JP5027468B2 - Probe cleaning or probe processing sheet, and probe processing method - Google Patents

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    • G01R3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips

Description

本発明は、電気特性検査用の針(プローブ)、医療用の針、縫製用の針などのような針状物の製造工程における先端部分の仕上げ加工又は針状物の使用前後においてその先端部分をクリーニングするためのプローブクリーナー及びクリーニング方法に関し、特に、半導体装置の検査工程における電気特性検査等に用いられるプローブの先端部分に付着した異物を除去するためのプローブクリーナー及びクリーニング方法に関するものである。 The present invention is a needle for electrical testing (probe), needle medical, its tip portion before and after use of the finishing or needles of the tip section in the manufacturing process of the needles, such as needles for sewing it relates probes cleaners and cleaning methods for cleaning, in particular, to a probe cleaner and cleaning method for removing foreign matters adhering to the end portion of the probe used in the electric characteristics inspection in the inspection process of a semiconductor device.

半導体装置の製造工程では、その製造効率を向上させるため、半導体ウエハ上に組み立てた複数個のチップの電極パッドにプローブを接触させ、このプローブを通じて試験信号を印加し、また検出して、各チップの電気特性を検査している。 In the manufacturing process of a semiconductor device, in order to improve the production efficiency, by contacting a probe to a plurality of chip electrode pads of the assembled on a semiconductor wafer, by applying a test signal through the probe, also detects, each chip It has been inspecting the electrical characteristics.

一般に、プローブは、タングステン、ベリリウムなどの硬質の材料から形成されている。 Generally, probes are tungsten, it is formed of a hard material such as beryllium. 一方、電極パッドは、アルミニウムなどの比較的軟質の材料から形成されており、電極パッドにプローブを接触させた際に、プローブの先端部分(先端と先端付近の側面)に電極パッドのアルミニウムなどの異物が付着し、これにより検査精度が低下する。 On the other hand, the electrode pad is formed from a relatively soft material such as aluminum, when contacting the probe with the electrode pad, the tip portion of the probe (tip and near the tip side) to the electrode pad aluminum etc. foreign matter adheres, thereby inspection accuracy decreases. また、プローブに大きい異物が付着すると、隣接するプローブ同士が短絡し、チップを破壊することがある。 Further, when a large foreign substance to the probe is attached, may be a probe with adjacent short-circuited, destroy the chip. このため、プローブの先端部分をクリーニングして、異物を除去している。 Therefore, to clean the tip portion of the probe, and to remove foreign matter.

プローブの先端部分のクリーニングには、従来、砥粒(酸化アルミニウム、炭化ケイ素、ダイヤモンドなどからなる硬質の粒子)を混入したシリコンゴム、ウレタンゴムなどの弾性材からなるクリーナーシートから成るプローブクリーナーが使用され(例えば、特許文献1、2参照)、プローブの先端部分をこのプローブクリーナーの弾性材の表面から内部に突き刺し、弾性材に固定されている砥粒をプローブの先端部分に作用させて、異物を除去している。 The cleaning of the tip portion of the probe, the conventional abrasive grains silicone rubber mixed with (aluminum oxide, silicon carbide, particles of hard made of diamond), a probe cleaner consisting cleaner sheet made of an elastic material such as urethane rubber used is (e.g., see Patent documents 1 and 2), piercing the inside of the tip portion of the probe from the surface of the elastic material of the probe cleaner, and the abrasive grains are fixed to the elastic member to act on the tip portion of the probe, the foreign matter It is to remove the.

また、表面に微小な凹凸を形成した板の表面に、粘着性を有するゲル層を形成したクリーナーシートから成るプローブクリーナーが使用され、このプローブクリーナーでは、プローブの先端部分をゲル層の表面から内部に突き刺し、プローブの先端を板表面の凹凸に接触させながらプローブを移動させて、プローブの先端部分から異物を除去している(例えば、特許文献3参照)。 Internal Further, the surface of the plate to form minute irregularities on the surface, a probe cleaner consisting cleaner sheet forming a gel layer having an adhesive property is used, this probe cleaner, the tip portion of the probe from the surface of the gel layer the piercing, by moving the probe while contacting the tip of the probe to the unevenness of the plate surface and to remove foreign substances from the tip portion of the probe (e.g., see Patent Document 3).

近年、チップのサイズの小型化に伴い、チップ上に形成される電極パッドのサイズも小さくなり、電極パッド同士も近接して設けられるようになってきた。 Recently, with the miniaturization of the size of the chip, the size of the electrode pads formed on the chip is also reduced, has come to be the electrode pads to each other is provided in close proximity. このため、プローブのサイズもより細くする必要が生じ、また検査精度を向上又は少なくとも維持させるため、プローブは、例えば、ベリリウム−銅の合金のように高い電気特性を有する比較的軟質な材料から形成されるようになってきた。 Therefore, the size of the probe also becomes necessary to thinner and to improve or at least maintain the inspection accuracy, the probe can be, for example, beryllium - formed from a relatively soft material having high electrical characteristics as the copper alloy It has come to be.

しかし、このようなプローブは、上記のような従来のプローブクリーナーを使用すると、クリーニング時に容易に摩耗し、プローブの寿命が短くなるという問題があり、またこの摩耗によりチップの電気特性検査に誤差が生じるという問題も生じる。 However, such probes, using the conventional probe cleaners as described above, readily wear during cleaning, there is a problem that the life of the probe is shortened, and the error in the electrical characteristics of the chip test this wear also occurs the problem that arises.

また、チップの電極パッドとの接触を確実にするために、図5A及び図5Bに示すように、プローブの先端30、33に凹部32、35又は凸部31、34を形成したものが使用されている(例えば、特許文献4参照)。 Further, in order to ensure contact between the chip electrode pads of, as shown in FIGS. 5A and 5B, that a recess 32, 35 or projections 31, 34 are used for the probe tip 30, 33 and it is (for example, see Patent Document 4).

しかし、このようなプローブの先端部分のクリーニングは、上記のような従来のプローブクリーナーを使用しても、その先端の凹部内に付着している異物を十分に除去できず、またクリーニング時に、プローブ先端の凸部を摩耗させてしまうという問題が生じている。 However, cleaning of the distal end portion of such probes, even using conventional probe cleaners as described above, can not be sufficiently removing foreign matter adhering to the concave portion of the tip, and during cleaning, the probe problem that abrading the projections of the tip occurs.
特開平7−244074号公報 JP-7-244074 discloses 特開2004−140013号公報 JP 2004-140013 JP 特表2005−515645号公報 JP-T 2005-515645 JP 特開平8−306749号公報 JP-8-306749 discloses

したがって、本発明は、クリーニング時にプローブを容易に摩耗させることなく、プローブの先端部分をクリーニングできるプローブクリーナーを提供することを目的とするものであり、特に、先端に凹部又は凸部が形成されているプローブの先端部分をクリーニングできるプローブクリーナーを提供することを目的とするものである。 Accordingly, the present invention is not to easily wear the probe during the cleaning, which is an object to provide a probe cleaner can clean the tip of the probe, in particular, a concave portion or a convex portion is formed at the distal end it is an object to provide a probe cleaner can clean the tip of the probe are.

本発明は、プローブの先端部分に付着している異物を除去するためのプローブクリーナー及びクリーニング方法であり、特に、先端に凹部又は凸部が形成されているプローブの先端部分に付着している異物を除去するのに適したプローブクリーナー及びクリーニング方法である。 The present invention is a probe cleaner and cleaning method for removing foreign matter adhering to the tip portion of the probe, in particular, foreign substances adhering to the tip portion of the probe that concave portions or convex portions at the tip is formed a probe cleaner and cleaning method suitable for removing.

<プローブクリーナー> 上記目的を達成する本発明のプローブクリーナーは、マイクロファイバーからなる表面部分を有するクリーナーシートから成り、このクリーナーシートの少なくとも表面部分に位置するマイクロファイバーの表面に砥粒が固定されている。 Probe Cleaner present invention to achieve the <Probe Cleaner> above object consists cleaner sheet having a surface portion consisting of microfibers, abrasive grains on the surface of the microfibers located at least on the surface part of this cleaner sheet is fixed there.

クリーニング中、このクリーナーシートの表面部分に位置するマイクロファイバーに固定されている砥粒が、プローブの先端部分に作用して、プローブの先端部分に付着している異物が除去される。 During cleaning, the abrasive grains are fixed to the microfibers that are located on the surface portion of the cleaner seat, acts on the tip portion of the probe, the foreign matter adhering to the tip portion of the probe is removed.

マイクロファイバーの繊維径は、0.1μm以上、20μm以下の範囲、好適に、0.1μm以上、10μm以下の範囲にある。 The fiber diameter of the microfibers, 0.1 [mu] m or more, 20 [mu] m or less in the range of, preferably, 0.1 [mu] m or more, in the following range 10 [mu] m.

マイクロファイバーの表面に固定される砥粒の平均粒径は、0.05μm以上、3.0μm以下の範囲にあり、砥粒として、アルミナ、炭化ケイ素、酸化ケイ素、ジルコニア、水酸化アルミニウム又はダイヤモンドからなる粒子が含まれる。 The average particle size of the abrasive grains to be fixed to the surface of the microfibers, 0.05 .mu.m or more, is in the range 3.0 [mu] m, as abrasive grains, alumina, silicon carbide, silicon oxide, zirconia, aluminum hydroxide, or diamond included becomes particles.

上記のクリーナーシートは、ベースシートの表面に植毛したマイクロファイバーからなる植毛シートであり、この植毛シートのマイクロファイバーの表面に上記の砥粒が固定されている。 Additional cleaners sheet is flocked sheet made of microfiber which is flocked on the surface of the base sheet, the above abrasive grains are fixed to the surface of the microfiber of the flocked sheet. そして、表面に砥粒を固定したマイクロファイバー同士は固着していない状態にある。 The micro-fibers fixed abrasive grains on the surface is in a state not fixed. すなわち、砥粒を固定したマイクロファイバーの1本づつが互いに他のマイクロファイバーから独立して自由に動ける状態にある。 That is, in a state where one by one microfiber fixed abrasive grains can move freely independently of one another other microfibers.

変形的に、上記のクリーナーシートは、マイクロファイバーからなる織布又は不織布シートであり、このクリーナーシートのマイクロファイバーの表面に上記の砥粒が固定されている。 Deformed, the above cleaners sheet is a woven or non-woven sheet made of microfiber, the above abrasive grains are fixed to the surface of the microfiber of the cleaner sheet.

<プローブクリーニング方法> プローブの先端部分に付着している異物は、上記本発明のプローブクリーナーをテーブルの表面に取り付け、プローブの先端部分をクリーナーシートの表面部分の内部に刺し込み、プローブをクリーナーシートの表面部分の厚さ方向で往復移動させることにより除去する。 Foreign matter adhering to the tip portion of the <probe cleaning method> probes attached to the surface of the probe cleaner table of the present invention, insert the tip portion of the probe inside the surface portion of the cleaner sheet, cleaners probe sheet It is removed by in the thickness direction of the surface portion of the reciprocating.

プローブの先端部分は、クリーナーシートの表面部分の内部に刺し込んだ後、この表面部分から抜き出してもよいしクリーナーシートの表面部分の内部に刺し込んだままの状態で、プローブをクリーナーシートの表面部分の厚さ方向で往復移動させてもよい。 The tip portion of the probe, after it pierces the inner surface portion of the cleaner sheets, in a state that pierces may be withdrawn from the surface portion inside the surface portion of the cleaner sheet, the surface probes cleaner sheet in the thickness direction of the portion may be reciprocated.

本発明が以上のように構成されるので、先端に凹部又は凸部が形成されているプローブであっても、クリーニング時にプローブを容易に摩耗させることなく、プローブの先端部分をクリーニングできるという効果を奏する。 Since the present invention is configured as described above, even probes recesses or protrusions are formed at the distal end, without easily wear the probe during the cleaning, the effect of cleaning the tip of the probe unlikely to.

<プローブクリーナー> 図1A及び図1Bに示すように、プローブ(図2に符号12で示す)の先端部分に付着している異物を除去するための本発明のプローブクリーナー20は、マイクロファイバー25からなる表面部分24を有するクリーナーシート21から成り、このクリーナーシート21の少なくとも表面部分24に位置するマイクロファイバー25の表面に砥粒26が固定されている。 As shown in <Probe Cleaner> FIGS. 1A and 1B, the probe probe cleaner 20 of the present invention for removing foreign matter adhering to the tip portion (shown by reference numeral 12 in FIG. 2) from microfibers 25 consists cleaner sheet 21 having a surface portion 24 comprising abrasive grains 26 are fixed to the surface of the microfibers 25 located at least on the surface portion 24 of the cleaner seat 21.

図1Bに示すように、砥粒26は、バインダー27により、マイクロファイバー25の表面に固定されている。 As shown in FIG. 1B, the abrasive grains 26, the binder 27 is fixed to the surface of the microfiber 25.

表面部分24は、プローブ12の先端部分に作用する部分をいう(図2A及び図2Bを参照)。 Surface portion 24 refers to the part acting on the tip portion of the probe 12 (see FIGS. 2A and 2B). この表面部分24の厚さ(又は高さ)は、特に限定されるものではなく、少なくとも、クリーニングされるべきプローブ12の先端部分の長さ分だけあればよく、100μm以上、1000μmの範囲にあり、図2A及び図2Bに示すように、プローブ12の先端部分(先端及び先端付近の側面)のクリーニングは、プローブ12の先端部分をクリーナーシート21の表面部分24に刺し込み(テーブル11を矢印T2の方向に移動させるか、又はプローブ12を矢印T1の方向に移動させる)、引き抜く(テーブル11を矢印T1の方向に移動させるか、又はプローブ12を矢印T2の方向に移動させる)ことにより行われる。 The thickness of the surface portion 24 (or height) is not particularly limited, at least, sufficient if only the length of the tip portion of the probe 12 to be cleaned, 100 [mu] m or more, in the range of 1000μm as shown in FIGS. 2A and 2B, the cleaning of the tip portion of the probe 12 (the side surface of the tip and the vicinity of the tip) is insert the tip portion of the probe 12 to the surface portion 24 of the cleaner seat 21 (table 11 arrow T2 is performed by whether moving in the direction or to move the probe 12 in the direction of arrow T1), pulled out (or moving the table 11 in the direction of the arrow T1, or to move the probe 12 in the direction of arrow T2) . このクリーニング中、このクリーナーシート21の表面部分24に位置するマイクロファイバー25に固定されている砥粒26が、プローブ12の先端部分に作用して、プローブ12の先端部分に付着している異物が除去される。 During this cleaning, abrasive grains 26 are fixed to the microfibers 25 located on the surface portion 24 of the cleaner seat 21, acts on the tip portion of the probe 12, foreign matter adhering to the tip portion of the probe 12 It is removed.

マイクロファイバー25の繊維径は、0.1μm以上、20μm以下の範囲、好適に、0.1μm以上、10μm以下の範囲にある。 Fiber diameter of microfibers 25, 0.1 [mu] m or more, 20 [mu] m or less in the range of, preferably, 0.1 [mu] m or more, in the following range 10 [mu] m.

マイクロファイバー25として、ナイロン、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタン、アクリル、ポリ塩化ビニル、ビニロン又はレーヨンなどからなる合成繊維が使用される。 As Microfiber 25, nylon, polypropylene, polyethylene, polyethylene terephthalate, polyurethane, acrylic, polyvinyl chloride, synthetic fibers made of vinylon or rayon are used.

マイクロファイバー25の表面に固定される砥粒26のサイズは、マイクロファイバー25の繊維径よりも小さく、繊維径の2分の1以下の範囲にあることが好ましい。 The size of the abrasive grains 26 are fixed to the surface of the microfiber 25 is smaller than the fiber diameter of the microfibers 25, it is preferably in the 1 or less in the range of half the fiber diameter. これは、砥粒26のサイズが大きいと、繊維の表面(曲面)に対する砥粒の固定力が低下し、クリーニング中に、プローブ12の先端部分に作用した砥粒26がマイクロファイバー25から脱粒し、脱粒した砥粒がプローブ12の先端部分異物として付着することがあるからである。 This is because the large size of the abrasive grains 26, reduces the abrasive fixing force to the surface (curved surface) of the fiber, during the cleaning, abrasive 26 acting on the tip portion of the probe 12 is shedding from microfibers 25 This is because sometimes abrasive grains shedding is deposited as the tip portion the foreign matter of the probe 12. 好適に、砥粒26として、平均粒径が0.05μm以上、3.0μm以下の範囲にあるものが使用される。 Preferably, the abrasive grains 26 having an average particle diameter of more than 0.05 .mu.m, which is in the range of 3.0μm is used.

砥粒26の材料は、特に限定されるものではなく、研磨に一般的に使用されている砥粒が使用でき、好適に、アルミナ、炭化ケイ素、酸化ケイ素、ジルコニア、水酸化アルミニウム又はダイヤモンドからなる粒子が使用される。 Material of the abrasive grains 26, particularly not limited, can be used abrasive grains that are commonly used in polishing, suitably, alumina, silicon carbide, silicon oxide, zirconia, aluminum hydroxide, or diamond particles are used.

クリーナーシート21は、図3及び図4に示すように、ベースシート28の表面に植毛したマイクロファイバー25からなる植毛シートであり、この植毛シートのマイクロファイバー25の表面に上記の砥粒26が固定されている。 Cleaner sheet 21, as shown in FIGS. 3 and 4, a flocked sheet made of microfiber 25 planted on the surface of the base sheet 28, the above-mentioned abrasive grains 26 on the surface of the microfiber 25 of the flocked sheet is fixed It is. そして、表面に砥粒26を固定したマイクロファイバー25同士は固着していない状態にある。 The microfibers 25 to each other with a fixed abrasive grains 26 on the surface is in a state not fixed.

すなわち、砥粒26を固定したマイクロファイバー25の1本づつが互いに他のマイクロファイバー25から独立して自由に動ける状態にある。 That is, in a state where one by one microfiber 25 fixed abrasive grains 26 can move freely independently of the other microfibers 25 to each other.

植毛シートのマイクロファイバー25の長さは、100μm以上、1000μm(1.0mm)の範囲、好適に、400μm以上、600μm以下の範囲にある。 The length of the microfiber 25 flocked sheet, 100 [mu] m or more, a range of 1000 .mu.m (1.0 mm), preferably, 400 [mu] m or more, in the following range 600 .mu.m. これは、長さが短くなると、繊維の動きが低下し、長すぎたりするとマイクロファイバー25の各々が1本づつ独立できず、相互に絡み合い、マイクロファイバー25の各々に砥粒26を個別に付着させることが難しくなるからである。 This is because when the length becomes short, the movement of the fibers is decreased, it can not be each independently one by one microfiber 25 or too long, entanglement with one another, separately attached abrasive grain 26 to each of the microfibers 25 it is because it is difficult to.

ベースシート28として、温度変化による熱変形が小さいものが好ましく、機械的特性として、熱収縮率が、25℃以上、150℃以下の範囲で、2%以下の範囲にあるシートが使用される。 As the base sheet 28 is preferably a thermal deformation due to temperature change is small, as mechanical properties, heat shrinkage, 25 ° C. or higher, in the range of 0.99 ° C. or less, the sheet is in the range of 2% or less is used. ベースシート28のサイズ及び材料は、特に限定されるものではなく、厚さが50μm以上、188μm以下の範囲にあり、ベースシートとして、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEN(ポリエチレンナフタレート)、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PEI(ポリエーテルイミド)、PI(ポリイミド)、PC(ポリカーボネート)、PVC(ポリ塩化ビニル)、PP(ポリプロピレン)、PVDC(ポリ塩化ビニリデン)、ナイロン、PE(ポリエチレン)、又はPES(ポリエーテルスルホン)などからなるシートが使用され、好適に、PETシートが使用される。 The size and material of the base sheet 28 is not limited in particular, is 50μm or more thick, it lies in the range 188 [mu] m, as the base sheet, PET (polyethylene terephthalate), PEN (polyethylene naphthalate), PPS (polyphenylene sulfide), PEI (polyether imide), PI (polyimide), PC (polycarbonate), PVC (polyvinyl chloride), PP (polypropylene), PVDC (polyvinylidene chloride), nylon, PE (polyethylene), or PES (poly sheet made of polyethersulfone), etc. are used, preferably, PET sheets are used.

実用的には、ベースシート28の裏面に粘着剤層(図1Aに符号22で示す)が形成され、この粘着剤層22の表面に離型紙(図1Aに符号23で示す)が着脱可能に貼り付けられる。 Practically, the back surface adhesive layer of the base sheet 28 (shown by reference numeral 22 in FIG. 1A) is formed, (indicated by reference numeral 23 in FIG. 1A) the release paper to the surface of the adhesive layer 22 is detachably It is pasted. そして、この離型紙23は、粘着剤層22の表面から剥がされ、本発明のプローブクリーナー20は、この粘着剤層22を介して、図2Cに示すように、プローブクリーニング装置10のテーブル11上に貼り付けられる。 Then, the release paper 23 is peeled from the surface of the adhesive layer 22, a probe cleaner 20 of the present invention, through the adhesive layer 22, as shown in Figure 2C, the upper table 11 of the probe cleaning apparatus 10 It is adhered to.

変形的に、本発明のプローブクリーナー20のクリーナーシート21として、上記のマイクロファイバー25からなる織布又は不織布シートを使用することができ、少なくとも、このクリーナーシート21の表面部分24に位置するマイクロファイバー25の表面には上記の砥粒26が固定されている(図1Bを参照)。 Deformed, examples cleaner seat 21 of the probe cleaner 20 of the present invention, it is possible to use a woven or non-woven sheet made of the microfiber 25, at least, microfibers located at the surface portion 24 of the cleaner seat 21 abrasive 26 described above is fixed to the 25 surface (see Figure 1B).

このクリーナーシート21は、その裏面に粘着剤層22を形成し、この粘着剤層22を介して、クリーニング装置10のテーブル11上に貼り付けてもよいし、また、このクリーナーシート21をベースシート(図示せず)の表面に固定し、このベースシートの裏面に粘着剤層(図1Aに符号22で示すような粘着剤層)を形成し、この粘着剤層を介して、クリーニング装置10のテーブル11上に貼り付けてもよい。 The cleaner sheet 21, an adhesive layer 22 formed on the back surface, via the adhesive layer 22 may be adhered on the table 11 of the cleaning device 10, also based on the cleaner sheet 21 sheet fixed on the surface of the (not shown), the back surface adhesive layer of the base sheet to form a (an adhesive layer as shown at 22 in FIG. 1A), through the adhesive layer, the cleaning device 10 it may be attached on the table 11.

このベースシートとして、上記の植毛シートのものと同様に、温度変化による熱変形が小さいものが好ましく、機械的特性として、上記の熱収縮率を有するシートが使用される。 As the base sheet, similar to those described above the flocked sheet, preferably it has a thermal deformation due to temperature change is small, as mechanical properties, a sheet having a heat shrinkage ratio described above is used. 上記の植毛シートのものと同様に、ベースシートのサイズ及び材料は、特に限定されるものではなく、厚さが50μm以上、188μm以下の範囲にあり、ベースシートとして、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの合成樹脂からなるシートが使用される。 Similar to those described above the flocked sheet, the size and material of the base sheet is not particularly limited, is 50μm or more thick, lies in the range 188 [mu] m, as the base sheet, polypropylene, synthetic resins such as polyethylene consist of a sheet is used.

実用的には、ベースシートの裏面に形成した粘着剤層の表面に離型紙(図1Aに符号23で示すような離型紙)が着脱可能に貼り付けられる。 Practically, the surface release paper of the adhesive layer formed on the back surface of the base sheet (release paper, such as at 23 in FIG. 1A) is adhered to the removable. この離型紙は、粘着剤層の表面から剥がされ、本発明のプローブクリーナー20は、上記の植毛シートと同様に、この粘着剤層を介して、図2Cに示すように、プローブクリーニング装置10のテーブル11上に貼り付けられる。 The release paper is peeled from the surface of the pressure-sensitive adhesive layer, a probe cleaner 20 of the present invention, like the flocked sheet, through the adhesive layer, as shown in Figure 2C, the probe cleaning apparatus 10 pasted on the table 11.

<製造方法> 上記本発明のプローブクリーナー20は、クリーナーシート21の表面部分に、樹脂溶液中に砥粒を分散させ、さらに硬化剤を添加した塗料を、リバース塗工、グラビア塗工などの既知の塗工方法を利用して塗布し、乾燥させて製造される。 Probe Cleaner 20 <Production method> The present invention, on the surface portion of the cleaner seat 21, the dispersing abrasive grains in the resin solution was further added a curing agent paint, reverse coating, known gravure coating the coating method was applied using the is produced by drying.

樹脂溶液は、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、共重合ビニル系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などから選択される一種又は二種以上の樹脂を溶剤で溶解したものである。 Resin solutions are those polyester resins, polyurethane resins, copolymer vinyl resins, epoxy resins, one or two or more resins selected from phenol resin dissolved in a solvent. 溶剤として、トルエン、キシレン、MEK(メチルエチルケトン)、酢酸エチル、シクロヘキサノン、アセトン、アルコールなどが含まれる。 As the solvent, toluene, xylene, MEK (methyl ethyl ketone), ethyl acetate, cyclohexanone, acetone, alcohol and the like. 硬化剤として、イソシアネート系のものが含まれる。 As a curing agent, include those of isocyanate-based.

塗料の粘度は、20cp以上、300cp以下の範囲、好ましくは50cp以上、150cp以下の範囲にある。 The viscosity of the paint is more than 20 cp, the range 300 cp, preferably 50cp above, in the following ranges 150 cp.

塗料の粘度が低すぎると(20cp未満の範囲)、塗料がクリーナーシートの表面部分の下層側に落ちて、クリーナーシート21の表面部分24に位置するマイクロファイバー25の表面に十分な量の砥粒26が固定されず、クリーニング中、プローブの先端部分に砥粒を十分に作用させることができなくなる。 And the viscosity of the paint is too low (range of less than 20 cp), paint falls to the lower side surface portion of the cleaner sheet, a sufficient amount of the abrasive grains on the surface of the microfibers 25 located on the surface portion 24 of the cleaner seat 21 26 is not fixed, during cleaning, can not be made to act sufficiently abrasive grains on the tip portion of the probe. 一方、塗料の粘度が高すぎる(300cpを超える)と、塗料がクリーナーシート21の表面部分24の上層に停滞し、クリーナーシート21の表面部分24に、樹脂(バインダー27)で砥粒26を固定した層が、隣接するマイクロファイバー25同士を固着させるように形成され、この層が、プローブ12の先端部分を摩耗させる原因となる。 On the other hand, the viscosity of the coating material is too high and (greater than 300 cp), paint stagnates in the upper surface portion 24 of the cleaner sheet 21, the surface portion 24 of the cleaner sheet 21, the abrasive particles 26 in the resin (binder 27) fixed the layers are formed so as to fix the micro-fiber 25 adjacent to each other, this layer becomes a cause of wear tip portion of the probe 12.

塗料中の砥粒26の配合割合は、60重量%以上の範囲、好適に80重量%以上、98重量%以下の範囲にある。 The mixing ratio of the abrasive grains 26 in the paint is 60 wt% or more ranges, preferably 80 wt% or more is in the range of 98 wt% or less. これは、砥粒26の割合が少なすぎる(60重量%未満)と、隣接するマイクロファイバー25同士が固着し、上記のような層が形成されるからである。 This is the percentage of the abrasive grains 26 is too small and (less than 60 wt%), fixed is adjacent microfibers 25 to each other, because the layer as described above is formed.

塗料の組成を下記の表1に示す。 The composition of the paint shown in Table 1 below.

好適に、塗料として、60重量%〜98重量%の炭化ケイ素からなる砥粒を加熱し、乾燥させた後、1重量%〜35重量%の飽和ポリエステル樹脂をトルエン、キシレン、酢酸エチル及びMEKの混合溶媒に溶解した樹脂溶液と混合し、撹拌して砥粒を樹脂溶液中に分散させた後、濾過し、クリーナーシート上に塗布する直前に1重量%〜5重量%のイソシアネート系の硬化剤を添加して、塗料の粘度を30cp〜150cpに調整したものが使用される。 Preferably, as a paint, to heat the abrasive grain consisting of 60 wt% to 98 wt% of silicon carbide, dried, 1% to 35% by weight of the saturated polyester resin toluene, xylene, ethyl acetate and MEK mixed resin solution and the mixture dissolved in a solvent, after dispersing the abrasive particles in a resin solution with stirring, filtered, 1% to 5% by weight of the isocyanate-based curing agent just prior to coating onto a cleaner seat It was added, and regulating its viscosity of paint 30cp~150cp is used.

<プローブクリーニング方法> 図2Cに示すように、粘着材層(図1Aに符号22で示す)を介して、上記本発明のプローブクリーナー20をテーブル11の表面に貼り付ける。 As shown in <probe cleaning method> FIG. 2C, via the adhesive layer (shown at 22 in FIG. 1A), paste the probe cleaner 20 of the present invention on the surface of the table 11. 図2A〜図2Cに示すように、プローブ12の先端部分をこのクリーナーシート21の表面上に配置し、テーブル11を矢印T2の方向に移動させて、プローブ12の先端部分をクリーナーシート21の表面部分24内に刺し込む。 As shown in FIG 2A~ Figure 2C, placing tip portion of the probe 12 on the surface of the cleaner seat 21, by moving the table 11 in the direction of the arrow T2, the surface of the cleaner seat 21 tip portion of the probe 12 plugging in part 24. そして、プローブ12の先端部分をクリーナーシート21の表面部分24内に刺し込んだ後に引き抜く(テーブル11を矢印T1の方向に移動させる)。 Then, pull the distal end portion of the probe 12 after it pierces the surface portion 24 of the cleaner seat 21 (to move the table 11 in the direction of the arrow T1). この矢印T1、T2の方向の往復移動により、プローブ12の先端部分に付着している異物を表面部分で除去する。 The reciprocating movement in the direction of the arrow T1, T2, to remove foreign matter adhering to the tip portion of the probe 12 in the surface portion.

<クリーニング試験> 実施例及び比較例のプローブクリーナーを製造し、これらプローブクリーナー使用して、先端に凹凸部を有するプローブの先端部分のクリーニング試験を行った。 To produce a probe cleaner <Cleaning Test> Examples and Comparative Examples, by using these probes cleaners, cleaning was carried out tests of the tip portion of the probe having an uneven portion on the tip. クリーニング後のプローブの先端の凹部と凸部からの異物除去率とこれら凹部と凸部の摩耗の有無について比較した。 It was compared for the presence of wear of the contaminant removal rate and the recesses and projections of the recess and the convex portion of the tip of the probe after the cleaning. 異物除去率とこれら凹部と凸部の摩耗の有無は、顕微鏡を使用して観察した。 Whether wear of contaminant removal rate and the recesses and protrusions were observed using a microscope.

クリーニング試験には、図 A及び図 Bにそれぞれ示すような先端を有する二種類のプローブを使用した。 The cleaning test were used two types of probe having a tip as shown in FIGS. 5 A and FIG. 5 B. 以下、これらプローブを「試験プローブA」及び「試験プローブB」という。 Hereinafter, these probes "test probe A" and "test probe B".

試験プローブAは、図5Aに示す先端の形状を有するものに対応するものであり、先端に凹凸部(底面のサイズ:約90μm×約90μm、高さ:約70μm、凹部口径:約50μm、凹部深さ:約70μm)を有する。 Test probe A, which corresponds to one having a shape of a tip shown in Figure 5A, the concave-convex portion at the tip (bottom size: about 90 [mu] m × about 90 [mu] m, height: about 70 [mu] m, the recess diameter: about 50 [mu] m, the recess depth: having about 70μm). (この「試験プローブA」では、凹部を形成している外輪部分が凸部となっている。) (In the "test probe A ', the outer ring portion forming the recess has a convex portion.)

試験プローブBは、図5Bに示す先端の形状を有するものに対応するものであり、先端に凹凸部(底面:約30μm×約30μm、高さ:約100μm)を複数有するものである。 Test probe B, which corresponds to one having a shape of a tip shown in Figure 5B, the concave-convex portion at the tip (bottom surface: about 30 [mu] m × about 30 [mu] m, height: about 100 [mu] m) are those having a plurality of. (この「試験プローブB」では、凸部と凸部との間の谷間が凹部となっている。) (In the "test probe B", a valley between the convex portion and the convex portion is a recess.)

クリーニング試験は、図2Cに示すようなクリーニング装置を使用して行った。 Cleaning tests were conducted using a cleaning apparatus shown in FIG. 2C. クリーニング条件は、各実施例及び比較例で同一であり、各実施例及び比較例のプローブクリーナーのクリーナーシートの表面部分への試験プローブA、Bの接触回数が1000回、1万回及び10万回となった時点でプローブの先端の凹凸部の摩耗の有無について観察し、接触回数が10万回に達した時点でプローブの先端の凹凸部に付着している異物の有無について観察した。 Cleaning conditions are identical in the Examples and Comparative Examples, test probe A to the cleaner the surface portion of the sheet of the probe cleaners of Examples and Comparative Examples, the number of contacts B 1000 times, 10,000 times and 100,000 and observed for the presence or absence of wear of the concavo-convex portion of the tip of the probe at the time point when times were observed for the presence of foreign matter adhering to the concave-convex portion of the tip of the probe at the time the contact number has reached 100,000 times.

<実施例1> 実施例1のプローブクリーナーを製造した。 We were prepared probe cleaner <Example 1> Example 1.

塗料は、炭化ケイ素からなる平均粒径0.05μmの砥粒(1Kg)を加熱し、乾燥させた後、飽和ポリエステル樹脂(310g)をトルエン、キシレン、酢酸エチル及びMEKの混合溶媒に溶解した樹脂溶液と混合し、撹拌して砥粒を樹脂溶液中に分散させた後、濾過し、クリーナーシート上に塗布する直前にイソシアネート系の硬化剤(60g)を添加して調整して製造した。 Resin coating, abrasive grains having an average grain size of 0.05μm consisting silicon carbide (1Kg) was heated, dried, the saturated polyester resin (310 g) was dissolved in toluene, xylene, a mixed solvent of ethyl acetate and MEK were mixed with a solution, after the abrasive grains is stirred and dispersed in a resin solution, filtered, and prepared by adjusted by adding an isocyanate-based curing agent (60 g) just prior to coating onto a cleaner seat. 塗料の粘度は50cpであった。 The viscosity of the paint was 50cp.

この塗料を植毛シートの表面部分のマイクロファイバーの各々の表面に塗布し、乾燥させて、実施例1のプローブクリーナーを製造した。 The coating was applied to each surface of the microfiber surface portion of the flocked sheet, and dried to produce a probe cleaner of Example 1.

ここで、塗料の塗布は、#50のグラビアローラー(45度をなす等間隔の直線状の溝が形成されている)を使用して行った。 Here, application of the coating was performed using (formed equidistant linear grooves forming a 45-degree) Gravure roller # 50.

また、植毛シートとして、平均繊維径10μm、平均長さ500μm(500μm±100μm)のナイロンからなるマイクロファイバーを厚さ50μmのPETシートに植毛したものを使用した。 Further, as the flocked sheet, the average fiber diameter of 10 [mu] m, was used after flocking PET sheet having a thickness of 50μm microfibers of nylon having an average length 500μm (500μm ± 100μm).

<実施例2> 実施例2のプローブクリーナーを製造した。 We were prepared probe cleaner <Example 2> Example 2. 実施例2のプローブクリーナーは、砥粒の平均粒径を0.3μmに変更した以外は上記実施例1と同じ材料及び方法で製造した。 Probe Cleaner of Example 2, except for changing the average particle size of the abrasive grains to 0.3μm was manufactured in the same materials and methods as in Example 1.

<実施例3> 実施例3のプローブクリーナーを製造した。 We were prepared probe cleaner <Example 3> Example 3. 実施例3のプローブクリーナーは、砥粒の平均粒径を3μmに変更した以外は上記実施例1と同じ材料及び方法で製造した。 Probe Cleaner of Example 3, except for changing the average particle size of the abrasive grains in 3μm was prepared in the same materials and methods as in Example 1.

<実施例4> 実施例4のプローブクリーナーを製造した。 We were prepared probe cleaner <Example 4> Example 4. 実施例4のプローブクリーナーは、植毛シートとして平均繊維径0.1μmのマイクロファイバーを使用した以外は上記実施例1と同じ材料及び方法で製造した。 Probe Cleaner of Example 4, except using microfibers having an average fiber diameter of 0.1μm as flocked sheet was prepared in the same materials and methods as in Example 1.

<実施例5> 実施例5のプローブクリーナーを製造した。 To prepare a probe cleaner <Example 5> Example 5. 実施例5のプローブクリーナーは、植毛シートとして平均繊維径3μmのマイクロファイバーを使用した以外は上記実施例1と同じ材料及び方法で製造した。 Probe Cleaner of Example 5, except using microfibers having an average fiber diameter of 3μm as a flocked sheet was prepared in the same materials and methods as in Example 1.

<実施例6> 実施例6のプローブクリーナーを製造した。 To prepare a probe cleaner <Example 6> Example 6. 実施例6のプローブクリーナーは、植毛シートとして平均繊維径20μmのマイクロファイバーを使用した以外は上記実施例1と同じ材料及び方法で製造した。 Probe Cleaner of Example 6, except using microfibers having an average fiber diameter of 20μm as flocked sheet was prepared in the same materials and methods as in Example 1.

<実施例7> 実施例7のプローブクリーナーを製造した。 To prepare a probe cleaner <Example 7> Example 7. 実施例7のプローブクリーナーは、砥粒としてアルミナを使用した以外は上記実施例1と同じ材料及び方法で製造した。 Probe Cleaner of Example 7, except for using alumina as abrasive grains was prepared in the same materials and methods as in Example 1.

<実施例8> 実施例8のプローブクリーナーを製造した。 To prepare a probe cleaner <Example 8> Example 8. 実施例8のプローブクリーナーは、砥粒としてダイヤモンドを使用した以外は上記実施例1と同じ材料及び方法で製造した。 Probe Cleaner of Example 8, except for using diamond as abrasive grains was prepared in the same materials and methods as in Example 1.

<比較例1> 比較例1のプローブクリーナーを製造した。 We were prepared probe cleaner <Comparative Example 1> Comparative Example 1. 比較例1のプローブクリーナーは、砥粒の平均粒径を5μmに変更した以外は上記実施例1と同じ材料及び方法で製造した。 Probe Cleaner Comparative Example 1, except for changing the average particle size of the abrasive grains to 5μm were prepared in the same materials and methods as in Example 1.

<比較例2> 比較例2のプローブクリーナーを製造した。 We were prepared probe cleaner <Comparative Example 2> Comparative Example 2.

上記実施例3の塗料(炭化ケイ素からなる平均粒径3μmの砥粒(1Kg)を加熱し、乾燥させた後、飽和ポリエステル樹脂(310g)をトルエン、キシレン、酢酸エチル及びMEKの混合溶媒に溶解した樹脂溶液と混合し、撹拌して砥粒を樹脂溶液中に分散させた後、濾過し、クリーナーシート上に塗布する直前にイソシアネート系の硬化剤(60g)を添加して調整して製造したものであり、塗料の粘度は50cpであった)を、#50のグラビアローラー(45度をなす等間隔の直線状の溝が形成されている)を使用して、PETフィルムの表面に塗布し、乾燥させて、比較例2のプローブクリーナーを製造した。 Abrasive grains having an average grain size of 3μm consisting paint (silicon carbide of Example 3 (1Kg) was heated and dried, dissolved saturated polyester resin (310 g) toluene, xylene, a mixed solvent of ethyl acetate and MEK resin solution was mixed, after the abrasive grains is stirred and dispersed in a resin solution, filtered, and prepared by adjusted by adding an isocyanate-based curing agent (60 g) just prior to coating onto a cleaner seat is intended, the viscosity of the paint was 50 cp), using equally spaced linear grooves are formed) of forming the gravure roller (45 degrees # 50, was applied on the surface of the PET film and dried to produce a probe cleaner of Comparative example 2.

<比較例3> 比較例3のプローブクリーナーを製造した。 To prepare a probe cleaner of <Comparative Example 3> Comparative Example 3.

上記実施例3の塗料を、#50のグラビアローラー(45度をなす等間隔の直線状の溝が形成されている)を使用して、発泡体フィルムの表面に塗布し、乾燥させて、比較例3のプローブクリーナーを製造した。 The paint of Example 3, using (equidistant linear grooves are formed in forming the 45-degree) Gravure roller # 50, applied to the surface of the foam film, dried, compared the probe cleaner of example 3 was produced.

<プローブクリーナーの構成材料> 実施例1〜8及び比較例1〜3のプローブクリーナーの構成材料を下記の表2にまとめる。 Summarized the material of the probe cleaners of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 3 <constituent material of the probe cleaner> in Table 2 below.

<試験結果> 試験結果を下記の表3に示す。 Shows the <Test Results> The test results in Table 3 below.

実施例1〜3と比較例1との結果から、凹部異物除去率は、砥粒の粒径が小さくなると低下し、平均粒径0.05μ (実施例1)において60〜80%となる。 From the results of Example 1 and Comparative Example 1-3, the recess contaminant removal rate is decreased as the particle size of the abrasive grains decreases, the 60-80% in average particle size 0.05 .mu.m m (Example 1) . 一方、凹部(及び凸部)摩耗量は、砥粒の粒径が大きくなると低下し、平均粒径 μ (実施例3)において1万コンタクトで摩耗がみられるようになり、平均粒径5μm(比較例1)では1000コンタクトで摩耗がみられるようになる。 On the other hand, recesses (and protrusions) wear amount was reduced as the particle size of the abrasive grains increases, 10,000 contact at an average particle diameter of 3 mu m (Example 3) is as wear seen, the average particle size 5μm so (Comparative example 1) in the wear 1000 contacts is observed.

実施例2、7及び8の結果から、砥粒の種類を変更しても、凹部異物除去率と凹部(及び凸部)摩耗量に大きな差はなく、いずれの比較例の結果よりも良好であることがわかる。 From the results of Examples 2, 7 and 8, changing the abrasive type, no great difference in the recess contaminant removal rate and the recess (and protrusions) wear amount, better than the results of any of the comparative examples there it can be seen.

実施例1、4〜6の結果から、凹部異物除去率は、ファイバー径0.1μm(実施例 )においては80〜95%、ファイバー径10μm( 実施例1)においては60〜80パーセントとなった Made from the results of Examples 1,4~6, recesses contaminant removal rate is 80% to 95% in fiber diameter 0.1 [mu] m (Example 4), 60 to 80% in the fiber diameter 10 [mu] m (Example 1) It was. 一方、凹部(及び凸部)摩耗量は、ファイバー径に大きく依存せず、ファイバー径が0.1μm〜20μmの範囲において10万コンタクトでも摩耗がみられない。 On the other hand, recesses (and protrusions) wear amount is not dependent largely on fiber diameter, is not observed wear in 100,000 contacts the extent fiber diameter is 0.1Myuemu~20myuemu.

以上のことから、植毛シートの植毛とて、ファイバー径0.1μm〜20μmのマイクロファイバーを使用し、このマイクロファイバーに固定される砥粒として、平均粒径が0.05μm〜3μmのものを使用するのが好適であることがわかる。 From the above, as a flocked flocked sheet, using a microfiber fiber diameter 0.1Myuemu~20myuemu, as abrasive grains are fixed to the microfibers, the average particle diameter of 0.05μm~3μm it can be seen that use is preferred.

また、上記表3に示す結果から、実施例1〜 のプローブクリーナーによると、比較例1〜3のものよりも凹部の異物除去率が良好であり且つ凹部と凸部の摩耗量も低いことがわかる。 From the results shown in Table 3, according to the probe cleaner of Example 1-8, also lower the wear amount of the contaminant removal rate is good and concave portion and the convex portion of the concave portion than that of Comparative Examples 1 to 3 It is seen.

上記実施例において、電気特性検査用の針(プローブ)の先端部分のプローブクリーナー及びクリーニング方法について開示したが、本発明は、上記プローブだけでなく、医療用の針、縫製用の針などのような針状物の製造工程における先端部分の仕上げ加工又は針状物の使用前後においてその先端部分に付着した異物を除去することにも利用できるものである。 In the above embodiment has disclosed the probe cleaners and cleaning methods of the tip portion of the needle for electrical testing (probe), the present invention not only the probe, such as medical needles for needle for sewing a before and after use of the finishing or needles of the tip section in the manufacturing process of the needles to the removal of foreign matter attached to the tip portion are those available.

図1Aは、本発明のプローブクリーナーの断面図であり、図1Bは、図1Aの部分拡大断面図である。 1A is a cross-sectional view of a probe cleaner of the present invention, FIG. 1B is a partially enlarged cross-sectional view of FIG. 1A. 図2A及び図2Bは、それぞれ、プローブをクリーニングしているところを示し、図2Cは、クリーニング装置を示す。 2A and 2B, respectively, show the place which is to clean the probe, Figure 2C shows the cleaning device. 図3は、本発明に従ったプローブクリーナーの断面の顕微鏡写真である。 Figure 3 is a photomicrograph of a cross section of a probe cleaner in accordance with the present invention. 図4は、本発明に従った好適なプローブクリーナーの断面図である。 Figure 4 is a cross-sectional view of a preferred probe cleaner in accordance with the present invention. 図5A及び図5Bは、それぞれ、プローブの先端の拡大斜視図である。 5A and 5B, respectively, an enlarged perspective view of the tip of the probe.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10・・・プローブクリーニング装置11・・・テーブル12・・・プローブ20・・・プローブクリーナー21・・・クリーナーシート22・・・粘着剤層23・・・離型紙24・・・表面部分25・・・マイクロファイバー26・・・砥粒27・・・バインダー28・・・ベースシート30、33・・・プローブの先端31、34・・・凸部32、35・・・凹部T1、T2・・・移動方向 10 ... probe cleaning device 11 ... table 12 ... probe 20 ... Probe Cleaner 21 ... cleaner seat 22 ... adhesive layer 23 ... release paper 24 ... surface portion 25, ... microfiber 26 ... abrasive grain 27 ... binder 28 ... base sheet 30, 33 the tip of ... probe 31, 34 ... protruding portion 32, 35 ... concave portion T1, T2 ... ·Direction of movement

Claims (2)

  1. ベースシートと該ベースシートに植毛されたマイクロファイバーとから成る植毛シートを含むプローブクリーニング用又はプローブ加工用シートであって、プローブの先端部分に付着している異物を除去するために、又はプローブの製造工程においてプローブの先端部分に仕上げ加工を施すために前記植毛シートを前記プローブの前記先端部分に押し当てることなく前記植毛シートの前記マイクロファイバーから成る表面部分を前記プローブの前記先端部分に作用させるプローブクリーニング用又はプローブ加工用シートであって、 A probe cleaning or probe processing sheet comprising a base sheet and flocked sheet comprising microfibers that are flocked on the base sheet, in order to remove foreign matter adhering to the tip portion of the probe, or the probe in order to perform the finishing in the manufacturing process at the tip portion of the probe, acting the said surface portion comprising a microfiber flocked sheets without pressing the flocked sheet to said tip portion of said probe to said tip portion of said probe a probe cleaning or probe processing sheet is,
    前記マイクロファイバーの繊維径が0.1μm以上、20μm以下の範囲にあり、 The fiber diameter of the microfibers 0.1μm or more, are in the following ranges 20 [mu] m,
    前記マイクロファイバーの表面に平均粒径が0.05μm以上、3.0μm以下の範囲にある砥粒が固定され、 The average particle size on the surface of the microfiber is 0.05μm or more, the abrasive grains in the following range 3.0μm fixed,
    前記表面に前記砥粒が固定された前記マイクロファイバー同士が固着していない状態にある、 In a state where the micro-fibers said abrasive grains are fixed to the surface it is not fixed,
    ことを特徴とするプローブクリーニング用又はプローブ加工用シート。 Probe cleaning or probe processing sheet, characterized in that.
  2. プローブの製造工程において請求項に記載されたシートを使用しプローブの先端部分を仕上げ加工する、プローブの先端部分の仕上げ加工方法。 Finish machining the tip portion of the probe using a sheet according to claim 1 in the manufacturing process of the probe, finishing method of the tip portion of the probe.
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