JP4965232B2 - Conductive paste - Google Patents

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Description

本発明は、導電性ペーストに関し、特に積層部品の内部電極用の導電性ペーストに関する。また、本発明は、当該導電性ペーストを用いて形成した積層部品の内部電極、及び当該内部電極を備えた積層部品に関する。   The present invention relates to a conductive paste, and more particularly to a conductive paste for an internal electrode of a laminated component. The present invention also relates to an internal electrode of a multilayer component formed using the conductive paste, and a multilayer component including the internal electrode.

近年、電子機器の小型軽量化に伴い、それに実装されるチップ部品も小型化が進展しており、積層セラミックコンデンサや積層インダクタといった積層部品が用いられるようになっている   In recent years, as electronic devices have become smaller and lighter, chip components mounted on the electronic devices have also been miniaturized, and multilayer components such as multilayer ceramic capacitors and multilayer inductors have been used.

例えば、積層インダクタは、通常、磁性体グリーンシートと、内部電極用導電性ペーストからなる層との積層体を焼成した後、外部電極を形成して作製される。内部電極用導電性ペーストとしては、溶剤、バインダ樹脂、導電性粒子を含む導電性ペーストが用いられ、一般的に導電性粒子としては、銀粒子が用いられる。   For example, a multilayer inductor is usually manufactured by firing a multilayer body of a magnetic green sheet and a layer made of a conductive paste for internal electrodes, and then forming external electrodes. As the conductive paste for internal electrodes, a conductive paste containing a solvent, a binder resin, and conductive particles is used. In general, silver particles are used as the conductive particles.

上述の積層体の焼成工程では、内部電極用導電性ペーストからなる層の方が、磁性体グリーンシートよりも大きく収縮する傾向にある。この収縮差によって、焼成後の磁性体層や内部電極にクラック、デラミネーションが発生したり、さらに内部電極が磁性体層の端部よりも内側にへこみ外部電極との接触が不十分となるといった不具合が発生しかねない。そのため、焼成時の焼結による収縮差を調整し、これら不具合を改善する必要がある。   In the above-described firing process of the laminate, the layer made of the internal electrode conductive paste tends to shrink more than the magnetic green sheet. Due to this shrinkage difference, cracks and delamination occur in the magnetic layer and internal electrode after firing, or the internal electrode is recessed more inward than the end of the magnetic layer, resulting in insufficient contact with the external electrode. A malfunction may occur. Therefore, it is necessary to adjust the shrinkage difference due to sintering during firing to improve these problems.

内部電極用導電性ペーストの導電性粒子としてパラジウム粒子を併用する方法に加えて、近年では、ペーストにチタンアルコキシド等の金属アルコキシドを配合して、収縮差を改善する方法も提案されているが(特許文献1)、高温での焼成におけるクラックの発生を防ぐことが困難であった。また、ペーストにアルコキシシランを加水分解して得られる化合物を配合して、デラミネーション等を抑制する方法も提案されているが(特許文献2)、これらの手法では、ペーストがゲル化しやすく保存性に劣り、ファインパターンの印刷に適さないという問題がある。
特開平6−240183号公報 特開平5−54714号公報
In addition to the method of using palladium particles together as the conductive particles of the internal electrode conductive paste, in recent years, a method of improving the shrinkage difference by blending a metal alkoxide such as titanium alkoxide with the paste has been proposed ( Patent Document 1), it was difficult to prevent the occurrence of cracks during firing at high temperatures. In addition, a method has been proposed in which a compound obtained by hydrolyzing alkoxysilane in the paste is mixed to suppress delamination (Patent Document 2). However, in these methods, the paste easily gels and is preserved. There is a problem that it is not suitable for printing fine patterns.
JP-A-6-240183 Japanese Patent Laid-Open No. 5-54714

本発明の目的は、積層部品、特に積層インダクタの内部電極を形成するために用いられる導電性ペーストであって、焼結性が制御され、かつ焼成後の導電性に優れた導電性ペーストを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a conductive paste used for forming an internal electrode of a multilayer component, particularly a multilayer inductor, having a controlled sinterability and excellent conductivity after firing. There is to do.

本発明者らは、導電性ペーストに、特定量のテトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物を配合することにより、導電性に悪影響を及ぼすことなく、焼結性を制御できることを見出し、本発明を完成させた。   The inventors of the present invention have found that the sinterability can be controlled without adversely affecting the conductivity by blending a specific amount of a partial hydrolysis-condensation product of tetraalkoxysilane with the conductive paste. Completed.

すなわち、本発明は、導電性粒子、バインダ樹脂、溶剤及び導電性粒子100重量部に対して、SiO換算で0.1〜3重量部のテトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物を含有することを特徴とする導電性ペーストに関し、該導電性ペーストを用いて形成した積層部品の内部電極、及び該内部電極を備えた積層部品に関する。 That is, the present invention contains 0.1 to 3 parts by weight of a partial hydrolysis condensate of tetraalkoxysilane in terms of SiO 2 with respect to 100 parts by weight of conductive particles, binder resin, solvent and conductive particles. The present invention relates to an internal electrode of a multilayer component formed using the conductive paste, and a multilayer component including the internal electrode.

本発明による導電性ペーストは、焼結性が制御されており、形成される焼成膜においてはクラック等の欠陥が抑制され、かつ優れた導電性を保持しているので、焼成膜を、例えば積層インダクタ等の積層部品の内部電極とした場合に、積層部品に良好な特性を与えることができる。   In the conductive paste according to the present invention, the sinterability is controlled, and defects such as cracks are suppressed in the fired film to be formed and excellent conductivity is maintained. When the internal electrode of a multilayer component such as an inductor is used, good characteristics can be given to the multilayer component.

本発明の導電性ペーストに使用される導電性粒子は、当該分野において公知のものを使用することができ、好ましくは銀粒子である。導電性粒子の形状は、特に限定されず、球状、フレーク状等が挙げられる。ペーストの塗布性の観点から、球状が好ましい。導電性粒子の平均粒径は、例えば、0.01〜20μmであり、好ましくは0.05〜10μmであり、より好ましくは0.1〜7μmである。導電性粒子は、単独でも、又は2種類以上を併用することもできる。   As the conductive particles used in the conductive paste of the present invention, those known in the art can be used, preferably silver particles. The shape of the conductive particles is not particularly limited, and examples thereof include spherical shapes and flake shapes. From the viewpoint of paste applicability, a spherical shape is preferred. The average particle diameter of the conductive particles is, for example, 0.01 to 20 μm, preferably 0.05 to 10 μm, and more preferably 0.1 to 7 μm. The conductive particles can be used alone or in combination of two or more.

本発明の導電性ペーストに使用される溶剤は、当該分野において公知のものを使用することができ、例えば、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、イソプロピルベンゼン、アミルベンゼン、p−シメン、テトラリン及び石油系芳香族炭化水素混合物等の芳香族炭化水素系溶剤;テルピネオール、リナロール、ゲラニオール、シトロネロール等のテルペンアルコール;エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−tert−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコ−ルモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテルアルコール系溶剤;メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤;並びにエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル系溶剤、水等が挙げられる。溶剤は、単独でも、又は2種類以上を併用することもできる。   As the solvent used in the conductive paste of the present invention, those known in the art can be used, for example, toluene, xylene, ethylbenzene, diethylbenzene, isopropylbenzene, amylbenzene, p-cymene, tetralin and petroleum-based solvents. Aromatic hydrocarbon solvents such as aromatic hydrocarbon mixtures; Terpene alcohols such as terpineol, linalool, geraniol, citronellol; ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol Mono-n-butyl ether, propylene glycol mono-tert-butyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl Ether alcohol solvents such as ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether and tripropylene glycol monomethyl ether; ketone solvents such as methyl isobutyl ketone; and ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene Examples thereof include ester solvents such as glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate, and water. Solvents can be used alone or in combination of two or more.

本発明の導電性ペーストに使用されるバインダ樹脂は、当該分野において公知のものを使用することができ、例えば、エチルセルロース、ニトロセルロース等のセルロース系樹脂、アクリル樹脂、アルキド樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ブチラール樹脂、ポリビニルアルコール、ヒドロキシプロピルセルロース等が挙げられる。バインダ樹脂は、単独でも、又は2種類以上を併用することもできる。   As the binder resin used in the conductive paste of the present invention, those known in the art can be used. For example, cellulose resins such as ethyl cellulose and nitrocellulose, acrylic resins, alkyd resins, saturated polyester resins, butyral Resins, polyvinyl alcohol, hydroxypropyl cellulose and the like can be mentioned. The binder resin can be used alone or in combination of two or more.

本発明の導電性ペーストにおいて、導電性粒子、溶剤、バインダの量は適宜、選択することができる。通常、導電性粒子は、導電性ペースト中、70〜95重量%である。   In the conductive paste of the present invention, the amounts of conductive particles, solvent, and binder can be appropriately selected. Usually, electroconductive particle is 70 to 95 weight% in an electroconductive paste.

本発明の導電性ペーストは、導電性粒子100重量部に対して、SiO換算で0.1〜3重量部、好ましくは0.2〜2重量部のテトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物を含むことを特徴とする。 The conductive paste of the present invention, with respect to 100 parts by weight of the conductive particles, 0.1 to 3 parts by weight in terms of SiO 2, preferably partially hydrolyzed condensate of tetraalkoxysilane 0.2 to 2 parts by weight It is characterized by including.

テトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物としては、式(1):
Si(OR (1)
(式中、Rは、それぞれ独立して、炭素数1〜3のアルキル基である)で示されるテトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物が挙げられる。Rとしては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基等が挙げられ、中でもエチル基、メチル基が好ましい。式(1)中の4つのRは、同一であることが好ましい。
As a partial hydrolysis-condensation product of tetraalkoxysilane, the formula (1):
Si (OR 1 ) 4 (1)
(Wherein, R 1 is each independently an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms) and a partial hydrolysis-condensation product of tetraalkoxysilane. Examples of R 1 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, and an isopropyl group, and among them, an ethyl group and a methyl group are preferable. It is preferable that four R < 1 > in Formula (1) is the same.

具体的には、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン又はテトライソプロポキシシランの部分加水分解縮合物が好ましく、特に、取り扱いの容易性、入手の容易性、SiO含有率の高さの点から、テトラメトキシシラン又はテトラエトキシシランの部分加水分解縮合物が好ましい。 Specifically, a partial hydrolysis-condensation product of tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra-n-propoxysilane or tetraisopropoxysilane is preferred, and in particular, ease of handling, availability, and SiO 2 content From the viewpoint of height, tetramethoxysilane or a partial hydrolysis condensate of tetraethoxysilane is preferable.

テトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物は、安定性や作業性の点から、テトラアルコキシシランを平均にして2〜20量体化したものであることが好ましく、より好ましくは5〜10量体化したものである。   The partial hydrolysis-condensation product of tetraalkoxysilane is preferably an average of 2-20 mer of tetraalkoxysilane, more preferably 5-10 mer, from the viewpoint of stability and workability. It is a thing.

テトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物は、アルコール類等適当な溶剤に溶解又は分散させて使用することもできる。   The partial hydrolysis-condensation product of tetraalkoxysilane can be used by dissolving or dispersing in a suitable solvent such as alcohols.

本発明の導電性ペーストには、本発明の効果を妨げない範囲で他の成分を配合することもできる。これらの成分としては、パラジウムのような導電性粒子、フェライトやセラミックのような非導電性粒子、シリコン、チタン、ジルコニウム、マグネシウム等の金属のアルコキシド、これらの金属とアセチルアセトン、アセト酢酸エチル等とのキレート化合物、これらの金属と2−エチルヘキサン酸、ナフテン酸等の脂肪酸との塩が挙げられる。   The conductive paste of the present invention can be blended with other components within a range that does not interfere with the effects of the present invention. These components include conductive particles such as palladium, non-conductive particles such as ferrite and ceramic, alkoxides of metals such as silicon, titanium, zirconium and magnesium, these metals and acetylacetone, ethyl acetoacetate, etc. Chelate compounds, and salts of these metals with fatty acids such as 2-ethylhexanoic acid and naphthenic acid.

本発明の導電性ペーストには、さらに、ガラスフリット、分散剤、レオロジー調整剤、顔料等の慣用の添加剤を、本発明の効果を損なわない範囲で配合することができる。また、ジエチルフタレート等の可塑剤を添加することもできる。   The conductive paste of the present invention may further contain conventional additives such as glass frit, a dispersant, a rheology modifier, and a pigment as long as the effects of the present invention are not impaired. Also, a plasticizer such as diethyl phthalate can be added.

本発明の導電性ペーストは、各成分を、例えば、ライカイ機、ポットミル、三本ロールミル、回転式混合機、二軸ミキサー等を用いて、混合し、均一に分散させることにより製造することができる。   The conductive paste of the present invention can be produced by mixing and uniformly dispersing each component using, for example, a lykai machine, a pot mill, a three-roll mill, a rotary mixer, a twin screw mixer or the like. .

本発明の導電性ペーストを、磁性体グリーンシート(例えばフェライトグリーンシート)上に、スクリーン印刷等の適当な方法で塗布し、積層した後、焼成を行って、内部電極を形成することができる。焼成温度は、通常、850〜950℃であり、焼成時間は1〜8時間であるが、適宜、変更することができる。その後、外部電極を形成し、積層インダクタとすることができる。積層セラミックコンデンサ等の他の積層部品についても、同様の方法で、あるいは他の公知の方法で内部電極を形成することができる。   The conductive paste of the present invention can be applied onto a magnetic green sheet (for example, ferrite green sheet) by an appropriate method such as screen printing, laminated, and then fired to form an internal electrode. The firing temperature is usually from 850 to 950 ° C., and the firing time is from 1 to 8 hours, but can be appropriately changed. Thereafter, an external electrode can be formed to form a multilayer inductor. For other multilayer parts such as multilayer ceramic capacitors, the internal electrodes can be formed by the same method or by other known methods.

以下、実施例及び比較例によって、本発明を更に詳細に説明する。部、%は、他に断りのない限り、重量部、重量%を表す。本発明は、これらの実施例によって限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples. Unless otherwise indicated, parts and% represent parts by weight and% by weight. The present invention is not limited by these examples.

実施例1〜3、比較例1〜7
表1に示す組成で、各成分を三本ロールミルにて均一に混練、分散して各実施例及び比較例のペーストを得た。
Examples 1-3, Comparative Examples 1-7
With the composition shown in Table 1, each component was uniformly kneaded and dispersed by a three-roll mill to obtain pastes of Examples and Comparative Examples.

フェライトグリーンシート上へ実施例1〜3、比較例1、2及び4のペーストをステンレス325メッシュ、乳剤厚25μmのマスクを用いて印刷し、900℃にて、4時間、焼成して焼成膜を形成させた。焼成膜について、20倍の顕微鏡を用いて断面を観察してクラックの有無を確認した。○:クラックなし。×:クラックあり。また、焼成膜の体積抵抗率を、焼成後の膜厚、およびパターンの幅・長さより算出した。   The pastes of Examples 1 to 3, Comparative Examples 1, 2 and 4 were printed on a ferrite green sheet using a mask of stainless steel 325 mesh and emulsion thickness 25 μm, and baked at 900 ° C. for 4 hours to form a fired film. Formed. About the baked film, the cross section was observed using a 20 times microscope, and the presence or absence of the crack was confirmed. ○: No crack. X: There is a crack. Further, the volume resistivity of the fired film was calculated from the film thickness after firing and the width / length of the pattern.

実施例1〜3及び比較例1では、焼成膜にクラックはみられず、体積抵抗率も良好であった。比較例2では、焼成膜にクラックがみられた。また、チタンアルコキシドを使用した比較例4では、焼成膜のクラックの程度は小さかったが、体積抵抗率の点で劣っていた。   In Examples 1 to 3 and Comparative Example 1, no crack was observed in the fired film, and the volume resistivity was good. In Comparative Example 2, cracks were observed in the fired film. Moreover, in the comparative example 4 using a titanium alkoxide, although the grade of the crack of the fired film was small, it was inferior in the point of volume resistivity.

フェライトグリーンシート上へ上記と同じマスクを用いて実施例1、比較例2〜7のペーストを印刷し、930℃にて、4時間、焼成して焼成膜を形成させた。上記と同様にして、焼成膜のクラックの有無、焼成膜の体積抵抗率を求めた。   The paste of Example 1 and Comparative Examples 2 to 7 was printed on the ferrite green sheet using the same mask as described above, and baked at 930 ° C. for 4 hours to form a baked film. In the same manner as described above, the presence or absence of cracks in the fired film and the volume resistivity of the fired film were determined.

焼成温度が930℃になっても、実施例1では、焼成膜にクラックはみられず、焼結による収縮応力が抑えられていることがわかる。同時に、実施例1の焼成膜は、体積抵抗率も良好であった。比較例2及びチタンアルコキシドを使用した比較例3、4では、焼成膜にクラックがみられた。また、パラジウム粒子を使用した比較例5、6では、焼成膜にクラックはみられなかったものの、体積抵抗率の点で劣っていた。さらに、テトラアルコキシシランの部分加水分解物のSiO換算量が本発明の範囲外である比較例7でも、焼成膜にクラックはみられなかったものの、体積抵抗率の点で劣っていた。 Even when the firing temperature is 930 ° C., in Example 1, no crack is observed in the fired film, and it can be seen that the shrinkage stress due to sintering is suppressed. At the same time, the fired film of Example 1 also had good volume resistivity. In Comparative Examples 3 and 4 using Comparative Example 2 and titanium alkoxide, cracks were observed in the fired film. Moreover, in Comparative Examples 5 and 6 using palladium particles, cracks were not observed in the fired film, but the volume resistivity was poor. Furthermore, even in Comparative Example 7 in which the amount of SiO 2 in the partially hydrolyzed tetraalkoxysilane was outside the range of the present invention, the fired film was inferior in volume resistivity although no crack was observed.

フェライトグリーンシート上へ実施例1、比較例1及び2のペーストをステンレス325メッシュ、乳剤厚10μm、線幅200μmのマスクを用いて連続印刷し、50回目の印刷を150℃にて10分間乾燥した。乾燥膜について100倍の顕微鏡で線幅を測定し、印刷性を評価した。   The pastes of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 were continuously printed on a ferrite green sheet using a mask of stainless steel 325 mesh, emulsion thickness 10 μm, and line width 200 μm, and the 50th printing was dried at 150 ° C. for 10 minutes. . With respect to the dried film, the line width was measured with a 100 × microscope to evaluate the printability.

実施例1は線幅が細くなることはなく良好であった。比較例2では僅かに線幅が減少した。一方、部分加水分解縮合物ではなく、テトラメトキシシランとジメチルメトキシシランの加水分解物を使用した比較例1は50%程度まで細くなり、印刷性が劣っていた。   In Example 1, the line width was not reduced and was good. In Comparative Example 2, the line width slightly decreased. On the other hand, Comparative Example 1 using a hydrolyzate of tetramethoxysilane and dimethylmethoxysilane instead of a partially hydrolyzed condensate was thinned to about 50%, and printability was poor.

本発明による積層インダクタ内部電極用導電性ペーストは、焼結性が制御されており、形成される焼成膜においてはクラック等の欠陥が抑制され、かつ優れた導電性を保持しているので、焼成膜を積層インダクタの内部電極とした場合に、積層インダクタに良好な特性を与えることができ、産業上の有用性が高い。   Since the conductive paste for multilayer inductor internal electrode according to the present invention has controlled sinterability, the fired film to be formed is suppressed from defects such as cracks, and retains excellent conductivity. When the film is used as the internal electrode of the multilayer inductor, good characteristics can be given to the multilayer inductor, and the industrial utility is high.

Claims (8)

導電性粒子、溶剤、バインダ樹脂及び導電性粒子100重量部に対して、SiO換算で0.1〜3重量部の平均2〜20量体であるテトラエトキシシシランの部分加水分解縮合物を含む、導電性ペースト。 Conductive particles, a solvent for the binder resin and 100 parts by weight of the conductive particles, including the partially hydrolyzed condensate of tetraethoxy Shishiran an average 2 to 20 mer 0.1-3 parts by weight in terms of SiO 2 , Conductive paste. テトラエトキシシランの部分加水分解縮合物が、平均5〜10量体である、請求項1記載の導電性ペースト。 The electrically conductive paste of Claim 1 whose partial hydrolysis-condensation product of tetraethoxysilane is an average 5-10 mer . テトラエトキシシランの部分加水分解縮合物のSiO 含有率が、40〜48%である、請求項1又は2記載の導電性ペースト。 SiO 2 content of partially hydrolyzed condensate of tetraethoxysilane, is 40 to 48%, according to claim 1 or 2, wherein the conductive paste. 導電性粒子が、銀粒子である、請求項1〜3のいずれか1項記載の導電性ペースト。   The conductive paste according to claim 1, wherein the conductive particles are silver particles. 積層部品の内部電極用の請求項1〜4のいずれか1項記載の導電性ペースト。   The electrically conductive paste of any one of Claims 1-4 for internal electrodes of a laminated component. 請求項5記載の導電性ペーストを用いて形成した積層部品の内部電極。   An internal electrode of a laminated part formed using the conductive paste according to claim 5. 請求項6記載の内部電極を備えた積層部品。   A laminated part comprising the internal electrode according to claim 6. 積層インダクタである、請求項7記載の積層部品。   The multilayer component according to claim 7, wherein the multilayer component is a multilayer inductor.
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