JP7126368B2 - 粉体回収装置および粉体回収方法 - Google Patents

Description

本発明は、気体と粉体との固気二相状態から、粉体を回収する粉体回収装置および粉体回収方法に関し、特に、粉体のうち、サブミクロンオーダの粉体を高い回収率で回収する粉体回収装置および粉体回収方法に関する。

現在、酸化物微粒子、窒化物微粒子、および炭化物微粒子等の微粒子は、半導体基板、プリント基板、各種電気絶縁部品等の電気絶縁材料、切削工具、ダイス、軸受等の高硬度高精度の機械工作材料、湿度センサ等の機能性材料、精密焼結成形材料等の焼結体の製造、エンジンバルブ等の高温耐摩耗性が要求される材料等の溶射部品製造、更には燃料電池の電極、電解質材料および各種触媒等の分野で用いられている。このような微粒子を用いることにより、焼結体および溶射部品等における異種セラミックス同士または異種金属同士の接合強度および緻密性、更には機能性を向上させている。

上述の微粒子は、各種のガス等を高温で化学反応させる化学的方法、または電子ビームもしくはレーザ等のビームを照射して物質を分解・蒸発させ、微粒子を生成する物理的方法等により製造される。上述の製造方法で、製造された微粒子は、製造直後は粉体と気体との固気二相状態となっており、上述の用途に微粒子を利用するに際して、気体と分離して粉体を回収する必要がある。
そこで、気体と粉体とを分離するものとして、バグフィルタを用いたもの、サイクロンを用いたもの等、各種の方式の粉体回収装置が利用されている。

例えば、特許文献１には、含塵ガスを濾布室に導入するダクトのダストが溜まり易いダクトの上向き屈曲部やダクトの立上り部の下部にダスト溜まりと、上記ダスト溜まりと濾布室下部のダストホッパとの間に、ダスト排出弁を有するダスト排出管が設けられているバグフィルタ式集塵装置を用いて、上記ダスト溜まりに堆積したダストの排出を、ダストホッパからの通常のダスト排出に連動させて自動的に行うことが記載されている。
また、特許文献２のような円錐形の壁布が設けられたサイクロン型の集塵器もある。

特開２０１７－０００９２９号公報 実開昭５０－０４４９７４号公報

上述の特許文献１のバグフィルタ式集塵装置、および特許文献２のサイクロン型の集塵器は、いずれも気体と粉体とに分離することができるが、一般に粒径が小さくなるほど回収が難しくなることが知られている。最近では、特にサブミクロンオーダの微粉体の回収率の更なる向上が望まれている。

本発明の目的は、サブミクロンオーダの粉体の回収率が高い粉体回収装置および粉体回収方法を提供することにある。

上述の目的を達成するために、本発明は、粒子径が１μｍ以下である粉体と気体との固気二相状態から、粉体を分離する粉体回収装置であって、一方の端に開口部を有する容器と、容器の中央部に配置され、粉体を容器の底部に供給する供給管と、開口部に対向する底面に接続され容器を底面に垂直な軸を回転軸として回転させる駆動部と、容器の開口部側から気体を回収する気体回収部とを有し、駆動部により、容器を回転させ、粉体を容器の内壁で回収して気体と粉体を分離して粉体を回収することを特徴とする粉体回収装置を提供するものである。

容器の開口部に設けられ、供給管が通る開口を有する蓋と、容器内、かつ供給管の周囲に設けられる円板状の中板とのうち、少なくとも一方が設けられていることが好ましい。
蓋と、中板とが設けられていることがより好ましい。
中板は、供給管の軸線に沿って、複数設けられていることが好ましい。
供給管に接続され、粉体を、供給管を経て容器内に供給する供給部を有することが好ましい。
粉体は、画像法による面積相当の粒子径が１μｍ以下であり、好ましくは１００ｎｍ以下であり、さらに好ましくは１～１００ｎｍである。

本発明は、粒子径が１μｍ以下である粉体と気体との固気二相状態から、粉体を分離する粉体回収方法であって、一方の端に開口部を有する容器を、開口部と対向する底面に垂直な軸を回転軸として回転させ、容器が回転している間に、容器の中央部に配置された供給管により、粉体を容器の底部に供給し、粉体を容器の内壁で回収することを特徴とする粉体回収方法を提供するものである。
容器の開口部に設けられ、供給管が通る開口を有する蓋と、容器内、かつ供給管の周囲に設けられる円板状の中板とのうち、少なくとも一方が設けられていることが好ましい。
蓋と、中板とが設けられていることが好ましい。
中板は、供給管の軸線に沿って、複数設けられていることが好ましい。
粉体は、画像法による面積相当の粒子径が１μｍ以下であり、好ましくは１００ｎｍ以下であり、さらに好ましくは１～１００ｎｍである。

本発明によれば、微粉体の回収率が高い粉体回収装置を提供することができ、特にサブミクロンオーダの微粉体の回収率が優れた粉体回収装置および粉体回収方法を提供することができる。

本発明の実施形態の粉体回収装置の第１の例を示す模式図である。 本発明の実施形態の粉体回収装置の第２の例を示す模式図である。 本発明の実施形態の粉体回収装置の第３の例を示す模式図である。 本発明の実施形態の粉体回収装置の第４の例を示す模式図である。 本発明の実施形態の粉体回収装置の第５の例を示す模式図である。 実施例に用いたシリカのＳＥＭによる観察結果を示す模式図である。

以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の粉体回収装置および粉体回収方法を詳細に説明する。
本発明の粉体回収装置は、気体と粉体との固気二相状態から、粉体を回収するものである。粉体回収装置は、粒子径が１μｍ以下である粉体と気体との固気二相状態から、粉体を分離するものである。本発明の粉体回収装置は、粉体は粒子径が小さいもの、特に粒子径がサブミクロンオーダの粉体に適しており、画像法による面積相当の粒子径が１μｍ以下であり、好ましくは１００ｎｍ以下であり、さらに好ましくは１～１００ｎｍである。

図１は本発明の実施形態の粉体回収装置の第１の例を示す模式図である。
例えば、図１に示す粉体回収装置１０は、一方の端に開口部１２ａを有する容器１２と、容器１２の中央部に配置され、粉体Ｐｓを容器１２の底部１２ｂに供給する供給管１４と、開口部１２ａに対向する底部１２ｂの底面１２ｅに接続され容器１２を、容器１２の底部１２ｂの底面１２ｅに垂直な軸Ｃｂを回転軸として回転させる駆動部１６とを有する。粉体回収装置１０は、粉体Ｐｓから分離された気体を回収する気体回収部１８に接続されている。

容器１２は、円筒状であり、上述のように一方の端が開口しており、一方の端に開口部１２ａを有し、他方の端が閉塞されて底部１２ｂが構成されている。
供給管１４は、その軸線Ｃを容器１２の底部１２ｂの底面１２ｅの中心（図示せず）に一致させて配置されている。例えば、供給管１４の軸線Ｃと、容器１２の底部１２ｂの底面１２ｅの中心を通り、かつ底部１２ｂの底面１２ｅに垂直な軸Ｃｂとを一致させて、供給管１４と容器１２とが配置されている。
また、供給管１４は、底部１２ｂと対向する端部に開口１４ｂが形成されている。一方、上部１４ａには接続管２１を介して供給部２０が接続されている。

供給管１４の軸線Ｃと、容器１２の底部１２ｂの底面１２ｅに垂直な軸Ｃｂと、駆動軸１７の軸線Ｃｓとを一致させて、容器１２の底板１３（底面１２ｅ）に駆動軸１７が接続されている。駆動軸１７は駆動部１６に接続されている。この構成により、駆動部１６により容器１２を、容器１２の底部１２ｂの底面１２ｅに垂直な軸Ｃｂを回転軸として回転させることができる。すなわち、駆動部１６により容器１２が、上述の容器１２の軸Ｃｂを回転軸として回転される。
なお、容器１２を回転させる構成としたが、これに限定されるものではなく、供給管１４を、軸線Ｃを回転軸として回転させる構成でもよい。さらには、容器１２および供給管１４の両方を回転させる構成でもよい。この場合、容器１２と供給管１４とは回転方向を互いに同じ、または逆にする。

容器１２と供給管１４とは、例えば、ケーシング１９内に収納されており、密閉空間に配置されている。粉体Ｐｓの分離は、ケーシング１９の内部１９ａ、すなわち、密閉空間内で行われる。
ケーシング１９の内部１９ａは、例えば、大気雰囲気であり、圧力も大気圧である。
ケーシング１９の内部１９ａは、大気雰囲気に限定されるものではなく、窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス雰囲気とすることもでき、ケーシング１９内に旋回流ができるような条件であれば、陽圧でも陰圧でもケーシング１９の内部１９ａの雰囲気を適宜変更することができる。

供給部２０は、粉体Ｐｓを気体との固気二相状態で、容器１２の内部１２ｄに供給するものである。供給部２０は、粉体Ｐｓを気体とともに、接続管２１を介して供給管１４に供給する。供給管１４の開口１４ｂから粉体Ｐｓが気体とともに容器１２の内部１２ｄに供給され、この状態で容器１２を回転させる。

供給部２０は、特定の装置である必要はなく、気体に粉体が分散した固気二相状態を生成するものであれば、限定されない。例えば、各種の粉体製造設備、または粉塵が発生する設備等が挙げられる。

気体回収部１８は、例えば、バグフィルタ２２と、ブロワ２４とで構成される。バグフィルタ２２は、ケーシング１９の上面１９ｂに接続された接続管２５に接続されている。ブロワ２４によりバグフィルタ２２の内部が吸引されて、粉体回収装置１０で回収しきれなかった粉体を含む気体が接続管２５を経てバグフィルタ２２に到達し、バグフィルタ２２にて粉体回収装置１０で回収しきれなかった粉体を捕集する。
また、実験等により粉体回収装置１０で回収しきれなかった粉体が無視できるものであれば、バグフィルタ２２を省略することもできる。

粉体回収装置１０は、駆動部１６により容器１２が、上述の容器１２の軸Ｃｂを回転軸として回転される。容器１２の内部１２ｄに粉体Ｐｓが気体とともに、固気二相状態で供給される。このとき、容器１２に発生する遠心力により、気体よりも密度が大きい粉体が容器１２の内壁１２ｃに向って移動して内壁１２ｃで粉体が回収される。
容器１２の内壁１２ｃで回収された粉体は、ケーシング１９をあけて、容器１２から取り出す。
なお、例えば、容器１２の内壁１２ｃに密着する袋（図示せず）を予め設けておくことにより、粉体を袋内に回収でき、袋を取り出すことにより、粉体をまとめて回収することができる。

回収率とは、容器１２で回収された粉体と、粉体回収装置１０の容器１２で回収しきれずバグフィルタ２２で捕集された粉体との合計質量に対する容器１２で回収された粉体の割合のことである。容器１２で回収された粉体の占める量が多ければ多い程、粉体の回収率が高いことになる。
また、バグフィルタ方式はろ布の交換が必要であることに対して、本発明の粉体回収装置ではろ布の交換が不要であるため、メンテナンス性も良好であり、ろ布からのコンタミネーションもないため有利である。

次に、粉体回収装置の第２の例について説明する。
粉体回収装置１０は図１に示す構成に限定されるものではない。例えば、図２に示す粉体回収装置１０ａでもよい。
図２は本発明の実施形態の粉体回収装置の第２の例を示す模式図である。
図２に示す粉体回収装置１０ａにおいて、図１に示す粉体回収装置１０と同一構成物には、同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図２に示す粉体回収装置１０ａは、図１に示す粉体回収装置１０に比して、容器１２の開口部１２ａに、供給管１４が通る開口２８ａを有する蓋２８が設けられている点が異なり、それ以外の構成は図１に示す粉体回収装置１０と同様の構成である。図２に示す粉体回収装置１０ａは、図１に示す粉体回収装置１０と同じ効果を得ることができる。

粉体回収装置１０ａでは、粉体Ｐｓが気体とともに固気二相状態で供給された場合、容器１２の、上述の容器１２の軸Ｃｂを回転軸とする回転により、容器１２の内壁１２ｃに粉体（図示せず）が回収され、気体が開口２８ａを経て開口部１２ａに移動する。このとき、容器１２の内部１２ｄに存在する粉体が開口部１２ａに移動しても、粉体は蓋２８により規制され、粉体のバグフィルタ２２への移動が抑制される。このように、容器１２の開口部１２ａに蓋２８を設けることにより、粉体のバグフィルタ２２への移動が抑制され、粉体の回収率を向上させることができる。
なお、蓋２８の開口２８ａの形状は、粉体のバグフィルタ２２への移動を抑制する観点から供給管１４の外形状と相似であることが好ましい。また、開口２８ａの内径は、小さい方が粉体のバグフィルタ２２への移動を規制できるため好ましい。容器１２と供給管１４とは相対的に回転するため、蓋２８と供給管１４との接触を避けるために開口２８ａと供給管１４とは隙間がある必要があり、開口２８ａの内径は、供給管１４の外径よりも大きい必要がある。

次に、粉体回収装置の第３の例について説明する。
図３は本発明の実施形態の粉体回収装置の第３の例を示す模式的断面図である。
図３に示す粉体回収装置１０ｂにおいて、図１に示す粉体回収装置１０と同一構成物には、同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図３に示す粉体回収装置１０ｂは、図１に示す粉体回収装置１０に比して、中板３０が設けられている点が異なり、それ以外の構成は図１に示す粉体回収装置１０と同様の構成である。図３に示す粉体回収装置１０ｂは、図１に示す粉体回収装置１０と同じ効果を得ることができる。

中板３０は、容器１２の内部１２ｄに設けられ、かつ供給管１４の周囲に設けられるものである。粉体のバグフィルタ２２への移動を抑制する観点から中板３０の外形状は、容器１２の内形状と相似であることが好ましい。このため、容器１２が円筒状であることから、中板３０は、外形が円の部材で構成される。中板３０は、例えば、円板状の部材で構成される。
中板３０の素材は、粉体Ｐｓおよび容器１２の内部１２ｄの気体と反応しないものであれば、特に限定されるものではない。供給管１４が回転する場合には、回転の容易さから、比重の小さい材料で構成することが好ましい。また、中板３０は薄い方が好ましい。

また、中板３０の外径は、大きい方が粉体のバグフィルタ２２への移動を規制できるため好ましい。しかしながら、容器１２と供給管１４とは相対的に回転するため、中板３０の外周と、容器１２の内壁１２ｃとの接触を避けるために中板３０の外周と、容器１２の内壁１２ｃとは隙間がある必要があり、中板３０の外径は、容器１２の内径よりも小さい必要がある。
また、中板３０を設ける位置は、容器１２の開口部１２ａと底部１２ｂとの間であれば、特に限定されるものではない。

粉体回収装置１０ｂでは、粉体Ｐｓが気体とともに固気二相状態で供給された場合、容器１２の、上述の容器１２の軸Ｃｂを回転軸とする回転により、容器１２の内壁１２ｃに粉体（図示せず）が回収され、気体が、蓋２８の開口２８ａを経て開口部１２ａに移動する。このとき、容器１２の内部１２ｄに存在する粉体が開口部１２ａに移動しても、粉体は中板３０により規制され、粉体のバグフィルタ２２への移動が抑制される。このように、中板３０を設けることにより、粉体のバグフィルタ２２への移動が抑制され、粉体の回収率を向上させることができる。

次に、粉体回収装置の第４の例について説明する。
図４は本発明の実施形態の粉体回収装置の第４の例を示す模式的断面図である。
図４に示す粉体回収装置１０ｃにおいて、図１に示す粉体回収装置１０と同一構成物には、同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図４に示す粉体回収装置１０ｃは、図１に示す粉体回収装置１０に比して、蓋２８と中板３０が設けられている点が異なり、それ以外の構成は図１に示す粉体回収装置１０と同様の構成である。図４に示す粉体回収装置１０ｃは、図１に示す粉体回収装置１０と同じ効果を得ることができる。
粉体回収装置１０ｃの蓋２８は、上述の第２の例の粉体回収装置１０ａの蓋２８と同じ構成であり、粉体回収装置１０ｃの中板３０は、上述の第３の例の粉体回収装置１０ｂの中板３０と同じ構成であるため、その詳細な説明は省略する。
粉体回収装置１０ｃでは、蓋２８と中板３０とにより、容器１２の内部１２ｄの粉体のバグフィルタ２２への移動が更に抑制される。これにより、粉体の回収率を更に向上させることができる。

次に、粉体回収装置の第５の例について説明する。
図５は本発明の実施形態の粉体回収装置の第５の例を示す模式的断面図である。
図５に示す粉体回収装置１０ｄにおいて、図１に示す粉体回収装置１０と同一構成物には、同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図５に示す粉体回収装置１０ｄは、図１に示す粉体回収装置１０に比して、供給管１４の軸線Ｃに沿って、複数の中板３０が設けられている点が異なり、それ以外の構成は図１に示す粉体回収装置１０と同様の構成である。図５に示す粉体回収装置１０ｄは、図１に示す粉体回収装置１０と同じ効果を得ることができる。

粉体回収装置１０ｄは、供給管１４の軸線Ｃに沿って、例えば、４つの中板３０が設けられている。なお、粉体回収装置１０ｄの中板３０は、上述の第３の例の粉体回収装置１０ｂの中板３０と同じ構成であるため、その詳細な説明は省略する。粉体回収装置１０ｄに示すように中板３０を複数設けてもよい。
粉体回収装置１０ｄのように、複数の中板３０を設けた場合でも、上述の第２の例の粉体回収装置１０ａ（図２参照）のように蓋２８（図２参照）を設ける構成としてもよい。蓋２８（図２参照）を設けることにより、容器１２の内部１２ｄの粉体のバグフィルタ２２への移動が更に抑制される。これにより、粉体の回収率を更に向上させることができる。

上述の第１の例～第５の例の粉体回収装置においては、容器の回転数が大きい程、容器内での粉体と気体との分離状態が良好になり、回収率が向上する。このため、容器の回転数が大きいことが好ましい。
また、上述の第１の例～第５の例の粉体回収装置においては、粉体Ｐｓの供給量が少ない程、容器内での粉体と気体との分離状態が良好になり、回収率が向上する。このため、粉体Ｐｓの供給量は少ないことが好ましいが、粉体Ｐｓの供給量が少ないと、単位時間当りの処理量が少なくなる。
粉体Ｐｓは、画像法による面積相当の粒子径が１μｍ以下であれば、特に限定されるものではなく、例えば、シリカ、カーボンブラック等である。なお、上述のように粉体Ｐｓは、画像法による面積相当の粒子径が１００ｎｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは１～１００ｎｍである。つまり、本願でいう「サブミクロンオーダ」とは、画像法による面積相当の粒子径が１μｍ以下のものを指す。

本発明は、基本的に以上のように構成されるものである。以上、本発明の粉体回収装置および粉体回収方法について詳細に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。
例えば、容器１２の内壁１２ｃは、パンチングメタルまたは網状の素材で製作することもできる。その場合は、容器１２の内壁１２ｃで回収された粉体は、さらに遠心力によりパンチングメタル等の空隙を通過して、ケーシング１９の内壁に移動する。このようにすれば回収に寄与する場所が増えることで回収量を増やせるだけでなく、回転する容器１２よりも回転しないケーシング１９の内壁から運転中に粉体を回収することが容易であるため、連続運転が可能となる。

以下に実施例を挙げて本発明の特徴をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、物質量とその割合、および、操作等は本発明の趣旨から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下の実施例に限定されるものではない。
本実施例では、実施例１～５および比較例１について、シリカの回収率を評価した。シリカの回収率の結果を下記表１に示す。シリカには、Carplex（登録商標） #67（製品名 ＤＳＬ．ジャパン株式会社製）を用いた。シリカは、ＢＥＴ法を用いて得られたＢＥＴ径で、粒子径が７．５ｎｍである。図６に実施例に用いたシリカのＳＥＭによる観察結果を示す。これより、本粉体の画像法による平均粒子径は１μｍ以下であることがわかる。

一部参考のために、実施例１、実施例３および比較例１では小麦粉の回収率を評価した。これを参考例１～３として、小麦粉の回収率の結果を下記表２に示す。小麦粉には質量粒子径６４μｍのものを用いた。
なお、シリカおよび小麦粉は、いずれもキャリアガスに空気を用い、シリカおよび小麦粉を空気とともに容器内に供給した。
回収率Ｒｃ（％）は、バグフィルタで回収された粉体Ｐｆの量Ｄｆ（ｇ）と、容器で回収された粉体Ｐｃの量Ｄｃ（ｇ）との合計を１００として、容器で回収された粉体Ｐｃの量Ｄｃ（ｇ）の割合を示す値である。すなわち、Ｒｃ（％）＝Ｄｃ／（Ｄｆ＋Ｄｃ）で求めた値である。

以下、実施例１～５および比較例１を説明する。
実施例１～５は、容器の大きさを同じ大きさとし、大きさを統一した。また、実施例１～５は、シリカの供給量、容器の回転数、およびブロワの流量も同じとし、統一した条件で粉体と気体の分離を実施した。容器の回転数は６７００ｒｐｍとした。
なお、小麦粉の供給量も実施例１（参考例１）、実施例３（参考例２）および比較例１（参考例３）で同じとした。
（実施例１）
実施例１は、図１に示す構成の粉体回収装置とした。実施例１は蓋がない構成である。
（実施例２）
実施例２は、図２に示す構成の粉体回収装置とした。実施例２は蓋がある構成である。
（実施例３）
実施例３は、図３に示す構成の粉体回収装置とした。実施例３は、蓋がないが、中板が１つある構成である。

（実施例４）
実施例４は、図３に示す構成の粉体回収装置において、中板を２つ設けた構成とした。実施例４は、蓋がないが、中板が２つある構成である。
（実施例５）
実施例５は、図４に示す構成の粉体回収装置とした。実施例５には蓋があり、かつ中板が１つある構成である。
（比較例１）
比較例１には、サイクロン方式の粉体回収装置を用いた。

上記表１に示すように、実施例１～５は、サイクロン方式の比較例１に比して、シリカの回収率が高い。
表２に示すように、小麦粉でも、参考例１（実施例１）および参考例２（実施例３）は、参考例３（比較例１）よりも回収率が高い。
シリカと小麦粉との回収率の結果から、粒子径が小さいシリカの方が、回収率の向上の効果が大きいことから、本発明は、粒子径が小さい方に適しており、回収率の向上の効果が顕著である。
実施例１～５から、回収率は、実施例１（蓋なし）＜実施例３、４（中板あり）＜実施例２（蓋あり）＜実施例５（蓋あり、中板あり）であった。蓋と中板がある構成が、回収率が優れていた。

１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ 粉体回収装置
１２ 容器
１２ａ 開口部
１２ｂ 底部
１２ｃ 内壁
１２ｄ 内部
１２ｅ 底面
１３ 底板
１４ 供給管
１６ 駆動部
１７ 駆動軸
１８ 気体回収部
１９ ケーシング
２０ 供給部
２１、２５ 接続管
２２ バグフィルタ
２４ ブロワ
２８ 蓋
３０ 中板
Ｃ、Ｃｓ 軸線
Ｃｂ 軸
Ｐｓ 粉体

Claims (11)

1. 粒子径が１μｍ以下である粉体と気体との固気二相状態から、前記粉体を分離する粉体回収装置であって、
   一方の端に開口部を有する容器と、
   前記容器の中央部に配置され、前記粉体を前記容器の底部に供給する供給管と、
   前記開口部に対向する底面に接続され前記容器を前記底面に垂直な軸を回転軸として回転させる駆動部と、
   前記容器の前記開口部側から前記気体を回収する気体回収部と、
   前記容器と前記供給管とを収納するケーシングとを有し、前記粉体が気体とともに前記容器の内部に供給され、前記ケーシングの内部は圧力が大気圧であり、
   前記粉体が前記気体とともに前記容器の前記内部に供給された状態で前記駆動部により、大気圧下で前記容器を回転させ、前記粉体を前記容器の内壁で回収して前記気体と前記粉体を分離して前記粉体を回収することを特徴とする粉体回収装置。
2. 前記容器の前記開口部に設けられ、前記供給管が通る開口を有する蓋と、
   前記容器内、かつ前記供給管の周囲に設けられる円板状の中板とのうち、少なくとも一方が設けられている請求項１に記載の粉体回収装置。
3. 前記蓋と、前記中板とが設けられている請求項２に記載の粉体回収装置。
4. 前記中板は、前記供給管の軸線に沿って、複数設けられている請求項２または３に記載の粉体回収装置。
5. 前記供給管に接続され、前記粉体を、前記供給管を経て前記容器内に供給する供給部を有する請求項１～４のいずれか１項に記載の粉体回収装置。
6. 前記粉体は、画像法による面積相当の粒子径が１μｍ以下である請求項１～５のいずれか１項に記載の粉体回収装置。
7. 粒子径が１μｍ以下である粉体と気体との固気二相状態から、前記粉体を分離する粉体回収方法であって、
   一方の端に開口部を有する容器を、前記開口部と対向する底面に垂直な軸を回転軸として回転させ、前記容器が回転している間に、前記容器の中央部に配置された供給管により、前記粉体を前記容器の底部に供給し、前記粉体を前記容器の内壁で回収するものであり、
   前記容器と前記供給管とを収納するケーシングを有し、前記粉体が気体とともに前記容器の内部に供給され、前記ケーシングの内部は圧力が大気圧であり、前記粉体が前記気体とともに前記容器の前記内部に供給された状態で前記容器は大気圧下で回転される、ことを特徴とする粉体回収方法。
8. 前記容器の前記開口部に設けられ、前記供給管が通る開口を有する蓋と、
   前記容器内、かつ前記供給管の周囲に設けられる円板状の中板とのうち、少なくとも一方が設けられている請求項７に記載の粉体回収方法。
9. 前記蓋と、前記中板とが設けられている請求項８に記載の粉体回収方法。
10. 前記中板は、前記供給管の軸線に沿って、複数設けられている請求項８または９に記載の粉体回収方法。
11. 前記粉体は、画像法による面積相当の粒子径が１μｍ以下である請求項７～１０のいずれか１項に記載の粉体回収方法。

Images