JP5008839B2 - 強誘電体及びその製造方法、並びに、それを用いた強誘電体デバイス - Google Patents
強誘電体及びその製造方法、並びに、それを用いた強誘電体デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP5008839B2 JP5008839B2 JP2005184758A JP2005184758A JP5008839B2 JP 5008839 B2 JP5008839 B2 JP 5008839B2 JP 2005184758 A JP2005184758 A JP 2005184758A JP 2005184758 A JP2005184758 A JP 2005184758A JP 5008839 B2 JP5008839 B2 JP 5008839B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferroelectric
- hydroxide
- anion
- organic cation
- polyanion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
塩嵜忠監修「強誘電体材料の開発と応用」シーエムシー出版、2001年12月発行、14〜15頁
本発明の強誘電体は、有機カチオンと、ポリチタン酸アニオン、ポリニオブ酸アニオン及びポリタンタル酸アニオンからなる群から選ばれる少なくとも1種のポリアニオンと、からなる有機カチオン含有ポリアニオンを含む。つまり、この強誘電体は、有機カチオン含有ポリチタン酸アニオン、有機カチオン含有ポリニオブ酸アニオン及び有機カチオン含有ポリタンタル酸アニオンのうち少なくとも1種を含んで構成されている。
以下、本発明の強誘電体の製造方法について説明する。
まず、有機カチオンと、水酸化チタン、水酸化ニオブ及び水酸化タンタルからなる群から選ばれる少なくとも1種の水酸化物と、を水に含有させて、その有機カチオンが溶解すると共に水酸化物から生成したポリアニオンが分散した分散液を調製する。
分散液調製ステップに次いで、調製した分散液に含まれる有機カチオンとポリアニオンとを固形化させる。
<試験評価サンプル>
−実施例1−
25質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(和光純薬工業社製)1.823g(水酸化テトラメチルアンモニウム:5mmol)に水10gを混合した。
水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液の代わりに、40質量%の水酸化テトラブチルホスホニウム水溶液(和光純薬工業社製)3.456g(水酸化テトラブチルホスホニウム:5mmol)を用いて、テトラブチルホスホニウムカチオンの濃度が8質量%、ポリチタン酸アニオンの濃度が5質量%で、チタンの有機カチオンに対するモル比が2の分散液を調製した。また、分散液のpHは12であった。
25質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液の量を3.646g(水酸化テトラメチルアンモニウム:10mmol)とし、チタンテトライソプロポキシドの代わりにニオブペンタエトキシド(和光純薬工業社製)3.182g(10mmol)を用いて、テトラメチルアンモニウムカチオンの濃度が4質量%、ポリニオブ酸アニオンの濃度が8質量%で、ニオブの有機カチオンに対するモル比が1の分散液を調製した。また、分散液のpHは12であった。
25質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液の量を3.646g(水酸化テトラメチルアンモニウム:10mmol)とし、チタンテトライソプロポキシドの代わりにタンタルペンタエトキシド(和光純薬工業社製)4.063g(10mmol)を用いて、テトラメチルアンモニウムカチオンの濃度が4質量%、ポリタンタル酸アニオンの濃度が12質量%で、タンタルの有機カチオンに対するモル比が1の分散液を調製した。また、分散液のpHは12であった。
市販のチタン酸バリウム(共立セラミック社製)0.1g(0.43mmol)を水19.9gに分散させた分散液を調製した。
−X線回折分析−
実施例1〜4及び比較例1のそれぞれについて、X線回折分析を行いX線回折パターンを得た。
実施例1〜4及び比較例1のそれぞれについて、ヒステリシス測定を行うことにより残留分極を求めた。
−X線回折分析−
X線回折分析の結果、実施例1〜4では、いずれもポリチタン酸アニオンによる層状構造を示すX線回折パターンが得られたのに対し、比較例1では、かかる層状構造を示すX線回折パターンは得られなかった。
表1は、実施例1〜4及び比較例1のそれぞれの残留分極を示す。
<試験評価サンプル>
−実施例5−
実施例1の作製の際に調製したのと同一の分散液14.6gに100gのイソプロピルアルコールを添加した。このとき、テトラメチルアンモニウムカチオン含有ポリチタン酸アニオンの白色沈殿が生成した。
強誘電体である市販のチタン酸バリウム(共立セラミック社製)を、プレス成形機により490MPaの圧力を負荷することにより直径16mm、厚さ0.76mm及び主さ0.6gの円盤状ペレットに成形し、これを比較例2とした。
実施例5及び比較例2のそれぞれについて、円盤状ペレットの両面のそれぞれに電極を接触させ、インピーダンスメータ(ヒューレットパッカード社製HP4284A)を用いて周波数1kHzでの比誘電率を計測した。
表2は、実施例5及び比較例2のそれぞれの比誘電率を示す。
<試験評価サンプル>
−実施例6−
ジエチルアミン(和光純薬工業社製)7.3gを水160gに溶解させた後、チタンテトライソプロポキシド(和光純薬工業社製)を少しずつ28.4g滴下した。
実施例6の強誘電体デバイス10に一方の電極13を基準として、他方の電極13に+5Vの電圧を2秒間印加してデバイスを正に分極させた後、分極状態を読み出すためにピーク電圧+5V、パルス幅2秒の三角波電圧を印加し、電流値から流れた電荷量を求めた。同様に、強誘電体デバイス10に一方の電極13を基準として、他方の電極13に−5Vの電圧を2秒間印加してデバイスを負に分極させた後、分極状態を読み出すためにピーク電圧+5V、パルス幅2秒の三角波電圧を印加し、電流値から流れた電荷量を求めた。
他方の電極13に+5Vを印加して正に分極させたデバイスの状態を+5Vの三角波で読み出したときに流れた電荷量が1.2μCであったのに対し、他方の電極13に−5Vを印加して負に分極させたデバイスの状態を+5Vの三角波で読み出したときに流れた電荷量が1.8μCであり、電荷量により分極の方向を知ることができた。従って、実施例6の強誘電体デバイス10は、分極の正負方向により異なる情報を記憶するメモリとして動作することが分かる。
11 強誘電体
13 電極
Claims (6)
- 有機カチオンと、
ポリチタン酸アニオン、ポリニオブ酸アニオン及びポリタンタル酸アニオンからなる群から選ばれる少なくとも1種のポリアニオンと、
からなる有機カチオン含有ポリアニオンを含む強誘電体であって、
上記ポリアニオンで構成された層により形成された積層構造を有する強誘電体。 - 請求項1に記載された強誘電体を製造する方法であって、
有機カチオンと、水酸化チタン、水酸化ニオブ及び水酸化タンタルからなる群から選ばれる少なくとも1種の水酸化物と、を水に含有させて、該有機カチオンが溶解すると共に該水酸化物から生成したポリアニオンが分散した分散液を調製する分散液調製ステップと、
上記分散液調製ステップで調製した分散液に含まれる有機カチオンとポリアニオンとを固形化させる固形化ステップと、
を備えた強誘電体の製造方法。 - 上記分散液調製ステップにおいて、水酸化物に代えて、加水分解して水酸化チタンを生成する化合物、加水分解して水酸化ニオブを生成する化合物及び加水分解して水酸化タンタルを生成する化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物を水に含有させる、請求項2に記載の強誘電体の製造方法。
- 上記固形化ステップにおいて、有機カチオンとポリアニオンとの固形化を、平坦な基板上で行わせることにより成膜させる、請求項2又は3に記載の強誘電体の製造方法。
- 上記固形化ステップで得られた固形化物を所定形状に成形する成形ステップをさらに備えた、請求項2〜4のいずれかに記載の強誘電体の製造方法。
- 一対の電極間に強誘電体が設けられた強誘電体デバイスであって、
上記強誘電体は、
有機カチオンと、
ポリチタン酸アニオン、ポリニオブ酸アニオン及びポリタンタル酸アニオンからなる群から選ばれる少なくとも1種のポリアニオンと、
からなる有機カチオン含有ポリアニオンを含み、
上記ポリアニオンで構成された層により形成された積層構造を有する強誘電体デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005184758A JP5008839B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | 強誘電体及びその製造方法、並びに、それを用いた強誘電体デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005184758A JP5008839B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | 強誘電体及びその製造方法、並びに、それを用いた強誘電体デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007005161A JP2007005161A (ja) | 2007-01-11 |
JP5008839B2 true JP5008839B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=37690571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005184758A Expired - Fee Related JP5008839B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | 強誘電体及びその製造方法、並びに、それを用いた強誘電体デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5008839B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4998997B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-08-15 | 三洋電機株式会社 | コンデンサ及びその製造方法 |
CN105732025B (zh) * | 2016-01-20 | 2019-03-08 | 武汉理工大学 | 一种钛酸铋钠基x9r型多层陶瓷电容器材料及其器件制备方法 |
CN111562288B (zh) * | 2020-07-08 | 2022-07-08 | 中建四局第三建设有限公司 | 一种淤泥固化原位测试评价办法 |
EP4186866A4 (en) * | 2020-07-22 | 2024-03-13 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | TANTALATE DISPERSION AND TANTALATE COMPOUND |
KR102628262B1 (ko) * | 2020-12-25 | 2024-01-24 | 미쓰이금속광업주식회사 | 니오브산 화합물 분산액 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4261345B2 (ja) * | 2001-08-20 | 2009-04-30 | 大塚化学株式会社 | 薄片状チタン酸及び薄片状チタン酸の製造方法 |
JP2003128419A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-08 | Jsr Corp | 強誘電体薄膜形成用塗布液および強誘電体薄膜 |
JP4755800B2 (ja) * | 2002-08-20 | 2011-08-24 | 関西ティー・エル・オー株式会社 | フッ化ビニリデンオリゴマー薄膜製造方法及び該薄膜を用いたデバイス |
-
2005
- 2005-06-24 JP JP2005184758A patent/JP5008839B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007005161A (ja) | 2007-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Glaum et al. | Electric fatigue of lead‐free piezoelectric materials | |
JP5649316B2 (ja) | 圧電薄膜、圧電素子および圧電素子の製造方法 | |
US5423285A (en) | Process for fabricating materials for ferroelectric, high dielectric constant, and integrated circuit applications | |
JP5008839B2 (ja) | 強誘電体及びその製造方法、並びに、それを用いた強誘電体デバイス | |
US5468679A (en) | Process for fabricating materials for ferroelectric, high dielectric constant, and integrated circuit applications | |
Camargo et al. | Chemical synthesis of lithium niobate powders (LiNbO3) prepared from water-soluble DL-malic acid complexes | |
CN108511597A (zh) | 一种分子基压电材料及其制备方法和应用 | |
EP3125318B1 (en) | Composition for forming manganese- and niobium-doped pzt piezoelectric film | |
JP6179708B2 (ja) | 光電変換素子及び太陽電池セル | |
JP3235145B2 (ja) | チタン酸バリウム薄膜の形成方法 | |
Supriya | Crystal structure engineered non-toxic Bi0. 5Na0. 5TiO3 based thin films-fabrication process, enhanced electrical performance, challenges and recent reports | |
JP3257864B2 (ja) | コンデンサの製造方法 | |
JP2006228447A (ja) | 強誘電体薄膜の製造方法 | |
CN104072131B (zh) | 铁电薄膜形成用组合物的制造方法及其用途 | |
Barbatoa et al. | Green production of lead-free bzt-bct thin films for applications in mems devices | |
Hardy et al. | Aqueous chemical solution deposition of ferroelectric Ti4+ cosubstituted (Bi, La) 4Ti3O12 thin films | |
JP5591485B2 (ja) | 強誘電体薄膜形成用組成物、強誘電体薄膜の形成方法並びに該方法により形成された強誘電体薄膜 | |
US6838117B2 (en) | Film production method and film-element production method | |
Barretta et al. | Effect of poling on piezoelectric performances of Nb-doped BZT-BCT prototypes | |
Kovacova | Study of correlations between microstructure and piezoelectric properties of PZT thin films | |
JP7281225B2 (ja) | 含窒素化合物、多結晶成形体及び多結晶薄膜 | |
CN110451954B (zh) | 具有高逆压电系数的钛酸铋钠基低铅压电薄膜及制备方法 | |
CN110473959B (zh) | 高逆压电系数的钛酸铋钠基无铅压电薄膜及其制备方法 | |
KR101138239B1 (ko) | 고압전 계수 박막의 제조방법 | |
KR100425531B1 (ko) | 희토류 금속 함유 티탄산 비스무스 강유전 물질 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111024 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120131 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120529 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120530 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |