JP4925920B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
温下での検査が必要となり、その場合には、プローブの温度もその温度に近い温度にしないと、前述のように、検査中にプローブの先端と半導体装置の電極との間の位置ズレが生じてしまう。そのため、プローブの温度も半導体装置の温度に合せて変化させると、プローブカードの基板に設けられている部品の温度も変り、部品の温度特性により、検査用の回路の設定も変化して正確な電気的特性試験を行うことができないという問題がある。
まれる空間が熱遮蔽構造となるように形成されている。すなわち、図1に示される基板1は、金属板12を、たとえばガラスエポキシなどからなる絶縁基板11、13でサンドイッチ構造とした基板1が用いられている。この絶縁基板11、13は、ガラスエポキシのような基板を用いなくても、たとえば金属板12の両面に絶縁被膜を形成した構造でも良い。また、金属板12を用いないで、逆に断熱性のあるセラミックスのような材料からなる基板または断熱性のある基板をサンドイッチ構造としても良い。
が冷却面となり、また、電流の向きを逆にすることにより、加熱面と冷却面とを変えることができ、印加する直流電流を制御することにより、その一面を所望の温度に制御することができる。本発明では、このペルチェ素子61の一面が温度制御ケース5の上面に接触して設けられており、温度制御ケース5は銅などの熱伝導の良好な材料により形成されているため、温度制御ケース5の温度、ひいては温度制御ケース5内の温度を所望の温度に制御することができる。そして、前述のように、温度制御ケース5内には、ファン51が設けられ、内部の空気を撹拌することにより、温度制御ケース5内の温度を、より一層所望の温度に制御することができる。
所望の温度に制御することができる。なお、温度制御ケース5内の温度が所定の温度よりも低ければ、逆方向に電流を流し、また、所定の温度との差により電流値を制御することにより、精度の高い所望の温度に制御することができる。
11 絶縁基板
12 金属板
13 絶縁基板
14 スルーホール
15 コネクタ
2 プローブ
3 電子部品
4 温度センサ
5 温度制御ケース
51 ファン
6 加熱冷却手段
61 ペルチェ素子
62 熱媒体
7 放熱器
71 放熱板
72 ファン
Claims (1)
- 基板と、該基板の一面に設けられ、検査回路を構成する部品の少なくとも一部の電子部品と、前記基板の他面に設けられる複数のプローブと、前記基板の一面側に設けられる温度センサと、前記基板の一面側に設けられる前記電子部品および温度センサを被覆する温度制御ケースと、該温度制御ケースと密着して設けられ、該温度制御ケース内の温度を一定の温度に制御する加熱冷却手段とを有するプローブカードであって、
前記基板が複数層で形成され、少なくともその一層が金属板からなり、前記温度制御ケースが該金属板に直接接触するように設けられることにより、該金属板と前記温度制御ケースとにより熱遮蔽空間を形成し、該熱遮蔽空間内に前記電子部品および前記温度センサが設けられてなることを特徴とするプローブカード。
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JP2007132587A JP4925920B2 (ja) | 2007-05-18 | 2007-05-18 | プローブカード |
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Family Applications (1)
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