JP4971225B2 - スキャトロメータの非対称性を測定する方法、基板のオーバレイエラーを測定する方法、および計測装置 - Google Patents
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Description
[00058] 回折格子のベクトルの方向に小さい横方向シフトxがある2つの重なり合う回折格子について考えてみる。この回折格子を、0°のウェーハ回転について測定し、この場合、1次および−1次回折次数の強度を以下のように書く。
Claims (11)
- スキャトロメータの非対称性を測定する方法であって、
ターゲットパターンを放射で第一に照明し、前記スキャトロメータを使用して前記ターゲットパターンによって反射および/または散乱した放射の第一の2次元角散乱スペクトルを測定して、前記ターゲットパターンに対して予め決定した複数の位置で強度を測定することと、
前記スキャトロメータの光軸に実質的に直角の面で、前記ターゲットパターンと前記スキャトロメータとを180度相対的に回転することと、
前記ターゲットパターンを放射で第二に照明し、前記スキャトロメータを使用して2次元角散乱スペクトルを測定し、前記ターゲットパターンに対して前記予め決定した複数の位置で強度を測定して、その角散乱スペクトルを180度回転させ、第二の2次元角散乱スペクトルを生成することと、
前記予め決定した複数の位置のそれぞれで、前記第一の2次元角散乱スペクトルの前記予め決定した個々の位置で測定した強度を、前記第二の2次元角散乱スペクトルの前記予め決定した個々の位置で測定した強度から引くことによって、前記予め決定した複数の位置それぞれのセンサ補正値を生成することと、
を含む方法。 - 前記予め決定した位置における各強度が、少なくとも200ミリ秒の積分時間にわたって測定される、
請求項1に記載の方法。 - 前記予め決定した位置における各強度が、少なくとも400ミリ秒の積分時間にわたって測定される、
請求項2に記載の方法。 - 前記第一に照明すること、前記相対的に回転すること、前記第二に照明すること、および前記センサ補正値を生成することを、最初に第一方向に偏光した放射で実行し、
前記第一方向に偏光した放射の前記予め決定した複数の位置それぞれについて、非対称性の補正値を取得し、
次に第二方向に偏光した放射で実行して、前記第二方向に偏光した放射の前記予め決定した複数の位置それぞれについて、センサ補正値を取得する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。 - さらに、ピクセルごとに前記センサ補正値を2で割ることによってこれを更新することを含む、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。 - 照明ビームの非対称性によるスキャトロメータの非対称性を測定する方法であって、前記スキャトロメータの検出器で、照明ビームの断面で前記検出器に対する予め決定した複数の位置で前記照明ビームの放射の強度を第一に測定して、第一強度マップを生成することと、
前記照明ビームの軸に対して実質的に直角の面で前記照明ビームと前記スキャトロメータを180度相対的に回転することと、
前記検出器で、前記検出器に対して前記予め決定した複数の位置で前記照明ビームの前記放射の強度を第二に測定して、生成された強度マップを180度回転して、第二強度マップを生成することと、
前記予め決定した複数の位置それぞれで、前記第一強度マップの前記予め決定した個々の位置における前記強度を、前記第二強度マップの前記予め決定した個々の位置における前記強度から引くことによって、前記予め決定した複数の位置それぞれの照明の非対称性の補正値を生成することと、
を含む方法。 - スキャトロメータの顕微鏡対物レンズにおける非対称性による前記スキャトロメータの非対称性を測定する方法であって、
(1)ターゲットパターンを放射で第一に照明して、前記スキャトロメータを使用することによって前記ターゲットパターンが反射および/または散乱した放射の第一の2次元角散乱スペクトルを測定し、前記ターゲットパターンに対して予め決定した複数の位置における強度を測定することと、
前記スキャトロメータの光軸に対して実質的に直角の面で、前記ターゲットパターンおよび前記スキャトロメータを180度相対的に回転することと、
前記ターゲットパターンを放射で第二に照明して、前記スキャトロメータを使用することによって2次元角散乱スペクトルを測定し、前記ターゲットパターンに対して前記予め決定した複数の位置で強度を測定し、その角散乱スペクトルを180度回転して、第二の2次元角散乱スペクトルを生成することと、
前記予め決定した複数の位置それぞれで、前記第一の2次元角散乱スペクトルの前記予め決定した個々の位置における前記強度を、前記第二の2次元角散乱スペクトルの前記予め決定した個々の位置における前記強度から引くことによって、前記予め決定した複数の位置それぞれでセンサ補正値を生成することと、
を含む方法を使用して、センサ補正値を取得することと、
(2)前記スキャトロメータの検出器で、照明ビームの断面で前記予め決定した複数の位置で前記照明ビームの放射の前記強度を第一に測定して、第一強度マップを生成することと、
前記照明ビームの軸に対して実質的に直角の面で前記照明ビームと前記スキャトロメータを180度相対的に回転することと、
前記検出器で、前記予め決定した複数の位置で前記照明ビームの放射の強度を第二に測定して、前記生成された強度マップを180度回転して、第二強度マップを生成することと、
前記予め決定した複数の位置それぞれで、前記第一強度マップの前記予め決定した個々の位置における前記強度を、前記第二強度マップの前記予め決定した個々の位置における前記強度から引くことによって、前記予め決定した複数の位置それぞれの照明の非対称性の補正値を生成することと、
を含む方法を使用して、照明の非対称性の補正値を取得することと、
(3)予め決定した各位置で、前記個々の照明の非対称性の補正値を前記センサ補正値から引いて、予め決定した個々の各位置で顕微鏡対物レンズの非対称性の値を取得することと、
を含む方法。 - 請求項1に記載のスキャトロメータの非対称性を測定する方法を使用する、基板のオーバレイエラーを測定する方法であって、
放射のビームを前記基板のターゲットパターンに投影することと、
スキャトロメータを使用して、前記ターゲットパターンが反射および/または散乱した放射のオーバレイ2次元角散乱スペクトルを測定して、前記ターゲットパターンに対して予め決定した複数の位置における強度を測定することと、
予め決定した各位置で、前記予め決定した個々の位置のセンサ補正値を、前記オーバレイ2次元角スペクトルの前記個々の位置で測定した前記強度から引くことによって、補正した2次元角散乱スペクトルを計算することと、
前記補正した2次元角散乱スペクトルから前記オーバレイエラーを求めることと、
を含む方法。 - 基板の特性を測定するように構成された計測装置であって、
基板のターゲット部分を放射で照明するように構成された放射投影装置と、
前記ターゲット部分に対して予め決定した複数の位置で、前記ターゲット部分から反射および/または散乱した放射の強度を測定するように構成された検出器と、
前記ターゲット部分に対して実質的に直角の面で前記ターゲット部分および前記スキャトロメータを180度相対的に回転させるように構成されたシステムと、
放射での前記ターゲットパターンの照明を制御し、
前記検出器を使用することによって前記ターゲットパターンが反射および/または散乱した放射の第一の2次元角散乱スペクトルを求めて、前記ターゲットパターンに対して予め決定した複数の位置で強度を測定し、
前記スキャトロメータの光軸に対して実質的に直角の面で前記ターゲットパターンと前記スキャトロメータを180度相対的に回転させ、
放射での前記ターゲットパターンの照明を制御して、前記検出器を使用して2次元角散乱スペクトルを測定し、前記ターゲットパターンに対して予め決定した複数の位置で強度を求め、その角散乱スペクトルを180度回転して、第二の2次元角散乱スペクトルを生成し、
前記予め決定した複数の位置それぞれについて、前記第一の2次元角散乱スペクトルの前記予め決定した個々の位置における前記強度を、前記第二の2次元角散乱スペクトルの前記予め決定した個々の位置における前記強度から引くことによってセンサ補正値を生成する、制御装置と、
を備える計測装置。 - さらに、前記予め決定した複数の位置それぞれの前記センサ補正値を記憶するシステムを備える、
請求項9に記載の計測装置。 - 前記制御装置がさらに、
放射のビームを基板のターゲットパターンに投影し、
前記検出器を使用することによって、前記ターゲットパターンが反射および/または散乱した放射のオーバレイ2次元角散乱スペクトルを測定して、前記ターゲットパターンに対して前記予め決定した複数の位置における強度を測定し、
予め決定した各位置で、予め決定した個々の位置の個々の前記センサ補正値を、前記オーバレイ2次元角スペクトルの前記個々の位置で測定した前記強度から引くことによって、補正した2次元角散乱スペクトルを計算し、
前記補正した2次元角散乱スペクトルから前記オーバレイエラーを求める構成である、
請求項9又は10に記載の計測装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018517920A (ja) * | 2015-04-21 | 2018-07-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | メトロロジ方法及び装置、コンピュータプログラム、並びにリソグラフィシステム |
KR20190115480A (ko) * | 2017-03-01 | 2019-10-11 | 케이엘에이 코포레이션 | 광학 스캐터로메트리에 기반한 프로세스 견고한 오버레이 계측 |
WO2022225549A1 (en) * | 2021-04-22 | 2022-10-27 | Kla Corporation | Systems and methods for improved metrology for semiconductor device wafers |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080144036A1 (en) * | 2006-12-19 | 2008-06-19 | Asml Netherlands B.V. | Method of measurement, an inspection apparatus and a lithographic apparatus |
US7791727B2 (en) | 2004-08-16 | 2010-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization |
US7911612B2 (en) * | 2007-06-13 | 2011-03-22 | Asml Netherlands B.V. | Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method |
WO2010069757A1 (en) * | 2008-12-16 | 2010-06-24 | Asml Netherlands B.V. | Calibration method, inspection method and apparatus, lithographic apparatus, and lithographic processing cell |
EP2470960A1 (en) * | 2009-08-24 | 2012-07-04 | ASML Netherlands BV | Metrology method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and substrate comprising metrology targets |
US8441639B2 (en) | 2009-09-03 | 2013-05-14 | Kla-Tencor Corp. | Metrology systems and methods |
NL2005412A (en) * | 2009-10-28 | 2011-05-02 | Asml Netherlands Bv | Calibration method and lithographic apparatus using such a calibration method. |
NL2005863A (en) * | 2009-12-28 | 2011-06-29 | Asml Netherlands Bv | Calibration method and apparatus. |
JP5521807B2 (ja) * | 2010-06-16 | 2014-06-18 | 富士通株式会社 | 障害原因推定装置、障害原因推定プログラム及び障害原因推定方法 |
NL2007425A (en) | 2010-11-12 | 2012-05-15 | Asml Netherlands Bv | Metrology method and apparatus, and device manufacturing method. |
US9140998B2 (en) | 2010-11-12 | 2015-09-22 | Asml Netherlands B.V. | Metrology method and inspection apparatus, lithographic system and device manufacturing method |
USD721339S1 (en) * | 2010-12-03 | 2015-01-20 | Cree, Inc. | Light emitter device |
US8564000B2 (en) | 2010-11-22 | 2013-10-22 | Cree, Inc. | Light emitting devices for light emitting diodes (LEDs) |
USD707192S1 (en) | 2010-11-18 | 2014-06-17 | Cree, Inc. | Light emitting device |
USD712850S1 (en) * | 2010-11-18 | 2014-09-09 | Cree, Inc. | Light emitter device |
US9300062B2 (en) | 2010-11-22 | 2016-03-29 | Cree, Inc. | Attachment devices and methods for light emitting devices |
US9000470B2 (en) | 2010-11-22 | 2015-04-07 | Cree, Inc. | Light emitter devices |
US8575639B2 (en) | 2011-02-16 | 2013-11-05 | Cree, Inc. | Light emitting devices for light emitting diodes (LEDs) |
US8624271B2 (en) | 2010-11-22 | 2014-01-07 | Cree, Inc. | Light emitting devices |
US9490235B2 (en) | 2010-11-22 | 2016-11-08 | Cree, Inc. | Light emitting devices, systems, and methods |
USD706231S1 (en) * | 2010-12-03 | 2014-06-03 | Cree, Inc. | Light emitting device |
US9223227B2 (en) | 2011-02-11 | 2015-12-29 | Asml Netherlands B.V. | Inspection apparatus and method, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method |
US8455908B2 (en) | 2011-02-16 | 2013-06-04 | Cree, Inc. | Light emitting devices |
US8809880B2 (en) | 2011-02-16 | 2014-08-19 | Cree, Inc. | Light emitting diode (LED) chips and devices for providing failure mitigation in LED arrays |
USD702653S1 (en) | 2011-10-26 | 2014-04-15 | Cree, Inc. | Light emitting device component |
USD705181S1 (en) | 2011-10-26 | 2014-05-20 | Cree, Inc. | Light emitting device component |
KR20140097284A (ko) | 2011-11-07 | 2014-08-06 | 크리,인코포레이티드 | 고전압 어레이 발광다이오드(led) 장치, 기구 및 방법 |
US10134961B2 (en) | 2012-03-30 | 2018-11-20 | Cree, Inc. | Submount based surface mount device (SMD) light emitter components and methods |
US9735198B2 (en) | 2012-03-30 | 2017-08-15 | Cree, Inc. | Substrate based light emitter devices, components, and related methods |
US8817273B2 (en) * | 2012-04-24 | 2014-08-26 | Nanometrics Incorporated | Dark field diffraction based overlay |
USD740768S1 (en) * | 2012-06-15 | 2015-10-13 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Light emitting diode |
US9909982B2 (en) | 2013-03-08 | 2018-03-06 | Kla-Tencor Corporation | Pupil plane calibration for scatterometry overlay measurement |
WO2014138522A1 (en) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | Kla-Tencor Corporation | Pupil plane calibration for scatterometry overlay measurement |
USD739565S1 (en) | 2013-06-27 | 2015-09-22 | Cree, Inc. | Light emitter unit |
USD740453S1 (en) | 2013-06-27 | 2015-10-06 | Cree, Inc. | Light emitter unit |
US9189705B2 (en) | 2013-08-08 | 2015-11-17 | JSMSW Technology LLC | Phase-controlled model-based overlay measurement systems and methods |
WO2015031337A1 (en) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | Kla-Tencor Corporation | Removing process-variation-related inaccuracies from scatterometry measurements |
KR101565242B1 (ko) | 2014-04-17 | 2015-11-03 | (주)오로스 테크놀로지 | 기판의 오버레이 에러를 계측하는 계측장치 |
CN112698551B (zh) * | 2014-11-25 | 2024-04-23 | 科磊股份有限公司 | 分析及利用景观 |
WO2016096524A1 (en) | 2014-12-19 | 2016-06-23 | Asml Netherlands B.V. | Method of measuring asymmetry, inspection apparatus, lithographic system and device manufacturing method |
US9779202B2 (en) * | 2015-06-22 | 2017-10-03 | Kla-Tencor Corporation | Process-induced asymmetry detection, quantification, and control using patterned wafer geometry measurements |
WO2017108410A1 (en) | 2015-12-23 | 2017-06-29 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method for performing a measurement |
JP6999268B2 (ja) * | 2016-01-11 | 2022-01-18 | ブルカー テクノロジーズ リミテッド | X線スキャタロメトリーのための方法および装置 |
USD823492S1 (en) | 2016-10-04 | 2018-07-17 | Cree, Inc. | Light emitting device |
EP3361315A1 (en) | 2017-02-09 | 2018-08-15 | ASML Netherlands B.V. | Inspection apparatus and method of inspecting structures |
US10682528B2 (en) | 2017-03-03 | 2020-06-16 | Varian Medical Systems International Ag | Systems, methods, and devices for radiation beam asymmetry measurements using electronic portal imaging devices |
CN111149062B (zh) | 2017-09-28 | 2022-11-04 | Asml控股股份有限公司 | 量测方法和装置 |
EP3477391A1 (en) * | 2017-10-26 | 2019-05-01 | ASML Netherlands B.V. | Method of determining a value of a parameter of interest, method of cleaning a signal containing information about a parameter of interest |
CN111279268B (zh) | 2017-10-26 | 2022-04-01 | Asml荷兰有限公司 | 确定所关注的参数的值的方法、清除包含关于所关注的参数的信息的信号的方法 |
EP3492985A1 (en) | 2017-12-04 | 2019-06-05 | ASML Netherlands B.V. | Method of determining information about a patterning process, method of reducing error in measurement data, method of calibrating a metrology process, method of selecting metrology targets |
JP2019191168A (ja) | 2018-04-23 | 2019-10-31 | ブルカー ジェイヴィ イスラエル リミテッドBruker Jv Israel Ltd. | 小角x線散乱測定用のx線源光学系 |
US11181490B2 (en) | 2018-07-05 | 2021-11-23 | Bruker Technologies Ltd. | Small-angle x-ray scatterometry |
US11703464B2 (en) | 2018-07-28 | 2023-07-18 | Bruker Technologies Ltd. | Small-angle x-ray scatterometry |
CN113376969A (zh) * | 2020-03-10 | 2021-09-10 | 长鑫存储技术有限公司 | 套刻误差的补偿方法、曝光系统、服务器及可读存储介质 |
EP3879343A1 (en) * | 2020-03-11 | 2021-09-15 | ASML Netherlands B.V. | Metrology measurement method and apparatus |
JP2024514054A (ja) | 2021-04-19 | 2024-03-28 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | メトロロジツール較正方法及び関連するメトロロジツール |
EP4080284A1 (en) | 2021-04-19 | 2022-10-26 | ASML Netherlands B.V. | Metrology tool calibration method and associated metrology tool |
US11781999B2 (en) | 2021-09-05 | 2023-10-10 | Bruker Technologies Ltd. | Spot-size control in reflection-based and scatterometry-based X-ray metrology systems |
EP4191338A1 (en) | 2021-12-03 | 2023-06-07 | ASML Netherlands B.V. | Metrology calibration method |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4938600A (en) * | 1989-02-09 | 1990-07-03 | Interactive Video Systems, Inc. | Method and apparatus for measuring registration between layers of a semiconductor wafer |
US5280437A (en) * | 1991-06-28 | 1994-01-18 | Digital Equipment Corporation | Structure and method for direct calibration of registration measurement systems to actual semiconductor wafer process topography |
US5703692A (en) * | 1995-08-03 | 1997-12-30 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Lens scatterometer system employing source light beam scanning means |
US5880838A (en) * | 1996-06-05 | 1999-03-09 | California Institute Of California | System and method for optically measuring a structure |
US5963329A (en) * | 1997-10-31 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for measuring the profile of small repeating lines |
AU2300099A (en) * | 1998-02-09 | 1999-08-23 | Nikon Corporation | Method of adjusting position detector |
US6429943B1 (en) * | 2000-03-29 | 2002-08-06 | Therma-Wave, Inc. | Critical dimension analysis with simultaneous multiple angle of incidence measurements |
US6689519B2 (en) * | 2000-05-04 | 2004-02-10 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for lithography process control |
US6753961B1 (en) * | 2000-09-18 | 2004-06-22 | Therma-Wave, Inc. | Spectroscopic ellipsometer without rotating components |
IL138552A (en) * | 2000-09-19 | 2006-08-01 | Nova Measuring Instr Ltd | Measurement of transverse displacement by optical method |
US6731384B2 (en) * | 2000-10-10 | 2004-05-04 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for detecting foreign particle and defect and the same method |
US6768983B1 (en) * | 2000-11-28 | 2004-07-27 | Timbre Technologies, Inc. | System and method for real-time library generation of grating profiles |
US6515744B2 (en) * | 2001-02-08 | 2003-02-04 | Therma-Wave, Inc. | Small spot ellipsometer |
WO2002065545A2 (en) * | 2001-02-12 | 2002-08-22 | Sensys Instruments Corporation | Overlay alignment metrology using diffraction gratings |
US6699624B2 (en) * | 2001-02-27 | 2004-03-02 | Timbre Technologies, Inc. | Grating test patterns and methods for overlay metrology |
US6856408B2 (en) * | 2001-03-02 | 2005-02-15 | Accent Optical Technologies, Inc. | Line profile asymmetry measurement using scatterometry |
US6704661B1 (en) * | 2001-07-16 | 2004-03-09 | Therma-Wave, Inc. | Real time analysis of periodic structures on semiconductors |
US6678038B2 (en) * | 2001-08-03 | 2004-01-13 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for detecting tool-induced shift in microlithography apparatus |
US6785638B2 (en) * | 2001-08-06 | 2004-08-31 | Timbre Technologies, Inc. | Method and system of dynamic learning through a regression-based library generation process |
JP2003090803A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | 被処理基板欠陥検査装置、これを用いた半導体製造装置、及び被処理基板欠陥検査方法 |
US7061615B1 (en) * | 2001-09-20 | 2006-06-13 | Nanometrics Incorporated | Spectroscopically measured overlay target |
US6608690B2 (en) * | 2001-12-04 | 2003-08-19 | Timbre Technologies, Inc. | Optical profilometry of additional-material deviations in a periodic grating |
KR20030053690A (ko) | 2001-12-22 | 2003-07-02 | 동부전자 주식회사 | 얼라인먼트 측정 방법 |
US6772084B2 (en) * | 2002-01-31 | 2004-08-03 | Timbre Technologies, Inc. | Overlay measurements using periodic gratings |
US6813034B2 (en) * | 2002-02-05 | 2004-11-02 | Therma-Wave, Inc. | Analysis of isolated and aperiodic structures with simultaneous multiple angle of incidence measurements |
US7061627B2 (en) * | 2002-03-13 | 2006-06-13 | Therma-Wave, Inc. | Optical scatterometry of asymmetric lines and structures |
US6721691B2 (en) * | 2002-03-26 | 2004-04-13 | Timbre Technologies, Inc. | Metrology hardware specification using a hardware simulator |
US6798513B2 (en) * | 2002-04-11 | 2004-09-28 | Nanophotonics Ab | Measuring module |
US6928628B2 (en) * | 2002-06-05 | 2005-08-09 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Use of overlay diagnostics for enhanced automatic process control |
US7046376B2 (en) * | 2002-07-05 | 2006-05-16 | Therma-Wave, Inc. | Overlay targets with isolated, critical-dimension features and apparatus to measure overlay |
US6919964B2 (en) * | 2002-07-09 | 2005-07-19 | Therma-Wave, Inc. | CD metrology analysis using a finite difference method |
US6861660B2 (en) * | 2002-07-29 | 2005-03-01 | Applied Materials, Inc. | Process and assembly for non-destructive surface inspection |
US7148959B2 (en) * | 2002-11-01 | 2006-12-12 | Asml Netherlands B.V. | Test pattern, inspection method, and device manufacturing method |
KR100510592B1 (ko) | 2003-02-04 | 2005-08-30 | 동부아남반도체 주식회사 | 오버레이 장비에서의 티아이에스 보정 방법 |
US7068363B2 (en) * | 2003-06-06 | 2006-06-27 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems for inspection of patterned or unpatterned wafers and other specimen |
US7061623B2 (en) * | 2003-08-25 | 2006-06-13 | Spectel Research Corporation | Interferometric back focal plane scatterometry with Koehler illumination |
US7791727B2 (en) | 2004-08-16 | 2010-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization |
US20060109463A1 (en) * | 2004-11-22 | 2006-05-25 | Asml Netherlands B.V. | Latent overlay metrology |
US7453577B2 (en) * | 2004-12-14 | 2008-11-18 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus and method for inspecting a patterned part of a sample |
KR20060108437A (ko) | 2005-04-13 | 2006-10-18 | 삼성전자주식회사 | 희생양극패턴을 갖는 반도체소자 및 그 형성방법 |
US7277172B2 (en) * | 2005-06-06 | 2007-10-02 | Kla-Tencor Technologies, Corporation | Measuring overlay and profile asymmetry using symmetric and anti-symmetric scatterometry signals |
-
2007
- 2007-03-30 US US11/729,962 patent/US7656518B2/en active Active
-
2008
- 2008-03-21 JP JP2008072792A patent/JP4971225B2/ja active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018517920A (ja) * | 2015-04-21 | 2018-07-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | メトロロジ方法及び装置、コンピュータプログラム、並びにリソグラフィシステム |
US10261427B2 (en) | 2015-04-21 | 2019-04-16 | Asml Netherlands B.V. | Metrology method and apparatus, computer program and lithographic system |
KR20190115480A (ko) * | 2017-03-01 | 2019-10-11 | 케이엘에이 코포레이션 | 광학 스캐터로메트리에 기반한 프로세스 견고한 오버레이 계측 |
KR102356949B1 (ko) | 2017-03-01 | 2022-01-27 | 케이엘에이 코포레이션 | 광학 스캐터로메트리에 기반한 프로세스 견고한 오버레이 계측 |
WO2022225549A1 (en) * | 2021-04-22 | 2022-10-27 | Kla Corporation | Systems and methods for improved metrology for semiconductor device wafers |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7656518B2 (en) | 2010-02-02 |
JP2008258606A (ja) | 2008-10-23 |
US20080239318A1 (en) | 2008-10-02 |
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