JP5102806B2 - リードフレームの製造方法、リードフレーム、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 - Google Patents

Description

本発明は、リードフレームの製造方法、リードフレーム、半導体装置の製造方法、及び半導体装置に関する。

近年、半導体装置（半導体パッケージ）の実装密度増大に伴い、ＩＣやＬＳＩ等の電子素子を搭載したリードフレームを絶縁性封止材にて封止した例えばＱＦＮ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ ｐａｃｋａｇｅ）等のノンリードパッケージの需要が高まっている。

ＱＦＮの製造方法の一つとして、個別封止法が知られている。個別封止法では、リードフレームに電子素子を搭載した後、リードフレームの底面を露出させつつ各電子素子を絶縁性封止材により個別に封止する。その後、隣接する電子素子の間を切断（ダイシング）して固片化することで半導体装置を製造する。また、より生産性の高いＱＦＮの製造方法として、ＭＡＰ法（Ｍｏｌｄｅｄ Ａｒｒａｙ Ｐａｃｋａｇｅ法。一括封止法とも呼ぶ）が知られている。ＭＡＰ法では、高密度にパターン形成されたリードフレームに複数の電子素子を搭載し、リードフレームの底面を露出させつつ複数の電子素子を絶縁性封止材により一括封止した後、隣接する電子素子の間を切断（ダイシング）して固片化することで半導体装置を製造する（例えば特許文献１参照）。

ＱＦＮの製造に用いられるリードフレームのパターンは、平状の金属板を打ち抜き加工したり、あるいはエッチング加工したりすることにより製造されている。特に、ＭＡＰ法で用いられるリードフレームは、高密度にパターン形成するためにエッチング加工が有効とされている。

特開２００３−３３２２６９号公報

しかしながら、Ｔａコンデンサのように高さ位置の異なる接続端子を備えた電子素子を平状のリードフレームに搭載する場合、これら高さ位置の異なる接続端子とリードフレームとの間をそれぞれワイヤボンディングにより接続する必要があり、半導体装置の製造コストが増大してしまう場合があった。

これに対して、リードフレームに立体構造を形成し、高さ位置の異なる接続端子とリードフレームとを直接に（すなわちワイヤボンディングを行うことなく）接続する方法も考えられる。しかしながら、高密度にパターン形成されたリードフレームに対して曲げ加工や接続用補助部材の取り付けを行うことは困難であり、製造コストが増大してしまう場合があった。

また、切断（ダイシング）により半導体装置を固片化する際には、リードフレームの余剰部をブレードにより切断する必要があるが、リードフレームの余剰部は金属から構成されているため、固片化の際のブレードの消耗が激しく、半導体装置の生産性が低下し、製造コストが増大してしまう場合があった。

本発明は、曲げ加工や接続用補助部材の取り付けを行うことなく立体構造を形成し、半導体装置を固片化する際のブレードの消耗を抑制することが可能なリードフレームの製造方法及びリードフレームを提供することを目的とする。また、本発明は、互いに高さ位置の異なる２つ以上の接続端子を備えた電子素子をリードフレームに容易に搭載でき、製造コストを低減させることが可能な半導体装置の製造方法、及び半導体装置を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様によれば、第１の金属板と絶縁性基材とを交差させつつ前記第１の金属板を打ち抜いて形成した第１の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程と、前記第１の金属板とは厚さの異なる第２の金属板と前記絶縁性基材とを交差させつつ前記第２の金属板を打ち抜いて形成した第２の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程と、を有するリードフレームの製造方法が提供される。

本発明の第２の態様によれば、前記絶縁性基材、前記第１の金属板、及び前記第２の金属板はそれぞれ条材として形成されており、前記第１の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程では、前記絶縁性基材と前記第１の金属板とを互いに交差させつつそれぞれ長手方向に搬送し、前記第２の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程では、前記絶縁性基材と前記第２の金属板とを互いに交差させつつそれぞれ長手方向に搬送する第１の態様に記載のリードフレームの製造方法が提供される。

本発明の第３の態様によれば、前記絶縁性基材の主面、前記絶縁性基材の主面と対向する前記第１の金属板の主面、前記絶縁性基材と対向する前記第２の金属板の主面のうち少なくともいずれか１の面には接着剤が塗布されている第１または第２の態様に記載のリードフレームの製造方法が提供される。

本発明の第４の態様によれば、前記第１の金属板は、前記第１の金属片の外周の一部のみを保持するように、第１の打ち抜き枠が予め形成され、前記第２の金属板には、前記第２の金属片の外周の一部のみを保持するように、第２の打ち抜き枠が予め形成されている第１から３のいずれかの態様に記載のリードフレームの製造方法が提供される。

本発明の第５の態様によれば、前記第１の金属板と前記第２の金属板とは互いに異なる種類の金属から構成されている第１から４のいずれかの態様に記載のリードフレームの製造方法が提供される。

本発明の第６の態様によれば、リードフレームを製造する工程と、互いに高さ位置の異なる２つ以上の接続端子を備えた電子素子を前記リードフレーム上に搭載する搭載工程と、を有する半導体装置の製造方法であって、前記リードフレームを製造する工程は、第１の金属板と絶縁性基材とを交差させつつ前記第１の金属板を打ち抜いて形成した第１の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程と、前記第１の金属板とは厚さの異なる第２の金属板と前記絶縁性基材とを交差させつつ前記第２の金属板を打ち抜いて形成した第２の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程と、を有し、前記搭載工程では、前記電子素子の備える一の接続端子と前記第１の金属片とを接続すると共に、前記電子素子の備える他の接続端子と前記第２の金属片とを接続する半導体装置の製造方法が提供される。

本発明の第７の態様によれば、前記第１の金属片と前記第２の金属片との差厚は、前記電子素子の備える前記一の接続端子と前記他の接続端子の高さの差に一致しており、前記搭載工程では、前記電子素子の備える一の接続端子と前記第１の金属片とを直接接続すると共に、前記電子素子の備える他の接続端子と前記第２の金属片とを直接接続する第６の態様に記載の半導体装置の製造方法が提供される。

本発明の第９の態様によれば、前記絶縁性基材の主面側の前記電子素子の周囲を絶縁性封止材で封止した後、前記第１の金属片及び前記第２の金属片から前記絶縁性基材を剥離して前記第１の金属片及び前記第２の金属片の底面を露出させる封止工程を有する第６又は第７の態様に記載の半導体装置の製造方法が提供される。

本発明にかかるリードフレームの製造方法及びリードフレームによれば、曲げ加工や接続用補助部材の取り付けを行うことなく立体構造を形成し、半導体装置を固片化する際のブレードの消耗を抑制することが可能となる。また、本発明に係る半導体装置の製造方法は、互いに高さ位置の異なる２つ以上の接続端子を備えた電子素子をリードフレームに容易に搭載でき、製造コストを低減させることが可能な半導体装置の製造方法、及び半導体装置を提供することを目的とする。

本実施形態にかかるリードフレームの製造方法を示す概略図である。 本実施形態にかかるリードフレームを用いたＭＡＰ法によるチップコンデンサの製造方法の一工程を示す概略図である。 本実施形態にかかるリードフレームを用いて製造したチップコンデンサの断面構成図である。 曲げ加工によりリードフレームに立体構造を形成しつつチップコンデンサを製造する工程の一部を示す概略図である。 平状の金属板条材と接続用補助部材とを組み合わせることによりリードフレームに立体構造を形成しつつチップコンデンサを製造する工程の一部を示す概略図である。 圧延により立体構造を形成したリードフレームを用いて製造したチップコンデンサの断面構成図である。

上述したように、ＱＦＮの製造に用いられるリードフレームは、平状の金属板を打ち抜き加工したり、あるいはエッチング加工したりすることにより製造されてきた。

しかしながら、例えばＴａ（タンタル）コンデンサ等の高さ位置の異なる接続端子を備えた電子素子を平状のリードフレームに搭載する場合、以下のような課題があった。つまり、Ｔａコンデンサは、側面から突出した陽極リード線と、側面に露出した陰極とを備えており、これらは高さ位置が互いに異なる。このように、高さ位置の異なる接続端子を備
えた電子素子を平状のリードフレームに搭載する場合、これら高さ位置の異なる接続端子とリードフレームとの間をワイヤボンディングにより接続する必要が生じ、半導体装置の製造コストが増大してしまう場合があった。

これに対し、平状の金属板からなるリードフレームに立体構造を形成して、高さ位置の異なる接続端子とリードフレームとを直接に（すなわちワイヤボンディングを行うことなく）接続する方法も考えられる。立体構造の形成方法としては、例えば、平状の金属板からなるリードフレームの曲げ加工や、平状の金属板からなるリードフレームへの接続用補助部材の取り付け等が考えられる。しかしながら、高密度にパターン形成されたリードフレームに対してこれらの作業を行うことは困難であって、半導体装置の歩留りが低下したり、半導体装置の製造コストが増大したりしてしまう場合があった。特に、ＭＡＰ法で用いられるリードフレームは高密度にパターン形成されているため、曲げ加工や接続用補助部材の取り付けを行うことは困難であった。

また、パターン形成された平状の金属板からなるリードフレームは、例えば枠部等の余剰部を有している。そして、切断（ダイシング）により半導体装置を固片化する際には、かかるリードフレームの余剰部をブレードにより切断する必要がある。しかしながら、リードフレームの余剰部は金属から構成されているため、固片化の際のブレードが激しく消耗し、半導体装置の生産性が低下してしまう場合があった。

そこで、発明者等は、曲げ加工や接続用補助部材の取り付けを行うことなく立体構造を形成し、半導体装置を固片化する際のブレードの消耗を抑制することが可能なリードフレームの製造方法について鋭意研究を行った。その結果、厚さの異なる２枚以上の金属板を打ち抜いて形成した金属片を絶縁性基材の主面上にそれぞれ固定することにより、上述の課題を解決可能であるとの知見を得た。

本発明は、発明者等が得たかかる知見を基になされた発明である。以下に本発明の一実施形態について説明する。

＜本発明の一実施形態＞
まず、本実施形態にかかるリードフレームの製造方法と、かかるリードフレームを用いたＭＡＰ法によるチップコンデンサの製造方法と、について順に説明する。

図１は、本実施形態にかかるリードフレームの製造方法を示す概略図である。図２は、本実施形態にかかるリードフレームを用いたＭＡＰ法によるチップコンデンサの製造方法の一工程を示す概略図である。図３は、本実施形態にかかるリードフレームを用いて製造したチップコンデンサの断面構成図である。

本実施形態にかかるリードフレームの製造方法は、第１の金属板２１と絶縁性基材１０とを交差させつつ第１の金属板２１を打ち抜いて形成した第１の金属片２０を絶縁性基材１０の主面上に固定する工程と、第１の金属板２１とは厚さの異なる第２の金属板３１と絶縁性基材１０とを交差させつつ第２の金属板３１を打ち抜いて形成した第２の金属片３０を絶縁性基材１０の主面上に固定する工程と、を有する。

好ましくは、図１に示すとおり、絶縁性基材１０、第１の金属板２１、及び第２の金属板３１は、それぞれ長尺状の条材として形成する。

そして、第１の金属片２０を絶縁性基材１０の主面上に固定する工程では、絶縁性基材１０と第１の金属板２１とを互いに交差させつつそれぞれ長手方向に搬送して断続的に一時停止させる。そして、一時停止させた状態で、かかる交差点に設けた第１の打ち抜き機
２２により第１の金属板２１を打ち抜いて第１の金属片２０を形成しつつ、形成した第１の金属片２０を絶縁性基材１０の主面上に押し付けて固定する。

次いで、第２の金属片３０を絶縁性基材１０の主面上に固定する工程では、絶縁性基材１０と第２の金属板３１とを互いに交差させつつそれぞれ長手方向に搬送して断続的に一時停止させる。そして、一時停止させた状態で、かかる交差点に設けた第２の打ち抜き機３２により第２の金属板３１を打ち抜いて第２の金属片３０を形成しつつ、形成した第２の金属片３０を絶縁性基材１０の主面上に押し付けて固定し、本実施形態にかかるリードフレーム１を製造する。

図２（ｂ）に、本実施形態にかかるリードフレーム１の長手方向に沿った断面構成図と上面図とをそれぞれ示す。図２（ａ）によれば絶縁性基材１０上に厚さの異なる第１の金属片２０及び第２の金属片３０が固定されており、立体構造が形成されている。また、図２（ｂ）によれば、第１の金属片２０及び第２の金属片３０以外の余剰部分（枠部分等）は絶縁性基材１０上には形成されていない。

なお、図１に示すように、第１の金属板２１には、第１の金属片２０の外周の一部のみを保持するように、第１の打ち抜き枠２１ａを打ち抜いて予め形成しておくことが好ましい。同様に、第２の金属板３１には、第２の金属片３０の外周の一部のみを保持するように、第２の打ち抜き枠３１ａを打ち抜いて予め形成しておくことが好ましい。

また、図１及び図２（ａ）に示すように、第１の金属板２１及び第２の金属板３１と対向する絶縁性基材１０の主面には、接着剤を塗布してなる接着面１０ａが形成されていることが好ましい。これにより、第１の金属片２０を絶縁性基材１０の主面上に固定する工程において、第１の金属片２０及び第２の金属片３０を絶縁性基材１０の主面に接着により固定することが可能となる。なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、絶縁性基材１０と対向する第１の金属板２１の主面、及び絶縁性基材１０と対向する第２の金属板３１の主面にそれぞれ接着剤を塗布することとしてもよい。この場合、絶縁性基材１０の主面には接着面が形成されていなくてもよい。なお、絶縁性基材１０、第１の金属板２１、第２の金属板３１の主面に接着剤を塗布しない場合には、絶縁性基材１０上に第１の金属片２０及び第２の金属片３０を押し付けつつ加熱することにより固定（融着）することとしてもよい。

図２（ｂ）によれば、第１の金属板２１よりも第２の金属板３１の方が厚く構成されているが、本発明は本実施形態に限定されず、第２の金属板３１よりも第１の金属板２１の方が厚く構成されていてもよい。また、第１の金属板２１及び第２の金属板３１の厚さは自由に設定することが可能であり、例えば、第１の金属板２１（第１の金属片２０）の厚さｔを０．２ｍｍ以下とすることも可能である。なお、第１の金属板２１と第２の金属板３１との差厚は、搭載する電子素子の接続端子の高さ差に一致するように調整する。

図２（ｂ）によれば、第１の金属片２０の幅よりも第２の金属片３０の幅の方が狭く構成されているが、本発明は本実施形態に限定されず、第１の金属片２０及び第２の金属片３０の幅は同一であってもよく、第１の金属片２０の幅よりも第２の金属片３０の幅の方が広く構成されていてもよい。また、第１の金属片２０及び第２の金属片３０の幅は自由に設定することが可能であり、例えば、第２の金属片３０の幅ｗを１．０ｍｍ以下とすることも可能である。

上記において、絶縁性基材１０は例えばポリイミドフィルム等の絶縁性材料により形成されており、第１の金属板２１、及び第２の金属板３１はそれぞれ銅、銅合金、ニッケル鉄合金等の導電性金属材料により構成されている。第１の金属板２１と第２の金属板３１
とは同じ種類の金属から構成されていてもよく、互いに異なる種類の金属から構成されていてもよい。例えば、第２の金属板３１を溶接性の高い４２Ａｌｌｏｙ等のニッケル鉄合金から構成しつつ、第１の金属板２１を銅により構成してもよい。

続いて、上述のリードフレーム１を用いて、ＭＡＰ法によりチップコンデンサ２を製造する方法について図２を参照しながら説明する。

まず、図２（ｂ）に示す上述のリードフレーム１を用意し、第１の金属片２０上に銀ペーストなどの導電性接着材料を塗布する。そして、コンデンサ素子の陰極４０ｂと第１の金属片２０とを電気的に接続すると共に、コンデンサ素子の陽極リード線４０ａと第２の金属片３０とを溶接により電気的に接続する（図２（ｃ））。複数のコンデンサ素子をリードフレーム１上に搭載した後、絶縁性基材１０の上面側であって搭載された複数のコンデンサ素子の周囲をエポキシ樹脂などの絶縁性封止材５０で一括封止する（図２（ｄ））。その後、第１の金属片２０及び第２の金属片３０から絶縁性基材１０を剥離する。そして、隣接するコンデンサ素子の間の絶縁性封止材５０を切断（ダイシング）して固片化し、図３に示す半導体装置としてのチップコンデンサ２の製造を終了する（図２（ｅ））。

本実施形態によれば、以下のうち１つまたはそれ以上の効果を奏する。

本実施形態によれば、絶縁性基材１０の主面上に、第１の金属板２１を打ち抜いて形成した第１の金属片２０と、第１の金属板２１とは厚さの異なる第２の金属板３１を打ち抜いて形成した第２の金属片３０とが固定されており、図２（ｂ）に示すように立体構造を形成している。そして、第１の金属板２１と第２の金属板３１との差厚は、搭載するＴａコンデンサの接続端子（陽極リード線４０ａと陰極４０ｂ）の高さの差に一致するように調整されている。このため、Ｔａ（タンタル）コンデンサ等の高さ位置の異なる接続端子と、リードフレーム１（第１の金属片２０及び第２の金属片３０）とを直接に（すなわちワイヤボンディングを行うことなく）接続することが可能となる。その結果、リードフレーム１及びチップコンデンサ２の製造コストを低減させることが可能となる。

本実施形態によれば、高密度にパターン形成されたリードフレームに対して曲げ加工や接続用補助部材の取り付けを行うことなく、立体構造を形成することが可能となる。その結果、リードフレーム１及びチップコンデンサ２の製造コストを低減させることが可能となる。

本実施形態によれば、図２（ｂ）に示すように、第１の金属片２０及び第２の金属片３０以外の余剰部分（枠部分等）は絶縁性基材１０上には形成されていない。そのため、チップコンデンサ２を固片化する際に金属を切断する必要が無くなり、ブレードの消耗を抑制することが可能となる。

本実施形態によれば、絶縁性基材１０、第１の金属板２１、及び第２の金属板３１は、それぞれ長尺状の条材として形成され、これらを順次搬送させながら第１の金属片２０と第２の金属片３０とを打ち抜いて絶縁性基材１０上に固定する。そのため、第１の打ち抜き機２２及び第２の打ち抜き機３２にて用いる金型は最小のパターンに対応していれば必要十分であり、リードフレーム１及びチップコンデンサ２の製造コストを低減させることが可能となる。また、絶縁性基材１０の長手方向に沿った第１の金属片２０及び第２の金属片３０の配列ピッチは、絶縁性基材１０の搬送速度を調整することにより自在に調整可能となり、設計変更に対して低コストかつ柔軟に対応可能となる。

本実施形態によれば、複数のコンデンサ素子の周囲を絶縁性封止材５０で一括して封止する際に、第１の金属片２０及び第２の金属片３０は絶縁性基材１０上に予め密着して固
定されている。そのため、第１の金属片２０及び第２の金属片３０の裏側へ絶縁性封止材５０が回り込んでしまうことを抑制できる。そして、第１の金属片２０及び第２の金属片３０から絶縁性基材１０を剥離するだけで、第１の金属片２０と第２の金属片３０とが底面側に露出したチップコンデンサ２を製造することが可能となる。これにより、チップコンデンサ２の製造コストを低減させることが可能となる。

本実施形態によれば、第１の金属片２０及び第２の金属片３０は、第１の金属板２１及び第２の金属板３１を打ち抜くことによりそれぞれ形成される。そのため、第１の金属片２０及び第２の金属片３０の厚さや幅は自在に調整可能となり、例えば厚さを０．２（ｍｍ）以下としたり、幅を１．０（ｍｍ）以下としたりすることが可能である。その結果、チップコンデンサ２の高さｈ（ｍｍ）や長さＬ１（ｍｍ）を短縮でき、チップコンデンサ２の実装密度が高めることが可能となる。あるいは、より容量の大きな（より外寸の大きな）コンデンサ素子を搭載したりすることが可能となる。

本実施形態によれば、第１の金属片２０及び第２の金属片３０は、第１の金属板２１及び第２の金属板３１を打ち抜くことによりそれぞれ形成される。そのため、第１の金属片２０の側壁の立ち上がり、及び第２の金属片３０の側壁の立ち上がりをそれぞれシャープに形成することが可能になる。その結果、コンデンサ素子の陰極４０ｂと第２の金属片３０との距離Ｌ２（ｍｍ）や、第２の金属片３０のコンデンサ素子の反対側の距離Ｌ３（ｍｍ）や、チップコンデンサ２の長さＬ１（ｍｍ）を短縮でき、チップコンデンサ２の実装密度を高めることが可能となる。あるいは、より容量の大きな（より外寸の大きな）コンデンサ素子を搭載したりすることが可能となる。

本実施形態においては、第１の金属板２１に、第１の金属片２０の外周の一部のみを保持するように、第１の打ち抜き枠２１ａを打ち抜いて予め形成しておくことにより、第１の打ち抜き機２２による打ち抜きを容易にすることが可能となる。同様に、第２の金属板３１に、第２の金属片３０の外周の一部のみを保持するように、第２の打ち抜き枠３１ａを打ち抜いて予め形成しておくことにより、第２の打ち抜き機３２による打ち抜きを容易にすることが可能となる。その結果、第１の打ち抜き機２２及び第２の打ち抜き機３２による打ち抜き加重を低減させ、絶縁性基材１０の歪みを低減させることが可能となる。

本実施形態においては、第１の金属板２１と第２の金属板３１とは同じ種類の金属から構成されていてもよく、互いに異なる種類の金属から構成されていてもよい。例えば、第２の金属板３１を溶接性の高い４２Ａｌｌｏｙ等のニッケル鉄合金から構成することで、コンデンサ素子の陽極リード線４０ａと第２の金属片３０との溶接強度を高めることが可能となり、チップコンデンサ２の信頼性を高めることが可能となる。

なお、参考までに、平状の金属板条材を曲げ加工することリードフレームに立体構造を形成しつつチップコンデンサを製造する工程の一部を図４に示す。まず、平状の金属板条材１００を打ち抜き加工して、陽極側１０１ａと、陰極側１０１ｂとを分離する（図４（ａ））。そして、陰極側１０１ｂを曲げ加工して持ち上げることにより立体構造を有するコンデンサ用リードフレーム１００ａを製造する（図４（ｂ））。そして、コンデンサ用リードフレーム１００ａの陰極側１０１ｂに例えば銀ペーストなどの導電性接着材料１０１ｃを塗布し（図４（ｃ））、コンデンサ用リードフレーム１００ａの陰極側１０１ｂとコンデンサ素子１０２の陰極１０２ｂとを電気的に接続すると共に、コンデンサ用リードフレーム１００ａの陽極側１０１ａとコンデンサ素子１０２の陽極リード線１０２ａとを溶接により電気的に接続する（図４（ｄ））。そして、コンデンサ素子１０２の周囲をエポキシ樹脂などの絶縁性封止材１０３で個別に封止する（図４（ｅ））。そして、絶縁性封止材１０３から突出しているコンデンサ用リードフレーム１００ａの余剰部分を切断して除去した後、コンデンサ用リードフレーム１００ａの残留分を曲げ加工して絶縁性封止
材１０３の底面側まで延在させ、チップコンデンサ１０４の製造を終了する（図４（ｆ））。

しかしながら、かかる方法では以下に示すような課題があった。すなわち、図４（ｂ）及び図４（ｆ）に示すようにコンデンサ用リードフレーム１００ａの折り曲げ加工を行う必要があるため、製造コストが増大する場合があった。また、コンデンサ用リードフレーム１００ａは折り曲げ加工されているため、本実施形態と比べてチップコンデンサ１０４の高さｈ（ｍｍ）と長さＬ１（ｍｍ）とがそれぞれ増大してしまう場合があった。また、コンデンサ用リードフレーム１００ａは折り曲げ加工されているため、その機械的強度が低下してしまう場合があった。そのため、コンデンサ素子１０２とコンデンサ用リードフレーム１００ａとの接続強度（溶接強度）が低下してしまい、チップコンデンサ１０４の信頼性が低下してしまう場合があった。これに対し、本実施形態にかかるリードフレーム１においては、これらの課題は生じない。

また、参考までに、平状の金属板条材と接続用補助部材とを組み合わせることによりリードフレームに立体構造を形成しつつチップコンデンサを製造する工程の一部を図５に示す。

まず、平状の金属板条材２００を打ち抜き加工して陽極側２０１ａと陰極側２０１ｂとを分離する（図５（ａ））。そして、陽極側２０１ａに接続用補助部材としての金属片２０１ｅを溶接することにより立体構造を有するコンデンサ用リードフレーム２００ａを製造する（図５（ｂ））。そして、コンデンサ用リードフレーム２００ａの陰極側２０１ｂに銀ペーストなどの導電性接着材料２０１ｃを塗布し（図５（ｃ））、コンデンサ用リードフレーム２００ａの陰極側２０１ｂとコンデンサ素子１０２の陰極１０２ｂとを電気的に接続すると共に、金属片２０１ｅとコンデンサ素子１０２の陽極リード線１０２ａとを溶接によりを電気的に接続する（図５（ｄ））。そして、コンデンサ素子１０２の周囲をエポキシ樹脂などの絶縁性封止材１０３で個別に封止する（図５（ｅ））。そして、絶縁性封止材１０３から突出しているコンデンサ用リードフレーム２００ａの余剰部分をそれぞれ切断して除去し、チップコンデンサ２０４の製造を終了する（図５（ｆ））。

しかしながら、かかる方法には以下に示すような課題があった。すなわち、金属片２０１ｅは非常に小さいため、平状の金属板条材２００と金属片２０１ｅとの間の位置決めや溶接による固定は困難であり、コンデンサ用リードフレーム２００ａの製造コスト、すなわちチップコンデンサ２０４の製造コストが増大してしまう場合があった。これに対し、本実施形態にかかるリードフレーム１においては、これらの課題は生じない。

また、平状の金属板条材を複数のローラに挟んで圧延し、長手方向に厚板部と薄板部とを有する異形条材を形成する方法も知られている。参考までに、図６に、かかる方法を用いて製造したチップコンデンサ４０４の断面構成図を示す。

図６に示すチップコンデンサ４０４を製造するには、まず、平状の金属板条材を搬送させながら複数のローラに挟んで圧延して、長手方向に沿って薄板部４０１ａ，４０１ｂと厚板部４０１ｅとを備えた異形状の金属板条材を形成する。そして、かかる異形状の金属板条材を打ち抜き加工して、陽極側である厚板部４０１ｅと陽極側である薄板部４０１ｂとを分離して立体構造を有するリードフレームを製造する。その後は、図５（ｃ）以降に示す上述の方法とほぼ同様の方法によりチップコンデンサ４０４を製造する。

しかしながら、金属板条材のメタルフローを利用する上述の方法では、薄板部４０１ａ，４０１ｂの厚さｔ（ｍｍ）を所定の厚さ以下（例えば０．２ｍｍ）にすることは困難であり、チップコンデンサの高さｈ（ｍｍ）を短縮させることは困難であった。また、厚板
部４０１ｅの厚さｗ（ｍｍ）を所定の幅以下（例えば１ｍｍ）にすることは困難であり、チップコンデンサの長さＬ１（ｍｍ）を短縮させることは困難であった。また、厚板部４０１ｅと薄板部４０１ａ，４０１ｂとの境界にＲ形状の圧延の残留部分４０１ｆ，４０１ｇが残ってしまい、厚板部４０１ｅの立ち上がりをシャープに形成することは困難であった。かかる残留部分４０１ｆ，４０１ｇを除去しようとすればプレス工程等が追加的に必要となり、チップコンデンサの製造コストが増大してしまう場合があった。また、残留部分４０１ｆ，４０１ｇを除去しない場合には、例えばコンデンサ素子の陰極１０２ｂと厚板部４０１ｅとの距離Ｌ２（ｍｍ）を広く確保する必要性が生じ、チップコンデンサの長さＬ１（ｍｍ）を短縮させることが困難であった。また、圧延による方法では、コンデンサ用リードフレームの材料として、例えば４２Ａｌｌｏｙ等の硬度の高い（メタルフローの生じにくい）合金材料を用いることは困難であった。これに対し、本実施形態にかかるリードフレーム１においては、これらの課題は生じない。

＜本発明の他の実施形態＞
上述の実施形態では、ＭＡＰ法によりチップコンデンサを製造する方法について示したが、本発明は個別封止法によりチップコンデンサを製造する方法にも好適に適用可能である。また、本実施形態にかかるリードフレームに搭載する電子素子はコンデンサ素子に限定されず、ＩＣやＬＳＩであってもよい。また、本実施形態にかかるリードフレーム１は、ＱＦＰに限らず、ＳＯＮ（Ｓｍａｌｌ Ｏｎｌｉｎｅ Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ Ｐａｃｋａｇｅ）等の他のノンリードパッケージにも好適に適用可能である。

上述の実施形態では、厚さの異なる２枚の金属板を打ち抜いて形成した金属片を絶縁性基材の主面上にそれぞれ固定し、リードフレームに立体構造を形成していたが、本発明はかかる形態に限定されない。すなわち、本発明は厚さの異なる３枚以上の金属板を打ち抜いてリードフレームに立体構造を形成する場合にも好適に適用可能である。

本発明は上述の実施形態に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。

１ リードフレーム
２ チップコンデンサ
１０ 絶縁性基材
１０ａ 接着面
２０ 第１の金属片
２１ 第１の金属板
３０ 第２の金属片
３１ 第２の金属板

Claims (8)

1. 第１の金属板と絶縁性基材とを交差させつつ前記第１の金属板を打ち抜いて形成した第１の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程と、
   前記第１の金属板とは厚さの異なる第２の金属板と前記絶縁性基材とを交差させつつ前記第２の金属板を打ち抜いて形成した第２の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程と、
   を有することを特徴とするリードフレームの製造方法。
2. 前記絶縁性基材、前記第１の金属板、及び前記第２の金属板はそれぞれ条材として形成されており、
   前記第１の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程では、前記絶縁性基材と前記第１の金属板とを互いに交差させつつそれぞれ長手方向に搬送し、
   前記第２の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程では、前記絶縁性基材と前記第２の金属板とを互いに交差させつつそれぞれ長手方向に搬送する
   ことを特徴とする請求項１に記載のリードフレームの製造方法。
3. 前記絶縁性基材の主面、前記絶縁性基材の主面と対向する前記第１の金属板の主面、前記絶縁性基材と対向する前記第２の金属板の主面のうち少なくともいずれか１の面には接着剤が塗布されている
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のリードフレームの製造方法。
4. 前記第１の金属板には、前記第１の金属片の外周の一部のみを保持するように、第１の打ち抜き枠が予め形成され、
   前記第２の金属板には、前記第２の金属片の外周の一部のみを保持するように、第２の打ち抜き枠が予め形成されている
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のリードフレームの製造方法。
5. 前記第１の金属板と前記第２の金属板とは互いに異なる種類の金属から構成されている
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のリードフレームの製造方法。
6. リードフレームを製造する工程と、互いに高さ位置の異なる２つ以上の接続端子を備えた電子素子を前記リードフレーム上に搭載する搭載工程と、を有する半導体装置の製造方法であって、
   前記リードフレームを製造する工程は、
   第１の金属板と絶縁性基材とを交差させつつ前記第１の金属板を打ち抜いて形成した第１の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程と、
   前記第１の金属板とは厚さの異なる第２の金属板と前記絶縁性基材とを交差させつつ前記第２の金属板を打ち抜いて形成した第２の金属片を前記絶縁性基材の主面上に固定する工程と、を有し、
   前記搭載工程では、
   前記電子素子の備える一の接続端子と前記第１の金属片とを接続すると共に、前記電子素子の備える他の接続端子と前記第２の金属片とを接続する
   ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
7. 前記第１の金属片と前記第２の金属片との差厚は、前記電子素子の備える前記一の接続端子と前記他の接続端子の高さの差に一致しており、
   前記搭載工程では、
   前記電子素子の備える一の接続端子と前記第１の金属片とを直接接続すると共に、前記電子素子の備える他の接続端子と前記第２の金属片とを直接接続する
   ことを特徴とする請求項６に記載の半導体装置の製造方法。
8. 前記絶縁性基材の主面側の前記電子素子の周囲を絶縁性封止材で封止した後、前記第１の金属片及び前記第２の金属片から前記絶縁性基材を剥離して前記第１の金属片及び前記第２の金属片の底面を露出させる封止工程を有する
   ことを特徴とする請求項６又は７に記載の半導体装置の製造方法。

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