JP5043298B2 - トレンチ内に製造した集積化しリリースしたビーム層構成体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
20 半導体基板
22 第一誘電体層
24 第一導電層
26 犠牲層
28 ビーム
32 第二誘電体層
36 第一窓
38 第二窓
281 第二導電層
282 ビーム物質層
Claims (24)
- ビーム構成体において、
半導体基板、
前記半導体基板内に延在しており側部壁及び底部壁を具備しているトレンチ、
選択した位置において前記トレンチの前記側部壁及び前記底部壁上に位置されている第一導電層、
前記トレンチ内に位置されており側部壁及び底部壁を具備しているビーム、
選択した位置において前記ビームの前記側部壁及び前記底部壁の上に位置されている第二導電層、
を有しており、前記ビームがその第一部分において前記基板へ接続しており且つその第二部分において移動可能であり、前記トレンチの前記側部壁上の前記第一導電層と前記ビームの前記側部壁上の前記第二導電層とが互いに対向すると共に互いに離隔しており且つ前記トレンチの前記底部壁上の前記第一導電層と前記ビームの前記底部壁上の前記第二導電層とが互いに対向すると共に互いに離隔していることを特徴とするビーム構成体。 - 請求項1において、更に、前記ビームの前記第一部分と前記第一導電層との間に残存する犠牲層を有していることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項2において、前記残存する犠牲層が酸化物層を有していることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項1において、前記ビームがカンチレバービームであることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項1において、更に、前記トレンチと前記第一導電層との間に第一誘電体層を有していることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項5において、前記第一誘電体層が酸化物層の上に窒化物層を形成した二重層を有していることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項1において、更に、前記ビームの前記第一部分の上に第二誘電体層を有することを特徴とするビーム構成体。
- 請求項1において、前記ビームがドープしたポリシリコン又は金属からなるビーム物質層から構成されていることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項8において、前記ビーム物質層がドープしたポリシリコン層を有していることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項1において、前記第二導電層がタングステン、チタン、タンタル、アルミニウムからなるグループから選択した金属層を有していることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項1において、前記第一導電層がタングステン、チタン、タンタル、アルミニウムからなるグループから選択した金属層を有していることを特徴とするビーム構成体。
- 請求項11において、前記第一導電層が、更に、ドープしたポリシリコン層を有していることを特徴とするビーム構成体。
- 半導体構成体において、
半導体基板、
前記半導体基板内において第一方向に延在しており側部壁及び底部壁を具備している第一トレンチ、
前記半導体基板内において第二方向に延在しており側部壁及び底部壁を具備している第二トレンチ、
選択した位置において前記第一及び第二トレンチの夫々の前記側部壁及び底部壁上に位置されている第一導電層、
前記第一トレンチ内に位置されており側部壁及び底部壁を具備している第一ビーム、
前記第二トレンチ内に位置されており側部壁及び底部壁を具備している第二ビーム、
選択した位置において前記第一及び第二ビームの夫々の前記側部壁及び底部壁上に位置されている第二導電層、
を有しており、前記第一ビームがその第一部分において前記基板へ接続されており且つその第二部分において移動可能であり、前記第一トレンチの前記側部壁上の前記第一導電層と前記第一ビームの前記側部壁上の前記第二導電層とが互いに対向すると共に互いに離隔しており且つ前記第一トレンチの前記底部壁上の前記第一導電層と前記第一ビームの前記底部壁上の前記第二導電層とが互いに対向すると共に互いに離隔しており、且つ前記第二ビームがその第一部分において前記基板へ接続されており且つその第二部分において移動可能であり、前記第二トレンチの前記側部壁上の前記第一導電層と前記第二ビームの前記側部壁上の前記第二導電層とが互いに対向すると共に互いに離隔しており且つ前記第二トレンチの前記底部壁上の前記第一導電層と前記第二ビームの前記底部壁上の前記第二導電層とが互いに対向すると共に互いに離隔していることを特徴とする半導体構成体。 - 請求項13において、前記第一ビームの長さが前記第二ビームの長さと異なるものであることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項13において、前記第一ビームの幅が前記第二ビームの幅と異なるものであることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項13において、前記第一トレンチの幅が前記第二トレンチの幅と異なるものであることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項13において、前記第一ビームの厚さが前記第二ビームの厚さと異なるものであることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項13において、前記第一方向が前記第二方向と平行であることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項13において、前記第一方向が前記第二方向に対して垂直であることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項13において、前記第一トレンチ及び第二トレンチが共通点から共通の半径を有するように前記第一方向と前記第二方向とが配置されていることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項20において、前記第一ビームが円の中心から延在する第一ラインに対して垂直であり且つ前記第二ビームが同一の円の中心から延在する第二ラインに対して垂直であることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項20において、前記第一ビームが円の中心から延在する第一ラインに対して平行であり且つその上にあり、且つ前記第二ビームが同一の円の中心から延在する第二ラインに対して平行であり且つその上にあることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項13において、更に、前記第一トレンチと前記第一導電層との間及び前記第二トレンチと前記第一導電層との間に第一誘電体層を有していることを特徴とする半導体構成体。
- 請求項13において、更に、前記第一ビームの前記第一部分と前記第一導電層との間及び前記第二ビームの前記第一部分と前記第一導電層との間に第一の残存する犠牲層を有していることを特徴とする半導体構成体。
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