JP5058845B2 - 変位検出装置及びそれを有する光学機器 - Google Patents

Description

本発明は被検体の移動量や回転量等の変位情報を測定する変位検出装置に関し、特に光学式スケールを用いて被測定物の相対的変位と絶対的変位を同時に検出する際に好適なものである。

従来より、被検体の移動量や回転量等の変位情報の検出を光学式スケールを利用して行う、変位検出装置が知られている（特許文献１、２）。

特許文献１、２では２つの反射面を所定の角度で対向配置したルーフミラーを複数個、１次元方向に配列した反射手段（マイクロレンズアレイ）を被検体に設けている。

そして照明手段からの光束を反射手段に投光し、反射手段で反射された光束を受光手段で受光することによって被検体の変位情報を検出している。

図１２は従来の変位検出装置の一部分の要部概略図である。

図１２において、センサ本体１には測定対象（被検物）との連結に用いられる回転軸２が設けられている。

回転軸２には、マイクロルーフアレイやルーフプリズムアレイを反射パターン３ａとして背面に規則的に配列した透明体から成る反射素子３と、該センサ本体１に対する抜け止めとして抜け止め４とが一体に固定されている。

該反射素子３に対向する適切な位置に、投光素子（照明手段）５ａ及び第一の受光素子５ｂと、これらを隔てる遮光板５ｃとを内包したセンサ５が配される。

投光素子５ａからの光束であって反射素子３の反射パターン３ａからの反射光束を第１の受光素子５ｂで検出している。

そして第１の受光素子５ｂで検出された信号に基づいて回転軸２に設けられている被検物の回転情報（変位情報）を検出している。

図１２に示す変位検出装置は、反射パターン３ａを介した光束を受光することによって被検物に関する相対的変位情報を検出している。
特開２００２−３２３３４７号公報 特開２００３−３３７０５２号公報

図１３は、図１２において反射素子３のＡ方向からの視図である。図１４は、該投光素子５ａからの光束（検出光）が、該反射パターン３ａで反射した後に、該受光素子５ｂで受光（検出）される時の光路を示す要部構成図である。図１５は図１２の反射素子３と抜け止め４の境界面４ａにて反射される光路を示す要部構成図である。

図１３に示すように、該反射素子３にはマイクロルーフアレイである反射パターン３ａと、台形突起状で非反射部であるパターン３ｂとが規則的に配されている。

図１４に示すように該受光素子５ｂは、投光素子５ａからの光路であって、該反射パターン３ａにより生成される光路６ａ上の、該投光素子５ａからの拡散光が効果的に集光される位置に設けられている。該センサ５と該反射素子３との間隔ずれに対しても光線強度が確保できる構造を取っている。

また、反射素子３とセンサー５とが相対移動し、該反射素子３が非反射部であるパターン３ｂの位置に変位したとき、即ちパターン３ｂの位相に位置することがある。このときは、図１５に示すように、非反射部３ｂを透過した光束は該抜け止め４の該反射素子３との境界面４ａで反射して光路６ｂを形成する。この光路６ｂを形成する光束は、該受光素子５ｂに到達してしまう。そうすると、この光束は外乱光（迷光）となり反射パターン５ａで効果的に集光された検出光に有害な影響を及ぼす。

図１６はこのときの迷光を防止するときの一例の説明図である。

図１６には、上述の該光路６ｂが、該受光素子５ｂに対して有害光とならない為の、一方法として該抜け止め７に反射面７ａを生成した構成を表している。

投光素子５ａからの光束であって、反射素子３の非反射部を透過した光束（迷光）が抜け止め７の一部に形成した反射面７ａで反射し、第１の受光素子５ｂが位置している方向と異なる方向に反射させて第１の受光素子５ｂに入射しないようにしている。

図１６に示す変位検出装置は、テレビ用のズームレンズやビデオカメラやデジタルカメラ等の光学機器に適用できる。

例えば、ズームレンズの駆動装置内に上述の変位検出装置を適用したとする。この場合、ズームレンズのズーム部やフォーカス部等の光学部材には固有の操作角が機構的な端部を有して設定されており、これらの光学部材の端衝突を回避する駆動制御が必要となる。

そのためには、変位検出において光学部材の絶対角度位相の判別が重要となってくる。

このような背景と、変位検出装置に求められる外径，全長方向の大きさの制約から、上述の絶対位相検出を行う為の検出機構としては、例えば図１７の構成が考えられる。

図１７において、反射部材８は絶対角度検出用の反射手段であり、該投光素子５ａからの拡散光を反射させて、第二の受光素子９に導光する位置に配されている。該第二の受光素子９は該センサ５の第１の受光素子５ｂと同一面に配されている。

図１８は反射部材８のパターンの説明図である。

該反射部材８は、絶対位相判別の為に所定の反射強度の変化を有した反射面８ａと非反射部８ｂの２つのエリアに分割されるパターンを有している。

該反射面８ａのそれぞれの位相の反射の有無に応じて、該第二の受光素子９からの出力信号は２値で出力される。

しかしながら第１、第２の受光手段を同一面に配置し、装置全体の小型化を図ると図１９に示されるように、該反射面７ａが生成する光路７ｂが、反射部材８の該反射面８ａが生成する光路８ｂに重なる場合がある。そうすると、該第２の受光素子９に入射し、第２の受光素子９の受光感度を低下させてしまう。

投光素子５ａからの光束であって、反射素子８の反射面８ａで反射された光束は第２の受光素子９で受光される。これにより被検体の絶対的変位量を検出するが、このような迷光があると被検体の絶対的変位量の検出制度が低下してくる場合がある。

このように、反射部材８で反射しないで第２の受光素子９に入射する迷光は、抜け止め７の反射面７ａで反射された光束に限らない。

例えば反射素子３の非反射面３ｂを透過しないで反射された光束も、第２の受光素子９に入射してくる場合もある。

又、投光素子、第１、第２の受光素子を収納保持する筐体の内壁面で反射する光束も第２の受光素子９に入射してくる場合もある。

本発明は、反射素子の光路上の位置を適切に設定することにより、装置全体の小型化を図りつつ、被検物の相対的変位の検出と、絶対角度位相の検出を高精度に行うことができる変位検出装置及びそれを有する光学機器の提供を目的とする。

本発明に係る変位検出装置は、発散性の光束を相対移動する被検物に照射する照明手段、該被検物に設けられ、該照明手段からの光束を該照明手段側へ反射させる反射部と、非反射部とを繰り返し形成した第１の反射手段、該第１の反射手段で反射された光束を受光する第１の受光手段、該被検物に設けられ、該照明手段からの光束を該照明手段側へ反射させる反射部と、非反射部とを有する非透光性の第２の反射手段、該第１の受光手段と同一面上に設けられ、該第２の反射手段で反射された光束を受光する第２の受光する第２の受光手段、該第１の反射手段を介して該第１、第２の受光手段と対向する側に配置され、該第１の反射手段の非反射部を通過した光束を、該第１の受光手段が配置されている位置の方向とは異なる方向に反射させる反射面を有する迷光防止手段、とを有し、該第２の反射手段は該照明手段からの光束であって、該第１の反射手段の非反射部を透過し、該迷光防止手段の一部で反射し、該第２の受光手段が配置されている位置の方向に反射される光束の光路上に配置されていることを特徴とする。
また、上記変位検出装置を用いた画像形成装置も本発明の他の一側面を構成する。

本発明によれば、反射素子の光路上の位置を適切に設定することにより、装置全体の小型化を図りつつ、被検物の相対的変位の検出と、絶対角度位相の検出を高精度に行うことができる変位検出装置及びそれを有する光学機器が得られる。

本発明の変位検出装置及びそれを有する光学機器の各実施例を図面を用いて説明する。

本発明の変位検出装置は、被検物と相対移動するセンサ側に設けた照明光源（照明手段）から発散性の光束を被検物に照射する。

被検物に関しては第１の反射手段が設けられている。第１の反射手段は、照明手段からの光束を照明手段側へ反射させる反射部と非反射部を繰り返し形成したパターンを有している。照明手段側には第１の反射手段で反射された光束を受光し、被検物の相対的変位量を検出する第１の受光手段が設けられている。

又被検物に関して第２の反射手段が設けられている。第２の反射手段は、照明手段からの光束を照明手段側へ反射させる反射部と非反射部を有する非透光性の部材より成っている。又第２の受光手段は第１の受光手段と同一面上に設けられ、第２の反射手段で反射された光束を受光し、該被検物の絶対的変位量を検出している。

このとき第２の反射手段は照明手段からの光束であって、第１の反射手段を介して第２の受光手段が配置されている位置の方向に反射される光束の光路上に配置されている。

又は図１６に示すような抜け止め７の一部を反射面７ａとした迷光防止手段を用いるときには第２の反射手段の位置を次の如く設定している。

第１の反射手段を介して第１、第２の受光手段と対向する側に迷光防止手段を配置する。このとき迷光防止手段の反射面は第１の反射手段の非反射部を通過した光束を、第１の受光手段が配置されている位置の方向とは異なる方向に反射させている。

そして第２の反射手段は照明手段からの光束であって、第１の反射手段の非反射部を透過し、迷光防止手段の一部で反射し、第２の受光手段が配置されている位置の方向に反射される光束の光路上に配置している。

次に本発明の各実施例について説明する。図１１は本発明の変位検出装置を光学機器としてテレビ用のズームレンズ（テレビレンズ）に適用したときの要部概略図である。

図１１において１００は駆動装置であり、テレビレンズ１０１の鏡筒外周に装着されている。駆動装置１００はテレビレンズ１０１を構成するズーム部又はフォーカス部又は絞り装置等の可動の光学部材の変位情報を検出するための変位検出装置を内蔵している。

次に本発明に係る光学機器に適用可能な変位検出装置の構成について説明する。

図１は実施例１の変位検出装置の全体の要部構成図である。

図において１０はマイクロルーフアレイやルーフプリズムアレイ等を規則的に配置した反射パターン１０ａを背面に有する透明体から成る反射素子（第１の反射手段）である。反射素子１０は、変位検出装置を構成する固定の筐体１１に対し回動する回転軸１２に一体に連結され固定されている。

反射素子１０に対向する筐体１１内の位置には、拡散光を発する照射光源（照明手段）（照射手段）１３が設けられている。また、照射光源１３の回転軸側には相対位置の変位量を検出するための検出手段（第１の受光手段）（相対位置検出手段）１４が、外周側には絶対位置の変位量を検出するための検出手段（第２の受光手段）（絶対位置検出手段）１５が配置されている。

照射光源１３、相対位置検出手段１４、絶対位置検出手段１５はセンサ基板１６上の同一面に配されている。

また、反射素子１０と絶対位置検出手段１５の間で対向する位置には、図１８で説明したような反射部８ａ、非反射部８ｂの２つのエリアに分割された、反射素子１０と共に回転するリング状のパターンより成る反射部材１７が、配置されている。

該反射素子１０は、図１３での説明と同様に反射部と非反射部（光透過部）とのパターンが規則的に配されており、非反射部の角度位相において検出光は該反射素子１０を透過する。この為、反射素子１０には透過する検出光を以下に詳述する角度に設定した反射面１８ａを有する迷光防止部材１８が配置されている。

図２は、該迷光防止部材１８が反射素子１０の非反射部の角度位相の時に、非反射部を通過した光束が該迷光防止部材１８の一部で反射され導光する反射光路を示す要部概略図である。

図３は該迷光防止部材１８に敷設された反射面１８ａの反射角α’と各要素との距離、角度関係を表した概略図である。

図２において照明光源１３からの光束は反射部材１７で反射し、光路１７ａを形成し絶対位置の変位量を検出するための検出手段１５に入射している。

又図２に示すように、該照射光源１３からの拡散光が該迷光防止部材１８の反射面１８ａで反射される光路１９ａは絶対位置検出手段１５に到達しない光路をとるように、反射面１８ａの角度αが定められている。

更に、迷光防止手段１８の該反射面１８ａ以外の面で反射される反射光束の光路１９ｂに関しては、非透光性の反射部材（第２の反射手段）１７が位置し、該反射部材１７自体が遮光効果を発揮することによって、該絶対位置検出手段１５に到達しないように設定している。

図３において、該照射光源１３の中心から該反射素子１０への主光線方向を縦軸に取った時の光線の傾きをθとする。該照射光源１３から該反射素子１０迄の距離をＤ_Ｌ、該反射素子１０の厚みをＤ_Ｓ、該筐体１１内部の屈折率ｎ_Ｌ、該反射素子１０の屈折率をｎ_Ｓとそれぞれ表す。

また、該照射光源１３の中心からの主光線方向に直交する軸を横軸と取る時、該照射光源１３から該絶対位相検出手段１５までの横軸での最短距離をＸ_Ｓ２、該絶対位置検出手段１５の横軸での長さをＬ_Ｓ２とそれぞれ表している。

該反射面１８ａの傾きをα、該照射光源１３から該反射面１８ａの傾きが生成される起点迄の横方向の距離をＤ_ａ、該絶対位置検出手段１５から該反射素子１０までの距離をＤ_Ｅとする。

該絶対位置検出手段１５に該反射面１８ａにて生成される光路が迷光となって被らないようにする為に、該反射面１８ａの傾きαは、

と定めれば、図２に示す光路１９ａとして実現可能となる。
また、この時の該反射面１８ａを設ける範囲は、上式が等価となる時の照射角をθ_０とした時、横軸の範囲が

の範囲で設けられていれば良い。

また該反射面１８ａは、上述の反射角度αを設ける以外にも、図４のように曲率を有する反射面１８ｂとして設ける事によっても同様に目的を果たす事が出来る。

図４に示すように、該絶対位置検出手段１５上の、該照射手段１３から該絶対位置検出手段１５の端までの距離Ｘ_Ｓ２＋Ｌ_Ｓ２の位置となる点から、該迷光防止部材１８と該反射素子１０との境界面上で、Ｄ_ａの位置となる点とを結ぶ直線を定義する。

この直線に対して、該照射光源１３の反対側になるように曲率中心Ｏ_Ｌを配することで、該反射面１８ｂが生成する反射光路２０に示すように、該絶対位置検出手段１５，及び該相対位置検出手段１４への迷光が生じない光路が生成可能となる。

この時の、該迷光防止部材１８の材料は、りん青銅やアルミニウム合金のように、加工面の仕上げ精度に応じて良好な反射面が生成できる部材を選定する事で、部品構成を単純化でき、且つ容易に製作することが可能となる。

本実施例は、マイクロルーフアレイやルーフプリズムアレイを用いた高精度の変位検出を行う相対位置検出手段１４と、エッジの判別を行う絶対位置検出手段１５とを、一つの照射光源１３からの拡散光を導光する事で検出を行う変位検出装置である。このとき、迷光から生じる光路の重複による検出コントラストの低下を防ぐ事の出来る反射角を有する迷光防止部材１８を用いている。そして絶対位置検出用の反射部材とを適切に配することで、必要な検出光のみを活用する事を可能としている。従って、高い検出コントラストを維持出来る事で、高精度な電気分割の検出が行え、変位検出装置の精度を高める事が可能となる。

図５は本発明の実施例２の要部概略図である。

図５の実施例２は実施例１の迷光防止部材１８とは反射特性が異なる、りん青銅より成る迷光防止部材２１を示している。迷光防止部材２１以外の変位検出装置の装置構成は実施例１と同様である。

迷光防止部材２１には、該反射素子１０の非反射部を透過してきた検出光を反射させる反射面２１ａが敷設され、該反射面２１ａには公知の反射光量を低減する反射防止塗料が全面に塗布されている。又は反射面２１ａが拡散面又は面に酸化被膜が施されている。

該反射防止塗料は、入射した検出光の光量を減じて反射させる為、従来の課題で説明した図１６に示す光路６ｂのような、該絶対位置検出手段９に入射する反射光路の光量（反射率）は低減されている。

従って、実施例１で説明したような、該迷光防止部材１８の反射面１８ａの反射角αを迷光してこないように詳細に定義する事無く、該絶対位置検出手段１５に入射する迷光の光量を減ずる事で、有害性を低減する事が可能となる。

該反射防止塗料の他にも、該迷光防止部材２１にアルミニウム合金を用いた場合には、陽極酸化による酸化被膜処理（アルマイト処理）（反射防止処理）を施す事が良い。又はつや消し処理を施すことで反射率を低減した良好な反射防止面を生成することも可能である。

実施例２によれば、該迷光防止部材２１が生成する反射光路の光量を低減する事により、該迷光防止部材２１の反射面角度生成の簡略化や、該反射部材１７の形状を、該絶対位置検出手段１５の検出光路１７ａのみを確保すれば良い大きさに、小型化が容易となる。

従って、構造の簡易化、軽量化が容易となる。

図６は本発明の実施例３の要部概略図である。

図６の実施例３の変位検出装置では、筐体２３及び反射部材２４以外は、実施例１または２で詳述した図１または図５の構成物と同一である。この為、同一の構成については同記号を用いて説明する。

図７は実施例３の構成における筐体２３の内壁部２５を反射する、迷光の様子を説明する図である。筐体２３内には照明光源１３、第１、第２の受光手段１４、１５が収納保持されている。

また図８は実施例３の構成に関して、該反射素子１０が非反射部の角度位相の時に、該迷光防止部材１８、及び該筐体２３の内壁に敷設した遮光部（遮光溝）２６が導光する反射光路２６ａを示す要部の説明図である。

該照射光源１３からの検出光は、該反射素子１０の非反射部の位相で該反射素子１０を透過して、筐体２３の内部構造の様々な個所で反射して迷光となる。

反射した迷光の内、検出素子１５に入り込んで検出精度に影響を及ぼす迷光が有害光となる。その中でも機構部品に一次反射したものは特に光量が強く、影響が大きいが、機構部品に複数回反射する光路に関しては光量が低下していく為、影響は徐々に軽微になる。

実施例１や２では、一次反射する迷光を防いでいる。これに対して、実施例３は二次反射する迷光も更に防いでいる。

図７に示すように、該反射部材２４の生成する絶対位置を検出する為の光路２４ａに被る光路が生成されると、該絶対位置検出手段１５への有害光となる。

具体的には、該筐体２３の内壁部２５を複数回反射して生成された反射光路２５ａと、該迷光防止部材１８の反射光路が該内壁部２５に反射して生成される反射光路１８ｂとが、有害光となる。

このような反射光路２５ａを効果的に防ぐ手段として、図８に示すように該筐体２３に公知の遮光溝形状を有する遮光部２６を敷設する事で反射光路２６ａを生成し、該絶対位置検出手段１５への有害光を防ぐことが可能となる。

この時の検出光の反射面は、実施例１または２で詳述した該迷光防止部材１８の反射面、或いは該反射防止塗料２１が塗布された反射面が生成する反射光路においても、同様の効果を発揮する。

また、遮光部２６の遮光形状は図８に示した遮光溝形状のほかにも、階段上、波形状など、反射光路生成上、検出光の検出素子側へ導光しない光路を生成できるものであれば、形状を問わず敷設可能である。

実施例３によれば、筐体２３内部の反射光路から生じる有害光を減ずる事ができる。これにより、検出光の明暗のコントラストをより高く維持する事が可能となり、該絶対位置検出手段からの出力値の電気分割を高い精度で行う事を経て高分解能を実現することができる。

尚、本実施例では実施例１、２の構成に加えて、又は実施例１、２とは全く独立に前述の如く構成しても良い。

図９は本発明の実施例４の要部概略図である。

図９は実施例４を適用する変位検出装置全体の構成図であり、図１０は実施例４による反射光路生成を説明する為の要部詳細図である。

筐体２７以外の構成は実施例３で詳述した構成と同一である為、同記号を用いて説明する。

実施例４は、実施例３と同様に、二次反射する迷光を防いでいる。

図７で示したように、筐体内反射を経て有害光となる光路は反射光路２５ａと反射光路１８ｂである。

本実施例では、これらの反射光路２８ａを効果的に防ぐ手段として、図９に示すように筐体２７に、遮光部２８を設けている。

図１０に示すように、図７における反射光路２５ａは筐体２７に敷設された遮光部２８により、反射光路２８ａへと変化させている。これにより該絶対位置検出手段１５への有害光となる光路と辿らなくすることが可能となる。

また、反射光路１８ｂが筐体２７に反射する領域には、筐体２７の一部を反射面２９にしている。この反射面２９で、反射光路１８ｂの二次反射を押えた反射光路２９ａへと変化させることで、該絶対位置検出手段１５への有害光となる光路を辿らなくしている。

実施例４においても、実施例３の場合と同様に、筐体内部の反射光路から生じる有害光を減ずる事で、検出光の明暗のコントラストをより高く維持する事ができる。

その結果、該絶対位置検出手段１５からの出力値の電気分割を高い精度で行う事ができ、変位検出装置として高分解能の検出が行える効果が得られる。

上述の説明では、本発明の好ましい実施例について述べたが、本発明はこれらの実施例に限定されないことは云うまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

実施例１の変位検出装置の構成図である。 反射板が導出する反射光路の説明図である。 各部要素の距離と角度の定義を定めた図である。 実施例１における、反射面の別の定義方法の要部説明図である。 実施例２の変位検出装置の構成図である。 実施例３の変位検出装置の構成図である。 筐体内反射による反射光路の説明図である。 実施例３における、遮光溝形状が生成する反射光路の要部説明図である。 実施例４の変位検出装置の構成図である。 実施例４における、遮光溝形状が生成する反射光路の要部説明図である。 本発明の光学機器の置の説明図である。 従来の光学式検出を行う変位検出装置の断面図である。 反射素子であるマイクロルーフアレイのパターン要部の説明図である。 反射素子の反射部（マイクロルーフアレイ部）の反射光路の説明図である。 反射素子の非反射部（台形突起部）の反射光路の説明図である。 抜け止めの反射面に所定の角度をつけた時の反射光路の説明図である。 従来の光学式検出で相対位置検出と絶対位置検出の双方を行う変位検出装置の構造断面図である。 絶対位相検出に用いる反射面において、二値出力の為の反射パターンの説明図である。 第二の受光素子に到達する反射光路の寸法、角度関係を説明する要部詳細図である。

符号の説明

１０ 反射素子
３ａ、１０ａ 反射パターン
５ａ 投光素子
５ｂ 第１の受光素子
６ａ 第１の受光素子へ集光する光路
６ｂ、６ｂ′ 第２の受光素子方向へ導光される光路
８、１７、２４ 反射部材
９ 第２の受光素子
１３ 照射光源
１４ 相対位置検出手段
１５ 絶対位置検出手段
１７ａ、２４ａ 絶対位置検出用の反射光
１８、２１ 迷光防止部材
１９ａ、１９ｂ 迷光防止部材の反射光
２６、２８ 遮光部
２６ａ、２８ａ、２９ａ 筐体内反射光
２９ 筐体反射面

Claims (6)

1. 発散性の光束を相対移動する被検物に照射する照明手段、
   該被検物に設けられ、該照明手段からの光束を該照明手段側へ反射させる反射部と、非反射部とを繰り返し形成した第１の反射手段、
   該第１の反射手段で反射された光束を受光する第１の受光手段、
   該被検物に設けられ、該照明手段からの光束を該照明手段側へ反射させる反射部と、非反射部とを有する非透光性の第２の反射手段、該第１の受光手段と同一面上に設けられ、該第２の反射手段で反射された光束を受光する第２の受光する第２の受光手段、
   該第１の反射手段を介して該第１、第２の受光手段と対向する側に配置され、該第１の反射手段の非反射部を通過した光束を、該第１の受光手段が配置されている位置の方向とは異なる方向に反射させる反射面を有する迷光防止手段、とを有し、
   該第２の反射手段は該照明手段からの光束であって、該第１の反射手段の非反射部を透過し、該迷光防止手段の一部で反射し、該第２の受光手段が配置されている位置の方向に反射される光束の光路上に配置されていることを特徴とする変位検出装置。
2. 前記迷光防止手段には、前記照明手段からの光束であって、前記第１の反射手段を透過した発散性の反射率を低減する反射防止塗料又は酸化被膜が施されていることを特徴とする請求項１に記載の変位検出装置。
3. 前記照明手段と第１の受光手段と第２の受光手段はいずれも筐体内に保持されており、該筐体内の内壁部には、該第１の反射手段の非反射部を通過した光束であって、該筐体の内壁部で反射する光束を減ずる遮光溝形状が施されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の変位検出装置。
4. 前記照明手段と第１の受光手段と第２の受光手段はいずれも筐体内に保持されており、該筐体の内壁部には、該第１の反射手段の非反射部を通過した光束であって、該筐体の内壁部で反射する光束が該第１の受光手段又は第２の受光手段に入射するのを防止する遮光部又は反射面の少なくとも１つが設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の変位検出装置。
5. 前記第１の受光手段で受光される光束より前記被検物の相対的変位量を検出し、前記第２の受光手段で受光される光束より前記被検物の絶対的変位量を検出することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の変位検出装置。
6. 光学部材の変位情報を検出するための請求項１乃至５のいずれか１項に記載の変位検出装置を有することを特徴とする光学機器。

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