JP5083957B2 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)結晶Siは間接遷移型半導体であるために吸収係数が小さく、光吸収層に数百μmの厚さが必要であり、現在のSi不足を招いている、
(2)Siウェハの製造には大きな投入エネルギーが必要なため、製造のための全投入エネルギーは製造した太陽電池が発現するトータルと比較して大差ない、
などの課題がある。
(3)製造のための投入エネルギーは結晶シリコンに比べて1/2程度しか低減できないこと、
(4)シランガスを用いた製造方法であり、環境への影響がある、
などの短所がある。
現在、UNCDはレーザーアブレーション等で成膜されているが、その成膜エリアは狭く、また分布に偏りが生じる。
本発明は太陽電池の製造方法であって、前記n型層として、n型の微結晶FeSi2薄膜を形成し、pn接合を有する太陽電池を製造する太陽電池の製造方法である。
本発明は太陽電池の製造方法であって、前記ウルトラナノクリスタルダイヤモンド薄膜と、前記n型層の間にp型シリコン層を配置し、pn接合を有する太陽電池を製造する太陽電池の製造方法である。
本発明は太陽電池の製造方法であって、前記金属として、アルミニウム又はステンレスを用い、ショットキー接合を有する太陽電池を製造する太陽電池の製造方法である。
UNCD薄膜にBのようなP型不純物を添加することで、キャリア濃度が急激に増加して、UNCD薄膜がp型化する。
この成膜装置1は、真空槽11を有している。真空槽11の内部には、一乃至複数台の同軸型アーク蒸着源3が配置されている。
ここでは二台の同軸型アーク蒸着源3が配置されている。
各同軸型アーク蒸着源3の構造は同一であり、同じ部材には同じ符号を付し、図2を用いて説明する。
アノード電極31は接地電位に接続されており、カソード電極35とトリガ電極37は、電源装置5に接続されている。
プラズマ中の電子は、アーク電流によってローレンツ力を受け、アノード電極31の開口から真空槽11内に放出される。
カーボン蒸気はp型の不純物蒸気を含むから、UNCD薄膜はp型不純物を含み、UNCD薄膜は導電型がp型となる(p型層)。
p型層が所定膜厚(例えば、100nm)に成長したところで、成膜装置1から取り出す。
光(例えば太陽光)はp型層25に入射し、入射した光のうち紫外光はp型層25に吸収され、p型層25を通過したn型層22に吸収される。
図4の符号40は、本発明により製造可能な第二例の太陽電池(p型UNCD/p型Si/n型β−FeSi2)を示している。
第三例の太陽電池50は基板21の表面にp型層25を成膜した後、p型層25の表面に第二例の太陽電池40と同様の方法で、第一の電極38を形成して製造される。
Claims (4)
- p型層とn型層のpn接合、又はp型層と金属のショットキー接合を有する太陽電池を製造する太陽電池の製造方法であって、
真空槽内に配置された筒状のアノード電極内にp型不純物を含有するグラファイトから成るカソード電極を配置し、
前記真空槽内を真空排気した後、前記真空槽内に水素ガスを導入し、
前記アノード電極と前記カソード電極の間に電圧を印加しておき、前記カソード電極と離間するトリガ電極と前記カソード電極の間に電圧を印加してトリガ放電を発生させ、
前記トリガ放電によって前記カソード電極と前記アノード電極の間にアーク放電を誘起させ、前記アーク放電によって発生したカーボン蒸気を前記アノード電極の開口から前記真空槽内に放出させ、前記真空槽内に配置された基板表面に水素ガス雰囲気内で前記カーボン蒸気を到達させ、前記p型不純物を含有するウルトラナノクリスタルダイヤモンド膜から成る前記p型層を形成する太陽電池の製造方法。 - 前記n型層として、n型の微結晶FeSi2薄膜を形成し、pn接合を有する太陽電池を製造する請求項1記載の太陽電池の製造方法。
- 前記ウルトラナノクリスタルダイヤモンド薄膜と、前記n型層の間にp型シリコン層を配置し、pn接合を有する太陽電池を製造する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の太陽電池の製造方法。
- 前記金属として、アルミニウム又はステンレスを用い、ショットキー接合を有する太陽電池を製造する請求項1記載の太陽電池の製造方法。
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