JP4953363B2 - 圧電センサ - Google Patents
圧電センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4953363B2 JP4953363B2 JP2006350406A JP2006350406A JP4953363B2 JP 4953363 B2 JP4953363 B2 JP 4953363B2 JP 2006350406 A JP2006350406 A JP 2006350406A JP 2006350406 A JP2006350406 A JP 2006350406A JP 4953363 B2 JP4953363 B2 JP 4953363B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- metal shell
- piezoelectric
- holding member
- detecting means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
本発明の目的は、圧力検知手段に損傷を与えるおそれのない取り付けを可能とした圧電センサを提供することにある。
本発明の他の目的は、安定した圧力検知を行うことができる圧電センサを提供することにある。
本発明1の圧電センサは、圧力を伝達する圧力伝達手段と前記圧力伝達手段により伝達される圧力を受けて電気信号に変換する圧電素子とを含む圧力検知手段と、前記圧力伝達手段を外方に開放させる開口部を有して前記圧力検知手段を内部に保持する主体金具と、前記主体金具内にあって、中心に貫通孔を有する円柱状の絶縁体で構成され、前記主体金具に対して回転規制された状態で嵌合挿入され、前記圧力検知手段に押し当てて前記圧力検知手段を前記主体金具内に保持する保持部材と、前記主体金具内にあって前記保持部材を押圧する押圧部材とからなり、前記圧電素子は、キュリー温度が存在しない薄膜で耐熱性の圧電素子であって、前記圧力検知手段は、前記圧力伝達手段である金属ダイヤフラム、前記金属ダイヤフラムに支持される下地層、前記圧電素子である圧電薄膜層及び電極が順次積層されており、前記主体金具と前記金属ダイヤフラムとの間に配置され、前記開口部からの圧力漏洩を防止するガスケットとからなり、前記主体金具と、前記保持部材との回転規制は、両部材の対抗する面の長手方向に形成された溝にピンを挿入したものである。
圧力検知手段の圧電素子は、キュリー点の存在しない圧電材料よりなっている。その双極子配向度は、75%以上である。又、この圧電素子は、ウルツ鉱構造の結晶構造をもつ物質で、窒化アルミニウム又は酸化亜鉛よりなっていて、その厚みは0.1μm以上100μm以下である。
以上種々の例について説明したが、本発明は、本実施の形態に限定されないことはいうまでもない。
2…主体金具
3…導電体
4…ガスケット
5…導電棒
6…電気絶縁体
7…保持部材
8…ビス
9…押圧部材
Claims (1)
- 圧力を伝達する圧力伝達手段と前記圧力伝達手段により伝達される圧力を受けて電気信号に変換する圧電素子とを含む圧力検知手段と、
前記圧力伝達手段を外方に開放させる開口部を有して前記圧力検知手段を内部に保持する主体金具と、
前記主体金具内にあって、中心に貫通孔を有する円柱状の絶縁体で構成され、前記主体金具に対して回転規制された状態で嵌合挿入され、前記圧力検知手段に押し当てて前記圧力検知手段を前記主体金具内に保持する保持部材と、
前記主体金具内にあって前記保持部材を押圧する押圧部材とからなり、
前記圧電素子は、キュリー温度が存在しない薄膜で耐熱性の圧電素子であって、
前記圧力検知手段は、前記圧力伝達手段である金属ダイヤフラム、前記金属ダイヤフラムに支持される下地層、前記圧電素子である圧電薄膜層及び電極が順次積層されており、 前記主体金具と前記金属ダイヤフラムとの間に配置され、前記開口部からの圧力漏洩を防止するガスケットとからなり、
前記主体金具と、前記保持部材との回転規制は、両部材の対抗する面の長手方向に形成された溝にピンを挿入したものである
ことを特徴とする圧電センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006350406A JP4953363B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 圧電センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006350406A JP4953363B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 圧電センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008157896A JP2008157896A (ja) | 2008-07-10 |
JP4953363B2 true JP4953363B2 (ja) | 2012-06-13 |
Family
ID=39658949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006350406A Expired - Fee Related JP4953363B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 圧電センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4953363B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2730905B1 (en) * | 2012-11-12 | 2019-01-02 | Sensata Technologies, Inc. | A pressure-measuring plug for a combustion engine |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60535U (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | 燃焼圧センサ |
JPH0485245U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | ||
JPH07280680A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-10-27 | Walbro Corp | 半導体ダイの接続構造 |
JP4126369B2 (ja) * | 2002-11-06 | 2008-07-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 圧電センサ |
-
2006
- 2006-12-26 JP JP2006350406A patent/JP4953363B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008157896A (ja) | 2008-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6575039B2 (en) | Combustion pressure sensor assembly | |
US7905209B2 (en) | Glow plug with combustion pressure sensor | |
JP2007177782A (ja) | 燃焼圧力センサ付きグロープラグ | |
US9891138B2 (en) | Pressure sensor | |
JP2003077620A (ja) | スパークプラグおよびその製造方法 | |
US8578762B2 (en) | Spark plug with integral combustion sensor and engine component therewith | |
JP3900059B2 (ja) | 燃焼センサ付きグロープラグおよび燃焼圧センサ付きグロープラグの取付構造ならびに取付方法 | |
JP5679646B2 (ja) | 燃焼室圧力センサ | |
JP4753389B2 (ja) | 燃焼室圧センサとシールエレメントとを備えたシース形グロープラグ | |
JP4953363B2 (ja) | 圧電センサ | |
JP2004524517A (ja) | 圧力測定装置 | |
JP6228861B2 (ja) | グロープラグ一体型燃焼圧センサ | |
JP4126369B2 (ja) | 圧電センサ | |
KR20110124257A (ko) | 연소 센서를 구비한 스파크 플러그 | |
JPH06265430A (ja) | 筒内圧センサ | |
WO2018079622A1 (ja) | 圧力センサ | |
JP4207070B2 (ja) | 燃焼センサ付きグロープラグ | |
US10048153B2 (en) | Pressure sensor including variable member having rear end connected to housing at a predetermined axial position | |
US20120198924A1 (en) | Cylinder Pressure Sensor | |
WO2004106910A1 (ja) | ガスセンサ及びその製造方法 | |
JP2011203103A (ja) | 圧電モジュールおよびこれを備えたグロープラグ | |
JP2005024537A (ja) | 燃焼圧センサ | |
CN110715751B (zh) | 温度传感器 | |
JP4268596B2 (ja) | 燃焼圧検知機構付きグロープラグ及びグロープラグ接続構造体 | |
JPH03185326A (ja) | 圧電型圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111219 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120305 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150323 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150323 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |