JP4966604B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
保護部材を交換する際に、可及的に光学系に光軸のずれが発生しないようにするため、
レーザ発振器から出射されたレーザビームを、加工光学系によって伝送しつつ集光させて、被加工物の表面に照射し、所定の加工を行なうレーザ加工装置において、
前記加工光学系の被加工物へのレーザビームの出射部と被加工物の間に配置する保護部材を、被加工物の上方に敷設されたレールに対して摺動自在な基台に取り付けた、前記加工光学系を覆うカバーに取り付けることで、前記基台に取り付けた加工光学系及び前記被加工物と前記保護部材を分離したことを最も主要な特徴としている。
図1は本発明のレーザ加工装置の概略全体構成図、図2は本発明のレーザ加工装置の主要部を示す図、図3は保護部材の平行度検出及び補正手段を示した図である。
11 レーザ加工装置
14 レーザ加工部
14a レーザビーム
14b レーザ発振器
14c 加工工学系
14d 保護部材
15 ベース
16 カバー
17 遮蔽部材
19 ガス供給配管
22 レーザ測距装置
23 補正手段
Claims (3)
- レーザ発振器から出射されたレーザビームを、加工光学系によって伝送しつつ集光させて、被加工物の表面に照射し、所定の加工を行なうレーザ加工装置において、
前記加工光学系の被加工物へのレーザビームの出射部と被加工物の間に配置する保護部材を、被加工物の上方に敷設されたレールに対して摺動自在な基台に取り付けた、前記加工光学系を覆うカバーに取り付けることで、前記基台に取り付けた加工光学系及び前記被加工物と前記保護部材を分離したことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記加工光学系と前記保護部材間、及び保護部材の配置部が別の雰囲気となるように前記加工光学系と前記保護部材とを区画したことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記保護部材の平行度を検出し補正する、保護部材の平行度検出及び補正手段を設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
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