JP5058845B2 - 変位検出装置及びそれを有する光学機器 - Google Patents
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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Description
また、上記変位検出装置を用いた画像形成装置も本発明の他の一側面を構成する。
また、この時の該反射面18aを設ける範囲は、上式が等価となる時の照射角をθ0とした時、横軸の範囲が
3a、10a 反射パターン
5a 投光素子
5b 第1の受光素子
6a 第1の受光素子へ集光する光路
6b、6b′ 第2の受光素子方向へ導光される光路
8、17、24 反射部材
9 第2の受光素子
13 照射光源
14 相対位置検出手段
15 絶対位置検出手段
17a、24a 絶対位置検出用の反射光
18、21 迷光防止部材
19a、19b 迷光防止部材の反射光
26、28 遮光部
26a、28a、29a 筐体内反射光
29 筐体反射面
Claims (6)
- 発散性の光束を相対移動する被検物に照射する照明手段、
該被検物に設けられ、該照明手段からの光束を該照明手段側へ反射させる反射部と、非反射部とを繰り返し形成した第1の反射手段、
該第1の反射手段で反射された光束を受光する第1の受光手段、
該被検物に設けられ、該照明手段からの光束を該照明手段側へ反射させる反射部と、非反射部とを有する非透光性の第2の反射手段、該第1の受光手段と同一面上に設けられ、該第2の反射手段で反射された光束を受光する第2の受光する第2の受光手段、
該第1の反射手段を介して該第1、第2の受光手段と対向する側に配置され、該第1の反射手段の非反射部を通過した光束を、該第1の受光手段が配置されている位置の方向とは異なる方向に反射させる反射面を有する迷光防止手段、とを有し、
該第2の反射手段は該照明手段からの光束であって、該第1の反射手段の非反射部を透過し、該迷光防止手段の一部で反射し、該第2の受光手段が配置されている位置の方向に反射される光束の光路上に配置されていることを特徴とする変位検出装置。 - 前記迷光防止手段には、前記照明手段からの光束であって、前記第1の反射手段を透過した発散性の反射率を低減する反射防止塗料又は酸化被膜が施されていることを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。
- 前記照明手段と第1の受光手段と第2の受光手段はいずれも筐体内に保持されており、該筐体内の内壁部には、該第1の反射手段の非反射部を通過した光束であって、該筐体の内壁部で反射する光束を減ずる遮光溝形状が施されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の変位検出装置。
- 前記照明手段と第1の受光手段と第2の受光手段はいずれも筐体内に保持されており、該筐体の内壁部には、該第1の反射手段の非反射部を通過した光束であって、該筐体の内壁部で反射する光束が該第1の受光手段又は第2の受光手段に入射するのを防止する遮光部又は反射面の少なくとも1つが設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の変位検出装置。
- 前記第1の受光手段で受光される光束より前記被検物の相対的変位量を検出し、前記第2の受光手段で受光される光束より前記被検物の絶対的変位量を検出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の変位検出装置。
- 光学部材の変位情報を検出するための請求項1乃至5のいずれか1項に記載の変位検出装置を有することを特徴とする光学機器。
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