JP4996669B2

JP4996669B2 - 電磁波処理装置及び電磁波処理方法

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Publication number: JP4996669B2
Application number: JP2009254859A
Authority: JP
Inventors: キョンファンオ; 直文清水
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Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2009-11-06
Filing date: 2009-11-06
Publication date: 2012-08-08
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Description

本発明は、電磁波処理装置及び電磁波処理方法に関する。

テラヘルツ波は、周波数が１ＴＨｚ前後の電磁波であり、分光・検査システムなどへの応用の拡大が期待されている周波数領域である。テラヘルツ波について、一般に明確な定義が存在しないが、本明細書のテラヘルツ波は、周波数０．１ＴＨｚ以上１０ＴＨｚ以下の電磁波とする。

このテラヘルツ波は、デバイスから直接発生させたり、電磁波強度を測定したりするのが困難な周波数領域であることも特徴である。すなわち、テラヘルツ波よりも低周波の領域（低周波の電磁波と称す）では、ガン・ダイオードによる電磁波発生やアンテナとオシロスコープによる測定が可能である。また、高周波の領域（赤外線など）では、ＬＤによる電磁波発生や光度計による測定が可能である。しかし、これらの中間に周波数が位置するテラヘルツ波については、直接の発生および強度測定手段が存在しない。

このため、テラヘルツ波の発生波は、２つの光のビートをフォトミキサ（フォトダイオードの別称）に入力した際に差周波として得ることが一般的である。また、テラヘルツ波の強度測定は、上記の２つの周波数が異なるテラヘルツ波のビートをミキサにて発生させ、差周波（低周波の電磁波）を観測する方法が一般的である。

図３と図４に、従来技術によるテラヘルツ波発生装置とテラヘルツ帯スペクトル測定装置の構成例を示す（非特許文献１を参照）。なお、非特許文献１においても、テラヘルツ波は、周波数０．１ＴＨｚ以上１０ＴＨｚ以下の電磁波と規定している。

図３は、従来技術に基づくテラヘルツ波発生装置を示す図である。ここでは、レーザダイオード（ＬＤ）１０１で発生された信号光は、位相変調器（ＰＭ）１０２においてシンセサイザ（Ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｒ）１０３の出力信号により位相変調され、増幅器（ＥＤＦＡ）１０４により光増幅された後、ファイバ（ＤＤＦ）１０５によりスペクトルを拡大される。しかる後に、スペクトルを拡大された信号光は、Arrayed Waveguide Grating（ＡＷＧ１）１０６、（ＡＷＧ２）１０７により周波数ごとに分離され、さらに光スイッチ１０８（ＯＳＡ＿Ａ）、１０９（ＯＳＡ＿Ｂ）により信号光の周波数が選択され、偏波安定器（ＰＰＳ）１１０、１１１を透過する。ここで、２つの経路で異なる周波数の信号光が選択されるようにＯＳＡ＿ＡとＯＳＡ＿Ｂを設定しておけば、ＵＴＣ−ＰＤ（フォトミキサの一種）１１２において、信号光の差周波に対応するビートが発生し、ホーンアンテナ（ＨｏｒｎＡｎｔｅｎｎａ）１１３からテラヘルツ波が出力される。ここでは、テラヘルツ波の周波数は、ＡＷＧ１、ＡＷＧ２の周波数間隔に規定されるものであるが、”The frequency of the generated THz wave is quite accurate since it is completely determined by that of the signal driving the PM, fmwl.”と非特許引用文献１に記載のあるように、シンセサイザ出力信号の周波数にも依存するものである。

一方、図４は、従来技術に基づくテラヘルツ帯スペクトル測定装置を示す図である。テラヘルツ波発生装置（ＴＨｚ＿ＴＸ）２０１とテラヘルツ波発生装置（ＬＯ−１）２０２は、図３に示すテラヘルツ波発生装置である。一方、シンセサイザ（ＬＯ−２）２０３は低周波のシンセサイザである。ＴＨｚ＿ＴＸから出力されたテラヘルツ波は、被測定試料の入ったガスセル３０１を透過または反射した後に、ＬＯ−１から出力されたテラヘルツ波と超伝導ミキサ（ＳＩＳミキサ）２０４に入力される。テラヘルツ波信号は、ＴＨｚ＿ＴＸ出力周波数とＬＯ−１出力周波数の差周波である第１中間周波数帯信号（ＩＦ−１、３００ＭＨｚ〜６００ＭＨｚを想定）に変換される。第１中間周波数帯信号は、バンドパスフィルタ２０５によって帯域外の雑音が除去され、第２のミキサ（第２段ミキサ）２０６に導入される。ここでは、ＬＯ−２から発せられた信号と合波され、第１中間周波数帯信号の周波数とＬＯ−２出力周波数の差周波である第２中間周波数帯信号（ＩＦ−２、１０ｋＨｚ〜３００ｋＨｚを想定）に変換される。この信号からバンドパスフィルタ２０７によって帯域外の雑音が除去され、検波器２０８に導入され、その強度に比例する電圧に変換される。この電圧はアナログディジタル変換器（Ａ／Ｄ）２０９によってディジタル信号に変換され、コンピュータ（ＰＣ）２１０に取り込まれる。このコンピュータは、ＴＨｚ＿ＴＸ、ＬＯ−１、ＬＯ−２で発生する信号の周波数を制御することで、被測定試料を透過するテラヘルツ波信号の強度を周波数の関数として記録することができる。

K.-H. Oh, H.-J. Song, N. Shimizu, S. Kohjiro, T. Furuta, A. Wakatsuki, K. Kikuchi, Koji Suizu, T. Nagatsuma, N. Kukutsu, and Y. Kado, "Active Gas Sensing with A Highly- Sensitive Sub-Terahertz Receiver Utilizing a Superconductor-Insulator-Superconductor Mixer and a Photonics-Based Local Oscillator," Proc. of SPIE, vol. 7215, 72150D-1-11, January 2009.

上記構成では、ミキサで周波数変換を２回行う、ダブルヘテロダインの構成を有している。これにより、信号の周波数を段階的に低い値に変換している。これにより、検波器に導入される信号の帯域を３００ｋＨｚ程度にまで狭めることができる。従って、検波器に導入される雑音帯域が狭くなり、低雑音受信器が実現できることになる。もし、第２中間周波数帯信号の周波数を更に狭帯域とし１ｋＨｚ以下にできれば、フィルタを狭帯域化し、検波器に入力される雑音の帯域をｋＨｚレベルまで落とすことでき、更なる低雑音化と高感度化が実現できる。しかし、従来技術に基づいて、第２中間周波数帯信号の周波数の狭帯域化を行うことは困難である。

なぜならば、図３においてＡＷＧ１とＡＷＧ２が出力する周波数に、それぞれ固有の誤差（ゆらぎ）が存在すると、ＴＨｚ＿ＴＸ、および、ＬＯ−１のシンセサイザが完全に同期しないことから、ＴＨｚ＿ＴＸ、ＬＯ−１、ＬＯ−２の発振周波数の差周波を所望の値で安定させることができないからである。そのため、第２中間周波数帯信号は、ＴＨｚ＿ＴＸ、および、ＬＯ−１のシンセサイザの発振周波数から単純に計算により導かれる周波数よりズレ（ゆらぎ）が生じる。その値は時に、数ｋＨｚレベルに達する。従ってマージンを考慮すると、第２中間周波数帯信号を透過するために検波器前に設置するバンドパスフィルタの透過帯域は、１００ｋＨｚ程度とせざるを得ない。従って、検波器に導入される帯域外の雑音をこれ以上下げることはできず、更なる低雑音化は不可能である。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、検体を通過する電磁波の周波数をダブルヘテロダインの構成により低下させる際に電磁波や局発発信信号の基となるレーザ光の周波数にゆらぎがあっても低下後の電磁波にゆらぎを生じさせなくする技術を提供することにある。

上記の課題を解決するために、第１の本発明に係る電磁波処理装置は、３つのレーザ光のそれぞれを分波する１づつの分波器と、前記第１、第２の分波器の出力を合波する第１の合波器と、前記第１、第３の分波器の出力を合波する第２の合波器と、前記第２、第３の分波器の出力を合波する第３の合波器と、前記第１の合波器の出力を光電変換する第１の光電変換器と、前記第２の合波器の出力を光電変換する第２の光電変換器と、前記第３の合波器の出力を光電変換する第３の光電変換器と、前記第１の光電変換器の出力の周波数と前記第２の光電変換器の出力の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第１の混合器と、前記第１の混合器の出力の周波数と前記第３の光電変換器の出力の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第２の混合器とを備えることを特徴とする。

例えば、前記第１の光電変換器から出力された電磁波が検体を通過して前記第１の混合器に入力された場合の前記第２の混合器の出力と当該電磁波が当該検体を通過しない場合の当該出力との差を検出する手段を設ける。

例えば、前記第１の光電変換器から出力された電磁波が検体を通過し反射して再び検体を通過して前記第１の混合器に入力された場合の前記第２の混合器の出力と当該電磁波が当該検体を通過しない場合の当該出力との差を検出する手段を設ける。

例えば、前記第１の分波器に入力されるレーザ光を出力する周波数掃引可能な光源を設ける。

第２の本発明に係る電磁波処理方法は、３つのレーザ光のそれぞれを分波する１づつの分波工程と、前記第１、第２の分波工程の出力を合波する第１の合波工程と、前記第１、第３の分波工程の出力を合波する第２の合波工程と、前記第２、第３の分波工程の出力を合波する第３の合波工程と、前記第１の合波工程の出力を光電変換する第１の光電変換工程と、前記第２の合波工程の出力を光電変換する第２の光電変換工程と、前記第３の合波工程の出力を光電変換する第３の光電変換工程と、前記第１の光電変換工程の出力の周波数と前記第２の光電変換工程の出力の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第１の混合工程と、前記第１の混合工程の出力の周波数と前記第３の光電変換工程の出力の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第２の混合工程とを備えることを特徴とする。

例えば、前記第１の光電変換工程で出力された電磁波が検体を通過して前記第１の混合工程で使用された場合の前記第２の混合工程の出力と当該電磁波が当該検体を通過しない場合の当該出力との差を検出する工程を設ける。

例えば、前記第１の光電変換工程で出力された電磁波が検体を通過し反射して再び検体を通過して前記第１の混合工程で使用された場合の前記第２の混合工程の出力と当該電磁波が当該検体を通過しない場合の当該出力との差を検出する工程を設ける。

例えば、前記第１の分波工程で使用されるレーザ光の周波数掃引を行う工程を設ける。

本発明に係る電磁波処理装置及び電磁波処理方法によれば、検体を通過する電磁波の周波数をダブルヘテロダインの構成により低下させる際に電磁波や局発発信信号の基となるレーザ光の周波数にゆらぎがあっても低下後の電磁波の周波数にゆらぎを生じさせなくすることができる。

本実施の形態に係る電磁波処理装置を含むスペクトル測定装置の構成例を示す図である。本実施の形態の変形例に係る電磁波処理装置を含むスペクトル測定装置の構成例を示す図である。従来技術に基づくテラヘルツ波発生装置を示す図である。従来技術に基づくテラヘルツ帯スペクトル測定装置を示す図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。

図１は、本実施の形態に係る電磁波処理装置を含むスペクトル測定装置の構成例を示す図である。

スペクトル測定装置は、周波数ｆ１を有するレーザ光Ｌ１０１を出力する周波数掃引可能な光源１１と、周波数ｆ２を有するレーザ光Ｌ１０２を出力する光源１２と、周波数ｆ３を有するレーザ光Ｌ１０３を出力する光源１３と、レーザ光Ｌ１０１〜Ｌ１０３のそれぞれを分波する１づつの分波器、レーザ光Ｌ１０１、Ｌ１０２を分波する分波器の出力を合波する合波器（第１の合波器）、レーザ光Ｌ１０１、Ｌ１０３を分波する分波器の出力を合波する合波器（第２の合波器）、レーザ光Ｌ１０２、Ｌ１０３を分波する分波器の出力を合波する合波器（第３の合波器）、を有するカプラ２と、第１の合波器の出力を光電変換する光電変換器（フォトミキサ）３１と、第２の合波器の出力を光電変換する光電変換器（フォトミキサ）３２と、第３の合波器の出力を光電変換する光電変換器（フォトミキサ）３３と、光電変換器３１の出力と光電変換器３２の出力とが入力される混合器（ミキサ）４と、混合器４の出力と光電変換器３３の出力とが入力される混合器（ミキサ）５と、混合器５の出力の低域のみを通過させるローパスフィルタ６と、ローパスフィルタ６を通過した電磁波をその強度に比例する電圧に変換する強度検出器７と、強度検出器７で検出された電圧をディジタル値に変換するアナログディジタル変換器（Ａ／Ｄ）８と、変換されたディジタル値を光電変換器３１の出力である電磁波の周波数に対応づけて蓄積するコンピュータ（ＰＣ）９とを備える。

各光源は、レーザダイオード、位相変調器、シンセサイザなどを使用したものである。
レーザ光Ｌ１０２、Ｌ１０３の周波数掃引は不要なので、光源１２、１３は、例えば、波長固定光源とすることができる。

各光電変換器の出力である電磁波は、図示しない導波管や同軸ケーブルを経たり、図示しないアンテナと空間を経ることにより、その進路が定まるようになっている。

ガスセル１０には、ガスなどの検体が入っている。光電変換器３１から出力される電磁波は、その進路の設定によっては、ガスセル１０を通過し、あるいは、ガスセル１０を通過せず、しかし、いずれにしても混合器４に入力するようになっている。

（本実施の形態に係るスペクトラム測定装置の動作）
まず、光電変換器３１から出力される電磁波がガスセル１０を通過しないように、その進路が設定される。

光源１１は、周波数ｆ１を有するレーザ光Ｌ１０１を出力し、光源１２は、周波数ｆ２を有するレーザ光Ｌ１０２を出力し、光源１３は、周波数ｆ３を有するレーザ光Ｌ１０３を出力する。各周波数ｆ１〜ｆ３の値は任意だが、例として、ここでは、ｆ１＞ｆ２＞ｆ３とする。また、周波数差ｆ１−ｆ２、周波数差ｆ１−ｆ３は、テラヘルツ帯（周波数０．１ＴＨｚ以上１０ＴＨｚ以下）に属することとする。また、周波数差ｆ２−ｆ３は、テラヘルツ帯より低い周波数帯域に属することとする。

カプラ２における第１の分波器はレーザ光Ｌ１０１を２つに分波する。カプラ２における第２の分波器はレーザ光Ｌ１０２を２つに分波する。カプラ２における第３の分波器はレーザ光Ｌ１０３を２つに分波する。

カプラ２における第１の合波器は分波後の一方のレーザ光Ｌ１０１と分波後の一方のレーザ光Ｌ１０２とを合波する。この合波により得られる光ビート信号は周波数差ｆ１−ｆ２に等しい周波数を有する。なお、「周波数を有する」とは、その周波数を含む帯域に分布する周波数スペクトルを有することをいう。他の信号に関しても同様である。

カプラ２における第２の合波器は分波後の他方のレーザ光Ｌ１０１と分波後の一方のレーザ光Ｌ１０３とを合波する。この合波により得られる光ビート信号は周波数差ｆ１−ｆ３に等しい周波数を有する。

カプラ２における第３の合波器は分波後の他方のレーザ光Ｌ１０２と分波後の他方のレーザ光Ｌ１０３とを合波する。この合波により得られる光ビート信号は周波数差ｆ２−ｆ３に等しい周波数を有する。

光電変換器３１はカプラ２における第１の合波器の出力を光電変換する。この光電変換により得られる電磁波＊０は周波数差ｆ１−ｆ２に等しい周波数を有する。光電変換器３２はカプラ２における第２の合波器の出力を光電変換する。この光電変換により得られる電磁波＃１は周波数差ｆ１−ｆ３に等しい周波数を有する。光電変換器３３はカプラ２における第３の合波器の出力を光電変換する。この光電変換により得られる電磁波＃２は周波数差ｆ２−ｆ３に等しい周波数を有する。電磁波＊０は、ガスセル１０を通過せず、混合器４に入力する。

電磁波＃１も、局発発信信号として、混合器４に入力する。混合器４は、電磁波＊０の周波数と電磁波＃１の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波＊１（いわゆる中間周波数信号）を出力する。上記の通り、電磁波＊０は周波数差ｆ１−ｆ２に等しい周波数を有し、電磁波＃１は周波数差ｆ１−ｆ３に等しい周波数を有するので、電磁波＊１は、周波数差ｆ２−ｆ３に等しい周波数を有する。例えば、電磁波＊１の帯域幅は、数百ＭＨｚである。なお、電磁波＊１は、電磁波＊０の強度と電磁波＃１の強度との積に等しい強度を有する。

電磁波＊１は、混合器５に入力する。電磁波＃２も、局発発信信号として、混合器５に入力する。

混合器５は、電磁波＊１の周波数と電磁波＃２の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波＊２を出力する。上記の通り、電磁波＊１は周波数差ｆ２−ｆ３に等しい周波数を有し、電磁波＃２も周波数差ｆ２−ｆ３に等しい周波数を有するので、電磁波＊２の周波数は、０Ｈｚとなる。例えば、電磁波＊２の帯域幅は、数百Ｈｚである。なお、電磁波＊２は、電磁波＊１の強度と電磁波＃２の強度との積に等しい強度を有する。

ところで、本実施の形態では、周波数ｆ１のゆらぎにより、電磁波＊０の周波数（周波数差ｆ１−ｆ２に等しい）、電磁波＃１の周波数（周波数差ｆ１−ｆ３に等しい）のそれぞれにゆらぎが生じても、それらは混合器４の動作により相殺される。

また、周波数ｆ２や周波数ｆ３のゆらぎにより、電磁波＊１の周波数（周波数差ｆ２−ｆ３に等しい）と、電磁波＃２の周波数（周波数差ｆ２−ｆ３に等しい）とにそれぞれゆらぎが生じても、それらは混合器５の動作により相殺される。

したがって、レーザ光Ｌ１０１〜Ｌ１０３のいずれの周波数にゆらぎがあっても電磁波＊２にゆらぎは生じない。つまり、ゆらぎにより電磁波＊２の帯域幅が数百ｋＨｚとなってしまうことがない。

さて、ローパスフィルタ６は、このようなゆらぎのない電磁波＊２の低域のみ（例えば数十Ｈｚ以下）を通過させる。このとき、ローパスフィルタ６を通過しない高域に存在するノイズが除去される。

強度検出器７は、ローパスフィルタ６を通過した電磁波をその強度に比例する電圧に変換する。

仮に、ゆらぎにより電磁波＊２の帯域幅が数百ｋＨｚとなってしまうと、その内の数十Ｈｚ以下の電磁波だけでは強度が低く、検出の感度が低下してしまう。そこで、ローパスフィルタ６の通過帯域を広くすると、今度は多くのノイズが電磁波に重畳されるので、やはり感度が低下する。一方、本実施の形態にあっては、電磁波＊２にゆらぎがなく、その帯域幅は、数百Ｈｚ程度なので、その内の数十Ｈｚ以下の電磁波だけでも強度は比較的高く、ノイズの重畳の少ないので、検出の感度を高めることができる。

アナログディジタル変換器８は、強度検出器７で変換された電圧をディジタル値に変換する。コンピュータ９は、変換されたディジタル値を電磁波＊０の周波数（周波数差ｆ１−ｆ２に等しい）に対応づけて蓄積する。

以下、周波数ｆ２、ｆ３は変えず、周波数ｆ１のみを変えて、同様な動作が繰り返し行われる。

これにより、コンピュータ９には、電磁波＊０がガスセル１０を通過しない場合における電磁波＊２の周波数スペクトル（電磁波＊０の周波数とディジタル値との関係のグラフ）が蓄積される。

次に、光電変換器３１から出力される電磁波がガスセル１０を通過するように、その進路が設定される。以下、周波数ｆ１のみを変えて、同様な動作が繰り返し行われる。

これにより、コンピュータ９には、電磁波＊０がガスセル１０を通過する場合における電磁波＊２の周波数スペクトル（電磁波＊０の周波数とディジタル値との関係のグラフ）が蓄積される。

次に、コンピュータ９は、電磁波＊０がガスセル１０を通過しない場合と通過する場合におけるディジタル値同士の差を電磁波＊０の周波数ごとに計算し、当該差のスペクトル（電磁波＊０の周波数と当該差との関係のグラフ）を図示しない表示装置などに表示する。表示されたスペクトルは、すなわち、ガスセル１０内の検体が電磁波を通過させる度合いの周波数特性を示すものであり、こうして当該検体の特性が明らかになる。

以上説明したように、本実施の形態によれば、３つのレーザ光Ｌ１０１〜Ｌ１０３のそれぞれを分波する１づつの分波器（カプラ２内）と、第１、第２の分波器の出力を合波する第１の合波器（カプラ２内）と、第１、第３の分波器の出力を合波する第２の合波器（カプラ２内）と、第２、第３の分波器の出力を合波する第３の合波器（カプラ２内）と、第１の合波器の出力を光電変換する第１の光電変換器３１と、第２の合波器の出力を光電変換する第２の光電変換器３２と、第３の合波器の出力を光電変換する第３の光電変換器３３と、第１の光電変換器３１の出力（電磁波＊０）の周波数と第２の光電変換器３２の出力（電磁波＃１）の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第１の混合器４と、第１の混合器４の出力（電磁波＊１）の周波数と第３の光電変換器３３の出力（電磁波＃２）の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波（電磁波＊２）を出力する第２の混合器５とを備えることで、レーザ光Ｌ１０１〜Ｌ１０３にゆらぎがあっても、電磁波＊２にゆらぎを生じさせないようにできる。その結果、電磁波＊２の検出の感度を高めることができる。

また、第１の光電変換器３１から出力された電磁波＊０が（ガスセル１０中の）検体を通過して第１の混合器４に入力された場合の第２の混合器５の出力（電磁波＊２）と当該電磁波＊０が当該検体を通過しない場合の当該出力との差（ディジタル値同士の差）を検出する手段（強度検出器７、アナログディジタル変換器８、コンピュータ９）を備えるので、検体の特性を明らかにできる。

なお、第１の実施の形態では、電磁波＊０、＃１の周波数がテラヘルツ帯に属するとしたが、電磁波＊０、＃１の周波数はミリ波帯などに属していてもよい。

また、第１の実施の形態では、電磁波＊０がガスセル１０を通過して混合器４に入力された場合について説明したが、図２に示すように、電磁波＊０がガスセル１０を通過し反射して再びガスセル１０を通過して混合器４に入力するようにしてもよい。

２…カプラ
４、５…混合器
６…ローパスフィルタ
７…強度検出器
８…アナログディジタル変換器
９…コンピュータ
１０…ガスセル
１１、１２、１３…光源
３１、３２、３３…光電変換器

Claims

３つのレーザ光のそれぞれを分波する１づつの分波器と、
前記第１、第２の分波器の出力を合波する第１の合波器と、
前記第１、第３の分波器の出力を合波する第２の合波器と、
前記第２、第３の分波器の出力を合波する第３の合波器と、
前記第１の合波器の出力を光電変換する第１の光電変換器と、
前記第２の合波器の出力を光電変換する第２の光電変換器と、
前記第３の合波器の出力を光電変換する第３の光電変換器と、
前記第１の光電変換器の出力の周波数と前記第２の光電変換器の出力の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第１の混合器と、
前記第１の混合器の出力の周波数と前記第３の光電変換器の出力の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第２の混合器とを備えることを特徴とする電磁波処理装置。
前記第１の光電変換器から出力された電磁波が検体を通過して前記第１の混合器に入力された場合の前記第２の混合器の出力と当該電磁波が当該検体を通過しない場合の当該出力との差を検出する手段を備えることを特徴とする請求項１記載の電磁波処理装置。
前記第１の光電変換器から出力された電磁波が検体を通過し反射して再び検体を通過して前記第１の混合器に入力された場合の前記第２の混合器の出力と当該電磁波が当該検体を通過しない場合の当該出力との差を検出する手段を備えることを特徴とする請求項１記載の電磁波処理装置。
前記第１の分波器に入力されるレーザ光を出力する周波数掃引可能な光源を備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の電磁波処理装置。
３つのレーザ光のそれぞれを分波する１づつの分波工程と、
前記第１、第２の分波工程の出力を合波する第１の合波工程と、
前記第１、第３の分波工程の出力を合波する第２の合波工程と、
前記第２、第３の分波工程の出力を合波する第３の合波工程と、
前記第１の合波工程の出力を光電変換する第１の光電変換工程と、
前記第２の合波工程の出力を光電変換する第２の光電変換工程と、
前記第３の合波工程の出力を光電変換する第３の光電変換工程と、
前記第１の光電変換工程の出力の周波数と前記第２の光電変換工程の出力の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第１の混合工程と、
前記第１の混合工程の出力の周波数と前記第３の光電変換工程の出力の周波数との差に等しい周波数を有する電磁波を出力する第２の混合工程とを備えることを特徴とする電磁波処理方法。
前記第１の光電変換工程で出力された電磁波が検体を通過して前記第１の混合工程で使用された場合の前記第２の混合工程の出力と当該電磁波が当該検体を通過しない場合の当該出力との差を検出する工程を備えることを特徴とする請求項５記載の電磁波処理方法。
前記第１の光電変換工程で出力された電磁波が検体を通過し反射して再び検体を通過して前記第１の混合工程で使用された場合の前記第２の混合工程の出力と当該電磁波が当該検体を通過しない場合の当該出力との差を検出する工程を備えることを特徴とする請求項５記載の電磁波処理方法。
前記第１の分波工程で使用されるレーザ光の周波数掃引を行う工程を備えることを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の電磁波処理方法。