JP5065468B2 - 半導体上の欠陥材料を自動的に分析するシステム及び方法 - Google Patents
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Description
図1に図示したシステムを用いた試料の検査において、ユーザは検出された欠陥の上に一次電子ビームを向け、x線放射を得る。次に、プロセッサ180は得られたX線放射のスペクトル195を表示し、ユーザはスペクトルのピークを解析して、そのようなピークを出すと知られている元素のリストを得る。しかしながら、このマニュアル方法は、遅く、扱いにくく、欠陥から放射されるx線は、バックグラウンドからのx線放射を含むという事実に影響される。その結果、欠陥の材料とバックグラウンドの材料、即ち、ウェーハとを見分けるのは難しく、しばしば不可能である。これは、一番上の層が誘電体、金属線、コンタクトホール等を構成する様々な元素を含むものであるパターン形成ウェーハにおいて特に問題である。
1. 欠陥を検知するステップ、
2. 欠陥及びその周辺の画像を分析するステップ、
3. 欠陥のEDXスペクトルを得るために欠陥上の好ましい点を決定し、欠陥のEDXスペクトルを得るステップ、
4. 欠陥のスペクトルを分析し、簡便な微量元素分析を行うステップ、
5. 基板のEDXスペクトルを得るために基質上の好ましい点を決定し、好ましい点からX線スペクトルを得るか又はライブラリからバックグラウンドのスペクトルを選択するステップ、
6. 欠陥とバックグラウンドのスペクトルを比較解析して欠陥材料の組成を同定する正味の欠陥スペクトルを得るステップ、
7. 正味のスペクトルを欠陥材料スペクトルライブラリ中のスペクトルと比較して欠陥の種類と原因を同定するステップ。
他の特徴や利点は、様々な図面に言及している下記の好適実施形態の詳細な説明から明らかになる。
I- 予め可能なバックグラウンド全てをサンプリングし、得られたスペクトルをバックグラウンドライブラリ210に保存する。次に適当なデータが、境界分析ごとに欠陥のバックグラウンド上の位置に従って持ってこられる。
II- 欠陥境界分析によって欠陥の幾何面積の外側のスペクトルを得る。
III- 欠陥の周りの大きな面積のスペクトルを得、その面積は十分に大きいので欠陥重量は無視でき、得られたスペクトルは欠陥の下のバックグラウンドを表している。
IV- 基準ダイの同じ位置の欠陥のスペクトルを得る。
欠陥スペクトルでは:O-1000正味カウント、Si-500正味カウント
バックグラウンドスペクトルでは:O-10000正味カウント、Si-10000正味カウント
欠陥/バックグラウンドスペクトル比はOが0.1であり、Siが0.05である。従って、Siは存在しない元素として示される(即ち、比が低い)。次に、バックグラウンドスペクトルを欠陥スペクトルの存在しない元素のSi正味カウント数によって正規化する。この数値例においては、バックグラウンドスペクトルはSiラインに500正味カウントを有するように正規化される(即ち、バックグラウンドスペクトルカウントを20で割る)。次に、正規化バックグラウンドを欠陥スペクトルから引くので、Siが欠陥スペクトルから除去され、Oが対応して調節される。
Claims (13)
- バックグラウンド内の物体の自動分析のためのシステムであって、
物体材料に関する元素及び異物に関する元素をリストとして含む物体材料ライブラリと、
バックグラウンド内の物体に、前記物体上の自動的に選択された1つ又はそれ以上の位置からx線を放射させるよう構成された照射手段と、
前記物体から放射されるx線を集めるよう構成されたx線検出器と、
前記x線検出器の出力を受容するよう構成されるとともに、前記物体が異物であるか否かを決定するために当該出力を前記ライブラリにリストとして含まれる元素と比較することによって前記x線検出器の出力を分析するよう構成されたプロセッサであって、前記比較によって、前記出力に含まれる元素及び元素の組み合わせが異物元素又は異物元素の組み合わせとして前記ライブラリにリストとして含まれている場合には、前記物体が異物であると決定するプロセッサと、
を含み、
前記プロセッサは、さらに、前記比較により前記物体が異物でないと決定した場合は、前記物体の材料組成を決定するために、前記x線検出器の出力及びバックグラウンドスペクトルを分析することを特徴とするシステム。 - バックグラウンド内の物体の自動分析のためのシステムであって、
異物に関する元素をリストとして含む異物ライブラリと、
バックグラウンド内の物体に、前記物体上の自動的に選択された1つ又はそれ以上の位置からx線を放射させるよう構成された照射手段と、
前記バックグラウンド内で前記物体から放射されるx線を集めるよう構成されたx線検出器と、
前記x線検出器の出力を受容するよう構成されるとともに、前記物体が異物であるか否かを決定するために当該出力を前記ライブラリにリストとして含まれる元素と比較することによって前記x線検出器の出力を分析するよう構成されたプロセッサであって、前記比較によって、前記出力に含まれる元素及び元素の組み合わせが異物元素又は異物元素の組み合わせとして前記ライブラリにリストとして含まれている場合には、前記物体が異物であると決定するプロセッサと、
を含み、
前記プロセッサは、さらに、前記比較により前記物体が異物でないと決定した場合は、前記物体の材料組成を決定するために、前記x線検出器の出力及びバックグラウンドスペクトルを分析することを特徴とするシステム。 - 物体材料及びバックグラウンド材料のうちいずれかに関する元素をリストとして含む少なくとも1つの別のライブラリをさらに含む、請求項2に記載のシステム。
- バックグラウンド内の物体の材料自動分析方法であって、
スペクトルを得るために、前記物体上の所望の位置を自動的に選択するステップ、
前記選択に基づいて物体のスペクトルを得るステップ、
該物体又はバックグラウンドのうち少なくとも一方に存在する元素に対応する、該物体のスペクトルからのカウント数を得るステップ、
前記物体のスペクトルの元素又は元素の組み合わせを既知の異物元素又は異物元素の組み合わせと比較し、物体のスペクトルの元素又は元素の組み合わせが既知の異物元素又は異物元素の組み合わせと一致した場合には、前記物体を異物と決定するステップと、
前記比較の結果、前記物体が異物でない場合は、前記物体の材料組成を決定するために前記物体のスペクトル及びバックグラウンドのスペクトルを分析するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - さらに、
バックグラウンドのスペクトルを得るステップ、
前記バックグラウンドに存在する元素に対応する、前記バックグラウンドのスペクトルのカウント数を得るステップ、
を含み、前記分析するステップは、
共通の元素に対応して、前記バックグラウンド及び物体のスペクトルに現れるすべてのカウント数を決定するステップ、
各共通の元素について、前記物体のスペクトルからのカウント数の前記バックグラウンドのスペクトルからのカウント数に対するカウント比を計算するステップ、
前記カウント比を分析して、共通の元素が前記物体に存在しない元素であるかどうかを決定するステップ、
前記物体のスペクトルからのカウント数を、前記存在しない元素のカウントに従って標準化して、物体の正味カウントを得るステップ、
前記物体の正味カウントを分析して、前記物体の材料組成を決定するステップ、
をさらに備える、請求項4に記載の方法。 - バックグラウンドのスペクトルを得る前記ステップは、
メモリからバックグラウンドスペクトルを取り出す方法、
前記バックグラウンド上の選択点からバックグラウンドスペクトルを得る方法、
前記物体の周囲の広い領域からバックグラウンドスペクトルを得る方法、
前記物体と同じ位置における基準ダイのスペクトルを得る方法、
のうちの1つにより行われる、請求項5に記載の方法。 - 前記比を分析するステップは、最低の比をもつ共通の元素を、前記存在しない元素として定義するステップを含む、請求項5に記載の方法。
- 前記比を分析するステップは、最低の比を選び、該最低の比が所定の閾値を超える場合には、該最低の比に対応する元素を存在しない元素として定義するステップを含む、請求項5に記載の方法。
- 前記標準化するステップは、
前記バックグラウンドのスペクトルからの任意のカウント数を、前記存在しない元素のカウント数に従って正規化して、正規化したバックグラウンドを得るステップ、及び
任意のカウント数の正規化したバックグラウンドを、物体のスペクトルから引いて、前記物体の正味カウントを得るステップ
を含む、請求項5記載の方法。 - 前記物体の正味カウントを解析するステップは、前記物体の正味カウントを物体の材料ライブラリと比較するステップを含む、請求項5記載の方法。
- 前記物体の材料ライブラリの各エントリについて、該エントリが前記存在しない元素を含むかを決定するステップ、及び
該エントリが前記存在しない元素を含む場合には、該エントリを正規化して該存在しない元素を除去するステップを更に含む、請求項10に記載の方法。 - 前記エントリを正規化するステップは、前記エントリのカウントレベルを前記エントリの前記存在しない元素の前記カウントに対応する量だけ低下させるステップを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記自動的に選択するステップは、
前記物体の画像を得るステップ、
境界分析を行って物体のフットプリントを得るステップ、
スペクトル測定のために、前記フットプリント上の点を選択するステップ、
を含んでいる、請求項4に記載の方法。
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