JP5040500B2 - 透明導電膜、その製造方法および該透明導電膜を用いたタッチパネル - Google Patents
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請求項2に記載の発明は、前記導電性薄膜の膜厚が10〜40nmであり、かつ表面抵抗値が100〜500Ω/□であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電膜である。
請求項3に記載の発明は、前記透明基材がプラスチックフィルム又はガラスであることを特徴とする請求項1または2に記載の透明導電膜である。
請求項4に記載の発明は、第一透明基材の一方の面に、第1セラミック薄膜、第2セラミック薄膜及び導電性薄膜を順次積層させてなる積層体を設け、他方の面に、粘着剤を介して第二透明基材を貼り合わせてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の透明導電膜である。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の透明導電膜を備えてなることを特徴とするタッチパネルである。
請求項6に記載の発明は、ロール・ツー・ロール法により、透明基材の少なくとも一方の面に、第1セラミック薄膜、第2セラミック薄膜及び導電性薄膜を順次積層させて積層体を形成する工程を有する透明導電膜の製造方法であって、前記第1セラミック薄膜の屈折率n1、前記第2セラミック薄膜の屈折率n2、前記導電性薄膜の屈折率n3がn1>n3>n2の関係を満たし、前記第1セラミック薄膜の膜厚が5〜30nmであり、第2セラミック薄膜の膜厚が50〜100nmであり、かつC光源に対する透過Yが87%以上であるとともに、前記第1セラミック薄膜を形成するセラミックが、二酸化珪素、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウムまたは酸化ジルコニウムであることを特徴とする前記製造方法である。
図1に示す層構成を有する透明導電膜を製造した。
透明基材5としては、188μm厚のポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用いた。透明基材5上に、ロール・ツー・ロール法にて、第1セラミック薄膜2、第2セラミック薄膜3を蒸着法にて、導電性薄膜4を直流マグネトロンスパッタリング法にて形成し、積層体1を得た。この時、第1セラミック薄膜2にTiO2、第2セラミック薄膜3にSiO2、導電性薄膜4に酸化インジウムと酸化錫の混合酸化物であるITOを使用した。
第2セラミック薄膜3の膜厚を100nmに変更した以外は、実施例1と同様にして、図1に示す構成の透明導電膜を形成した。また、実施例1と同様にして、この透明導電膜の透過特性及び抵抗値を測定した結果を表1に示す。
第1セラミック薄膜の膜厚を5nm(実施例3)、30nm(実施例4)に変更した以外は、実施例1と同様にして、図1に示す構成の透明導電膜を形成した。また、実施例1と同様にして、この透明導電膜の透過特性及び抵抗値を測定した結果を表1に示す。
図3は、比較例1で用いた透明導電膜の断面図である。図3に示すように、188μm厚のPETフィルムを基材5とし、その上に、20nm厚のITO薄膜の単層構成の透明導電膜を、直流マグネトロンスパッタリング法にて成膜した。
得られた透明導電膜の透過特性を分光光度計で測定した結果を表1に示す。また、得られた透明導電膜の抵抗値を4探針法で測定した結果を表1に示す。
第2セラミック薄膜を40nmに変更した以外は、実施例1と同様にして、図1に示す構成の透明導電膜を形成した。また、実施例1と同様にして、この透明導電膜の透過特性および抵抗値を測定した結果を表1に示す。
2 第1セラミック薄膜
3 第2セラミック薄膜
4 導電性薄膜
5 透明基材
6 粘着剤
7 第二透明基材
Claims (6)
- 透明基材の少なくとも一方の面に、第1セラミック薄膜、第2セラミック薄膜及び導電性薄膜を順次積層させてなる積層体を設け、前記第1セラミック薄膜の屈折率n1、前記第2セラミック薄膜の屈折率n2、前記導電性薄膜の屈折率n3がn1>n3>n2の関係を満たし、前記第1セラミック薄膜の膜厚が5〜30nmであり、第2セラミック薄膜の膜厚が50〜100nmであり、かつC光源に対する透過Yが87%以上であるとともに、前記第1セラミック薄膜を形成するセラミックが、二酸化珪素、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウムまたは酸化ジルコニウムであることを特徴とする透明導電膜。
- 前記導電性薄膜の膜厚が10〜40nmであり、かつ表面抵抗値が100〜500Ω/□であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電膜。
- 前記透明基材がプラスチックフィルム又はガラスであることを特徴とする請求項1または2に記載の透明導電膜。
- 第一透明基材の一方の面に、第1セラミック薄膜、第2セラミック薄膜及び導電性薄膜を順次積層させてなる積層体を設け、他方の面に、粘着剤を介して第二透明基材を貼り合わせてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の透明導電膜。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の透明導電膜を備えてなることを特徴とするタッチパネル。
- ロール・ツー・ロール法により、透明基材の少なくとも一方の面に、第1セラミック薄膜、第2セラミック薄膜及び導電性薄膜を順次積層させて積層体を形成する工程を有する透明導電膜の製造方法であって、前記第1セラミック薄膜の屈折率n1、前記第2セラミック薄膜の屈折率n2、前記導電性薄膜の屈折率n3がn1>n3>n2の関係を満たし、前記第1セラミック薄膜の膜厚が5〜30nmであり、第2セラミック薄膜の膜厚が50〜100nmであり、かつC光源に対する透過Yが87%以上であるとともに、前記第1セラミック薄膜を形成するセラミックが、二酸化珪素、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウムまたは酸化ジルコニウムであることを特徴とする前記製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007195727A JP5040500B2 (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 透明導電膜、その製造方法および該透明導電膜を用いたタッチパネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007195727A JP5040500B2 (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 透明導電膜、その製造方法および該透明導電膜を用いたタッチパネル |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009032548A JP2009032548A (ja) | 2009-02-12 |
JP5040500B2 true JP5040500B2 (ja) | 2012-10-03 |
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ID=40402859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5040500B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5549216B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2014-07-16 | 凸版印刷株式会社 | 透明導電性積層体およびその製造方法ならびにタッチパネル |
JP5617276B2 (ja) * | 2010-02-25 | 2014-11-05 | 凸版印刷株式会社 | 透明導電性積層体及びその製造方法 |
KR101045026B1 (ko) * | 2010-11-12 | 2011-06-30 | (주)비엠씨 | 투명 도전성 적층 필름, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 터치패널 |
JP5786403B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-09-30 | 凸版印刷株式会社 | 透明導電性積層体およびそれを用いたタッチパネル |
JP6688033B2 (ja) | 2015-05-27 | 2020-04-28 | 日東電工株式会社 | 透明導電性フィルム |
WO2016189761A1 (ja) * | 2015-05-27 | 2016-12-01 | 日東電工株式会社 | 透明導電性フィルム |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4419146B2 (ja) * | 2005-06-13 | 2010-02-24 | 日東電工株式会社 | 透明導電性積層体 |
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2007
- 2007-07-27 JP JP2007195727A patent/JP5040500B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009032548A (ja) | 2009-02-12 |
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