JP5050782B2 - 回動位置検出装置およびこれを備える加工装置 - Google Patents

回動位置検出装置およびこれを備える加工装置 Download PDF

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Description

本発明は、ワークを加工する加工装置が備える回動可能なテーブルの回動位置を検出する回動位置検出装置およびこれを備える加工装置に関する。
従来、この種の加工装置としては、主軸ヘッドとテーブルとをリニアモータを用いてXYZ軸方向に移動させるマシニングセンタが提案されている(例えば、特許文献1参照)。この装置では、主軸ヘッドのX−Z平面上の移動とテーブルのY軸の移動とによりワークの切削を行なっている。
また、XYZ軸方向の移動に代えてインデックステーブルのC軸方向の回転と主軸のY−Z平面上の移動とにより工作物(ワーク)の任意の位置を工具の直下に位置決めしてワークの加工を行なうものも提案されている(例えば、特許文献2参照)。この装置では、インデックステーブルのC軸方向の回転を用いることにより、X軸方向に移動させてワークを加工するものに比して、装置のX軸方向の占有幅を小さくできるとしている。
特開2006−123131号公報 特開2005−34933号公報
ところで、チルトテーブルやインデックステーブルなどの回動可能なテーブルを備えるタイプの加工装置では、ワークの加工を精度よく行なうためにテーブルの回動位置を検出することが行なわれており、近接センサやエンコーダなどの電気的なセンサを用いることができるが、こうした電気的なセンサを用いることが適切でない場合がある。例えば、インデックステーブル上に水平方向に平行な軸線周りを回動可能なチルトテーブルを配置すると共にチルトテーブル上にワークを載置して加工を行なう場合を考えると、チルトテーブルの回動位置(傾斜角)を検出するためにチルトテーブルの回動軸に電気的なセンサを配置すると、装置本体とセンサとの間の電気的な配線を施す必要から、インデックステーブルやチルトテーブルの回動が制約される場合が生じる。また、インデックステーブルの回動軸にスリップリングを配置することも考えられるが、センサからの信号にノイズが生じたり装置が複雑化してしまう。
本発明の回動位置検出装置およびこれを備える加工装置は、電気的なセンサを用いることなくテーブルの回動位置を検出することを主目的とする。
本発明の回動位置検出装置およびこれを備える加工装置は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。
本発明の回動位置検出装置は、
ワークを加工する加工装置が備える回動可能なテーブルの回動位置を検出する回動位置検出装置であって、
流体を圧送する圧送手段と、
前記テーブルの回動軸に設けられ、前記圧送手段により圧送された流体を入力すると共に該入力した流体を前記テーブルの回動位置に応じて異なる径の絞りを介して出力する流体入出力手段と、
前記圧送手段により圧送された流体の流量を検出する流量検出手段と、
該検出された流体の流量に基づいて前記テーブルの回動位置を判定する回動位置判定手段と
を備えることを要旨とする。
この本発明の回動位置検出装置では、流体を圧送する圧送手段と、加工装置により加工されるワークを支持するためのテーブルの回動軸に設けられ圧送手段により圧送された流体を入力すると共に入力した流体をテーブルの回動位置に応じて異なる径の絞りを介して出力する流体入出力手段と、圧送手段により圧送された流体の流量を検出する流量検出手段と、を備え、流量検出手段により検出された流体の流量に基づいてテーブルの回動位置を判定するから、電気的なセンサを用いることなくテーブルの回動位置を検出することができる。
こうした本発明の回動位置検出装置において、前記加工装置は、第1の回動軸を有する第1のテーブルと、該第1のテーブル上に配置され前記第1の回動軸とは異なる方向の第2の回動軸を有すると共に前記ワークを載置する載置面を有する第2のテーブルとを備え、前記回動位置検出装置は、前記第2のテーブルの回動位置を検出するための装置であるものとすることもできる。このように、電気的なセンサを配置することが困難な部位にも対応することができる。この態様の本発明の回動位置検出装置において、前記第1のテーブルは、前記第1の回動軸の回動に伴って回転可能な回転テーブルであり、前記第2のテーブルは、前記第2の回動軸の回動に伴って前記載置面に対する傾斜の角度を変更可能なチルトテーブルであるものとすることもできる。さらにこの態様の本発明の回動位置検出装置において、前記圧送手段は、前記回転テーブルの前記第1の回動軸に設けられた回転継手を介して流体を前記流体入出力手段側に圧送する手段であるものとすることもできる。こうすれば、圧送手段からの流体をスムーズに流体入出力手段側に送ることができる。
また、本発明の回動位置検出装置において、前記流体入出力手段は、前記圧送手段により圧送された流体を入力する入力ポートが形成されたステータと、前記テーブルの回動軸をなし出力ポートが形成されると共に該出力ポートと連通する互いに異なる径の複数の流路が形成されたロータとを備え、前記複数の流路は、該複数の流路のうち前記ロータの回動位置に応じて異なる1つの流路が前記入力ポートと連通するよう形成されてなるものとすることもできる。こうすれば、比較的簡易な構成により装置を構成することができる。
さらに、本発明の回動位置検出装置において、前記圧送手段は、前記流体として前記加工装置の加工の際に用いられるクーラントを圧送する手段であるものとすることもできる。こうすれば、クーラントを貯留するためのタンクの他に本発明の回動位置検出装置に用いる流体を貯留するためのタンクを設ける必要がない。
本発明の加工装置は、
上述した各態様のいずれかの本発明の回動位置検出装置を備える
ことを要旨とする。
この本発明の加工装置によれば、上述した各態様のいずれかの本発明の回動位置検出装置を備えるから、本発明の回動位置検出装置が奏する効果と同様の効果、例えば、電気的なセンサを用いることなくテーブルの回動位置を検出することができる効果や電気的なセンサを配置することが困難な部位にも対応することができる効果などを奏することができる。
次に、本発明を実施するための最良の形態を実施例を用いて説明する。
図1は、本発明の一実施例としての加工装置20の構成の概略を示す構成図であり、図2は、加工装置20に搭載されるチルト機構70の構成の概略を示す構成図である。実施例の加工装置20は、図1に示すように、工具34を回転させてワークWを加工するマシニングセンタとして構成されており、先端に工具34が装着された主軸32を主軸モータ36により回転駆動する主軸装置30と、主軸32をY軸方向(図中左右方向)に駆動するY軸用駆動機構40と、主軸32をZ軸方向(図中上下方向)に駆動するZ軸用駆動機構50と、主軸32に装着された工具34を新たな工具に交換するための工具交換装置60と、Z軸に平行な軸線(図中C軸)周りに回転可能なインデックステーブル26を回転駆動するC軸サーボモータ24と、インデックステーブル26上に配置され水平方向の軸線(図中B軸)周りにチルトテーブル72の傾斜角を変更可能なチルト機構70とを備える。
Y軸用駆動機構40は、実施例の加工装置20の装置本体の架台としてのベース22の上端部に敷設されたY軸ガイドレール23にスライダ41を介して装着されたY軸サドル42と、Y軸サドル42にブラケット44を介して取り付けられたナット45に螺合されたボールねじ46と、ボールねじ46にカップリング47を介して接続されたY軸サーボモータ48とを備え、Y軸サーボモータ48を駆動することによりベース22に対してY軸サドル42をY軸ガイドレール23に沿ってY軸方向に往復動させる。
Z軸用駆動機構50は、スライダ51を介してY軸サドル42に装着されるZ軸ガイドレール53が敷設されたZ軸サドル52と、Z軸サドル52にブラケット54を介して取り付けられたナット55に螺合されたボールねじ56と、Y軸サドル42に固定されボールねじ56にカップリング57を介して接続されたZ軸サーボモータ58とを備え、Z軸サーボモータ58を駆動することによりY軸サドル42に対してZ軸サドル52をZ軸ガイドレール53に沿ってZ軸方向に往復動させる。
工具交換装置60は、加工の種類に応じて主軸32に装着した工具を別の工具に交換可能な装置として構成されており、ブラケット62を介してベース22に上向きに固定されたサーボモータ64と、サーボモータ64の回転軸に回転可能に支持されると共に外周部に工具を把持する把持部が形成されたマガジン66とを備える。
チルト機構70は、図2に示すように、インデックステーブル26上に固定されたベース71と、ワークWを把持するためのクランプ装置73が表面に配置されたチルトテーブル72と、ベース71に取り付けられチルトテーブル72を水平面に対して平行な軸(B軸)周りを回動可能にチルトテーブル72を駆動するB軸アクチュエータ74と、ベース71に取り付けられチルトテーブル72に対してB軸アクチュエータ74とは反対側の軸端を回動可能に支持する支持台76とを備え、B軸アクチュエータ74を駆動することによりチルトテーブル72の傾斜角を変更する。なお、B軸アクチュエータ74としては、例えば、エアモータを用いたり、シリンダ(エアシリンダなど)とシリンダからの直線運動を回転運動に変換する変換機構とを用いたりすることができる。図3に、チルトテーブル72の傾斜角を変更する様子を示す。図示するように、チルト機構70は、実施例では、チルトテーブル72を90°の角度間隔で4段階に傾斜角を変更できるよう構成するものとした。これにより、チルトテーブル72にワークWを載置した状態でワークWの上面と右側面と左側面の3面を加工することができる。
図4は、実施例の加工装置20に搭載される回動位置検出装置80の構成の概略を示す構成図である。回動位置検出装置80は、図示するように、高圧用のポンプ112から主軸32付近に取り付けられたクーラントノズル114を介して工具34やワークWを潤滑したり、低圧用のポンプ82からインデックステーブル26やチルトテーブル72,このチルトテーブル72上に載置されたワークWを洗浄したりするために供給されるクーラントを用いて上述したチルトテーブル72の傾斜角θを検出する装置として構成されており、図示するように、クーラントタンク110に貯留されているクーラントを圧送するポンプ82と、ポンプ82から圧送されたクーラントの流量Qを計測する流量計84と、ポンプ82から圧送されたクーラントがインデックステーブル26から出力されるようロータリーシャフト86aがインデックステーブル26に固定されたロータリージョイント86(図2参照)と、ロータリージョイント86から出力されたクーラントをホース88を介して入力すると共に入力したクーラントをチルトテーブル72の傾斜角θに応じて異なる径のオリフィス94a〜94dを介して出力する流体入出力機構90と、流量計84からの流量Qに基づいてチルトテーブル72の傾斜角θを判定するコントローラ100とを備える。
流体入出力機構90は、チルトテーブル72の回動軸をなす円柱状の部材として形成されると共に軸中心に出力ポート92aが形成されたロータ92と、ロータ92を嵌挿可能な貫通孔76bによりロータ92を回動自在に支持するステータとして形成されると共に貫通孔76bに連通する入力ポート76aが形成された支持台76とにより構成されている。ロータ92には、軸中心の出力ポート92aに連通する4つのオリフィス94a〜94dが90度の角度間隔を隔てて径方向に形成されており、ロータ92の回動位置θ(チルトテーブル72の傾斜角)に応じて4つのオリフィス94a〜94dのいずれか1つが入力ポート76aと連通するようになっている。図5に、オリフィス94a〜94dを含むロータ92の断面を示す。オリフィス94a〜94dは、図示するように、ロータ92の回動位置θが0°のときには径D1のオリフィス94aを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通し、ロータ92の回動位置θが90°のときには径D2のオリフィス94bを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通し、ロータ92の回動位置θが180°のときには径D3のオリフィス94cを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通し、ロータ92の回動位置θが270°のときには径D4のオリフィス94dを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通するよう形成されている。入力ポート76aの径Dinは4つのオリフィス94a〜94dの径D1〜D4のうちもっとも大きい径以上の大きさであり且つ4つのオリフィス94a〜94dの径D1〜D4は互いに大きさが異なるから、ロータ92の回動位置θが0°,90°,180°,270°のいずれかによってクーラントの流量Qは変化する。即ち、クーラントの流量Qを調べることにより、ロータ92の回動位置θを検出することができる。実施例では、径D1,D2,D3,D4の順に大きくなるよう各オリフィス94a〜94dを形成するものとした。勿論、各オリフィス94a〜94dの径D1〜D4は互いに大きさが異なるものであればよいから、大きさの順序は径D1,D2,D3,D4には限られない。
コントローラ100は、CPU102を中心としたマイクロプロセッサとして構成されており、CPU102の他に処理プログラムを記憶するROM104と、データを一時的に記憶するRAM106と、入出力ポートとを備える。このコントローラ100には、流量計84からのクーラントの流量Qなどが入力ポートを介して入力されており、コントローラ100からは、ポンプ82への駆動信号などが出力ポートを介して出力されている。
こうして構成された実施例の加工装置20では、主軸32はY軸用駆動機構40によるY軸サドル42のY軸方向の移動とZ軸用駆動機構50によるZ軸サドル52のZ軸方向の移動とにより両サドル42,52の可動範囲内でY−Z平面上を移動できるようになっており、インデックステーブル26はZ軸周りを回転できるようになっているから、インデックステーブル26上に配置されたチルトテーブル72上のワークWに対して主軸32を任意の位置に位置決めしてワークWを加工することができる。また、チルト機構70によりチルトテーブル72の傾斜角θを0°,90°,180°の3段階に変更することにより、ワークWの上面の他に側面(2面)の加工も行なうことができる。
次に、こうした構成された実施例の加工装置20の動作、特に、ロータ92の回動位置すなわちチルトテーブル72の傾斜角θを検出する動作について説明する。図6は、傾斜角判定ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、例えば、ワークWの加工に伴ってB軸アクチュエータ74によりチルトテーブル72の傾斜角を変更したときに実行される。
傾斜角判定ルーチンが実行されると、コントローラ100のCPU102は、まず、ポンプ82を所定回転数Nで駆動し(ステップS100)、流量計84からのクーラントの流量Qを入力し(ステップS110)、流量Qが第1流量Q1付近の流量であるか否か(ステップS120)、流量Qが第2流量Q2付近の流量であるか否か(ステップS130)、流量Qが第3流量Q3付近の流量であるか否か(ステップS140)、流量Qが第4流量Q4付近の流量であるか否か(ステップS150)をそれぞれ判定する。ここで、第1流量Q1は、径D1のオリフィス94aを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通している状態でポンプ82を所定回転数Nで駆動した際にとりうるクーラントの流量であり、第2流量Q2は、径D2のオリフィス94bを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通している状態でポンプ82を所定回転数Nで駆動した際にとりうるクーラントの流量であり、第3流量Q3は、径D3のオリフィス94cを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通している状態でポンプ82を所定回転数Nで駆動した際にとりうるクーラントの流量であり、第4流量Q4は、径D4のオリフィス94dを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通している状態でポンプ82を所定回転数Nで駆動した際にとりうるクーラントの流量である。
入力した流量Qが第1流量Q1付近の流量のときには、径D1のオリフィス94aを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通していると判断し、チルトテーブル72の傾斜角θは0°と判定して(ステップS160)、本ルーチンを終了し、入力した流量Qが第2流量Q2付近の流量のときには、径D2のオリフィス94bを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通していると判断し、チルトテーブル72の傾斜角θは90°と判定して(ステップS170)、本ルーチンを終了し、入力した流量Qが第3流量Q3付近の流量のときには、径D3のオリフィス94cを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通していると判断し、チルトテーブル72の傾斜角θは180°と判定して(ステップS180)、本ルーチンを終了し、入力した流量Qが第4流量Q4付近の流量のときには、径D4のオリフィス94dを介して入力ポート76aと出力ポート92aとが連通していると判断し、チルトテーブル72の傾斜角θは270°と判定して(ステップS190)、本ルーチンを終了する。また、入力した流量Q1が第1流量Q1,第2流量Q2,第3流量Q3,第4流量Q4のいずれの流量でもないときには、チルトテーブル72の傾斜角θは0°,90°,180°,270°のいずれの角度でもないと判定して(ステップS200)、本ルーチンを終了する。クーラントの流量Qとチルトテーブル72の傾斜角θとの関係の一例を図7に示す。
こうして判定されたチルトテーブル72の傾斜角θは、B軸アクチュエータ74によるチルトテーブル72の傾斜角の調整が正常に行なわれたか否かの判定に用いることができる。例えば、チルトテーブル72が90°の傾斜角となるようB軸アクチュエータ74を駆動してワークWを加工する際に、傾斜角判定ルーチンによりチルトテーブル72の傾斜角θが90°と判定されたときにはチルトテーブル72の傾斜角は正常であると判断してワークWの加工を開始し、チルトテーブル72の傾斜角θが90°以外の角度と判定されたときにはチルトテーブル72の傾斜角は正常でないと判断してワークWの加工を開始することなくエラーを出力する。これにより、ワークWの加工不良の発生を抑制することができる。
以上説明した実施例の加工装置20によれば、チルトテーブル72の傾斜角θに応じて異なる径のオリフィス94a〜94dを介して入力ポート76aと出力ポート92aとを連通する流体入出力機構90の入力ポート76aにポンプ82からクーラントを圧送し、クーラントの流量Qを流量計84により検出すると共に検出した流量Qに基づいてチルトテーブル72の傾斜角θを判定するから、エンコーダなどの電気的な回転角センサを用いることなくチルトテーブル72の傾斜角θを検出することができる。したがって、チルトテーブル72の回動軸に電気的なセンサを配置して加工装置20の装置本体側から配線する場合のようにチルトテーブル72やインデックステーブル26の回動に対して制約を受けることがない。しかも、工具34などに供給されるクーラントを用いてチルトテーブル72の傾斜角θを判定するから、専用の流体を用いるものに比してクーラントタンク110以外の専用のタンクを設ける必要がなく、装置の構成をシンプルなものとすることができる。また、ポンプ82から圧送されたクーラントをインデックステーブル26がロータリーシャフト86aに固定されたロータリージョイント86を介して流体入出力機構90側に出力するから、流体入出力機構90へクーラントをスムーズに送ることができる。
実施例の加工装置20では、ロータ92に90°の角度間隔を隔てて4つのオリフィス94a〜94dを形成してチルトテーブル72の傾斜角θを90°の角度間隔で検出するものとしたが、ロータ92に形成するオリフィスの角度間隔は90°に限られず、ワークWの加工に必要なチルトテーブル72の傾斜角に合わせて如何なる角度間隔としてもよいし、ロータ92に形成するオリフィスの数もワークWの加工に必要なチルトテーブル72の傾斜角θの段数に合わせて如何なる数としてもよい。
実施例の加工装置20では、クーラントタンク110に貯留されているクーラントを用いてチルトテーブル72の傾斜角θを判定するものとしたが、必ずしもクーラントを用いる必要はなく、クーラント以外の他の流体を用いてチルトテーブル72の傾斜角θを判定するものとしてもよい。
実施例の加工装置20では、回動位置検出装置80をチルトテーブル72の傾斜角θの検出に用いるものとしたが、インデックステーブル26の回転位置の検出に用いるものとしてもよい。
実施例の加工装置20では、インデックステーブル26上にチルトテーブル72を備えるチルト機構70を配置すると共にチルトテーブル72上にワークWを載置して加工を行なうものとしたが、インデックステーブル26上に直接ワークWを載置するものとしてもよいし、チルトテーブル上にインデックステーブルを配置すると共にインデックステーブル上にワークWを載置して加工を行なうものとしてもよい。これらの場合、回動位置検出装置80をインデックステーブルの回転位置の検出に用いるものとしてもよい。
ここで、実施例の主要な要素と課題を解決するための手段の欄に記載した発明の主要な要素との対応関係について説明する。実施例では、チルトテーブル72が「テーブル」に相当し、ポンプ82が「圧送手段」に相当し、ロータ92とステータとしての支持台76とからなる流体入出力機構90が「流体入出力手段」に相当し、流量計84が「流量検出手段」に相当し、図6の傾斜角判定ルーチンを実行するコントローラ100が「回動位置判定手段」に相当する。また、ロータリージョイント86が「回転継手」に相当する。ここで、「流体入出力手段」としては、出力ポート92aが形成されると共に90°の角度間隔で出力ポート92aに連通するよう径方向にオリフィス94a〜94dが形成されたロータ92とこのロータ92に嵌挿される貫通孔76bが形成されると共に貫通孔76bに連通する入力ポート76aが形成された支持台76とからなるものに限定されるものではなく、テーブルの回動軸に設けられ圧送手段により圧送された流体を入力すると共に入力した流体をテーブルの回動位置に応じて異なる径の絞りを介して出力するものであれば如何なるものとしても構わない。また、「回動位置判定手段」としては、図6の傾斜角判定ルーチンを実行するものに限定されるものではなく、流量検出手段により検出された流体の流量に基づいてテーブルの回動位置を判定するものであれば如何なるものとしても構わない。なお、実施例の主要な要素と課題を解決するための手段の欄に記載した発明の主要な要素との対応関係は、実施例が課題を解決するための手段の欄に記載した発明を実施するための最良の形態を具体的に説明するための一例であることから、課題を解決するための手段の欄に記載した発明の要素を限定するものではない。即ち、課題を解決するための手段の欄に記載した発明についての解釈はその欄の記載に基づいて行なわれるべきものであり、実施例は課題を解決するための手段の欄に記載した発明の具体的な一例に過ぎないものである。
以上、本発明を実施するための最良の形態について実施例を用いて説明したが、本発明はこうした実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる形態で実施し得ることは勿論である。
本発明は、加工装置や回動位置検出装置の製造産業に利用可能である。
本発明の一実施例としての加工装置20の構成の概略を示す構成図である。 加工装置20に搭載されるチルト機構70の構成の概略を示す構成図である。 チルトテーブル72の傾斜角度を変更する様子を示す説明図である。 本発明の一実施例としてのチルトテーブル72の回動位置検出装置80の構成の概略を示す構成図である。 ロータ92の断面を示す断面図である。 実施例の回動位置検出装置80により実行される傾斜角判定ルーチンの一例を示すフローチャートである。 流量Qとチルトテーブル72の傾斜角θとの関係を示す説明図である。
符号の説明
20 加工装置、22 ベース、23 Y軸ガイドレール、24 C軸サーボモータ、26 インデックステーブル、30 主軸装置、32 主軸、34 工具、36 主軸モータ、40 Y軸用駆動機構、41 スライダ、42 Y軸サドル、44 ブラケット、45 ナット、46 ボールねじ、47 カップリング、48 Y軸サーボモータ、50 Z軸用駆動機構、51 スライダ、52 Z軸サドル、53 Z軸用ガイドレール、54 ブラケット、55 ナット、56 ボールねじ、57 カップリング、58 Z軸サーボモータ、60 工具交換装置、62 ブラケット、64 サーボモータ、66 マガジン、70 チルト機構、71 ベース、72 チルトテーブル、73 クランプ装置、74 B軸アクチュエータ、76 支持台、76a 入力ポート、76b 貫通孔、80 回動位置検出装置、82 ポンプ、84 流量計、86 ロータリージョイント、86a ロータリーシャフト、88 ホース、90 流体入出力機構、92 ロータ、92a 出力ポート、94a〜94d オリフィス、100 コントローラ、102 CPU、104 ROM、106 RAM、110 クーラントタンク、112 ポンプ、114 クーラントノズル。

Claims (7)

  1. ワークを加工する加工装置が備える回動可能なテーブルの回動位置を検出する回動位置検出装置であって、
    流体を圧送する圧送手段と、
    前記テーブルの回動軸に設けられ、前記圧送手段により圧送された流体を入力すると共に該入力した流体を前記テーブルの回動位置に応じて異なる径の絞りを介して出力する流体入出力手段と、
    前記圧送手段により圧送された流体の流量を検出する流量検出手段と、
    該検出された流体の流量に基づいて前記テーブルの回動位置を判定する回動位置判定手段と
    を備える回動位置検出装置。
  2. 請求項1記載の回動位置検出装置であって、
    前記加工装置は、第1の回動軸を有する第1のテーブルと、該第1のテーブル上に配置され前記第1の回動軸とは異なる方向の第2の回動軸を有すると共に前記ワークを載置する載置面を有する第2のテーブルとを備え、
    前記回動位置検出装置は、前記第2のテーブルの回動位置を検出するための装置である
    回動位置検出装置。
  3. 請求項2記載の回動位置検出装置であって、
    前記第1のテーブルは、前記第1の回動軸の回動に伴って回転可能な回転テーブルであり、
    前記第2のテーブルは、前記第2の回動軸の回動に伴って前記載置面に対する傾斜の角度を変更可能なチルトテーブルである
    回動位置検出装置。
  4. 前記圧送手段は、前記回転テーブルの前記第1の回動軸に設けられた回転継手を介して流体を前記流体入出力手段側に圧送する手段である請求項3記載の回動位置検出装置。
  5. 請求項1ないし4いずれか1項に記載の回動位置検出装置であって、
    前記流体入出力手段は、前記圧送手段により圧送された流体を入力する入力ポートが形成されたステータと、前記テーブルの回動軸をなし出力ポートが形成されると共に該出力ポートと連通する互いに異なる径の複数の流路が形成されたロータとを備え、
    前記複数の流路は、該複数の流路のうち前記ロータの回動位置に応じて異なる1つの流路が前記入力ポートと連通するよう形成されてなる
    回動位置検出装置。
  6. 前記圧送手段は、前記流体として前記加工装置の加工の際に用いられるクーラントを圧送する手段である請求項1ないし5いずれか1項に記載の回動位置検出装置。
  7. 請求項1ないし6いずれか1項に記載の回動位置検出装置を備える加工装置。
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