JP5009688B2 - 粉粒体回収装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、切削により採取される粉粒体を分析用試料として精密分析に供するために、当該粉粒体を回収する粉粒体回収装置に関し、より詳細には、例えば、岩石試料または化石試料などの切削対象試料における分析対象領域としての微小部分をマイクロミルによって切削することにより採取される微量の当該分析対象領域を構成する物質の粉粒体を回収するために用いられる粉粒体回収装置に関する。

一般に、岩石試料または化石試料などについては微小領域毎の分析が必要であり、これを行うために、例えば安定同位体質量分析計または高周波誘導結合プラズマ発光−質量分析計などが用いられている。
而して、これらの分析においては、試料である岩石片または化石片などにおける微小な分析対象領域部分を、いわゆるマイクロミルにより切削して当該分析対象領域部分を構成する物質の粉粒体を採取し、これを分析用試料として精密分析に供することが行われている。

ここで、分析対象領域部分とは、例えば分析の目的、試料の種類に応じて任意に決定される、試料における組織構造中における微細な一部の組織に係る領域部分であって、通常、ミクロン単位の極めて微小な領域部分毎に試料が切削され、これにより採取された当該各領域部分に係る粉粒体が独立した分析用試料として分析処理に供される。

而して、ミクロン単位の極めて微細な領域部分をマイクロミルによって切削することにより採取される分析用試料は、例えば、粒子径が１〜１０μｍの範囲内の粉粒体であって、しかも、マイクログラム単位例えば５００μｇ以下の微量のものであり、所定の分析処理を行うためには、採取された粉粒体を高い回収率で回収することが必要とされる。

従来においては、例えば針の先端やスパーテルなどですくい取ることにより粉粒体を回収する方法が利用されているが、このような方法では、人の手で行われると共に一度に回収される量に限界があるので、非効率的であると共に回収率が一定しない、などの問題があり、特に、マイクロミルによって切削されて採取された粉粒体は不可避的に帯電した状態にあるので、静電気の作用によって回収作業自体が困難である、という問題がある。

一方、例えば工業用切削装置においては、切削後の削りかすである粉体を空気吸引して除去あるいは再利用するために回収する粉末回収装置（例えば特許文献１参照）が利用されている。
また、図５に示すような、例えば粉粒体Ｐなどの回収対象物を例えば真空ポンプ４５により空気と共に吸引して回収容器４１内に回収する回収装置４０が知られている。

特公平５−７６３２３号公報

しかしながら、上記のような回収装置は、いずれのものも、主として、グラム単位の比較的多量の粉粒体を回収あるいは除去することを目的とするものであって、例えばマイクロミルによって採取される微量の粉粒体を回収するに際して、このような装置をそのまま適用したのであれば、粉粒体を高い回収率（量的効率）で回収することはできない。
この理由は、上述したように、当該粉粒体は、粒子径が小さく、しかも、静電的に帯電している状態にあるものであるので、例えば図５に示す回収装置４０を用いる場合には、粉粒体導入用の管部材４２や吸引ノズル４３の内面に静電的に付着したり、回収容器４１内において飛散して容器内空間Ｓ３に開口する排気管部４４を介して真空ポンプ４５によって吸引されて排気されたりするためである。
また、特許文献１に開示されている回収装置を用いる場合においても同様に、粉粒体が回収容器内に至る管部材の内面に静電的に付着したり、また、フィルターで濾過して粉粒体を分離回収する構成とされていることから、フィルターに吸着される粉粒体の量が多くなるためである。さらに、この回収装置においては、回収容器内に回収された粉粒体を取り出す必要があることからも、一層、粉粒体の回収率が低くなることが想定され、所定の分析処理を行うために必要とされる十分な量の試料を得ることができない。

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、例えば回収すべき粉粒体が微量であっても、粉粒体を高い回収率で回収することのできる粉粒体回収装置を提供することを目的とする。

本発明の粉粒体回収装置は、粉粒体を空気吸引して回収容器内に回収する粉粒体回収装置において、
弾性体よりなる基材に通気性を有するフィルターが一体に設けられてなる円板状のストッパー部材が一端面に設けられると共に弾性体よりなる円板状のシール部材が他端面に設けられた管状部材と、シール部材およびストッパー部材を気密に貫通して管状部材内をその管軸方向に沿って伸びるよう設けられた導入管と、空気吸引口が管状部材の内部空間内に開口するようシール部材を気密に貫通して伸びるよう設けられた排気管とにより構成された内部粉粒体空気吸引構造体が回収容器内に挿入配置され、更に、蓋体が装着されることにより回収容器の内部空間が気密に密閉されてなり、
前記ストッパー部材によって区画されることにより、ストッパー部材と回収容器の内壁とによって囲まれた、導入管の粉粒体吐出口が開口する粉粒体回収用空間と、前記管状部材の内部空間によって形成される、前記空気吸引口が開口する空気吸引用空間とが形成され、
粉粒体回収用空間内の空気がフィルターを介して上向きに吸引されることにより、粉粒体を含む空気が粉粒体回収用空間に下向きに導入されて粉粒体が当該粉粒体回収用空間内において分離回収されることを特徴とする。

本発明の粉粒体回収装置は、粒子径が４００μｍ以下の範囲内のものであって、１０００μｇ以下の微量の粉粒体を回収するために好適に用いられる。
以上において、本発明の粉粒体回収装置における回収対象物である「粉粒体」は、粒子の大きさが比較的大きい「粒体」および粒子の大きさが小さい「粉体」を含む。また、 「微量の」とは、単に、回収容器内に最終的に回収される粉粒体の量を示すのではなく、空気吸引される粉粒体の全体量自体が微量であることをいう。

また、本発明の粉粒体回収装置においては、下記（１）〜（４）に示すいずれかの構成またはこれらが組み合わされた構成とされていることが好ましい。
（１）導入管を含む、粉粒体導入側の流通路形成部材が静電的に帯電していない状態に維持された構成、具体的には、流通路形成部材における内面の全面にわたって帯電防止膜が形成された構成とされていること。
（２）フィルターの面積Ａ１の、ストッパー部材の面積Ａ２に対する占有率（Ａ１／Ａ２）が１０〜２５％となる構成とされていること。
（３）フィルターが金属焼結体よりなること。
（４）回収容器の底部が円錐台状の内部空間を有し、ストッパー部材がテーパー面に密接状態とされて粉粒体回収用空間が形成された構成とされていること。

本発明の粉粒体回収装置によれば、回収容器内の限定された一部に粉粒体回収用空間が形成されると共に、当該粉粒体回収用空間と空気吸引用空間とが別個に形成されているので、粉粒体回収用空間内において分離された粉粒体が飛散して空気と共に排気されることが防止される結果、例えば分析用試料としての粉粒体を高い回収率（量的効率）で回収することができる。
また、フィルターを介して排気される空気の流れ方向と導入管から吐出される粉粒体を含む空気の流れ方向とが互いに逆方向となる状態（対向状態）とされているので、回収用空間内に導入された粉粒体は、フィルターによって濾過されて捕捉されるのではなく、その自重によって分離されて回収容器の底面に沈降することとなり、フィルターに吸着されて実質的に回収不能となりうる粉粒体の量が低減される。
従って、特に、粒子径が１０μｍ以下の範囲内のものであって、５００μｇ以下の微量の粉粒体を回収する場合に、極めて有用なものとなる。

また、導入管に静電気対策がなされていることにより、粉粒体が導入管の内面に静電的に付着（スタック）することを防止することができるので、粉粒体を一層高い回収率で回収することができる。
特に、例えばマイクロミルによって切削されて採取される、不可避的に帯電された状態にある粉粒体を回収する場合であっても、上記効果が確実に発現されて高い回収率が得られる。

以下、本発明について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の粉粒体回収装置の一例における構成の概略を示す断面図、図２は、図１に示す粉粒体回収装置の分解断面図である。
この粉粒体回収装置は、例えば手で握って保持可能な大きさの回収容器１０と、この回収容器１０内に着脱可能に挿入配置された内部粉粒体空気吸引構造体（内部構造体）２０とを具えてなり、例えば真空ポンプなどの吸引手段３０に接続されて回収対象物である粉粒体Ｐを空気と共に吸引して当該粉粒体Ｐを回収容器１０内に回収するものである。

回収容器１０は、例えば透明ガラスよりなり、円錐台状（すり鉢状）の内部空間を有する底部１２、底部１２に連続する円筒状の胴部１３、および胴部１３に連続する小径の円筒状の頚部１４を有する容器本体１１と、この容器本体１１の頚部１４に螺合されて着脱自在に装着される蓋体（回収作業用）１５とにより構成されている。なお、容器本体１１はガラス製のものに限定されず、例えば透明な樹脂材料からなるものであってもよい。

内部構造体２０は、例えば透明ガラスよりなる直管状の内管２１と、この内管２１の一端側開口を気密に閉塞する円板状のシール部材２２と、内管２１の他端側開口を塞ぐよう設けられた、フィルター２８を具えてなる円板状のストッパー部材２５と、シール部材２２をその厚み方向に気密に貫通して内管２１内をその管軸方向に沿って伸び、さらに、ストッパー部材２５をその厚み方向に気密に貫通して伸びるよう設けられた導入管２３と、シール部材２２をその厚み方向に気密に貫通して伸び、空気吸引口２４Ａが内管２１の内部空間内に開口する状態で設けられた排気管２４とにより構成されている。

シール部材２２は、例えば回収容器２１の容器本体１１における頚部１４と同一の外径寸法を有するゴム製のものであって、蓋体１５の中央開口１５Ａの内面側開口縁部に係止される。

この粉粒体回収装置における粉粒体導入側の流通路形成部材、すなわち導入管２３には、例えば導入管２３における内面の全面にわって帯電防止膜が例えばスプレー塗布により形成されており、これにより、静電的に帯電していない状態に維持されている。
このような静電気対策がなされた構成であることにより、例えばミリングによって不可避的に帯電された状態にある粉粒体が導入管２３の内面に静電的に付着することを確実に防止することができて確実に回収することができる。
導入管２３の内径は、例えば０．３〜１ｍｍであることが好ましい。このような構成であることにより、粉粒体Ｐが導入管２３内にスタックされる、などの問題が生ずることを防止することができて当該粉粒体Ｐを確実に回収することができる。

ストッパー部材２５は、図３に示すように、円柱状のフィルター２８が、例えば制電性ゴムよりなり、内管２１と同一の外径寸法を有する円板状の基材２６にその厚み方向に貫通する状態で一体に設けられて構成されている。
基材２６を構成する材料としては、硬度、シール性、帯電性、加工性などの観点から、例えばブチルゴムを用いることが好ましい。
フィルター２８は、粉粒体（回収対象物）Ｐを通過させない程度の通気性を有するものであれば特に制限されるものではなく、例えば金属焼結体からなるものやガラスフィルターなどにより構成することができるが、所期の形状および性能を有するものを確実に得ることができることから、金属焼結体が好ましい。

このストッパー部材２５においては、後述するように、内部構造体２０が容器本体１１内に配置された状態において容器本体１１の底部１２のテーパー面１２Ａに対向する円環状領域Ｚ１内に、導入管２３の粉粒体吐出口２３Ａが位置されるよう導入管装着用貫通孔２７が形成されていると共に、フィルター２８が容器本体１１の底部１２のテーパー面１２Ａに対向する円環状領域Ｚ１内、具体的には、基材２６の形状中心位置Ｃを挟んで導入管装着用貫通孔２７と径方向に離間した位置に配置されている。なお、図３において、破線で示す円領域Ｚ２は、内部構造体２０が容器本体１１内に配置された状態において平坦な底面１２Ｂに対向する領域（分離された粉粒体Ｐが集められて堆積される領域）を示している。
従って、導入管２３からの空気が直接的にフィルター２８に向かって吐出されない構造、換言すれば、粉粒体Ｐをフィルター２８によって濾過することによりこれを捕捉する構造ではなく、粉粒体Ｐをその自重により沈降させて分離回収する構造とされている。

このストッパー部材２５においては、フィルター２８の面積Ａ１の、ストッパー部材２５の面積Ａ２、具体的には、基材２６の面積に対する占有率（Ａ１／Ａ２）が、例えば１０〜２５％とされていることが好ましい。これにより、十分な通気量が確保されると共に粉粒体Ｐがフィルター２８に吸着されて回収率が低下することを確実に防止することができる。
一方、前記占有率が過大である場合には、粉粒体Ｐがフィルター２８に対して吸着されるおそれが高くなり、また、占有率が過小である場合には、十分な通気性を確保することが困難となる。

上記粉粒体回収装置においては、内部構造体２０が、ストッパー部材２５の内方面（図１における下面）における周縁部が容器本体１１におけるテーパー面１２Ａに対接されると共にシール部材２２の内方面（図１における下面）における周縁部が容器本体１１における頚部１４の開口端面に係止された状態で、容器本体１１内に挿入配置され、この状態においてさらに、蓋体１５が容器本体１１の頚部１４に螺合されて装着されることにより、ストッパー部材２５およびシール部材２２の両者がその厚み方向に押圧されて弾性的に変形され、これにより、ストッパー部材２５が容器本体１１に気密に密着した状態とされ、回収容器１０内の限定された空間、具体的には、ストッパー部材２５と容器本体１１における底部１２の内壁とによって囲まれた空間が、粉粒体導入管２３の吐出口２３Ａが開口する、粉粒体回収用空間Ｓ１とされ、ストッパー部材２５によって内管２１の内部空間により構成される空気吸引用空間Ｓ２と区画された状態とされる。
この粉粒体回収装置においては、内部構造体２０におけるストッパー部材２５の、回収容器１０の軸方向におけるレベル位置は、ストッパー部材２５が容器本体１１のテーパー面１２Ａにおいて密接された状態が得られれば特に制限されるものではなく、すなわち、粉粒体回収用空間Ｓ１の大きさは特に制限されず、目的に応じて適宜に設定することができる。

以下、上記粉粒体回収装置の動作について説明する。
上記粉粒体回収装置は、蓋体１５の中央開口１５Ａを介して外方に突出する、内部構造体２０に係る排気管２４の他端が適宜のチューブ３１により例えば真空ポンプなどの吸引手段３０に接続されて用いられる。
具体的には、内部構造体２０に係る内管２１の内部空間の空気が吸引されることに伴って粉粒体回収用空間Ｓ１内の空気がフィルター２８を介して吸引され、これにより、回収対象物である粉粒体Ｐが空気と共に回収容器１０内に導入され、粉粒体Ｐが自重によって沈降して分離回収されると共に空気がフィルター２８を介して排気される。ここに、空気と分離された粉粒体Ｐは粉粒体回収用空間Ｓ１を区画する底部１２のテーパー面１２Ａの作用によって平坦な底面１２Ｂ部に集められる。
回収すべき粉粒体Ｐのすべてが空気吸引されて回収された後においては、内部構造体２０が取り外され、回収された粉粒体Ｐを別の容器に移し替えることなく、そのまま所定の分析処理に供される、あるいは、開口を有さない蓋体（保管用）が装着されて保存される。

而して、上記構成の粉粒体回収装置によれば、回収容器１０内の限定された一部の領域、すなわち円錐台状の内部空間を有する容器本体１１の底部１２に粉粒体回収用空間Ｓ１が形成されると共に内部構造体２０に係る内管２１の内部空間が空気吸引用空間Ｓ２として利用されることにより、粉粒体回収用空間Ｓ１と空気吸引用空間Ｓ２とが回収容器１０内において別個に形成されているので、粉粒体回収用空間Ｓ１内において分離された粉粒体Ｐが飛散して空気と共に排気されることが防止されると共に回収容器の内壁面の広範囲にわたって付着することが防止される結果、例えば分析用試料としての粉粒体Ｐを高い回収率（量的効率）で回収することができる。
また、フィルター２８を介して排気される空気の流れ方向（図１において上方向）と導入管２３から吐出される粉粒体Ｐを含む空気の流れ方向（図１において下方向）とが互いに逆方向となる状態（対向状態）とされており、しかも、導入管２３からの空気が容器本体１１の底部１２のテーパー面１２Ａに向かって吐出される構成とされているので、粉粒体回収用空間Ｓ１内に導入された粉粒体Ｐは、その自重によって分離されて回収容器１０の底面１２Ｂに沈降することとなり、また、導入される空気が、分離された粉粒体Ｐに直接的に吹き付けられてこれを飛散させることが防止されるので、フィルター２８に吸着されて実質的に回収不能となりうる粉粒体の量（ロス）を低減することができる。
さらに、導入管２３における内面の全面にわたって帯電防止膜が形成されることによって静電気対策がなされていることにより、粉粒体Ｐが導入管２３の内面に静電的に付着（スタック）することを防止することができるので、粉粒体Ｐを一層高い回収率で回収することができる。

さらにまた、容器本体１１および内部構造体２０に係る内管２１が内部を視認可能に構成されていることにより、粉粒体回収用空間Ｓ１内に分離回収された粉粒体Ｐの状態に基づいて回収容器１０の気密性（内部構造体２０の装着状態）の確認等を行うことができるので、内部構造体２０が上記作用効果が確実に発現される適正な状態に配置された状態で回収作業を行うことができる。

以上の粉粒体回収装置は、例えば粒子径が４００μｍ以下の範囲内にあるものであって、１０００μｇ以下の微量の粉粒体（分析用粉末試料）を回収する場合などにおいて好適に用いることができるが、特に例えばマイクロミルによって切削されて採取される、粒子径が例えば１〜１０μｍの範囲内、主に１〜５μｍ程度の範囲内にあるものであって、５００μｇ以下具体的には例えば５〜１００μｇの微量の粉粒体Ｐであり、さらに不可避的に帯電された状態にある粉粒体（分析用粉末試料）を回収する場合に極めて有用なものとなる。

以下、本発明の効果を確認するために行った実験例を示す。
図１に示す構成に従って、本発明に係る粉粒体回収装置を作製した。具体的な構成は以下に示すとおりである。
容器本体（１１）：材質；透明ガラス，最大内径（胴部の内径寸法）；φ７ｍｍ，最大外径（胴部の外径寸法）；φ１３ｍｍ，長さ（図１における上下方向寸法）；４１．５ｍｍ、
内管（２１）：材質；透明ガラス，外径；φ６ｍｍ，内径；φ４ｍｍ，長さ；２９ｍｍ、
シール部材（２２）：材質；ブチルゴム，直径；φ１１ｍｍ，厚み；３ｍｍ、
導入管（２３）：材質；ステンレス鋼，内径；φ０．８ｍｍ，外径；φ１．２ｍｍ，内面全面に（材質）半導体皮膜よりなる帯電防止膜が形成、
排気管（２４）：材質；ステンレス鋼，内径；φ１．０ｍｍ，外径；φ１．４ｍｍ、
ストッパー部材の基材（２６）：材質；ブチルゴム，直径；φ６ｍｍ，厚み；３ｍｍ、
フィルター（２８）：材質；粒径が約１μｍのＳＵＳ異形粉からなる金属焼結体，濾過径；約０．５μｍ，直径；φ２ｍｍ（占有率１１．１％），厚み；３ｍｍ、
粉粒体回収用空間（Ｓ１）の容積；４７ｍｍ³
吸引手段（３０）：排気能力が５リットル／ｍｉｎである真空ポンプ

＜実験例１＞
回収対象物として、平均粒径が２μｍであり、比重が２．７である標準粉末試料をマイクロ天秤で秤量して３６μｇ用意し、上記粉粒体回収装置による回収試験を行ったところ、回収容器内に回収された標準粉末試料は３４μｇであり、９４％の回収率で回収することができることが確認された。

＜実験例２＞
標準粉末試料の量を２１４μｇに変更して実験例１と同様の回収試験を行ったところ、回収容器内に回収された標準粉末試料は１９９μｇであり、９１％の回収率で回収することができることが確認された。

＜実験例３＞
標準粉末試料の量を４４１μｇに変更して実験例１と同様の回収試験を行ったところ、回収容器内に回収された標準粉末試料は４２０μｇであり、９５％の回収率で回収することができることが確認された。

以上の結果から明らかなように、本発明に係る粉粒体回収装置によれば、粒子径が小さく、かつ、微量の粉粒体を回収する場合であっても、粉粒体を高い回収率で回収することができることが確認された。
また、静電的に帯電している状態の粉末試料を用いて同様の回収試験を行ったところ、いずれの場合においても、粉末試料を９１％以上の高い回収率で回収することができることが確認された。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、本発明においては、回収容器内において粉粒体回収用空間と空気吸引用空間とがフィルターを有するストッパー部材によって区画されて別個に形成された構成とされていればよく、例えば、回収容器の構成は上記形態のものに限定されるものではなく、図４に示す構成のものであってもよい。この回収容器３５においては、上記内部構造体が、ストッパ部材の周面が回収容器３５の内面に気密に密着する状態で、回収容器３５内に挿入配置され、これにより、回収容器３５の底部壁とストッパー部材とにより囲まれた空間が粉粒体回収用空間とされる。
また、各構成部材の寸法等の具体的な構成は、目的に応じて適宜に設定することができる。
さらにまた、導入管に対してなされる静電気対策としては、例えば導入管にアースをとることによって除電（静電的に帯電していない状態に維持）するようにしてもよい。

本発明の粉粒体回収装置の一例における構成の概略を示す断面図である。 図１に示す粉粒体回収装置の分解断面図である。 ストッパー部材の一構成例を示す平面図である。 本発明の粉粒体回収装置を構成する回収容器の他の構成例を概略的に示す断面図である。 従来における回収装置の一例における構成の概略を示す説明図である。

符号の説明

１０ 回収容器
１１ 容器本体
１２ 底部
１２Ａ テーパー面
１２Ｂ 底面
１３ 胴部
１４ 頚部
１５ 蓋体
１５Ａ 中央開口
２０ 内部粉粒体空気吸引構造体（内部構造体）
２１ 内管
２２ シール部材
２３ 導入管
２３Ａ 粉粒体吐出口
２４ 排気管
２４Ａ 空気吸引口
２５ ストッパー部材
２６ 基材
２７ 導入管装着用貫通孔
２８ フィルター
３０ 吸引手段
３１ チューブ
３５ 回収容器
Ｐ 粉粒体
Ｚ１ 円環状領域
Ｚ２ 円領域
Ｃ 形状中心位置
Ｓ１ 粉粒体回収用空間
Ｓ２ 空気吸引用空間
４０ 回収装置
４１ 回収容器
４２ 管部材
４３ 吸引ノズル
４４ 排気管部
４５ 真空ポンプ
Ｓ３ 容器内空間

Claims (7)

1. 粉粒体を空気吸引して回収容器内に回収する粉粒体回収装置において、
   弾性体よりなる基材に通気性を有するフィルターが一体に設けられてなる円板状のストッパー部材が一端面に設けられると共に弾性体よりなる円板状のシール部材が他端面に設けられた管状部材と、シール部材およびストッパー部材を気密に貫通して管状部材内をその管軸方向に沿って伸びるよう設けられた導入管と、空気吸引口が管状部材の内部空間内に開口するようシール部材を気密に貫通して伸びるよう設けられた排気管とにより構成された内部粉粒体空気吸引構造体が回収容器内に挿入配置され、更に、蓋体が装着されることにより回収容器の内部空間が気密に密閉されてなり、
   前記ストッパー部材によって区画されることにより、ストッパー部材と回収容器の内壁とによって囲まれた、導入管の粉粒体吐出口が開口する粉粒体回収用空間と、前記管状部材の内部空間によって形成される、前記空気吸引口が開口する空気吸引用空間とが形成され、
   粉粒体回収用空間内の空気がフィルターを介して上向きに吸引されることにより、粉粒体を含む空気が粉粒体回収用空間に下向きに導入されて粉粒体が当該粉粒体回収用空間内において分離回収されることを特徴とする粉粒体回収装置。
2. 粒子径が４００μｍ以下の範囲内のものであって、１０００μｇ以下の微量の粉粒体を回収するために用いられることを特徴とする請求項１に記載の粉粒体回収装置。
3. 導入管を含む、粉粒体導入側の流通路形成部材が静電的に帯電していない状態に維持されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の粉粒体回収装置。
4. 流通路形成部材における内面の全面にわたって帯電防止膜が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の粉粒体回収装置。
5. フィルターの面積Ａ１の、ストッパー部材の面積Ａ２に対する占有率（Ａ１／Ａ２）が１０〜２５％であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の粉粒体回収装置。
6. フィルターが金属焼結体よりなることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の粉粒体回収装置。
7. 回収容器の底部が円錐台状の内部空間を有し、ストッパー部材がテーパー面に密接状態とされ、粉粒体回収用空間が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の粉粒体回収装置。

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