JP5014966B2 - 拡大観察装置 - Google Patents

Description

本発明は、微細な観察対象物の形状を拡大表示して観察する拡大観察装置に関する。

微細な観察対象物の形状を拡大して観察可能な、拡大観察装置あるいはマイクロスコープなどと呼ばれる機器が知られている。この拡大観察装置（あるいはマイクロスコープ）は、例えば時計や電子部品などの各種精密機器の製造現場に設置されており、製造中の部品の微細な形状をモニタ上に拡大して表示させることにより、製造中の部品の品質を確認するといった目的で広く活用されている。

このような拡大観察装置（あるいはマイクロスコープ）では、光量を確保するために観察対象に照明を当てて画像が撮影されるが、観察対象は凹凸を伴った複雑な形状を有することが通常であるため、良好な画像が得られるように適切な照明条件を設定することは、必ずしも容易なことではない。そこで、良好な画像を簡便に得られるようにするため、照明を当てる角度などの照明条件を予め複数設定しておき、これらの照明条件を次々と切り換えて撮影するとともに、得られた画像を一覧的に表示可能とした技術が提案されている（特許文献１）。

特開２００６−２０８８２７号公報

しかし、提案されている技術を適用しても、良好な画像を得ることは依然として難しい場合があるという問題があった。すなわち、拡大観察装置（あるいはマイクロスコープ）の観察対象物は、凹凸を伴う複雑な形状を有していることが多く、このため、設定されている何れの照明条件を用いた場合でも、何れかの凸部の一部が白く光ってしまうなど、良好な画像が得られない場合があった。

この発明は上記のような事情に鑑みて完成されたものであり、その目的は、良好な画像を簡便に表示可能な拡大観察装置を提供するところにある。

上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の拡大観察装置は次の構成を採用した。すなわち、
所定の観察領域内に置かれた観察対象物の画像を、表示画面上に拡大して表示する拡大観察装置において、
前記観察領域内に光を照射しながら前記観察対象物の画像を撮影する画像撮影手段と、
前記撮影した画像を原画像として記憶する原画像記憶手段と、
前記原画像の中で、画像を撮影可能な所定の光量範囲に受光量が収まらない領域を少なくとも含んだ撮影不能領域を検出する撮影不能領域検出手段と、
前記画像の撮影条件を予め設定されている他の撮影条件に切り換えることにより、前記撮影不能領域の受光量が前記所定の光量範囲に収まる撮影条件を、適合撮影条件として選択する適合撮影条件選択手段と、
前記撮影不能領域の受光量が前記所定の光量範囲を超えていた場合には、該所定の光量範囲の上限値に最も近い受光量、または該所定の光量範囲を下回っていた場合には、該所定の光量範囲の下限値に最も近い受光量の、少なくとも一方の受光量であるピーク光量を、前記適合撮影条件で撮影した前記撮影不能領域の画像の中から検出するピーク光量検出手段と、
前記適合撮影条件の中で、前記画像撮影手段に入射される光量に影響する所定のパラメータを、予め設定されている目標光量と前記検出したピーク光量とに基づいて修正することにより、該適合撮影条件を修正した修正撮影条件を設定する修正撮影条件設定手段と、
前記記憶されている原画像中の前記撮影不能領域の画像を、前記修正撮影条件で撮影した該撮影不能領域の画像に置き換えることによって、該原画像と該修正撮影条件で撮影した画像とを合成した合成画像を生成する合成画像生成手段と、
前記生成された合成画像を前記表示画面上に表示する画像表示手段と
を備えることを特徴とする。

かかる本発明の拡大観察装置においては、観察対象物の画像（原画像）を撮影すると、その原画像中の撮影不能領域（受光量が、画像を撮影可能な所定の光量範囲に収まらない領域）を検出し、その撮影不能領域の画像を撮影可能な条件（適合撮影条件）を選択する。撮影不能領域としては、受光量が大きすぎて画像が白く飛んでしまっている領域や、逆に受光量が小さすぎて出力がノイズに埋もれてしまっている領域などを検出することができる。また、適合撮影条件を選択するに際しては、観察対象物に光を照射する方向や、画像を撮影する際の受光量に影響する各種のパラメータ（例えば、照射する光の強さや、露光時間、光学的な絞り機構が設けられている場合には絞り量）などを変更することができる。次いで、選択した適合撮影条件の中で、受光量に影響する各種パラメータの中の所定のパラメータを修正して、撮影不能領域であった部分でのピーク光量が目標光量となるような撮影条件（修正撮影条件）を設定する。そして、こうして設定した修正撮影条件での画像を撮影して、原画像の撮影不能領域の部分を、撮影した画像で置き換えることによって、合成画像を生成した後、得られた合成画像を表示画面上に表示する。

こうすれば、原画像の中に画像を撮影できない領域（撮影不能領域）が存在する場合でも、その撮影不能領域の画像を、修正撮影条件で撮影した画像に置き換えた合成画像を生成することで、画像の全領域で観察対象物が鮮明に写った良好な画像を表示させることが可能となる。また、修正撮影条件は、先ず初めに、撮影不能領域の画像が撮影可能な適合撮影条件を選択し、その適合撮影条件で得られるピーク光量が目標光量となるように、受光量に関連する所定のパラメータ（例えば、照射する光の強さや、露光時間、光学的な絞り量など）を修正することによって設定しているために、適切な撮影条件を迅速に設定することができる。その結果、修正撮影条件の画像を速やかに撮影して、原画像と合成することにより、迅速に合成画像を表示させることが可能となる。

また、かかる本発明の拡大観察装置においては、観察領域に対して、複数の方向から光を照射しながら観察対象物の画像を撮影可能としておき、適合撮影条件を選択するに際しては、観察領域に光を照射する方向を、予め設定されている方向に順次切り換えることによって、適合撮影条件を選択するようにしても良い。

こうすれば、光が適切に照射される方向を幾つか設定しておくことで、適切な適合撮影条件を簡便に選択することが可能となる。例えば、幾つかの条件を想定して、それらの条件で適切な光の照射方向を試行錯誤によって決定して設定しておく。こうすれば、予め設定されている照射方向を次々と切り換えるだけで、適切な適合撮影条件を選択することが可能となるので好ましい。

また、上述した本発明の拡大観察装置においては、画像を撮影する際の受光量に影響する各種のパラメータ（例えば、照射する光の強さや、露光時間、光学的な絞り機構が設けられている場合には絞り量など）を異ならせた複数の撮影条件を記憶しておき、これらの撮影条件を順次切り換えることによって、適合撮影条件を選択するようにしてもよい。

原画像中に撮影不能領域が発生する原因のほとんどは、その領域での受光量が過大または過小なためであり、従って、撮影不能領域での受光量を変更すれば、撮影不能領域でも画像を撮影することが可能となる。このことから、画像を撮影する際の受光量に影響する各種のパラメータを異ならせた複数の撮影条件を記憶しておき、これら撮影条件を切り換えてやれば、ほとんどの場合、迅速に適合撮影条件を選択することが可能となるので好適である。

また、上述した本発明の拡大観察装置においては、画像を撮影可能な所定の光量範囲の上限値を越えている領域を、原画像の中から撮影不能領域として検出する場合には、次のようにして適合撮影条件を選択することとしても良い。すなわち、画像を撮影する際の受光量が、現状に対して半分以下の所定比率で減少するような撮影条件を設定しておき、この撮影条件を、適合撮影条件として選択しても良い。この時、例えば、撮影条件としては１つの条件だけ記憶しておき、撮影不能領域の画像が撮影可能となるまで、その撮影条件を繰り返し適用することとしても良いし、あるいは、その撮影条件を繰り返し適用したときに相当する複数の撮影条件を記憶しておき、撮影不能領域の画像が撮影可能となるまで、それらの撮影条件を順番に選択するようにしても良い。

原画像の中で、受光量が所定の上限値を越えている領域を、撮影不能領域として検出する場合には、受光量が、現状に対して半分以下の所定比率で減少するような撮影条件を設定しておき、この撮影条件を適用するだけでも、受光量を急激に減少させることができる。もちろん、所定比率で減少させただけでは足らない場合も生じ得るが、このような場合は、更に所定比率で減少させればよい。こうすれば、撮影不能領域の画像が撮影可能となる撮影条件（適合撮影条件）を、迅速に選択することが可能となる。尚、現状に対して受光量を減少させる比率としては、少なくとも半分以下に減少するような比率を設定しておけば、受光量を急激に減少させることが可能であるが、経験上から、１／８から１／１３の範囲の比率に設定しておくことが望ましい。

あるいは、逆に、画像を撮影可能な所定の光量範囲の下限値を下回っている領域を、原画像の中から撮影不能領域として検出する場合には、次のようにして適合撮影条件を選択することとしても良い。すなわち、画像を撮影する際の受光量が、現状に対して２倍以上の所定比率で増加するような撮影条件を設定しておき、この撮影条件を、適合撮影条件として選択しても良い。この場合も、１つの撮影条件だけ記憶しておき、撮影不能領域の画像が撮影可能となるまで、その撮影条件を繰り返し適用することとしても良いし、あるいは、その撮影条件を繰り返し適用したときに相当する複数の撮影条件を記憶しておき、それらの撮影条件を順番に選択するようにしても良い。

原画像の中で、受光量が所定の下限値を下回っている領域を、撮影不能領域として検出する場合には、受光量が、現状に対して２倍以上の所定比率で増加するような撮影条件を設定しておき、この撮影条件を適用するだけでも、受光量を急激に増加させることができる。もちろん、所定比率で増加させただけでは足らない場合も生じ得るが、このような場合は、更に所定比率で増加させればよい。こうすれば、撮影不能領域の画像が撮影可能となる撮影条件（適合撮影条件）を、迅速に選択することが可能となる。

また、上述した本発明の拡大観察装置においては、次のような態様で、合成画像を生成することとしてもよい。すなわち、原画像と、修正撮影条件で撮影されて置き換えられた撮影不能領域の画像との境界が、認識可能な態様で合成画像を生成することとしてもよい。ここで、境界を認識可能な態様とは、境界を破線や点線などで表示した態様とすることもできるし、あるいは、置き換えられた画像に、例えば、黄色や赤色などの色味を付した状態で表示してもよい。更には、原画像と、修正撮影条件で撮影した画像とでは画像の明るさが異なっているから、境界部分で明るさが不自然に変化するような態様で画像を合成するようにしても良い。

合成画像では、原画像の撮影不能領域の画像が、別の画像に置き換えられるので、厳密には、事実とは異なる画像になっている。従って、合成された画像であることに気付かなかった場合には、画像の観察者に、事実とは異なった印象を与えてしまう虞も生じ得る。こうした事態が懸念される場合には、原画像と、修正撮影条件で撮影された撮影不能領域の画像との境界を、認識可能な態様で画像を合成しておくことにより、画像の観察者に、事実とは異なった印象を与える虞を未然に防止することが可能となるので好適である。もちろん、画像の観察者に、事実と異なる印象を与えてしまう虞のない場合には、合成された部分を認識可能な態様で表示する必要はなく、逆に、認識が困難な態様で表示する方が望ましい場合も生じ得る。このことから、原画像と、置き換えられた画像とを合成するに際しては、撮影不能領域の境界が認識可能な態様と、認識困難な態様とに切り換え可能としておいても良い。

また、上述した本発明の拡大観察装置においては、選択した適合撮影条件を修正して修正撮影条件を設定する際には、画像撮影手段が画像を撮影する際の露光時間を修正することとしてもよい。

画像を撮影する際の露光時間は、簡単に、高い精度で、しかも大幅に変更することが可能である。加えて、露光時間は、画像撮影手段に入射される光量とほぼ比例する関係にある。このことから、適合撮影条件の露光時間を修正することとしておけば、撮影不能領域でのピーク光量と目標光量とに基づいて適切な露光時間に修正することで、修正撮影条件を、簡単に且つ適切に設定することが可能となる。

以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。
Ａ．拡大観察装置の概要：
Ｂ．本実施例の観察画像表示処理：
Ｃ．変形例：

Ａ．拡大観察装置の概要 ：
図１は、拡大観察装置１０の構成を示した説明図である。図示されているように、拡大観察装置１０は、観察対象物Ｗの画像を取得する画像取得部１００と、装置全体の動作を制御する制御部１１０と、観察対象物Ｗの画像を拡大表示する表示部１２０などから構成されている。画像取得部１００は、内蔵されたＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子によって画像データを生成するカメラ本体部１０６と、撮像素子の上に観察対象物Ｗの像を結像させるレンズ部１０４と、画像を撮影するために観察対象物Ｗに光を照射する光照射部１０２などから構成されている。画像取得部１００は、スタンドなどに装着されて、観察対象領域にセットされた観察対象物Ｗの画像を取得するとともに、制御部１１０に画像データを出力することが可能となっている。

制御部１１０は、ＣＰＵや、ＲＯＭ、ＲＡＭ、フレームメモリなどが、バスによって相互にデータをやり取り可能に接続されて構成されている。ＲＯＭには、各種の画像処理用のプログラムが記憶されており、ＣＰＵは、画像取得部１００から画像データを受け取ると、ＲＯＭに記憶されているプログラムを読み出して所定の画像処理を実行する。そして、その結果をフレームメモリに書き込むことによって、画像処理によって得られた画像を表示部１２０のモニタ画面上に拡大して表示することが可能となっている。

図２は、本実施例の拡大観察装置１０に搭載された光照射部１０２の構成を示す説明図である。図２（ａ）には、光照射部１０２を底面側（観察対象物Ｗに面する側）から見た様子が示されている。図示されているように、光照射部１０２は、レンズ部１０４の周囲を取り囲むようにして設けられた円環状の部材によって構成されており、レンズ部１０４を中心として複数の照射ランプ１０２Ｌが搭載されている。また、これら複数の照射ランプ１０２Ｌは、４つの照射ランプ群１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄにグループ分けされている。これら４つの照射ランプ群１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄは、それぞれのグループ毎に独立して点灯させることが可能であり、このため、何れの照射ランプ群を点灯させるかによって、Ｗを照射する光の角度を変更することが可能となっている。

例えば、左側の照射ランプ群１０２ａ、１０２ｂを点灯させれば、図２（ｂ）に示したように、観察対象物Ｗを左側から照明することが可能となり、あるいは右側の照射ランプ群１０２ｃ、１０２ｄを点灯させれば、図２（ｃ）に示すように右側から観察対象物Ｗを照明することが可能となる。もちろん、上側の照射ランプ群１０２ａ，１０２ｃや、下側の照射ランプ群１０２ｂ、１０２ｄを点灯させたり、あるいは、それぞれの照射ランプ群を単独で、更には任意の照射ランプ群を選択して点灯させることも可能である。また、照射ランプ１０２Ｌに供給する電流量も、照射ランプ群毎に単独で変更することが可能であり、これにより、各照射ランプ群が照射する光の強さも変更することが可能となっている。

図３は、本実施例の拡大観察装置１０の表示部１２０の画面構成を示した説明図である。図示されているように、本実施例の拡大観察装置１０では、表示部１２０の画面のほぼ中央に表示領域１２２が設けられており、この表示領域１２２に観察対象物Ｗの画像が拡大して表示される。また、表示領域１２２の左側の画面には、各種の操作用ボタンが表示されている。そして、拡大観察装置１０の操作者が、画像取得部１００の下方に観察対象物Ｗをセットし、マウスなどのポインティングディバイス（図示は省略）を操作しながら表示部１２０の画面上に表示されたカーソル１２０ｃを動かして、「撮影」と表示されたボタン１２４を選択すると、観察対象物Ｗの拡大画像が表示領域１２２に表示されるようになっている。図３（ａ）には、観察対象物Ｗとして電子回路基板がセットされ、その一部の画像が拡大して表示されている様子が例示されている。

もっとも、拡大観察装置１０で観察される観察対象物Ｗの多くは、電子回路基板のように凹凸を伴う複雑な表面形状を有しており、しかも一部の表面が光沢を有していることも決して珍しいことではない。このような観察対象物Ｗに照明を当てて画像を撮影すると、表面の光沢を持った部分で強く光が反射されて、画像の一部が白く飛んでしまう現象（ハレーション現象）が発生することがある。図３（ｂ）では、基板に搭載されたＩＣチップの頂面部でハレーション現象が発生したため、チップの頂面に印刷された型式番号や、頂面部の細かい形状が判別できなくなってしまった様子を模式的に表している。

もちろん、光を照射する角度を変更したり、あるいは光の強さを変更することによって、ハレーション現象の発生が回避された良好な画像を得ることも可能である。しかし、観察対象物Ｗは凹凸を伴う複雑な形状をしていることが多いため、ハレーション現象の発生を避けようとして光の照射角度を変更すると、他の凸部の陰になって照明光が届かずに、撮影できない部分ができてしまう場合もしばしば発生する。あるいは、ハレーション現象が発生しなくなるまで照明光の強さを減少させると、全体的に照明光が不足して、その他の部分の画像が写らなくなってしまう場合もしばしば発生する。このため、図３（ａ）に例示するような良好な画像を得るためには、適切な撮影条件が得られるまで試行錯誤を重ねなければならない場合が多いことが現状である。また、試行錯誤しながら適切な撮影条件を探している時間がない場合は、やむを得ず、図３（ｂ）に示すような画像（ハレーション現象が発生している画像）と、図３（ｃ）に示すような画像（ハレーション現象は起きていないものの照明光が不足して真っ黒な部分のある画像）とを、２つ並べて表示するといったことも行われている。

しかし、本実施例の拡大観察装置１０では、このような場合、すなわち、撮影した画像中にハレーション現象が発生していた場合でも、表示部１２０の画面上に設けられた「明部補正」というボタン１２６を押すだけで、ハレーション現象の発生していない良好な画像を迅速に表示させることが可能となっている。また、「撮影」ボタン１２４を押して画像を表示させる代わりに、「全自動」と表示されたボタン１２８を押すことにより、ハレーション現象の発生していない画像を初めから表示させることも可能となっている。こうしたことは、制御部１１０に設けられたＣＰＵが、以下に示す処理を行うことによって実現されている。以下では、本実施例の拡大観察装置１０において、ハレーション現象のない良好な画像を表示するために行われている観察画像表示処理について詳しく説明する。

Ｂ．本実施例の観察画像表示処理 ：
図４は、本実施例の拡大観察装置１０でハレーション現象のない良好な画像を表示するために行われている処理の流れを示すフローチャートである。かかる処理は、表示部１２０の表示領域１２２に表示された拡大画像が、図３（ｂ）に示すようなハレーション現象の発生した画像であった場合に、表示領域１２２の左側に設けられた「明部補正」と表示されたボタン１２６を押すことによって開始される処理である。

制御部１１０のＣＰＵは、観察画像表示処理を開始すると先ず初めに、表示領域１２２に表示されている画像を、「原画像」として記憶する（ステップＳ１００）。図１を用いて前述したように、制御部１１０にはフレームメモリと呼ばれる特殊なメモリが搭載されており、フレームメモリに書き込まれた内容が表示部１２０の画面上に表示されるようになっているが、ステップＳ１００では、表示領域１２２に表示されている画像のデータをフレームメモリから読み出して、ＲＡＭ上の所定領域に記憶する処理を行う。尚、図４の観察画像表示処理が、「全自動」と表示されたボタンを押すことによって開始された場合には、フレームメモリから画像データ読み込む代わりに、画像取得部１００から出力された画像データを直接読み込んで、ＲＡＭに記憶するようにしても良い。

次いで、読み込んだ原画像の中から「撮影不能領域」を抽出する処理を行う（ステップＳ１０２）。ここで、撮影不能領域とは、次のような領域のことである。画像取得部１００に搭載されている撮像素子には、一般に、画像を撮影可能な光量範囲が存在する。例えば、撮像素子に届く光の強さ（受光量）が大きくなるほど、撮像素子の出力階調値は増加するが、出力階調値が上限値に達すると、それ以上に受光量が増加しても、出力階調値は上限値に貼り付いたままとなってしまう。あるいは逆に、受光量が小さくなると、それに従って出力階調値も小さくなるが、撮像素子を構成するＣＣＤやＣＭＯＳなどの特性上、たとえ光を受けていない場合でも、撮像素子からは小さな階調値のノイズが出力されている。従って、あまりに受光量が小さくなると、撮像素子の出力階調値がノイズと同程度の大きさとなって、ノイズと画像との区別がつかなくなってしまう。このことから、撮像素子で得られた画像中で、実際に画像が写っているのは、画像の階調値がノイズレベルよりも大きく、且つ、上限値よりも小さい所定の階調値範囲の部分のみであると考えられる。

図５には、撮像素子で画像を撮影可能な光量範囲と、撮影した画像の中で実際に画像が写っていると考えられる階調範囲との関係が概念的に示されている。本明細書中では、画像中で、実際には画像が写っていないと考えられる部分、すなわち、階調値が上限値に貼り付いてしまっている部分や、ノイズレベルに埋もれてしまっている部分を、撮影不能領域と称している。

ここでは、表示部１２０の表示領域１２２に表示された拡大画像が、図３（ｂ）に示したようにハレーション現象を起こしていた場合を想定しているから、図４のステップＳ１０２では、ステップＳ１００で読み込んだ原画像の中から、階調値が上限値（階調値２５５）に貼り付いてしまっている領域を、撮影不能領域として抽出する処理を行う。図６は、原画像中で撮影不能領域が抽出された様子を例示した説明図である。図中では、抽出された撮影不能領域を、太い破線で囲うとともに斜線を付して表している。尚、撮影不能領域を抽出するに際しては、階調値が上限値に貼り付いている領域のみを抽出しても良いし、貼り付いている領域の周囲の領域も含めて、撮影不能領域として抽出しても良い。

こうして撮影不能領域を抽出したら、続いて、撮影条件を１つ選択する（ステップＳ１０４）。すなわち、本実施例の拡大観察装置１０では、制御部１１０のＲＯＭに、複数の撮影条件が予め記憶されており、この中から１つの撮影条件を選択する。

図７は、予め記憶されている複数の撮影条件を示した説明図である。図示されているように、本実施例の拡大観察装置１０では、観察対象物Ｗへの光の照射方向や、画像取得部１００の撮像素子が受け取る光量に関する条件を異ならせて、複数の撮影条件が記憶されている。例えば、撮影条件１には、観察対象物Ｗに対して上半分側から照明を照射するとともに、撮像素子が受け取る光量に関する設定は、標準に設定された撮影条件が記憶されている。図２を用いて前述したように、本実施例の拡大観察装置１０では、光照射部１０２に搭載された照射ランプ１０２Ｌがグループ化されており、何れのグループの照射ランプ１０２Ｌを点灯させるかによって、観察対象物Ｗに光を照射する方向を変更することが可能となっている。

また、撮像素子が受け取る光量に関する設定としては、照射ランプ１０２Ｌに供給する電流量を変えて、照射する光の強さを変更したり、あるいは、画像取得部１００のレンズ部１０４に光学的な絞り機構が設けられている場合には、絞り量を変えることも可能であるが、本実施例の拡大観察装置１０では、撮像素子の露光時間（光を受け取ったことによって撮像素子で発生する電荷の蓄積時間）の設定を変更している。すなわち、撮影条件１には、光照射部１０２に設けられた照射ランプ群１０２ａおよび照射ランプ群１０２ｃを同時に点灯させるとともに、撮像素子の露光時間は、標準の時間に設定する撮影条件が記憶されている。

撮影条件２ないし撮影条件４には、撮像素子の露光時間は標準時間に設定したまま、点灯する照射ランプ群を変更することによって、光の照射方向を異ならせた撮影条件が設定されている。更に、撮影条件５には、光の照射方向については、標準の撮影条件と同様に全ての照射ランプ群を点灯することで、観察対象物Ｗに全周から光を照射するが、撮像素子の露光時間については、現状の露光時間の１／１０の時間に短縮する撮影条件が設定されている。本実施例の制御部１１０のＲＯＭには、このような撮影条件が予め複数設定されており、図４に示した観察画像撮影処理では、原画像の撮影不能領域を抽出すると（ステップＳ１０２）、続く、ステップＳ１０４では、複数設定されている中から撮影条件を１つ選択するのである。

次いで、選択した撮影条件で画像を撮り直したときに、原画像では撮影不能領域として抽出された部分での撮像素子の受光量が、画像を撮影可能な光量範囲に収まるか否かを判断する（ステップＳ１０６）。かかる判断は、画像取得部１００に搭載されている撮像素子の機能に応じて、種々の方法を用いて行うことができる。例えば、選択した撮影条件で実際に画像を撮り直して、撮影不能領域として抽出されていた領域内での受光量を調べてもよいし、あるいは画像は撮影せずに、撮影不能領域での撮像素子の受光量を検出することによって判断しても良い。そして、撮影不能領域での受光量が、画像を撮影可能な光量範囲に収まっていなかった場合には（ステップＳ１０６：ｎｏ）、ステップＳ１０４に戻って新たな撮影条件を選択した後、再び、撮影不能領域での受光量が、画像を撮影可能な光量範囲に収まっているか否かを判断する（ステップＳ１０６）。

原画像でハレーション現象が発生した原因が、たまたま、ある方向から照射した光が観察対象物Ｗの光沢面で反射したためであった場合には、撮像素子での受光量（ここでは、露光時間）を変更せずとも、光の照射方向を切り換えるだけで、少なくとも撮影不能領域ではハレーション現象の発生を回避可能な場合が多い。従って、このような場合であれば、図７に示した撮影条件１ないし撮影条件４の何れかを選択することで、撮影不能領域での受光量が、画像を撮影可能な光量範囲に収まるものと考えられる。

もっとも、光の照射方向を切り換えるだけで、常にハレーション現象の発生を回避可能なわけではなく、例えば、図６に例示したように広い範囲でハレーション現象が起こっている場合などには、光の照射方向を切り換えたところで、何処かでハレーション現象が発生している事態も起こり得る。そこで、このような場合には、光の照明方向を変更するのではなく、撮像素子での受光量（ここでは、露光時間）を短縮する撮影条件５を選択する。図７に示されているように、撮影条件５が選択されると、撮像素子の露光時間が現状の１／１０と大幅に短縮されるので、ほぼ確実にハレーション現象の発生を回避することが可能である。

ここで、露光時間を短縮する比率は、ある程度、大幅に短縮するのであれば、どのような比率に設定しても良く、例えば、１／２あるいは１／３など、種々の比率を採用することも可能であるが、撮影条件５に設定されている１／１０という比率は、次のようなことを考慮して設定されている。

原画像でハレーション現象が起こっていると言うことは、撮像素子での受光量が、出力階調値２５５に対応する光量（ここでは「上限光量」と呼ぶことにする）を超えている箇所が存在しているということである。ここで、出力階調値が上限の階調値２５５に貼り付いてしまっているので、実際には、受光量が上限光量を僅かに超えただけなのか、それとも上限光量の何倍もの光量になっているのかは分からない。仮に、上限光量の５倍の光量であったとすると、撮像素子の露光時間を１／２にしただけでは、依然として受光量が上限光量を超えてしまうので、更に露光時間を１／２にする操作を２回繰り返さなければならなくなる。このようなことを考えると、露光時間が大幅に短縮されるような比率を設定しておくことが望ましい。

その一方で、露光時間をあまり大幅に短縮すると、撮像素子の受光量が上限光量を僅かに超えただけであった場合などには、出力階調値がノイズレベルに埋もれてしまうことも起こり得る。例えば、撮像素子の受光量がちょうど上限光量であったために出力階調値が階調値２５５であった場合を考える。このような場合に、露光時間を１／５０に短縮すると、撮像素子の出力は階調値５前後に減少して、ノイズに埋もれてしまう。これに対して、露光時間を１／１０に短縮した場合には、出力は階調値２５前後まで減少するだけであり、この程度の出力階調値が確保できれば、ノイズに対して十分に判別することが可能である。また、実際には、撮像素子の受光量が上限光量の１０倍もの光量になることは希である。このため、露光時間を１／１０に短縮しておけば、ほとんどの場合、受光量を上限光量以下に収めることが可能であり、万が一、上限光量以下に収まらなかった場合でも、更に露光時間を１／１０に短縮すれば、確実に上限光量以下に収めることが可能である。もちろん、このような場合でも、受光量が上限光量を超えていたのであるから、得られた出力階調値がノイズに埋もれてしまう虞はない。

図７に示した撮影条件５に設定されている「１／１０」という比率は、このようなことを考慮して設定されている。尚、こうした観点からすると、撮影条件５に設定する比率は、必ずしも１／１０である必要はなく、経験上からは、１／８から１／１３程度の範囲で任意に設定可能なことが分かっている。また、露光時間を１／８に設定する操作は、制御部１１０のＣＰＵにとっては、露光時間のデータを３ビット分だけシフトするだけで良いので、極めて簡単に実行することが可能である。従って、処理の迅速化を図る観点からは、露光時間を１／８に設定しておくことも好ましい。

尚、以上の説明では、先ず初めは、図７に示した撮影条件１ないし撮影条件４を選択することにより、光の照射方向を変更してみて、それでもハレーション現象が収まらなかった場合に（図４のステップＳ１０６：ｎｏ）、撮影条件５を選択して、撮像素子の露光時間を短縮するものとして説明した。しかし、上述したように、露光時間を短縮する比率が適切に設定されているので、ほとんどの場合は、露光時間を短縮すると直ちにハレーション現象を収めることが可能である。このことから、光の照射方向を変更することなく、初めから露光時間を短縮するようにしてもよい。こうすれば、ステップＳ１０４ないしステップＳ１０６にかけての処理で、原画像では撮影不能領域として抽出された部分での撮像素子の受光量が、上限光量以下に収まるような撮影条件を、速やかに選択することが可能となる。尚、このようにして選択された撮影条件、すなわち、原画像では撮影不能領域として抽出された部分での撮像素子の受光量が、画像を撮影可能な光量範囲に収まっている撮影条件を、本明細書中では「適合撮影条件」と称するものとする。

以上のようにして、予め設定されている複数の撮影条件の中から、適合撮影条件を選択したら、その適合撮影条件で画像を撮り直したときに、原画像で撮影不能領域として抽出された領域の中でのピーク光量を検出する（ステップＳ１０８）。ここで、ピーク光量とは、次のような光量である。すなわち、原画像の撮影不能領域での受光量が多くて、上限光量を超えていた場合には、撮影条件を適合撮影条件に切り換えた時に、撮影不能領域内で検出される最大の受光量がピーク光量となる。また、原画像の撮影不能領域での受光量が少ないために、撮像素子の出力がノイズレベルに埋もれてしまっていた場合には、撮影条件を適合撮影条件に切り換えた時に、撮影不能領域内で検出される最小の受光量がピーク光量となる。ここでは、原画像でハレーション現象が発生した場合を想定しているから、図４のステップＳ１０８では、撮影条件を適合撮影条件に切り換えたときに撮影不能領域内で検出される最大の光量を、ピーク光量として検出する。

こうしてピーク光量を検出したら、今度は、ピーク光量が、予め設定しておいた目標光量になるように、適合撮影条件を修正する（ステップＳ１１０）。かかる処理について、具体例を用いて説明する。

図８は、適合撮影条件で検出したピーク光量が目標光量となるように、適合撮影条件を修正する様子を概念的に示した説明図である。一例として、原画像でハレーション現象を起こしている領域（すなわち、撮影不能領域）中の最大受光量が、出力階調値７５０に相当する受光量であったものとする。もっとも実際には、撮像素子から得られる出力は、階調値２５５に貼り付いてしまっているので、撮影不能領域での最大受光量が、どの程度の大きさになっているのかは分からない。そこで、光の照明方向や、撮像素子の露光時間が異なる各種の撮影条件に切り換えることによって、撮影不能領域での最大受光量が上限階調値２５５以下に収まる撮影条件（適合撮影条件）を検出する。

ここでは、適合撮影条件として、露光時間を１／１０に短縮する撮影条件を選択したものとする。尚、処理の迅速化の観点からは、光の照明方向を切り換えることなく、初めから露光時間を１／１０に短縮して、撮影不能領域での最大受光量が上限階調値２５５以下に収まっていれば、その撮影条件を適合撮影条件として選択してもよい。図８に示した例では、原画像中の撮影不能領域での最大受光量が出力階調値７５０に相当するとしているから、露光時間を１／１０に短縮した適合撮影条件では、撮影不能領域でのピーク光量の出力階調値は、ほぼ階調値７５となる。

次いで、検出したピーク光量の出力階調値（図８では階調値７５）が、目標光量の出力階調値（図８では階調値２００）となるように、適合撮影条件を修正する。図８に示した例では、階調値７５を階調値２００にすればよいのであるから、露光時間を２００／７５倍に延長すればよい。もちろん、露光時間を延長するのではなく、例えば、照射ランプ１０２Ｌが照射する光を強くしたり、あるいはレンズ部１０４に光学的な絞り機構が組み込まれている場合には、絞りを開放することによって、ピーク光量の出力階調値７５を目標光量の出力階調値２００まで増加させても良い。但し、露光時間による調整は、照明光の強さや光学的な絞りによる調整に比べて、次のように極めて好都合な特性を有している。すなわち、露光時間は撮像素子の出力階調値にほぼ比例しているので、ピーク光量の出力階調値と、目標光量の出力階調値とが分かれば、露光時間を何倍にすればよいのかを直ちに求めることができる。これに対して、照明光の強さを変更するのであれば照射ランプにどれだけの電流を流せばよいのか、あるいは光学的な絞りを変更するのであれば絞り量をどれだけ変更すればよいのかを予め調べておき、その結果を参照しながら、照明光の強さや光学的な絞りを調整しなければならなくなる。加えて、露光時間であれば、極端に短くすることも、極端に長くすることも可能であり、しかも高い精度で簡単に変更することが可能である。このような理由から、露光時間を修正することとしておけば、ピーク光量の出力階調値が目標光量の出力階調値に一致するように、適合撮影条件を簡単に修正することが可能となる。

尚、目標光量の出力階調値（図８に示した例では階調値２００）は、次のようなことを考慮して決定されている。上述したように目標光量は、原画像中の撮影不能領域に対して設定される目標光量である。上述した例では、原画像中でハレーション現象が発生したために出力階調値が上限階調値２５５に貼り付いて、画像が白く飛んでしまった領域の画像を表示するために設定される目標光量となっている。画像を表示するだけであれば、目標光量は、上限階調値に対しても、ノイズレベルに対してもある程度の余裕を持たせた任意の値に設定しておけばよい。しかし、ここでは、画像が白く飛んでしまった領域に対して目標光量を設定するのであるから、その領域が明るく写っていることは保ったまま、尚且つ、何が写っているのかは明確に判別できるような目標光量に設定しておくことが望ましい。そこで、上限階調値２５５に比較的近い出力階調値２００が得られるような目標光量を設定しておくのである。尚、目標光量の設定を、上限階調値２５５が得られるような光量に設定しないのは、上限階調値２５５の近傍では撮像素子の出力がサチリ気味となって、鮮明な画像が得られない場合があるので、上限階調値２５５に対しては若干の余裕を持たせて、出力階調値２００が得られるような光量に、目標光量を設定したためである。

図４のステップＳ１１０では、以上のようにして、撮影不能領域でのピーク光量が、目標光量と一致するように、適合撮影条件の露光時間の設定を修正する処理を行う。次いで、修正した適合撮影条件（修正撮影条件）を用いて、観察対象物Ｗの画像を撮影する（ステップＳ１１２）。撮影した画像は、原画像を撮影した時と同様に、制御部１１０のフレームメモリに画像データを書き込むことによって、一旦、表示部１２０の表示領域１２２に表示してもよいし、あるいは、フレームメモリには書き込まず、制御部１１０のＲＡＭ内に直接、書き込むようにしてもよい。

こうして得られた画像は、原画像と同じ画像でありながら、撮像素子の受光量（ここでは、露光時間）のみが変更されて、原画像ではハレーション現象が発生して白く飛んでしまった領域（撮影不能領域）でも鮮明に被写体が写った画像となっている。そこで、原画像の撮影不能領域の画像を、修正撮影条件で撮り直した画像中の対応する部分の画像で置き換えることによって、合成画像を生成する（ステップＳ１１４）。

図９は、原画像の撮影不能領域の画像を、修正撮影条件で撮影した画像の対応する部分で置き換えることにより、合成画像を生成している様子を概念的に示した説明図である。図９では、原画像中の撮影不能領域を、太い破線で囲って表している。図示した例では、撮影不能領域ではハレーション現象が発生して、画像が白く飛んでしまったために、この領域には何も写っていない。また、原画像の右隣には、修正撮影条件で撮影した画像が示されている。修正撮影条件で撮影した画像は、原画像を撮影した標準の撮影条件よりも露光時間が短くなっているので、画像が全体として暗めになっており、場所によっては被写体があまり鮮明には写っていない部分もあるが、原画像中で撮影不能領域と判断された部分では、ハレーション現象が発生することもなく、被写体が鮮明に写った画像が得られている。そこで、この部分、すなわち原画像中で撮影不能領域と判断された部分の画像を切り出して、原画像中の撮影不能領域の画像に差し替えることにより、２つの画像を合成するのである。前述したように、原画像の画像データは、制御部１１０に搭載されたＲＡＭの所定領域に記憶されているから、対応する領域に記憶されている画像データを、修正撮影条件で撮影した画像の画像データで上書きしてしまえばよい。図９に示した白抜きの矢印は、このようにして、原画像と、修正撮影条件で写した画像の撮影不能領域の画像とを、１つの画像に合成する様子を表している。

尚、合成画像を生成するに際しては、修正撮影条件の画像で差し替えた部分を認識可能な態様で、画像を合成しておくようにしてもよい。例えば、図９の合成画像中に示されるように、原画像の部分と、差し替えた画像の部分との境界を破線で示したり、あるいは、差し替えた画像を、僅かに色味を持たせて（例えば、黄色や赤色がかった色味を付けて）表示しても良い。

更には、原画像中で撮影不能領域を抽出する際に、出力階調値が上限階調値２５５に貼り付いた画素だけを抽出するのではなく、それらの画素を包含する矩形の領域や楕円形の領域を、撮影不能領域として抽出するようにしても良い。こうすれば、撮影不能領域の画像を差し替えたときに、境界部分で画像の明るさが不自然に変化するので、その部分の画像が差し替えられていることを認識することが可能となる。もちろん、撮影不能領域として抽出する領域の形状は、矩形や楕円形などに限られるものではなく、画像を差し替えたときに明るさが不自然に変化する境界を認識することが可能な形状であれば十分であり、例えば、任意の多角形や、多角形の角部を丸めた形状とすることも可能である。

このように、画像が差し替えられている部分を認識可能な態様で、原画像と、修正撮影条件の画像とを合成しておけば、画像が合成されていることに気付かずに、事実を誤認してしまう虞を回避することができるという利点が得られる。もちろん、事実を誤認する虞のない場合には、画像が合成されていることを敢えて気付かせる必要はない。むしろ、画像が差し替えられた領域の境界が目立つことで、画像が見づらくなる場合も考えられる。従って、境界が認識可能な態様で表示する設定と、認識困難な態様で表示する設定とを設けておき、必要に応じて切り換えられるようにしても良い。

以上のようにして合成画像の画像データが得られたら、得られた画像データを、制御部１１０のフレームメモリに書き込むことによって、表示部１２０の表示領域１２２に合成画像を表示させた後、図４に示す観察画像表示処理を終了する。

上述したように、本実施例の拡大観察装置１０では、観察対象物Ｗの画像を撮影したときに、例えばハレーション現象などによって画像の一部に、被写体が判別できない部分（撮影不能領域）が存在していた場合でも、その部分で被写体が鮮明に写った画像を速やかに取得して、原画像に合成することにより、鮮明な画像を表示させることが可能となっている。

また、原画像の撮影不能領域で被写体が鮮明に写った画像を撮影する際に、撮像素子の受光量を調整して撮影する場合には、受光量を少しずつ調整するのではなく、一旦、大きく変更して、その結果を元に、適切な調整量を決定している。このため、原画像の撮影不能領域で被写体が鮮明に写る撮影条件を迅速に決定することができ、その結果として、迅速に画像を合成して表示させることが可能となる。

加えて、例えば、ハレーション現象で画像が白く飛んでしまった領域の画像を撮影する場合には、その領域で被写体が鮮明に写っているが、依然として、その領域が明るく写るような撮影条件（すなわち、修正撮影条件）を設定して、画像を撮影する。このため、ハレーション現象で画像が飛んでしまった領域だけ、被写体が判別可能になる程度まで光量を抑制したかのような、自然な印象の画像を合成することが可能となる。また、画像が差し替えられている部分を認識可能な態様で画像を合成しておけば、自然な印象を保ったまま、合成画像であることをハッキリと認識させることができる。このため、合成画像であることに気付かずに、画像のみを見て、事実を誤認してしまう虞も未然に回避することが可能となる。

Ｃ．変形例 ：
以上に説明した実施例では、もっぱら原画像中にハレーション現象が発生している場合に、ハレーション現象のない鮮明な画像を合成する場合について説明した。しかし、本実施例の拡大観察装置１０は、このような場合に限らず、例えば、原画像中に、他の部分の陰になって光量が不足したために、ノイズに埋もれて被写体が写っていない領域が存在している場合にも、被写体が鮮明に写った合成画像を迅速に表示させることが可能である。以下では、このような変形例について簡単に説明する。

図１０は、変形例の拡大観察装置１０において、原画像中に光量が不足して被写体が鮮明に写っていない領域が存在する場合に、合成画像を生成する様子を示した説明図である。図１０に示した原画像では、全体的には鮮明な画像が得られているが、電子部品から延びる端子の下方の部分が電子部品の陰になっており、光量が不足して被写体が鮮明に写っていない領域（撮影不能領域）が発生している。このような場合であれば、光の照明方向を切り換えてやれば、陰になっている部分にも光を当てることができる。そこで、そのような撮影条件（適合撮影条件）を選択したら、更に、陰になっていた部分の光量が適切な目標光量となるように、露光時間などの設定を修正して修正撮影条件を決定する。

変形例の拡大観察装置１０では、次のようにして修正撮影条件を決定する。前述した実施例では、明るすぎて画像が白く飛んでしまった領域を対象としていたので、目標光量は、出力階調値２００に対応するような明るめの光量に設定されていた。これに対して、変形例では、暗すぎて画像がノイズに埋もれてしまった領域を対象としているので、目標光量も暗めの光量（例えば、出力階調値７０に対応する光量）に設定しておく。そして、取り敢えず、陰になっていた部分（撮影不能領域）に光があたる撮影条件（適合撮影条件）での画像を取得して、撮影不能領域内で最も小さな出力階調値を、ピーク光量の階調値として検出する。こうしてピーク光量の出力階調値が得られたら、その出力階調値が、目標光量に対応する出力階調値となるように、適合撮影条件の露光時間を修正すればよい。図１０には、原画像の右隣に、このようにして得られた修正撮影条件での画像が示されている。

次いで、原画像中で陰になっていた部分（撮影不能領域）の画像を、修正撮影条件で撮影した画像中の対応する部分に差し替えることによって、合成画像を生成する。図１０には、このようにして得られた合成画像が示されている。図示されているように、原画像中ではノイズに埋もれてしまっていた領域でも、鮮明に被写体が写っている合成画像を得ることが可能となる。

また、変形例では、撮影不能領域の目標光量は暗めの光量に設定されているので、守勢撮影条件としては、その領域が暗めに写るような撮影条件が設定される。このため、原画像では、陰になっていた部分だけを、被写体が判別可能な程度まで光量を増やしたかのような、自然な印象の画像を得ることが可能となる。もちろん、変形例においても、画像を合成する際に、画像が差し替えられている部分を認識可能な態様で合成してもよい。こうすれば、合成画像であることに気付かずに、画像のみを見て、事実を誤認してしまう虞も未然に回避することが可能となる。

尚、上述したように、適合撮影条件は、原画像で陰になっていた部分（撮影不能領域）に光があたることを第１優先に選択されており、修正撮影条件は、撮影不能領域での光量が適切な光量となるように修正された条件である。従って、修正撮影条件で撮影した画像は、撮影不能領域以外の部分については、良好な画像が得られない場合も生じ得る。例えば、図１０に示した修正撮影条件の画像では、電子部品の端子の部分や、電子部品の肩の部分で光が強く反射して、この部分の画像が白く飛んでしまっている。しかし、このような場合でも、画像の合成には、撮影不能領域の画像のみが用いられるので、良好な合成画像を得ることができる。このため、適切な撮影条件を設定するために、試行錯誤を繰り返す必要がなく、適切な合成画像を迅速に表示させることが可能となる。

以上、本発明について各種の実施の形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各請求項に記載した範囲を逸脱しない限り、各請求項の記載文言に限定されず、当業者がそれらから容易に置き換えられる範囲にも及び、かつ、当業者が通常有する知識に基づく改良を適宜付加することができる。

拡大観察装置１０の構成を示した説明図である。 本実施例の拡大観察装置１０に搭載された光照射部１０２の構成を示す説明図である。 本実施例の拡大観察装置１０の表示部１２０の画面構成を示した説明図である。 本実施例の拡大観察装置１０でハレーション現象のない良好な画像を表示するために行われている処理の流れを示すフローチャートである。 撮像素子で画像を撮影可能な光量範囲と、撮影した画像の中で実際に画像が写っている階調範囲との関係を示した説明図である。 原画像中で撮影不能領域が抽出された様子を例示した説明図である。 制御部１１０に予め記憶されている複数の撮影条件を示した説明図である。 ピーク光量が目標光量となるように適合撮影条件を修正する様子を概念的に示した説明図である。 原画像と、修正撮影条件で撮影した画像とを用いて合成画像を生成している様子を概念的に示した説明図である。 光量が不足して被写体が鮮明に写っていない領域が存在する場合に画像を合成する変形例を概念的に示した説明図である。

符号の説明

１０…拡大観察装置、 １００…画像取得部、 １０２…光照射部、
１０２Ｌ…照射ランプ、
１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄ…照射ランプ群、 １０４…レンズ部、
１０６…カメラ本体部、 １１０…制御部、 １２０…表示部、
１２０ｃ…カーソル、 １２２…表示領域、
１２４、１２４，１２６…ボタン

Claims (7)

1. 所定の観察領域内に置かれた観察対象物の画像を、表示画面上に拡大して表示する拡大観察装置において、
   前記観察領域内に光を照射しながら前記観察対象物の画像を撮影する画像撮影手段と、
   前記撮影した画像を原画像として記憶する原画像記憶手段と、
   前記原画像の中で、画像を撮影可能な所定の光量範囲に受光量が収まらない領域を少なくとも含んだ撮影不能領域を検出する撮影不能領域検出手段と、
   前記画像の撮影条件を予め設定されている他の撮影条件に切り換えることにより、前記撮影不能領域の受光量が前記所定の光量範囲に収まる撮影条件を、適合撮影条件として選択する適合撮影条件選択手段と、
   前記撮影不能領域の受光量が前記所定の光量範囲を超えていた場合には、該所定の光量範囲の上限値に最も近い受光量、または該所定の光量範囲を下回っていた場合には、該所定の光量範囲の下限値に最も近い受光量の、少なくとも一方の受光量であるピーク光量を、前記適合撮影条件で撮影した前記撮影不能領域の画像の中から検出するピーク光量検出手段と、
   前記適合撮影条件の中で、前記画像撮影手段に入射される光量に影響する所定のパラメータを、予め設定されている目標光量と前記検出したピーク光量とに基づいて修正することにより、該適合撮影条件を修正した修正撮影条件を設定する修正撮影条件設定手段と、
   前記記憶されている原画像中の前記撮影不能領域の画像を、前記修正撮影条件で撮影した該撮影不能領域の画像に置き換えることによって、該原画像と該修正撮影条件で撮影した画像とを合成した合成画像を生成する合成画像生成手段と、
   前記生成された合成画像を前記表示画面上に表示する画像表示手段と
   を備えることを特徴とする拡大観察装置。
2. 請求項１に記載の拡大観察装置において、
   前記画像撮影手段は、前記観察領域に複数の方向から光を照射しながら前記観察対象物の画像を撮影可能な手段であり、
   前記適合撮影条件選択手段は、前記観察領域に光を照射する方向を、予め設定されている方向に順次切り換えることによって、前記適合撮影条件を選択する手段である
   ことを特徴とする拡大観察装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の拡大観察装置において、
   前記適合撮影条件選択手段は、前記画像撮影手段に入射される光量の異なる複数の撮影条件を記憶しており、該記憶している撮影条件を順次切り換えることによって、前記適合撮影条件を選択する手段であることを特徴とする拡大観察装置。
4. 請求項１ないし請求項３の何れかに記載の拡大観察装置において、
   前記撮影不能領域検出手段は、前記原画像中の受光量が、画像を撮影可能な所定の光量範囲の上限値を越えている領域を、前記撮影不能領域として検出する手段であり、
   前記適合撮影条件選択手段は、前記画像撮影手段に入射される光量を現状から半分以下の所定比率で減少させる撮影条件を、前記適合撮影条件として選択する手段である
   ことを特徴とする拡大観察装置。
5. 請求項１ないし請求項３の何れかに記載の拡大観察装置において、
   前記撮影不能領域検出手段は、前記原画像中の受光量が、画像を撮影可能な所定の光量範囲の下限値を越えている領域を、前記撮影不能領域として検出する手段であり、
   前記適合撮影条件選択手段は、前記画像撮影手段に入射される光量を現状から二倍以上の所定比率で増加させる撮影条件を、前記適合撮影条件として選択する手段である
   ことを特徴とする拡大観察装置。
6. 請求項１ないし請求項５の何れかに記載の拡大観察装置において、
   前記合成画像生成手段は、前記原画像と、前記置き換えられた前記撮影不能領域の画像との境界を認識可能な態様で、前記合成画像を生成する手段であることを特徴とする拡大観察装置。
7. 請求項１ないし請求項６の何れかに記載の拡大観察装置において、
   前記修正撮影条件設定手段は、前記所定のパラメータとして、前記画像撮影手段が画像を撮影する際の露光時間を修正することにより、前記修正撮影条件を設定する手段であることを特徴とする拡大観察装置。

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