JP5103163B2 - Memsモジュール - Google Patents
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Description
MEMSデバイスと、
前記MEMSデバイスが実装されたパッケージを有し、
前記パッケージは前記MEMSデバイスが載置された台座部及び前記台座部に設けられたリードピン挿通孔に挿通されたリードピンを備え、
前記リードピン挿通孔と前記リードピンの間に隙間が設けられていると共に、前記隙間に柔軟性を有する緩衝材が充填されて前記リードピンが前記台座部に固定されていることを特徴とするものである。
2 MEMSデバイス
3 パッケージ
4 SOI基板
5 中間酸化膜層
6 支持層
7 活性層
8 SiO2膜
9 下部電極
9a、9b、9c、9d、9e 下部電極
10 圧電膜
10a、10b、10c、10d 圧電膜
11 上部電極
11a、11b、11c、11d 上部電極
12a、12b、12c、12d 圧電アクチュエータ部
13 ミラー部
14 Al膜
15a、15b、15c、15d 振動部
16a、16b 弾性支持部
17 リードピン挿通孔
18 揺動空間
19 台座部
19a MEMSデバイス実装面
20 リードピン
20a 端面
21 ボンディングワイヤ
22 緩衝材
23 支持体
24a、24b 支持部
25a、25b、25c、25d 圧電アクチュエータ部
Claims (4)
- MEMSデバイスと、
前記MEMSデバイスが実装されたパッケージを有し、
前記パッケージは前記MEMSデバイスが載置された台座部及び前記台座部に設けられたリードピン挿通孔に挿通されたリードピンを備え、
前記リードピン挿通孔と前記リードピンの間に隙間が設けられていると共に、前記隙間に柔軟性を有する緩衝材が充填されて前記リードピンが前記台座部に固定されていることを特徴とするMEMSモジュール。 - 前記緩衝材はエラストマからなることを特徴とする請求項1に記載のMEMSモジュール。
- 前記エラストマはシリコーン樹脂、ウレタン樹脂、ポリプロピレン樹脂、及びニトリルゴムのうちの1つであることを特徴とする請求項2に記載のMEMSモジュール。
- 前記リードピンは、前記台座部の前記MEMSデバイスが載置される面よりも突出していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のMEMSモジュール。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2007336778A JP5103163B2 (ja) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Memsモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007336778A JP5103163B2 (ja) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Memsモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009154263A JP2009154263A (ja) | 2009-07-16 |
JP5103163B2 true JP5103163B2 (ja) | 2012-12-19 |
Family
ID=40958828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007336778A Active JP5103163B2 (ja) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Memsモジュール |
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CN109668703B (zh) * | 2018-12-17 | 2020-02-18 | 大连理工大学 | 一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法 |
CN109761187A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-05-17 | 中国科学院电子学研究所 | 用于降低mems传感器应力的组装结构及制备方法 |
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-
2007
- 2007-12-27 JP JP2007336778A patent/JP5103163B2/ja active Active
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