JP4984264B2 - 導波路の作製方法 - Google Patents
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Description
一般的に側壁を平滑化及び微細加工をする手法としては次のようなことがあげられる。
(1)ドライエッチング条件の最適化。
(2)選択比の高いエッチングマスク材料の選定。
(3)滑らかなエッジを有し且つ微細パターンを有すエッチングマスクの作製。
例えば非特許文献1、2に示される従来の技術では、II-VI族半導体導波路作製のためにはBCl3/Arの混合ガスを用いてドライエッチングすることが有効でありこれを採用してきた。また、このときエッチングマスクはフォトリソグラフィーによって形成したパターンをハードベークレジスト又はSiO2に転写することによって作製してきた。ハードベークレジストマスクを用いる難点はマスク幅を約2μm以下にするとマスクが倒れたり剥がれたりして収率が悪くなり、さらに1μm以下に設定すると転写エッチング時にサイドエッチングが生じてしまいマスクを形成できないことであった。そのため、ハードベークレジストを用いての導波路狭メサ化は断念せざるを得なかった。また、SiO2マスクを用いた時の難点は次のようなことがあった。
(1)側壁が荒れやすい。
(2)0.1μm程度までの細線化は不可能。
(3)導波路側壁へサブミクロンレベルの微細加工を行うのは不可能。
(2)、(3)においては、約2μmのSiO2マスクをエッチングで形成する際に完全に垂直なマスクを形成できないことに起因する。SiO2エッチングマスク形成後の形状は、マスクの上底の幅に比べ下底の幅は0.3〜0.4μm広くなってしまう。また、エッチング中にパターンマスクも退行するので設計どおりのマスクを形成できなかった。
(1)メタルの種類によってはエッチング選択比を非常に大きくできる。
(2)エッチング選択が大きいのでメタルマスクの厚みを非常に薄くできる。そのためサブミクロンレベルの微細パターンマスクを形成できる。
これらに着目し、BCl3/Arを用いてII-VI族半導体をエッチングする際に選択比を非常に大きくとれるNiをマスク材料として採用し、ドライエッチングを行った。
ところが、図20に見られるようにマイクロマスキング効果によって側壁荒れや突起が生じてしまい、導波路作製にNiリフトオフマスクを採用することができなかった。また、メサ構造をエッチングした後のメタルマスク除去において、通常用いられるNiのエッチャント(硫酸、硝酸、水の混合溶液)に基板を浸すと、II-VI族半導体が反応してしまうことが生じた。そのため、メタルマスク除去はできなかった。
シリコン細線導波路などコアとクラッドとの間の屈折率差を2程度に設定できる系に比べて光閉じ込めは弱い。ここで、非特許文献1の系においてシリコン細線導波路並みに光閉じ込め可能な光導波路においてサブバンド間遷移吸収を生じさせることができると、スイッチ動作エネルギーの低減化が期待できる。しかし、従来技術では材料の結晶成長の制限により、屈折率差を0.2程度までしか大きくすることができない。
ELECTRONICS LETTERS Vol 42 pp1352-1353 2006 Jpn. J. Appl. Phys. 46 (2007) pp. 200-204
また本発明は、メサ導波路の側壁への微細加工が図れる導波路の作製方法を提供することを課題とする。
さらに本発明は、コアとクラッドとの間の屈折率差を1以上に設定できる導波路の作製方法を提供することを課題とする。
(1)スラブ導波路層を有する第1の基板を用意する工程と、該第1の基板の上にシリコン酸化膜を堆積する工程と、その上に所定のパターン開口を有するマスク層を形成する工程と、該マスク層をマスクとして開口部のシリコン酸化膜及びこれに隣接するマスク層下のシリコン酸化膜の一部を除去する工程と、マスク層及びスラブ導波路層上に第1の金属及びスラブ導波路層よりエッチング選択性の小さい第2の金属との積層構造を形成する工程と、該マスク層及びシリコン酸化膜を除去する工程と、第2の金属をマスクにスラブ導波路層をパターニングしてメサ導波路とする工程と、第1の金属とともに第2の金属をリフトオフする工程とを含む導波路の作製方法。
(2)上記スラブ導波路層はII-VI族半導体量子井戸を有する層であることを特徴とする(1)に記載の導波路の作製方法。
(3)上記第1の金属とともに第2の金属をリフトオフする工程の後に基板全面に第1のSiO2クラッドを形成する工程と、BCB塗布層を介して第2の基板を貼り合わせる工程と、第1の基板を除去する工程と、露出したメサ導波路上に第2のSiO2クラッドを形成しコアとクラッドとの間の屈折率差を1以上に設定する工程とをさらに含む(1)又は(2)に記載の導波路の作製方法。
(4)上記第1の金属とともに第2の金属をリフトオフする工程の後に導波路側壁に微細加工をする工程をさらに含む(1)又は(2)に記載の導波路の作製方法。
(5)上記第2の金属はNiであり、上記スラブ導波路層をパターニングする工程は、BCl3とArの混合ガスによるドライエッチング工程であることを特徴とする(1)ないし(4)のいずれかに記載の導波路の作製方法。
次の(1)〜(6)の工程説明は、請求項1、2に係る発明を説明するものであり、(7)〜(10)の工程説明は、(1)〜(6)の工程に引き続いた請求項3に係る発明を説明するものである。
(1)スラブ導波路層をGaAs基板上に結晶成長させる(図1参照)。
(2)次にSiO2層を200nm堆積させたのち電子線描画でマスクパターンを形成する(図2〜図3参照)。
(3)次にバッファードフッ酸につけ、(2)で形成したSiO2層の一部を溶かしレジストパターンの端部分にアンダーカットを形成する(図4参照)。このアンダーカットは、次の(4)のメタルを蒸着時にメタルとレジストマスクのエッジを完全に分離することにより、リフトオフを容易に歩留まり良く行うために形成する。
(4)最初にTiを40nm、次にNiを50nmEB蒸着したのち、マスクパターンとともにマスクパターン上のTi、Niをリフトオフし、エッチングマスクを形成した後、SiO2層をCHF3ガスを用いて反応性イオンエッチング(RIE)で除去する。(図5〜図7参照)。このRIEでの処理は、リフトオフ後に基板表面に付着しているメタルコンタミをSiO2層と同時に除去するために行う。この処理により、図20に見られたマイクロマスク効果による表面荒れや側壁荒れを回避することができる(図16参照)。
(5)ICPドライエッチングにより細線構造を形成する、このときのエッチングガスはBCl3とArの混合ガスである(図8参照)。
(6)ドライエッチング後、バッファードフッ酸に浸け、(4)で蒸着した下部Tiを溶かすことによりメタルエッチングマスクを除去し、コア層である(CdS/ZnSe)/BeTe多重量子井戸層を有するメサ導波路を得る(図9参照)。
上記(1)〜(6)の工程の後にさらに導波路側壁に微細加工をして得たメサ導波路のSEM像を図16に示す。図16では周期325nmの回折格子が側壁に形成されている。
(7)(1)〜(6)までの工程で作製したメサ導波路(図15)にクラッドとなるSiO2を2μm程度蒸着させる(図10参照)。
(8)その上にスピンコートしたBCBを介してシリコン、GaAs、シリカなどの異種基板に張り合わせる(図11〜12参照)。
(9)研磨及びウェットエッチングによって、GaAs基板を選択的に除去する(図13参照)。
(10)クラッドとなるSiO2を2μm程度スパッタ蒸着させることにより埋め込み型細線導波路が完成する(図14参照)。
2 II−VI族半導体量子井戸を有する層
3 SiO2層
4 フォトレジストマスク層
5 Ti/Ni金属層
6 II−VI族半導体量子井戸細線導波路
7 SiO2クラッド
8 BCB塗布層
9 ホスト基板
Claims (5)
- スラブ導波路層を有する第1の基板を用意する工程と、該第1の基板の上にシリコン酸化膜を堆積する工程と、その上に所定のパターン開口を有するマスク層を形成する工程と、該マスク層をマスクとして開口部のシリコン酸化膜及びこれに隣接するマスク層下のシリコン酸化膜の一部を除去する工程と、マスク層及びスラブ導波路層上に第1の金属及びスラブ導波路層よりエッチング選択性の小さい第2の金属との積層構造を形成する工程と、該マスク層及びシリコン酸化膜を除去する工程と、第2の金属をマスクにスラブ導波路層をパターニングしてメサ導波路とする工程と、第1の金属とともに第2の金属をリフトオフする工程とを含む導波路の作製方法。
- 上記スラブ導波路層はII-VI族半導体量子井戸を有する層であることを特徴とする請求項1に記載の導波路の作製方法。
- 上記第1の金属とともに第2の金属をリフトオフする工程の後に基板全面に第1のSiO2クラッドを形成する工程と、BCB塗布層を介して第2の基板を貼り合わせる工程と、第1の基板を除去する工程と、露出したメサ導波路上に第2のSiO2クラッドを形成しコアとクラッドとの間の屈折率差を1以上に設定する工程とをさらに含む請求項1又は2に記載の導波路の作製方法。
- 上記第1の金属とともに第2の金属をリフトオフする工程の後に導波路側壁に微細加工をする工程をさらに含む請求項1又は2に記載の導波路の作製方法。
- 上記第2の金属はNiであり、上記スラブ導波路層をパターニングする工程は、BCl3とArの混合ガスによるドライエッチング工程であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の導波路の作製方法。
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