JP4943382B2 - 液処理装置および液処理方法 - Google Patents
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Description
第二筐体と、
前記第二筐体に対向して配置された第一筐体と、
前記第二筐体の内方に配置され、被処理体を保持する保持部と、
前記保持部によって保持された前記被処理体を回転させる回転駆動部と、
前記保持部によって保持された前記被処理体の表面の周縁部に処理液を供給する表面側処理液供給ノズルと、
前記保持部によって保持された前記被処理体の裏面側に配置され、該被処理体を経た処理液を貯留する貯留部と、を備え、
前記第一筐体および前記第二筐体の各々が一方向に移動可能となり、該第一筐体と該第二筐体とが当接および離隔可能となっている。
前記保持部によって保持された前記被処理体の裏面側で周縁外方に向かって突出して配置され、該被処理体を経た処理液を案内する裏面側案内部をさらに備え、
前記貯留部は、前記裏面側案内部の前記第一筐体側と反対側に位置し、該裏面側案内部によって案内された処理液を貯留することが好ましい。
前記第一筐体と前記第二筐体との間に配置され、該第一筐体と該第二筐体との間を密封するシール部材をさらに備えたことが好ましい。
前記保持部によって保持された前記被処理体の表面側に配置され、前記被処理体の表面を経た処理液を案内する表面側案内部をさらに備えたことが好ましい。
前記被処理体を加熱するための加熱部をさらに備えたことが好ましい。
前記保持部によって保持された前記被処理体に窒素ガスを供給する窒素ガス供給部と、
前記窒素ガス供給部から供給される窒素ガスを加熱する加熱部をさらに備えたことが好ましい。
前記第一筐体と前記第二筐体によって形成される空間内の気体または液体を排出する排出部をさらに備え、
前記排出部は、前記被処理体の回転方向に沿って、前記空間内の気体または液体を排出することが好ましい。
第二筐体と、該第二筐体に対向して配置された第一筐体と、前記第二筐体の内方に配置され、被処理体を保持する保持部と、該保持部によって保持された前記被処理体の裏面側に配置された貯留部と、を有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記第一筐体および前記第二筐体の各々が、互いに離隔する離隔工程と、
前記保持部によって、前記被処理体を保持する保持工程と、
前記第一筐体および前記第二筐体の各々が、互いに近接して当接する当接工程と、
前記保持部によって保持された前記被処理体を回転させる回転工程と、
前記保持部によって保持された前記被処理体の表面の周縁部に処理液を供給する表面側処理液供給工程と、
前記貯留部によって、前記被処理体を経た処理液を貯留する貯留工程と、
を備えている。
以下、本発明に係る液処理装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図3(a)(b)は本発明の実施の形態を示す図である。
10 上方カップ(第一筐体)
10a,10b 長穴
20 下方カップ(第二筐体)
20a,20b 長穴
20i 内壁
21 裏面側案内部
22 表面側案内部
23 貯留部
30 シール部材
31 加熱部
36 排出管(排出部)
46 表面側窒素ガス供給部
46a 表面側窒素ガス供給口
47 裏面側窒素ガス供給部(窒素ガス供給部)
51a 表面側薬液供給ノズル
52a 表面側リンス液供給ノズル
56a 裏面側薬液供給ノズル
57a 裏面側リンス液供給ノズル
60 回転駆動部
W ウエハ(被処理体)
Claims (8)
- 第二筐体と、
前記第二筐体に対向して配置された第一筐体と、
前記第二筐体の内方に配置され、被処理体を保持する保持部と、
前記保持部によって保持された前記被処理体を回転させる回転駆動部と、
前記保持部によって保持された前記被処理体の表面の周縁部に処理液を供給する表面側処理液供給ノズルと、
前記保持部によって保持された前記被処理体の裏面側に配置され、該被処理体を経た処理液を貯留する貯留部と、を備え、
前記第一筐体および前記第二筐体の各々は一方向に移動可能となり、該第一筐体と該第二筐体とが当接および離隔可能であることを特徴とする液処理装置。 - 前記保持部によって保持された前記被処理体の裏面側で周縁外方に向かって突出して配置され、該被処理体を経た処理液を案内する裏面側案内部をさらに備え、
前記貯留部は、前記裏面側案内部の前記第一筐体側と反対側に位置し、該裏面側案内部によって案内された処理液を貯留することを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。 - 前記第一筐体と前記第二筐体との間に配置され、該第一筐体と該第二筐体との間を密封するシール部材をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記保持部によって保持された前記被処理体の表面側に配置され、前記被処理体の表面を経た処理液を案内する表面側案内部をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記被処理体を加熱するための加熱部をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記保持部によって保持された前記被処理体に窒素ガスを供給する窒素ガス供給部と、
前記窒素ガス供給部から供給される窒素ガスを加熱する加熱部をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液処理装置。 - 前記第一筐体と前記第二筐体によって形成される空間内の気体または液体を排出する排出部をさらに備え、
前記排出部は、前記被処理体の回転方向に沿って、前記空間内の気体または液体を排出することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液処理装置。 - 第二筐体と、該第二筐体に対向して配置された第一筐体と、前記第二筐体の内方に配置され、被処理体を保持する保持部と、該保持部によって保持された前記被処理体の裏面側に配置された貯留部と、を有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記第一筐体および前記第二筐体の各々が、互いに離隔する離隔工程と、
前記保持部によって、前記被処理体を保持する保持工程と、
前記第一筐体および前記第二筐体の各々が、互いに近接して当接する当接工程と、
前記保持部によって保持された前記被処理体を回転させる回転工程と、
前記保持部によって保持された前記被処理体の表面の周縁部に処理液を供給する表面側処理液供給工程と、
前記貯留部によって、前記被処理体を経た処理液を貯留する貯留工程と、
を備えたことを特徴とする液処理方法。
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