JP5069633B2 - 既設天井設置機器の交換方法 - Google Patents

Description

この発明は、クリーンルームの天井部に設置されているファンフィルタユニット（以下、「ＦＦＵ」という）などの既設天井設置機器の交換方法に関する。

クリーンルームの天井部には、クリーンルーム内の空気を浄化するＦＦＵや照明パネルなどが設置されている。クリーンルームにおいては、天井側に張り渡した天井フレーム枠に多数のＦＦＵを据付けることにより、天井部を構成している。天井部におけるＦＦＵや照明パネルが据付けられない部位は、フレーム枠にブランクパネルを装着させることにより塞がれている。ＦＦＵは、空気を浄化するフィルタと空気を循環させるファンを有しており、長期使用により浄化能力が低下することから、一定期間使用したＦＦＵは交換することが必要となる。

図１０および図１１は、クリーンルームおよび従来におけるＦＦＵの交換方法を示している。例えば精密電子部品を製造する工場１０には、クリーンルーム１１と、プレナムチャンバー１２、ＣＲピット階（ユーティリティーゾーン）１３が形成されている。リーンルーム１１の天井裏に位置するプレナムチャンバー１２の空気は、クリーンルーム１１の天井部１１ａに設置された多数のＦＦＵ３０ａを介してクリーンルーム１１内に流入し、クリーンルーム１１内に流入した空気は、クリーンルーム１１から床下のＣＲピット階１３へ排出される。ＣＲピット階１３へ排出された空気は、プレナムチャンバー１２に戻され、再びＦＦＵ３０ａを介してクリーンルーム１１に流入する。このように、クリーンルーム１１内の空気は一定方向に循環するようになっている。

既設のＦＦＵ３０ａの交換作業に際しては、クリーンルーム１１の天井部１１ａに機器類を搬入および搬出するための開口部Ａ１〜Ａ３を設ける必要がある。図１１に示すように、開口部Ａ１は、天井フレーム枠２０に支持された既設のＦＦＵ３０ａなどを取外すことにより形成される。他の開口部Ａ２、Ａ３も同様にＦＦＵ３０ａなどを取外すことにより形成される。つぎに、新品のＦＦＵ３０ｂは、エレベータ１を経由して空気が浄化されていない前室２へ搬入され、空気が浄化されているクリーンルーム前室１１ｃを経由した後、クリーンルーム１１内に搬入される。クリーンルーム１１内には、予め揚重装置５が搬入されており、ＦＦＵ３０ｂは揚重装置５によって保護ケース６に収納された状態で天井側に向けて持ち上げられ、搬入口Ａ１から天井裏に搬入される。各搬入口Ａ１〜Ａ３からは、順次ＦＦＵ３０ｂが天井裏に搬入され、既設のＦＦＵ３０ａは新品のＦＦＵ３０ｂと交換される。

クリーンルームの天井部にＦＦＵなどを据付ける技術として、伸縮自在のロッドを有するリフトを用いてＦＦＵなどの天井設置機器を天井部の開口部に搬入する方法（例えば、特許文献１参照。）や、予めクリーンルームの天井裏にレールを敷設し、このレールに沿って自走する駆動台車を利用してＦＦＵなどを搬送する方法（例えば、特許文献２参照。）が知られている。
特許２８１６７７６号 特開平１１−２５３７２８号公報

しかし、図１０、１１および上記特許文献１の方法では、クリーンルーム１１内にＦＦＵ３０ｂや揚重装置５を搬入し、天井開口部から天井裏にＦＦＵなどの機器類を搬入する必要があることから、クリーンルーム１１内に工事監督者Ｋを多数配置しなければならず、交換作業も夜間や休日に限定されるという問題があった。また、クリーンルーム１１内には、精密電子部品を製造するための複数の生産装置１２ａ〜１２ｆが配置されており、ＦＦＵ３０ｂの交換に際しては、複数の生産装置１２ａ〜１２ｆを塵埃から確実に保護するために、シートなどによって二重の養生を施す必要がある。さらに、クリーンルーム１１の天井部１１ａには多量のＦＦＵ３０ａが設置されており、作業量との関係から年末年始などの長期休日を利用して交換作業を実施せざるを得なかった。そのため、作業人員の確保が難しく、交換コストも増大するという問題が生じていた。

また、特許文献２の方法では、クリーンルームの天井裏に通常使用することのないレールや自走台車を設置することになり、スペースや設備費が無駄になるという問題がある。

ところで、クリーンルーム１１の天井部１１ａにおけるブランクパネル２５は、クリーンルーム１１内の圧力によって浮上しにくい質量を有しており、強度も十分有していることから、このブランクパネル２５を有効利用した天井設置機器の搬入方法の開発が望まれる。

そこでこの発明は、クリーンルームの稼動中であっても天井設置機器を天井裏に搬入することを可能にし、しかも天井設置機器の搬入時に稼動中のクリーンルーム内に発塵を生じさせない既設天井設置機器の交換方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、クリーンルームの非生産エリアから前記クリーンルームの天井裏へ天井設置機器および外力によって容易に弾性変形する走行タイヤを有する台車を搬入し、前記天井設置機器が搭載された前記台車を天井裏の天井フレーム枠で支持されたブランクパネルの上を走行させて前記天井設置機器を既設天井設置機器が配置される前記天井裏の交換位置まで搬送する、ことを特徴とする既設天井設置機器の交換方法である。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の既設天井設置機器の交換方法において、前記天井設置機器の前記台車による前記交換位置までの搬送は前記クリーンルームの稼動中に行い、前記天井設置機器と前記既設天井設置機器との交換は前記クリーンルームの休止中に行う、ことを特徴としている。

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の既設天井設置機器の交換方法において、前記クリーンルームの非生産エリアにおける前記天井裏への搬入箇所は、クリーンルームからの清浄空気を天井裏へ導くレターンシャフトであることを特徴としている。

請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の既設天井設置機器の交換方法において、前記台車の車輪は、充填空気量が所定範囲内に低減された走行タイヤから構成されている、ことを特徴としている。

請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の既設天井設置機器の交換方法において、前記台車の荷台には、搬送時に前記既設天井設置機器が滑るのを防止する滑り止め部材が設けられている、ことを特徴としている。

請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の既設天井設置機器の交換方法において、前記天井設置機器は、前記クリーンルーム内の空気を浄化するためのファンフィルタユニットである、ことを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、クリーンルームの非生産エリアからクリーンルームの天井裏へ天井設置機器を搬入するようにしているので、クリーンルームの稼動中であっても天井裏への天井設置機器の搬入が可能となり、天井設置機器の搬入作業がクリーンルームの生産工程の動線（流れ）に影響を与えることはない。また、天井設置機器が搭載された台車は、天井フレーム枠で支持されたブランクパネルの上を走行できるので、天井裏に専用レールを敷設する必要がなく、設備費用を低減することができる。さらに、台車は外力によって容易に弾性変形する車輪を有しているので、台車がブランクパネルを支持する天井フレーム枠を乗り越える際の衝撃を十分に吸収することができ、台車の走行によるクリーンルーム内の発塵を防止することができる。

請求項２に記載の発明によれば、天井設置機器の台車による交換位置までの搬送はクリーンルームの稼動中に行うようにしているので、休日の搬入作業が不要となり、作業者の確保が容易になるとともに、休日作業に伴う作業コストを低減することができる。

請求項３に記載の発明によれば、クリーンルームの非生産エリアにおける天井裏への搬入箇所を、クリーンルームからの清浄空気を天井裏へ導くレターンシャフトとしているので、従来から存在するスペースを利用して天井設置機器の搬入経路を確保することができ、搬入経路を新設する必要がなくなる。

請求項４に記載の発明によれば、走行タイヤの充填空気量を所定範囲内に低減することにより、外力によって容易に弾性変形する車輪を低コストで得ることができ、台車の製作コストを低減することができる。

請求項５に記載の発明によれば、台車の荷台に滑り止め部材を設けているので、台車による天井設置機器の搬送時に、台車に対する天井設置機器のずれや台車からの天井設置機器の脱落することを防止することができ、搬入作業の安全性を高めることができる。

請求項６に記載の発明によれば、天井設置機器であるＦＦＵは、使用により浄化能力が低下するためで照明パネルなどの他の機器に比べて交換頻度が高く、それだけ交換作業に伴うクリーンルームの生産ラインの停止リスクが高まるが、クリーンルーム内へ入ることなくＦＦＵの交換が可能となるので、従来に比べて生産ラインの停止リスクを著しく低減でき、ＦＦＵの交換作業に対する不安要素を排除することができる。

以下、この発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。

図１ないし図９は、この発明の実施の形態を示している。図１に示すように、例えば精密電子部品を製造する工場１０には、クリーンルーム１１と、プレナムチャンバー１２、ＣＲピット階１３が、上方から下方に順に形成されている。クリーンルーム１１の天井裏に位置するプレナムチャンバー１２の空気は、クリーンルーム１１の天井部１１ａに設置された多数のＦＦＵ３０ａを介してクリーンルーム１１内に流入し、クリーンルーム１１内に流入した空気は、クリーンルーム１１から床下のＣＲピット階１３へ排出される。ＣＲピット階１３へ排出された空気は、プレナムチャンバー１２に戻され、再びＦＦＵ３０ａを介してクリーンルーム１１に流入する。クリーンルーム１１の生産エリア１１ｂには、精密電子部品を製造するための複数の生産装置１２ａ〜１２ｆが配置されている。クリーンルーム１１の稼動中は、クリーンルーム１１内の空気は多数のＦＦＵ３０ａにより一定方向に循環するようになっており、クリーンルーム１１内の清浄度が一定に保たれている。

図２は、クリーンルーム１１の天井裏の構造を示している。クリーンルーム１１の天井部１１ａは、水平方向に張り渡された天井フレーム枠２０を有している。天井フレーム枠２０は、格子状に形成されており、天井フレーム枠２０の格子角部２０ａには吊り金具２１が取付けられている。天井裏には、工場１０の屋根側の鉄骨材（図示略）から天井フレーム２０に向かって多数の吊材２２が延びており、吊材２２の下端部が吊り金具２１と連結されている。これによって、天井フレーム枠２０は多数の吊材２２を介して工場１０の屋根側の鉄骨材に吊下げられている。吊材２２の途中には、天井部１１ａを水平に調整するためのターンバックル２３が設けられている。また、天井フレーム枠２０の格子角部２０ａは、斜め方向に延びる筋交い２４によって工場１０の頂部側と連結されている。これにより、天井部１１ａの耐震が図られている。クリーンルーム１１の稼動時には、クリーンルーム１１内の圧力は、天井裏に位置するプレナムチャンバー１２の圧力よりも高くなるが、天井部１１ａの天井フレーム枠２０に載置される部材は、ＦＦＵ３０ａの吸引力によって浮上しないように、ブランクパネル２５などの質量が考慮された構造となっている。

天井部１１ａには、クリーンルーム１１内の所定の清浄度に保つのに必要な数量のＦＦＵ３０ａが設置されている。ＦＦＵ３０ａは、天井フレーム枠２０を利用して固定されている。ＦＦＵ３０ａは、図４に示すように、天井フレーム枠２０の各格子に装着可能な大きさに形成されており、上面側にファン３０ｂ１と制御ボックス３０ｂ２が設けられている。天井フレーム枠２０には、クリーンルーム１１内を照らす照明パネル（図示略）も取付けられている。天井フレーム枠２０のうちＦＦＵ３０ａまたは照明パネルが取付けられない部位は、ブランクパネル２５によって塞がれている。

ブランクパネル２５は、図３に示すように、鋼板の表面２５ａに合成樹脂の薄膜を形成した平板状のラミネート鋼板から構成されている。ブランクパネル２５の周縁部は、図７に示すように、天井フレーム枠２０によって支持されている。ブランクパネル２５の板厚Ｔは、例えば１０ｍｍに設定されており、後述する台車４０が走行するのに十分な強度を有している。天井フレーム枠２０は、枠本体２０ａと、押え板２０ｂと、ボルト２０ｃ、２０ｄとを有している。ブランクパネル２５は、底面側周縁部が逆Ｔ字状の枠本体２０ａの底部によって受け止められている。ブランクパネル２５の上面側周縁部は、一方のボルト２０ｄを介して押え板２０ｂに連結されている。押え板２０ｂは他方のボルト２０ｃを介して枠本体２０ａの上部に連結されている。このように、ブランクパネル２５は、周縁部の全周にわたって天井フレーム枠２０によって支持されており、外力が作用しても天井フレーム枠２０に対して位置ずれしない構造となっている。この実施の形態におけるブランクパネル２５は、板厚１０ｍｍのラミネート鋼板で構成されているが、折り曲げ加工などにより強度が十分に高められた構造であれば、板厚Ｔが１０ｍｍよりも薄い鋼板を使用することも可能である。

図５は、ＦＦＵ３０ｂを搬送するために用いられる台車４０を示している。台車４０は、主として荷台４１と、滑り止め部材４３と、車輪４５を有している。荷台４１は、軽量化およびＦＦＵ３０ａの積載性を向上させるため、平板状のアルミニウム合金板から構成され、側方は開放空間になっているが、ＦＦＵ３０ｂが収納可能な籠状としてもよい。荷台４１の上面側の走行方向両端部には、ＦＦＵ３０ａを受け止める滑り止め部材４３が取付けられている。滑り止め部材４３は、台車４０の走行時に荷台４１に対する位置ずれや、荷台４１からＦＦＵ３０ａが脱落するのを防止するため、ＦＦＵ３０ａとの摩擦抵抗が大きくなるように、ゴム板から構成されている。荷台４１の下面側の四隅には、車輪（キャスタ）４５が取付けられている。車輪４５は、荷台４１に固定される固定金具４６と、固定金具４６に対して軸心周り（矢印Ｃ方向）に回動自在な自在金具４７を有している。自在金具４７には車軸４８を介してホイール４９が取付けられている。ホイール４９には、走行タイヤ５０が装着されている。

走行タイヤ５０は、外力によって容易に弾性変形するゴムタイヤから構成されている。走行タイヤ５０は、クリーンルーム１１の天井部１１ａを構成する天井フレーム枠２０を乗り越える際の衝撃を十分に吸収することが可能なように、充填空気量が所定値に設定されている。ここでは、充填空気量は、タイヤ内充満状態（推奨タイヤ圧）に対して７０％程度となっている。走行タイヤ５０は、充填空気量が６０〜９０％であれば、段差に対して容易に変形することが可能であるが、充填空気量がタイヤ内の充満状態に対して６０％未満であると、走行抵抗が増加して台車４０を移動させるのに大きな力が必要となるので、充填空気量は上記範囲に設定するのが望ましい。このように、走行タイヤ５０の充填空気量を所定範囲内に低減することにより、外力によって容易に弾性変形する車輪４５を低コストで得ることができ、台車４０の製作コストを低減することができる。

つぎに、この発明に関する既設天井設置機器の交換方法について説明する。

既設のＦＦＵ３０ａの交換作業を開始するに際し、まず工場１０の天井裏における搬入経路に位置する吊材２２や筋交い２４を取外す。天井部１１ａは、多数の吊材２２や筋交い２４により支持されているので、ＦＦＵ３０ｂの搬入経路に位置する吊材２２や筋交い２４を取外しても、とくに問題は生じない。続いて、梱包解除された新品のＦＦＵ３０ｂを、エレベータ１を経由してクリーンルーム階の空気が浄化されていない前室２へ搬入し、空気が浄化されているクリーンルーム前室１１ｃを経由した後、クリーンルーム１１内の非生産エリア１１ｄのレターンシャフト（ＲＡシャフト）１１ｅに搬入し、ここに仮置きする。レターンシャフト１１ｅは、クリーンルーム１１からの清浄空気を天井裏へ導くダクトとしての機能を有しており、クリーンルーム１１としては当然必要なものである。したがって、レターンシャフト１１ｅという従来から存在するスペースを利用することにより、新たな搬入経路を新設することなく、ＦＦＵ３０ｂの搬入経路を確保することができる。

つぎに、図８に示すように、レターンシャフト１１ｅに仮置きされたＦＦＵ３０ｂを、直上に位置する開口部Ｂに引き上げ、ＦＦＵ３０ｂを天井裏に搬入する。この実施の形態では、ＦＦＵ３０ｂの引き上げはロープ３５を用いて行うようにしているが、リフトを用いた作業にしてもよい。レターンシャフト１１ｅは、非生産エリア１１ｄであるので、クリーンルーム１１が稼動していても生産上の動線を邪魔することはなく、クリーンルーム１１における精密電子部品の生産に支障はない。また、レターンシャフト１１ｅには清浄気流が循環しているため、養生なしにそのままＦＦＵ３０ｂを天井裏に搬入することができる。同様に、ＦＦＵ３０ｂの搬送するための台車４０も開口部Ｂを介してクリーンルーム１１の天井裏に搬入する。

図６に示すように、天井裏に搬入されたＦＦＵ３０ｂは、作業者によって台車４０に積載される。台車４０の荷台４１には、ゴム板からなる滑り止め部材４３が設けられているので、ＦＦＵ３０ｂは滑り止め部材４３にて受け止められることになる。そして、ＦＦＵ３０ｂは、ブランクパネル２５によって形成された走行経路Ｓ１〜Ｓ４を走行する台車４０によって交換位置まで搬送される。台車４０の荷台４１には滑り止め部材４３が設けられているので、ＦＦＵ３０ｂの搬送作業において、格別の固定手段を用いなくても、ＦＦＵ３０ｂの台車４０に対する位置ずれや、台車４０からのＦＦＵ３０ｂの脱落を防止することができ、搬送作業の安全性を高めることができる。

ブランクパネル２５を支持する天井フレーム枠２０は、図６および図７に示すように、ブランクパネル２５の上面よりも上方に突出しているので、台車４０の走行経路Ｓ１〜Ｓ４には天井フレーム枠２０によって段差が生じるが、この段差による台車４０に作用する衝撃は走行タイヤ５０の弾性変形によって確実に吸収される。つまり、走行タイヤ５０は、充填空気量がタイヤ内充満状態に対して７０％程度となっているので、台車４０が天井フレーム枠２０を乗り越える際には、走行タイヤ５０は弾性変形によりブランクパネル２５の上面から僅かに高さＨだけ浮き上がることになり、台車４０の荷台４１はほとんど上下動することがない。したがって、台車４０が天井フレーム枠２０を通過する際でも、天井部１１ａが振動することはほとんどなく、台車４０の走行によるクリーンルーム１１内の発塵を防止することができる。

ブランクパネル２５は、クリーンルーム１１内の圧力によって浮上しない質量を有しており、強度も十分有していることから、台車４０が頻繁にブランクパネル２５の上を走行しても、ブランクパネル２５が変形することもない。また、ブランクパネル２５の上を作業者も歩行することになるが、ブランクパネル２５は十分な強度を有しているので、ＦＦＵ３０ｂの搬入作業における作業の安全性も確保できる。

ＦＦＵ３０ｂが交換位置まで搬送されると、ＦＦＵ３０ｂは台車４０から降ろされ、図９に示すように、既設のＦＦＵ３０ａの近傍に仮置きされる。クリーンルーム１１の稼動時は、既設のＦＦＵ３０ａも稼動しているので、既設のＦＦＵ３０ａと新品のＦＦＵ３０ｂとの交換は、クリーンルーム１１の稼動が停止する夜間または休日に行われる。夜間または休日は、ＦＦＵ３０ｂの交換作業と配線作業のみに集中できるので、一日で例えば２００台以上の交換が可能となる。撤去されたＦＦＵ３０ａは、交換位置に仮置きし、平日のクリーンルーム１１の稼動時に搬入作業と逆の順序で搬出する。

このように、クリーンルーム１１の非生産エリア１１ｄからクリーンルーム１１の天井裏へＦＦＵ３０ｂを搬入するようにしているので、クリーンルーム１１の稼動中であっても天井裏へのＦＦＵ３０ｂの搬入が可能となり、ＦＦＵ３０ｂの搬入作業がクリーンルーム１１の生産工程の動線に影響を与えることはない。そして、クリーンルーム１１内への搬入が解消されるので、クリーンルーム１１内に工事監督者Ｋを多数配置する必要もなくなる。また、ＦＦＵ３０ｂが搭載された台車４０は、天井フレーム枠２０で支持されたブランクパネル２５の上をスムーズに走行できるので、従来技術のように天井裏に専用レールを敷設する必要がなく、設備費用を低減することができる。さらに、休日はＦＦＵ３０ｂの搬入が不要となるので、作業者の確保が容易になるとともに、休日作業に伴う作業コストを低減することができる。

ＦＦＵ３０ａは、使用により浄化能力が低下するためで照明パネルなどの他の機器に比べて交換頻度が高く、それだけ交換作業に伴うクリーンルーム１１の生産ラインの停止リスクが高まるが、クリーンルーム１１内へ入ることなくＦＦＵ３０ａの交換が可能となるので、従来に比べて生産ラインの停止リスクを著しく低減でき、ＦＦＵ３０ｂの交換作業に対する不安要素を排除することができる。

以上、この発明の実施の形態について説明したが、具体的な構成は、上記の実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても、この発明に含まれる。例えば、上記の実施の形態では、既設天井設置機器としてＦＦＵの交換の場合を説明したが、既設天井設置機器はこれに限らず、ＦＦＵのファン、ＦＦＵのフィルタ、レターンユニット、ＨＥＰＡフィルタユニットなどの交換にも、本発明は適用可能である。また、台車４０の走行タイヤ５０は、充填空気量を調整することにより外力に対して弾性変形しやすい構造としているが、空気圧を利用することなく弾性変形しやすく、しかも耐久性を有する素材を用いた構造を採用してもよい。さらに、台車４０の滑り止め部材４３をゴム板から構成したが、滑り止め効果を有する部材であれば、ＦＦＵ３０ｂを保護するクッション材などを用いてもよい。

以上のように、この発明に係る既設天井設置機器の交換方法は、クリーンルーム内の発塵を回避しながら、クリーンルームの操業に影響を与えることなく、しかも短い工期で既設天井設置機器の交換ができるので、産業上極めて有用である。

この発明の実施の形態に係る既設天井設置機器の交換方法を示す工場の透視斜視図である。 図１の工場の天井裏の構造を示す斜視図である。 図２の天井部を構成するブランクパネルの斜視図である。 図１の工場の天井部に取付けられるＦＦＵの斜視図である。 図４のＦＦＵを搬送するための台車の斜視図である。 図４のＦＦＵを積載した状態の台車の正面図である。 図５の台車の走行時における走行タイヤの弾性変形状態を示す拡大図である。 図４のＦＦＵをクリーンルームの天井裏に搬入する状態を示す斜視図である。 図４のＦＦＵをクリーンルームの天井裏の交換位置に仮置きした状態を示す斜視図である。 従来における既設天井設置機器の交換方法を示す工場の透視斜視図である。 図１０の既設天井設置機器の交換方法によるクリーンルーム内の作業状態を示す斜視図である。

符号の説明

１０ 工場
１１ クリーンルーム
１１ａ 天井部
１１ｂ 生産エリア
１１ｄ 非生産エリア
１１ｅ レターンシャフト
２０ 天井フレーム枠
２２ 吊材
２５ ブランクパネル
３０ａ 既設の天井設置機器
３０ｂ 新品の天井設置機器
４０ 台車
４１ 荷台
４３ 滑り止め部材
４５ 車輪
５０ 走行タイヤ

Claims (6)

1. クリーンルームの非生産エリアから前記クリーンルームの天井裏へ天井設置機器および外力によって容易に弾性変形する車輪を有する台車を搬入し、
   前記天井設置機器が搭載された前記台車を天井裏の天井フレーム枠で支持されたブランクパネルの上を走行させて前記天井設置機器を既設天井設置機器が配置される前記天井裏の交換位置まで搬送する、
   ことを特徴とする既設天井設置機器の交換方法。
2. 前記天井設置機器の前記台車による前記交換位置までの搬送は前記クリーンルームの稼動中に行い、
   前記天井設置機器と前記既設天井設置機器との交換は前記クリーンルームの休止中に行う、
   ことを特徴とする請求項１に記載の既設天井設置機器の交換方法。
3. 前記クリーンルームの非生産エリアにおける前記天井裏への搬入箇所は、クリーンルームからの清浄空気を天井裏へ導くレターンシャフトであることを特徴とする請求項１または２に記載の既設天井設置機器の交換方法。
4. 前記台車の車輪は、充填空気量が所定範囲内に低減された走行タイヤから構成されている、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の既設天井設置機器の交換方法。
5. 前記台車の荷台には、搬送時に前記既設天井設置機器が滑るのを防止する滑り止め部材が設けられている、
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の既設天井設置機器の交換方法。
6. 前記天井設置機器は、前記クリーンルーム内の空気を浄化するためのファンフィルタユニットである、
   ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の既設天井設置機器の交換方法。

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