JP5075930B2 - 電荷変化型センサの出力回路 - Google Patents

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Description

本発明は、電荷変化型センサの出力回路に関し、より具体的には、電荷変化型センサの電流出力を電圧出力に変換して出力する出力回路に関する。
従来から、圧電素子等の電荷変化型センサの出力回路として、センサの電荷量をコンデンサに蓄えてその出力電圧を得る電荷―電圧変換回路(チャージアンプ型回路)と、センサの電荷量を抵抗を介して流れる電流とした上でその電流から出力電圧を得る電流―電圧変換回路がある。
特許文献1は、電荷変化型センサの信号処理装置を開示する。この信号処理装置では、電荷―電圧変換回路(チャージアンプ型回路)において電荷変化型センサの異常を検出する。
特開2007−51930号公報
従来の電荷―電圧変換回路(チャージアンプ型回路)では、センサケーブルの絶縁抵抗およびオペアンプの入力インピーダンスが実際には有限であることから、電荷変化型センサで発生した電荷の一部がセンサケーブルの絶縁抵抗あるいはオペアンプの入力端子を通じて漏れてしまう。その結果、測定誤差(感度低下、ゼロ点ドリフト)、特に低周波におけるまたは長時間測定での測定誤差が大きくなってしまう。
特許文献1に記載の電荷―電圧変換回路(チャージアンプ型回路)を利用する信号処理装置では、この測定誤差の問題を回避あるいは低減することはできない。この点、従来の電流―電圧変換回路は、この絶縁抵抗、入力インピーダンスによる測定誤差(感度低下)を低減することができる。
しかし、従来の電流―電圧変換回路は、電荷変化型センサまたはセンサケーブル回路が故障(断線、短絡)しても、電荷が発生していないときは、その故障を検知することはできない。電荷を測定する前に故障を確認したい場合、この回路に影響を与えないような故障検知回路を別途用意する必要がある。
さらに、従来のいずれの方式の変換回路も、電荷変化型センサの温度を測定し、測定データの温度補償に利用することを考慮していない。
そこで、本発明は、電荷変化型センサの出力回路において、絶縁抵抗や入力インピーダンスによる測定誤差(感度低下)を低減することを目的とする。
また、本発明は、電荷変化型センサの出力回路において、実際の測定を開始する前でも、電荷変化型センサあるいはセンサケーブル回路の故障(断線、短絡)を検知できるようにすることを目的とする。
さらに、本発明は、電荷変化型センサの出力回路において、電荷変化型センサの温度を測定し、測定データの温度補償に利用することができるようにすることを目的とする。
本発明は、電荷変化型センサの出力回路を提供する。その電荷変化型センサの出力回路は、電荷変化型センサの出力にセンサケーブルを介して接続する反転入力と、基準電位に接続する非反転入力と、前記反転入力に第1抵抗を介して接続する出力とを有するオペアンプと、電荷変化型センサの出力とグランドとの間に接続される第2抵抗とを備え、オペアンプは、電荷変化型センサが保有する電荷量に応じて変化する検出信号を出力する。
本発明によれば、電荷変化型センサの出力回路において、絶縁抵抗や入力インピーダンスによる測定誤差(感度低下)を低減することができる。
本発明の一形態によると、オペアンプは、前記電荷変化型センサまたは前記センサケーブルの断線または短絡の際にはそれぞれ所定のオフセット信号を出力する。
本発明の一形態によれば、実際の測定を開始する前でも、電荷変化型センサあるいはセンサケーブル回路の故障(断線、短絡)を検知することが可能となる。
本発明の一形態によると、基準電位は0Vより大きい所定電位であり、オペアンプのオフセット信号は、電荷変化型センサまたはセンサケーブルの断線または短絡に応じて所定電位またはオペアンプの飽和出力電位になる。
本発明の一形態によれば、電荷変化型センサの出力回路の出力(オペアンプのオフセット信号)から電荷変化型センサまたはセンサケーブルの断線または短絡のいずれかを選別して検知することが可能となる。
本発明の一形態によると、さらに、オペアンプの出力に接続し、電荷変化型センサまたはセンサケーブルの断線または短絡の有無を判定する判定回路を備え、その判定回路は、オペアンプの出力を受けて検出信号を出力するローパスフィルタと、オペアンプの出力を受けてオフセット信号を出力する平滑回路とを有する。
本発明の一形態によれば、電荷変化型センサの出力回路が備える判定回路が、電荷変化型センサの検出信号と、電荷変化型センサまたはセンサケーブルの断線または短絡を示すオフセット信号とを区別可能に出力するので、電荷変化型センサの検出信号の取得前、取得中のいずれにおいても逐次電荷変化型センサまたはセンサケーブルの故障の有無を速やかに把握することが可能となる。
本発明の一形態によると、第2抵抗は測温抵抗体からなり、オフセット信号から電荷変化型センサ近傍の温度を検出する。
本発明の一形態によれば、電荷変化型センサの出力回路において、電荷変化型センサの温度を測定し、測定データの温度補償に利用することが可能となる。
本発明の一形態によると、判定回路は、オペアンプの反転入力と出力とを入力とする差動アンプを有し、ローパスフィルタと平滑回路は当該差動アンプの出力に接続する。
本発明の一実施例に従う、電荷変化型センサの出力回路の構成を示す図である。 従来の電荷変化型センサの電流―電圧変換回路の構成例を示す図である。 図2の時間積分器の出力例を示す図である。 本発明の他の実施例に従う、電荷変化型センサの出力回路の構成を示す図である。 電荷変化型センサの出力回路の出力を示す図である。 電荷変化型センサの出力回路の出力を示す図である。
図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。なお、比較のために必要に応じて従来技術を示す図も参照しながら説明する。また、以下の説明では、いずれも電荷変化型センサとして、センサケーブルを用いる圧電センサを使用する場合を示しているが、本発明は、圧電センサのみならず、電極基板間の静電容量の変化を利用する静電容量式や摩擦力によって発生する静電気量を利用する摩擦電気方式等の任意の電荷変化型のセンサに対しても適用可能である。
図1は、本発明の一実施例に従う、電荷変化型センサの出力回路の構成を示す図である。図2は、比較のために示す、従来の電荷変化型センサの電流―電圧変換回路の構成例を示す図である。最初に図2の従来の電荷変化型センサの電流―電圧変換回路について説明する。
図2において、領域10は圧電センサの等価回路であり、センサ内部の静電容量C1を含む。ΔQは圧電センサで発生する電荷量を意味する。領域11は圧電センサのセンサケーブルの等価回路であり、絶縁抵抗rと静電容量C2を含む。領域12は電流―電圧変換回路であり、オペアンプ14を含む。オペアンプ14の非反転入力(+)は、圧電センサのセンサケーブルに接続するとともに抵抗R3を介して接地され、反転入力(−)と出力Voutはフィードバックライン15で接続される。オペアンプ14の出力Voutは時間積分器13に入力される。時間積分器13は、電荷ΔQに比例する測定データを得たい場合に、出力Voutを時間積分するための回路である。
図2の回路は、圧電センサで発生した電荷ΔQによる電流I(=d(ΔQ)/dt)が抵抗R3を流れるときに発生する電圧Voutを出力する回路である。測定したい現象が、カットオフ周波数fc=1/(2π(C1+C2)R3)より十分低い周波数であり、かつセンサケーブルの絶縁抵抗rおよびオペアンプの入力インピーダンスが無限大であるとき、圧電センサおよびセンサケーブルの静電容量C1、C2に無関係に、次式により電荷ΔQによる電流Iに比例した電圧Voutが得られる。さらに時間積分器13からはVoutを時間積分した測定データが得られる。

Vout=I×R3 (1)
図2の従来の電流―電圧変換回路では、カットオフ周波数fcの前後で、出力特性が変化してしまう。すなわち、測定したい現象がカットオフ周波数fcより低い周波数であるときは、(1)式による電流Iに比例した電圧Voutが得られるが、カットオフ周波数fcより高い周波数であるときは、電荷ΔQに比例した電圧Voutが得られる。
また、図2の従来の電流―電圧変換回路では、圧電センサまたはセンサケーブルが故障(断線、短絡)しても、電荷ΔQが発生していないときは、出力Voutはゼロのままで変わらず、その故障を検知することはできない。なお、断線とは、電流―電圧変換回路への入力がオープンになる状態を意味し、短絡とは電流―電圧変換回路への入力がグランドに落ちてしまう状態を意味する。したがって、図2の回路では、実際に測定を開始して、電荷ΔQが測定できないことを確認してはじめて故障を知ることとなる。したがって、回路動作の信頼性を得るために、電荷ΔQを測定する前に故障を確認したい場合、この回路に影響を与えないような故障検知回路を別途用意する必要がある。
図1の本発明の回路において、領域20は圧電センサの等価回路であり、センサ内部の静電容量C1と、今回新たに追加する抵抗R2を含む。ΔQは圧電センサで発生する電荷量を意味する。なお、図1では、抵抗R2は圧電センサの一部として描かれているが、圧電センサの出力に接続する外部の抵抗R2として構成してもよい。
領域21は圧電センサのセンサケーブルの等価回路であり、絶縁抵抗rと静電容量C2を含む。領域22は電流―電圧変換回路であり、オペアンプ24と、オペアンプ24の非反転入力(+)に入力される基準電圧Vinと、オペアンプ24の反転入力(−)と出力Voutの間を結ぶフィードバックライン25に設けられた抵抗R1を含む。オペアンプ24の反転入力(−)は、圧電センサのセンサケーブルに接続し、その出力Voutは時間積分器23に入力される。
図1の本発明の回路は、オペアンプ24によって、圧電センサで発生した電荷ΔQを、抵抗R1に流れる電流で打ち消すように発生する電圧Voutを出力する回路である。圧電センサの抵抗R2を流れる電流は、その抵抗値と基準電圧Vinによって固定されるので、圧電センサで発生した電荷ΔQは圧電式センサの抵抗R2を通じて流れず、抵抗R1をフィードバックする電流によってすべて打ち消される。圧電センサおよびセンサケーブルの静電容量C1、C2に無関係に、次式により、電流I(=d(ΔQ)/dt)に比例した電圧Voutが得られる。

Vout=(I+Vin/R2)×R1+Vin (2)
時間積分器23からはVoutを時間積分した測定データが得られる。図3は、時間積分器23の出力例を示す図である。この時間積分量は、圧電センサで発生した電荷量ΔQに比例する。
図1の回路における利点は、センサケーブルの絶縁抵抗rおよびオペアンプの入力インピーダンスと比較して、圧電センサの抵抗R2を十分小さく設定することが可能で、その結果、センサケーブルの絶縁抵抗rの変化およびオペアンプ24の反転入力(−)に流れ込む微小電流の変化による電圧Voutへの影響を十分無視できる(小さくできる)ことである。
また、図1の回路では、電荷ΔQが発生していないときの出力Voutのゼロ点(ベース電位)をグランドからオフセットさせることで、圧電センサまたはセンサケーブルの断線または短絡を、電圧Voutが基準電圧Vinになるまたは飽和することで検知可能である。なお、断線とは電流―電圧変換回路への入力がオープンになる状態を意味し、短絡とは電流―電圧変換回路への入力がグランドに落ちてしまう状態を意味する。したがって、回路動作の信頼性を得るために、電圧Voutを常にモニタすることで、電荷ΔQを測定する前からでも電圧Voutから故障(断線、短絡)の有無を検知することが可能である。この故障の検知についてはさらに後述する。
さらに、圧電センサは大きな温度特性を持つことが知られているが、圧電センサの内部抵抗R2を測温抵抗体に置き換え、Voutのゼロ点のオフセット量(オフセット電位)の変化を検知することで、圧電センサの内部温度を測定し、測定データの温度補償に利用することができる。
図4は、本発明の他の実施例として、電荷変化型センサの出力回路の構成を示す図である。図4の構成は、上述した故障(断線、短絡)の検知と圧電センサの内部温度の測定もおこなうことができる構成例である。
図4において、領域30は圧電センサの等価回路である。C1はセンサ内部の静電容量であり、ΔQは圧電センサで発生する電荷量を意味する。抵抗R4は測温抵抗体であり、例えばサーミスタや白金(Pt)抵抗体等である。抵抗R4は圧電センサの少なくとも近傍に配置される。
領域31は電流―電圧変換回路であり、図1の構成と同様に、オペアンプ32と、オペアンプ32の非反転入力(+)に入力される基準電圧Vinと、オペアンプ32の反転入力(−)と出力Voutの間を結ぶフィードバックライン33に設けられた抵抗R1を含む。オペアンプ32の反転入力(−)は、圧電センサのセンサケーブルに接続し、さらに出力Voutと共に差動アンプ34に入力される。差動アンプ34は、基準電圧Vinの影響を除去した出力を得るために設けられる。差動アンプ34の出力Vrは、ローパスフィルタ35と平滑回路36に接続される。ローパスフィルタ35は、出力信号Vrの高周波ノイズの除去、オフセット補正、および増幅をおこなって、Vr1を出力する。平滑回路36は、出力信号Vrの平滑化(直流電圧化)および増幅をおこなって、圧電センサの検出信号成分を除去したDC電圧Vr2を出力する。
図5と図6は、図4の回路の出力例を示す図である。図5では、差動アンプ34の出力Vrとローパスフィルタ35の出力Vr1が示されている。図5の出力VrとVr1は、測温抵抗体R4による温度検知および圧電センサまたはセンサケーブルの故障(断線、短絡)が発生していない状態での圧電センサによる検出信号を反映した出力である。出力VrとVr1は、初期のオフセットレベル(図5では0V)上で変化している。出力Vr1では、出力Vrの高周波ノイズ成分が除去された波形となっている。
図6では、差動アンプ34の出力Vrと、ローパスフィルタ35の出力Vr1と、平滑回路36の出力Vr2が示されている。図6では、測温抵抗体R4による温度検知がおこなわれ、出力VrとVr1のオフセットレベルがΔVだけ上昇し、そのΔVに相当する平滑回路36のDC出力Vr2が得られている。なお、ピエゾケーブルの故障(断線)が発生する場合は、平滑回路36のDC出力Vr2は0Vに張り付いたままになる。一方、圧電センサまたはセンサケーブルの故障(短絡)が発生した場合は、レンジ上限で飽和した出力に張り付いたままになる。
図6の例から明らかなように、図4の回路において、出力信号Vr、Vr1またはVr2で得られる電圧波形から、圧電センサから発生する電流(検出信号)、温度信号(測温抵抗体R4による温度変化)あるいは圧電センサまたはセンサケーブルの故障(断線または短絡)信号を得ることができる。さらに、圧電センサから発生する電流に応じた検出信号Vr1を時間積分器などで時間積分することにより、圧電センサで発生した電荷ΔQに比例した信号を得ることができる。
上述した実施形態は一例でありこれに限定されるものではない。本発明は、既に述べたように、圧電センサのみならず、静電容量型の加速度センサ、荷重センサ等の任意の電荷変化型のセンサに対して発振回路および検波回路不要で適用可能であり、また、ピエゾ抵抗型の加速度センサ、荷重センサ等の任意の電流変化型のセンサに対して適用可能である。

Claims (4)

  1. 電荷変化型センサの出力回路であって、
    電荷変化型センサの出力にセンサケーブルを介して接続する反転入力と、基準電位に接続する非反転入力と、前記反転入力に第1抵抗を介して接続する出力とを有するオペアンプと、
    前記電荷変化型センサの出力とグランドとの間に接続される第2抵抗と、
    を備え、
    前記オペアンプは、前記電荷変化型センサが保有する電荷量に応じて変化する検出信号を出力すると共に、前記電荷変化型センサまたは前記センサケーブルの断線または短絡の際にそれぞれ所定のオフセット信号を出力し、
    前記出力回路は、さらに、前記オペアンプの出力に接続し、前記電荷変化型センサまたは前記センサケーブルの断線または短絡の有無を判定する判定回路を備え、
    当該判定回路は、
    前記オペアンプの出力を受けて前記検出信号を出力するローパスフィルタと、
    前記オペアンプの出力を受けて前記オフセット信号を出力する平滑回路とを有する、
    荷変化型センサの出力回路。
  2. 前記判定回路は、前記オペアンプの反転入力と出力とを入力とする差動アンプを有し、
    前記ローパスフィルタと前記平滑回路は当該差動アンプの出力に接続する、請求項に記載の電荷変化型センサの出力回路。
  3. 電荷変化型センサの出力回路であって、
    電荷変化型センサの出力にセンサケーブルを介して接続する反転入力と、基準電位に接続する非反転入力と、前記反転入力に第1抵抗を介して接続する出力とを有するオペアンプと、
    前記電荷変化型センサの出力とグランドとの間に接続される第2抵抗と、
    を備え、
    前記オペアンプは、前記電荷変化型センサが保有する電荷量に応じて変化する検出信号を出力すると共に、前記電荷変化型センサまたは前記センサケーブルの断線または短絡の際にそれぞれ所定のオフセット信号を出力し、
    前記第2抵抗は測温抵抗体からなり、前オフセット信号から前記電荷変化型センサ近傍の温度を検出する、
    荷変化型センサの出力回路。
  4. 前記基準電位は0Vより大きい所定電位であり、前記オペアンプのオフセット信号は、前記電荷変化型センサまたは前記センサケーブルの断線または短絡に応じて前記所定電位または前記オペアンプの飽和出力電位になる、請求項1ないし3のいずれかに記載の電荷変化型センサの出力回路。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013061984A1 (ja) * 2011-10-28 2013-05-02 株式会社村田製作所 変位検出装置、および変位検出方法
US9310412B2 (en) * 2012-01-20 2016-04-12 Rosemount Inc. Field device with self-testing of a piezoelectric transducer
LU92090B1 (en) 2012-10-29 2014-04-30 Iee Sarl Piezoelectric and/or electret sensing device
US9287320B2 (en) * 2013-04-19 2016-03-15 SK Hynix Inc. Semiconductor device and operating method thereof
JP5741967B2 (ja) 2013-04-23 2015-07-01 株式会社デンソー 燃料性状センサ及びその故障検出方法
CN105518432B (zh) * 2013-09-06 2018-03-30 国际商业机器公司 检测设备、检测方法以及计算机可读介质
CN105588951A (zh) * 2014-10-23 2016-05-18 北京自动化控制设备研究所 一种分子电子型角加速度计微弱信号处理电路
JP2016095268A (ja) * 2014-11-17 2016-05-26 株式会社デンソー 信号処理装置
JP6386970B2 (ja) * 2015-05-25 2018-09-05 アルプス電気株式会社 センサの異常検出装置及びセンサ装置
JP6288374B2 (ja) * 2015-06-11 2018-03-07 株式会社村田製作所 押圧センサおよび電子機器
DE102017222624A1 (de) * 2017-12-13 2019-06-13 SKF Aerospace France S.A.S Beschichtete Lagerkomponente und Lager mit einer solchen Komponente
JP7407617B2 (ja) 2020-02-21 2024-01-04 リオン株式会社 加速度測定装置および加速度測定方法
WO2022074963A1 (ja) * 2020-10-08 2022-04-14 アルプスアルパイン株式会社 静電容量検出装置及び入力装置

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4473796A (en) * 1981-03-02 1984-09-25 Ford Aerospace & Communications Corporation Resistance and capacitance measuring device
JPS5826631U (ja) * 1981-08-13 1983-02-21 三菱電機株式会社 振動センサ
JPS5846131U (ja) * 1981-09-24 1983-03-28 三菱電機株式会社 振動センサ
US4888514A (en) * 1987-10-16 1989-12-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Driving apparatus for ultrasonic motor
KR920006455B1 (ko) * 1988-02-22 1992-08-06 미쓰비시전기주식회사 내연기관의 실린더내 압력검출장치
JPH0687529B2 (ja) * 1991-03-28 1994-11-02 株式会社クボタ 電荷増幅器
DK0970386T3 (da) * 1998-01-23 2006-11-13 Tokyo Electron Ltd Impedans-til-spænding-konverter
TW418323B (en) * 1998-02-19 2001-01-11 Sumitomo Metal Ind Capacitance detection system and method
JP3301405B2 (ja) * 1999-03-17 2002-07-15 株式会社村田製作所 圧電式加速度センサ用増幅回路
JP3664041B2 (ja) * 2000-05-17 2005-06-22 株式会社村田製作所 電荷型センサ用増幅回路
JP2002168719A (ja) * 2000-12-01 2002-06-14 Ngk Spark Plug Co Ltd 圧電型圧力センサ用チャージアンプ
DE10221878A1 (de) * 2001-06-01 2003-01-16 Omron Corp Kyoto Berührender Versetzungsdetektor und -sensor
US6636122B2 (en) * 2001-10-09 2003-10-21 Zilog, Inc. Analog frequency locked loop with digital oversampling feedback control and filter
JP2004245705A (ja) * 2003-02-14 2004-09-02 Orc Mfg Co Ltd センサ装置
JP2007051930A (ja) * 2005-08-18 2007-03-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電荷変化型センサの信号処理装置
US7414466B2 (en) * 2006-06-22 2008-08-19 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. Apparatus for reducing offset voltage drifts in a charge amplifier circuit
US7997144B1 (en) * 2007-05-11 2011-08-16 Purdue Research Foundation System and method of measuring quasi-static force with a piezoelectric sensor

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