JP5019533B2 - バンプ高さ測定方法及び測定装置 - Google Patents
バンプ高さ測定方法及び測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5019533B2 JP5019533B2 JP2007296698A JP2007296698A JP5019533B2 JP 5019533 B2 JP5019533 B2 JP 5019533B2 JP 2007296698 A JP2007296698 A JP 2007296698A JP 2007296698 A JP2007296698 A JP 2007296698A JP 5019533 B2 JP5019533 B2 JP 5019533B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bump height
- bump
- substrate surface
- measuring
- white light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
3 参照ミラー
5 高速カメラ
10 バンプ
11 ベース面
12 Si基板
13 絶縁膜
14 電極膜
15 電極
20 ステージ
21 ピエゾコントローラ
22 スキャナ
26 制御装置
27 出力装置
28 処理装置
29 メモリ
Claims (4)
- 半導体の基板表面に白色光の干渉波を照射して、基板表面のバンプ高さを測定するバンプ高さ測定方法において、
マルチオーダーの波長板を用い、基板表面及びバンプ頂点に各々アイソレートされた干渉波(m+1/4)λ(mは自然数)を合わせ、バンプ高さを測定することを特徴とするバンプ高さ測定方法。 - 半導体の基板表面に白色光の干渉波を照射し、基板表面のバンプ高さを測定するバンプ高さ測定方法において、
マルチオーダーの波長板を用い、基板に白色光を照射する照射系を微動させることにより、基板表面及びバンプ頂点に各々アイソレートされた干渉波(m+1/4)λ(mは自然数)を合わせ、バンプ高さを測定することを特徴とするバンプ高さ測定方法。 - 半導体の基板表面に白色光の干渉波を照射し、基板表面のバンプ高さを測定するバンプ高さ測定装置において、
マルチオーダーの波長板を用い、基板表面及びバンプ頂点に各々アイソレートされた干渉波(m+1/4)λ(mは自然数)を合わせるように構成され、バンプ高さを測定することを特徴とするバンプ高さ測定装置。 - 半導体の基板表面に白色光の干渉波を照射し、基板表面のバンプ高さを測定するバンプ高さ測定装置において、
マルチオーダーの波長板と、
基板に白色光を照射する照射系とを有し、
照射系を微動させて、マルチオーダーの波長板を用いて、基板表面及びバンプ頂点に各々アイソレートされた干渉波を合わせ、バンプ高さを測定する構成にしたことを特徴とするバンプ高さ測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007296698A JP5019533B2 (ja) | 2007-11-15 | 2007-11-15 | バンプ高さ測定方法及び測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007296698A JP5019533B2 (ja) | 2007-11-15 | 2007-11-15 | バンプ高さ測定方法及び測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009121969A JP2009121969A (ja) | 2009-06-04 |
JP5019533B2 true JP5019533B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=40814278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007296698A Expired - Fee Related JP5019533B2 (ja) | 2007-11-15 | 2007-11-15 | バンプ高さ測定方法及び測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5019533B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05332730A (ja) * | 1992-06-01 | 1993-12-14 | Toshiba Corp | 位置検出装置 |
JP3346851B2 (ja) * | 1993-10-25 | 2002-11-18 | 株式会社東芝 | 位置検出装置 |
JPH08219722A (ja) * | 1995-02-17 | 1996-08-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | バンプ高さ測定方法及び装置 |
JPH08327327A (ja) * | 1995-06-02 | 1996-12-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | バンプ高さ測定方法及び装置 |
JPH10274623A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Hitachi Ltd | 無侵襲生体光計測装置 |
JP4555925B2 (ja) * | 2001-02-19 | 2010-10-06 | 国立大学法人 香川大学 | 立体形状測定装置 |
JP2002250609A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Nikon Corp | 間隔測定装置、間隔測定方法、及び光学系の製造方法 |
JP2005250263A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Alps Electric Co Ltd | ホログラフィックメモリ装置 |
JP4554385B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2010-09-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 表面形状計測方法及び計測装置 |
-
2007
- 2007-11-15 JP JP2007296698A patent/JP5019533B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009121969A (ja) | 2009-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101186464B1 (ko) | Tsv 측정용 간섭계 및 이를 이용한 측정방법 | |
US7006221B2 (en) | Metrology system with spectroscopic ellipsometer and photoacoustic measurements | |
TWI743200B (zh) | 用於最佳化以成像為基礎之疊對度量之聚焦的系統及方法 | |
CN107966453B (zh) | 一种芯片缺陷检测装置及检测方法 | |
KR20180014435A (ko) | 반도체 웨이퍼 상의 높이를 측정하기 위한 방법 및 장치 | |
US20150029819A1 (en) | Surface and subsurface detection sensor | |
TW201800720A (zh) | 光學系統及使用該系統之物體表面或內部光反射介面三維形貌偵測方法 | |
CN109564089B (zh) | 测量装置 | |
TWI608555B (zh) | 在一晶圓檢測系統內之一基板表面之高速高度控制的方法及系統 | |
JP2010121960A (ja) | 測定装置及び被検物の測定方法 | |
TW201232686A (en) | System, method and computer readable medium for through silicon via structure measurement | |
JP2011191285A (ja) | 光が透過可能な材料の段差構造測定方法 | |
KR101987402B1 (ko) | 편광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치 | |
TW202138750A (zh) | 光學臨界尺寸與光反射組合裝置、系統及方法 | |
TWI579525B (zh) | 運動物件之絕對定位距離與偏擺角度同步量測之光學系統與方法 | |
JP5019533B2 (ja) | バンプ高さ測定方法及び測定装置 | |
AU2015406086A1 (en) | Method and apparatus for deriving a topograpy of an object surface | |
JP4382315B2 (ja) | ウェーハバンプの外観検査方法及びウェーハバンプの外観検査装置 | |
JP6378149B2 (ja) | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム | |
US20120293805A1 (en) | Interference measuring apparatus and measuring method thereof | |
US9594230B2 (en) | On-axis focus sensor and method | |
US20240004311A1 (en) | A system and method for performing alignment and overlay measurement through an opaque layer | |
JP2624481B2 (ja) | 光誘起電流による半導体装置の検査装置 | |
US11761906B2 (en) | Optical device | |
US20220344192A1 (en) | Systems and methods for absolute sample positioning |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120608 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |