is preferably 2 μm or more, but can be appropriately changed.

(接続部22a、22b)
接続部22a、22bは、貫通孔34に、銅ペースト、銀ペーストなどの導電部材を充填して形成することができる。金属ペーストは、上面電極16a、16b及び第1金属膜24a、24bによって、貫通孔内に封止される。
また、接続部22a、22bは、無電界メッキ等により形成した導電性被膜から形成することもできる。このとき、導電性被膜が貫通孔34を一部又は全部を充填してもよいし、貫通孔34の内壁のみを被覆して空洞部を残してもよい。空洞部が残存する場合には、そこにエポキシ樹脂などの絶縁材料を充填してもよい。
(Connection 22a, 22b)
The connecting portions 22a and 22b can be formed by filling the through holes 34 with a conductive member such as copper paste or silver paste. The metal paste is sealed in the through hole by the upper surface electrodes 16a and 16b and the first metal films 24a and 24b.
Moreover, the connection parts 22a and 22b can also be formed from a conductive film formed by electroless plating or the like. At this time, the conductive coating may fill part or all of the through-hole 34, or only the inner wall of the through-hole 34 may be covered to leave the cavity. If the cavity remains, it may be filled with an insulating material such as an epoxy resin.

(固定部材36)
固定部材36は、第1基板12及び第2基板14との接着性が良好で、且つメッキ層26a、26bや接続部22a、22bの間を絶縁できる絶縁性の接着剤や接着シートから形成することができる。好ましい固定部材36としては、エポキシ樹脂や変性シリコーン樹脂、シリコーン樹脂などを用いることができる。
(Fixing member 36)
The fixing member 36 is formed of an insulating adhesive or adhesive sheet that has good adhesion to the first substrate 12 and the second substrate 14 and can insulate between the plating layers 26a and 26b and the connection portions 22a and 22b. be able to. As the preferable fixing member 36, an epoxy resin, a modified silicone resin, a silicone resin, or the like can be used.

(発光素子18)
発光素子18には、半導体発光素子が好ましく利用される。特に、バックライト用の白色発光装置を作製する場合には、発光素子に短波長を発する発光ダイオードを用いて、蛍光体により発光の一部を他の色に波長変換する方法が採用できる。以下に、白色発光装置に利用できる発光ダイオードと蛍光体との組み合わせについて説明する。
(Light emitting element 18)
A semiconductor light emitting element is preferably used for the light emitting element 18. In particular, when a white light emitting device for a backlight is manufactured, a method of converting a part of emitted light into another color by a phosphor using a light emitting diode that emits a short wavelength to the light emitting element can be adopted. Below, the combination of the light emitting diode which can be utilized for a white light-emitting device and fluorescent substance is demonstrated.

白色の発光装置を構成するのに適した発光ダイオードとして、窒化物半導体(InAlGa1−X−YN、0≦X、0≦Y、X+Y≦1)のを用いたものを用いることができる。この発光ダイオードは、InGa1-xN(0<x<1)を発光層として有しており、その混晶度によって発光波長を約365nmから650nmで任意に変えることができる。
白色系の光を発光させる場合は、蛍光体から出射される光との補色関係を考慮すると、発光ダイオード8の発光波長は400nm以上530nm以下に設定することが好ましく、420nm以上490nm以下に設定することがより好ましい。なお、蛍光体の種類を選択することにより、400nmより短い紫外域の波長の光を発光するLEDチップを適用することもできる。
As a light-emitting diode suitable for constituting a white light-emitting device, used after using nitride semiconductor (In X Al Y Ga 1- X-Y N, 0 ≦ X, 0 ≦ Y, X + Y ≦ 1) that the be able to. This light emitting diode has In x Ga 1-x N (0 <x <1) as a light emitting layer, and the light emission wavelength can be arbitrarily changed from about 365 nm to 650 nm depending on the degree of mixed crystal.
In the case of emitting white light, considering the complementary color relationship with the light emitted from the phosphor, the emission wavelength of the light emitting diode 8 is preferably set to 400 nm or more and 530 nm or less, and set to 420 nm or more and 490 nm or less. It is more preferable. An LED chip that emits light having a wavelength in the ultraviolet region shorter than 400 nm can also be applied by selecting the type of phosphor.

蛍光体は、例えば、窒化物系半導体を発光層とする半導体発光ダイオード8からの光を吸収し異なる波長の光に波長変換するものであればよい。例えば、Eu、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される窒化物系蛍光体・酸窒化物系蛍光体、Eu等のランタノイド系、Mn等の遷移金属系の元素により主に付活されるアルカリ土類ハロゲンアパタイト蛍光体、アルカリ土類金属ホウ酸ハロゲン蛍光体、アルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体、アルカリ土類ケイ酸塩、アルカリ土類硫化物、アルカリ土類チオガレート、アルカリ土類窒化ケイ素、ゲルマン酸塩、又は、Ce等のランタノイド系元素で主に付活される希土類アルミン酸塩、希土類ケイ酸塩又はEu等のランタノイド系元素で主に賦活される有機及び有機錯体等から選ばれる少なくともいずれか1以上であることが好ましい。特に、セリウムで賦活したアルミニウムガーネットMAl12:Ce(MはY、Tb、Lu等)が好ましく、組成の一部をGd、Gaなどの他の元素で置換しても良い。 The phosphor may be any material that absorbs light from the semiconductor light-emitting diode 8 having a nitride-based semiconductor as a light-emitting layer and converts the light into light having a different wavelength. For example, it is mainly activated by nitride-based phosphors / oxynitride-based phosphors mainly activated by lanthanoid elements such as Eu and Ce, lanthanoid-based phosphors such as Eu, and transition metal elements such as Mn. Alkaline earth halogen apatite phosphor, alkaline earth metal borate phosphor, alkaline earth metal aluminate phosphor, alkaline earth silicate, alkaline earth sulfide, alkaline earth thiogallate, alkaline earth nitriding Selected from organic and organic complexes mainly activated by lanthanoid elements such as silicon, germanate or lanthanoid elements such as Ce, rare earth aluminate, rare earth silicate or Eu It is preferable that it is at least any one or more. In particular, aluminum garnet M 3 Al 5 O 12 : Ce (M is Y, Tb, Lu or the like) activated with cerium is preferable, and a part of the composition may be substituted with other elements such as Gd or Ga.

(透明樹脂層20)
透明樹脂層20の材料は、発光素子18の発光を透過し、使用時に変質しにくい材料であれば特に限定されない。例えば、エポキシ、シリコーン、変成シリコーン、ウレタン樹脂、オキセタン樹脂、アクリル、ポリカーボネイト、ポリイミドなどの樹脂を用いることができる。さらに、樹脂以外にガラスを用いることができる。第1透明樹脂層12中にフィラーや拡散材が分散されていても良い。尚、透明樹脂層20は、発光素子18の熱を受け易いため、耐熱性の良好な樹脂であることが好ましい。例えば、エポキシ、シリコーン樹脂、変成シリコーン樹脂、オキセタン樹脂を用いることが好ましい。透明樹脂層20の粘度は、硬化前で100〜2000mPa・sであることが好ましい。ここで「粘度」とは、円錐平板型回転粘度計を用い、常温下で測定したものを指す。また、透明樹脂層20は、硬化条件が80℃〜180℃、数分〜数時間の下で形状を維持できる程度の硬さになる樹脂であることが望ましい。
(Transparent resin layer 20)
The material of the transparent resin layer 20 is not particularly limited as long as it is a material that transmits the light emitted from the light emitting element 18 and hardly changes its quality during use. For example, resins such as epoxy, silicone, modified silicone, urethane resin, oxetane resin, acrylic, polycarbonate, and polyimide can be used. Furthermore, glass can be used in addition to the resin. A filler or a diffusing material may be dispersed in the first transparent resin layer 12. In addition, since the transparent resin layer 20 is easy to receive the heat | fever of the light emitting element 18, it is preferable that it is resin with favorable heat resistance. For example, it is preferable to use an epoxy, a silicone resin, a modified silicone resin, or an oxetane resin. The viscosity of the transparent resin layer 20 is preferably 100 to 2000 mPa · s before curing. Here, “viscosity” refers to a value measured at room temperature using a conical plate type rotational viscometer. In addition, the transparent resin layer 20 is desirably a resin having a hardness that can maintain the shape under curing conditions of 80 ° C. to 180 ° C. and several minutes to several hours.

本実施の形態では、透明樹脂層20にシリンドリカル状のレンズを形成しているが、このレンズは、実装面に平行な方向に大きなレンズ径を有することが好ましい。これは実装面に平行な方向は、実装面に垂直な方向に比べて配光特性を制御する必要性が高いからである。
また、蛍光体を用いて白色発光装置を形成する場合には、この透明樹脂層20に蛍光体を混入するのが好ましい。蛍光体は、透明樹脂層に均一に分散してもよいが、特に、発光素子18の近傍に偏在すると、視認方向による色むらを抑制できるので好ましい。
In the present embodiment, a cylindrical lens is formed on the transparent resin layer 20, but this lens preferably has a large lens diameter in a direction parallel to the mounting surface. This is because the direction parallel to the mounting surface needs to control the light distribution characteristics higher than the direction perpendicular to the mounting surface.
Moreover, when forming a white light emitting device using a phosphor, it is preferable to mix the phosphor into the transparent resin layer 20. The phosphor may be uniformly dispersed in the transparent resin layer, but it is particularly preferable that the phosphor is unevenly distributed in the vicinity of the light emitting element 18 because color unevenness due to the viewing direction can be suppressed.

<実施の形態2>
本実施の形態にかかる発光装置10は、図7及び図8に図示しているように、第1基板12に相当する部位と第2基板14に相当する部位とが一体に形成されて、単一基板150を構成している。そのため、実施の形態1とは異なり、本実施の形態では第2基板14の下面12aに第2金属膜25a、25bが形成されていない。また、第1基板12に第1金属膜24a、24bを形成する代わりに、下面電極27a、27bを直接形成している。また、本実施の形態では、実施の形態1のような固定部材36を備えていない。これらの構成以外は、実施の形態1と同様である。
これらの相違により、実施の形態1の製造方法において、第1板状体122と第2板状体142とを積層して積層板状体152を形成する代わりに、単一の板状体を加工して同様の形状を形成している。
<Embodiment 2>
As shown in FIGS. 7 and 8, the light emitting device 10 according to the present embodiment has a portion corresponding to the first substrate 12 and a portion corresponding to the second substrate 14 formed integrally. One substrate 150 is configured. Therefore, unlike the first embodiment, the second metal films 25a and 25b are not formed on the lower surface 12a of the second substrate 14 in the present embodiment. Further, instead of forming the first metal films 24a and 24b on the first substrate 12, the lower surface electrodes 27a and 27b are formed directly. Further, in the present embodiment, the fixing member 36 as in the first embodiment is not provided. Except for these configurations, the second embodiment is the same as the first embodiment.
Due to these differences, in the manufacturing method of the first embodiment, instead of laminating the first plate 122 and the second plate 142 to form the laminated plate 152, a single plate is used. The same shape is formed by processing.

単層板状体151の作製
図8は、単層基板150を形成するための単層板状体151であり、図3及び図4Aにおける第1板状体122のスロット52の代わりに、基板の厚さの途中まで掘り込んだ座グリ穴54を形成する。座グリ穴54は、断面形状が台形で、Y方向に長く延びた細長い形状にする。これにより、図4Aの積層板状体152と類似の断面を有する単層板状体151が得られる。本明細書では、単層板状体151のうち座グリ穴54が達していない連続部分を第1基板相当部121、座グリ穴54によって分離された島状部分を第2基板相当部141と称する。
Production of Single Layer Plate 151 FIG. 8 is a single layer plate 151 for forming a single layer substrate 150. Instead of the slot 52 of the first plate 122 in FIGS. 3 and 4A, the substrate A counterbore hole 54 is formed by digging partway through the thickness. The counterbore hole 54 has a trapezoidal cross-sectional shape and is elongated in the Y direction. Thereby, the single layer plate-like body 151 which has a cross section similar to the laminated plate-like body 152 of FIG. 4A is obtained. In the present specification, a continuous portion of the single-layer plate-like body 151 where the spot facing hole 54 has not reached is a first substrate equivalent portion 121, and an island portion separated by the spot facing hole 54 is a second substrate equivalent portion 141. Called.

このようにして形成された単層板状体151は、実施の形態1と同様に、接続部22a、22b、上面電極16a、16b、下面電極27a、27bを形成し、下面電極27a、27bをパターニングし、発光素子18を実装した後に透明樹脂層20を形成する。そして、図5Bに示すように切断線C及びCで発光装置10に分割するときには、切断線Cを、座グリ穴54の長手方向(Y方向)の中心線と一致させる。 The single-layer plate-like body 151 formed in this way forms connection portions 22a and 22b, upper surface electrodes 16a and 16b, lower surface electrodes 27a and 27b, and lower surface electrodes 27a and 27b as in the first embodiment. After patterning and mounting the light emitting element 18, the transparent resin layer 20 is formed. Then, when divided into the light-emitting device 10 along the line C 1 and C 2 as shown in Figure 5B, the cutting line C 2, to coincide with the center line of the longitudinal direction of the spot facing hole 54 (Y-direction).

本実施の形態の製造方法は、基板に細長い座グリ穴54を形成し、最後に座グリ穴54の長手方向に延びる中心線に一致する切断線Cと、それに直交する切断線Cとによって切断することにより、長さの異なる第1基板12と第2基板とを含む単層基板150を備えた発光装置10を、同時に多数形成することができる。また、断面逆台形の第1基板相当部121を有する単層基板150を、断面台形の座グリ穴54を備えた単層板状体151を用いることで、容易に製造することができる。さらに、小型の発光装置10の製造であっても、比較的ハンドリングしやすい寸法形状の単層板状体151で製造して、最後に平行に切断すれば、簡単に製造することができる。
そして、単層板状体151を用いた本実施の形態は、第1板状体122第2板状体142との位置合わせが不要であるので、第1基板12と第2基板14との位置ズレによる発光装置の不良品発生を防止できる。
The manufacturing method of this embodiment is to form an elongated countersunk holes 54 in the substrate, a cutting line C 2, which coincides with the center line extending in the longitudinal direction of the last counterbore hole 54, and the cutting line C 1 perpendicular thereto By cutting by the step, a large number of light emitting devices 10 including the single layer substrate 150 including the first substrate 12 and the second substrate having different lengths can be formed at the same time. Further, the single-layer substrate 150 having the first substrate equivalent portion 121 having the inverted trapezoidal cross section can be easily manufactured by using the single-layer plate-shaped body 151 having the counterbore countersunk hole 54. Furthermore, even if the light emitting device 10 is manufactured in a small size, it can be easily manufactured by manufacturing the single layer plate 151 having a dimension and shape that is relatively easy to handle and finally cutting in parallel.
In the present embodiment using the single-layer plate-like body 151, alignment between the first plate-like body 122 and the second plate-like body 142 is not necessary. Generation of defective products of the light emitting device due to misalignment can be prevented.

実施の形態1にかかる発光装置の実装状態を示す概略正面図である。FIG. 2 is a schematic front view showing a mounted state of the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の実装状態を示す概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing a mounted state of the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の基板の作製方法を説明する概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view illustrating a method for manufacturing a substrate of the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の下面電極のパターニングを示す概略側面図である。FIG. 3 is a schematic side view showing patterning of a lower surface electrode of the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の分割方法を説明する概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view illustrating a method for dividing the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態1にかかる発光装置の基板に形成された傾斜段差を示す部分概略斜視図である。FIG. 3 is a partial schematic perspective view showing an inclined step formed on the substrate of the light emitting device according to the first embodiment. 実施の形態2にかかる発光装置の実装状態を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the mounting state of the light-emitting device concerning Embodiment 2. FIG. 実施の形態2にかかる発光装置の基板の作製方法を説明する概略断面図である。10 is a schematic cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a substrate of a light emitting device according to Embodiment 2. FIG. 従来の発光装置の実装状態を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the mounting state of the conventional light-emitting device. 従来の発光装置の実装状態を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the mounting state of the conventional light-emitting device. 従来の発光装置の基板に形成された垂直段差を示す部分概略斜視図である。It is a partial schematic perspective view which shows the vertical level | step difference formed in the board | substrate of the conventional light-emitting device. 従来の発光装置の基板に形成された垂直段差を示す部分概略斜視図である。It is a partial schematic perspective view which shows the vertical level | step difference formed in the board | substrate of the conventional light-emitting device.

符号の説明Explanation of symbols

10 発光装置、 12 第1基板、 12a 第1基板の上面、 12b 第1基板の下面、 12d 第1基板の傾斜した側面、 14 第2基板、 15 積層基板、 16a、16b 上面電極、 18 発光素子、 20 透明樹脂層、22a、22b 接続部、 24a、24b 第1金属膜、 25a、25b 第2金属膜、 26a、26b メッキ層、 27a、27b 下面電極、 28 ハンダ、 33 傾斜段差、 36 固定部材、 46 マスク、 50 バリ、 52 第1基板のスロット、 54 座グリ穴、121 第1基板相当部、 122 第1板状体、 123 帯状部分、 141 第2基板相当部、 142 第2板状体、 150 単層基板、 152 積層板状体、 270 下面電極の未除去部分、 272 下面電極の除去部分

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Light-emitting device, 12 1st board | substrate, 12a Upper surface of 1st board | substrate, 12b Lower surface of 1st board | substrate, 12d The inclined side surface of 1st board | substrate, 14 2nd board | substrate, 15 Laminated board | substrate, 16a, 16b Upper surface electrode, 18 Light emitting element 20 transparent resin layer, 22a, 22b connecting portion, 24a, 24b first metal film, 25a, 25b second metal film, 26a, 26b plating layer, 27a, 27b bottom electrode, 28 solder, 33 inclined step, 36 fixing member , 46 mask, 50 burr, 52 slot of first substrate, 54 counterbore hole, 121 first substrate equivalent, 122 first plate-like body, 123 band-like portion, 141 second substrate equivalent portion, 142 second plate-like body , 150 single-layer substrate, 152 laminated plate-like body, 270 unremoved portion of lower surface electrode, 272 removed portion of lower surface electrode

Claims (7)

発光素子と、
前記発光素子を実装する上面と該上面に対向する下面とを備えた基板と、
前記基板の前記上面に形成され前記発光素子と接続された一対の上面電極と、
前記基板の前記下面に形成された一対の下面電極と、
前記上面電極と前記下面電極とを導通する接続部と、を備えた発光装置であって、
前記基板は、前記下面側に断面逆台形の突出部を有することによって段差を備え、
前記段差の側面は、前記段差の角度θが鈍角になるように、前記下面に対して傾斜しており、
前記下面電極が、少なくとも前記段差の傾斜した前記側面まで延設されていることを特徴とする発光装置。
A light emitting element;
A substrate having an upper surface on which the light emitting element is mounted and a lower surface facing the upper surface;
A pair of upper surface electrodes formed on the upper surface of the substrate and connected to the light emitting element;
A pair of lower surface electrodes formed on the lower surface of the substrate;
A light-emitting device comprising: a connecting portion for conducting the upper surface electrode and the lower surface electrode;
The substrate is provided with a step by having an inverted trapezoidal protrusion on the lower surface side,
The side surface of the step is inclined with respect to the lower surface so that the angle θ of the step is an obtuse angle,
The light emitting device, wherein the lower surface electrode extends to at least the side surface inclined by the step.
前記角度θが、95°〜165°であることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the angle θ is 95 ° to 165 °. 前記基板が、
断面逆台形で前記基板の下面側に配置される第1基板と、
前記第1基板の上面側に積層される第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板とを固定する固定部材と、を含む積層基板であることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光装置。
The substrate is
A first substrate having an inverted trapezoidal cross section and disposed on the lower surface side of the substrate;
A second substrate laminated on the upper surface side of the first substrate;
The light emitting device according to claim 1, wherein the light emitting device is a laminated substrate including a fixing member that fixes the first substrate and the second substrate.
前記接続部が、前記第1基板の下面から前記第2基板の上面まで貫通する貫通孔の内部に充填された導電材料から成り、
前記発光装置が、前記第1基板と前記第2基板との間で前記接続部に接触した金属膜をさらに備えており、
前記金属膜が、前記第2基板の下面に沿って延設されて、前記下面電極と接触していることを特徴とする請求項3に記載の発光装置。
The connection portion is made of a conductive material filled in a through-hole penetrating from the lower surface of the first substrate to the upper surface of the second substrate,
The light emitting device further includes a metal film in contact with the connecting portion between the first substrate and the second substrate,
The light emitting device according to claim 3, wherein the metal film extends along a lower surface of the second substrate and is in contact with the lower surface electrode.
前記基板が、
断面逆台形で前記基板の下面側に配置される第1基板に相当する部位と、
前記第1基板の上面側に一体に形成される第2基板に相当する部位と、を含む単層基板であることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光装置。
The substrate is
A portion corresponding to a first substrate disposed on the lower surface side of the substrate with an inverted trapezoidal cross section;
3. The light emitting device according to claim 1, wherein the light emitting device is a single layer substrate including a portion corresponding to a second substrate integrally formed on an upper surface side of the first substrate.
断面逆台形の帯状部分を含む第1板状体の上面側に第2板状体を積層して積層板状体を形成する工程と、
前記積層板状体の上面から下面まで貫通した複数の貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔の内部に導電性材料を配置して接続部を形成する工程と
前記積層板状体の上面に、前記接続部の上端と接触する上面電極を形成する工程と、
前記積層板状体の下面に、前記接続部の下端と接触する下面電極を形成する工程と、
前記積層板状体の上面に発光素子を実装する工程と、
前記第1基板の長手方向と略垂直方向に前記積層板状体を切断して、個々の発光装置に分離する工程とを備えることを特徴とする発光装置の製造方法。
A step of laminating a second plate-like body on the upper surface side of the first plate-like body including a strip-like portion having an inverted trapezoidal cross section to form a laminated plate-like body;
Forming a plurality of through holes penetrating from the upper surface to the lower surface of the laminated plate-like body;
A step of forming a connecting portion by disposing a conductive material inside the through hole; a step of forming an upper surface electrode in contact with the upper end of the connecting portion on the upper surface of the laminated plate-like body;
Forming a lower surface electrode in contact with the lower end of the connection portion on the lower surface of the laminated plate-like body;
Mounting a light emitting element on the top surface of the laminated plate,
A step of cutting the laminated plate-like body in a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the first substrate and separating the laminate into individual light emitting devices.
発光素子を実装するための上面と、該上面に対向する下面と、を備えた発光装置用基板であって、
前記基板の前記上面に形成されて前記発光素子と接続される一対の上面電極と、
前記基板の前記下面に形成された一対の下面電極と、
前記上面電極と前記下面電極とを導通する接続部と、を備え、
前記基板は、前記下面側に断面逆台形の突出部を有することによって段差を備え、
前記段差の側面は、前記段差の角度θが鈍角になるように、前記下面に対して傾斜しており、
前記下面電極が、少なくとも前記段差の傾斜した前記側面まで延設されていることを特徴とする発光装置用基板。
A light emitting device substrate comprising an upper surface for mounting a light emitting element and a lower surface facing the upper surface,
A pair of upper surface electrodes formed on the upper surface of the substrate and connected to the light emitting element;
A pair of lower surface electrodes formed on the lower surface of the substrate;
A connection portion for conducting the upper surface electrode and the lower surface electrode,
The substrate is provided with a step by having an inverted trapezoidal protrusion on the lower surface side,
The side surface of the step is inclined with respect to the lower surface so that the angle θ of the step is an obtuse angle,
The substrate for a light-emitting device, wherein the lower surface electrode is extended to at least the side surface inclined by the step.
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