JP5032280B2 - 加速度センサの製造方法および加速度センサ - Google Patents
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Description
2 固定電極配線
3 可動電極配線
4、21 固定電極
5 梁
6 可動電極
7 シリコン基板
8、14 金属膜
9、15 フォトレジスト層
10 配線が施された基板
11 第1の金属層
12 第1のフォトレジスト層
13 第1のフォトレジストのうち露光された部分
16 第2の金属層
17 第2のフォトレジスト層
18 第1および第2のフォトレジスト層のうち露光された部分
19 めっき型
20 第3の金属層
22 梁が一体となった可動電極
23 第4の金属層
Claims (3)
- 間隙を挟んで対向する固定電極および可動電極を備え、加速度による可動電極の動きにより生じるこれらの電極間隙の距離変化に伴う静電容量の変化を検出することによって加速度を測定するものであり、前記固定電極および可動電極が基板の表面に対して垂直方向に形成された容量型加速度センサの製造方法であって、
少なくとも一表面が電気的絶縁を有する基板の表面に電気的接続配線を形成する工程と、
前記電気的接続配線が形成された前記基板の表面に第1の金属層を形成する工程と、
前記第1の金属層の表面に第1のフォトレジスト層を形成し露光する工程と、
前記第1のフォトレジスト層の露光部の表面の一部または全体に第2の金属層を形成する工程と、
前記第2の金属層が形成された前記基板の表面に第2のフォトレジスト層を形成し露光を行い第1および第2のフォトレジスト層を現像する工程と、
前記第1および第2のフォトレジスト層の開口部に湿式めっき法により第3の金属層を形成する工程と、
前記第1および第2のフォトレジスト層を除去する工程と、
前記第1および第2の金属層のうち、露出部をエッチング除去する工程と、を備えていることを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 前記露出部をエッチング除去した後、前記電気的接続配線と、前記第3の金属層と、前記第1の金属層の端面露出部の全部もしくは一部とを無電解めっき法によりメタライズする工程をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載の加速度センサの製造方法。
- 請求項1または2記載の加速度センサの製造方法によって製造されたことを特徴とする加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007305336A JP5032280B2 (ja) | 2007-11-27 | 2007-11-27 | 加速度センサの製造方法および加速度センサ |
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JP2007305336A JP5032280B2 (ja) | 2007-11-27 | 2007-11-27 | 加速度センサの製造方法および加速度センサ |
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JP2009128270A JP2009128270A (ja) | 2009-06-11 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5032280B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7179275B2 (ja) | 2016-04-28 | 2022-11-29 | 広道 伊藤 | 飲料容器用カバー |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0594937A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微細構造体の形成方法 |
JP3193986B2 (ja) * | 1992-01-11 | 2001-07-30 | 東邦金属株式会社 | 衝撃検出用重錘 |
JP4959176B2 (ja) * | 2005-11-18 | 2012-06-20 | セイコーインスツル株式会社 | 力学量センサの製造方法 |
JP4812000B2 (ja) * | 2006-01-31 | 2011-11-09 | セイコーインスツル株式会社 | 力学量センサ |
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2007
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JP7179275B2 (ja) | 2016-04-28 | 2022-11-29 | 広道 伊藤 | 飲料容器用カバー |
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Publication number | Publication date |
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JP2009128270A (ja) | 2009-06-11 |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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