JP4947059B2 - 圧電薄膜共振子 - Google Patents
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Description
(1)基板と、一対の励振電極の間に圧電薄膜が配置された振動部と、基板と振動部とにそれぞれ接続するとともに、基板と振動部との間に空隙部を設けたまま、基板と空隙部端部との交点から振動部の端まで延伸する支持梁とを備え、支持梁の幅は、振動部との接続部では振動部の幅(W1)より細く、基板との接続部では振動部との接続部の幅(W2)よりも太く、振動部の振動モードは非エネルギ閉じ込め振動モードとする。
(1)基板と振動部との間に空隙部を設ける支持梁の幅が、振動部との接続部では振動部の幅(W1)より細く、基板との接続部では振動部との接続部の幅(W2)よりも太く構成したことにより、振動部は支持梁の幅の狭い部分で支持されるので振動漏洩が抑制され、しかも基板と空隙部の交点は支持梁の幅が太い部分で支持梁が基板で支持されるので支持梁の破断の問題も回避できる。
11−基板
12−薄膜層
12a,12c−梁部(支持梁)
12b−振動部
13−犠牲層
14−犠牲層除去部(空隙層)
16−誘電体膜
17a,17b−電極
18−圧電薄膜
21−熱酸化膜
22−犠牲層
101〜104−圧電薄膜共振子
Pc−交点
図3は第1の実施形態に係る圧電薄膜共振子101の構成を示す図である。図3(A)は平面図、図3(B)は側面図である。基板11の上部には薄膜層12(後述する誘電体膜、電極、および圧電薄膜を含む層)を形成している。この薄膜層12の一部が振動部12bおよびそれを支持する梁部12a,12cを備えている。この梁部が本発明に係る「支持梁」に相当する。梁部12a,12cおよび振動部12bの下部には犠牲層除去部14を形成している。この犠牲層除去部が本発明に係る「空隙層」に相当する。
なお、図5では膜構造を示すために厚み方向の寸法を誇張して描いている。
基板11には、Siのような半導体基板またはガラスのような絶縁体基板を用いる。
圧電薄膜18には酸化亜鉛(ZnO),窒化アルミニウム(AlN),チタン酸ジルコン酸鉛(PZT),ニオブ酸リチウム(LiNbO3),タンタル酸リチウム(LiTaO3),水晶などの圧電材料を用いる。下部電極17aおよび上部電極17bは圧電薄膜18に電圧を印加する役割を持ち、Al,Cu,Au,Pt,Ni、エリンバー、インバーなど導電性を持つ材料を用いる。また、誘電体膜16と下部電極17aとの間、および圧電薄膜18と上部電極17bとの間の密着性を高めるために、Ti,Cr,NiCrなどの密着層を下部電極17a、および上部電極17bの下にそれぞれ形成してもよい。付加膜にはSiO2,SiNなど誘電体材料、Al,Cu,エリンバー,インバーのような導電性材料、ZnO、AlNのような圧電材料、Siのような半導体材料を用いる。
上記各薄膜はすべてPVD法またはCVD法によって成膜する。
・膜構成
誘電体膜16 :SiO2(2.6μm)
下部電極17a:Pt(0.1μm)
圧電薄膜18 :AlN(1.6μm)
上部電極17b:Pt(0.1μm)
付加膜19 :SiO2(2.6μm)
・振動部
幅W1:190μm
長さ:300μm の矩形
・梁部
振動部12bとの接続部幅W2:約30μm
基板11との接続部幅W3:約200μm
上記構成により、共振周波数約16MHzの、輪郭振動モードの一つである拡がり振動モードの圧電薄膜共振子が得られる。
図6は第2の実施形態に係る圧電薄膜共振子102の構造を示す図であり、図6(A)は平面図、図6(B)は側面図である。図3に示した例では梁部12a,12cと振動部12bとの接続部の幅を梁部12a,12cと基板との接続部の近傍までほぼ一定に保つように構成したが、この図6に示す例では梁部12a,12cの振動部12bとの接続部での幅をW1とし、梁部12a,12cと基板11との接続部での幅をW3とし、振動部12bとの接続部から基板11との接続部に向かってほぼ直線状に広がる形状としている。
図7は第3の実施形態に係る圧電薄膜共振子103の構造を示す図であり、図7(A)は平面図、図7(B)は側面図である。図6に示した例では梁部12a,12cの幅を振動部12bとの接続部から基板11との接続部に向かってほぼ直線状に広がる形状としたが、この図7に示す例では梁部12a,12cの幅を振動部12bとの接続部から基板11との接続部に向かってイチョウ葉形状の曲線状に広がる形状としている。
図8は第4の実施形態に係る圧電薄膜共振子の構造を示す側面図である。ここでは側面図のみを表しているが、この圧電薄膜共振子104の梁部の平面形状は第1〜第3の実施形態で示したいずれのパターンをも採ることができる。すなわち平面図として表せば図3,図6,図7のいずれかと同様になる。
Claims (6)
- 基板と、一対の励振電極の間に圧電薄膜が配置された振動部と、前記基板と前記振動部とにそれぞれ接続するとともに、前記基板と前記振動部との間に空隙部を設けたまま、前記基板と前記空隙部端部との交点から前記振動部の端まで延伸する支持梁とを備え、
前記支持梁の幅は、前記振動部との接続部では前記振動部の幅より細く、前記基板との接続部では前記振動部との接続部の幅よりも太く、
前記振動部の振動モードは非エネルギ閉じ込め振動モードである、圧電薄膜共振子。 - 前記支持梁は、その幅が、前記振動部との接続部から前記基板との接続部の近傍まで略一定に保たれる直線部を備えたものである請求項1に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記支持梁は、その幅が、前記振動部との接続部から前記基板との接続部に向かって次第に広がる広がり部を備えたものである請求項1に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記広がり部は、前記振動部との接続部から前記基板との接続部に向かって略直線状に広がる形状である請求項3に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記広がり部は、前記振動部との接続部から前記基板との接続部に向かって曲線状に広がる形状である請求項3に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記非エネルギ閉じ込め振動モードは輪郭振動モードまたは屈曲振動モードである請求項1〜5のいずれかに記載の圧電薄膜共振子。
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