JP5062405B2 - 電子顕微鏡用の引張装置 - Google Patents

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Description

本発明は、電子顕微鏡による観察状態にある試料の引張を行う引張装置に関するものである。
従来、電子顕微鏡下で試料の微細な疲労状態を観察する引張装置(疲労試験装置)は、装着する当該電子顕微鏡の試料室の大きさにより当該引張装置の大きさに制限がある。そのため、試料を保持するホルダ部分と試料に与える荷重を測定する測定機構のみを、試料室内部の当該試料を観察位置にXおよびY方向に移動させるステージ上に設け、試料に荷重を与える動力部分は当該ステージの外側(例えば真空外の側壁)に設け、ジョイントなどで荷重を試料に印加する機構を採用している。
この状態で、試料の所望の位置が電子線ビームの照射位置にくるように当該試料を搭載したステージを移動させて位置付け、試料の引張状態、圧縮状態、繰り返し疲労状態なの微細構造を観察していた。この際、真空外の動力部分(モータ)からジョイント機構などで回転力を前記ステージ上に伝達して当該回転力をもとに試料の引張状態、圧縮状態、繰り返し状態に制御していた。
例えば特許文献1では、真空外に設けたモータの回転力を真空内に設けた引張機構に与えて試料に引張りなどの荷重を印加するようにしていた。
特開2001−7662号公報
上述したように、従来は、真空外に動力源を配置してその回転力をステージ上に配置した引張機構にジョイントで伝達し、当該引張機構に設定した試料に引張状態、圧縮状態、繰り返し疲労状態などに荷重を印加していたため、真空外の動力源と真空内のXY移動可能なステージ上の、試料を固定した引張機構とをジョイントで接続する必要があり、ステージの移動が制限を受けたり、試料の回転や傾斜が不可となり、引張状態、圧縮状態、あるいは繰り返し疲労状態にある試料を回転させたり、傾斜させたりして最適な角度から見た画像、特に転移などの方向性を持つ試料の状態を最適方向から見た(観察した)画像を生成し得ないと共に、2方向に傾斜した画像をそれぞれ撮影して立体観察し得ないという問題があった。
また、従来は、真空外に配置した動力源と真空内のジョイントでステージ上に配置した、試料を固定した引張機構とを接続する必要があり、試料を交換する場合には、
(1)全体を一体として電子顕微鏡の試料室から取り外すために試料室内を真空から大気圧にする。
(2)次に、試料室を大気圧状態にしたもとで全体(真空外に配置した動力源と、当該動力源と真空内のジョイントでステージ上に配置した、試料を固定した引張機構との全体)を一体として取り外して、あるいは動力源と引張機構とをつなぐ真空内のジョイントを外して当該引張機構を取り出して、作業台の上に載せる。
(3)作業台の上に載せた引張機構上に固定された試料を交換する。
(4)作業台上の全体(真空外に配置した動力源と、当該動力源とジョイントでステージ上に配置した、試料を固定した引張機構との全体)を試料室に取り付ける、あるいは引張機構を試料室のステージに固定してジョイントで動力源に接続する。
(5)試料室を大気圧から真空排気する。
(6)そして、電子線を試料に照射し、引張状態にある当該試料の画像を観察する。
という面倒かつ重量物を試料室から取り外して作業台の上に載せ、試料を交換後に再度、試料室に取り付けるなどの操作が必要となり、試料交換に多大の時間と手間が必要となってしまうという問題があった。
本発明は、これらの問題を解決するため、電子顕微鏡による観察状態にある試料の引張を行う引張装置において、引張対象の試料を固定すると共に試料を引張する引張機構と、引張機構とほぼ直交あるいはほぼ平行に、引張機構に接続して電気駆動可能な駆動源とを配置して固定したベースを備え、電子顕微鏡の試料室の側面に設けた交換棒あるいは交換機構で、電子顕微鏡の試料室内に設けたXY方向に移動可能なステージ上に固定されているベースを取り外して予備排気室に移動させたり、あるいは予備排気室内のベースを移動してステージ上に固定するようにしている。
この際、ベースを矩形あるいは円形あるいは円形の外周の一部をカットした形状とするようにしている。
また、ベース上に駆動源の電源に接続した接続端子を設け、交換棒でベースをステージに固定したときに合わせてステージ上に設けた接続端子に電気的に接続するようにしている。
また、駆動源を2組設け、引張機構の両側からそれぞれ駆動して試料の両側から均等に引張を荷重し、試料のほぼ中央が引張の中心として観察対象の位置の移動を低減するようにしている。
また、引張機構の引張する方向と、引張機構に固定した試料の引張する方向とをほぼ一直線状にし、介在する素材のたわみの影響を低減するようにしている。
また、引張機構の試料を固定する部分に引張荷重を測定する素子を設けるようにしている。
また、引張機構の試料を固定する部分に、加熱用電源を固定する端子をそれぞれ設け、端子を経由して試料に電流を供給して直接加熱するようにしている。
また、引張機構の試料を固定する部分に、冷却用素子および端子をそれぞれ設け、端子を経由して電流を冷却用素子、ベースの経路でそれぞれ供給し、試料を冷却するにしている。
また、ベースを固定したステージを回転あるいは傾斜させる機構を用いて試料を回転あるいは傾斜させるようにしている。
また、引張機構(図1の引張・圧縮機構31)として、引張対象の試料を引張る方向と反対方向の圧縮する方向に駆動源で駆動して試料を圧縮させるようにしている。
本発明は、電子顕微鏡のステージ上に、短冊状などの試料を固定する引張機構とほぼ直交方向あるいはほぼ平行方向に電気駆動可能な駆動源を配置して接続して試料の引張を行う全体としてほぼ矩形、円形、円形の一部をカットした形状の構造を持たせることにより、試料室内で回転、傾斜、移動して、引張状態の試料上の任意の場所、角度などの画像を容易に撮影することが可能となる。
本発明は、電子顕微鏡のステージ上に、短冊状などの試料を固定する引張機構とほぼ直交方向あるいはほぼ平行方向に電気駆動可能な駆動源を配置して接続して試料の引張を行う全体としてほぼ矩形、円形、円形の一部をカットした形状の構造を持たせ、試料室内で回転、傾斜、移動して、引張状態の試料上の任意の場所、角度などの画像を容易に撮影することを実現した。
図1は、本発明の1実施例構造図を示す。図示のベース1は、後述する図2および図4の(c)に示すベース1であって、電子顕微鏡の試料室内に設置されたステージ(回転ステージ61、X軸ステージ62、Y軸ステージ63)上に、カンナ台23を介して固定し、交換棒によって予備排気室52との間で相互に移動可能なベース1である。ベース1には、図1に図示のように、試料を固定して引張・圧縮する引張・圧縮機構31と、引張・圧縮機構31を動作させて試料2に引張あるいは圧縮の力を荷重する1つあるいは2つの駆動源21とを固定したものである。ベース1の形状は、ステージに搭載可能な小型の矩形、円形、あるいは円形の一部をカットした形状を持つものである。以下順次詳細に説明する。
図1の(a)は平面図を示し、図1の(b)は正面図を示し、図1の(c)は図1の(a)のA−A’方向に見た側面断面図を示す。
図1の(a)および(b)において、ベース1は、上述したように、1つあるいは2つの駆動源21、引張・圧縮機構31などを固定する台であって、後述する図4の(c)の試料室内のステージ(回転ステージ61、X軸ステージ62、Y軸ステージ63)上に、カンナ台23を介して固定するものである。
駆動源21は、引張・圧縮機構31に回転力を伝達し、試料2に引張りあるいは圧縮の荷重を印加するためのものであって、ここでは、エンコーダ211、モータ212、ギアヘッド213、傘歯車(右/左)11,12などから構成されるものである。
エンコーダ211は、モータ212の回転数、回転速度、回転角速度、方向などを検出して回転を制御(例えば試料2の引張、圧縮の荷重を印加する速度制御など)するためのものである。
モータ212は、図示外の疲労試験器コントローラ65からの電源が入力されたときに回転力を発生するモータである。
ギヤヘッド213は、モータ212の回転速度を減速して力を増強するものである。
傘歯車(右/左)11,12は、駆動源21のギヤヘッド213の回転力の方向をここでは、90°図示ように変更するためのものである。当該傘歯車(右/左)11,12で回転力の方向を90°図示のように変更したことで、引張・圧縮機構31とがほぼ直交する位置に配置され、全体として矩形のベース1上に両者を配置して固定し、全体として小型化し、図4の(c)のステージ上にカンナ台23を介して固定することが可能としたものである。尚、図示では、傘歯車11,12で回転力を90°回転させたが、これに限らず、駆動源21と、引張・圧縮機構31とをほぼ平行に配置するように平歯車で回転方向を変えることなく伝達するようにしてもよい。
引張・圧縮機構31は、駆動源21から伝達された回転力で、試料2を引張る、あるいは圧縮する荷重を印加する機構であって、ここでは、傘歯車(右/左)9,10、ネジ(右/左)7,8、可動ブロック(右/左)5,6、サンプル固定台(右/左)3,4、ネジ41、試料2などから構成されるものである。尚、引張・圧縮機構31として、引張機構のみを持たせるようにしてもよい。
傘歯車(右/左)9,10は、駆動源21を構成する傘歯車(右/左)11,12で90°回転軸方向の変更された回転力を受け取るものである。
ネジ(右/左)7,8は、傘歯車(右/左)9,10で受け取った回転力で当該ネジ(右/左)7,8を回転させて、試料2を引張ったり、圧縮したりする荷重に変換するためのものである。当該ネジ(右/左)7,8が回転することで、噛み合う可動ブロック(右/左)5,6に設けたメスネジによって当該可動ブロック(右/左)5,6が試料2を引張る方向、あるいは圧縮する方向に移動させられることとなる。
可動ブロック(右/左)5,6は、ネジ(右/左)7,8に対応するメスネジを持つものであって、当該ネジ(右/左)7,8の回転に従い、試料2を引張る方向、あるいは圧縮する方向に移動する荷重をかけるためのものである。可動ブロック(右/左)5,6には、図示のように、試料2をネジ41でそれぞれ固定する。
ロードセル42は、試料2に印加される荷重(引張り、圧縮の荷重)を電気信号に変換して測定するためのものである。ここでは、図示のように、可動ブロック(右)5に組み込まれ、試料2の右端をネジ41で固定する部分と、図1の(a)に示す連結片43で当該可動ブロック(右)5の部分とが固定されている。これにより、試料2に荷重される力に対応した電気信号を出力し、疲労試験器コントローラ65に入力して測定することが可能となる。
試料2は、可動ブロック(右/左)5,6にネジ41でそれぞれ固定され、所定の荷重を印加して引張試験、圧縮試験、引張りと圧縮を繰り返して疲労試験を行う対象の試料である。試料2のほぼ中央部分は、電子顕微鏡(走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡)の電子線で照射され、当該照射された部分の画像を表示装置上に逐次表示する。
コネクタ22は、ベース1を試料内のステージに固定したときに自動的に接続するものであって、駆動源21、引張・圧縮機構31などに供給する電源、制御信号を供給したり、あるいはロードセル42からの信号を外部に取り出したりなどするための信号線を接続するためのものである。
カンナ台23は、ベース1を図4の(c)の試料室内のステージに挿入して固定するためのものである。
以上のように、駆動源21と引張・圧縮機構31とを直交してベース1上に配置して固定し、駆動源21から回転力を引張・圧縮機構31に伝達して試料2を引張試験、圧縮試験、あるいは引張試験と圧縮試験を繰り返した疲労試験を行うことにより、小型の矩形、円形、あるいは円形の一部をカットした形状のベース1に搭載して固定でき、通常の電子顕微鏡の試料室内のステージに搭載することが可能となると共に、交換棒を使って予備排気室52に移動させて試料2の交換が可能となり、従来の試料室の真空を一旦大気圧にして試料2を交換するという面倒な作業や試料交換のために長時間要していた問題を解決できる。
更に、図1では、2つの駆動源21を用いて引張・圧縮機構31の両側からネジ(右)7、ネジ(左)8をそれぞれ回転させて試料2をそれぞれ引張あるいは圧縮する荷重を印加しているため、試料2の中央部分の観察時に荷重を変化させても画像の変位を最小限に低減できると共に、当該ネジ(右)7とネジ(左)8とを結ぶ直線上に試料2を配置し
ているため、ネジ(右)7とネジ(左)8とから試料2に印加される荷重の間に介在する素材のたわみによる影響を無くし、ネジ(右)7とネジ(左)8の回転によって生じた荷重を直接かつ確実に試料2に印加することが可能となる。
尚、図1では、駆動源21と引張・圧縮機構31とは直交方向にベース1上に固定したが、これに限られず、両者を平行に配置して傘歯車の代わりに平歯車を用いて回転力を伝達し、小型の矩形などに納まるようにしてもよい。
図2は、本発明の試料室の配置例を示す。
図2において、試料室51は、電子顕微鏡を構成する試料室であって、ステージ、ステージ上に固定した本発明に係る図1のベース1を収納するものであり、その他に、予備排気室52、CLD,EBS、EDS,BEI,SEDなどの各種検出器を設けるものである。
予備排気室52は、ベース1の交換時(ベース1に固定した試料2の交換時)に、予備排気する部屋である。真空外で図1のベース1上に固定されている引張・圧縮機構31の試料2をネジ41で固定する。試料2を固定した引張・圧縮機構31を有するベース1を、予備排気室52に図示のように入れ、真空予備排気する。予備排気完了後に、予備排気室52と試料室51との間の隔離弁を開にし、交換棒でベース1を挿入して試料室51のほぼ中央に位置するステージに、当該ベース1のカンナ台23を挿入して固定(同時にコネクタ22が接続し、自動的に電気的接続が行われる)し、交換棒を引き抜き、隔離弁を閉にする。そして、電子線をベース1上の試料2に照射して画像を表示すると共に、疲労試験器コントローラ65を操作し、引張状態、圧縮状態、あるいは引張と圧縮を繰り返す疲労試験状態に所定の荷重が当該試料2に印加されるように制御する(駆動源21を構成するモータ212を回転させて制御する)。そして、所定状態の画像を記録したり、観察したりする。一方、試料2の交換のためにベース1を真空外に取り出すときは、上記挿入時と逆の手順で行う。
尚、CLDはカソードルミネッセンス検出器、EBSは後方散乱電子回析パターン検出器、EDSはエネルギー分散型X線分光検出器、BEIは反射電子検出器,SEDは2次電子検出器をそれぞれ表す。
図3は、本発明の他の駆動例を示す。図示の他の駆動例は、図1の(a)、(b)の右側の駆動源21のみで、試料2に引張、圧縮の荷重を印加する例を示す。右側の駆動源21の傘歯車(右)11の回転力がネジ(右)7に伝達され、当該ネジ(右)7が回転し、可動ブロック(右)5と、可動ブロック(左)6とが相互に離れる(引張)、あるいは相互に近づく(圧縮)するように動作し、試料2を引張、あるいは圧縮の荷重を印加する。ここで、ネジ7の右半分と左半分のネジの向きを逆向き(右回転と左回転)とし、更に、これらに噛み合う可動ブロック(右)5のメスネジと、可動ブロック(左)6のメスネジとを設ければよい(逆向きの噛み合うメスネジを設ければよい)。
以上の構造を持たせることにより、駆動源21を1つのみで、試料2に両端から引張、圧縮の荷重を等しくかつ逆向きに印加し、当該試料2のほぼ中央で引張、圧縮時の中点とし、引張、圧縮時に試料2の画像が移動する事態を低減することが可能となる。
図4は、本発明のベースの挿入/摘出例を示す。
図4の(a)は、挿入時(ロック)を示す。ベース1を試料室内のステージに挿入して固定する場合には、交換棒で予備排気室52に収納されたベース1を固定し、図示のように右側に移動して、当該ベース1のカンナ台23を試料室内のステージの対応する部分に挿入すると、ロック機構53が当該ベース1をロックピン531で両側から挟みこんで固定する。そして、交換棒を回転させて先端部分のネジをベース1から外して引き抜くこと、ベース1をステージに固定することが可能となる。
図4の(b)は、摘出時を示す。交換棒をステージに固定されているベース1に挿入して当該交換棒を回転させて固定した状態で、ベース1を左方向に移動させる(2回目あるいは若干強く引張る)とロック機構53を構成するロックピン531が開いて解除されるので、そのまま交換棒を左方向に移動させ、予備交換室内に移動させる。これにより、ベース1をステージから摘出することが可能となる。
図4の(c)は、試料室の例を示す。本発明に係る電子顕微鏡の試料室は、図示のように、ベース1のカンナ台23を挿入して固定するステージとして、回転ステージ61、X軸ステージ62、Y軸ステージ62から構成されるものであって、ここでは、最上段の回転ステージ61としている。ベース1のカンナ台23を回転ステージ61の該当部分に挿入して固定すると、合わせてコネクタ22が当該回転ステージ61に設けた対応するコネクタに接続される。当該コネクタとコネクタ(耐真空用)64に配線で接続され、当該コネクタ64の大気圧側のコネクタは疲労試験器コントローラ65に接続されている。
図5は、本発明の加熱/冷却例を示す。
図5の(a)は、加熱例を示す。これは、図1から図4で説明した引張・圧縮機構31の試料2について加熱する例であって、ここでは、試料2を固定する部分に、セラミック製のスペーサ71で挟んで上部に端子72を挿入し、最上部からネジ41で固定する。そして、2つの端子72から配線をコネクタ22、図4の(c)のコネクタ64を介して疲労試験器コントローラ65に接続する。これにより、疲労試験器コントローラ65からコネクタ64、コネクタ22、2つの端子72を介して試料2に直接に電流を流し、当該試料2を加熱する。加熱温度は、試料2に装着(固定)した温度測定素子73に発生する電圧を検出して測定する。
図5の(b)は、冷却例を示す。これは、図1から図4で説明した引張・圧縮機構31の試料2について冷却する例であって、ここでは、試料2を固定する部分に、ペルチェ素子74、試料2.その上に端子75、最上部からネジ41で固定する。そして、2つの端子72から配線をコネクタ22、図4の(c)のコネクタ64を介して疲労試験器コントローラ65に接続する。これにより、疲労試験器コントローラ65からコネクタ64、コネクタ22、2つの端子75を介してペルチェ素子74に図示のルートで電流を流し、当該試料2を冷却する。冷却温度は、試料2に装着(固定)した温度測定素子76に発生する電圧を検出して測定する。
本発明は、電子顕微鏡のステージ上に、短冊状などの試料を固定する引張機構と直交方向あるいは平行方向に電気駆動可能な駆動源を配置して接続して試料の引張を行う全体としてほぼ矩形、円形、円形の一部をカットした形状の構造を持たせ、試料室内で回転、傾斜、移動して、引張状態(更に、圧縮状態、繰り返し疲労状態)の試料上の任意の場所、角度などの画像を容易に撮影する電子顕微鏡用の引張装置に関するものである。
本発明の1実施例構造図である。 本発明の試料室の配置例である。 本発明の他の駆動例である。 本発明のベースの挿入/摘出例である。 本発明の加熱/冷却例である。
符号の説明
1:ベース
2:試料
3,4:サンプル固定台
5,6:可動ブロック
7,8:ネジ
9,10,11,12:傘歯車
21:駆動源
22、64:コネクタ
23:カンナ台
31:引張・圧縮機構
42:ロードセル
51:試料室
52:予備排気室

Claims (10)

  1. 電子顕微鏡による観察状態にある試料の引張を行う引張装置において、
    引張対象の試料を固定すると共に当該試料を引張る引張機構と、当該引張機構の引張方向あるいは圧縮方向とほぼ直交あるいはほぼ平行な方向に、かつ当該方向を含むほぼ同一平面上に、前記引張機構に接続して電気駆動可能な駆動源とを配置して固定した、真空排気された試料室内と予備真空排気された予備真空排気室内とを相互に搬送可能なベースを備え、
    前記電子顕微鏡の試料室の側面に設けた交換棒あるいは交換機構で、当該電子顕微鏡の真空排気された試料室内に設けたXY方向に移動可能なステージ上に固定されている前記ベースを取り外して予備真空排気された予備排気室に搬送する、あるいは予備真空排気された予備排気室内の前記ベースを搬送して真空排気された試料室内の前記ステージ上に搬送して固定する
    ように構成したことを特徴とする電子顕微鏡用の引張装置。
  2. 前記ベースを矩形あるいは円形あるいは円形の外周の一部をカットした形状としたことを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用の引張装置。
  3. 前記ベース上に前記駆動源の電源に接続した接続端子を設け、前記交換棒で当該ベースを前記ステージに固定したときに合わせてステージ上に設けた接続端子に電気的に接続することを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の電子顕微鏡用の引張装置。
  4. 前記駆動源を2組設け、前記引張機構の両側からそれぞれ駆動して試料の両側から均等に引張を荷重し、試料のほぼ中央が引張の中心として観察対象の位置の移動を低減したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の電子顕微鏡用の引張装置。
  5. 前記引張機構の引張する方向と、当該引張機構に固定した試料の引張する方向とをほぼ一直線状にし、介在する素材のたわみの影響を低減したことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の電子顕微鏡用の引張装置。
  6. 前記引張機構の試料を固定する部分に引張荷重を測定する素子を設けたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の電子顕微鏡用の引張装置。
  7. 前記引張機構の試料を固定する部分に、加熱用電源を固定する端子をそれぞれ設け、当該端子を経由して試料に電流を供給して直接加熱することを特徴とする請求項1から請求項6のいいずれかに記載の電子顕微鏡用の引張装置。
  8. 前記引張機構の試料を固定する部分に、冷却用素子および端子をそれぞれ設け、当該端子を経由して電流を冷却用素子、ベースの経路でそれぞれ供給し、試料を冷却することを特徴とする請求項1から請求項6のいいずれかに記載の電子顕微鏡用の引張装置。
  9. 前記ベースを固定した前記ステージを回転あるいは傾斜させる機構を用いて前記試料を回転あるいは傾斜させることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれかに記載の電子顕微鏡用の引張装置。
  10. 前記引張機構に対して、引張対象の試料を引張る方向と反対方向の圧縮する方向に前記駆動源で駆動して当該試料を圧縮させることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれかに記載の引張装置。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2761357B1 (en) 2011-09-28 2022-09-07 Bruker Nano, Inc. Testing assembly including a multiple degree of freedom stage
KR101321990B1 (ko) * 2012-06-18 2013-10-28 서울대학교산학협력단 집게를 구비하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
KR101330727B1 (ko) * 2012-06-18 2013-11-20 서울대학교산학협력단 집게를 구비하는 극미세 조작가능한 인장 전자현미경 스테이지
JP6881218B2 (ja) * 2017-10-18 2021-06-02 日本製鉄株式会社 試料解析方法
CN109037014B (zh) * 2018-08-20 2020-07-07 镇江乐华电子科技有限公司 微拉伸机构及其使用方法
KR102358893B1 (ko) * 2021-09-09 2022-02-08 한국기초과학지원연구원 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치
CN117804892B (zh) * 2024-03-01 2024-05-07 淄博市产品质量检验研究院 金属试样自动更换系统及材料抗拉强度检验平台
CN118392692B (zh) * 2024-06-28 2024-08-20 沈阳国仪检测技术有限公司 一种材料性能原位试验装置及试验方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS544661U (ja) * 1977-06-10 1979-01-12
JPS6280952A (ja) * 1985-10-02 1987-04-14 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡
JPH05113309A (ja) * 1991-10-22 1993-05-07 Jeol Ltd 顕微鏡の試料保持装置
JP2959695B2 (ja) * 1993-06-14 1999-10-06 日本電子株式会社 電子顕微鏡等の試料交換装置
JPH097537A (ja) * 1995-06-22 1997-01-10 Jeol Ltd 荷重印加装置
JP3006570B2 (ja) * 1997-12-02 2000-02-07 日本電気株式会社 試料保持装置および試料保持方法
JP2002062229A (ja) * 2000-08-22 2002-02-28 Rohm Co Ltd 微小部品用試験装置

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