KR102358893B1 - 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치 - Google Patents

상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치 Download PDF

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Abstract

일 실시 예에 따른 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치는, 중앙부에 상하 방향으로 관통 형성되는 프레임 홀을 구비한 메인 프레임; 상기 메인 프레임의 일측에 장착되는 액츄에이터; 상기 메인 프레임에 설치되는 가이드; 상기 액츄에이터로부터 동력을 전달 받아 상기 가이드를 따라 상기 상하 방향에 교차하는 좌우 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이더; 상기 슬라이더의 이동 거리를 측정하는 변위 센서; 상기 슬라이더에 연결되고, 시편의 일단을 지지하는 제 1 클램프; 상기 메인 프레임의 타측에 장착되는 힘 센서; 및 상기 힘 센서에 연결되고, 상기 시편의 타단을 지지하는 제 2 클램프를 포함할 수 있다.

Description

상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치{MICRO MATERIAL TESTING APPARATUS WITH MAIN FRAME OPEN UP AND DOWN}
본 발명은 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치에 관한 것이다.
미세 재료 시험 장치는 재료의 다양한 특성을 시험하는 장치이다. 미세 재료 시험 장치는, 크기가 작은 시편을 클램프로 단단히 고정한 뒤, 시편을 인장 또는 수축을 시키면서, 다양한 물리적 및/또는 전기적인 특성을 시험할 수 있다. 미세 재료 시험 장치의 다양한 특성을 시험하기 위해, 렌즈가 사용될 수 있다.
미세 재료 시험 장치에 있어서, 시편을 상방에서 뿐만 아니라 하방에서 관측함으로써, 보다 다양한 인자들을 관측할 수 있는 기술이 요구되는 실정이다.
전술한 배경기술은 발명자가 본원의 개시 내용을 도출하는 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
본 발명의 목적은 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치는, 중앙부에 상하 방향으로 관통 형성되는 프레임 홀을 구비한 메인 프레임; 상기 메인 프레임의 일측에 장착되는 액츄에이터; 상기 메인 프레임에 설치되는 가이드; 상기 액츄에이터로부터 동력을 전달 받아 상기 가이드를 따라 상기 상하 방향에 교차하는 좌우 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이더; 상기 슬라이더의 이동 거리를 측정하는 변위 센서; 상기 슬라이더에 연결되고, 시편의 일단을 지지하는 제 1 클램프; 상기 메인 프레임의 타측에 장착되는 힘 센서; 및 상기 힘 센서에 연결되고, 상기 시편의 타단을 지지하는 제 2 클램프를 포함할 수 있다.
상기 시편은, 상기 상하 방향을 기준으로, 상기 프레임 홀에 오버랩되는 위치에 마련될 수 있다.
상기 미세 재료 시험 장치는, 고리 형상을 갖는 스테이지 바디와, 상기 스테이지 바디로부터 내측으로 돌출 형성되고 상기 메인 프레임을 지지하는 스테이지 암을 포함하는 메인 스테이지를 더 포함할 수 있다.
상기 스테이지 바디는 폐곡선을 이루는 고리 형상을 가질 수 있다.
상기 시편은, 상방 및 하방 각각으로 외부로 노출될 수 있다.
상기 좌우 방향을 기준으로, 상기 메인 프레임은 상기 메인 스테이지에 의해 커버되어 외부로 노출되지 않을 수 있다.
상기 미세 재료 시험 장치는, 상기 메인 스테이지를 제 1 방향으로 이동시키기 위한 제 1 이동 스테이지를 더 포함할 수 있다.
상기 미세 재료 시험 장치는, 상기 제 1 이동 스테이지를 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이동시키기 위한 제 2 이동 스테이지를 더 포함할 수 있다.
상기 미세 재료 시험 장치는, 상기 메인 프레임에 연결되고, 상기 메인 프레임이 상기 스테이지 바디에 안착된 상태를 기준으로 적어도 일부가 상기 스테이지 바디의 외측으로 돌출 형성되는 핸들을 더 포함할 수 있다.
상기 액츄에이터는, 상기 메인 프레임에 연결되고 동력을 생성하는 동력원; 및 상기 동력원으로부터 상기 슬라이더로 동력을 전달하는 동력 전달 파트를 포함할 수 있다.
상기 동력 전달 파트는, 상기 가이드를 기준으로 상기 시편의 반대편에 위치할 수 있다.
상기 슬라이더는, 상기 가이드를 따라 슬라이딩 가능한 슬라이더 바디; 상기 슬라이더 바디의 슬라이딩 방향에 교차하는 방향으로 상기 슬라이더 바디로부터 연장되는 슬라이더 헤더; 및 상기 슬라이더 헤더에 연결되고 상기 변위 센서 및 상기 제 1 클램프를 지지하는 슬라이더 베이스를 포함할 수 있다.
상기 변위 센서 및 힘 센서는 상기 시편을 기준으로 서로 반대편에 마련될 수 있다.
일 실시 예에 따른 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치는, 고리 형상을 갖는 스테이지 바디와, 상기 스테이지 바디로부터 내측으로 돌출 형성되는 스테이지 암을 포함하는 메인 스테이지; 상기 메인 스테이지에 탈착 가능하고, 중앙부에 상하 방향으로 관통 형성되는 프레임 홀을 구비한 메인 프레임; 상기 메인 프레임의 일측에 장착되는 액츄에이터; 상기 메인 프레임에 설치되는 가이드; 상기 액츄에이터로부터 동력을 전달 받아 상기 가이드를 따라 상기 상하 방향에 교차하는 좌우 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이더; 상기 슬라이더의 이동 거리를 측정하는 변위 센서; 상기 슬라이더에 연결되고, 시편의 일단을 지지하는 제 1 클램프; 상기 메인 프레임의 타측에 장착되는 힘 센서; 및 상기 힘 센서에 연결되고, 상기 시편의 타단을 지지하는 제 2 클램프를 포함하고, 상기 시편은, 상방 및 하방 각각으로 외부로 노출될 수 있다.
일 실시 예에 따른 미세 재료 시험 장치는, 적어도 하나의 축 방향으로 이동하는 메인 스테이지에 탈착 가능한 메인 프레임을 포함하고, 메인 프레임 상에 시편을 지지하거나 시편에 힘을 인가하기 위한 구성들을 마련함으로써, 상방 및 하방 각각에서 시편 관측이 가능하며, 컴팩트한 구조를 구현할 수 있다.
일 실시 예에 따른 미세 재료 시험 장치는, 메인 프레임의 탈착이 용이한 구조를 가지므로, 메인 스테이지에 간섭없이 메인 프레임을 분리한 상태로 부품들의 유지 보수가 가능하므로, 유지 보수 작업이 용이하다.
도 1은 일 실시 예에 따른 미세 재료 시험 시스템을 개략적으로 도시하는 정면도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 미세 재료 시험 장치와, 상측 렌즈 및 하측 렌즈를 도시하는 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 메인 프레임이 메인 스테이지로부터 분리된 상태를 도시하는 분해 사시도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 미세 재료 시험 장치의 평면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 메인 스테이지의 단면도이다.
실시 예들에 대한 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 예시를 위한 목적으로 개시된 것으로서, 다양한 형태로 변경되어 구현될 수 있다. 따라서, 실제 구현되는 형태는 개시된 특정 실시 예로만 한정되는 것이 아니며, 본 명세서의 범위는 실시 예들로 설명한 기술적 사상에 포함되는 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이런 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 해석되어야 한다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설명된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함으로 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성 요소와, 공동적인 기능을 포함하는 구성 요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 실시 예들을 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조 부호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 미세 재료 시험 시스템을 개략적으로 도시하는 정면도이다.
도 1을 참조하면, 미세 재료 시험 시스템(100)은, 테이블(90)과, 테이블(90)에 배치되고 길이 방향이 x축 방향으로 마련되는 메인 가이드(91)와, 메인 가이드(91)를 따라 x축 방향으로 슬라이딩 가능한 x축 스테이지(92)와, x축 스테이지(92)를 따라 y축 방향으로 슬라이딩 가능한 y축 스테이지(93)와, y축 스테이지(93)를 따라 z축 방향으로 슬라이딩 가능한 z축 스테이지(94)와, z축 스테이지(94)에 연결되는 미세 재료 시험 장치(1)를 포함할 수 있다.
x축 스테이지(92), y축 스테이지(93) 및 z축 스테이지(94)의 연결 순서는 이에 제한되지 않음을 밝혀 둔다. 예를 들어, 메인 가이드(91)는 길이 방향이 y축 방향으로 마련될 수 있고, y축 스테이지(93), x축 스테이지(92) 및 z축 스테이지(94) 순으로 연결될 수 있다.
본 명세서에서, x축 스테이지(92), y축 스테이지(93) 및 z축 스테이지(94) 중 어느 하나 스테이지는 제 1 이동 스테이지로 지칭되고, 다른 하나의 스테이지는 제 2 이동 스테이지로 지칭되기도 함을 밝혀 둔다.
미세 재료 시험 장치(1)는 시편을 지지한 상태로 시편을 적어도 하나의 렌즈에 노출시킬 수 있다. 예를 들어, 시편은 상방 및 하방 각각으로 외부로 노출될 수 있고, 시편의 상측에 마련된 상측 렌즈와, 시편의 하측에 마련된 하측 렌즈 각각은 시편의 상면 및 하면을 관측할 수 있다.
미세 재료 시험 장치(1)는 적어도 하나의 스테이지를 통해서 적어도 하나의 방향으로 이동될 수 있다.
도 2는 일 실시 예에 따른 미세 재료 시험 장치와, 상측 렌즈 및 하측 렌즈를 도시하는 사시도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 메인 프레임이 메인 스테이지로부터 분리된 상태를 도시하는 분해 사시도이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 미세 재료 시험 장치의 평면도이고, 도 5는 일 실시 예에 따른 메인 스테이지의 단면도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치(1, 이하 "미세 재료 시험 장치"라고 함)는, 메인 스테이지(11), 메인 프레임(12), 액츄에이터(13), 가이드(14), 슬라이더(15), 변위 센서(16), 제 1 클램프(17), 힘 센서(18) 및 제 2 클램프(19) 및 핸들(H1, H2)을 포함할 수 있다.
메인 스테이지(11)는, 폐곡선을 이루는 고리 형상을 갖는 스테이지 바디(111)와, 스테이지 바디(111)로부터 내측으로 돌출 형성되는 스테이지 암(112)를 포함할 수 있다. 스테이지 바디(111)는 폐곡선 형상을 가질 수 있다. 스테이지 바디(111)의 중앙부는 상하 방향으로 관통 형성된 중공을 구비할 수 있다. 시편(S)은 스테이지 바디(111)의 중공 내에 마련되고, 상방 및 하방으로 노출될 수 있다. 스테이지 바디(111)의 상측 테두리는 경사면(111a)을 구비할 수 있다. 경사면(111a)은 메인 프레임(12)이 메인 스테이지(11)의 내측에 용이하게 삽입되도록 보조할 수 있다.
메인 프레임(12)은, 메인 스테이지(11)에 탈착 가능하고 중앙부에 상하 방향으로 관통 형성되는 프레임 홀을 포함할 수 있다. 시편(S)은 프레임 홀 내에 마련되고, 상방 및 하방으로 노출될 수 있다.
액츄에이터(13)는, 메인 프레임(12)의 일측에 장착될 수 있다. 액츄에이터(13)는, 동력원(131) 및 동력 전달 부재(132)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 동력원(131)은 모터일 수 있다. 동력 전달 부재(132)는 풀리 또는 기어 세트일 수 있다.
동력 전달 부재(132)는 가이드(14)를 기준으로 시편(S)의 반대편에 마련될 수 있다. 이와 같은 구조에 따르면, 동력 전달 부재(132)를 통해 동력이 전달되는 과정에서 발생할 가능성이 있는 파티클(particle)이 시편(S)에 근접하는 현상이 감소하거나 차단될 수 있다.
가이드(14)는 메인 프레임(12)에 연결될 수 있다. 가이드(14)는 길이 방향이 좌우 방향으로 마련될 수 있다. 본 명세서에서, 좌우 방향은 상하 방향에 교차하는 방향일 수 있다.
슬라이더(15)는, 액츄에이터(13)로부터 동력을 전달 받아 가이드(14)를 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 가능하다. 슬라이더(15)는, 가이드(14)를 따라 슬라이딩 가능한 슬라이더 바디(151)와, 슬라이더 바디(151)로부터 연장 형성되는 슬라이더 헤드(152)와, 슬라이더 헤드(152)의 하방에 연결되고 변위 센서(16)를 지지하는 슬라이더 베이스(153)를 포함할 수 있다.
변위 센서(16)는, 슬라이더(15)의 이동 거리를 측정 가능하다.
제 1 클램프(17)는, 슬라이더(15)에 연결되고, 시편(S)의 일단을 지지할 수 있다.
힘 센서(18)는, 메인 프레임(12)의 타측에 장착될 수 있다. 예를 들어, 시편(S)을 기준으로, 변위 센서(16) 및 힘 센서(18)는 서로 반대편에 마련될 수 있다. 이와 같은 구조에 따르면, 변위 센서(16) 및 힘 센서(18)가 의도치 않게 서로 상호작용하지 않도록, 충분한 거리가 확보될 수 있다.
제 2 클램프(19)는 힘 센서(18)에 연결되고, 시편(S)의 타단을 지지할 수 있다. 슬라이더(15)에 의해 시편(S)이 신장 또는 수축하는 동안, 시편(S)에 인가되는 힘은 제 2 클램프(19)를 통해 힘 센서(18)로 전달될 수 있다.
핸들(H1, H2)은 메인 프레임(12)에 연결되고, 메인 프레임(12)이 스테이지 바디(111)에 안착된 상태를 기준으로 적어도 일부가 스테이지 바디(111)의 외측으로 돌출 형성될 수 있다. 사용자는 핸들(H1, H2)을 파지하여 메인 프레임(12)을 밖으로 꺼낼 수 있다. 좌우 방향을 기준으로, 메인 프레임(12)은 메인 스테이지(11)에 의해 커버되어 외부로 노출되지 않을 수 있다. 이와 같은 구조에 따르면 메인 프레임(12)은 메인 스테이지(11) 내측에 안정적으로 파지된 상태로 마련될 수 있다. 아울러, 핸들(H1, H2)은 메인 프레임(12)이 메인 스테이지(11)에 안착된 상태에서도 적어도 일부가 외부로 노출되므로, 사용자는 핸들(H1, H2)을 쉽게 파지할 수 있다.
미세 재료 시험 장치(1)를 구성하는 대부분의 구성들은 메인 프레임(12) 상에 배치될 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 메인 프레임(12)을 이동시킴으로써, 대부분의 구성들을 한번이 이동시킬 수 있다. 작업자는 메인 프레임(12)을 메인 스테이지(11)로부터 분리시킴으로써, 구성들의 유지 보수 및/또는 교체를 용이하게 할 수 있다.
시편(S)은 상하 방향을 기준으로, 프레임 홀에 오버랩되는 위치에 마련될 수 있다. 시편(S)은 상방 및 하방 각각으로 외부로 노출될 수 있다. 이와 같은 구조에 따르면, 시편(S)의 하방에 위치하는 하측 렌즈(L1)와 시편(S)의 상방에 위치하는 상측 렌즈(L2)는 시편(S)을 관측할 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.

Claims (15)

  1. 중앙부에 상하 방향으로 관통 형성되는 프레임 홀을 구비한 메인 프레임;
    상기 메인 프레임의 일측에 장착되고, 상기 메인 프레임의 내측에 위치하는 액츄에이터;
    상기 메인 프레임에 설치되는 가이드;
    상기 액츄에이터로부터 동력을 전달 받아 상기 가이드를 따라 상기 상하 방향에 교차하는 좌우 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이더;
    상기 슬라이더의 이동 거리를 측정하는 변위 센서;
    상기 슬라이더에 연결되고, 시편의 일단을 지지하는 제 1 클램프;
    상기 메인 프레임의 타측에 장착되는 힘 센서;
    상기 힘 센서에 연결되고, 상기 시편의 타단을 지지하는 제 2 클램프;
    고리 형상을 갖는 스테이지 바디와, 상기 스테이지 바디로부터 내측으로 돌출 형성되고 상기 메인 프레임을 지지하는 스테이지 암을 포함하는 메인 스테이지;
    및
    상기 메인 프레임에 연결되고, 상기 메인 프레임이 상기 스테이지 바디에 안착된 상태를 기준으로 적어도 일부가 상기 스테이지 바디의 외측으로 돌출 형성되는 핸들을 포함하고,
    상기 액츄에이터 및 메인 스테이지는, 상기 메인 프레임을 기준으로 서로 반대편에 위치하는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 시편은, 상기 상하 방향을 기준으로, 상기 프레임 홀에 오버랩되는 위치에 마련되는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 시편은, 상방 및 하방 각각으로 외부로 노출되는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 좌우 방향을 기준으로, 상기 메인 프레임은 상기 메인 스테이지에 의해 커버되어 외부로 노출되지 않는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인 스테이지를 제 1 방향으로 이동시키기 위한 제 1 이동 스테이지를 더 포함하는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 이동 스테이지를 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이동시키기 위한 제 2 이동 스테이지를 더 포함하는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인 프레임에 상기 메인 스테이지에 탈착 가능한, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 액츄에이터는,
    상기 메인 프레임에 연결되고 동력을 생성하는 동력원; 및
    상기 동력원으로부터 상기 슬라이더로 동력을 전달하는 동력 전달 파트를 포함하는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 동력 전달 파트는, 상기 가이드를 기준으로 상기 시편의 반대편에 위치하는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬라이더는,
    상기 가이드를 따라 슬라이딩 가능한 슬라이더 바디;
    상기 슬라이더 바디의 슬라이딩 방향에 교차하는 방향으로 상기 슬라이더 바디로부터 연장되는 슬라이더 헤더; 및
    상기 슬라이더 헤더에 연결되고 상기 변위 센서 및 상기 제 1 클램프를 지지하는 슬라이더 베이스를 포함하는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 변위 센서 및 힘 센서는 상기 시편을 기준으로 서로 반대편에 마련되는, 상하로 개방되어 있는 메인 프레임을 구비한 미세 재료 시험 장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005331446A (ja) * 2004-05-21 2005-12-02 Unisoku Co Ltd マイクロ材料試験装置
JP2005338026A (ja) * 2004-05-31 2005-12-08 Toshiba Corp 小型材料試験装置および材料試験方法
JP2008305679A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Sanyu Electron Co Ltd 電子顕微鏡用の引張装置
JP2016189326A (ja) * 2015-03-27 2016-11-04 新日鐵住金株式会社 試験装置およびそれを備えた電子顕微鏡
KR20200140418A (ko) * 2019-06-05 2020-12-16 성균관대학교산학협력단 박막의 기계 및 전기 물성 고속 측정 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005331446A (ja) * 2004-05-21 2005-12-02 Unisoku Co Ltd マイクロ材料試験装置
JP2005338026A (ja) * 2004-05-31 2005-12-08 Toshiba Corp 小型材料試験装置および材料試験方法
JP2008305679A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Sanyu Electron Co Ltd 電子顕微鏡用の引張装置
JP2016189326A (ja) * 2015-03-27 2016-11-04 新日鐵住金株式会社 試験装置およびそれを備えた電子顕微鏡
KR20200140418A (ko) * 2019-06-05 2020-12-16 성균관대학교산학협력단 박막의 기계 및 전기 물성 고속 측정 시스템

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