JP5034333B2 - 電子部品及び電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る電子部品100の構成を説明する図である。図1(A)は電子部品100の平面方向から見た概要図、図1(B)は、図1(A)に示すA−Aの断面概要図である。図1(A)に示すように、本実施形態の電子部品100は、素子20と、素子20が配置又は装着される筐体10とを有する。筐体10は、素子20が配置又は装着されるステム12とステム12とともにキャビティCを形成するキャップ11とを有する。本実施形態の筐体10は長方形の形状としたが、形状は特に限定されず、円筒形等であってもよい。
本発明の第2実施形態では、筐体に設けられた変形部の板厚が、筐体の他の面の板厚よりも薄い点、つまり、筐体の一般面の板厚よりも板厚が薄い変形部を筐体10に設けた点を特徴とする。以下、重複した説明を避けるため第1実施形態と共通する点については説明を省略し、異なる点を中心に説明する。
本実施形態は、外力を与えると変形する第1実施形態のような変形部13A〜13D又は第2実施形態のような変形部13E〜13Hのキャビティ内側面の少なくとも一部に、気体吸着機能を有するゲッターを含む材料からなるゲッター層Lが形成されている点を特徴とする。ゲッター層Lは、キャビティ内側面の気体吸着機能を有するゲッターを含む部分であり、層の厚さや、ゲッターの分布などは限定されない。本実施形態では、変形部13A〜13Dのキャビティ内部側面の少なくとも一部にゲッター層Lを形成するため、筐体10全体、キャップ11´全体、又はステム12´全体をゲッター含有材料で形成しなくてもよく、製造コストを低減させることができる。ゲッター層Lの製造手法は特に限定されず、既知の物理蒸着法(PVD法)、化学蒸着法(CVD法)その他の気相蒸着法を用いて形成することができる。
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
20,20´…素子
10,10´…筐体
11,11´…キャップ
12,12´…ステム
13A〜13H…変形部
3…導電性ワイヤ
4…端子
6…赤外線透過窓
G…溝
L…ゲッター層
Claims (7)
- 素子と、
前記素子が配置又は装着される略真空雰囲気のキャビティを形成する筐体とを有し、
前記筐体は、外力を与えると変形する変形部を有し、当該変形部のキャビティ内部側面の少なくとも一部には、気体吸着機能を有するゲッターを含む材料のゲッター層が形成され、
前記ゲッター層のキャビティ側の表面には1又は2以上の溝が形成されている電子部品。 - 前記溝は、前記変形部の略中心に対して同心円状又は放射状に形成されている請求項1に記載の電子部品。
- 前記変形部は、前記筐体の一般面に対して前記キャビティの外側に向かって凸状である請求項1又は2に記載の電子部品。
- 前記変形部の板厚は、前記筐体の一般面の板厚よりも薄い請求項1〜3の何れか一項に記載の電子部品。
- 前記変形部は、与えられた外力により前記キャビティ内部側に向かって凸状に変形する請求項1〜4の何れか一項に記載の電子部品。
- 素子を準備し、
略真空雰囲気のキャビティが形成可能であって、外力を与えると変形する変形部を有する筐体を準備し、
前記変形部のキャビティ内部側面の少なくとも一部に、気体吸着機能を有するゲッターを含む材料のゲッター層を形成するとともに、前記ゲッター層のキャビティ側の表面に1又は2以上の溝を形成し、
前記筐体に前記素子を配置又は装着し、
前記素子が配置又は装着されたキャビティ内部を略真空雰囲気とし、
外力を与えて前記変形部を変形させる電子部品の製造方法。 - 前記溝は、前記変形部の略中心に対して同心円状又は放射状に形成されている請求項6に記載の電子部品の製造方法。
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JP2006166914A JP5034333B2 (ja) | 2006-06-16 | 2006-06-16 | 電子部品及び電子部品の製造方法 |
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