JP5001745B2 - Organic electroluminescence device and manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子ということがある。)及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence element (hereinafter sometimes referred to as an organic EL element) and a method for producing the same.

有機EL素子は、無機EL素子に比べ、低電圧での駆動が可能であり、輝度が高く、多数の色の発光が容易に得られるといった様々な利点を有するため、より高い性能の素子を得るべく、これまで様々な検討がなされている。特に、素子を構成する各層の材料について多くの試みが報告されている。   Organic EL elements can be driven at a lower voltage than inorganic EL elements, and have various advantages such as high brightness and easy emission of a large number of colors, so that higher performance elements can be obtained. Therefore, various studies have been made so far. In particular, many attempts have been reported regarding the material of each layer constituting the device.

特に、電子注入層又は正孔注入層等の層として、金属酸化物を用いることが検討されている。例えば特許文献1には、高効率な電子注入層として、電子注入電極上に酸化モリブデン等の無機酸化物層を設けることが記載されている。   In particular, use of a metal oxide as a layer such as an electron injection layer or a hole injection layer has been studied. For example, Patent Document 1 describes providing an inorganic oxide layer such as molybdenum oxide on an electron injection electrode as a highly efficient electron injection layer.

現在、有機EL素子の開発における大きな課題の一つとして、高輝度で発光させても長寿命で駆動できる素子を開発することが求められている。そのため、素子を構成する各層について、そのような課題の解決に貢献するものが依然として探索されている。   Currently, as one of the major issues in the development of organic EL elements, it is required to develop an element that can be driven with a long life even when light is emitted with high luminance. Therefore, there is still a search for what contributes to the solution of such problems in each layer constituting the element.

特開2002−367784号公報JP 2002-367784 A

本発明の目的は、容易に製造することができ、且つ寿命特性が良好な有機EL素子、及びその製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an organic EL device which can be easily manufactured and has a good lifetime characteristic, and a manufacturing method thereof.

本発明者らは、このような事情に鑑み種々検討する過程において、素子を構成する金属酸化物の層を加熱処理するという、比較的簡便な処理を行うことにより、有機EL素子の寿命特性を向上させうる金属酸化物層を作製できることを見出し、本発明に至った。   In the course of various studies in view of such circumstances, the present inventors perform a relatively simple process of heat-treating the metal oxide layer constituting the element, thereby improving the lifetime characteristics of the organic EL element. The inventors have found that a metal oxide layer that can be improved can be produced, and have reached the present invention.

すなわち、本発明によれば、下記のものが提供される:
〔1〕 陽極、発光層、陰極、及び前記陽極と前記発光層との間又は前記発光層と前記陰極との間に設けられた金属酸化物層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記金属酸化物層が:(A)素子を構成する他の層上に金属酸化物を堆積して未処理金属酸化物層を得る工程;及び(B)前記金未処理属酸化物層を加熱処理する工程により得られる層である有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔2〕 前記金属酸化物層が、正孔注入層であるか、または前記発光層若しくは正孔注入層に直接接して設けられている前記有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔3〕 前記金属酸化物層の可視光透過率が50%以上である前記有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔4〕 前記金属酸化物が、モリブデン酸化物、バナジウム酸化物、タングステン酸化物、タンタル酸化物及びこれらの混合物からなる群より選択される前記有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔5〕 前記金属酸化物の堆積が、真空蒸着、スパッタリング又はイオンプレーティングにより行なわれる前記有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔6〕 前記加熱処理が、温度50〜350℃で行われる前記有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔7〕 前記加熱処理が、湿度0.01〜95%、酸素濃度0.01〜30%の雰囲気下で行われる、前記有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔8〕 前記金属酸化物層が、金属酸化物の微結晶を含む前記有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔9〕 前記有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、素子を構成する他の層上に金属酸化物を堆積して未処理金属酸化物層を得る工程;及び前記金未処理属酸化物層を加熱処理する工程を含む製造方法。
That is, according to the present invention, the following is provided:
[1] An organic electroluminescence device having an anode, a light emitting layer, a cathode, and a metal oxide layer provided between the anode and the light emitting layer or between the light emitting layer and the cathode, An oxide layer: (A) depositing a metal oxide on another layer constituting the device to obtain an untreated metal oxide layer; and (B) heating the gold untreated metal oxide layer. An organic electroluminescence device which is a layer obtained by the process.
[2] The organic electroluminescence device, wherein the metal oxide layer is a hole injection layer, or is provided in direct contact with the light emitting layer or the hole injection layer.
[3] The organic electroluminescence device, wherein the metal oxide layer has a visible light transmittance of 50% or more.
[4] The organic electroluminescence device, wherein the metal oxide is selected from the group consisting of molybdenum oxide, vanadium oxide, tungsten oxide, tantalum oxide, and a mixture thereof.
[5] The organic electroluminescence element, wherein the metal oxide is deposited by vacuum evaporation, sputtering, or ion plating.
[6] The organic electroluminescence element, wherein the heat treatment is performed at a temperature of 50 to 350 ° C.
[7] The organic electroluminescence element, wherein the heat treatment is performed in an atmosphere having a humidity of 0.01 to 95% and an oxygen concentration of 0.01 to 30%.
[8] The organic electroluminescence device, wherein the metal oxide layer includes metal oxide microcrystals.
[9] A method for producing the organic electroluminescence device, comprising depositing a metal oxide on another layer constituting the device to obtain an untreated metal oxide layer; and the gold untreated metal oxide layer; The manufacturing method including the process of heat-processing.

本発明の有機EL素子は、容易に製造することができ、且つ長寿命であるため、バックライトとしての面状光源、フラットパネルディスプレイ等の装置として好ましく使用できる。   Since the organic EL element of the present invention can be easily manufactured and has a long lifetime, it can be preferably used as a planar light source as a backlight, a device such as a flat panel display.

本発明の有機EL素子は、陽極、発光層及び陰極を有する。本発明の有機EL素子はさらに、前記陽極と前記発光層との間、及び/又は前記発光層と前記陰極との間にさらに他の層を有することができるが、それらの層のうち少なくとも一層として、必須の構成要素としての金属酸化物層を有する。   The organic EL device of the present invention has an anode, a light emitting layer, and a cathode. The organic EL device of the present invention may further have another layer between the anode and the light emitting layer and / or between the light emitting layer and the cathode, and at least one of these layers. As, it has a metal oxide layer as an essential component.

前記金属酸化物層を構成する金属酸化物としては、モリブデン酸化物、バナジウム酸化物、タングステン酸化物、タンタル酸化物及びこれらの混合物を好ましく挙げることができ、これらのうちでも特にモリブデン酸化物が好ましい。モリブデン酸化物としては三酸化モリブデン即ちMoOが好ましい。またバナジウム酸化物としては、五酸化二バナジウム即ちVが好ましい。タングステン酸化物としては三酸化タングステン即ちWOが好ましい。タンタル酸化物としては五酸化二タンタル即ちTaが好ましい。MoOを本発明において規定される工程により成膜する場合、成膜された金属酸化物層においてMoとOの組成比が保たれない場合もありうるが、その場合でも本発明に好ましく用いることができる。
前記金属酸化物層は、上記のもの等の金属酸化物を含むものであり、好ましくは上記のもの等の金属酸化物から実質的になる。より具体的には、金属酸化物層を単層で成膜した場合、層を構成する物質全量中における金属酸化物が占める割合が、好ましくは98質量%以上、より好ましくは99質量%以上、さらに好ましくは99.9質量%以上とすることができる。
Preferred examples of the metal oxide constituting the metal oxide layer include molybdenum oxide, vanadium oxide, tungsten oxide, tantalum oxide, and mixtures thereof. Of these, molybdenum oxide is particularly preferable. . As the molybdenum oxide, molybdenum trioxide, that is, MoO 3 is preferable. The vanadium oxide is preferably divanadium pentoxide, that is, V 2 O 5 . The tungsten oxide is preferably tungsten trioxide or WO 3 . As the tantalum oxide, tantalum pentoxide, that is, Ta 2 O 5 is preferable. When MoO 3 is formed by the process defined in the present invention, the composition ratio of Mo and O may not be maintained in the formed metal oxide layer, but even in that case, it is preferably used in the present invention. Can do.
The metal oxide layer contains a metal oxide such as those mentioned above, and preferably consists essentially of a metal oxide such as those mentioned above. More specifically, when the metal oxide layer is formed as a single layer, the proportion of the metal oxide in the total amount of substances constituting the layer is preferably 98% by mass or more, more preferably 99% by mass or more, More preferably, it can be 99.9 mass% or more.

前記金属酸化物層は、好ましくは正孔注入層であるか、または前記発光層若しくは正孔注入層に直接接して設けられる。より具体的には:
(i)陽極および正孔輸送層に接して設けられる
(ii)陽極および電子ブロック層に接して設けられる
(iii)正孔注入層および発光層に接して設けられる
(iv)正孔注入層および電子ブロック層に接して設けられる
(v)陽極および発光層に接して設けられる
のいずれかであることが好ましい。ボトムエミッション構造の場合は、(i)または(ii)がより好ましく、前記金属酸化物層は通常正孔注入層として機能する。トップエミッション構造の場合は、(iii)または(iv)がより好ましく、前記金属酸化物層は通常正孔輸送層として機能する。
The metal oxide layer is preferably a hole injection layer or provided directly in contact with the light emitting layer or the hole injection layer. More specifically:
(Ii) provided in contact with the anode and the hole transport layer (ii) provided in contact with the anode and the electron blocking layer (iii) provided in contact with the hole injection layer and the light emitting layer (iv) the hole injection layer and It is preferable that either (v) provided in contact with the electron blocking layer or provided in contact with the light emitting layer. In the case of a bottom emission structure, (i) or (ii) is more preferable, and the metal oxide layer usually functions as a hole injection layer. In the case of a top emission structure, (iii) or (iv) is more preferable, and the metal oxide layer usually functions as a hole transport layer.

前記金属酸化物層の可視光透過率は、50%以上であることが好ましい。50%以上の可視光透過率を有することにより、前記金属酸化物層を透過して発光する形式の有機EL素子に好適に用いることができる。   The visible light transmittance of the metal oxide layer is preferably 50% or more. By having a visible light transmittance of 50% or more, it can be suitably used for an organic EL element that emits light through the metal oxide layer.

前記金属酸化物層の厚さは、特に限定されないが10nm〜50nmであることが好ましい。   The thickness of the metal oxide layer is not particularly limited, but is preferably 10 nm to 50 nm.

本発明の有機EL素子において、前記金属酸化物層は:
(A)素子を構成する他の層上に金属酸化物を堆積して未処理金属酸化物層を得る工程;及び
(B)前記未処理金属酸化物層を加熱処理する工程
により得られる層である。
In the organic EL device of the present invention, the metal oxide layer is:
(A) a layer obtained by depositing a metal oxide on another layer constituting the element to obtain an untreated metal oxide layer; and (B) a step obtained by heating the untreated metal oxide layer. is there.

前記工程(A)において、素子を構成する他の層は、有機EL素子を構成するいずれの層でもよく、製造工程及び得られる有機EL素子の積層構造に応じて適宜選択することができる。例えば、基板上に設けられた陽極又は陰極の層上に堆積を行ない、電極に直接接した金属酸化物層を得ることができる。または、基板上に電極を設けた後、電極上に、発光層、電荷注入層、電荷輸送層又は電荷ブロック層といった他の層を1層以上設け、さらにその上に堆積を行い、当該層に直接接した金属酸化物層を得ることができる。   In the step (A), the other layer constituting the element may be any layer constituting the organic EL element, and can be appropriately selected according to the production process and the laminated structure of the obtained organic EL element. For example, deposition can be performed on an anode or cathode layer provided on a substrate to obtain a metal oxide layer in direct contact with the electrode. Alternatively, after providing an electrode on the substrate, one or more other layers such as a light-emitting layer, a charge injection layer, a charge transport layer, or a charge blocking layer are provided on the electrode, and deposition is further performed on the layer. A metal oxide layer in direct contact can be obtained.

堆積は、真空蒸着、分子線蒸着、スパッタリング又はイオンプレーティング、イオンビーム蒸着、塗布等により行うことができる。成膜チャンバー内にプラズマを導入することによって、反応性や成膜性を向上させたプラズマアシスト真空蒸着法なども用いることができる。真空蒸着法の蒸発源としては、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高周波誘導加熱、レーザビーム加熱などが上げられる。より簡便な方法として、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高周波誘導加熱が好ましい。スパッタ法にはDCスパッタ法、RFスパッタ法、ECRスパッタ法、コンベンショナル・スパッタリング法、マグネトロンスパッタ法、イオンビーム・スパッタ法、対向ターゲットスパッタ法などがありいずれの方式も用いることができる。下層にダメージを与えないためにもマグネトロンスパッタ法、イオンビーム・スパッタ法、対向ターゲットスパッタ法を用いることが好ましい。なお、成膜時において、雰囲気中に酸素や酸素元素を含むガスを導入して蒸着を行うこともできる。また、金属酸化物として、一種類の酸化物のみならず、複数の酸化物や酸化していない金属を併せて用いることができる。例えば、酸化モリブデン材料として、通常MoOを用いるが、Mo金属、MoO、あるいはこれらの混合物などを用いることができる。 Deposition can be performed by vacuum evaporation, molecular beam evaporation, sputtering or ion plating, ion beam evaporation, coating, or the like. By introducing plasma into the film formation chamber, a plasma assisted vacuum deposition method with improved reactivity and film formability can be used. Examples of the evaporation source of the vacuum deposition method include resistance heating, electron beam heating, high frequency induction heating, and laser beam heating. As a simpler method, resistance heating, electron beam heating, and high frequency induction heating are preferable. The sputtering method includes a DC sputtering method, an RF sputtering method, an ECR sputtering method, a conventional sputtering method, a magnetron sputtering method, an ion beam sputtering method, an opposed target sputtering method, and any method can be used. In order not to damage the lower layer, it is preferable to use magnetron sputtering, ion beam sputtering, or counter target sputtering. Note that during film formation, vapor deposition can be performed by introducing a gas containing oxygen or an oxygen element into the atmosphere. Further, as the metal oxide, not only one kind of oxide but also a plurality of oxides or non-oxidized metals can be used in combination. For example, MoO 3 is usually used as the molybdenum oxide material, but Mo metal, MoO 2 , or a mixture thereof can be used.

前記工程(B)は、前記工程(A)で未処理金属酸化物層を得た後、当該層上に他の層を形成する前に行うことができる。具体的には、前記工程(A)が終了した後、前記未処理金属酸化物層を基板ごと加熱することにより行うことができる。   The step (B) can be performed after obtaining the untreated metal oxide layer in the step (A) and before forming another layer on the layer. Specifically, after the step (A) is completed, the untreated metal oxide layer can be heated together with the substrate.

前記工程(B)における加熱処理の温度は、好ましくは50〜350℃、より好ましくは70〜300℃、さらに好ましくは100〜250℃とすることができる。加熱時間は、好ましくは30秒〜120分間、より好ましくは3〜60分間とすることができる。このような加熱処理を実施するための装置としては、ホットプレート、クリーンオーブン、赤外線加熱装置、誘導加熱装置、マイクロ波加熱装置等を用いることができる。   The temperature of the heat treatment in the step (B) is preferably 50 to 350 ° C, more preferably 70 to 300 ° C, and still more preferably 100 to 250 ° C. The heating time is preferably 30 seconds to 120 minutes, more preferably 3 to 60 minutes. As a device for performing such heat treatment, a hot plate, a clean oven, an infrared heating device, an induction heating device, a microwave heating device, or the like can be used.

前記加熱処理は、好ましくは、酸素及び/又は水蒸気の存在する雰囲気下において行うことが好ましい。具体的には例えば、湿度0.01〜95%、酸素濃度0.01〜30%の雰囲気下で行なうことが好ましい。このような雰囲気としては、通常の大気雰囲気を挙げることができる。   The heat treatment is preferably performed in an atmosphere where oxygen and / or water vapor is present. Specifically, for example, it is preferably performed in an atmosphere with a humidity of 0.01 to 95% and an oxygen concentration of 0.01 to 30%. Examples of such an atmosphere include a normal air atmosphere.

前記工程(B)を経て得られた金属酸化物層は、金属酸化物の微結晶を含むものであることが好ましい。前記微結晶とは、倍率10〜1000倍程度の顕微鏡を用いて確認できる程度の大きさを持つ結晶、結晶粒、或いは結晶粒が集まったものである。このような微結晶を有する金属酸化物層は、上記加熱の条件を適宜調整することにより得ることができる。このような微結晶を有することにより、金属酸化物層の耐プロセス性が高まる。即ち、金属酸化物層を形成した後さらに他の層をその上に形成する場合において、水又は有機溶媒を含む溶液の塗布等のプロセスを行う場合があるが、金属酸化物層を前記微結晶を含むものとすることにより、そのようなプロセスに対する耐久性の高いものとすることができる。   The metal oxide layer obtained through the step (B) preferably contains metal oxide microcrystals. The microcrystal is a crystal, a crystal grain, or a collection of crystal grains having a size that can be confirmed using a microscope having a magnification of about 10 to 1000 times. The metal oxide layer having such microcrystals can be obtained by appropriately adjusting the heating conditions. By having such a microcrystal, the process resistance of the metal oxide layer is increased. That is, when another layer is formed on the metal oxide layer after forming the metal oxide layer, a process such as application of a solution containing water or an organic solvent may be performed. By including, it can be made durable with respect to such a process.

本発明において、前記金属酸化物層を得るにあたり、前記工程(A)及び(B)に加えて、各工程の前又は後に、任意に他の工程を行ってもよい。例えば、任意に前記工程(B)の前又は後に、UV−O処理、大気暴露等の他の工程を行い、その後にさらに他の層の積層工程を行うこともできる。 In the present invention, in obtaining the metal oxide layer, in addition to the steps (A) and (B), other steps may be optionally performed before or after each step. For example, other steps such as UV-O 3 treatment and exposure to the atmosphere may be optionally performed before or after the step (B), and then another layer stacking step may be performed.

前記UV−O処理は、紫外線を1〜100mW/cmの強度で5秒〜30分間照射し、オゾン濃度0.001〜99%の雰囲気下で処理することにより行うことができる。前記大気暴露は、湿度40〜95%、温度20〜50℃の大気中に、1〜20日間放置することにより行うことができる。 The UV-O 3 treatment can be performed by irradiating with ultraviolet rays at an intensity of 1 to 100 mW / cm 2 for 5 seconds to 30 minutes and in an atmosphere having an ozone concentration of 0.001 to 99%. The exposure to the atmosphere can be performed by leaving it in the atmosphere at a humidity of 40 to 95% and a temperature of 20 to 50 ° C. for 1 to 20 days.

次に、本発明の有機EL素子の層の構成について、より具体的に説明する。   Next, the structure of the layer of the organic EL element of the present invention will be described more specifically.

本発明の有機EL素子は、陽極、発光層及び陰極を必須に有するのに加えて、前記陽極と前記発光層との間、及び/又は前記発光層と前記陰極との間にさらに他の層を有することができる。   In addition to having an anode, a light emitting layer and a cathode as essential components, the organic EL device of the present invention has another layer between the anode and the light emitting layer and / or between the light emitting layer and the cathode. Can have.

陰極と発光層の間に設けうる層としては、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層等が挙げられる。電子注入層及び電子輸送層の両方が設けられる場合、陰極に近い層が電子注入層となり、発光層に近い層が電子輸送層となる。   Examples of the layer that can be provided between the cathode and the light emitting layer include an electron injection layer, an electron transport layer, and a hole blocking layer. When both the electron injection layer and the electron transport layer are provided, the layer close to the cathode is the electron injection layer, and the layer close to the light emitting layer is the electron transport layer.

電子注入層は、陰極からの電子注入効率を改善する機能を有する層であり、電子輸送層は、陰極、電子注入層又は陰極により近い電子輸送層からの電子注入を改善する機能を有する層である。また、電子注入層、若しくは電子輸送層が正孔の輸送を堰き止める機能を有する場合には、これらの層が正孔ブロック層を兼ねることがある。
正孔の輸送を堰き止める機能を有することは、例えば、ホール電流のみを流す素子を作製し、その電流値の減少で堰き止める効果を確認することが可能である。
The electron injection layer is a layer having a function of improving electron injection efficiency from the cathode, and the electron transport layer is a layer having a function of improving electron injection from the cathode, the electron injection layer or the electron transport layer closer to the cathode. is there. In addition, when the electron injection layer or the electron transport layer has a function of blocking hole transport, these layers may also serve as the hole blocking layer.
Having the function of blocking hole transport makes it possible, for example, to produce an element that allows only hole current to flow, and confirm the blocking effect by reducing the current value.

陽極と発光層の間に設けるものとしては、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層等があげられる。正孔注入層及び正孔輸送層の両方が設けられる場合、陽極に近い層が正孔注入層となり、発光層に近い層が正孔輸送層となる。   Examples of what is provided between the anode and the light emitting layer include a hole injection layer, a hole transport layer, and an electron block layer. When both the hole injection layer and the hole transport layer are provided, the layer close to the anode is the hole injection layer, and the layer close to the light emitting layer is the hole transport layer.

正孔注入層は、陽極からの正孔注入効率を改善する機能を有する層であり、正孔輸送層とは、陽極、正孔注入層又は陽極により近い正孔輸送層からの正孔注入を改善する機能を有する層である。また、正孔注入層、又は正孔輸送層が電子の輸送を堰き止める機能を有する場合には、これらの層が電子ブロック層を兼ねることがある。
電子の輸送を堰き止める機能を有することは、例えば、電子電流のみを流す素子を作製し、その電流値の減少で堰き止める効果を確認することが可能である。
The hole injection layer is a layer having a function of improving the hole injection efficiency from the anode, and the hole transport layer is a hole injection layer from the anode, the hole injection layer or the hole transport layer closer to the anode. It is a layer having a function of improving. In addition, when the hole injection layer or the hole transport layer has a function of blocking electron transport, these layers may also serve as an electron block layer.
Having the function of blocking electron transport makes it possible, for example, to manufacture an element that allows only electron current to flow and to confirm the blocking effect by reducing the current value.

本発明の有機EL素子において、発光層は通常1層設けられるが、これに限らず2層以上の発光層を設けることもできる。その場合、2層以上の発光層は、直接接して積層することもでき、かかる層の間に本発明に用いられる金属酸化物層等を設けることができる。   In the organic EL device of the present invention, one light emitting layer is usually provided, but the present invention is not limited to this, and two or more light emitting layers may be provided. In that case, two or more light-emitting layers can be stacked in direct contact with each other, and a metal oxide layer or the like used in the present invention can be provided between the layers.

なお、電子注入層及び正孔注入層を総称して電荷注入層と呼ぶことがあり、電子輸送層及び正孔輸送層を総称して電荷輸送層と呼ぶことがある。   Note that the electron injection layer and the hole injection layer may be collectively referred to as a charge injection layer, and the electron transport layer and the hole transport layer may be collectively referred to as a charge transport layer.

さらに具体的には、本発明の有機EL素子は、下記の層構成のいずれかを有することができる:
a)陽極/正孔輸送層/発光層/陰極
b)陽極/発光層/電子輸送層/陰極
c)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
d)陽極/電荷注入層/発光層/陰極
e)陽極/発光層/電荷注入層/陰極
f)陽極/電荷注入層/発光層/電荷注入層/陰極
g)陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/陰極
h)陽極/正孔輸送層/発光層/電荷注入層/陰極
i)陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/電荷注入層/陰極
j)陽極/電荷注入層/発光層/電荷輸送層/陰極
k)陽極/発光層/電子輸送層/電荷注入層/陰極
l)陽極/電荷注入層/発光層/電子輸送層/電荷注入層/陰極
m)陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/電荷輸送層/陰極
n)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電荷注入層/陰極
o)陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電荷注入層/陰極
(ここで、/は各層が隣接して積層されていることを示す。以下同じ。)
More specifically, the organic EL device of the present invention can have any of the following layer configurations:
a) Anode / hole transport layer / light emitting layer / cathode b) Anode / light emitting layer / electron transport layer / cathode c) Anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode d) Anode / charge injection layer / Emissive layer / cathode e) anode / emission layer / charge injection layer / cathode f) anode / charge injection layer / emission layer / charge injection layer / cathode g) anode / charge injection layer / hole transport layer / emission layer / cathode h ) Anode / hole transport layer / light emitting layer / charge injection layer / cathode i) Anode / charge injection layer / hole transport layer / light emitting layer / charge injection layer / cathode j) Anode / charge injection layer / light emitting layer / charge transport Layer / cathode k) anode / light emitting layer / electron transport layer / charge injection layer / cathode l) anode / charge injection layer / light emitting layer / electron transport layer / charge injection layer / cathode m) anode / charge injection layer / hole transport Layer / light emitting layer / charge transport layer / cathode n) anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / charge injection layer / cathode o) anode / charge injection layer / Hole transport layer / light emitting layer / electron transporting layer / charge injection layer / cathode (wherein, / indicates that each layer is laminated adjacently. Hereinafter the same.)

上記層構成の各例において、前記金属酸化物層は、電荷注入層(正孔注入層又は電子注入層)、正孔輸送層、又は電子輸送層のうちの少なくとも1層として設けられる。   In each example of the layer configuration, the metal oxide layer is provided as at least one of a charge injection layer (a hole injection layer or an electron injection layer), a hole transport layer, or an electron transport layer.

さらに、本発明の有機EL素子は、2層以上の発光層を有していてもよい。
2層の発光層を有する有機EL素子としては、具体的には、
p)陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電荷注入層/電極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電荷注入層/陰極
の層構成を有するものが挙げられる。
また3層以上の発光層を有する有機EL素子としては、具体的には、電極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電荷注入層を一つの繰返し単位(以下において「繰返し単位A」という)として、
q)陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電荷注入層/繰返し単位A/繰返し単位A・・・/陰極
と、2層以上の繰返し単位Aを含む層構成を有するものが挙げられる。
上記層構成p及びqにおいて、陽極、電極、陰極、発光層以外の各層は必要に応じて省略することができる。
ここで、電極とは電界を印加することにより、正孔と電子を発生する層である。当該電極を構成する材料としては、例えば、酸化バナジウム、インジウム・スズ・オキサイド、酸化モリブデンなどが挙げられる。
上記層構成p及びqの各例において、前記金属酸化物層は、電荷注入層、正孔輸送層、又は電極のうち少なくとも1層として設けられる。
Furthermore, the organic EL device of the present invention may have two or more light emitting layers.
Specifically, as an organic EL element having two light emitting layers,
p) Layer structure of anode / charge injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / charge injection layer / electrode / charge injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / charge injection layer / cathode The thing which has is mentioned.
Further, as an organic EL device having three or more light emitting layers, specifically, an electrode / charge injection layer / hole transport layer / light emission layer / electron transport layer / charge injection layer are formed as one repeating unit (hereinafter referred to as “ As repeat unit A))
q) Layer structure including anode / charge injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / charge injection layer / repeating unit A / repeating unit A... / cathode and two or more repeating units A The thing which has.
In the layer structures p and q, each layer other than the anode, the electrode, the cathode, and the light emitting layer can be omitted as necessary.
Here, the electrode is a layer that generates holes and electrons by applying an electric field. Examples of the material constituting the electrode include vanadium oxide, indium / tin / oxide, and molybdenum oxide.
In each example of the layer configurations p and q, the metal oxide layer is provided as at least one of a charge injection layer, a hole transport layer, or an electrode.

本発明の有機EL素子は、さらに基板を有することができ、当該基板の上に前記各層を設けることができる。本発明の有機EL素子はさらに、前記各層を挟んで基板と反対側に、封止のための部材を有することができる。基板及び前記層構成を有する有機EL素子は、通常陽極側に基板を有するが、本発明においてはこれに限られず、陽極及び陰極のどちら側に基板を有していてもよい。   The organic EL device of the present invention can further have a substrate, and each of the layers can be provided on the substrate. The organic EL device of the present invention can further have a sealing member on the opposite side of the substrate with the above layers interposed therebetween. The organic EL device having the substrate and the above layer structure usually has a substrate on the anode side, but the present invention is not limited to this, and the substrate may be on either the anode or cathode side.

本発明の有機EL素子は、発光層からの光を放出するために、通常、発光層のいずれか一方側の層を全て透明なものとする。具体的には例えば、基板/陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電荷注入層/陰極/封止部材という構成を有する有機EL素子の場合、基板、陽極、電荷注入層及び正孔輸送層の全てを透明なものとし、所謂ボトムエミッション型の素子とするか、又は電子輸送層、電荷注入層、陰極及び封止部材の全てを透明なものとし、所謂トップエミッション型の素子とすることができる。また、基板/陰極/電荷注入層/電子輸送層/発光層/正孔輸送層/電荷注入層/陽極/封止部材という構成を有する有機EL素子の場合、基板、陰極、電荷注入層及び電子輸送層の全てを透明なものとし、所謂ボトムエミッション型の素子とするか、又は正孔輸送層、電荷注入層、陽極及び封止部材の全てを透明なものとし、所謂トップエミッション型の素子とすることができる。ここで透明とは、発光層から光を放出する層までの可視光透過率が40%以上のものが好ましい。紫外領域又は赤外領域の発光が求められる素子の場合は、当該領域において40%以上の透過率を有するものが好ましい。   In the organic EL device of the present invention, in order to emit light from the light emitting layer, all the layers on either side of the light emitting layer are usually transparent. Specifically, for example, in the case of an organic EL device having a configuration of substrate / anode / charge injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / charge injection layer / cathode / sealing member, the substrate, anode, charge All of the injection layer and hole transport layer are transparent, so-called bottom emission type elements, or all of the electron transport layer, charge injection layer, cathode and sealing member are transparent, so-called top emission Type element. In the case of an organic EL device having the structure of substrate / cathode / charge injection layer / electron transport layer / light emitting layer / hole transport layer / charge injection layer / anode / sealing member, the substrate, cathode, charge injection layer and electrons All of the transport layers are transparent, so-called bottom emission type elements, or the hole transport layer, the charge injection layer, the anode and the sealing member are all transparent, so-called top emission type elements. can do. Here, the term “transparent” means that the visible light transmittance from the light emitting layer to the light emitting layer is 40% or more. In the case of an element that requires light emission in the ultraviolet region or infrared region, a device having a transmittance of 40% or more in the region is preferable.

本発明の有機EL素子は、さらに電極との密着性向上や電極からの電荷注入の改善のために、電極に隣接して前記の電荷注入層又は膜厚2nm以下の絶縁層を設けてもよく、また、界面の密着性向上や混合の防止等のために電荷輸送層や発光層の界面に薄いバッファー層を挿入してもよい。
積層する層の順番や数、及び各層の厚さについては、発光効率や素子寿命を勘案して適宜用いることができる。
In the organic EL device of the present invention, the charge injection layer or an insulating layer having a thickness of 2 nm or less may be provided adjacent to the electrode in order to improve adhesion with the electrode or improve charge injection from the electrode. In addition, a thin buffer layer may be inserted at the interface between the charge transport layer and the light emitting layer in order to improve the adhesion of the interface or prevent mixing.
The order and number of layers to be laminated, and the thickness of each layer can be appropriately used in consideration of light emission efficiency and element lifetime.

次に、本発明の有機EL素子を構成する各層の材料及び形成方法について、より具体的に説明する。   Next, the material and forming method of each layer constituting the organic EL element of the present invention will be described more specifically.

<基板>
本発明の有機EL素子を構成する基板は、電極を形成し、有機物の層を形成する際に変化しないものであればよく、例えばガラス、プラスチック、高分子フィルム、シリコン基板、これらを積層したものなどが用いられる。前記基板としては、市販のものが入手可能であり、又は公知の方法により製造することができる。
<Board>
The substrate constituting the organic EL device of the present invention may be any substrate as long as it does not change when an electrode is formed and an organic layer is formed, for example, glass, plastic, polymer film, silicon substrate, or a laminate of these. Etc. are used. A commercially available substrate is available as the substrate, or can be manufactured by a known method.

<陽極>
本発明の有機EL素子の陽極としては、透明又は半透明の電極を用いることが、陽極を通して発光する素子を構成しうるため好ましい。かかる透明電極または半透明電極としては、電気伝導度の高い金属酸化物、金属硫化物や金属の薄膜を用いることができ、透過率が高いものが好適に利用でき、用いる有機層により適宜、選択して用いる。具体的には、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、およびそれらの複合体であるインジウム・スズ・オキサイド(ITO)、インジウム・亜鉛・オキサイド等からなる導電性ガラスを用いて作成された膜(NESAなど)や、金、白金、銀、銅等が用いられ、ITO、インジウム・亜鉛・オキサイド、酸化スズが好ましい。作製方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、メッキ法等が挙げられる。また、該陽極として、ポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などの有機の透明導電膜を用いてもよい。
陽極には、光を反射させる材料を用いてもよく、該材料としては、仕事関数3.0eV以上の金属、金属酸化物、金属硫化物が好ましい。
<Anode>
As the anode of the organic EL element of the present invention, it is preferable to use a transparent or translucent electrode because an element that emits light through the anode can be configured. As such a transparent electrode or a semi-transparent electrode, a metal oxide, metal sulfide or metal thin film having high electrical conductivity can be used, and a high transmittance can be suitably used. And use. Specifically, indium oxide, zinc oxide, tin oxide, and a composite film made of conductive glass made of indium / tin / oxide (ITO), indium / zinc / oxide, etc. (NESA) Etc.), gold, platinum, silver, copper and the like are used, and ITO, indium / zinc / oxide, and tin oxide are preferable. Examples of the production method include a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, and the like. Further, an organic transparent conductive film such as polyaniline or a derivative thereof, polythiophene or a derivative thereof may be used as the anode.
A material that reflects light may be used for the anode, and the material is preferably a metal, metal oxide, or metal sulfide having a work function of 3.0 eV or more.

陽極の膜厚は、光の透過性と電気伝導度とを考慮して、適宜選択することができるが、例えば10nm〜10μmであり、好ましくは20nm〜1μmであり、さらに好ましくは50nm〜500nmである。   The film thickness of the anode can be appropriately selected in consideration of light transmittance and electrical conductivity, and is, for example, 10 nm to 10 μm, preferably 20 nm to 1 μm, more preferably 50 nm to 500 nm. is there.

<正孔注入層>
正孔注入層は、陽極と正孔輸送層との間、または陽極と発光層との間に設けることができる。本発明の特に好ましい態様においては、正孔注入層として、前記金属酸化物層を用いることができる。
本発明の有機EL素子において、前記金属酸化物層を正孔注入層以外の層として有する場合においては、正孔注入層を形成する材料としては、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、酸化バナジウム、酸化タンタル、酸化タングステン、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウム等の酸化物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、ポリチオフェン誘導体等が挙げられる。
<Hole injection layer>
The hole injection layer can be provided between the anode and the hole transport layer or between the anode and the light emitting layer. In a particularly preferred embodiment of the present invention, the metal oxide layer can be used as the hole injection layer.
In the organic EL device of the present invention, in the case where the metal oxide layer is provided as a layer other than the hole injection layer, the material for forming the hole injection layer is phenylamine, starburst amine, or phthalocyanine. And oxides such as vanadium oxide, tantalum oxide, tungsten oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, and aluminum oxide, amorphous carbon, polyaniline, and polythiophene derivatives.

<正孔輸送層>
正孔輸送層としては、前記金属酸化物層を用いうる場合もあるが、それ以外の場合において正孔輸送層を構成する材料としては、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン)若しくはその誘導体、又はポリ(2,5−チエニレンビニレン)若しくはその誘導体などが例示される。
<Hole transport layer>
As the hole transport layer, the metal oxide layer may be used. In other cases, the material constituting the hole transport layer may be polyvinyl carbazole or a derivative thereof, polysilane or a derivative thereof, a side chain, Polysiloxane derivative having aromatic amine in the main chain, pyrazoline derivative, arylamine derivative, stilbene derivative, triphenyldiamine derivative, polyaniline or derivative thereof, polythiophene or derivative thereof, polyarylamine or derivative thereof, polypyrrole or derivative thereof, poly Examples thereof include (p-phenylene vinylene) or a derivative thereof, or poly (2,5-thienylene vinylene) or a derivative thereof.

これらの中で、正孔輸送層に用いる正孔輸送材料として、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミン化合物基を有するポリシロキサン誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン)若しくはその誘導体、又はポリ(2,5−チエニレンビニレン)若しくはその誘導体等の高分子正孔輸送材料が好ましく、さらに好ましくはポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体である。低分子の正孔輸送材料の場合には、高分子バインダーに分散させて用いることが好ましい。   Among these, as a hole transport material used for the hole transport layer, polyvinyl carbazole or a derivative thereof, polysilane or a derivative thereof, a polysiloxane derivative having an aromatic amine compound group in a side chain or a main chain, polyaniline or a derivative thereof, Polymeric hole transport materials such as polythiophene or derivatives thereof, polyarylamine or derivatives thereof, poly (p-phenylene vinylene) or derivatives thereof, or poly (2,5-thienylene vinylene) or derivatives thereof are preferred, and more preferred Is polyvinyl carbazole or a derivative thereof, polysilane or a derivative thereof, and a polysiloxane derivative having an aromatic amine in a side chain or a main chain. In the case of a low-molecular hole transport material, it is preferably used by being dispersed in a polymer binder.

正孔輸送層の成膜の方法に制限はないが、低分子正孔輸送材料では、高分子バインダーとの混合溶液からの成膜による方法が例示される。また、高分子正孔輸送材料では、溶液からの成膜による方法が例示される。   Although there is no restriction | limiting in the film-forming method of a positive hole transport layer, In the low molecular hole transport material, the method by the film-forming from a mixed solution with a polymer binder is illustrated. In the case of a polymer hole transport material, a method of film formation from a solution is exemplified.

溶液からの成膜に用いる溶媒としては、正孔輸送材料を溶解させるものであれば特に制限はない。該溶媒として、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン等の塩素系溶媒、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセルソルブアセテート等のエステル系溶媒が例示される。   The solvent used for film formation from a solution is not particularly limited as long as it can dissolve a hole transport material. Examples of the solvent include chlorine solvents such as chloroform, methylene chloride, and dichloroethane; ether solvents such as tetrahydrofuran; aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene; ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone; ethyl acetate, butyl acetate, An ester solvent such as ethyl cellosolve acetate is exemplified.

溶液からの成膜方法としては、溶液からのスピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スリットコート法、キャピラリーコート法、スプレーコート法、ノズルコート法などのコート法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、反転印刷法、インクジェットプリント法等の印刷法等の塗布法を用いることができる。パターン形成が容易であるという点で、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、反転印刷法、インクジェットプリント法等の印刷法が好ましい。   Examples of film formation methods from solution include spin coating from solution, casting method, micro gravure coating method, gravure coating method, bar coating method, roll coating method, wire bar coating method, dip coating method, slit coating method, capillary Coating methods such as coating methods, spray coating methods, nozzle coating methods, etc., gravure printing methods, screen printing methods, flexographic printing methods, offset printing methods, reverse printing methods, printing methods such as inkjet printing methods, etc. may be used. it can. A printing method such as a gravure printing method, a screen printing method, a flexographic printing method, an offset printing method, a reversal printing method, and an inkjet printing method is preferable in that the pattern formation is easy.

混合する高分子バインダーとしては、電荷輸送を極度に阻害しないものが好ましく、また可視光に対する吸収が強くないものが好適に用いられる。該高分子バインダーとして、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリシロキサン等が例示される。   As the polymer binder to be mixed, those not extremely disturbing charge transport are preferable, and those showing no strong absorption against visible light are suitably used. Examples of the polymer binder include polycarbonate, polyacrylate, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, polystyrene, polyvinyl chloride, and polysiloxane.

正孔輸送層の膜厚としては、用いる材料によって最適値が異なり、駆動電圧と発光効率が適度な値となるように選択すればよいが、少なくともピンホールが発生しないような厚さが必要であり、あまり厚いと、素子の駆動電圧が高くなり好ましくない。従って、該正孔輸送層の膜厚としては、例えば1nmから1μmであり、好ましくは2nm〜500nmであり、さらに好ましくは5nm〜200nmである。   The film thickness of the hole transport layer differs depending on the material used, and may be selected so that the drive voltage and the light emission efficiency are appropriate. However, at least a thickness that does not cause pinholes is required. If it is too thick, the driving voltage of the element becomes high, which is not preferable. Therefore, the film thickness of the hole transport layer is, for example, 1 nm to 1 μm, preferably 2 nm to 500 nm, and more preferably 5 nm to 200 nm.

<発光層>
発光層は、本発明においては有機発光層であることが好ましく、通常、主として蛍光またはりん光を発光する有機物(低分子化合物および高分子化合物)を有する。なお、さらにドーパント材料を含んでいてもよい。本発明において用いることができる発光層を形成する材料としては、例えば以下のものが挙げられる。
<Light emitting layer>
In the present invention, the light emitting layer is preferably an organic light emitting layer, and usually has organic substances (low molecular compounds and high molecular compounds) that mainly emit fluorescence or phosphorescence. Further, a dopant material may be further included. Examples of the material for forming the light emitting layer that can be used in the present invention include the following.

色素系材料
色素系材料としては、例えば、シクロペンダミン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体化合物、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ピロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマーなどが挙げられる。
The dye material dye material, for example, cyclopropyl derivatives, tetraphenyl butadiene derivative compounds, triphenylamine derivatives, oxadiazole derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyryl benzene derivatives, distyryl arylene derivatives, pyrrole derivatives, Examples include a thiophene ring compound, a pyridine ring compound, a perinone derivative, a perylene derivative, an oligothiophene derivative, a trifumanylamine derivative, an oxadiazole dimer, and a pyrazoline dimer.

金属錯体系材料
金属錯体系材料としては、例えば、イリジウム錯体、白金錯体等の三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体など、中心金属に、Al、Zn、BeなどまたはTb、Eu、Dyなどの希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造などを有する金属錯体などを挙げることができる。
As the metal complex based material metal complex materials, for example, iridium complexes, metal complexes having light emission from a triplet excited state, such as platinum complexes, an aluminum quinolinol complex, a benzoquinolinol beryllium complex, a benzoxazolyl zinc complexes, benzothiazole Zinc complex, azomethylzinc complex, porphyrin zinc complex, europium complex, etc., the central metal has Al, Zn, Be etc. or rare earth metal such as Tb, Eu, Dy etc., and the ligand is oxadiazole, thiadiazole, phenyl Examples thereof include metal complexes having pyridine, phenylbenzimidazole, quinoline structure, and the like.

高分子系材料
高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、上記色素体や金属錯体系発光材料を高分子化したものなどが挙げられる。
上記発光性材料のうち、青色に発光する材料としては、ジスチリルアリーレン誘導体、オキサジアゾール誘導体、およびそれらの重合体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体などを挙げることができる。なかでも高分子材料のポリビニルカルバゾール誘導体、ポリパラフェニレン誘導体やポリフルオレン誘導体などが好ましい。
また、緑色に発光する材料としては、キナクリドン誘導体、クマリン誘導体、およびそれらの重合体、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体などを挙げることができる。なかでも高分子材料のポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体などが好ましい。
また、赤色に発光する材料としては、クマリン誘導体、チオフェン環化合物、およびそれらの重合体、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体などを挙げることが出来る。なかでも高分子材料のポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体などが好ましい。
High molecular weight materials High molecular weight materials include polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyfluorene derivatives, polyvinylcarbazole derivatives, the above chromophores and metal complex light emitting materials. Examples include molecules.
Among the light emitting materials, examples of the material that emits blue light include distyrylarylene derivatives, oxadiazole derivatives, and polymers thereof, polyvinylcarbazole derivatives, polyparaphenylene derivatives, and polyfluorene derivatives. Of these, polymer materials such as polyvinyl carbazole derivatives, polyparaphenylene derivatives, and polyfluorene derivatives are preferred.
Examples of materials that emit green light include quinacridone derivatives, coumarin derivatives, and polymers thereof, polyparaphenylene vinylene derivatives, polyfluorene derivatives, and the like. Of these, polymer materials such as polyparaphenylene vinylene derivatives and polyfluorene derivatives are preferred.
Examples of materials that emit red light include coumarin derivatives, thiophene ring compounds, and polymers thereof, polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, and polyfluorene derivatives. Among these, polymer materials such as polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, and polyfluorene derivatives are preferable.

ドーパント材料
発光層中に発光効率の向上や発光波長を変化させるなどの目的で、ドーパントを添加することができる。このようなドーパントとしては、例えば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾロン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾンなどを挙げることができる。なお、このような発光層の厚さは、通常約20〜2000Åである。
A dopant can be added to the light emitting layer of the dopant material for the purpose of improving the light emission efficiency and changing the light emission wavelength. Examples of such dopants include perylene derivatives, coumarin derivatives, rubrene derivatives, quinacridone derivatives, squalium derivatives, porphyrin derivatives, styryl dyes, tetracene derivatives, pyrazolone derivatives, decacyclene, phenoxazone, and the like. In addition, the thickness of such a light emitting layer is about 20-2000 mm normally.

<発光層の成膜方法>
有機物を含む発光層の成膜方法としては、発光材料を含む溶液を基体の上又は上方に塗布する方法、真空蒸着法、転写法などを用いることができる。溶液からの成膜に用いる溶媒の具体例としては、前述の溶液から正孔輸送層を成膜する際に正孔輸送材料を溶解させる溶媒と同様の溶媒があげられる。
発光材料を含む溶液を基体の上又は上方に塗布する方法としては、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スリットコート法、キャピラリーコート法、スプレーコート法、ノズルコート法などのコート法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、反転印刷法、インクジェットプリント法等の印刷法等の塗布法を用いることができる。パターン形成や多色の色分けが容易であるという点で、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、反転印刷法、インクジェットプリント法等の印刷法が好ましい。また、昇華性の低分子化合物の場合は、真空蒸着法を用いることができる。さらには、レーザーによる転写や熱転写により、所望のところのみに発光層を形成する方法も用いることができる。
<Method for forming light emitting layer>
As a method for forming a light emitting layer containing an organic substance, a method of applying a solution containing a light emitting material on or above a substrate, a vacuum deposition method, a transfer method, or the like can be used. Specific examples of the solvent used for the film formation from the solution include the same solvents as those for dissolving the hole transport material when forming the hole transport layer from the above solution.
As a method for applying a solution containing a light emitting material on or above a substrate, a spin coating method, a casting method, a micro gravure coating method, a gravure coating method, a bar coating method, a roll coating method, a wire bar coating method, a dip coating method Coating methods such as slit coating method, capillary coating method, spray coating method, nozzle coating method, gravure printing method, screen printing method, flexographic printing method, offset printing method, reversal printing method, inkjet printing method, etc. A coating method can be used. A printing method such as a gravure printing method, a screen printing method, a flexographic printing method, an offset printing method, a reversal printing method, and an ink jet printing method is preferable in that pattern formation and multi-coloring are easy. In the case of a sublimable low-molecular compound, a vacuum deposition method can be used. Furthermore, a method of forming a light emitting layer only at a desired place by laser transfer or thermal transfer can be used.

<電子輸送層>
電子輸送層としては、前記金属酸化物層を用いうる場合もあるが、それ以外の場合において電子輸送層を構成する材料としては、公知のものが使用でき、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン若しくはその誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、ナフトキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン若しくはその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン若しくはその誘導体、ジフェノキノン誘導体、又は8−ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体等が例示される。
<Electron transport layer>
As the electron transport layer, the metal oxide layer may be used, but in other cases, known materials can be used as the material constituting the electron transport layer, such as oxadiazole derivatives, anthraquinodimethane. Or derivatives thereof, benzoquinone or derivatives thereof, naphthoquinone or derivatives thereof, anthraquinones or derivatives thereof, tetracyanoanthraquinodimethane or derivatives thereof, fluorenone derivatives, diphenyldicyanoethylene or derivatives thereof, diphenoquinone derivatives, or 8-hydroxyquinoline or derivatives thereof. And metal complexes, polyquinoline or a derivative thereof, polyquinoxaline or a derivative thereof, polyfluorene or a derivative thereof, and the like.

これらのうち、オキサジアゾール誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、又は8−ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体が好ましく、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、ベンゾキノン、アントラキノン、トリス(8−キノリノール)アルミニウム、ポリキノリンがさらに好ましい。   Of these, oxadiazole derivatives, benzoquinone or derivatives thereof, anthraquinones or derivatives thereof, or metal complexes of 8-hydroxyquinoline or derivatives thereof, polyquinoline or derivatives thereof, polyquinoxaline or derivatives thereof, polyfluorene or derivatives thereof are preferred, 2- (4-biphenylyl) -5- (4-t-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, benzoquinone, anthraquinone, tris (8-quinolinol) aluminum, and polyquinoline are more preferable.

電子輸送層の成膜法としては特に制限はないが、低分子電子輸送材料では、粉末からの真空蒸着法、又は溶液若しくは溶融状態からの成膜による方法が、高分子電子輸送材料では溶液又は溶融状態からの成膜による方法がそれぞれ例示される。溶液又は溶融状態からの成膜時には、高分子バインダーを併用してもよい。溶液から電子輸送層を成膜する方法としては、前述の溶液から正孔輸送層を成膜する方法と同様の成膜法があげられる。   There are no particular restrictions on the method of forming the electron transport layer, but in the case of a low molecular electron transport material, a vacuum deposition method from powder or a method by film formation from a solution or a molten state is used. Each method is exemplified by film formation from a molten state. When forming a film from a solution or a molten state, a polymer binder may be used in combination. Examples of the method for forming an electron transport layer from a solution include the same film formation method as the method for forming a hole transport layer from a solution described above.

電子輸送層の膜厚としては、用いる材料によって最適値が異なり、駆動電圧と発光効率が適度な値となるように選択すればよいが、少なくともピンホールが発しないような厚さが必要であり、あまり厚いと、素子の駆動電圧が高くなり好ましくない。従って、該電子輸送層の膜厚としては、例えば1nmから1μmであり、好ましくは2nm〜500nmであり、さらに好ましくは5nm〜200nmである。   The film thickness of the electron transport layer varies depending on the material used, and may be selected so that the drive voltage and the light emission efficiency are appropriate. However, at least a thickness that does not cause pinholes is required. If the thickness is too thick, the driving voltage of the element increases, which is not preferable. Therefore, the thickness of the electron transport layer is, for example, 1 nm to 1 μm, preferably 2 nm to 500 nm, and more preferably 5 nm to 200 nm.

<電子注入層>
電子注入層は、電子輸送層と陰極との間、または発光層と陰極との間に設けられる。電子注入層としては、前記金属酸化物層を用いうる場合もあるが、それ以外の場合において、電子注入層としては、発光層の種類に応じて、アルカリ金属やアルカリ土類金属、或いは前記金属を1種類以上含む合金、或いは前記金属の酸化物、ハロゲン化物及び炭酸化物、或いは前記物質の混合物などが挙げられる。アルカリ金属またはその酸化物、ハロゲン化物、炭酸化物の例としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、酸化リチウム、フッ化リチウム、酸化ナトリウム、フッ化ナトリウム、酸化カリウム、フッ化カリウム、酸化ルビジウム、フッ化ルビジウム、酸化セシウム、フッ化セシウム、炭酸リチウム等が挙げられる。また、アルカリ土類金属またはその酸化物、ハロゲン化物、炭酸化物の例としては、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、酸化カルシウム、フッ化カルシウム、酸化バリウム、フッ化バリウム、酸化ストロンチウム、フッ化ストロンチウム、炭酸マグネシウム等が挙げられる。電子注入層は、2層以上を積層したものであってもよい。具体的には、LiF/Caなどが挙げられる。電子注入層は、蒸着法、スパッタリング法、印刷法等により形成される。電子注入層の膜厚としては、1nm〜1μm程度が好ましい。
<Electron injection layer>
The electron injection layer is provided between the electron transport layer and the cathode or between the light emitting layer and the cathode. As the electron injection layer, the metal oxide layer may be used. In other cases, the electron injection layer may be an alkali metal, an alkaline earth metal, or the metal depending on the type of the light emitting layer. Or an alloy containing one or more of the above, an oxide, halide and carbonate of the metal, or a mixture of the substances. Examples of alkali metals or oxides, halides and carbonates thereof include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, lithium oxide, lithium fluoride, sodium oxide, sodium fluoride, potassium oxide, potassium fluoride, rubidium oxide. , Rubidium fluoride, cesium oxide, cesium fluoride, lithium carbonate and the like. Examples of alkaline earth metals or oxides, halides and carbonates thereof include magnesium, calcium, barium, strontium, magnesium oxide, magnesium fluoride, calcium oxide, calcium fluoride, barium oxide, barium fluoride, Examples include strontium oxide, strontium fluoride, and magnesium carbonate. The electron injection layer may be a laminate of two or more layers. Specifically, LiF / Ca etc. are mentioned. The electron injection layer is formed by vapor deposition, sputtering, printing, or the like. The thickness of the electron injection layer is preferably about 1 nm to 1 μm.

<陰極材料>
本発明の有機EL素子で用いる陰極の材料としては、仕事関数の小さく発光層への電子注入が容易な材料かつ/もしくは電気伝導度が高い材料かつ/もしくは可視光反射率の高い材料が好ましい。金属では、アルカリ金属やアルカリ土類金属、遷移金属やIII−B族金属を用いることができる。例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、アルミニウム、スカンジウム、バナジウム、亜鉛、イットリウム、インジウム、セリウム、サマリウム、ユーロピウム、テルビウム、イッテルビウムなどの金属、又は上記金属のうち2つ以上の合金、又はそれらのうち1つ以上と、金、銀、白金、銅、マンガン、チタン、コバルト、ニッケル、タングステン、錫のうち1つ以上との合金、又はグラファイト若しくはグラファイト層間化合物等が用いられる。合金の例としては、マグネシウム−銀合金、マグネシウム−インジウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金、インジウム−銀合金、リチウム−アルミニウム合金、リチウム−マグネシウム合金、リチウム−インジウム合金、カルシウム−アルミニウム合金などが挙げられる。また、陰極として透明導電性電極を用いることができ、例えば導電性金属酸化物や導電性有機物などを用いることができる。具体的には、導電性金属酸化物として酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、およびそれらの複合体であるインジウム・スズ・オキサイド(ITO)やインジウム・亜鉛・オキサイド(IZO)、導電性有機物としてポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などの有機の透明導電膜を用いてもよい。なお、陰極を2層以上の積層構造としてもよい。なお、電子注入層が陰極として用いられる場合もある。
<Cathode material>
As a material for the cathode used in the organic EL device of the present invention, a material having a small work function and easy electron injection into the light emitting layer and / or a material having high electrical conductivity and / or a material having high visible light reflectivity are preferable. As the metal, an alkali metal, an alkaline earth metal, a transition metal, or a group III-B metal can be used. For example, a metal such as lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, beryllium, magnesium, calcium, strontium, barium, aluminum, scandium, vanadium, zinc, yttrium, indium, cerium, samarium, europium, terbium, ytterbium, or the above metal Or an alloy of one or more of them with one or more of gold, silver, platinum, copper, manganese, titanium, cobalt, nickel, tungsten, tin, or a graphite or graphite layer A compound or the like is used. Examples of the alloy include magnesium-silver alloy, magnesium-indium alloy, magnesium-aluminum alloy, indium-silver alloy, lithium-aluminum alloy, lithium-magnesium alloy, lithium-indium alloy, calcium-aluminum alloy, and the like. Moreover, a transparent conductive electrode can be used as a cathode, for example, a conductive metal oxide, a conductive organic substance, etc. can be used. Specifically, indium oxide, zinc oxide, tin oxide and indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO) which are composites thereof as conductive metal oxides, and polyaniline as conductive organic substances Alternatively, an organic transparent conductive film such as a derivative thereof, polythiophene or a derivative thereof may be used. Note that the cathode may have a laminated structure of two or more layers. In some cases, the electron injection layer is used as a cathode.

陰極の膜厚は、電気伝導度や耐久性を考慮して、適宜選択することができるが、例えば10nmから10μmであり、好ましくは20nm〜1μmであり、さらに好ましくは50nm〜500nmである。   The thickness of the cathode can be appropriately selected in consideration of electric conductivity and durability, but is, for example, 10 nm to 10 μm, preferably 20 nm to 1 μm, and more preferably 50 nm to 500 nm.

陰極の作製方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、また金属薄膜を圧着するラミネート法等が用いられる。   As a method for producing the cathode, a vacuum deposition method, a sputtering method, a laminating method for bonding a metal thin film, or the like is used.

<絶縁層>
本発明の有機EL素子が任意に有しうる、膜厚2nm以下の絶縁層は電荷注入を容易にする機能を有するものである。上記絶縁層の材料としては、金属フッ化物、金属酸化物、有機絶縁材料等が挙げられる。膜厚2nm以下の絶縁層を設けた有機EL素子としては、陰極に隣接して膜厚2nm以下の絶縁層を設けたもの、陽極に隣接して膜厚2nm以下の絶縁層を設けたものが挙げられる。
<Insulating layer>
An insulating layer having a film thickness of 2 nm or less that can be optionally included in the organic EL device of the present invention has a function of facilitating charge injection. Examples of the material for the insulating layer include metal fluorides, metal oxides, and organic insulating materials. Organic EL elements having an insulating layer having a thickness of 2 nm or less are provided with an insulating layer having a thickness of 2 nm or less adjacent to the cathode, and those having an insulating layer having a thickness of 2 nm or less adjacent to the anode. Can be mentioned.

本発明の有機EL素子は面状光源、セグメント表示装置、ドットマトリックス表示装置、液晶表示装置のバックライトとして用いることができる。   The organic EL element of the present invention can be used as a backlight for a planar light source, a segment display device, a dot matrix display device, and a liquid crystal display device.

本発明の有機EL素子を用いて面状の発光を得るためには、面状の陽極と陰極が重なり合うように配置すればよい。また、パターン状の発光を得るためには、前記面状の発光素子の表面にパターン状の窓を設けたマスクを設置する方法、非発光部の有機物層を極端に厚く形成し実質的に非発光とする方法、陽極または陰極のいずれか一方、または両方の電極をパターン状に形成する方法がある。これらのいずれかの方法でパターンを形成し、いくつかの電極を独立にOn/OFFできるように配置することにより、数字や文字、簡単な記号などを表示できるセグメントタイプの表示素子が得られる。更に、ドットマトリックス素子とするためには、陽極と陰極をともにストライプ状に形成して直交するように配置すればよい。複数の種類の発光色の異なる発光材料を塗り分ける方法や、カラーフィルターまたは蛍光変換フィルターを用いる方法により、部分カラー表示、マルチカラー表示が可能となる。ドットマトリックス素子は、パッシブ駆動も可能であるし、TFTなどと組み合わせてアクティブ駆動してもよい。これらの表示素子は、コンピュータ、テレビ、携帯端末、携帯電話、カーナビゲーション、ビデオカメラのビューファインダーなどの表示装置として用いることができる。   In order to obtain planar light emission using the organic EL element of the present invention, the planar anode and cathode may be arranged so as to overlap each other. In addition, in order to obtain pattern-like light emission, a method of installing a mask provided with a pattern-like window on the surface of the planar light-emitting element, an organic material layer of a non-light-emitting portion is formed extremely thick and substantially non- There are a method of emitting light and a method of forming either one of the anode or the cathode or both electrodes in a pattern. By forming a pattern by any of these methods and arranging some electrodes so that they can be turned on / off independently, a segment type display element capable of displaying numbers, letters, simple symbols and the like can be obtained. Further, in order to obtain a dot matrix element, both the anode and the cathode may be formed in a stripe shape and arranged so as to be orthogonal to each other. Partial color display and multicolor display are possible by a method of separately coating a plurality of types of light emitting materials having different emission colors or a method using a color filter or a fluorescence conversion filter. The dot matrix element can be driven passively or may be driven actively in combination with TFTs. These display elements can be used as display devices for computers, televisions, mobile terminals, mobile phones, car navigation systems, video camera viewfinders, and the like.

さらに、前記面状の発光素子は、自発光薄型であり、液晶表示装置のバックライト用の面状光源、あるいは面状の照明用光源として好適に用いることができる。また、フレキシブルな基板を用いれば、曲面状の光源や表示装置としても使用できる。   Furthermore, the planar light-emitting element is thin and self-luminous, and can be suitably used as a planar light source for a backlight of a liquid crystal display device or a planar illumination light source. If a flexible substrate is used, it can be used as a curved light source or display device.

以下において、本発明を実施例及び比較例を参照してより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.

<実施例1>
(1−1:インターレイヤー材料の調製)
攪拌翼、バッフル、長さ調整可能な窒素導入管、冷却管、温度計をつけたセパラブルフラスコに2,7−ビス(1,3,2−ジオキサボロラン−2−イル)−9,9−ジオクチルフルオレン158.29重量部、ビス−(4−ブロモフェニル)−4−(1−メチルプロピル)−ベンゼンアミン 136.11重量部、トリカプリルメチルアンモニウムクロリド(ヘンケル社製 Aliquat 336) 27重量部、トルエン1800重量部を仕込み、窒素導入管より窒素を流しながら、攪拌下90℃まで昇温した。酢酸パラジウム(II) 0.066重量部、トリ(o−トルイル)ホスフィン0.45重量部を加えた後、17.5%炭酸ナトリウム水溶液573重量部を1時間かけて滴下した。滴下終了後、窒素導入管を液面より引き上げ、還流下7時間保温した後、フェニルホウ酸3.6重量部を加え、14時間還流下保温し、室温まで冷却した。反応液水層を除いた後、反応液油層をトルエンで希釈し、3%酢酸水溶液、イオン交換水で洗浄した。分液油層にN,N−ジエチルジチオカルバミド酸ナトリウム三水和物13重量部を加え4時間攪拌した後、活性アルミナとシリカゲルの混合カラムに通液し、トルエンを通液してカラムを洗浄した。濾液および洗液を混合した後、メタノールに滴下して、ポリマーを沈殿させた。得られたポリマー沈殿を濾別し、メタノールで沈殿を洗浄した後、真空乾燥機でポリマーを乾燥させ、ポリマー192重量部を得た。得られたポリマーを高分子化合物1とよぶ。高分子化合物1のポリスチレン換算重量平均分子量および数平均分子量を下記のGPC分析法により求めたところ、ポリスチレン換算重量平均分子量は、3.7x10であり、数平均分子量は8.9x10あった。
<Example 1>
(1-1: Preparation of interlayer material)
2,7-bis (1,3,2-dioxaborolan-2-yl) -9,9-dioctyl was added to a separable flask equipped with a stirring blade, baffle, length-adjustable nitrogen inlet tube, cooling tube and thermometer. 158.29 parts by weight of fluorene, 136.11 parts by weight of bis- (4-bromophenyl) -4- (1-methylpropyl) -benzenamine, 27 parts by weight of tricaprylmethylammonium chloride (Aliquat 336 manufactured by Henkel), toluene 1800 parts by weight were charged, and the temperature was raised to 90 ° C. with stirring while flowing nitrogen from the nitrogen introduction tube. After adding 0.066 parts by weight of palladium (II) acetate and 0.45 parts by weight of tri (o-toluyl) phosphine, 573 parts by weight of a 17.5% aqueous sodium carbonate solution was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the nitrogen inlet tube was lifted from the liquid surface and kept under reflux for 7 hours, then 3.6 parts by weight of phenylboric acid was added, kept under reflux for 14 hours, and cooled to room temperature. After removing the reaction solution aqueous layer, the reaction solution oil layer was diluted with toluene and washed with 3% acetic acid aqueous solution and ion-exchanged water. 13 parts by weight of sodium N, N-diethyldithiocarbamate trihydrate was added to the separated oil layer, stirred for 4 hours, and then passed through a mixed column of activated alumina and silica gel, and toluene was passed through to wash the column. . The filtrate and washings were mixed and then added dropwise to methanol to precipitate the polymer. The obtained polymer precipitate was separated by filtration, washed with methanol, and then dried with a vacuum dryer to obtain 192 parts by weight of polymer. The resulting polymer is referred to as polymer compound 1. When the polystyrene equivalent weight average molecular weight and number average molecular weight of the polymer compound 1 were determined by the following GPC analysis method, the polystyrene equivalent weight average molecular weight was 3.7 × 10 5 and the number average molecular weight was 8.9 × 10 4 .

(GPC分析法)
ポリスチレン換算重量平均分子量および数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により求めた。GPCの検量線の作成にはポリマーラボラトリーズ社製標準ポリスチレンを使用した。測定する重合体は、約0.02重量%の濃度になるようテトラヒドロフランに溶解させ、GPC装置に10μL注入した。
GPC装置は島津製作所製LC−10ADvpを用いた。カラムは、ポリマーラボラトリーズ社製 PLgel 10μm MIXED−B カラム (300 x 7.5mm)を2本直列に接続して用い、移動相としてテトラヒドロフランを25℃、1.0mL/minの流速で流した。検出器はUV検出器を用い228nmの吸光度を測定した。
(GPC analysis method)
The polystyrene equivalent weight average molecular weight and number average molecular weight were determined by gel permeation chromatography (GPC). Standard polystyrene made by Polymer Laboratories was used to prepare a GPC calibration curve. The polymer to be measured was dissolved in tetrahydrofuran to a concentration of about 0.02% by weight, and 10 μL was injected into the GPC apparatus.
The GPC apparatus used was LC-10ADvp manufactured by Shimadzu Corporation. As the column, two PLgel 10 μm MIXED-B columns (300 × 7.5 mm) manufactured by Polymer Laboratories were used in series, and tetrahydrofuran was flowed at 25 ° C. and a flow rate of 1.0 mL / min as a mobile phase. The detector used a UV detector to measure the absorbance at 228 nm.

(1−2:有機EL素子の作製:MoO層)
基板としてITOの薄膜が表面にパターニングされたガラス基板を用い、このITO薄膜上に、下記の手順で、膜厚100ÅのMoO層を真空蒸着法により蒸着した。
ガラス基板のITO薄膜を有する側の面を蒸着マスクを用いて部分的に被覆し、蒸着チャンバー内に基板ホルダーを用い取り付けた。
MoO粉末(アルドリッチ社製、純度99.99%)を、ボックスタイプの昇華物質用のタングステンボードに詰め、材料が飛び散らないように穴の開いたカバーで覆い、蒸着チャンバー内にセットした。
蒸着チャンバー内の真空度を3×10−5Pa以下とし、MoOを抵抗加熱法により徐々に加熱し十分に脱ガスを行なってから蒸着に供した。蒸着中の真空度は9×10−5Pa以下とした。膜厚及び蒸着速度は水晶振動子で常時モニターした。MoOの蒸着速度が約2.8Å/秒となった時点でメインシャッターを開き、基板への成膜を開始した。蒸着中は基板を回転させ、膜厚が均一になるようにした。蒸着速度を上記速度に制御して約36秒間成膜を行ない、膜厚約100Åの蒸着膜が設けられた基板を得た。
(1-2: Production of organic EL element: MoO 3 layers)
A glass substrate having an ITO thin film patterned on the surface was used as a substrate, and a MoO 3 layer having a thickness of 100 mm was deposited on the ITO thin film by a vacuum deposition method according to the following procedure.
The surface of the glass substrate having the ITO thin film was partially covered with a vapor deposition mask, and attached to the vapor deposition chamber using a substrate holder.
MoO 3 powder (manufactured by Aldrich, purity 99.99%) was packed in a tungsten board for a box-type sublimation substance, covered with a cover with holes so that the material would not scatter, and set in a vapor deposition chamber.
The degree of vacuum in the vapor deposition chamber was set to 3 × 10 −5 Pa or less, and MoO 3 was gradually heated by a resistance heating method and sufficiently degassed before being subjected to vapor deposition. The degree of vacuum during vapor deposition was 9 × 10 −5 Pa or less. The film thickness and the deposition rate were constantly monitored with a crystal resonator. When the deposition rate of MoO 3 reached about 2.8 Å / sec, the main shutter was opened and film formation on the substrate was started. During deposition, the substrate was rotated so that the film thickness was uniform. Film formation was performed for about 36 seconds while controlling the vapor deposition rate to the above speed, and a substrate provided with a vapor deposition film having a film thickness of about 100 mm was obtained.

得られた基板を大気中に取り出し、ホットプレート(アズワン社製 プログラムホットスターラーDP−2S)で200℃で45分間加熱することにより蒸着膜を加熱処理し、その後室温まで冷却した。   The obtained substrate was taken out into the atmosphere, and the deposited film was heat-treated for 45 minutes at 200 ° C. with a hot plate (program hot stirrer DP-2S manufactured by ASONE), and then cooled to room temperature.

(1−3:有機EL素子の作製:その他の層の作製及び封止)
次に、得られた加熱処理済MoO層上に、上記(1−1)で得たインターレイヤー材料をスピンコート法により成膜し、膜厚20nmのインターレイヤー層を形成した。取り出し電極部分及び封止エリアに成膜されたインターレイヤー層を除去し、ホットプレートで200℃、20分間ベイクを行った。
その後、インターレイヤー層上に、高分子発光有機材料(RP158 サメイション社製)をスピンコート法により成膜し、膜厚90nmの発光層を形成した。取り出し電極部分及び封止エリアに成膜された発光層を除去した。
これ以降封止までのプロセスは、真空中あるいは窒素中で行い、プロセス中の素子が大気に曝されないようにした。
真空の加熱室において、基板を基板温度約100℃で60分間加熱した。その後蒸着チャンバーに基板を移し、発光部及び取り出し電極部に陰極が成膜されるように、発光層面上に陰極マスクをアライメントした。さらにマスクと基板を回転させながら陰極を蒸着した。陰極として、金属Baを抵抗加熱法にて加熱し蒸着速度約2Å/秒、膜厚50Åにて蒸着し、その上に電子ビーム蒸着法を用いてAlを蒸着速度約2Å/秒、膜厚150nmにて蒸着した。
その後、基板を、予め用意しておいた、UV硬化樹脂が周辺に塗布されている封止ガラスと貼り合わせ、真空に保ち、その後大気圧に戻し、UVを照射することで固定し、発光領域が2×2mmの有機EL素子を作製した。得られた有機EL素子は、ガラス基板/ITO膜/MoO層/インターレイヤー層/発光層/Ba層/Al層/封止ガラスの層構成を有していた。
(1-3: Preparation of organic EL element: preparation and sealing of other layers)
Next, on the obtained heat-treated MoO 3 layer, the interlayer material obtained in the above (1-1) was formed by a spin coating method to form an interlayer layer having a thickness of 20 nm. The interlayer layer formed on the extraction electrode portion and the sealing area was removed, and baking was performed at 200 ° C. for 20 minutes on a hot plate.
Thereafter, a polymer light-emitting organic material (manufactured by RP158 Summation Co., Ltd.) was formed on the interlayer layer by a spin coating method to form a light-emitting layer having a thickness of 90 nm. The light emitting layer formed on the extraction electrode portion and the sealing area was removed.
The subsequent processes up to the sealing were performed in vacuum or nitrogen so that the elements in the process were not exposed to the atmosphere.
The substrate was heated at a substrate temperature of about 100 ° C. for 60 minutes in a vacuum heating chamber. Thereafter, the substrate was transferred to a vapor deposition chamber, and a cathode mask was aligned on the surface of the light emitting layer so that a cathode was formed on the light emitting portion and the extraction electrode portion. Further, the cathode was deposited while rotating the mask and the substrate. As a cathode, metal Ba is heated by a resistance heating method and evaporated at a deposition rate of about 2 mm / second and a film thickness of 50 mm, and Al is deposited thereon by an electron beam deposition method at an evaporation rate of about 2 mm / second and a film thickness of 150 nm. Vapor deposition.
Thereafter, the substrate is bonded to a prepared sealing glass coated with UV curable resin around the substrate, kept in vacuum, then returned to atmospheric pressure, fixed by irradiation with UV, and light emitting region Produced a 2 × 2 mm organic EL device. The obtained organic EL device had a layer structure of glass substrate / ITO film / MoO 3 layer / interlayer layer / light emitting layer / Ba layer / Al layer / sealing glass.

(1−4:有機EL素子の評価:寿命特性)
作成した素子に2000cd/mとなるよう通電した際の発光寿命を測定した。結果を表1に示す。後述する比較例1と比較して、発光寿命が顕著に長いことが観察された。
(1-4: Evaluation of organic EL element: life characteristics)
The lifetime of light emission when the device was energized to 2000 cd / m 2 was measured. The results are shown in Table 1. It was observed that the emission lifetime was significantly longer than that of Comparative Example 1 described later.

<実施例2>
加熱処理の温度を250℃とした他は、実施例1の工程(1−2)と同様に操作し、加熱処理済MoO層を有する基板を得た。光学顕微鏡(100倍)でMoO層の表面を観察したところ、結晶粒が観察範囲のおおよそ1/3程度の密度で分散しており、微結晶が形成されていることが確認された。
得られた基板を純水に1分間曝し、光学顕微鏡で再び観察したところ変化は無く、表面は溶けていなかった。この基板をさらに純水に3分間曝し続けるか、又は純水を含ませた不織布(商品名「ベンコット」、小津産業株式会社製)で膜を拭いた後、目視で観察したところ、いずれの場合も膜は変化無く残っていた。
別の得られた基板をアセトンに1分間曝し、光学顕微鏡で観察したところ変化は無く、表面が溶けていなかった。この基板をさらにアセトンに3分間曝し続けるか、又はアセトンを含ませた不織布で膜を拭いた後、目視で確認したところ、いずれの場合も膜は変化無く残っていた。
<Example 2>
A substrate having a heat-treated MoO 3 layer was obtained in the same manner as in step (1-2) of Example 1 except that the temperature of the heat treatment was 250 ° C. When the surface of the MoO 3 layer was observed with an optical microscope (100 times), the crystal grains were dispersed at a density of about 1/3 of the observation range, and it was confirmed that microcrystals were formed.
When the obtained substrate was exposed to pure water for 1 minute and observed again with an optical microscope, there was no change and the surface was not dissolved. In either case, the substrate was further exposed to pure water for 3 minutes, or the film was wiped with a non-woven fabric (trade name “Bencot”, manufactured by Ozu Sangyo Co., Ltd.) containing pure water and then visually observed. The membrane remained unchanged.
When another substrate obtained was exposed to acetone for 1 minute and observed with an optical microscope, there was no change and the surface was not dissolved. The substrate was further exposed to acetone for 3 minutes, or the film was wiped with a non-woven fabric containing acetone and visually confirmed. In either case, the film remained unchanged.

<比較例1>
工程(1−2)において加熱処理を行わなかった他は実施例1と同様に操作し、有機EL素子を作製し、評価した。結果を表1に示す。
<Comparative Example 1>
An organic EL device was produced and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the heat treatment was not performed in the step (1-2). The results are shown in Table 1.

Figure 0005001745
Figure 0005001745

Claims (2)

陽極、発光層、陰極、及び前記陽極と前記発光層との間又は前記発光層と前記陰極との間に設けられた金属酸化物層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
(A)素子を構成する他の層上にモリブデン酸化物、バナジウム酸化物、タングステン酸化物、タンタル酸化物及びこれらの混合物からなる群より選択される金属酸化物を、真空蒸着、スパッタリング又はイオンプレーティングにより堆積して未処理金属酸化物層を得る工程
(B)前記未処理金属酸化物層を温度50〜350℃、湿度0.01〜95%、酸素濃度0.01〜30%の雰囲気下で加熱処理して金属酸化物層を得る工程;及び
(C)金属酸化物層上に水又は有機溶媒を含む溶液を塗布する工程
を含み、
前記金属酸化物層は正孔注入層であるか、または前記発光層若しくは正孔注入層に直接接して設けられており、
前記金属酸化物層は可視光透過率が50%以上であり、金属酸化物の微結晶を含む、
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
A method for producing an organic electroluminescence device comprising an anode, a light emitting layer, a cathode, and a metal oxide layer provided between the anode and the light emitting layer or between the light emitting layer and the cathode,
(A) A metal oxide selected from the group consisting of molybdenum oxide, vanadium oxide, tungsten oxide, tantalum oxide, and mixtures thereof is deposited on the other layers constituting the device by vacuum deposition, sputtering, or ion plating. Depositing by plating to obtain an untreated metal oxide layer ;
(B) a step of heat-treating the untreated metal oxide layer in an atmosphere having a temperature of 50 to 350 ° C., a humidity of 0.01 to 95%, and an oxygen concentration of 0.01 to 30% to obtain a metal oxide layer ;
(C) applying a solution containing water or an organic solvent on the metal oxide layer ,
The metal oxide layer is a hole injection layer, or is provided in direct contact with the light emitting layer or the hole injection layer,
The metal oxide layer has a visible light transmittance of 50% or more, and includes metal oxide microcrystals.
Manufacturing method of organic electroluminescent element.
前記未処理金属酸化物層が金属酸化物の微結晶を含まない、請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The manufacturing method of the organic electroluminescent element of Claim 1 in which the said untreated metal oxide layer does not contain the microcrystal of a metal oxide.
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