JP4951931B2 - ノイズ測定回路、該測定回路に用いられるノイズ測定方法及び該測定回路が設けられている大規模集積回路 - Google Patents

ノイズ測定回路、該測定回路に用いられるノイズ測定方法及び該測定回路が設けられている大規模集積回路 Download PDF

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Description

この発明は、ノイズ測定回路、該測定回路に用いられるノイズ測定方法及び該測定回路が設けられている大規模集積回路に係り、特に、LSI(Large Scale Integrated circuit、大規模集積回路)などから発生する電源ノイズを測定する場合に用いて好適なノイズ測定回路、該測定回路に用いられるノイズ測定方法及び該測定回路が設けられている大規模集積回路に関する。
近年、LSIの動作が著しく高速化され、これに伴って同LSI内部で電源電圧や接地電位が変動し、高周波の電源ノイズが発生するようになっている。この種の電源ノイズは、無線機器の動作の障害(たとえば、受信品質の低下など)や、他の電子機器の異常動作を引き起こす原因となっている。特に、コンピュータなどでは、内部のクロックの周期に対応した電磁波の放射による電源ノイズのレベルが大きくなってきている。電源ノイズの増加は、信号伝搬の遅延に直結し、LSIの動作に対して悪影響を及ぼす。LSIの遅延設計では、このような電源ノイズの状態を正確に把握することが重要となるが、上記のように、同電源ノイズは、高周波化が進んでいるため、LSIの外部で観測しようとしても、高周波成分は観測点に至るまでに減衰し、精度の良い測定が極めて困難である。このような電源ノイズを高精度で観測するためには、LSIの内部での観測が必須であり、従来、この種の技術としては、たとえば、非特許文献1に記載されたものがある。
図8及び図9は、非特許文献1に記載された電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図である。
同図8に示すリファレンスユニットは、デジタル/アナログ(D/A)コンバータ(DAC)1,2と、最終ステージ3とを有している。DAC1は、PVT(Process/Voltage/Temperature )条件により発生するリファレンスのオフセットと、+/−のリファレンス電流Iref+ ,Iref- との不整合の校正に用いられる。DAC2は、電源電圧の変動の検知に適した電圧の閾値をプログラムするために用いられる。最終ステージ3は、+/−双方の極性のリファレンス電流Iref+ ,Iref- を生成するためのカレントミラー回路を有している。このリファレンスユニットは、10〜20mvの測定分解能が得られるように設計され、DC電圧の設定により分解能が変化する。
同図9に示すディテクタモジュールは、上記リファレンスユニットで生成されたリファレンス電流Iref+ ,Iref- を用いて、これらに対応した電圧の閾値vref1 ,vref2 を決定し、図示しない制御ユニットからのデジタル信号により、リファレンス電流Iref+ ,Iref- の極性及び非同期/同期のキャプチャモードが制御される。この電源ノイズ測定回路では、概略的には、リファレンスユニットで生成されたリファレンス電流Iref+ ,Iref- をディテクタモジュールで受け、対応した電圧の閾値vref1 ,vref2 と電源電位Vcc,Vssとが比較され、比較結果が出力される。
また、特許文献1に記載された連続高周波ノイズの測定装置では、第1及び第2のトリガコントローラが、それぞれ、第1及び第2のトリガ信号を所定時間待って受けるので、第1及び第2のカウンタ、及び第1及び第2の比較器の処理を高速化させる必要がなく、安価に構成される。
特許文献2に記載されたA/D変換器では、1クロックサイクルで複数ビットの出力デジタル信号レジスタ値が決定されるので、従来のA/D変換時間が半分以下に短縮される。
特開平04−095880号公報(第4頁、図4) 特開平04−170224号公報(第3頁、図1) Ali Muhtaroglu,etc、Intel Corporation,Logic Technology Development、"On-Die Droop Detector for Analog Sensing of Power Supply Noise"、2003 Symposium on VLSI Circuits Digest of Technical Papers
しかしながら、上記従来の電源ノイズ測定回路では、次のような問題点があった。
すなわち、図8及び図9の電源ノイズ測定回路では、分解能が閾値vref1 ,vref2 によって固定的に決まるため、ノイズ波形に対応した測定が困難であり、時間分解能も1GHz程度で固定されているため、周波数の低いノイズに対しては、データ数の割りに有効なデータが少ない。また、周波数の高いノイズに対しても、分解能以下でしか追随しないため、1GHzのノイズに対しても追随が困難である。さらに、閾値vref1 ,vref2 を振りながらノイズを測定するため、波形取得までに時間を要するとともに、1回だけ現れたノイズの波形に対しては追随できない可能性が高いという問題点がある。
また、特許文献1に記載された測定装置及び特許文献2に記載されたA/D変換器は、この発明とは目的及び構成が異なり、上記の問題点は、改善されない。
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、LSI内部で発生している電源ノイズのレベルを波形に対応した最適な基準値及び時間間隔で測定し、高精度で波形を観測するノイズ測定回路を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、入力信号に含まれるノイズの電圧レベルをクロックに同期して基準値と比較し、比較結果を生成する複数のノイズ検出用比較回路と、前記クロックを発生するクロック発生回路とを有するノイズ測定回路に係り、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第1の初期基準値と比較し、該第1の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいときに該第1の初期基準値を増大させて該ノイズの電圧レベルよりも大きくなった該第1の初期基準値を最大基準値として設定すると共に、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第2の初期基準値と比較し、該第2の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも大きいときに該第2の初期基準値を減少させて該ノイズの電圧レベルよりも小さい該第2の初期基準値を最小基準値として設定し、かつ、前記最大基準値と前記最小基準値との間の電圧を前記複数のノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧することにより、前記各ノイズ検出用比較回路に対して前記基準値をそれぞれ設定する基準値設定手段と、前記複数のノイズ検出用比較回路から出力される前記各比較結果に基づいて、所定の周期毎に前記ノイズの波形の変化の有無を検出し、前記クロック発生回路から発生する前記クロックの周波数を、前記ノイズの波形の変化が検出される周波数に設定するクロック周波数設定手段とが設けられていることを特徴としている。
請求項記載の発明は、入力信号に含まれるノイズの電圧レベルをクロックに同期して基準値と比較し、比較結果を生成する複数のノイズ検出用比較回路と、前記クロックを発生するクロック発生回路とを有するノイズ測定回路に係り、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第1の初期基準値と比較し、該第1の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいときに該第1の初期基準値を増大させて該ノイズの電圧レベルよりも大きくなった該第1の初期基準値を最大基準値として設定すると共に、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第2の初期基準値と比較し、該第2の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも大きいときに該第2の初期基準値を減少させて該ノイズの電圧レベルよりも小さい該第2の初期基準値を最小基準値として設定し、かつ、前記最大基準値と前記最小基準値との間の電圧を前記複数のノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧することにより、前記各ノイズ検出用比較回路に対して前記基準値をそれぞれ設定する基準値設定手段と、前記複数のノイズ検出用比較回路から出力される前記各比較結果に基づいて、所定の周期毎に前記ノイズの波形の変化の有無を検出し、前記クロック発生回路から発生する前記クロックの周波数を、前記ノイズの波形の変化が検出される周波数に設定するクロック周波数設定手段とが設けられていて、該クロック周波数設定手段は、動作開始時に最大値に設定された前記クロックの周波数の下では、前記ノイズの波形の変化が検出されないときは、前記ノイズの波形の変化が検出されるまで、前記クロックの周波数を段階的に下げながら当該動作を繰り返すことを特徴としている。
請求項記載の発明は、請求項1又は2記載のノイズ測定回路に係り、前記入力信号の高周波領域に含まれる前記ノイズを通過させる高域通過フィルタを有することを特徴としている。
また、請求項記載の発明は、請求項1又は2記載のノイズ測定回路に係り、前記基準値設定手段は、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して前記第1の初期基準値と比較して第1の比較結果を生成する最大基準値検出用比較回路と、該第1の比較結果が、該第1の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいことを示す毎に当該第1の比較結果をカウントして第1のカウント値を生成する第1のカウンタと、該第1のカウント値をデジタル/アナログ変換して前記最大基準値を生成する第1のデジタル/アナログ変換部と、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して前記第2の初期基準値と比較して第2の比較結果を生成する最小基準値検出用比較回路と、該第2の比較結果が、該第2の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいことを示す毎に当該第2の比較結果をカウントして第2のカウント値を生成する第2のカウンタと、該第2のカウント値をデジタル/アナログ変換して前記最小基準値を生成する第2のデジタル/アナログ変換部と、前記最大基準値と前記最小基準値との間の電圧を前記ノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧することにより、前記各ノイズ検出用比較回路に対して前記基準値をそれぞれ設定する分圧回路とから構成されていることを特徴としている。
請求項5記載の発明は、請求項1又は2記載のノイズ測定回路に係り、前記クロック周波数設定手段は、前記所定の周期毎に前記ノイズの波形の一致/不一致を検出し、前記クロック発生回路から発生する前記クロックの周波数を、前記ノイズの波形の不一致が検出される周波数に設定する構成とされていることを特徴としている。
請求項6記載の発明は、請求項記載のノイズ測定回路に係り、前記クロック発生回路は、前記複数のノイズ検出用比較回路に対して、それぞれ異なる位相で前記クロックを供給し、かつ、前記最大基準値検出用比較回路及び最小基準値検出用比較回路に対して、同一位相又は同一周期で前記クロックを供給する構成とされていることを特徴としている。
請求項7記載の発明は、ノイズ測定方法に係り、入力信号に含まれるノイズの電圧レベルをクロックに同期して基準値と比較し、比較結果を生成する複数のノイズ検出用比較回路と、前記クロックを発生するクロック発生回路とを備えてなるノイズ測定回路に用いられ、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第1の初期基準値と比較し、該第1の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいときに該第1の初期基準値を増大させて該ノイズの電圧レベルよりも大きくなった該第1の初期基準値を最大基準値として設定すると共に、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第2の初期基準値と比較し、該第2の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも大きいときに該第2の初期基準値を減少させて該ノイズの電圧レベルよりも小さい該第2の初期基準値を最小基準値として設定し、かつ、前記最大基準値と前記最小基準値との間の電圧を前記複数のノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧することにより、前記各ノイズ検出用比較回路に対して前記基準値をそれぞれ設定すると共に、前記複数のノイズ検出用比較回路から出力される前記各比較結果に基づいて、所定の周期毎に前記ノイズの波形の変化の有無を検出し、前記クロック発生回路から発生する前記クロックの周波数を、前記ノイズの波形の変化が検出される周波数に設定することを特徴としている。
請求項8記載の発明は、大規模集積回路に係り、請求項1乃至6のいずれか一つのノイズ測定回路が設けられ、該ノイズ測定回路により電源ノイズを測定する構成とされていることを特徴としている。
請求項9記載の発明は、請求項8記載の大規模集積回路に係り、前記ノイズ測定回路に対し、高周波ノイズを遮断して電源電圧を印加する低域通過フィルタが設けられていることを特徴としている。
この発明の構成によれば、ノイズの電圧レベルに基づいて最大基準値及び最小基準値が設定され、同最大基準値と同最小基準値との間の電圧がノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧されることにより、同各ノイズ検出用比較回路に対して各基準値が設定されるので、比較的少ないハード構成で同ノイズの波形を高精度で観測できる。また、クロック周波数設定手段により、複数のノイズ検出用比較回路から出力される各比較結果に基づいて、所定の周期毎にノイズの波形の変化の有無が検出され、クロック発生回路から発生するクロックの周波数が、同ノイズの波形の変化が検出される周波数に設定されるので、効率的な波形観測を行うことができる。また、複数のノイズ検出用比較回路に対して、それぞれ異なる位相でクロックを供給し、かつ、最大基準値検出用比較回路及び最小基準値検出用比較回路に対して、同一位相又は同一周期で同クロックを供給する構成とされているので、ノイズのピークを検出する確率が高くなり、より高精度でノイズの波形の観測を行うことができる。
また、大規模集積回路に同ノイズ測定回路が設けられているので、同大規模集積回路内部の電源ノイズを高精度で観測できる。また、この大規模集積回路に、高周波ノイズを遮断してノイズ測定回路に電源電圧を印加する低域通過フィルタが設けられているので、同ノイズ測定回路は、少ないハード構成と相俟って同大規模集積回路内部の任意の場所へ配置することができ、観測したいノイズ波形を任意に得ることができる。
ノイズの電圧レベルに基づいて最大基準値及び最小基準値が設定され、同最大基準値と同最小基準値との間の電圧がコンパレータの数に応じて抵抗で分圧されることにより、同各コンパレータに対して各基準値が設定されるノイズ測定回路を提供する。
図1は、この発明の第1の実施例である電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図である。
この例の電源ノイズ測定回路は、同図に示すように、高域通過フィルタ(ハイパスフィルタ、HPF)21と、コンパレータ22,23,24,25,26と、カウンタ(1b UP Counter )27と、カウンタ(6b UP Counter )28と、D/Aコンバータ(DAC)29a,29bと、インバータ30と、カウンタ(1b UP Counter )31と、カウンタ(6b Down Counter )32と、VCO(Voltage Controlled Oscillator 、電圧制御発振器)33と、抵抗34,35,36,37と、フリップフロップ(FF)38,39,40,41,42,43と、イクスクルーシブノア(ExNOR)回路44,45と、フリップフロップ(FF)46,47,48,49とから構成されている。
HPF21は、入力信号inの高周波領域に含まれるノイズ(Noise )izを通過させる。VCO33は、この実施例では、所定の周波数(たとえば、3GHz程度)に固定されたクロックckを発生する。コンパレータ24は、入力信号inに含まれるノイズizの電圧レベルをクロックckに同期して基準値haと比較し、比較結果Aを生成する。コンパレータ25は、ノイズizの電圧レベルをクロックckに同期して基準値hbと比較し、比較結果Bを生成する。コンパレータ26は、ノイズizの電圧レベルをクロックckに同期して基準値hcと比較し、比較結果Cを生成する。コンパレータ22は、ノイズizの電圧レベルをクロックckに同期して第1の初期基準値h1と比較して第1の比較結果Dを生成する。コンパレータ23は、ノイズizの電圧レベルをクロックckに同期して第2の初期基準値h2と比較して第2の比較結果Eを生成する。
カウンタ27は、1ビットのアップカウンタで構成され、コンパレータ22からの第1の比較結果Dをカウントしてカウント値aを生成する。カウンタ28は、たとえば6ビットのアップカウンタで構成され、カウンタ27からのカウント値aをカウントしてカウント値bを生成する。また、カウント値bは、高レベル基準値Vref_Hとしても出力されるようになっている。これらのカウンタ27,28により、第1のカウンタが構成されている。第1のカウンタは、上記第1の比較結果Dが、第1の初期基準値h1がノイズizの電圧レベルよりも小さいことを示す毎に同第1の比較結果Dをカウントして第1のカウント値(カウント値b)を生成する。DAC29aは、カウント値bが“1”増加する毎にカウンタ27をリセットすると共に、変化しなくなった同カウント値bをD/A変換して最大基準値hmを生成する。
インバータ30は、コンパレータ23からの第2の比較結果Eを反転して反転信号Ebを出力する。カウンタ31は、1ビットのアップアップカウンタで構成され、反転信号Ebを入力することにより、コンパレータ23からの第2の比較結果Eを間接的にカウントしてカウント値cを生成する。カウンタ32は、たとえば6ビットのダウンカウンタで構成され、カウンタ31からのカウント値cをカウントしてカウント値dを生成する。また、カウント値dは、低レベル基準値Vref_Lとしても出力されるようになっている。これらのカウンタ31,32により、第2のカウンタが構成されている。第2のカウンタは、上記第2の比較結果Eが、第2の初期基準値h2がノイズizの電圧レベルよりも小さいことを示す毎に同第2の比較結果Eをカウントして第2のカウント値(カウント値d)を生成する。DAC29bは、カウント値dが“1”減少する毎にカウンタ31をリセットすると共に、変化しなくなった同カウント値dをD/A変換して最小基準値hnを生成する。抵抗34,35,36,37は、最大基準値hmと最小基準値hnとの間の電圧をコンパレータ24,25,26の数に応じて分圧することにより、同各コンパレータ24,25,26に対して基準値ha,hb,hcをそれぞれ設定する。
FF38,39は、コンパレータ24からの比較結果Aをクロックckに同期して取り込んで比較結果FAとして出力する。FF40,41は、コンパレータ25からの比較結果Bをクロックckに同期して取り込んで比較結果FBとして出力する。FF42,43は、コンパレータ26からの比較結果Cをクロックckに同期して取り込んで比較結果FCとして出力する。
ExNOR回路44は、比較結果FAと比較結果FBとの一致/不一致を判定してエンコード信号EAを出力する。ExNOR回路45は、比較結果FBと比較結果FCとの一致/不一致を判定してエンコード信号EBを出力する。FF46,47は、エンコード信号EAをクロックckに同期して取り込んでエンコード信号OUT0として出力する。FF48,49は、エンコード信号EBをクロックckに同期して取り込んでエンコード信号OUT1として出力する。
図2は、図1の電源ノイズ測定回路が設けられているLSIの要部の構成を示す図である。
このLSIでは、同図2に示すように、図1の電源ノイズ測定回路として、ノイズ測定回路コア51が設けられ、また、pチャネル型MOSFET(pMOS)52、及びnチャネル型MOSFET(nMOS)53が設けられている。ノイズ測定回路コア51には、電源ノイズの測定の対象となる電源電圧(VDD2)が入力信号inとして入力されるようになっている。pMOS52は抵抗と等価であり、nMOS53はキャパシタと等価である。これらのpMOS52及びnMOS53により、ノイズ測定回路コア51に対し、コア電源(VDD)の高周波ノイズを遮断して電源電圧をコアGNDとの間で印加する低域通過フィルタが構成されている。
図3は、図1の電源ノイズ測定回路により得られる電源ノイズの測定結果を示す図であり、縦軸に電圧レベル、及び横軸に時間がとられている。
この図を参照して、この例の電源ノイズ測定回路に用いられる電源ノイズ測定方法の処理内容について説明する。
この電源ノイズ測定方法では、入力信号inに含まれるノイズizの電圧レベルがクロックckに同期して第1の初期基準値h1と比較され、同第1の初期基準値h1が同ノイズizの電圧レベルよりも小さいときに同第1の初期基準値h1を増大させて同ノイズizの電圧レベルよりも大きくなった同第1の初期基準値h1が最大基準値hmとして設定される。また、同ノイズizの電圧レベルがクロックckに同期して第2の初期基準値h2と比較され、同第2の初期基準値h2が同ノイズizの電圧レベルよりも大きいときに同第2の初期基準値h2を減少させて同ノイズizの電圧レベルよりも小さい同第2の初期基準値h2が最小基準値hnとして設定される。そして、最大基準値hmと最小基準値hnとの間の電圧がコンパレータ(ノイズ検出用比較回路)24,25,26の数に応じて分圧されることにより、同各コンパレータ24,25,26に対して各基準値ha,hb,hcが設定される。
すなわち、入力信号inは、HPF21でDC(直流)成分がカットされ、同HPF21から、たとえば1/2VDDのDC電圧が重畳されたノイズizが出力される。このとき、入力信号inのAC(交流)成分は、そのまま出力されるので、ノイズ量の高周波成分が損なわれることはない。ノイズizは、コンパレータ22,23,24,25,26へ入力される。コンパレータ22では、ノイズizの電圧レベルがクロックckに同期して第1の初期基準値h1と比較されて第1の比較結果Dが生成される。また、コンパレータ23では、ノイズizの電圧レベルがクロックckに同期して第2の初期基準値h2と比較されて第2の比較結果Eが生成される。この場合、第1の初期基準値h1及び第2の初期基準値h2は、たとえば1/2VDDに設定されている。
初期の段階では、第1の初期基準値h1及び第2の初期基準値h2は、ノイズizの電圧レベルに比較して高い場合と低い場合とが混在しているため、コンパレータ22からの第1の比較結果D及びコンパレータ23からの第2の比較結果Eは、“0”と“1”とが混在している。このため、カウンタ27,31のカウント値a,cが“0”から“1”に遷移し、カウンタ28により、最初のカウント値から1だけカウントアップしたカウント値bがDAC29aへ送出され、また、カウンタ32により、最初のカウント値から1だけカウントダウンしたカウント値dがDAC29bへ送出される。カウント値bはDAC29aでD/A変換され、同DAC29aから同カウント値bに対応して増大した第1の初期基準値h1が出力される。また、カウント値dはDAC29bでD/A変換され、同DAC29bから同カウント値dに対応して減少した第2の初期基準値h2が出力される。そして、再び、コンパレータ22では、ノイズizの電圧レベルがクロックckに同期して、上記増大した第1の初期基準値h1と比較されて第1の比較結果Dが生成される。また、コンパレータ23では、ノイズizの電圧レベルがクロックckに同期して、上記減少した第2の初期基準値h2と比較されて第2の比較結果Eが生成される。このとき、DAC29a,29bから、リセット信号RSTa,RSTbが出力され、カウンタ27,31のカウント値a,cが0にリセットされる。
上記の動作が繰り返され、第1の初期基準値h1はノイズizの電圧レベルに比較して大きくなり、第2の初期基準値h2がノイズizの電圧レベルに比較して小さくなる。この状態になると、カウンタ27,31のカウント値a,cは変化しなくなるため、カウンタ28,32のカウント値b,dも変化しなくなり、カウントのアップ/ダウン動作が停止する。これにより、変化しなくなったカウント値bがDAC29aによりD/A変換されて最大基準値hmが生成され、また、変化しなくなったカウント値dがDAC29bによりD/A変換されて最小基準値hnが生成される。最大基準値hmと最小基準値hnとの間の電圧は、抵抗34,35,36,37により分圧され、各コンパレータ24,25,26に対して基準値ha,hb,hcがそれぞれ設定される。この場合、基準値ha,hb,hcは、最大基準値hmと最小基準値hnとの間の電圧の、たとえば3/4、2/4及び1/4にそれぞれ設定される。
ノイズizの電圧レベルは、コンパレータ24によりクロックckに同期して基準値haと比較され、同コンパレータ24から比較結果Aが生成される。また、ノイズizの電圧レベルは、コンパレータ25によりクロックckに同期して基準値hbと比較され、同コンパレータ25から比較結果Bが生成される。ノイズizの電圧レベルは、コンパレータ26によりクロックckに同期して基準値hcと比較され、同コンパレータ26から比較結果Cが生成される。比較結果Aは、クロックckに同期してFF38,39に取り込まれて比較結果FAとして出力される。比較結果Bは、クロックckに同期してFF40,41に取り込まれて比較結果FBとして出力される。比較結果Cは、クロックckに同期してFF42,43に取り込まれて比較結果FCとして出力される。
比較結果FAと比較結果FBとは、ExNOR回路44でビット間の一致/不一致が判定され、同ExNOR回路44からエンコード信号EAが出力される。また、比較結果FBと比較結果FCとは、ExNOR回路45でビット間の一致/不一致が判定され、同ExNOR回路45からエンコード信号EBが出力される。エンコード信号EAは、クロックckに同期してFF46,47に取り込まれてエンコード信号OUT0として出力される。エンコード信号EBは、クロックckに同期してFF48,49に取り込まれてエンコード信号OUT1として出力される。
この場合、コンパレータ24,25,26からの比較結果(A,B,C)は、(1,1,1)、(0,1,1)、(0,0,1)又は(0,0,0)の4通りとなるので、エンコード信号(OUT0,OUT1)が、(1,1)、(0,1)、(1,0)又は(1,1)の4通りとなる。このエンコード信号(OUT0,OUT1)により、ノイズizの状態変化が分かる。また、比較結果(A,B,C)が(1,1,1)又は(0,0,0)のとき、エンコード信号(OUT0,OUT1)が同一となるが、波形に戻す際には、(1,1,1)か(0,0,0)は明白であり、大きな問題とはならない。エンコード信号(OUT0,OUT1)は、外部へデジタル信号として出力される。このエンコード信号(OUT0,OUT1)は、等長配線で引き出すことが望ましい。
ノイズizの電圧レベルと基準値ha,hb,hcとの大小比較の結果は、たとえば図3中の波形点“▲”で示される。この場合、VCO33のクロックckの周波数よりも高速なノイズに対しては、一部捕捉できない箇所ができる可能性があるが、後は精度とリソース(回路面積を犠牲にしてVCO33を高速化したりコンパレータ数を増加する)とのトレードオフで仕様を決めれば良い。また、エンコード信号(OUT0,OUT1)は、LSIの外部でオシロスコープで観測することも可能であり、また、RAM(Randam Access Memory)などに取り込んでデータストレージしても良い。また、最終的に決まった高レベル基準値Vref_H及び低レベル基準値Vref_Lは、ノイズizの電圧方向の情報として外部に出力される。
以上のように、この第1の実施例では、ノイズizの電圧レベルに基づいて最大基準値hm及び最小基準値hnが設定され、同最大基準値hmと同最小基準値hnとの間の電圧がコンパレータ24,25,26の数に応じて抵抗34,35,36,37で分圧されることにより、同各コンパレータ24,25,26に対して各基準値ha,hb,hcが設定されるので、比較的少ないハード構成で同ノイズizの波形が高精度で観測される。この場合、ノイズizの周波数成分が明確になり、伝播してきている回路ブロックの影響が定量的に把握され、的確な対策を行うことができる。また、ノイズ測定回路コア51が低域通過フィルタを介してコア電源(VDD)に接続されているため、少ないハード構成と相俟ってLSI内部の任意の場所へ配置することができ、観測したいノイズ波形が任意に得られる。
図4は、この発明の第2の実施例である電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図であり、第1の実施例を示す図1中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
この例の電源ノイズ測定回路では、同図4に示すように、図1中のVCO33に代えて、他の機能が付加されたVCO33Aが設けられ、また、FF61,62,63,64、一致回路65,66,67、カウンタ(1b UP Counter )68、及びカウンタ(6b Down Counter )69が設けられている。FF61,62は、FF46,47に縦続接続されている。FF46,47,61,62は、ExNOR回路44からのエンコード信号EAをクロックckに同期して順次取り込み、所定の周期(この実施例では、4クロック期間)に対応した同エンコード信号EAを保持する。
FF63,64は、FF48,49に縦続接続されている。FF48,49,63,64は、ExNOR回路45からのエンコード信号EBをクロックckに同期して順次取り込み、所定の周期(4クロック期間)に対応した同エンコード信号EBを保持する。一致回路65は、FF46,47,61,62に保持されている各エンコード信号EAの一致/不一致を検出して判定信号eを出力する。一致回路66は、FF48,49,63,64に保持されている各エンコード信号EBの一致/不一致を検出して判定信号fを出力する。一致回路67は、一致回路65からの判定信号e及び一致回路66からの判定信号fの一致/不一致を検出して判定信号gを出力する。
カウンタ68は、1ビットのアップカウンタで構成され、一致回路67からの判定信号gが判定信号eと判定信号fとの一致を示す毎に、同判定信号gをカウントしてカウント値kを生成し、判定信号gが同判定信号eと同判定信号fとの不一致を示すまで同判定信号gをカウントする。ダウンカウンタ69は、たとえば6ビットのダウンカウンタで構成され、カウンタ68からのカウント値kをカウントしてカウント値pを生成する。また、カウント値pは、ノイズizの波形の変化が検出されるクロックckの周波数に対応したクロック周波数情報Tsamとしても出力されるようになっている。VCO33Aは、カウント値pが“1”減少する毎にカウンタ68をリセットすると共に、同カウント値pに対応した周波数のクロックckを発生する。他は、図1と同様の構成である。
図5は、図4の電源ノイズ測定回路が設けられているLSIの要部の構成を示す図であり、第1の実施例を示す図2中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
このLSIでは、同図5に示すように、図2中のノイズ測定回路コア51に代えて、異なる構成のノイズ測定回路コア51Aが設けられている。ノイズ測定回路コア51Aは、ノイズ測定回路コア51の機能に加え、クロック周波数情報Tsamを出力する。
この電源ノイズ測定回路では、コンパレータ24,25,26から出力される比較結果A,B,Cに基づいて、所定の周期毎にノイズizの波形の変化の有無が検出され、VCO33Aから発生するクロックckの周波数がノイズizの波形の変化が検出される周波数に設定される。この場合、所定の周期毎にノイズizの波形の一致/不一致が検出され、VCO33Aから発生するクロックckの周波数が、ノイズizの波形の不一致が検出される周波数に設定される。
すなわち、一致回路67からの判定信号gが判定信号eと判定信号fとの一致を示すとき、ノイズizの波形が変化していないことになる。波形が変化しなければ、カウンタ68のカウント値kが初期値の“0”から“1”へ変化するので、カウンタ69のカウント値pが減少し、動作開始時に最大値に設定されたVCO33Aからのクロックckの周波数が同カウント値pに対応して低下する。このとき、VCO33Aからリセット信号RSTcが出力され、カウンタ68のカウント値kが0にリセットされる。この動作を繰り返すことにより、ノイズizの波形の変化に対応した適正な時間間隔で同波形が観測される。ここで最終的に設定されたクロックckの周波数に対応したカウント値pが、クロック周波数情報Tsamとして出力される。
また、第1の実施例と同様に、FF47,49の出力側からエンコード信号(OUT0,OUT1)を取り出し、RAMにデータストレージする場合、同RAMのリソースが無駄なく使用され、効率的な波形観測が行われる。また、エンコード信号(OUT0,OUT1)をRAMにデータストレージせず、オシロスコープで観測する場合でも、クロック周波数情報Tsamに基づいて同オシロスコープの時間分解能を調整することにより、同オシロスコープのメモリへ可能な限り多くの波形情報が取り込まれる。
以上のように、この第2の実施例では、所定の周期毎にノイズizの波形の一致/不一致が検出され、VCO33Aから発生するクロックckの周波数が、ノイズizの波形の不一致が検出される周波数に設定されるので、第1の実施例の利点に加え、効率的な波形観測が行われる。
図6は、この発明の第3の実施例である電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図である。
この例の電源ノイズ測定回路では、同図6に示すように、図1中のVCO33に代えて、異なる構成のVCO33Bが設けられている。VCO33Bは、VCO33の機能に加え、クロックckを遅延して出力する遅延回路が設けられ、クロックckに対して、たとえば1/4周期、1/2周期、3/4周期、及び1周期遅延してクロックd1,d2,d3,d4を出力する。クロックckはコンパレータ22、クロックd1はコンパレータ24、クロックd2はコンパレータ25、クロックd3はコンパレータ26、及びクロックd4がコンパレータ23に供給される。他は、図1と同様の構成である。
図7は、図6の電源ノイズ測定回路により得られる測定結果を示す図であり、縦軸に電圧レベル、及び横軸に時間がとられている。
この図を参照して、この例の電源ノイズ測定回路に用いられる電源ノイズ測定方法の処理内容について説明する。
この電源ノイズ測定方法では、コンパレータ24,25,26に対して、それぞれ異なる位相でクロックd1,d2,d3が供給され、かつ、コンパレータ22,23に対して、同一周期でクロックck,d4が供給される。これにより、図7に示すように、ノイズizを検出する時間の分解能が増大するため、第1の実施例の利点に加え、ノイズizのピークが検出される確率が高くなり、より高精度でノイズizの波形の観測が行われる。
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成は同実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更などがあっても、この発明に含まれる。
たとえば、ノイズ検出用比較回路としてのコンパレータ24,25,26の数は、上記各実施例に限定されず、用途に合わせて増減し、抵抗34,35,36,37の数も、コンパレータの数に対応して増減しても良い。また、コンパレータ24,25,26の後段の構成についても、上記各実施例に限定されない。また、第3の実施例では、図6中のクロックckがコンパレータ22に供給され、クロックd4がコンパレータ23に供給されているが、同クロックckが同コンパレータ22及びコンパレータ23に同一位相で供給されるように接続しても良い。また、上記各実施例では、LSIにおける電源ノイズを測定する例を示したが、この発明は、電源ノイズに限らず、ピークレベルが不明な他のノイズの測定に用いても、上記実施例とほぼ同様の作用、効果が得られる。
この発明は、LSIなどから発生する電源ノイズを測定する場合全般に適用でき、特に、コンピュータ関連の産業におけるLSIの開発の分野で用いて有効である。また、ピークレベルが不明な信号に対するA/D変換器にも応用できる。
この発明の第1の実施例である電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図である。 図1の電源ノイズ測定回路が設けられているLSIの要部の構成を示す図である。 図1の電源ノイズ測定回路により得られる電源ノイズの測定結果を示す図である。 この発明の第2の実施例である電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図である。 この発明の第3の実施例である電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図である。 図5の電源ノイズ測定回路により得られる電源ノイズの測定結果を示す図である。 図6の電源ノイズ測定回路が設けられているLSIの要部の構成を示す図である。 非特許文献1に記載された電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図である。 非特許文献1に記載された電源ノイズ測定回路の電気的構成を示す回路図である。
符号の説明
21 高域通過フィルタ(HPF)
22 コンパレータ(最大基準値検出用比較回路、基準値設定手段の一部)
23 コンパレータ(最小基準値検出用比較回路、基準値設定手段の一部)
24,25,26 コンパレータ(ノイズ検出用比較回路)
27 カウンタ(1b UP Counter 、第1のカウンタの一部)
28 カウンタ(6b UP Counter 、第1のカウンタの一部)
29a D/Aコンバータ(第1のデジタル/アナログ変換部)
29b D/Aコンバータ(第2のデジタル/アナログ変換部)
30 インバータ(第2のカウンタの一部)
31 カウンタ(1b UP Counter 、第2のカウンタの一部)
32 カウンタ(6b Down Counter 、第2のカウンタの一部)
33,33A,33B 電圧制御発振器(Voltage Controlled Oscillator 、VCO、クロック発生回路)
34,35,36,37 抵抗(分圧回路)
46,47,48,49,61,62,63,64 フリップフロップ(FF、クロック周波数設定手段の一部)
65,66,67 一致回路(クロック周波数設定手段の一部)
68 アップカウンタ(1b UP Counter 、クロック周波数設定手段の一部)
69 ダウンカウンタ(6b Down Counter 、クロック周波数設定手段の一部)

Claims (9)

  1. 入力信号に含まれるノイズの電圧レベルをクロックに同期して基準値と比較し、比較結果を生成する複数のノイズ検出用比較回路と、前記クロックを発生するクロック発生回路とを有するノイズ測定回路であって、
    前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第1の初期基準値と比較し、該第1の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいときに該第1の初期基準値を増大させて該ノイズの電圧レベルよりも大きくなった該第1の初期基準値を最大基準値として設定すると共に、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第2の初期基準値と比較し、該第2の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも大きいときに該第2の初期基準値を減少させて該ノイズの電圧レベルよりも小さい該第2の初期基準値を最小基準値として設定し、かつ、前記最大基準値と前記最小基準値との間の電圧を前記複数のノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧することにより、前記各ノイズ検出用比較回路に対して前記基準値をそれぞれ設定する基準値設定手段と、
    前記複数のノイズ検出用比較回路から出力される前記各比較結果に基づいて、所定の周期毎に前記ノイズの波形の変化の有無を検出し、前記クロック発生回路から発生する前記クロックの周波数を、前記ノイズの波形の変化が検出される周波数に設定するクロック周波数設定手段とが設けられていることを特徴とするノイズ測定回路。
  2. 入力信号に含まれるノイズの電圧レベルをクロックに同期して基準値と比較し、比較結果を生成する複数のノイズ検出用比較回路と、前記クロックを発生するクロック発生回路とを有するノイズ測定回路であって、
    前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第1の初期基準値と比較し、該第1の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいときに該第1の初期基準値を増大させて該ノイズの電圧レベルよりも大きくなった該第1の初期基準値を最大基準値として設定すると共に、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第2の初期基準値と比較し、該第2の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも大きいときに該第2の初期基準値を減少させて該ノイズの電圧レベルよりも小さい該第2の初期基準値を最小基準値として設定し、かつ、前記最大基準値と前記最小基準値との間の電圧を前記複数のノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧することにより、前記各ノイズ検出用比較回路に対して前記基準値をそれぞれ設定する基準値設定手段と、
    前記複数のノイズ検出用比較回路から出力される前記各比較結果に基づいて、所定の周期毎に前記ノイズの波形の変化の有無を検出し、前記クロック発生回路から発生する前記クロックの周波数を、前記ノイズの波形の変化が検出される周波数に設定するクロック周波数設定手段とが設けられていて、
    該クロック周波数設定手段は、動作開始時に最大値に設定された前記クロックの周波数の下では、前記ノイズの波形の変化が検出されないときは、前記ノイズの波形の変化が検出されるまで、前記クロックの周波数を段階的に下げながら当該動作を繰り返すことを特徴とするノイズ測定回路。
  3. 前記入力信号の高周波領域に含まれる前記ノイズを通過させる高域通過フィルタを有することを特徴とする請求項1又は2記載のノイズ測定回路。
  4. 前記基準値設定手段は、
    前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して前記第1の初期基準値と比較して第1の比較結果を生成する最大基準値検出用比較回路と、
    該第1の比較結果が、該第1の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいことを示す毎に当該第1の比較結果をカウントして第1のカウント値を生成する第1のカウンタと、
    該第1のカウント値をデジタル/アナログ変換して前記最大基準値を生成する第1のデジタル/アナログ変換部と、
    前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して前記第2の初期基準値と比較して第2の比較結果を生成する最小基準値検出用比較回路と、
    該第2の比較結果が、該第2の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいことを示す毎に当該第2の比較結果をカウントして第2のカウント値を生成する第2のカウンタと、
    該第2のカウント値をデジタル/アナログ変換して前記最小基準値を生成する第2のデジタル/アナログ変換部と、
    前記最大基準値と前記最小基準値との間の電圧を前記ノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧することにより、前記各ノイズ検出用比較回路に対して前記基準値をそれぞれ設定する分圧回路とから構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載のノイズ測定回路。
  5. 前記クロック周波数設定手段は、
    前記所定の周期毎に前記ノイズの波形の一致/不一致を検出し、前記クロック発生回路から発生する前記クロックの周波数を、前記ノイズの波形の不一致が検出される周波数に設定する構成とされていることを特徴とする請求項1又は2記載のノイズ測定回路。
  6. 前記クロック発生回路は、
    前記複数のノイズ検出用比較回路に対して、それぞれ異なる位相で前記クロックを供給し、かつ、前記最大基準値検出用比較回路及び最小基準値検出用比較回路に対して、同一位相又は同一周期で前記クロックを供給する構成とされていることを特徴とする請求項記載のノイズ測定回路。
  7. 入力信号に含まれるノイズの電圧レベルをクロックに同期して基準値と比較し、比較結果を生成する複数のノイズ検出用比較回路と、前記クロックを発生するクロック発生回路とを備えてなるノイズ測定回路に用いられ、
    前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第1の初期基準値と比較し、該第1の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも小さいときに該第1の初期基準値を増大させて該ノイズの電圧レベルよりも大きくなった該第1の初期基準値を最大基準値として設定すると共に、前記ノイズの電圧レベルを前記クロックに同期して第2の初期基準値と比較し、該第2の初期基準値が該ノイズの電圧レベルよりも大きいときに該第2の初期基準値を減少させて該ノイズの電圧レベルよりも小さい該第2の初期基準値を最小基準値として設定し、かつ、前記最大基準値と前記最小基準値との間の電圧を前記複数のノイズ検出用比較回路の数に応じて分圧することにより、前記各ノイズ検出用比較回路に対して前記基準値をそれぞれ設定すると共に、
    前記複数のノイズ検出用比較回路から出力される前記各比較結果に基づいて、所定の周期毎に前記ノイズの波形の変化の有無を検出し、前記クロック発生回路から発生する前記クロックの周波数を、前記ノイズの波形の変化が検出される周波数に設定することを特徴とするノイズ測定方法。
  8. 請求項1乃至6のいずれか一つのノイズ測定回路が設けられ、該ノイズ測定回路により電源ノイズを測定する構成とされていることを特徴とする大規模集積回路。
  9. 前記ノイズ測定回路に対し、高周波ノイズを遮断して電源電圧を印加する低域通過フィルタが設けられていることを特徴とする請求項8記載の大規模集積回路。
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