JP5094353B2

JP5094353B2 - 処理液の減圧搬送方法及び減圧搬送装置

Info

Publication number: JP5094353B2
Application number: JP2007315843A
Authority: JP
Inventors: 義明木谷; 俊貴高橋; 陽介巻幡; 喜弘北村
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2007-12-06
Filing date: 2007-12-06
Publication date: 2012-12-12
Anticipated expiration: 2027-12-06
Also published as: WO2009072395A1; JP2009138849A

Description

本発明は、第１タンク内にて粘着剤等の比較的高粘度を有する処理液を減圧下で脱泡し、脱泡後の処理液を第１タンクから第２タンクに搬送するに際して、第１タンク及び第２タンクを減圧状態に保持するとともに、第１タンク内の圧力と第２タンク内の圧力との圧力差を所定範囲に設定することにより、処理液を第１タンクから第２タンクへ搬送する処理液の減圧搬送方法及び減圧搬送装置に関するものである。

従来より、粘着剤等の処理液を脱気・脱泡しながら、処理液を搬送する各種の方法・装置が提案されている。
例えば、特開２００４−２４９２１５号公報には、脱気装置へ送水される脱気前の塗布液又は脱気装置から排水された脱気後の塗布液の少なくとも一方の溶存酸素量を溶存酸素量検出手段により検出し、溶存酸素量検出手段による検出結果に基づき制御手段が脱気調整手段を制御して脱気装置の脱気度を調整するように構成された脱気システムが記載されている。

また、特開２０００−２６２９５６号公報には、塗布ヘッドへ塗布液の送液を開始する際に、塗布液を塗布ヘッドへ供給する送液系内を減圧してから液封液で満たし、その後塗布液で液封液を押出置換するように構成された送液方法が記載されている。

特開２００４−２４９２１５号公報（第２ページ〜第１２ページ、図１）特開２０００−２６２９５６号公報（第２ページ〜第４ページ、図１）

ここに、前記特許文献１及び特許文献２に記載された脱気システムや送液方法では、塗布液が脱気装置を介してインラインで連続的に脱気されている。

しかしながら、かかる方法は、塗布液の粘度が一般に１００ｍＰａ・ｓ以下である低粘度である場合に限られ、１００ｍＰａ・ｓ以上の粘度、特に、１０００ｍＰａ・ｓ以上の粘度を有する高粘度の塗布液の場合には、脱気装置を介してインラインで連続的に脱気することは困難であり、一般的にバッチ方式で脱気・脱泡処理が行われている。

前記のように、高粘度の塗布液をバッチ方式で脱気・脱泡処理する場合、多量の高粘度の塗布液を一度に脱気・脱泡処理することが可能であるが、このように脱気・脱泡された塗布液は一度に使用されるものではない。

かかる場合、前記のように脱気・脱泡された塗布液は、一旦バッファタンク等の貯留タンクで貯留され、このように貯留された塗布液はその塗布が行われる直前でポンプを介してポンプセットタンク等に搬送された後、塗布ヘッドに供給されるように構成されている。

前記したように、高粘度の塗布液がバッチ方式で脱気・脱泡される場合には、塗布ヘッドに供給するまでに複数段のタンクに渡って搬送されていくこととなり、また、塗布液の搬送にポンプが使用されることから、気泡が塗布液に溶解される虞が多分に存するものである。

塗布液に気泡が溶解されると、塗布ヘッドにより塗布されて形成される粘着剤層中に気泡が残存して外観が悪くなったり、また、粘着剤層の厚さにバラツキが発生してしまう。また、粘着剤層の乾燥後に気泡が残存してしまう。

これを解消するためには、塗布液に溶解している空気を再度脱気・脱泡するとともに、脱気・脱泡後の塗布液の管理を厳重に行う必要があり、かかる場合には、余分な脱気・脱泡処理を行うこととなり、工程上大きなロスが発生してしまう。

本発明は前記従来技術における問題点を解消するためになされたものであり、バッチ方式で脱気・脱泡処理を行う場合においても、処理液を第１タンクから第２タンクへ搬送するに際して、処理液へ気泡が混入溶解されることを確実に防止することが可能な処理液の減圧搬送方法及び減圧搬送装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するため請求項１に係る処理液の減圧搬送方法は、処理液が投入された第１タンクを減圧して処理液の脱泡処理を行うとともに、脱泡処理された処理液を第１タンクにバルブ手段を有する連結管を介して連結された第２タンクに搬送する処理液の搬送方法であって、前記処理液の粘度は、１００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にあり、前記処理液の搬送時に、前記第１タンク内の圧力と前記第２タンク及び連結管内の圧力との圧力差が１ｋＰａ〜５０ｋＰａの範囲に設定されており、前記バルブ手段は、前記第１タンクの近傍位置で前記連結管の上流側に配置された第１バルブ及び連結管にて第１バルブよりも下流側で第２タンクの近傍位置に配置された第２バルブとを有し、前記第２タンクを減圧して第１タンクと第２タンクの間に圧力差を発生する際、前記第１バルブを閉状態にするとともに第２バルブを開状態にして第２タンク及び連結管の減圧を行い、前記第１バルブ及び第２バルブは、前記圧力差のみに基づき処理液が第１タンクから第２タンクに搬送される際に開放されるとともに、処理液が第１タンクから第２タンクに完全に搬送される前に閉塞されることを特徴とする。

ここに、請求項２に記載されているように、前記圧力差は、１ｋＰａ〜２０ｋＰａの範囲に設定されていることが望ましい。
また、請求項３に記載されているように、前記処理液の粘度は、１０００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にあることが望ましい。
更に、請求項４に記載されているように、前記脱泡処理が行われた後における処理液の溶存酸素量は、脱泡処理が行われる前の処理液の溶存酸素量の１０％以下であることが望ましい。

請求項５に係る処理液の減圧搬送装置は、処理液が投入されるとともに処理液の脱泡処理が行われる第１タンクと、前記第１タンクにて脱泡処理が行われた処理液が搬送される第２タンクと、前記第１タンクと第２タンクとを連結するとともにバルブ手段を有する連結管と、前記第１タンク、第２タンク及び連結管の減圧を行う減圧手段とを備えた処理液の減圧搬送装置であって、前記処理液の粘度は、１００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にあり、前記第１タンク内の処理液は、前記減圧手段による減圧下で脱泡処理され、前記脱泡処理された処理液は、前記減圧手段により第１タンク内の圧力と第２タンク及び連結管内の圧力との圧力差が１ｋＰａ〜５０ｋＰａの範囲に設定された状態で第１タンクから連結管を経て第２タンクに搬送され、前記バルブ手段は、前記第１タンクの近傍位置で前記連結管の上流側に配置された第１バルブ及び連結管にて第１バルブよりも下流側で第２タンクの近傍位置に配置された第２バルブとを有し、前記第２タンクを減圧して第１タンクと第２タンクの間に圧力差を発生する際、前記第１バルブを閉状態にするとともに第２バルブを開状態にして第２タンク及び連結管の減圧を行い、前記第１バルブ及び第２バルブは、前記圧力差のみに基づき処理液が第１タンクから第２タンクに搬送される際に開放されるとともに、処理液が第１タンクから第２タンクに完全に搬送される前に閉塞されることを特徴とする。

ここに、請求項６に記載されているように、前記圧力差は、１ｋＰａ〜２０ｋＰａの範囲に設定されていることが望ましい。
また、請求項７に記載されているように、前記処理液の粘度は、１０００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にあることが望ましい。
更に、請求項８に記載されているように、前記脱泡処理が行われた後における処理液の溶存酸素量は、脱泡処理が行われる前の処理液の溶存酸素量の１０％以下であることが望ましい。

請求項１に係る処理液の減圧搬送方法では、１００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にある高粘度の処理液は、第１タンク内にて減圧下でバッチ方式により脱泡処理され、更に、処理液の搬送時に、第１タンク内の圧力と第２タンク及び連結管内の圧力との圧力差が１ｋＰａ〜５０ｋＰａの範囲に設定されていることに基づき、処理液は減圧下で第１タンクと第２タンク間の圧力差を利用して搬送される。
このとき、第１タンク、連結管及び第２タンクは減圧状態にあり、処理液を第１タンクから連結管を介して第２タンクに搬送する際、系内に空気が残存する場合においても空気が処理液に気泡として混入したり溶解することを確実に防止することができ、また、処理液に気泡が再混入した場合においても容易に気液界面まで誘導して破泡させることができる。
また、圧力差を利用して処理液の搬送が行われることから、処理液の搬送量を容易に調整することができる。更に、送液用のポンプが不要となり、これよりポンプのせん断や熱の影響により処理液の特性が変質してしまうことを防止することができる。
更に、バルブ手段を構成する第１バルブ及び第２バルブは、前記圧力差のみに基づき処理液が第１タンクから第２タンクに搬送される際に開放されるとともに、処理液が第１タンクから第２タンクに完全に搬送される前に閉塞されるので、処理液が完全に抜けきる際に発生する空気の流れに起因して気泡が混入することを防止することができる。

また、請求項５に係る処理液の減圧搬送装置では、１００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にある高粘度の処理液は、第１タンク内にて減圧下でバッチ方式により脱泡処理され、更に、処理液の搬送時に、減圧手段により第１タンク内の圧力と第２タンク及び連結管内の圧力との圧力差が１ｋＰａ〜５０ｋＰａの範囲に設定された状態で、第１タンクから連結管を経て第２タンクに搬送される。このように、処理液は、減圧下で減圧手段を介して設定される第１タンクと第２タンク間の圧力差を利用して搬送される。
このとき、第１タンク、連結管及び第２タンクは減圧状態にあり、処理液を第１タンクから連結管を介して第２タンクに搬送する際、系内に空気が残存する場合においても空気が処理液に気泡として混入したり溶解することを確実に防止することができ、また、処理液に気泡が再混入した場合においても容易に気液界面まで誘導して破泡させることができる。
また、圧力差を利用して処理液の搬送が行われることから、処理液の搬送量を容易に調整することができる。更に、送液用のポンプが不要となり、これよりポンプのせん断や熱の影響により処理液の特性が変質してしまうことを防止することができる。
更に、バルブ手段を構成する第１バルブ及び第２バルブは、前記圧力差のみに基づき処理液が第１タンクから第２タンクに搬送される際に開放されるとともに、処理液が第１タンクから第２タンクに完全に搬送される前に閉塞されるので、処理液が完全に抜けきる際に発生する空気の流れに起因して気泡が混入することを防止することができる。
尚、前記減圧搬送方法及び減圧搬送装置は、処理液として水系粘着剤及びエマルジョン系粘着剤の減圧搬送に適用された場合に、より一層の効果を発現することができる。

以下、本発明に係る処理液の減圧搬送方法及び減圧搬送装置について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
先ず、本実施形態に係る処理液の減圧搬送装置について、図１に基づき説明する。図１は本実施形態に係る処理液の減圧搬送装置が適用される粘着剤塗布システムを示す概略説明図である。

図１において、粘着剤塗布システムＳは、基本的に、バッチ方式で密閉タンク１１内に投入された粘着剤を含有する処理液２の脱泡処理を行う脱泡装置１、密閉タンク１１内で脱泡された処理液２を一時的に貯留する密閉タンク３１を有するバッフアタンク３、バッファタンク３の密閉タンク３１から搬送される処理液２を塗布用に貯留する密閉タンク５１を有するポンプセットタンク５、ポンプセットタンク５の密閉タンク５１から処理液２をフィルタ９３を介して塗布装置９４まで送液する送液ポンプ９２、及び、脱泡装置１の密閉タンク１１、バッファタンク３の密閉タンク３１、ポンプセットタンク５の密閉タンク５１等を減圧する真空ポンプ７から構成されている。
尚、処理液２としては、特に限定されるものではないが、例えば、粘着テープに塗工される粘着剤溶液（粘着剤と溶媒を含有する）が好適である。粘着剤溶液を構成する溶媒は、水であっても有機溶媒であってもよい。粘着剤溶液の粘度は、特に限定されるものではないが、例えば、１００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲、好ましくは１０００ｍＰａ・ｓ〜５０００ｍＰａ・ｓの範囲である。更に、粘着剤溶液には、界面活性剤が含有されてもよい。
ここに、粘着剤溶液の粘度の値は、ＨＡＡＫＥ社製粘度計（ＲｈｅｏＳｔｒｅｓｓ１）を使用し、温度３０℃で剪断速度＝１（１／ｓ）の条件で測定された値である。

ここに、脱泡装置１の密閉タンク１１とバッファタンク３の密閉タンク３１とは、連結管４を介して連結されており、かかる連結管４にて、密閉タンク１１側にはドレンバルブ１４、バッフアタンク３の密閉タンク３１側には開閉バルブ４１が介装されている。また、バッファタンク３の密閉タンク３１とポンプセットタンク５の密閉タンク５１とは、連結管６を介して連結されており、かかる連結管６にて、バッフアタンク３の密閉タンク３１側にはドレンバルブ３３、ポンプセットタンク５の密閉タンク５１側には開閉バルブ６１が介装されている。更に、ポンプセットタンク５の下流側にはドレンバルブ５３が介装され、ポンプ９２に連結されている。

また、脱泡装置１の密閉タンク１１は、真空バルブ１６を介して吸引管８により真空ポンプ７に連結されており、また、バッフアタンク３の密閉タンク３１は、真空バルブ３５を介して吸引管８により真空ポンプ７に連結されている。更に、ポンプセットタンク５の密閉タンク５１は、真空バルブ５５を介して吸引管８により真空ポンプ７に連結されている。

脱泡装置１は密閉タンク１１を有しており、かかる密閉タンク１１内には、処理液２を撹拌するための撹拌羽根１２が配設されている。密閉タンク１１の上部には、圧力計１３、リークバルブ１５及び吸引管８に介装された真空バルブ１６が設けられている。脱泡装置１における密閉タンク１１内の圧力は、リークバルブ１５及び真空バルブ１６の開度を操作・調整することにより調整される。また、脱泡装置１の密閉タンク１１には、処理液２を密閉タンク１１に供給するチャージタンク９１が連結管９６を介して連結されており、チャージタンク９１から密閉タンク１１に供給される処理液２の量は、開閉バルブ９５の開閉を制御することにより調整される。

バッファタンク３は、密閉タンク３１を有しており、かかる密閉タンク３１の上部には、圧力計３２、リークバルブ３４及び吸引管８に介装された真空バルブ３５が設けられている。密閉タンク３１内の圧力は、リークバルブ３４及び真空バルブ３５の開度を操作・調整することにより調整される。

ポンプセットタンク５は、密閉タンク５１を有しており、かかる密閉タンク５１の上部には、圧力計５２、リークバルブ５４及び吸引管８に介装された真空バルブ５５が設けられている。密閉タンク５１内の圧力は、リークバルブ５４及び真空バルブ５５の開度を操作・調整することにより調整される。

続いて、前記のように構成された粘着剤塗布システムＳにて行われる処理操作について、図２に基づき説明する。図２は粘着剤塗布システムにて行われる処理操作を示すフローチャートである。

先ず、開閉バルブ９５を開放することによりチャージタンク９１から処理液２が脱泡操作１の密閉タンク１１内に投入される（Ｓ１）。続いて、脱泡装置１にて処理液２の脱泡処理が行われる（Ｓ２）。かかる脱泡時には、真空バルブ１６は開状態にされ、他のリークバルブ１５、開閉バルブ９５、ドレンバルブ１４は閉状態にされる。そして、真空ポンプ７により密閉タンク１１内が減圧されるとともに、撹拌羽根１２の回転が行われる。これにより、処理液２の脱泡処理が行われる。

前記脱泡処理が終了した後、撹拌羽根１２の回転が停止され、リークバルブ１５の開度を調整して密閉タンク１１内の圧力が所定の設定圧力に調整される（Ｓ３）。この後、全てのバルブを閉状態にして脱泡装置１内が密閉系に保持される。

次に、バッファタンク３を構成する密閉タンク３１に設けられた真空バルブ３５及び開閉バルブ４１が開状態にされ、真空ポンプ７を介して密閉タンク３１及び連結管４が減圧される。
このとき、減圧の程度は、送液系内の残存空気量を決定して処理液２内に気泡の混入を防止するための重要な因子であり、本実施形態の減圧搬送装置では、絶対圧で５０ｋＰａ以下、好ましくは２０ｋＰａ以下、更に好ましくは７ｋＰａ以下である。送液経路に空気が存在すると、そこで気液界面が発生し、処理液２の移動によって処理液２内部に気泡を取り込んでしまう可能性が高くなることから、前記のように送液系内を減圧する必要がある。また、処理液２の性質によって飽和蒸気圧が異なることから、送液時の温度に依存して処理液２が沸騰をしないように送液系内の圧力を設定する必要がある。

また、リークバルブ３４の開度を操作・調整することにより密閉タンク３１及び連結管４内が所定設定圧力に調整される（Ｓ４）。この調整状態で、密閉タンク１１の下流側にて連結管４に介装されているドレンバルブ１４が開状態にされる。このとき、脱泡装置１の密閉タンク１１とバッファタンク３の密閉タンク３１及び連結管４との間で圧力差が発生し、かかる圧力差に基づいて密閉タンク１１から密閉タンク３１への処理液２の搬送が開始される（Ｓ５）。
このとき、前記のように圧力差によって処理液２の搬送を行う場合に、送液流量を制御するためには、送液の上流部と下流部との圧力差が重要な因子となり、例えば、本実施形態では、１ｋＰａ〜５０ｋＰａの範囲にあることが望ましく、更には５ｋＰａ〜２０ｋＰａの範囲にあることが望ましい。
ここに、圧力差が大きすぎると液流量は大きくなり、その結果、気液界面の変動が早くなって気泡を取り込みやすくなる。本実施形態の場合、圧力差が５０ｋＰａ以上になると、処理液２内に気泡が混入される場合が多くなり、また、圧力差が１ｋＰａ以下になると、送液流量は極めて小さくなり、生産には適さなくなる。

前記処理液２の搬送中、脱泡装置１側のリークバルブ１５及びバッファタンク３側のリークバルブ３４の開度を調整することにより、脱泡装置１の密閉タンク１１とバッファタンク３の密閉タンク３１内がそれぞれ所定の設定圧力に調整される（Ｓ６）。このとき、処理液２が密閉タンク１１から完全に抜けきる前にドレンバルブ１４及び開閉バルブ４１が閉状態にされる。これにより、処理液２が完全に抜けきる際に発生する空気の流れに起因して気泡が混入することを防止することができる。

ここに、バッファタンク３の密閉タンク３１内に搬送された処理液２を密閉タンク３１内で保存する場合、密閉タンク３１内は開放系にしても密閉系にしてもよい。また、密閉系にした場合であっても、バッファタンク３の密閉タンク３１内は、常圧であっても減圧であってもよい。尚、密閉タンク３１内が減圧状態であれば、静置脱泡を促進することができる。

続いて、ポンプセットタンク５を構成する密閉タンク５１の真空バルブ５５及び開閉バルブ６１が開状態にされ、真空ポンプ７を介して密閉タンク５１及び連結管６が減圧される。また、リークバルブ５４の開度を操作・調整することにより密閉タンク５１及び連結管６内が所定設定圧力に調整される（Ｓ７）。この調整状態で、密閉タンク３１の下流側にて連結管６に介装されているドレンバルブ３３が開状態にされる。このとき、密閉タンク３１と密閉タンク５１及び連結管６との間で圧力差が発生し、かかる圧力差に基づいて密閉タンク３１から密閉タンク５１への処理液２の搬送が開始される（Ｓ８）。

前記処理液２の搬送中、バッファタンク３側のリークバルブ３４及びポンプセットタンク５側のリークバルブ５４の開度を調整することにより、バッファタンク３の密閉タンク３１とポンプセットタンク５の密閉タンク５１内がそれぞれ所定の設定圧力に調整される。このとき、処理液２が密閉タンク３１から完全に抜けきる前にドレンバルブ３３及び開閉バルブ６１が閉状態にされる。これにより、処理液２が完全に抜けきる際に発生する空気の流れに起因して気泡が混入することを防止することができる。

前記のように、処理液２をポンプセットタンク５の密閉タンク５１に搬送した後、ドレンバルブ５３が開状態にされるとともに送液ポンプ９２が駆動される。これにより、処理液２は、送液ポンプ９２からフィルタ９３を経て塗布装置９４に搬送される。そして、塗布装置９４によりフィルムテープ上に粘着剤を含有する処理液２が塗布されるものである（Ｓ９）。

尚、前記システムにおける真空ポンプ７や各種バルブの操作は、各圧力計１３、３２、５２の指針を確認して手動で行われてもよいし、また、各圧力計１３、３２、５２の指針に基づく制御により遠隔指示により自動的に行われてもよい。また、真空ポンプ７は１つでもよいし、複数であってもよい。

続いて、前記したように、処理液２の脱泡前から塗工時に至る処理液２における溶存酸素量の測定について説明する。
ここに、処理液２における溶存酸素量に着目する理由は、処理液２に空気が溶解している場合には処理液２の乾燥時に空気が気泡として発生し、その気泡に起因して種々の問題が発生するからであり、脱泡から塗工に至る間で処理液２の溶存酸素量を厳格に管理する必要がある。尚、処理液２中に溶解した空気量の定量を行うにつき、一般に溶存酸素量を使用して処理液２中に溶解している空気量が表される。

処理液２における溶存酸素量は、脱泡装置１にて脱泡処理が行われる前（脱泡前）、脱泡処理が行われた後（脱泡後）、バッファタンク３の密閉タンク３１に搬送された後（搬送後）、及び、塗工時に測定される。

ここに、脱泡装置１の密閉タンク１１の底部には、図１に示すように、溶存酸素測定器１００が配置されており、かかる溶存酸素測定器１００を介して、密閉タンク１１内に処理液２が投入された脱泡前及び処理液２の脱泡後に、処理液２の溶存酸素量が測定される。
尚、処理液２の溶存酸素量の測定は、脱泡前及び脱泡後に処理液２を系外にサンプルとして取り出し、測定器により測定してもよい。後述する実施例においては、サーモリオン社製溶存酸素計（Ｍｏｄｅｌ−８１０Ａ）を使用して、温度１８℃〜２８℃の範囲内で５分間測定値が安定するまで測定することにより、処理液２の溶存酸素量の測定を行った。

また、バッファタンク３の密閉タンク３１の底部には、図１に示すように、溶存酸素測定器１０１が配置されており、かかる溶存酸素測定器１０１を介して、処理液２をバッフアタンク３に搬送した後における処理液２の溶存酸素量が測定される。

更に、ポンプセットタンク５の密閉タンク５１の底部には、図１に示すように、溶存酸素測定器１０２が配置されており、かかる溶存酸素測定器１０２を介して、塗工時における処理液２のフィルタ循環前及び循環後の溶存酸素量が測定される。その他、塗工時に複数の処理液サンプルを抽出して各処理液サンプルの溶存酸素量の平均値、及び、塗工直前における最終溶存酸素量が測定される。

続いて、実施例１について説明する。
先ず、処理液２として界面活性剤を含む水系粘着剤（ベース３９％、粘度６０００ｍＰａ・ｓ）８０ｋｇを脱泡装置１の密閉タンク１１内に投入した。この状態で処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して脱泡前の溶存酸素量を測定したところ、５．７５ｍｇ／Ｌであった。

密閉タンク１１内に投入した処理液２を３０分間脱泡処理を行った。ここに、脱泡時には、真空バルブ１６を開状態とし、また、その他の脱泡装置１に繋がるバルブは全て閉状態とし、密閉タンク１１の内部圧力を３ｋＰａにして撹拌羽根１２を回転させることにより減圧脱泡を行った。脱泡処理後、処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して脱泡後の溶存酸素量を測定したところ、０．４１ｍｇ／Ｌであった。
ここに、脱泡後における溶存酸素量（０．４１ｍｇ／Ｌ）は、脱泡前の溶存酸素量（５．７５ｍｇ／Ｌ）の７．１３％であり、脱泡前の１０％以下に減少していることが分かる。

次に、脱泡装置１のリークバルブ１５、真空バルブ１６及びバッファタンク３のリークバルブ３４、真空バルブ３５の開度を操作・調整し、真空ポンプ７によって脱泡装置１の密閉タンク１１の内部圧力を１１ｋＰａに、バッファタンク３の密閉タンク３１の内部圧力を４ｋＰａに減圧・調整した。

続いて、ドレンバルブ１４及び開閉バルブ４１を開放し、密閉タンク１１と密閉タンク３１との圧力差に基づいて、脱泡装置１の密閉タンク１１からバッファタンク３の密閉タンク３１へ処理液２を搬送した。このとき、圧力計１３の値からリークバルブ１５の開度を操作・調整し、処理液２が連結管４を満たすまでは脱泡装置１の密閉タンク１１の内部圧力を１１ｋＰａに、処理液２がバッファタンク３の密閉タンク３１側に流入を開始した後には脱泡装置１の密閉タンク１１の内部圧力を１７ｋＰａに調整した。即ち、リークバルブ１５を操作・調整することによって、脱泡装置１の密閉タンク１１の内部圧力とバッファタンク３の密閉タンク３１の内部圧力との差が１３ｋＰａ以内となるように調整した。

バッフアタンク３の密閉タンク３１側に処理液２を搬送した後、バッファタンク３に繋がる全てのバルブを閉じた。このとき、処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して搬送後の溶存酸素量を測定したところ、０．２８ｍｇ／Ｌであった。
ここに、密閉タンク３１への処理液２の搬送後における溶存酸素量（０．２８ｍｇ／Ｌ）は、脱泡前の溶存酸素量（５．７５ｍｇ／Ｌ）の４．８７％であり、溶存酸素量は脱泡後におけるよりも更に減少して脱泡前の５％以下に減少していることが分かる。

続いて、バッファタンク３のリークバルブ３４と真空バルブ３５及びポンプセットタンク５のリークバルブ５４と真空バルブ５５の開度を操作・調整し、真空ポンプ７によってバッフアタンク３の密閉タンク３１の内部圧力を１１ｋＰａに、ポンプセットタンク５の密閉タンク５１の内部圧力を４ｋＰａに減圧・調整した。

続いて、ドレンバルブ３３及び開閉バルブ６１を開放し、バッフアタンク３の密閉タンク３１とポンプセットタンク５の密閉タンク５１との圧力差に基づいて、バッフアタンク３の密閉タンク３１からポンプセットタンク５の密閉タンク５１へ処理液２を搬送した。このとき、圧力計３２の値からリークバルブ３４の開度を操作・調整し、処理液２が連結管６を満たすまではバッフアタンク３の密閉タンク３１の内部圧力を１１ｋＰａに、処理液２がポンプセットタンク５の密閉タンク５１側に流入を開始した後にはバッフアタンク３の密閉タンク３１の内部圧力を２３ｋＰａに調整した。即ち、リークバルブ５４を操作・調整することによって、バッフアタンク３の密閉タンク３１の内部圧力とポンプセットタンク５の密閉タンク５１の内部圧力との差が１９ｋＰａ以内となるように調整した。

ポンプセットタンク５の密閉タンク５１側に処理液２を搬送した後、ポンプセットタンク５に繋がる全てのバルブを閉じた。このとき、処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して搬送後の溶存酸素量を測定したところ、０．２８ｍｇ／Ｌであった。
ここに、密閉タンク５１への処理液２の搬送後における溶存酸素量（０．２８ｍｇ／Ｌ）は、脱泡前の溶存酸素量（５．７５ｍｇ／Ｌ）の４．８７％であり、溶存酸素量は密閉タンク３１への搬送後の状態を維持しており、また、脱泡後におけるよりも更に減少して脱泡前の５％以下に減少していることが分かる。

この後、ポンプセットタンク５の密閉タンク５１内の処理液２を、送液ポンプ９２により、フィルタ９３を介して塗布装置９４に搬送し、粘着剤の塗布処理を行った。この結果、粘着剤の塗布面には気泡は存在しておらず、外観上問題なく粘着剤の塗布を行うことができた。
尚、前記した塗工時における処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して搬送後の溶存酸素量を測定したところ、循環前には０．８３ｍｇ／Ｌ、循環後には０．６６ｍｇ／Ｌ、複数の処理液サンプルを抽出した各処理液サンプルの溶存酸素量の平均値は０．５５ｍｇ／Ｌ、塗工直前における最終溶存酸素量は１．０４ｍｇ／Ｌであった。
[参考例]

続いて、参考例について説明する。
先ず、処理液２として界面活性剤を含む水系粘着剤（ベース３８％、粘度２６００ｍＰａ・ｓ）１５ｋｇを脱泡装置１の密閉タンク１１内に投入した。この状態で処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して脱泡前の溶存酸素量を測定したところ、３．８ｍｇ／Ｌであった。

密閉タンク１１内に投入した処理液２を３０分間脱泡処理を行った。ここに、脱泡時には、真空バルブ１６を開状態とし、また、その他の脱泡装置１に繋がるバルブは全て閉状態とし、密閉タンク１１の内部圧力を３ｋＰａにして撹拌羽根１２を回転させることにより減圧脱泡を行った。脱泡処理後、処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して脱泡後の溶存酸素量を測定したところ、０．４ｍｇ／Ｌであった。
ここに、脱泡後における溶存酸素量（０．４ｍｇ／Ｌ）は、脱泡前の溶存酸素量（３．８ｍｇ／Ｌ）の約１０．５％であり、脱泡前の１０％程度に減少していることが分かる。

続いて、ドレンバルブ１４及び開閉バルブ４１を開放し、密閉タンク１１と密閉タンク３１との圧力差に基づいて、脱泡装置１からバッファタンク３へ処理液２を搬送した。このとき、圧力計１３の値からリークバルブ１５の開度を操作・調整し、処理液２が連結管４を満たすまでは脱泡装置１の密閉タンク１１の内部圧力を１１ｋＰａに、処理液２がバッファタンク３の密閉タンク３１側に流入を開始した後には脱泡装置１の密閉タンク１１の内部圧力を１３ｋＰａに調整した。即ち、リークバルブ１５を操作・調整することによって、脱泡装置１の密閉タンク１１の内部圧力とバッファタンク３の密閉タンク３１の内部圧力との差が１０ｋＰａ以内となるように調整した。

バッフアタンク３の密閉タンク３１側に処理液２を搬送した後、バッファタンク３に繋がる全てのバルブを閉じた。このとき、処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して搬送後の溶存酸素量を測定したところ、０．３８ｍｇ／Ｌであった。
ここに、密閉タンク３１への処理液２の搬送後における溶存酸素量（０．３８ｍｇ／Ｌ）は、脱泡前の溶存酸素量（３．８ｍｇ／Ｌ）の１０．０％であり、溶存酸素量は脱泡後におけるのと同様脱泡前の略１０％に減少していることが分かる。

続いて、ドレンバルブ３３及び開閉バルブ６１を開放し、バッフアタンク３の密閉タンク３１とポンプセットタンク５の密閉タンク５１との圧力差に基づいて、バッフアタンク３の密閉タンク３１からポンプセットタンク５の密閉タンク５１へ処理液２を搬送した。このとき、圧力計３２の値からリークバルブ３４の開度を操作・調整し、処理液２が連結管６を満たすまではバッフアタンク３の密閉タンク３１の内部圧力を４ｋＰａに、処理液２がポンプセットタンク５の密閉タンク５１側に流入を開始した後にはバッフアタンク３の密閉タンク３１の内部圧力を１３ｋＰａに調整した。即ち、リークバルブ５４を操作・調整することによって、バッフアタンク３の密閉タンク３１の内部圧力とポンプセットタンク５の密閉タンク５１の内部圧力との差が１０ｋＰａ以内となるように調整した。

ポンプセットタンク５の密閉タンク５１側に処理液２を搬送した後、ポンプセットタンク５に繋がる全てのバルブを閉じた。このとき、処理液２をサンプリングして溶存酸素計を介して搬送後の溶存酸素量を測定したところ、０．３９ｍｇ／Ｌであった。
ここに、密閉タンク５１への処理液２の搬送後における溶存酸素量（０．３９ｍｇ／Ｌ）は、脱泡前の溶存酸素量（３．８ｍｇ／Ｌ）の約１０．２％であり、溶存酸素量は密閉タンク３１への搬送後の状態を維持しており、また、脱泡後におけるのと同様脱泡前の略１０％に減少していることが分かる。

この後、ポンプセットタンク５の密閉タンク５１内の処理液２を、送液ポンプ９２により、フィルタ９３を介して塗布装置９４に搬送し、粘着剤の塗布処理を行った。この結果、粘着剤の塗布面には気泡は存在しておらず、外観上問題なく粘着剤の塗布を行うことができた。

本実施形態に係る処理液の減圧搬送装置が適用される粘着剤塗布システムを示す概略説明図である。粘着剤塗布システムにて行われる処理操作を示すフローチャートである。

１脱泡装置
２処理液
３バッフアタンク
４連結管
５ポンプセットタンク
７真空ポンプ
６連結管
１１密閉タンク
１３真空バルブ
３１密閉タンク
５１密閉タンク

Claims

処理液が投入された第１タンクを減圧して処理液の脱泡処理を行うとともに、脱泡処理された処理液を第１タンクにバルブ手段を有する連結管を介して連結された第２タンクに搬送する処理液の搬送方法であって、
前記処理液の粘度は、１００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にあり、
前記処理液の搬送時に、前記第１タンク内の圧力と前記第２タンク及び連結管内の圧力との圧力差が１ｋＰａ〜５０ｋＰａの範囲に設定されており、
前記バルブ手段は、前記第１タンクの近傍位置で前記連結管の上流側に配置された第１バルブ及び連結管にて第１バルブよりも下流側で第２タンクの近傍位置に配置された第２バルブとを有し、
前記第２タンクを減圧して第１タンクと第２タンクの間に圧力差を発生する際、前記第１バルブを閉状態にするとともに第２バルブを開状態にして第２タンク及び連結管の減圧を行い、
前記第１バルブ及び第２バルブは、前記圧力差のみに基づき処理液が第１タンクから第２タンクに搬送される際に開放されるとともに、処理液が第１タンクから第２タンクに完全に搬送される前に閉塞されることを特徴とする処理液の減圧搬送方法。
前記圧力差は、１ｋＰａ〜２０ｋＰａの範囲に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の処理液の減圧搬送方法。
前記処理液の粘度は、１０００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の処理液の減圧搬送方法。
前記脱泡処理が行われた後における処理液の溶存酸素量は、脱泡処理が行われる前の処理液の溶存酸素量の１０％以下であることを特徴とする請求項１に記載の処理液の減圧搬送方法。
処理液が投入されるとともに処理液の脱泡処理が行われる第１タンクと、
前記第１タンクにて脱泡処理が行われた処理液が搬送される第２タンクと、
前記第１タンクと第２タンクとを連結するとともにバルブ手段を有する連結管と、
前記第１タンク、第２タンク及び連結管の減圧を行う減圧手段とを備えた処理液の減圧搬送装置であって、
前記処理液の粘度は、１００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にあり、
前記第１タンク内の処理液は、前記減圧手段による減圧下で脱泡処理され、
前記脱泡処理された処理液は、前記減圧手段により第１タンク内の圧力と第２タンク及び連結管内の圧力との圧力差が１ｋＰａ〜５０ｋＰａの範囲に設定された状態で第１タン
クから連結管を経て第２タンクに搬送され、
前記バルブ手段は、前記第１タンクの近傍位置で前記連結管の上流側に配置された第１バルブ及び連結管にて第１バルブよりも下流側で第２タンクの近傍位置に配置された第２バルブとを有し、
前記第２タンクを減圧して第１タンクと第２タンクの間に圧力差を発生する際、前記第１バルブを閉状態にするとともに第２バルブを開状態にして第２タンク及び連結管の減圧を行い、
前記第１バルブ及び第２バルブは、前記圧力差のみに基づき処理液が第１タンクから第２タンクに搬送される際に開放されるとともに、処理液が第１タンクから第２タンクに完全に搬送される前に閉塞されることを特徴とする処理液の減圧搬送装置。
前記圧力差は、１ｋＰａ〜２０ｋＰａの範囲に設定されていることを特徴とする請求項５に記載の処理液の減圧搬送装置。
前記処理液の粘度は、１０００ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓの範囲にあることを特徴とする請求項５に記載の処理液の減圧搬送装置。
前記脱泡処理が行われた後における処理液の溶存酸素量は、脱泡処理が行われる前の処理液の溶存酸素量の１０％以下であることを特徴とする請求項５に記載の処理液の減圧搬送装置。