JP5006848B2 - 粒子状物質検出装置 - Google Patents
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- 一の面が平面状の誘電体で被覆をされた板状を呈する一の電極、その一の電極の一の面の側に粒子状物質を含む気体が流れる空間を介して配設をされ一の電極との間に印加をされる電圧によって電界の形成及び放電の何れか又は両方を行う二の電極、及び前記電圧の印加をする電源、並びに、
前記平面状の誘電体の表面に設けられた凸状の誘電体の更に表面に前記平面状の誘電体に対し段差をもって配設をされる測定対向電極、その測定対向電極と前記一の電極との間における電気的特性の測定をする特性測定手段、及びその特性測定手段で測定をされる電気的特性の変化量に基づいて前記電界の形成及び放電の何れか又は両方によって集塵をされた粒子状物質の量を求める粒子状物質量算出手段、
を備える粒子状物質検出装置。 - 前記空間を流れる気体の流量の測定又は推定をする流量計を備え、その流量計で測定又は推定をされる気体の流量と前記粒子状物質の量とに基づいて、前記空間を流れる気体における粒子状物質の濃度を算出する粒子状物質濃度算出手段を備える請求項1に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記電気的特性が、抵抗、インダクタンス、静電容量、及びインピーダンスからなる電気的特性群から選ばれる一以上の電気的特性である請求項1又は2に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記測定対向電極が線状を呈し、前記粒子状物質を含む気体が流れる方向に対し垂直方向に長くなるように配設をされる請求項1〜3の何れか一項に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記線状を呈する測定対向電極が、折れ曲がりながら前記平面状の誘電体の表面にわたって配設をされる請求項4に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記二の電極が、板状を呈する請求項1〜5の何れか一項に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記二の電極が、管壁面で構成される請求項6に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記二の電極が、針状又は棒状を呈する請求項1〜5の何れか一項に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記板状を呈する一の電極の他の面を被覆する誘電体と、その誘電体の表面に配設されたヒータと、を備える請求項1〜8の何れか一項に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記一の電極と前記測定対向電極との間に電圧の印加をして沿面放電により粒子状物質を酸化除去するための除去用電源を備え、その電圧の印加によって前記一の電極の一の面に被覆された平面状の誘電体の表面に沿面放電をさせる請求項1〜9の何れか一項に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記測定対向電極が、膜状の誘電体で被覆されている請求項1〜10の何れか一項に記載の粒子状物質検出装置。
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