JP4922207B2 - Manufacturing method of multilayer insulating film and multilayer printed wiring board - Google Patents

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本発明は、多層絶縁フィルムと多層プリント配線板の製造方法に関し、より詳細には、第1層と第2層が剥離し難い多層絶縁フィルムの製造方法、及びこの製造方法より得られた多層絶縁フィルムを回路基板に積層した多層プリント配線板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer insulating film and a multilayer printed wiring board, and more specifically, a method for manufacturing a multilayer insulating film in which a first layer and a second layer are difficult to peel off, and a multilayer insulation obtained by this manufacturing method. The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board in which a film is laminated on a circuit board.

近年、IT機器の小型化・軽量化の要請に伴い、多層プリント配線板には、薄型化、高密度化及び高信頼性化が要求されている。高密度化は、多層プリント配線板の面方向だけでなく、厚さ方向へも要求が高まっている。この要求に応えるべく、絶縁層の厚さを薄くすることが行われてきているが、厚さを薄くすると、層の厚さの不均一に起因する、層間接続距離の不均一による電気信号の遅延などといった問題が発生している。また、厚さ方向の高密度化のために、多層プリント配線板内に電気部品や半導体素子など内蔵する手法がとられているが、配線板と部品との間に、絶縁性樹脂が充填されずボイドが発生し易いなどといった問題があった。   In recent years, with the demand for smaller and lighter IT equipment, multilayer printed wiring boards are required to be thinner, denser and more reliable. The demand for higher density is increasing not only in the surface direction of the multilayer printed wiring board but also in the thickness direction. In order to meet this demand, the thickness of the insulating layer has been reduced. However, if the thickness is reduced, the electrical signal due to the nonuniformity of the interlayer connection distance due to the nonuniformity of the layer thickness is obtained. There is a problem such as delay. In addition, in order to increase the density in the thickness direction, a method of incorporating electrical components, semiconductor elements, etc. in the multilayer printed wiring board is taken, but insulating resin is filled between the wiring board and the components. There is a problem that voids are easily generated.

例えば、特許文献1では、最低溶融粘度の異なる2種類の接着剤シートを用いることにより、最低溶融粘度の低い方の樹脂で、内層スルーホールを埋め込み、最低溶融粘度が高い方の樹脂で、均一で厚みばらつきの少ない絶縁層を形成するとされている。
また、特許文献2では、内層の絶縁基板に貫通孔を設け、その上に部品を設置し、絶縁基材と導体基材とを積層し、この積層と同時に絶縁基材にて部品を封止する工程とを有する部品内蔵型プリント配線板の製造方法が開示されている。この貫通孔が絶縁基材の樹脂流れ性を向上させることにより、部品下部及び周辺にボイドなどの不具合要因を発生させないとされている。
For example, in Patent Document 1, by using two types of adhesive sheets having different minimum melt viscosities, the inner layer through-hole is filled with a resin having a lower minimum melt viscosity, and a resin having a higher minimum melt viscosity is uniform. It is said that an insulating layer with little thickness variation is formed.
In Patent Document 2, a through hole is provided in an inner insulating substrate, a component is placed thereon, an insulating base material and a conductor base material are stacked, and at the same time as this stacking, the component is sealed with the insulating base material. There is disclosed a method of manufacturing a component built-in type printed wiring board having a step of This through-hole improves the resin flowability of the insulating base material, so that no trouble factors such as voids are generated in the lower part and the periphery of the part.

しかしながら、特許文献1に開示された接着剤シート及び積層方法では、回路基板上の凹凸が大きくなったり、スルーホールなどの孔が大きくなったりした場合には、絶縁層の表面の平坦性が不充分である恐れがある。また、特許文献2に開示されたプリント基板では、部品の下に貫通孔が必要であり、近年の高密度化の要求において、このような制約があるのは好ましくない。
特開2005−123436号公報 特開2006−41000号公報
However, in the adhesive sheet and the laminating method disclosed in Patent Document 1, when the unevenness on the circuit board becomes large or the hole such as a through hole becomes large, the flatness of the surface of the insulating layer is not good. May be sufficient. Further, the printed circuit board disclosed in Patent Document 2 requires a through hole under the component, and it is not preferable that there is such a restriction in the recent demand for higher density.
JP 2005-123436 A JP 2006-41000 A

本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、スルーホールやビアホール等の孔や回路パターン等の凹凸を有する回路基板上に、多層絶縁フィルムを積層する場合に、基板内部にボイドが生じにくく、表面平坦性が充分に確保され、多層絶縁フィルムの第1層の厚みを均一に保つことができ、第1層と第2層が剥離し難い多層絶縁フィルムの製造方法、及びこの製造方法より得られた多層絶縁フィルムを回路基板に積層した多層プリント配線板の製造方法を提供することにある。   In view of the state of the prior art described above, the object of the present invention is to create voids in the substrate when a multilayer insulating film is laminated on a circuit board having a hole such as a through hole or a via hole or a circuit board having irregularities such as a circuit pattern. A method for producing a multilayer insulation film that is difficult, has a sufficient surface flatness, can maintain a uniform thickness of the first layer of the multilayer insulation film, and is difficult to peel off from the first layer and the second layer, and this production method It is providing the manufacturing method of the multilayer printed wiring board which laminated | stacked the obtained multilayer insulation film on the circuit board.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、基材と、2層からなる絶縁層とを具備してなる多層絶縁フィルムの製造方法において、該絶縁層が、エポキシ樹脂等と、特定の高分子材料を特定量含む樹脂組成物をフィルム状に形成し、ジメチルホルムアミドに常温10分浸漬させたときのゲル分率が60〜94%になるように硬化させ、第1層の硬化フィルムを作製する第一の工程と、該硬化フィルムに、エポキシ樹脂などを含む樹脂組成物からなる第2層を積層する第二の工程とを経て、形成されると、第1層及び第2層の各厚みを均一にでき、上記課題が達成されることを見出した。本発明は、こうした知見に基づいて、さらに検討を重ね、完成するに至ったものである。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that in a method for producing a multilayer insulating film comprising a base material and a two-layer insulating layer, the insulating layer comprises an epoxy resin or the like. The resin composition containing a specific amount of a specific polymer material is formed into a film and cured so that the gel fraction is 60 to 94% when immersed in dimethylformamide at room temperature for 10 minutes. When formed through a first step of producing a cured film and a second step of laminating a second layer made of a resin composition containing an epoxy resin or the like on the cured film, the first layer and the first layer It has been found that the thicknesses of the two layers can be made uniform and the above-mentioned problems are achieved. Based on these findings, the present invention has been further studied and completed.

すなわち、本発明の第1の発明によれば、基材(B)と、基材(B)に接する第1層(A1)および第2層(A2)からなる絶縁層(A)とを具備してなる多層絶縁フィルムの製造方法であって、絶縁層(A)は、熱硬化性樹脂(a1)、硬化剤(b1)、無機充填材(c1)および重量平均分子量5000以上の樹脂を含有する高分子材料(d)を含む樹脂組成物(I)であって、該重量平均分子量5000以上の樹脂を組成物(I)全量基準で5〜60重量%含む樹脂組成物(I)をフィルム状に形成し、ジメチルホルムアミドに常温10分浸漬させたときのゲル分率が72〜94%になるように硬化させ、第1層(A1)の硬化フィルムを作製する第一の工程と、引き続き、該硬化フィルムに、熱硬化性樹脂(a2)、硬化剤(b2)および組成物(II)の固形分全量基準で30〜90重量%の無機充填材(c2)を含む樹脂組成物(II)からなる第2層(A2)を積層する第二の工程とを経て、形成されることを特徴とする多層絶縁フィルムの製造方法が提供される。 That is, according to the first aspect of the present invention, the substrate (B) and the insulating layer (A) composed of the first layer (A1) and the second layer (A2) in contact with the substrate (B) are provided. The insulating layer (A) contains a thermosetting resin (a1), a curing agent (b1), an inorganic filler (c1), and a resin having a weight average molecular weight of 5000 or more. A resin composition (I) comprising a polymer material (d) to be produced, wherein the resin composition (I) comprises 5 to 60% by weight of the resin having a weight average molecular weight of 5000 or more based on the total amount of the composition (I) And the first step of producing a cured film of the first layer (A1), followed by curing so as to have a gel fraction of 72 to 94% when immersed in dimethylformamide at room temperature for 10 minutes, The cured film has a thermosetting resin (a2) and a curing agent (b2). And a second step of laminating the second layer (A2) composed of the resin composition (II) containing 30 to 90% by weight of the inorganic filler (c2) based on the total solid content of the composition (II). The manufacturing method of the multilayer insulation film characterized by being formed is provided.

本発明の第2の発明によれば、第1の発明において、前記第1層(A1)の硬化フィルムを作製する際の硬化温度が130〜150℃の範囲であることを特徴とする多層絶縁フィルムの製造方法が提供される。
また、本発明の第3の発明によれば、第1の発明において、前記高分子材料(d)に含有される重量平均分子量5000以上の樹脂がフェノキシ樹脂であることを特徴とする多層絶縁フィルムの製造方法が提供される。
さらに、本発明の第4の発明によれば、第1の発明において、前記無機充填材(c1)は、イミダゾールシランカップリング剤による表面処理がされたシリカであり、かつ該シリカが組成物(I)の固形分全量基準で5〜50重量%含有されていることを特徴とする多層絶縁フィルムの製造方法が提供される。
According to a second invention of the present invention, in the first invention, the multi-layer insulation is characterized in that the curing temperature when producing the cured film of the first layer (A1) is in the range of 130 to 150 ° C. A method of manufacturing a film is provided.
According to a third invention of the present invention, in the first invention, the resin having a weight average molecular weight of 5000 or more contained in the polymer material (d) is a phenoxy resin. A manufacturing method is provided.
Furthermore, according to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect, the inorganic filler (c1) is silica that has been surface-treated with an imidazole silane coupling agent, and the silica is a composition ( There is provided a method for producing a multilayer insulating film, which is contained in an amount of 5 to 50% by weight based on the total solid content of I).

また、本発明の第5の発明によれば、第1の発明において、前記無機充填材(c2)として、シリカ及び層状珪酸塩を含有し、該層状珪酸塩が組成物(II)の固形分全量基準で0.01〜5重量%であることを特徴とする多層絶縁フィルムの製造方法が提供される。
さらに、本発明の第6の発明によれば、第1の発明において、前記熱硬化性樹脂(a1、a2)は、エポキシ樹脂であり、および前記硬化剤(b1、b2)は、フェノール化合物であることを特徴とする多層絶縁フィルムの製造方法が提供される。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect, the inorganic filler (c2) contains silica and a layered silicate, and the layered silicate is a solid content of the composition (II). Provided is a method for producing a multilayer insulating film, wherein the content is 0.01 to 5% by weight based on the total amount.
Furthermore, according to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect, the thermosetting resin (a1, a2) is an epoxy resin, and the curing agent (b1, b2) is a phenol compound. There is provided a method for producing a multilayer insulating film characterized in that:

一方、本発明の第7の発明によれば、第1〜6のいずれかの発明の多層絶縁フィルムの製造方法から得られた多層絶縁フィルムを、第2層(A2)が回路基板に対向するように、該回路基板上に載置し、温度60〜200℃、かつ圧力1〜30MPaにて、加熱加圧する第1の工程と、前記多層絶縁フィルムを温度60〜140℃で加温処理する第2の工程と、前記第2の工程の温度よりも20℃以上高く、かつ140〜200℃の範囲の温度で前記多層絶縁フィルムを加温処理する第3の工程とを、含むことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法が提供される。   On the other hand, according to 7th invention of this invention, 2nd layer (A2) opposes a circuit board in the multilayer insulation film obtained from the manufacturing method of the multilayer insulation film in any one of 1st-6th invention. The first step of placing on the circuit board and heating and pressurizing at a temperature of 60 to 200 ° C. and a pressure of 1 to 30 MPa, and heating the multilayer insulating film at a temperature of 60 to 140 ° C. Including a second step and a third step of heating the multilayer insulating film at a temperature in the range of 140 to 200 ° C. that is 20 ° C. higher than the temperature of the second step. A method for producing a multilayer printed wiring board is provided.

本発明の多層絶縁フィルムの製造方法によれば、第1層及び第2層の各厚みを均一にでき、スルーホール等のような孔やビアホール等の凹凸等を有する回路基板に多層絶縁フィルムを積層する場合でも、ボイドが生じにくく、かつ、表面平坦性が充分に確保され、多層絶縁フィルムの第1層の厚みを均一に保つことができ、第1層と第2層が剥離し難い多層絶縁フィルムの製造方法を提供できる。また、この製造方法より得られた多層絶縁フィルムを回路基板上に積層した多層プリント配線板の絶縁厚みを一定に保つことが可能な多層プリント配線板の製造方法を提供することができる。   According to the method for producing a multilayer insulating film of the present invention, the thickness of each of the first layer and the second layer can be made uniform, and the multilayer insulating film is applied to a circuit board having a hole such as a through hole or an unevenness such as a via hole. Even in the case of lamination, a multilayer in which voids are hardly generated, surface flatness is sufficiently secured, the thickness of the first layer of the multilayer insulating film can be kept uniform, and the first layer and the second layer are difficult to peel off. A method for producing an insulating film can be provided. Moreover, the manufacturing method of the multilayer printed wiring board which can keep constant the insulation thickness of the multilayer printed wiring board which laminated | stacked the multilayer insulating film obtained by this manufacturing method on a circuit board can be provided.

以下、本発明の詳細を項目毎に説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。
本発明の多層絶縁フィルムの製造方法は、基材(B)と、基材(B)に接する第1層(A1)および第2層(A2)からなる絶縁層(A)とを具備してなる多層絶縁フィルムの製造方法であって、絶縁層(A)は、熱硬化性樹脂(a1)、硬化剤(b1)、無機充填材(c1)および重量平均分子量5000以上の樹脂を組成物(I)全量基準で5〜60重量%含有する高分子材料(d)を含む樹脂組成物(I)をフィルム状に形成し、ジメチルホルムアミドに常温10分浸漬させたときのゲル分率が60〜94%になるように硬化させ、第1層(A1)の硬化フィルムを作製する第一の工程と、引き続き、該硬化フィルムに、熱硬化性樹脂(a2)、硬化剤(b2)および組成物(II)の固形分全量基準で30〜90重量%の無機充填材(c2)を含む樹脂組成物(II)からなる第2層(A2)を積層する第二の工程とを経て、形成されることを特徴とするものである。
Hereinafter, details of the present invention will be described for each item. In addition, this invention is not limited to the following embodiment, It can implement by changing variously within the range of the summary.
The manufacturing method of the multilayer insulation film of this invention comprises the base material (B) and the insulating layer (A) which consists of a 1st layer (A1) and 2nd layer (A2) which contact | connect a base material (B). The insulating layer (A) comprises a thermosetting resin (a1), a curing agent (b1), an inorganic filler (c1), and a resin having a weight average molecular weight of 5000 or more. I) A resin composition (I) containing a polymer material (d) contained in an amount of 5 to 60% by weight based on the total amount is formed into a film and has a gel fraction of 60 to 60 when immersed in dimethylformamide at room temperature for 10 minutes. The first step of curing to 94% to produce a cured film of the first layer (A1), and subsequently, the cured film, a thermosetting resin (a2), a curing agent (b2), and a composition 30 to 90% by weight of inorganic filler based on the total solid content of (II) Through a second step of laminating a second layer comprising the resin composition (II) and (A2) containing c2), it is characterized in being formed.

1.多層プリント配線板及び多層絶縁フィルム
本発明に係る多層プリント配線板は、本発明の製造方法から得られた多層絶縁フィルムを、回路基板やプリント基板(回路基板やプリント基板を総称して、以下において「回路基板」と言う。)上に、積層して構成される。
この多層絶縁フィルムは、(イ)基材(B)と、(ロ)原料として、熱硬化性樹脂(a)、硬化剤(b)および無機充填材(c)、またはさらに高分子材料(d)及び/又は硬化促進剤(e)を含む樹脂組成物(I、II)からなり、高分子材料(d)として、重量平均分子量5000以上の樹脂を5〜60重量%含有し、基材(B)に接する第1層(A1)と、この第1層上に設けられ、無機充填材(c)の合計量を30〜90重量%含有する第2層(A2)とを含んで積層された絶縁層(A)とを備える。
即ち、多層絶縁フィルムは、基材(B)、第1層(A1)、第2層(A2)の順に積層されている。第1層と第2層との間には、追加で第1層や第2層と同等の層が積層されてもよい。また、層と層との間に接着剤、プライマー等が塗布されて積層されていてもよく、これらの接着剤、プライマー等が層と層との間に挿入された場合は、層間強度を高めることができるため好ましい。
1. Multilayer Printed Wiring Board and Multilayer Insulating Film A multilayer printed wiring board according to the present invention includes a multilayer insulating film obtained from the production method of the present invention, a circuit board and a printed board (collectively referred to as a circuit board and a printed board) It is called “circuit board”.)
This multilayer insulating film comprises (a) a base material (B) and (b) a thermosetting resin (a), a curing agent (b) and an inorganic filler (c), or a polymer material (d) as a raw material. ) And / or a resin composition (I, II) containing a curing accelerator (e), the polymer material (d) contains 5 to 60% by weight of a resin having a weight average molecular weight of 5000 or more, and a base material ( The first layer (A1) in contact with B) and the second layer (A2) provided on the first layer and containing 30 to 90% by weight of the total amount of the inorganic filler (c) are laminated. And an insulating layer (A).
That is, the multilayer insulating film is laminated | stacked in order of the base material (B), the 1st layer (A1), and the 2nd layer (A2). A layer equivalent to the first layer or the second layer may be additionally stacked between the first layer and the second layer. In addition, an adhesive, a primer, or the like may be applied and laminated between layers, and when these adhesives, primers, or the like are inserted between layers, the interlayer strength is increased. This is preferable.

また、第1層(A1)に、重量平均分子量が5000以上の高分子材料(d)を5〜60重量%含有することにより、プレス時に圧力がかかっても流動しない非流動層(高粘度層)を形成し、初期厚みを維持できるので、狙いの絶縁層厚みに仕上げることが可能である。
さらに、第2層(A2)に無機充填材(c)を多く含ませることにより、高流動性層(流動層)とすることにより、表面にビアホール等の孔や回路パターンの凹凸を有する基板上に、第1層と第2層からなる絶縁膜を積層した場合において、部位による収縮率に差が生じにくく、かつ、樹脂シートの表面平坦性が充分に確保され、絶縁層厚みが一定に保たれた多層プリント配線板を得ることができる。
第2層は、無機充填材の合計量を30〜90重量%とすることで、プレス時の樹脂流動後の収縮量を小さくできるので、平坦性を充分確保することができる。
Further, by containing 5 to 60% by weight of the polymer material (d) having a weight average molecular weight of 5000 or more in the first layer (A1), a non-fluidized layer (high viscosity layer that does not flow even when pressure is applied during pressing) ) Can be formed and the initial thickness can be maintained, so that the desired insulating layer thickness can be achieved.
Further, by adding a large amount of the inorganic filler (c) to the second layer (A2) to form a high fluidity layer (fluidized layer), the surface has holes such as via holes and circuit pattern irregularities on the substrate. In addition, when an insulating film composed of the first layer and the second layer is laminated, a difference in contraction rate due to the site is unlikely to occur, the surface flatness of the resin sheet is sufficiently secured, and the insulating layer thickness is kept constant. A sacrificial multilayer printed wiring board can be obtained.
Since the second layer has a total amount of inorganic filler of 30 to 90% by weight, the amount of shrinkage after resin flow during pressing can be reduced, so that sufficient flatness can be secured.

本発明に係る多層プリント配線板に用いられる回路基板は、特に限定されないが、例えば、多層積層板用途向けにスルーホールビアを有する基板、ブラインドビアを有する基板、金属が配線された基板等、表面が平坦ではなく、凹凸を有する基板等が挙げられる。ここで、基板の材質については、特に限定されるものではない。   The circuit board used for the multilayer printed wiring board according to the present invention is not particularly limited. For example, the substrate such as a board having a through-hole via, a board having a blind via, a board wired with a metal, etc. The substrate is not flat but has irregularities. Here, the material of the substrate is not particularly limited.

本発明に係る多層プリント配線板は、ビアホール等の孔や回路パターンの凹凸を有する回路基板上に、多層絶縁フィルムを積層する場合でも、多層絶縁フィルムの積層部位による収縮率に差が生じにくく、極めて良好な厚さ精度を有し、かつ、多層絶縁フィルムの表面平坦性が充分に確保される。このため、本発明に係る多層プリント配線板は、金属配線を用いて回路基板上に回路を形成した際に、厚さ方向の電気抵抗と電気信号の長さのばらつきが少なくなり、信号のノイズ等が低減できる。   The multilayer printed wiring board according to the present invention is less likely to cause a difference in shrinkage due to the laminated portion of the multilayer insulating film, even when the multilayer insulating film is laminated on a circuit board having irregularities such as via holes and circuit patterns. It has a very good thickness accuracy and sufficiently ensures the surface flatness of the multilayer insulating film. For this reason, the multilayer printed wiring board according to the present invention has less variation in the electrical resistance in the thickness direction and the length of the electrical signal when the circuit is formed on the circuit board using the metal wiring, and the signal noise is reduced. Etc. can be reduced.

2.多層絶縁フィルムを構成する材料
本発明の製造方法により得られる多層絶縁フィルムを構成する第1層、第2層及び基材について説明する。
(1)第1層(A1)
先ず、本発明に係る多層絶縁フィルムの絶縁層(A)を構成する第1層(A1)について説明する。
絶縁層(A)の高粘度層(非流動層)となる第1層(A1)は、原料として、熱硬化性樹脂(a1)、硬化剤(b1)、無機充填材(c1)および高分子材料(d)を含む樹脂組成物(I)からなる。また、樹脂組成物(I)には、硬化促進剤(e)を含むことが好ましい。
上記高分子材料(d)としては、重量平均分子量が5000以上であれば、特に限定されず、従来公知のポリアセタール、ポリイミド、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル(PPE)、ポリブチレンテレフタレート(PPB)、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミドなどのエンジニアプラスチック、及びこれらの樹脂に官能基を付与した樹脂や、また、フェノキシ樹脂などの高分子量の熱硬化性樹脂等を用いることができる。
この中で、本発明に係る多層絶縁フィルムの第1層(A1)を製造するに当たり、原料として用いられる後述の熱硬化性樹脂(a1)であるエポキシ樹脂との相溶性の観点から、フェノキシ樹脂を用いるのが好ましい。
2. The material which comprises a multilayer insulation film The 1st layer, 2nd layer, and base material which comprise the multilayer insulation film obtained by the manufacturing method of this invention are demonstrated.
(1) First layer (A1)
First, the first layer (A1) constituting the insulating layer (A) of the multilayer insulating film according to the present invention will be described.
The first layer (A1), which is the high-viscosity layer (non-fluidized layer) of the insulating layer (A), is made of a thermosetting resin (a1), a curing agent (b1), an inorganic filler (c1), and a polymer. It consists of resin composition (I) containing material (d). The resin composition (I) preferably contains a curing accelerator (e).
The polymer material (d) is not particularly limited as long as the weight average molecular weight is 5000 or more, and conventionally known polyacetal, polyimide, polycarbonate, modified polyphenylene ether (PPE), polybutylene terephthalate (PPB), polysulfone, Engineer plastics such as polyethersulfone and polyetherimide, resins obtained by adding functional groups to these resins, and high molecular weight thermosetting resins such as phenoxy resins can be used.
Among these, in producing the first layer (A1) of the multilayer insulating film according to the present invention, a phenoxy resin is used from the viewpoint of compatibility with an epoxy resin which is a thermosetting resin (a1) described later used as a raw material. Is preferably used.

高分子材料(d)の重量平均分子量は、5000以上であることが好ましく、より好ましくは20000以上である。重量平均分子量が5000未満であると、高温時において高分子材料の粘度が低くなるため、例えば、真空プレス機などを用いた回路基板への加熱加圧時に、第1層が均一な絶縁厚みを維持できなくなる傾向がある。また、高分子材料(d)は、少量の添加で増粘効果が高いことが望ましいことから、分子量が大きい方が好適に使用できる。   The weight average molecular weight of the polymer material (d) is preferably 5000 or more, more preferably 20000 or more. If the weight average molecular weight is less than 5,000, the viscosity of the polymer material becomes low at high temperatures. For example, when the circuit board is heated and pressed using a vacuum press machine, the first layer has a uniform insulation thickness. There is a tendency to be unable to maintain. Moreover, since it is desirable that the polymer material (d) has a high thickening effect when added in a small amount, a higher molecular weight can be preferably used.

高分子材料(d)は、用いる原料全体、すなわち樹脂組成物(I)全量に対して、5〜60重量%であることが好ましく、より好ましくは30〜50重量%である。5重量%未満であると、原料混合物全体の粘度が低下し、例えば真空プレス機などを用いて回路基板への加熱圧着する際に、第1層が均一な絶縁厚みを維持できなくなる傾向がある。一方、60重量%を超えると、原料混合物全体の粘度が増大しすぎて、ボイドが発生し易くなる傾向がある。
本発明において、高分子材料(d)は、第1層の粘度を上昇させることにより流動性を抑制し、プレス時にほとんど流動せず、圧力が開放された後も、平坦性を確保できるという役割を果たしている。つまり、回路基板と多層絶縁フィルムとが積層された積層基板表面の平滑性を向上することができる。
The polymer material (d) is preferably 5 to 60% by weight, more preferably 30 to 50% by weight, based on the entire raw material used, that is, the total amount of the resin composition (I). If it is less than 5% by weight, the viscosity of the entire raw material mixture is lowered, and the first layer tends to be unable to maintain a uniform insulation thickness when it is heat-pressed to a circuit board using, for example, a vacuum press. . On the other hand, when it exceeds 60% by weight, the viscosity of the entire raw material mixture increases excessively, and voids tend to be generated.
In the present invention, the polymer material (d) suppresses fluidity by increasing the viscosity of the first layer, hardly flows during pressing, and can ensure flatness even after the pressure is released. Plays. That is, the smoothness of the surface of the laminated substrate on which the circuit board and the multilayer insulating film are laminated can be improved.

本発明に係る多層絶縁フィルムを構成する絶縁層(A)の第1層(A1)の原料としての熱硬化性樹脂(a1)には、従来公知のエポキシ樹脂を用いることができる。
エポキシ樹脂としては、少なくとも1個のエポキシ基(オキシラン環)を有する有機化合物が挙げられる。エポキシ樹脂中のエポキシ基の数としては、1分子当たり1個以上であることが好ましく、1分子当たり2個以上であることがより好ましい。
エポキシ樹脂としては、例えば、
(i)ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂といった芳香族エポキシ樹脂、
(ii)3,4−エポキシシクロヘキシルメチルー3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートなどの脂環族エポキシ樹脂、
(iii)ネオペンチルグリコールのジグリシジルエーテルなどの脂肪族エポキシ樹脂、
(iv)フタル酸ジグリシジルエステルなどのグリシジルエステル型エポキシ樹脂、
(v)トリグリシジルイソシアヌレート、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのグリシジルアミン型エポキシ樹脂、
(vi)グリシジル(メタ)アクリレートと、エチレン、酢酸ビニル、(メタ)アクリル酸エステル等のラジカル重合性モノマーとの共重合体などのグリシジルアクリル型エポキシ樹脂、
(vii)1分子当たり1個以上、好ましくは2個以上のエポキシ基を有するポリエステル樹脂などのポリエステル型エポキシ樹脂、
(viii)エポキシ化ポリブタジエン、エポキシ化ジシクロペンタジエン等の共役ジエン化合物を主体とする重合体又はその部分水添物の重合体における不飽和炭素の二重結合を有する化合物をエポキシ変性したエポキシ樹脂、
(ix)スチレン−ブタジエンブロック共重合体、スチレン−イソプレンブロック共重合体、スチレン−イソプレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体など、あるいはこれらを水添した化合物にエポキシ変性したエポキシ樹脂、
(x)更には、エポキシ樹脂の構造中にウレタン結合やポリカプロラクトン結合を導入した、ウレタン変性エポキシ樹脂やポリカプロラクトン変性エポキシ樹脂、
などが挙げられる。
この中で、絶縁フィルムを製造する際の原料の溶媒への溶解性や成形性の向上という観点から、ビスフェノール型エポキシ樹脂を、絶縁フィルムの耐久性・耐薬品性向上、更には、耐熱性向上、吸水性低減、熱履歴付与に対する寸法安定性向上及び電気特性の向上という観点から、ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂を用いることが好ましい。エポキシ樹脂は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
A conventionally well-known epoxy resin can be used for the thermosetting resin (a1) as a raw material of the 1st layer (A1) of the insulating layer (A) which comprises the multilayer insulating film which concerns on this invention.
Examples of the epoxy resin include organic compounds having at least one epoxy group (oxirane ring). The number of epoxy groups in the epoxy resin is preferably 1 or more per molecule, and more preferably 2 or more per molecule.
As an epoxy resin, for example,
(I) aromatic epoxy resins such as bisphenol-type epoxy resins and epoxy resins having a biphenyl structure;
(Ii) alicyclic epoxy resins such as 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate,
(Iii) an aliphatic epoxy resin such as diglycidyl ether of neopentyl glycol;
(Iv) Glycidyl ester type epoxy resin such as diglycidyl phthalate,
(V) glycidylamine type epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate and tetraglycidyldiaminodiphenylmethane,
(Vi) a glycidyl acrylic epoxy resin such as a copolymer of glycidyl (meth) acrylate and a radical polymerizable monomer such as ethylene, vinyl acetate, (meth) acrylic acid ester,
(Vii) a polyester type epoxy resin such as a polyester resin having one or more, preferably two or more epoxy groups per molecule;
(Viii) an epoxy resin obtained by epoxy-modifying a compound having an unsaturated carbon double bond in a polymer mainly composed of a conjugated diene compound such as epoxidized polybutadiene and epoxidized dicyclopentadiene or a partially hydrogenated polymer thereof;
(Ix) Styrene-butadiene block copolymer, styrene-isoprene block copolymer, styrene-isoprene block copolymer, styrene-butadiene-styrene block copolymer, styrene-isoprene-styrene block copolymer, styrene-butylene -Epoxy resins that are epoxy-modified into styrene block copolymers, etc., or hydrogenated compounds thereof,
(X) Furthermore, a urethane-modified epoxy resin or a polycaprolactone-modified epoxy resin in which a urethane bond or a polycaprolactone bond is introduced into the structure of the epoxy resin,
Etc.
Among these, from the viewpoint of improving the solubility of raw materials in solvents when manufacturing insulating films and improving moldability, bisphenol-type epoxy resin improves the durability and chemical resistance of insulating films, and further improves heat resistance. From the viewpoints of reducing water absorption, improving dimensional stability against thermal history and improving electrical characteristics, it is preferable to use an epoxy resin having a biphenyl structure. An epoxy resin may be used independently and 2 or more types may be used together.

また、エポキシ樹脂には、例えば、1)分子内にブタジエン骨格を有する可撓性エポキシ樹脂などといったエポキシ樹脂の誘導体、2)エポキシ樹脂の水添物、3)熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂、ベンゾオキサジン樹脂などといったエポキシ樹脂と共重合可能な樹脂が含有されていてもよい。   Examples of the epoxy resin include 1) a derivative of an epoxy resin such as a flexible epoxy resin having a butadiene skeleton in the molecule, 2) a hydrogenated product of the epoxy resin, 3) a thermosetting modified polyphenylene ether resin, and a benzoate. A resin copolymerizable with an epoxy resin such as an oxazine resin may be contained.

多層絶縁フィルムの第1層の原料としての硬化剤(b1)としては、例えば、フェノール化合物、アミン化合物、アミン化合物から合成される化合物、3級アミン化合物、イミダゾール化合物、ヒドラジド化合物、メラミン化合物、酸無水物、活性エステル化合物、熱潜在性カチオン重合触媒、光潜在性カチオン重合開始剤及びそれらの誘導体などが挙げられる。
この中で、樹脂組成物の電気的特性、機械的特性及び成形性の向上という観点から、フェノール化合物を、また、特に、樹脂組成物の耐熱性向上、吸水性低減、熱履歴付与に対する寸法安定性向上及び電気特性の向上という観点から、ビフェニル構造を有するフェノール化合物を用いることが好ましい。これらの硬化剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
Examples of the curing agent (b1) as a raw material for the first layer of the multilayer insulating film include a phenol compound, an amine compound, a compound synthesized from an amine compound, a tertiary amine compound, an imidazole compound, a hydrazide compound, a melamine compound, and an acid. Examples thereof include anhydrides, active ester compounds, thermal latent cationic polymerization catalysts, photolatent cationic polymerization initiators and derivatives thereof.
Among these, from the viewpoint of improving the electrical properties, mechanical properties and moldability of the resin composition, the phenol compound is used, and in particular, the heat resistance of the resin composition is improved, the water absorption is reduced, and the dimensional stability with respect to the thermal history is imparted. From the viewpoint of improving the electrical properties and electrical characteristics, it is preferable to use a phenol compound having a biphenyl structure. These hardening | curing agents may be used independently and 2 or more types may be used together.

硬化剤(b1)の配合割合は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されないが、熱硬化性樹脂(a1)であるエポキシ樹脂100重量部に対して、好ましくは1〜200重量部である。硬化剤(b1)が1重量部より少ないと、エポキシ樹脂が充分に硬化しないことがあり、一方、200重量部より多いと、エポキシ系樹脂を硬化するのに過剰となることがある。   The blending ratio of the curing agent (b1) is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, but is preferably 1 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin that is the thermosetting resin (a1). . When the amount of the curing agent (b1) is less than 1 part by weight, the epoxy resin may not be sufficiently cured, while when it is more than 200 parts by weight, it may be excessive to cure the epoxy resin.

絶縁層の第1層(A1)の原料としての無機充填材(c1)としては、シリカ、層状珪酸塩、タルク、誘電体セラミック粉末や、アルミニウム、マグネシウム、ケイ素、亜鉛、カルシウム、ストロンチウム、ジルコニウム、バリウム、スズ、ネオジウム、ビスマス、リチウム、サマリウム、タンタルなどの金属元素を含む金属酸化物粉末などが挙げられる。
無機充填材(c1)の含有量は、第1層中における樹脂組成物(I)の全固形分量に対して、5〜70重量%であることが好ましい。より好ましくは10〜50重量%である。5重量%未満であると、高温時に高分子材料に流動性が生じた場合に流動性を抑制効果が少ない傾向がある。一方、70重量%を超えると、加圧や加熱冷却の繰り返えされるような場合にひずみを吸収できず、ひび割れが生じたりする傾向がある。
As the inorganic filler (c1) as the raw material of the first layer (A1) of the insulating layer, silica, layered silicate, talc, dielectric ceramic powder, aluminum, magnesium, silicon, zinc, calcium, strontium, zirconium, Examples thereof include metal oxide powders containing metal elements such as barium, tin, neodymium, bismuth, lithium, samarium, and tantalum.
The content of the inorganic filler (c1) is preferably 5 to 70% by weight with respect to the total solid content of the resin composition (I) in the first layer. More preferably, it is 10 to 50% by weight. If it is less than 5% by weight, there is a tendency that the fluidity suppressing effect is small when fluidity occurs in the polymer material at a high temperature. On the other hand, if it exceeds 70% by weight, the strain cannot be absorbed and cracking tends to occur when pressurization and heating / cooling are repeated.

無機充填材(c1)としてのシリカは、例えば、天然シリカ原料を粉砕して得られる結晶性シリカ、火炎溶融及び粉砕によって得られる破砕溶融シリカ及び球状溶融シリカ、フュームドシリカ(アエロジル)、あるいはゾルゲル法などによって得られる合成シリカなどが挙げられる。
ここで、合成シリカは、イオン性不純物を含んでいる場合が多いため、純度の面で溶融シリカを用いるのが好ましい。シリカの形状としては、特に限定されないが、真球状、不定形状などが挙げられる。シリカの粒径は、微細金属配線のファインパターン形成の観点から、平均粒子径が0.01〜2.00μm、最大粒子径が5.00μm以下であることが好ましい。
Silica as the inorganic filler (c1) is, for example, crystalline silica obtained by pulverizing natural silica raw material, crushed fused silica and spherical fused silica obtained by flame melting and pulverization, fumed silica (Aerosil), or sol-gel. Examples thereof include synthetic silica obtained by a method.
Here, since synthetic silica often contains ionic impurities, it is preferable to use fused silica in terms of purity. Although it does not specifically limit as a shape of a silica, A perfect spherical shape, an indefinite shape, etc. are mentioned. As for the particle diameter of silica, it is preferable that the average particle diameter is 0.01 to 2.00 μm and the maximum particle diameter is 5.00 μm or less from the viewpoint of fine pattern formation of fine metal wiring.

また、多層絶縁フィルムの第1層の原料に無機充填材(c1)として用いられるシリカは、表面処理を施されていることが好ましく、シランカップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤などが使用可能である。
シリカは、メッキ前処理して微細なアンカー(粗面)を形成できファインパターンが形成可能であるという観点から、イミダゾールシランカップリング剤により表面処理されていることが好ましい。
さらに、第1層に用いるイミダゾールシランカップリング剤により表面処理されたシリカの含有量は、第1層中における樹脂組成物(I)の全固形分量に対して5〜50重量%であることが好ましい。より好ましくは、10〜30重量%である。5重量%未満であると、粗化ピールが低くなる傾向がある。一方、50重量%を超えると、樹脂成分が少なくなった結果、絶縁フィルムをメッキの前処理する際に処理液で削れ易くなり、粗化ピールが低くなる傾向がある。
Moreover, it is preferable that the silica used as an inorganic filler (c1) for the raw material of the 1st layer of a multilayer insulation film is surface-treated, and a silane coupling agent, a titanate coupling agent, an aluminum coupling is carried out. An agent or the like can be used.
Silica is preferably surface-treated with an imidazole silane coupling agent from the viewpoint that a fine anchor (rough surface) can be formed by pre-plating treatment to form a fine pattern.
Furthermore, the content of the silica surface-treated with the imidazole silane coupling agent used in the first layer is 5 to 50% by weight with respect to the total solid content of the resin composition (I) in the first layer. preferable. More preferably, it is 10 to 30% by weight. If it is less than 5% by weight, the roughening peel tends to be low. On the other hand, when it exceeds 50% by weight, the resin component is decreased, and therefore, the insulating film tends to be scraped with the treatment liquid when pre-treatment of plating, and the roughening peel tends to be lowered.

多層絶縁フィルムの第1層の原料に無機充填材(c1)として用いる層状珪酸塩は、層間に交換性金属カチオンを有する層状の珪酸塩鉱物を意味し、天然物であっても合成物であってもよい。
層状珪酸塩として、アスペクト比が大きい層状珪酸塩を用いることで、得られる絶縁フィルムの機械的特性を向上させることができる。
アスペクト比が大きい層状珪酸塩としては、例えば、スメクタイト系粘度鉱物、膨潤性マイカ、バーミキュライト、ハロイサイトなどが挙げられる。
スメクタイト系粘度鉱物としては、モンモリロナイト、ヘクトライト、サポナイト、バイデライト、スティブンサイト、ノントロナイトなどが挙げられる。
これらのうち、層状珪酸塩として、モンモリロナイト、ヘクトライト、及び膨潤性マイカからなる群より選択される少なくとも1種が好適に用いられる。
また、これらの層状珪酸塩は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
層状珪酸塩は、有機化層状珪酸塩であることが好ましい。有機化層状珪酸塩とは、層状珪酸塩を、樹脂中の分散性や、劈開性を向上させるなどの目的で、公知の有機化処理、例えば、層状珪酸塩の結晶層間を炭素数6以上のアルキル基を有する4級アンモニウム塩や4級ホスホニウム塩でカチオン交換がされてもよい。
The layered silicate used as the inorganic filler (c1) as the raw material of the first layer of the multilayer insulating film means a layered silicate mineral having an exchangeable metal cation between layers, and even if it is a natural product, it is a synthetic product. May be.
By using a layered silicate having a large aspect ratio as the layered silicate, the mechanical properties of the obtained insulating film can be improved.
Examples of the layered silicate having a large aspect ratio include smectite-based viscosity minerals, swellable mica, vermiculite, and halloysite.
Examples of the smectite-based viscosity mineral include montmorillonite, hectorite, saponite, beidellite, stevensite, and nontronite.
Among these, at least one selected from the group consisting of montmorillonite, hectorite, and swellable mica is preferably used as the layered silicate.
Moreover, these layered silicates may be used independently and 2 or more types may be used together.
The layered silicate is preferably an organic layered silicate. The organic layered silicate is a known organic treatment, for example, a layer having a carbon number of 6 or more between crystal layers of the layered silicate for the purpose of improving the dispersibility in the resin and the cleavage property. Cation exchange may be performed with a quaternary ammonium salt or a quaternary phosphonium salt having an alkyl group.

層状珪酸塩は、第1層中における樹脂組成物(I)の全固形分量に対して0.01〜20重量%であることが好ましい。より好ましくは0.01〜10重量%である。0.01重量%未満であると、高温時に高分子材料に流動性が生じた場合に流動性を抑制する効果が少ない傾向がある。一方、20重量%を超えると、加圧や加熱冷却の繰り返えされるような場合にひずみを吸収できず、ひび割れが生じたりする傾向がある。
層状珪酸塩をシリカと併用すると、無機充填材(c1)量が比較的多い場合でも、絶縁フィルムをメッキの前処理する際に処理液で削れ難くなり、粗化ピールの低下が抑制される。この場合、第1層中における樹脂組成物(I)の全固形分量に対して0.01〜10重量%であることが好ましく、より好ましくは0.01〜2重量%である。
The layered silicate is preferably 0.01 to 20% by weight based on the total solid content of the resin composition (I) in the first layer. More preferably, it is 0.01 to 10 weight%. When the content is less than 0.01% by weight, the effect of suppressing fluidity tends to be small when fluidity occurs in the polymer material at high temperatures. On the other hand, if it exceeds 20% by weight, the strain cannot be absorbed and cracking tends to occur when pressurization and heating / cooling are repeated.
When the layered silicate is used in combination with silica, even when the amount of the inorganic filler (c1) is relatively large, it becomes difficult to scrape the insulating film with the treatment liquid when the pretreatment for plating is performed, and the reduction of the roughening peel is suppressed. In this case, it is preferable that it is 0.01 to 10 weight% with respect to the total solid content of the resin composition (I) in a 1st layer, More preferably, it is 0.01 to 2 weight%.

多層絶縁フィルムの第1層の樹脂組成物(I)には、上記の熱硬化性樹脂(a1)、硬化剤(b1)、無機充填材(c1)および高分子材料(d)に加えて、必要に応じて、さらに、硬化促進剤(e)を含むことが好ましい。樹脂組成物(I)に、硬化促進剤(e)を配合することにより、加熱硬化を適切にすることができる。   In addition to the thermosetting resin (a1), the curing agent (b1), the inorganic filler (c1) and the polymer material (d), the resin composition (I) of the first layer of the multilayer insulating film includes: It is preferable to further contain a curing accelerator (e) as necessary. Heat hardening can be made appropriate by mix | blending a hardening accelerator (e) with resin composition (I).

上記硬化促進剤(e)としては、2−エチル−4−メチルイミダゾール(2E4MZ)、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール(2E4MZ−CN)、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール(C11Z−CN)、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール(2PZ−CN)、2,4−ジアミノ−6−[2‘−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−S−トリアジン(2MZA−PW)、2,4−ジアミノ−6−[2‘−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−S−トリアジン(C11Z−CN)、2,4−ジアミノ−6−[2‘−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1‘)]−エチル−S−トリアジン(2E4MZ−A)、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1‘)]−エチル−S−トリアジンイソシアヌル酸付加物(2MAOK−PW)、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物(2PZ−OK)、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(2PHZ−PW)、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール(2P4MHZ−PW)、2,4−ジアミノ−6−ビニル−S−トリアジン(VT)などが挙げられる。   Examples of the curing accelerator (e) include 2-ethyl-4-methylimidazole (2E4MZ), 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole (2E4MZ-CN), 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole ( C11Z-CN), 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole (2PZ-CN), 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-S-triazine (2MZA-PW) 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-S-triazine (C11Z-CN), 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4' -Methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-S-triazine (2E4MZ-A), 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1') -Ethyl-S-triazine isocyanuric acid adduct (2MAOK-PW), 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct (2PZ-OK), 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole (2PHZ-PW), 2-phenyl -4-methyl-5-hydroxymethylimidazole (2P4MHZ-PW), 2,4-diamino-6-vinyl-S-triazine (VT) and the like.

硬化促進剤(d)の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物(I)の樹脂成分に対し、0.1〜10重量%が好ましく、特に0.5〜5重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると、熱硬化性樹脂(a1)であるエポキシ樹脂が硬化不足し、一方、前記上限値を超えると、エポキシ樹脂の自己重合が生じて、硬化剤(b1)によるエポキシ樹脂の硬化反応が阻害されることがあり、また、保存安定性が低下する恐れがある。   Although content of a hardening accelerator (d) is not specifically limited, 0.1-10 weight% is preferable with respect to the resin component of resin composition (I), and 0.5-5 weight% is especially preferable. When the content is less than the lower limit, the epoxy resin as the thermosetting resin (a1) is insufficiently cured. On the other hand, when the content exceeds the upper limit, self-polymerization of the epoxy resin occurs, and the curing agent (b1). The epoxy resin curing reaction may be hindered and the storage stability may be reduced.

なお、絶縁層の第1層(A1)は、熱硬化性樹脂(a1)、硬化剤(b1)、無機充填材(c1)および高分子材料(d)、加えて、必要に応じて用いられる硬化促進剤(e)以外に、本発明の目的を阻害しない限り、必要に応じて、原料として、熱可塑性樹脂類、熱可塑性エラストマー類、架橋ゴム、オリゴマー類、無機化合物、造核剤、酸化防止剤、老化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、難燃助剤、帯電防止剤、防曇剤、充填剤、軟化剤、可塑剤、及び着色剤等の添加剤が配合されてもよい。これらは単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The first layer (A1) of the insulating layer is used as necessary in addition to the thermosetting resin (a1), the curing agent (b1), the inorganic filler (c1), and the polymer material (d). In addition to the curing accelerator (e), as long as the object of the present invention is not impaired, as necessary, as a raw material, thermoplastic resins, thermoplastic elastomers, crosslinked rubber, oligomers, inorganic compounds, nucleating agents, oxidation Additives such as antioxidants, anti-aging agents, heat stabilizers, light stabilizers, UV absorbers, lubricants, flame retardant aids, antistatic agents, antifogging agents, fillers, softeners, plasticizers, and colorants May be blended. These may be used independently and 2 or more types may be used together.

(2)第2層(A2)
次に、本発明に係る多層絶縁フィルムの絶縁層(A)を構成する第2層(A2)について説明する。
絶縁層(A)の流動層となる第2層(A2)は、高粘度層となる第1層(A1)とは異なり、原料として、熱硬化性樹脂(a2)、硬化剤(b2)および無機充填材(c2)を含む樹脂組成物(II)からなり、高分子材料(d)は、必須成分ではない。また、樹脂組成物(II)には、樹脂組成物(I)と同様に、硬化促進剤(e)を含むことが好ましい。
(2) Second layer (A2)
Next, the second layer (A2) constituting the insulating layer (A) of the multilayer insulating film according to the present invention will be described.
The second layer (A2), which is the fluidized layer of the insulating layer (A), is different from the first layer (A1), which is the high-viscosity layer, as a raw material, the thermosetting resin (a2), the curing agent (b2), and It consists of resin composition (II) containing an inorganic filler (c2), and the polymer material (d) is not an essential component. The resin composition (II) preferably contains a curing accelerator (e) as in the case of the resin composition (I).

絶縁層(A)の第2層(A2)の無機充填材(c2)として、好ましくは、シリカ及び層状珪酸塩が含有される。絶縁層(A)の第2層(A2)に用いられるシリカ及び層状珪酸塩としては、第2層に用いる樹脂組成物(II)の固形成分に対して、合計して30〜90重量%の含有量であることが好ましく、多層絶縁フィルムの第1層(A1)で使用するシリカ及び層状珪酸塩を用いることができる。
シリカ及び層状珪酸塩の合計の含有量が30重量%未満であると、固形分全体に対する樹脂分の割合が高くなり、このような原料混合物を用いて絶縁フィルムを作製した場合には、塗工後の加熱処理時に、硬化収縮率が高くなる。このことより、塗工膜厚の厚い部位は、塗工膜厚の薄い部位に比べて、硬化収縮が大きく、結果として、多層絶縁フィルムを回路基板に積層し、多層プリント基板を得た場合に、多層プリント基板表面の凹凸が大きくなる傾向があり、平坦性が充分に確保されない恐れがある。一方、シリカ及び層状珪酸塩の合計の含有量が90重量%を超えると、原料混合物の粘度が高くなり、絶縁フィルム作製時のハンドリング性が低下する傾向にある。斯かる傾向を踏まえた上で、シリカ及び層状珪酸塩の合計のより好ましい含有量は、45〜70重量%である。
As the inorganic filler (c2) of the second layer (A2) of the insulating layer (A), silica and layered silicate are preferably contained. As silica and layered silicate used in the second layer (A2) of the insulating layer (A), the total amount of the solid component of the resin composition (II) used in the second layer is 30 to 90% by weight. The content is preferable, and silica and layered silicate used in the first layer (A1) of the multilayer insulating film can be used.
When the total content of silica and layered silicate is less than 30% by weight, the ratio of the resin content to the entire solid content increases, and when an insulating film is produced using such a raw material mixture, coating is performed. During the subsequent heat treatment, the curing shrinkage rate increases. From this, the thicker coating thickness part is larger than the shrinkage of the coating thickness part, resulting in the case where the multilayer insulation film is laminated on the circuit board and the multilayer printed circuit board is obtained. The unevenness on the surface of the multilayer printed board tends to increase, and there is a risk that sufficient flatness cannot be ensured. On the other hand, when the total content of silica and layered silicate exceeds 90% by weight, the viscosity of the raw material mixture tends to be high, and the handleability during the production of the insulating film tends to be lowered. Considering such a tendency, the more preferable total content of silica and layered silicate is 45 to 70% by weight.

第2層の無機充填材(c2)としての層状珪酸塩は、第2層の樹脂組成物(II)の全固形分量に対して0.05〜5重量%以下であることが好ましい。より好ましくは0.1〜3重量%である。0.05重量%未満であると、スルーホールなどへ充填される際にシリカの流動性に不均一が生じ、硬化収縮を抑制する効果や機械強度などに不均一を生じる傾向がある。一方、5重量%を超えると、増粘により流動性が悪化し、ビアホール等への充填性が低下する傾向がある。   The layered silicate as the inorganic filler (c2) of the second layer is preferably 0.05 to 5% by weight or less with respect to the total solid content of the resin composition (II) of the second layer. More preferably, it is 0.1 to 3% by weight. When the amount is less than 0.05% by weight, non-uniformity in the fluidity of silica occurs when filling through holes and the like, and there is a tendency for non-uniformity in the effect of suppressing curing shrinkage and mechanical strength. On the other hand, when it exceeds 5% by weight, the fluidity deteriorates due to thickening, and the filling property to via holes and the like tends to be lowered.

絶縁層(A)の第2層(A2)の原料としての熱硬化性樹脂(a2)には、従来公知のエポキシ樹脂を用いることができる。即ち、第2層の絶縁層の原料としてのエポキシ樹脂は、特に限定されず、多層絶縁フィルムの第1層で使用する熱硬化性樹脂(a1)であるエポキシ樹脂を用いることができる。
また、上記と同様に、絶縁層(A)の第2層(A2)の原料としての硬化剤(b2)も、特に限定されず、多層絶縁フィルムの第1層(A1)で使用する硬化剤(b1)を用いることができる。
さらに、上記と同様に、絶縁層(A)の第2層(A2)の原料として、必要に応じて用いられる硬化促進剤(e)も、特に限定されず、多層絶縁フィルムの第1層(A1)で使用する硬化促進剤(e)を用いることができる。
A conventionally well-known epoxy resin can be used for the thermosetting resin (a2) as a raw material of the 2nd layer (A2) of an insulating layer (A). That is, the epoxy resin as a raw material for the second insulating layer is not particularly limited, and an epoxy resin that is the thermosetting resin (a1) used in the first layer of the multilayer insulating film can be used.
Similarly to the above, the curing agent (b2) as a raw material of the second layer (A2) of the insulating layer (A) is not particularly limited, and the curing agent used in the first layer (A1) of the multilayer insulating film. (B1) can be used.
Further, similarly to the above, the curing accelerator (e) used as necessary as the raw material of the second layer (A2) of the insulating layer (A) is not particularly limited, and the first layer ( The curing accelerator (e) used in A1) can be used.

また、絶縁層(A)の第2層(A2)は、熱硬化性樹脂(a2)、硬化剤(b2)、無機充填材(c2)、硬化促進剤(e)以外に、本発明の目的を阻害しない限り、必要に応じて、熱可塑性樹脂類、熱可塑性エラストマー類、架橋ゴム、オリゴマー類、シリカと層状珪酸塩以外の無機充填剤、造核剤、酸化防止剤、老化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、難燃助剤、帯電防止剤、軟化剤、可塑剤、及び着色剤等の添加剤が配合されてもよい。これらは単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The second layer (A2) of the insulating layer (A) is an object of the present invention, in addition to the thermosetting resin (a2), the curing agent (b2), the inorganic filler (c2), and the curing accelerator (e). Unless necessary, thermoplastic resins, thermoplastic elastomers, crosslinked rubber, oligomers, inorganic fillers other than silica and layered silicate, nucleating agents, antioxidants, anti-aging agents, heat Additives such as a stabilizer, a light stabilizer, an ultraviolet absorber, a lubricant, a flame retardant aid, an antistatic agent, a softener, a plasticizer, and a colorant may be blended. These may be used independently and 2 or more types may be used together.

本発明に係る多層絶縁フィルムを構成する樹脂組成物(I,II)中に含まれる固形成分とは、加熱硬化によっても実質的に揮発しない成分を指す。例えば、液状の樹脂などは固形成分であり、溶剤などは固形成分ではない。   The solid component contained in the resin composition (I, II) constituting the multilayer insulating film according to the present invention refers to a component that does not substantially volatilize even by heat curing. For example, a liquid resin or the like is a solid component, and a solvent or the like is not a solid component.

(3)基材(B)
本発明に係る多層絶縁フィルムを構成する基材(B)としては、樹脂コート紙、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリプロピレン(PP)フィルム、銅箔などが挙げられ、必要に応じて、更に、離型処理がされていてもよい。
また、基材(B)には、更に、ごみなどの付着を防ぐために、保護フィルムが積層されていてもよい。このようなものとしては、基材(B)で用いることができるフィルムを用いることができ、基材(B)と同じ材質であってもよく、異なる材質であってもよい。
(3) Base material (B)
Examples of the base material (B) constituting the multilayer insulating film according to the present invention include resin-coated paper, polyester film, polyethylene terephthalate (PET) film, polypropylene (PP) film, copper foil, and the like. Furthermore, a mold release process may be performed.
Further, a protective film may be further laminated on the base material (B) in order to prevent adhesion of dust and the like. As such a thing, the film which can be used with a base material (B) can be used, and the same material as a base material (B) may be sufficient, and a different material may be sufficient as it.

多層絶縁フィルムを回路基板に積層し、多層プリント基板を得た場合に、多層プリント基板表面の凹凸を小さくするには、銅箔などの弾性率の高い基材が好ましい。
基材(B)は、そのまま回路パターン形成に用いてもよく、剥離してもよい。基材を剥離するには、機械的に剥離したり、基材を溶解しうる溶解剤を用いて剥離することができる。基材が銅箔の場合は、例えば、塩化第2鉄などを含む溶液が挙げられる。剥離した後は、銅メッキなどにより導体層を形成した後に、回路を形成することもできる。
When a multilayer printed circuit board is obtained by laminating a multilayer insulating film on a circuit board, a base material having a high elastic modulus such as a copper foil is preferable in order to reduce the unevenness on the surface of the multilayer printed board.
The substrate (B) may be used as it is for circuit pattern formation or may be peeled off. In order to peel off the base material, the base material can be peeled off mechanically or with a solubilizer capable of dissolving the base material. When the substrate is a copper foil, for example, a solution containing ferric chloride and the like can be mentioned. After peeling, a circuit can be formed after forming a conductor layer by copper plating or the like.

基材(B)を剥離した多層プリント基板の表面粗さは、元の基材(B)の表面粗さが小さいほど、小さくなる傾向がある。一方、元の基材の表面粗さが小さすぎると、積層工程において、多層絶縁フィルムの基材(B)と第1層(A1)との間で剥離が生じ、ひいては多層プリント基板表面の凹凸を小さくする効果が薄れてしまう恐れがある。
より好ましい基材の一例としては、マット処理されたPETなどのプラスチックフィルムや低粗度の銅箔などが挙げられる。表面粗さの小さい基材(B)とイミダゾールシラン処理シリカを5〜50重量%含有されている第1層(A1)との組み合わせにより、メッキ前処理の後に微細な粗面を形成するこができ、例えばL/S=5μm/5μmのファインパターン形成が可能となる。今後、多層プリント基板の高集積化に伴い、L/Sはますます小さくなる一方で、表面粗さの大きいものでは、ファインパターンの形成が困難であり、本発明の有効性は非常に高いと考えられる。
The surface roughness of the multilayer printed board from which the substrate (B) has been peeled tends to be smaller as the surface roughness of the original substrate (B) is smaller. On the other hand, if the surface roughness of the original base material is too small, peeling occurs between the base material (B) and the first layer (A1) of the multilayer insulating film in the laminating step, and as a result, unevenness on the surface of the multilayer printed board. There is a risk that the effect of reducing the thickness will fade.
As an example of a more preferable base material, a plastic film such as mat-treated PET or a low-roughness copper foil may be used. By combining the base material (B) having a small surface roughness and the first layer (A1) containing 5 to 50% by weight of imidazole silane-treated silica, a fine rough surface can be formed after the pretreatment for plating. For example, a fine pattern with L / S = 5 μm / 5 μm can be formed. In the future, with increasing integration of multilayer printed circuit boards, L / S becomes smaller and smaller, but it is difficult to form fine patterns with a large surface roughness, and the effectiveness of the present invention is very high. Conceivable.

また、離型処理方法としては、離型性を有するフィルムに、シリコン系化合物、フッ素系化合物、界面活性剤などを含有させたり、離型性を有するように、表面に凹凸を付与する処理、例えば梨地のエンボス加工などを施したり、シリコン系化合物、フッ素系化合物、界面活性剤などの離型性を有する物質を表面に塗布したりする方法などを挙げることができる。これらの離型性を有するフィルムを更に保護するために、樹脂コート紙、ポリエステルフィルム、PETフィルム、PPフィルムなどの保護フィルムが、離型性を有するフィルムに積層されていてもよい。   In addition, as a mold release treatment method, a film having releasability is allowed to contain a silicon compound, a fluorine compound, a surfactant, or the like, or the surface is provided with unevenness so as to have releasability, Examples thereof include a method of embossing satin or the like, and applying a release material such as a silicon compound, a fluorine compound, or a surfactant to the surface. In order to further protect the film having releasability, a protective film such as a resin-coated paper, a polyester film, a PET film, or a PP film may be laminated on the film having releasability.

3.多層絶縁フィルムの製造方法
本発明の多層絶縁フィルムの製造方法は、上記の構成材料を用い、基材(B)と、基材(B)に接する第1層(A1)および第2層(A2)からなる絶縁層(A)とを具備してなる多層絶縁フィルムの製造方法であって、絶縁層(A)は、熱硬化性樹脂(a1)、硬化剤(b1)、無機充填材(c1)および重量平均分子量5000以上の樹脂を組成物(I)全量基準で5〜60重量%含有する高分子材料(d)を含む樹脂組成物(I)をフィルム状に形成し、ジメチルホルムアミドに常温10分浸漬させたときのゲル分率が60〜94%になるように硬化させ、第1層(A1)の硬化フィルムを作製する第一の工程と、引き続き、該硬化フィルムに、熱硬化性樹脂(a2)、硬化剤(b2)および組成物(II)の固形分全量基準で30〜90重量%の無機充填材(c2)を含む樹脂組成物(II)からなる第2層(A2)を積層する第二の工程とを経て、形成されることを特徴とするものである。
そして、前記第1層(A1)の硬化フィルムを作製する際の硬化温度が130〜150℃の範囲であることが好ましい。
3. Method for Producing Multilayer Insulating Film The method for producing a multilayer insulating film of the present invention uses the above-described constituent materials, and comprises a base material (B), and a first layer (A1) and a second layer (A2) in contact with the base material (B). The insulating layer (A) comprises a thermosetting resin (a1), a curing agent (b1), an inorganic filler (c1). ) And a polymer composition (I) containing a polymer material (d) containing 5 to 60% by weight of a resin having a weight average molecular weight of 5000 or more based on the total amount of the composition (I), and is formed into dimethylformamide at room temperature. The first step of making the cured film of the first layer (A1) is cured so that the gel fraction when immersed for 10 minutes is 60 to 94%, and subsequently, the cured film is thermoset. Resin (a2), curing agent (b2) and composition (II And the second step of laminating the second layer (A2) made of the resin composition (II) containing 30 to 90% by weight of the inorganic filler (c2) based on the total solid content. It is characterized by.
And it is preferable that the curing temperature at the time of producing the cured film of said 1st layer (A1) is the range of 130-150 degreeC.

絶縁層(A)の形成方法として、第1の工程は、基材(B)上に、樹脂組成物(I)からなる第1層(A1)を積層し、ジメチルホルムアミドに常温10分浸漬させたときのゲル分率が60%〜94%になるように硬化をさせ、フィルム状に形成し、第1層(A1)の硬化フィルムを作製する工程である。積層方法については、特に限定されないが、例えば、上記の樹脂組成物(I)を所定の溶剤に、所定の濃度で溶解したワニスを、基材(B)に、塗工後、乾燥および硬化を行って作製するのが好ましい。
ワニスに用いられる溶剤としては、樹脂組成物に対し良好な溶解性を持つものを選択することが好ましい。例えば、アセトン、メチルエチルケトン、トルエン、キシレン、n−ヘキサン、メタノール、エタノール、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、ブチルセロソルブ、メトキシプロパノール、シクロヘキサノン、N−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメチルアセトアミドなどのうち一種または二種以上の混合系を使用することが可能である。特に、DMF、シクロヘキサノン、ヘキサンなどが好ましい。
その硬化フィルムを作製する際の硬化温度は、好ましくは130〜150℃である。硬化温度が130℃未満であると、樹脂組成物(I)が充分に硬化せず、一方、150℃を超えると、塗工後のワニス中の溶剤が急激に揮発することによるピンホール状の跡が残るため、外観不良となるおそれがある。また、硬化時間は、10分〜20分であることが好ましい。硬化時間が10分以下であると、樹脂組成物(I)が充分に硬化せず、一方、20分以上であると充分に硬化するが、第1層(A1)の生産性が低下する。
また、硬化フィルムの厚みについては、特に限定されないが、用途によって10μm以上100μm以下である。
As a method for forming the insulating layer (A), the first step is to laminate the first layer (A1) made of the resin composition (I) on the base material (B) and immerse in dimethylformamide at room temperature for 10 minutes. It is the process of making it harden | cure so that the gel fraction may become 60%-94%, forming in a film form, and producing the cured film of the 1st layer (A1). The lamination method is not particularly limited. For example, the above resin composition (I) is dissolved in a predetermined solvent, a varnish dissolved at a predetermined concentration is applied to the base material (B), and then dried and cured. It is preferable to carry out the production.
As the solvent used for the varnish, it is preferable to select a solvent having good solubility in the resin composition. For example, acetone, methyl ethyl ketone, toluene, xylene, n-hexane, methanol, ethanol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methoxypropanol, cyclohexanone, N-methylpyrrolidone, dimethylformamide (DMF), dimethylacetamide, etc. Or it is possible to use a mixture of two or more. In particular, DMF, cyclohexanone, hexane and the like are preferable.
The curing temperature for producing the cured film is preferably 130 to 150 ° C. When the curing temperature is less than 130 ° C., the resin composition (I) is not sufficiently cured. On the other hand, when the curing temperature is higher than 150 ° C., the solvent in the varnish after coating is rapidly evaporated. Since marks remain, there is a risk of poor appearance. Moreover, it is preferable that hardening time is 10 minutes-20 minutes. When the curing time is 10 minutes or less, the resin composition (I) is not sufficiently cured. On the other hand, when the curing time is 20 minutes or more, the resin composition (I) is sufficiently cured, but the productivity of the first layer (A1) is lowered.
Moreover, about the thickness of a cured film, although it does not specifically limit, it is 10 micrometers or more and 100 micrometers or less by a use.

また、絶縁層(A)の形成方法としての第2の工程は、上記の第1工程で得られた硬化フィルムに、樹脂組成物(II)からなる第2層(A2)を積層する工程である。積層方法については、特に限定されないが、例えば、樹脂組成物(I)からなる第1層(A1)と同様に、上記の樹脂組成物(II)を所定の溶剤に、所定の濃度で溶解したワニスを、上記の第1工程で得られた硬化フィルムに、塗工後80℃以上150℃以下の乾燥を行って作製するのが好ましい。乾燥後の樹脂組成物の厚みについては、用途によって10μm以上200μm以下の範囲になるように塗工する。
ワニスに用いられる溶剤としては、樹脂組成物(I)と同様に、樹脂組成物に対し良好な溶解性を持つものを選択することが好ましい。
Moreover, the 2nd process as a formation method of an insulating layer (A) is a process of laminating | stacking the 2nd layer (A2) which consists of resin composition (II) on the cured film obtained at said 1st process. is there. The laminating method is not particularly limited. For example, the resin composition (II) is dissolved in a predetermined solvent in a predetermined concentration in the same manner as the first layer (A1) made of the resin composition (I). It is preferable to produce the varnish by drying the cured film obtained in the first step at 80 ° C. or more and 150 ° C. or less after coating. About the thickness of the resin composition after drying, it coats so that it may become the range of 10 micrometers or more and 200 micrometers or less by a use.
As the solvent used for the varnish, it is preferable to select a solvent having good solubility in the resin composition as in the case of the resin composition (I).

本発明の多層絶縁フィルムの製造方法として、上記の絶縁層(A)の形成方法以外については、特に限定されないが、例えば、(イ)熱硬化性樹脂、硬化剤、高分子材料、無機充填材等の原料を、押出機にて溶融混練した後に押出し、Tダイやサーキュラーダイなどを用いてシート(フィルム)状に成形する押出成形法、(ロ)熱硬化性樹脂、硬化剤、高分子材料、無機充填材等の原料を、有機溶剤等の溶媒に溶解又は分散させた後、キャスティングしてシート(フィルム)状に成形するキャスティング成形法、(ハ)従来公知のその他のシート(フィルム)成形法等が挙げられる。   The method for producing the multilayer insulating film of the present invention is not particularly limited except for the method for forming the insulating layer (A). For example, (a) thermosetting resin, curing agent, polymer material, inorganic filler Extrusion method that melts and kneads raw materials such as extruders after extrusion and forms into a sheet (film) using a T-die or a circular die, (b) thermosetting resin, curing agent, polymer material Casting molding method in which raw materials such as inorganic fillers are dissolved or dispersed in a solvent such as an organic solvent and then cast into a sheet (film), (c) Other conventionally known sheet (film) molding Law.

本発明に係る多層絶縁フィルムは、基材(B)、第1層(A1)、第2層(A2)の順に積層されている。多層絶縁フィルムを作製する手順は、絶縁層(A)の形成方法以外については特に問わない。また、第1層(A1)と第2層(A2)は、必要に応じて、同時に、又は各々独立して、溶剤の乾燥処理や加熱処理を行うことができる。また、層と層との間には、接着剤、プライマー等が塗布されて積層されると、層間強度を高めることができるため好ましい。   The multilayer insulating film according to the present invention is laminated in the order of the base material (B), the first layer (A1), and the second layer (A2). The procedure for producing the multilayer insulating film is not particularly limited except for the method for forming the insulating layer (A). Moreover, the 1st layer (A1) and the 2nd layer (A2) can perform the drying process and heat processing of a solvent simultaneously or independently as needed. In addition, it is preferable to apply an adhesive, a primer, or the like between the layers so that the interlayer strength can be increased.

4.多層プリント配線板の製造方法
次に、本発明の製造方法により得られた多層絶縁フィルムを用いた多層プリント配線板の製造方法について、一例を用いて説明する。
本発明に係る多層プリント配線板の製造方法は、(イ)上記の製造方法により得られた多層絶縁フィルムを用意し、第2層(A2)が回路基板に対向するように、多層絶縁フィルムを回路基板上に載置し、温度60〜200℃、かつ、圧力1〜30MPaにて加熱加圧する第1の工程と、(ロ)第1の工程の後、多層絶縁フィルムを温度60〜140℃で加温処理する第2の工程と、(ハ)第2の工程の後、第2の工程の温度よりも20℃以上高く、かつ、140〜200℃の範囲の温度で多層絶縁フィルムを加温処理する第3の工程とを含む。
4). Next, a method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the multilayer insulating film obtained by the manufacturing method of the present invention will be described using an example.
The method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention comprises: (a) preparing a multilayer insulation film obtained by the above production method, and placing the multilayer insulation film so that the second layer (A2) faces the circuit board. A first step of placing on a circuit board and heating and pressing at a temperature of 60 to 200 ° C. and a pressure of 1 to 30 MPa; and (b) after the first step, the multilayer insulating film is heated to a temperature of 60 to 140 ° C. And (c) after the second step, the multilayer insulating film is heated at a temperature in the range of 140 to 200 ° C. that is 20 ° C. higher than the temperature of the second step. And a third step of performing a temperature treatment.

本発明に係る多層プリント配線板の製造方法においては、回路基板の表面にメッキを施すか、銅箔を積層するなどして回路基板上に回路を形成し、必要によっては、回路基板にスルーホールやビアホールを形成した後に、回路基板上に、多層絶縁フィルムを積層して、多層プリント配線板を得ることができる。更に、この多層プリント配線板(先の多層プリント配線板)を回路基板として用いて、先の多層プリント配線板の表面にメッキを施すか銅箔を積層するなどして、先の多層プリント配線板上に回路を形成し、必要によっては先の多層プリント配線板にスルーホールやビアホールを形成した後に、先の多層プリント配線板上に多層絶縁フィルムを積層して、新たな多層プリント配線板を形成するという手順を繰り返すことで、より多層化された多層プリント配線板を得ることができる。   In the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, a circuit is formed on the circuit board by plating the surface of the circuit board or by laminating a copper foil. After forming the via holes, a multilayer insulating film can be laminated on the circuit board to obtain a multilayer printed wiring board. Furthermore, using this multilayer printed wiring board (the previous multilayer printed wiring board) as a circuit board, the surface of the previous multilayer printed wiring board is plated or laminated with a copper foil, etc. A circuit is formed on top and, if necessary, through holes and via holes are formed in the previous multilayer printed wiring board, and then a multilayer insulating film is laminated on the previous multilayer printed wiring board to form a new multilayer printed wiring board. By repeating this procedure, a multilayer printed wiring board with more layers can be obtained.

多層プリント配線板の製造方法の第1の工程は、多層絶縁フィルムの第2層(A2)をプリント基板上に形成された回路面上に設置し、プレス機にて温度60〜200℃、かつ、圧力1〜30MPaにて加熱加圧する。第1の工程〜第3の工程は、同一の装置で行っても、別の装置で行ってもよい。同一の装置であれば、温度の変更に時間がかかり生産性は低くなる傾向があるが、平坦性は良好である。別の装置であれば、温度変更の時間がない代わりに、多くの設備が必要となる。   In the first step of the method for producing a multilayer printed wiring board, the second layer (A2) of the multilayer insulating film is placed on the circuit surface formed on the printed circuit board, and the temperature is 60 to 200 ° C. with a press. And pressurizing at a pressure of 1 to 30 MPa. The first to third steps may be performed with the same device or with different devices. If the same apparatus is used, it takes time to change the temperature and the productivity tends to be low, but the flatness is good. If another apparatus is used, a lot of equipment is required instead of having no time for temperature change.

本発明に係る多層プリント配線板の製造方法に用いる加熱加圧装置としては、加熱プレス機やロールラミネーターを挙げることができる。例えばプレス機を用いる場合は、プレス金型と多層積層フィルムの基材との間に、表面が平滑な金属板、クッション材、離型フィルム、保護フィルムなど公知の板状物を挿入することができる。同様に、ロールラミネーターを用いる場合には、クッション材、離型フィルム、保護フィルムなどを用いることができる。   Examples of the heating and pressing apparatus used in the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention include a heating press machine and a roll laminator. For example, when using a press, a known plate-like object such as a metal plate, a cushioning material, a release film, or a protective film having a smooth surface may be inserted between the press die and the base material of the multilayer laminated film. it can. Similarly, when a roll laminator is used, a cushion material, a release film, a protective film, or the like can be used.

プレス金型と多層積層フィルムの基材との間に、表面が平滑な金属板を用いると、得られる多層プリント基板の表面の平滑性が向上する。プレス金型と多層積層フィルムの基材との間に、クッション材を用いると、基材面又は第1層面に均一に圧力をかけることができ、ボイドの発生をより低減することができる。プレス金型と多層積層フィルムの基材との間に、離型フィルムを用いると、基材面又は第1層面が、上記表面が平滑な金属板あるいはクッション材との離型性を確保することができる。プレス金型と多層積層フィルムの基材との間に、保護フィルムを用いると、基材面、第1層面、第2層面などの汚れや傷を防止することができる。また、離型フィルムと同様の効果も有する。   When a metal plate having a smooth surface is used between the press mold and the base material of the multilayer laminated film, the smoothness of the surface of the resulting multilayer printed board is improved. When a cushion material is used between the press die and the base material of the multilayer laminated film, pressure can be uniformly applied to the base material surface or the first layer surface, and the generation of voids can be further reduced. When a release film is used between the press die and the base material of the multilayer laminated film, the base material surface or the first layer surface ensures releasability with the metal plate or cushion material having a smooth surface. Can do. When a protective film is used between the press mold and the base material of the multilayer laminated film, dirt and scratches on the base material surface, the first layer surface, the second layer surface, and the like can be prevented. Moreover, it has the same effect as a release film.

また、プレス金型とプリント基板が接する場合にも同様に、プレス金型とプリント基板との間に、表面が平滑な金属板、クッション材、離型フィルム、保護フィルムなど公知の板状物を挿入することができる。更に、2枚の金属板で多層樹脂フィルムとプリント基板の積層体を挟んだまま各工程を移動させると、表面平滑性が安定して得ることができる。   Similarly, when the press mold is in contact with the printed board, a known plate-like material such as a metal plate, a cushioning material, a release film, or a protective film having a smooth surface is placed between the press mold and the printed board. Can be inserted. Furthermore, surface smoothness can be stably obtained by moving each step while sandwiching a multilayer resin film and printed circuit board laminate between two metal plates.

多層絶縁フィルムの基材(B)は、単層であっても、多層であってもよく、各工程終了後に、必要に応じて、剥離することができる。基材(B)は、PETフィルムや銅箔などが挙げられるが、第2の工程及び第3の工程が終了するまで、剥離せず付着したままで行うと、樹脂の硬化収縮を抑制による凹凸低減が期待できる。また、ごみの付着防止の効果も期待できる。   The base material (B) of the multilayer insulating film may be a single layer or a multilayer, and can be peeled off as necessary after the end of each step. Examples of the base material (B) include a PET film and a copper foil. If the substrate (B) is adhered without being peeled until the second step and the third step are finished, the unevenness caused by suppressing the curing shrinkage of the resin. Reduction can be expected. In addition, it can be expected to prevent dust from adhering.

多層プリント配線板の製造方法の第1の工程において、基材を剥がした後に加熱加圧する際、適切な離型処理を施されたPETフィルムでは、第2の工程後及び第3の工程後でも、剥がすことができる。銅箔の場合、塩化第二鉄により常温で5分揺動させながら、銅箔をエッチングする。エッチング装置を用いてエッチングをおこなってもよい。また、塩化第二鉄のほかに塩化第二銅、一般的なソフトエッチ液も適用できる。また、基材の銅箔を用いて、サブトラクティブ法により導体パターンを形成したり、更に銅箔が10μm以下の場合、セミアディティブ法により導体パターンを形成してもよい。   In the first step of the method for producing a multilayer printed wiring board, when heat-pressing after peeling off the substrate, the PET film that has been subjected to an appropriate release treatment, even after the second step and after the third step Can be peeled off. In the case of copper foil, the copper foil is etched while being rocked with ferric chloride at room temperature for 5 minutes. Etching may be performed using an etching apparatus. In addition to ferric chloride, cupric chloride and a general soft etchant can be applied. In addition, a conductor pattern may be formed by a subtractive method using a copper foil of a base material, or when the copper foil is 10 μm or less, a conductor pattern may be formed by a semi-additive method.

[第1の工程]
本発明に係る多層プリント配線板の製造方法の第1の工程は、多層絶縁フィルムを、その第2層(A2)を回路基板に対向させた状態で、真空プレスにて温度60〜200℃、かつ、圧力1〜30MPaにてプレスする工程である。本発明に係る多層プリント配線板の製造方法に用いられるプレス機は、特に限定されず、通常のプレス機等も用いられる。例えば、北川精機の真空プレス、ミカドテクノスの真空プレス等が挙げられる。以下、加熱加圧に用いる設備として、真空プレス機を用いて説明する。
[First step]
In the first step of the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the multilayer insulating film is heated in a vacuum press at a temperature of 60 to 200 ° C. with the second layer (A2) facing the circuit board. And it is the process of pressing at a pressure of 1-30 MPa. The press machine used for the manufacturing method of the multilayer printed wiring board concerning this invention is not specifically limited, A normal press machine etc. are used. Examples include Kitagawa Seiki's vacuum press and Mikado Technos' vacuum press. Hereinafter, the equipment used for heating and pressurization will be described using a vacuum press.

本発明に係る多層プリント配線板の製造方法において、真空プレス時の温度は、60〜200℃であれば、特に限定されない。60℃未満であると、多層絶縁フィルムの第2層の粘度が充分に低下せず、プレスをしても、絶縁フィルム表面の平坦性が確保されにくく、また、充填が不十分となるために、ビア部に空隙が発生する傾向がある。一方、200℃を超えると、絶縁フィルムの第2層を構成している樹脂の硬化反応が進行しすぎることで、樹脂の粘度が充分に低下した状態とならず、プレスをしても、絶縁フィルム表面の平坦性が確保されにくく、また、充填が不十分となるために、ビア部に空隙が発生する傾向がある。斯かる傾向を踏まえ、真空プレス時のより好ましい温度範囲は、70〜170℃である。   In the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the temperature during vacuum pressing is not particularly limited as long as it is 60 to 200 ° C. When the temperature is lower than 60 ° C., the viscosity of the second layer of the multilayer insulating film is not sufficiently lowered, and even when pressed, the flatness of the surface of the insulating film is difficult to be secured, and the filling is insufficient. There is a tendency that voids are generated in the via portion. On the other hand, when the temperature exceeds 200 ° C., the curing reaction of the resin constituting the second layer of the insulating film proceeds excessively, so that the viscosity of the resin is not sufficiently lowered. Since flatness of the film surface is difficult to be ensured and filling is insufficient, voids tend to occur in the via portion. Based on such a tendency, a more preferable temperature range at the time of vacuum pressing is 70 to 170 ° C.

本発明に係る多層プリント配線板の製造方法において、真空プレス時の圧力は、1〜30MPaであれば、特に限定されない。1MPa未満であると、プレスをしても、絶縁フィルムの第2層の充填が不十分となるために、ビア部に空隙が発生する傾向がある。一方、30MPaを超えると、基材の凹凸が、多層絶縁フィルムの第1層にまで影響し、第1層の厚みムラが生じて、絶縁フィルム表面の平坦性が確保されにくくなったり、第1層の厚さが薄くなり、絶縁層厚みを確保できなくなる傾向となる。斯かる傾向を踏まえ、真空プレス時のより好ましい圧力範囲は、2〜15MPaである。   In the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the pressure during vacuum pressing is not particularly limited as long as it is 1 to 30 MPa. If the pressure is less than 1 MPa, even if the pressing is performed, the second layer of the insulating film is not sufficiently filled, and thus there is a tendency that voids are generated in the via portion. On the other hand, if it exceeds 30 MPa, the unevenness of the base material affects the first layer of the multilayer insulating film, resulting in uneven thickness of the first layer, making it difficult to ensure the flatness of the surface of the insulating film, The thickness of the layer is reduced, and the insulating layer thickness tends not to be secured. Considering such a tendency, a more preferable pressure range at the time of vacuum pressing is 2 to 15 MPa.

本発明に係る多層プリント配線板の製造方法の第1の工程は、熱硬化を完全に終了させないようにすることで、熱硬化による収縮を最小限にとどめている。更に、本発明に係る多層プリント配線板の製造方法の第2の工程及び第3の工程の2段階の加熱工程を踏むことで、多層絶縁フィルムを緩やかに硬化させることができ、急激な硬化収縮起因の局所的な凹凸形成を抑制することができ、平坦性を確保することができる。したがって、プレス時間については、特に限定されるものではないが、絶縁フィルムの基材凹面への充分な充填及び充分な表面平坦性の確保、生産作業の効率化等の観点から、2〜40分が好ましい。   In the first step of the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the shrinkage due to the thermal curing is minimized by preventing the thermal curing from being completely completed. Furthermore, the multi-layer insulation film can be gradually cured by taking the two-step heating process of the second step and the third step of the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, and rapid curing shrinkage It is possible to suppress the formation of local unevenness due to this, and to ensure flatness. Accordingly, the pressing time is not particularly limited, but from the viewpoint of sufficient filling of the insulating film to the concave surface of the substrate and ensuring sufficient surface flatness, efficiency of production work, etc., 2 to 40 minutes. Is preferred.

[第2の工程]
本発明に係る多層プリント配線板の製造方法の第2の工程は、第1の工程の後で得られた「回路基板付き多層絶縁フィルム」を、温度60〜135℃で加熱処理する工程である。加熱処理については、特に限定されないが、例えば、オーブン等を用いて行われる。
[Second step]
The second step of the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention is a step of heat-treating the “multilayer insulating film with a circuit board” obtained after the first step at a temperature of 60 to 135 ° C. . Although it does not specifically limit about heat processing, For example, it performs using oven etc.

本発明に係る多層プリント配線板の製造方法において、加熱処理時の温度は、60〜140℃であれば、特に限定されない。60℃未満であると、多層絶縁フィルムの第1層及び第2層を構成している樹脂の硬化反応の進行が不十分となり、続く第3の工程の加熱処理時に、樹脂の熱収縮が大きくなり、多層絶縁フィルムの表面の平坦性が確保されにくくなる傾向にある。一方、140℃を超えると、多層絶縁フィルムの第1層及び第2層を構成している樹脂の硬化反応が急激に進行し、樹脂の熱収縮が大きくなり、多層絶縁フィルムの表面の平坦性が確保されにくくなる傾向にある。斯かる傾向を踏まえ、加熱処理時のより好ましい温度範囲は、80〜130℃である。   In the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the temperature during the heat treatment is not particularly limited as long as it is 60 to 140 ° C. When the temperature is lower than 60 ° C., the curing reaction of the resin constituting the first layer and the second layer of the multilayer insulating film is not sufficiently progressed, and the heat shrinkage of the resin is large during the subsequent heat treatment in the third step. Therefore, the flatness of the surface of the multilayer insulating film tends to be difficult to be ensured. On the other hand, when the temperature exceeds 140 ° C., the curing reaction of the resin constituting the first layer and the second layer of the multilayer insulating film proceeds rapidly, the thermal shrinkage of the resin increases, and the flatness of the surface of the multilayer insulating film Tends to be difficult to secure. Based on such a tendency, a more preferable temperature range during the heat treatment is 80 to 130 ° C.

なお、第2の工程の加熱処理時間については、特に限定されないが、多層絶縁フィルムの第1層及び第2層を構成している樹脂の硬化反応及び熱収縮等を考慮した場合、5〜60分が好ましい。   In addition, although it does not specifically limit about the heat processing time of a 2nd process, When the hardening reaction of the resin which comprises the 1st layer of a multilayer insulating film, and the 2nd layer, heat shrink, etc. are considered, it is 5-60. Minutes are preferred.

[第3の工程]
多層プリント配線板の製造方法の第3の工程は、第2の工程の後で得られた「回路基板付き多層絶縁フィルム」を、第2の工程の温度よりも20℃以上高い温度で、かつ、温度140〜200℃で加熱処理する工程である。加熱処理については、特に限定されないが、例えば、オーブン等を用いて行われる。
[Third step]
In the third step of the method for producing a multilayer printed wiring board, the “multilayer insulating film with a circuit board” obtained after the second step is at a temperature 20 ° C. or more higher than the temperature in the second step, and The heat treatment is performed at a temperature of 140 to 200 ° C. Although it does not specifically limit about heat processing, For example, it performs using oven etc.

本発明に係る多層プリント配線板の製造方法において、加熱処理時の温度は、第2の工程の温度よりも20℃以上高い温度で、かつ、140〜200℃であれば、特に限定されない。硬化を均一にかつ段階的に進行させる第3の工程の加熱処理時の温度は、第2の工程の加熱処理時の温度よりも、20℃以上高い温度であることが必要である。ここで、第3の工程の加熱処理時の温度が140℃未満であると、多層絶縁フィルムの第1層及び第2層を構成している樹脂の硬化反応の進行が不十分となり、その結果、本発明に係る多層プリント配線板の製造方法により、プリント基板を製造した後に、更に、多層絶縁フィルムの表面に微細金属を配線するために、多層絶縁フィルムの表面を膨潤処理・粗化処理した場合、多層絶縁フィルムの表面が受ける損傷が大きくなる恐れがある。一方、第3の工程の加熱処理時の温度が200℃を超えると、多層絶縁フィルムの第1層及び第2層を構成している樹脂の硬化反応が急激に進行し、樹脂の熱収縮が大きくなり、多層絶縁フィルムの表面の平坦性が確保されにくくなる傾向にある。斯かる傾向を踏まえ、加熱処理時のより好ましい温度範囲は、150〜180℃である。   In the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the temperature during the heat treatment is not particularly limited as long as it is 20 ° C. or more higher than the temperature in the second step and 140 to 200 ° C. The temperature at the time of the heat treatment in the third step in which the curing proceeds uniformly and stepwise needs to be 20 ° C. or higher than the temperature at the time of the heat treatment in the second step. Here, when the temperature during the heat treatment in the third step is less than 140 ° C., the progress of the curing reaction of the resin constituting the first layer and the second layer of the multilayer insulating film becomes insufficient, and as a result In addition, after the printed circuit board is manufactured by the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the surface of the multilayer insulating film is further subjected to swelling treatment / roughening treatment in order to wire fine metal on the surface of the multilayer insulating film. In this case, the damage to the surface of the multilayer insulating film may be increased. On the other hand, when the temperature during the heat treatment in the third step exceeds 200 ° C., the curing reaction of the resin constituting the first layer and the second layer of the multilayer insulating film proceeds rapidly, and the heat shrinkage of the resin It becomes large and tends to be difficult to ensure the flatness of the surface of the multilayer insulating film. Based on such a tendency, a more preferable temperature range during the heat treatment is 150 to 180 ° C.

なお、加熱処理時間については、特に限定されないが、多層絶縁フィルムの第1層及び第2層を構成している樹脂の硬化反応及び熱収縮等を考慮した場合、30〜90分が好ましい。   In addition, although it does not specifically limit about heat processing time, When considering the curing reaction of the resin which comprises the 1st layer and 2nd layer of a multilayer insulating film, a heat shrink, etc., 30 to 90 minutes are preferable.

積層した多層プリント配線板をセミアディティブ法により導体パターンを形成する際、樹脂表面を膨潤工程、粗化させる工程、粗化した樹脂表面にメッキ触媒を付着させる工程、更にメッキする工程を行うが、膨潤処理方法としては、特に限定されず、従来公知の手法により行われる。例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホシキド、N−メチル2ピロリドン、ピリジン、硫酸、スルホン酸などを主成分とする化合物の水溶液や有機溶媒分散溶液による処理方法等が挙げられる。この中で、例えば、エチレングリコールを含んだ水溶液などを用いて、処理温度60〜85℃で1〜20分間、多層プリント配線板を浸漬揺動させる方法が好適である。   When forming a conductive pattern on the laminated multilayer printed wiring board by the semi-additive method, the resin surface is swollen, roughened, the plating catalyst is attached to the roughened resin surface, and further plated. The swelling treatment method is not particularly limited, and is performed by a conventionally known method. For example, a treatment method using an aqueous solution or a dispersion solution of an organic solvent containing a compound mainly composed of dimethylformamide, dimethylsulfoxide, N-methyl-2-pyrrolidone, pyridine, sulfuric acid, sulfonic acid, and the like can be given. Among these, for example, a method of immersing and shaking the multilayer printed wiring board at a processing temperature of 60 to 85 ° C. for 1 to 20 minutes using an aqueous solution containing ethylene glycol is suitable.

また、多層絶縁フィルムの表面を粗化処理する方法としては、特に限定されず、従来公知の手法により行われる。例えば、過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウムなどのマンガン化合物、重クロム酸カリウム、無水クロム酸カリウムなどのクロム化合物、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸化合物を主成分とする化学酸化剤の水溶液や有機溶媒分散溶液による処理方法などが挙げられる。この中で、例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液、30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度70〜85℃で1又は2回、上記多層プリント配線板を浸漬揺動させる方法が好適である。粗化した樹脂表面にメッキ触媒を付着させる工程や、更にメッキする工程については、公知の方法を採用することにより行うことができる。   Moreover, it does not specifically limit as a method of roughening the surface of a multilayer insulation film, It performs by a conventionally well-known method. For example, manganese compounds such as potassium permanganate and sodium permanganate, chromium compounds such as potassium dichromate and anhydrous potassium chromate, and persulfate compounds such as sodium persulfate, potassium persulfate and ammonium persulfate are the main components. Examples thereof include a treatment method using an aqueous solution of a chemical oxidant and an organic solvent dispersion solution. Among these, for example, 30 to 90 g / L permanganic acid or permanganate solution, 30 to 90 g / L sodium hydroxide solution is used, and the above multilayer printed wiring is once or twice at a processing temperature of 70 to 85 ° C. A method in which the plate is immersed and swung is suitable. The step of attaching the plating catalyst to the roughened resin surface and the step of further plating can be performed by adopting a known method.

多層プリント配線板においては、多層絶縁フィルム層にビアホールがある場合には、多層絶縁フィルムの表面の粗化処理を行うことで、同時にデスミア処理も行うことが可能である。   In a multilayer printed wiring board, when a multilayer insulating film layer has a via hole, it is possible to perform a desmear process at the same time by performing a roughening process on the surface of the multilayer insulating film.

高粘度の第1層(A1)と、無機材料を多く含み高流動性である第2層(A2)の構成よりなる多層絶縁フィルムを用いて、上記の工程を経ることで、表面にビアホール等の孔や回路パターンの凹凸を有する基板上に、絶縁膜を積層する場合でも、部位による収縮率に差が生じにくく、かつ、樹脂シートの表面平坦性が充分に確保され、絶縁層厚みが一定に保たれた多層プリント配線板を得ることができる。第1層(A1)は、重量平均分子量が5000以上の高分子材料(d)を5〜60重量%含有しているので、プレス時に圧力がかかっても、流動せずに初期厚みを維持できるので、狙いの絶縁層厚みに仕上げることが可能であると共に、好ましい態様であるイミダゾールシランカップリング剤により表面処理されたシリカを5〜50重量%含有させることで、メッキ前処理後の粗面を微細にすることができる。一方、第2層(A2)は、無機充填材(c2)の合計量を30〜90重量%とすることにより、プレス時の樹脂流動後の収縮量を小さくできるので、平坦性を充分確保することができる。   By using the multilayer insulating film composed of the first layer (A1) having a high viscosity and the second layer (A2) containing a large amount of inorganic material and having a high fluidity, a via hole or the like is formed on the surface through the above process. Even when an insulating film is laminated on a substrate having uneven holes or circuit pattern irregularities, the difference in shrinkage due to the site is unlikely to occur, the surface flatness of the resin sheet is sufficiently secured, and the insulating layer thickness is constant. A multilayer printed wiring board maintained in the above can be obtained. Since the first layer (A1) contains 5 to 60% by weight of the polymer material (d) having a weight average molecular weight of 5000 or more, even if pressure is applied during pressing, the initial thickness can be maintained without flowing. Therefore, it is possible to finish the target insulating layer thickness, and by adding 5 to 50% by weight of silica surface-treated with an imidazole silane coupling agent which is a preferred embodiment, the rough surface after pre-plating treatment can be obtained. It can be made fine. On the other hand, since the second layer (A2) can reduce the amount of shrinkage after resin flow during pressing by setting the total amount of the inorganic filler (c2) to 30 to 90% by weight, sufficient flatness is ensured. be able to.

以下、本発明を実施例及び比較例を挙げることにより、具体的に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。実施例及び比較例では、以下の材料を用いた。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated concretely, this invention is not limited to a following example. In the examples and comparative examples, the following materials were used.

(使用した材料):
[エポキシ系樹脂(熱硬化性樹脂)]
ビフェニル系エポキシ樹脂(1)(商品名「NC−3000FH」、エポキシ当量340、日本化薬社製)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(2)(商品名「エピコート828US」、エポキシ当量183、JER社製)
ビフェニル系エポキシ樹脂(3)(商品名「NC−3000H」、エポキシ当量288、日本化薬社製)
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(4)(商品名「EPICLON830S」、エポキシ当量168、大日本インキ化学工業社製)
(Materials used):
[Epoxy resin (thermosetting resin)]
Biphenyl epoxy resin (1) (trade name “NC-3000FH”, epoxy equivalent 340, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Bisphenol A type epoxy resin (2) (trade name “Epicoat 828US”, epoxy equivalent 183, manufactured by JER)
Biphenyl epoxy resin (3) (trade name “NC-3000H”, epoxy equivalent 288, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Bisphenol F type epoxy resin (4) (trade name “EPICLON830S”, epoxy equivalent 168, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.)

[エポキシ樹脂硬化剤]
フェノール系硬化剤(1)(商品名「MEH7851−4H」、Pst換算での重量平均分子量10200、OH当量241、明和化成社製)
[Epoxy resin curing agent]
Phenolic curing agent (1) (trade name “MEH7851-4H”, weight average molecular weight 10200 in terms of Pst, OH equivalent 241, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.)

[硬化促進剤]
促進剤(1)(商品名「2MAOK−PW」、四国化成社製)
促進剤(2)(商品名「トリフェニルホスフィン」、和光純薬社製)
[Curing accelerator]
Accelerator (1) (trade name “2MAOK-PW”, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.)
Accelerator (2) (trade name “Triphenylphosphine”, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

[層状珪酸塩(合成ヘクトライト)]
トリオクチルメチルアンモニウム塩で化学処理が施された合成ヘクトライト
[シリカ]
シリカ(1)(龍森社製、平均粒径0.2μm)をイミダゾールシラン(商品名「IM−1000」日興マテリアルズ社製)により表面処理したシリカ
シリカ(2)(アドマテックス社製、平均粒径0.3μm)をイミダゾールシラン(商品名「IM−1000」日興マテリアルズ社製)により表面処理したシリカ
[Layered silicate (synthetic hectorite)]
Synthetic hectorite treated with trioctylmethylammonium salt [silica]
Silica silica (2) (manufactured by Admatechs, average) silica (1) (manufactured by Tatsumori Co., Ltd., average particle size 0.2 μm) surface-treated with imidazole silane (trade name “IM-1000” manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.) Silica whose surface was treated with imidazole silane (trade name “IM-1000” manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.)

[高分子材料]
フェノキシ樹脂(1)(商品名「YX6954BH30」、Pst換算での重量平均分子量39000、固形分30%、MEK35%、シクロヘキサノン35%、ジャパンエポキシレジン社製)
フェノキシ樹脂(2)(商品名「1255HX30BPAタイプ」、Pst換算での重量平均分子量49000、固形分30%、キシレン35%、シクロヘキサノン35%、ジャパンエポキシレジン社製)
[Polymer material]
Phenoxy resin (1) (trade name “YX6954BH30”, weight average molecular weight 39000 in terms of Pst, solid content 30%, MEK 35%, cyclohexanone 35%, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.)
Phenoxy resin (2) (trade name “1255HX30BPA type”, weight average molecular weight 49000 in terms of Pst, solid content 30%, xylene 35%, cyclohexanone 35%, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.)

[溶剤]
N,N−ジメチルホルムアミド(特級試薬、和光純薬工業社製)
[solvent]
N, N-dimethylformamide (special grade reagent, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

[実施例1]:
<回路基板の作製>
ガラスエポキシ基板(商品名「FR−4」、品番「CS−3665(100mm×100mm×0.4mm)」、利昌工業社製)上に、穴開けドリルで、φ300μm、φ700μm、φ1.5mmのスルーホールを50個ずつ形成した。
そのFR−4基板の下側片面に、ノバデュラン5040ZS(三菱エンジニアリング社製)を溶融し、Tダイで押出成形してなる厚さ80μmのフィルムを、ロールラミネーターを用いて200℃でラミネートして、片面が保護フィルムで蓋をされたガラスエポキシ基板からなる回路基板(A)を得た。
[Example 1]:
<Production of circuit board>
On a glass epoxy board (trade name “FR-4”, product number “CS-3665 (100 mm × 100 mm × 0.4 mm)”, manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.) with a drill hole, φ300 μm, φ700 μm, φ1.5 mm through 50 holes were formed.
On the lower surface of the FR-4 substrate, NOVADURAN 5040ZS (Mitsubishi Engineering Co., Ltd.) is melted, and a film having a thickness of 80 μm formed by extrusion molding with a T die is laminated at 200 ° C. using a roll laminator. A circuit board (A) made of a glass epoxy substrate having one surface covered with a protective film was obtained.

<多層絶縁フィルムの作製>
基材として、銅箔(NA−DEF、三井金属社製、mat面、算術平均粗さ(以後Ra):250nm、十点平均粗さ(以後Rz):2.5μm)上に、表1の実施例1に係る多層絶縁フィルムの第1層を構成する原料配合からなる樹脂混合物を、ダイコーターにて仕上がり膜厚20μmとなるように塗工後、加熱乾燥炉内で140℃、15分間の加熱処理を行うことにより、硬化フィルムを得た。
<Production of multilayer insulation film>
As a base material, on copper foil (NA-DEF, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., mat surface, arithmetic average roughness (hereinafter Ra): 250 nm, ten-point average roughness (hereinafter Rz): 2.5 μm), After coating the resin mixture comprising the raw material composition constituting the first layer of the multilayer insulating film according to Example 1 to a finished film thickness of 20 μm with a die coater, 140 ° C. for 15 minutes in a heating and drying furnace. A cured film was obtained by heat treatment.

次に、前記硬化フィルム上に、表1の実施例1の第2層を構成する原料配合からなる樹脂混合物を、ダイコーターにて仕上がり膜厚120μmとなるように塗工後、加熱乾燥炉内にて120℃、12分間の加熱処理を行い、その上に、保護フィルムとしてPETフィルム(東洋紡社製、厚み35μm、Ra:70nm、Rz:1.2μm)を貼り合わせることにより、基材と第1層及び第2層、ならびに保護フィルムからなる多層絶縁フィルム(C)を得た。   Next, on the cured film, a resin mixture composed of the raw material composition constituting the second layer of Example 1 of Table 1 is coated with a die coater so as to have a film thickness of 120 μm, and then in a heating and drying furnace. Heat treatment for 12 minutes at 120 ° C., and a PET film (thickness: 35 μm, Ra: 70 nm, Rz: 1.2 μm, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) as a protective film, A multilayer insulating film (C) composed of the first and second layers and the protective film was obtained.

<プレス処理>
多層絶縁フィルム(C)から保護フィルムを剥離した多層絶縁フィルム(C’)を準備した。下からSUS板(200mm×200mm×1.5mm)、ガラスエポキシ基板からなる回路基板(A)、多層絶縁フィルム(C’)(第2層が作製された回路基板に接するように配置)、SUS板(200mm×200mm×1。5mm)の順に重ねて、真空プレス機(ミカドテクノス社製)に設置し、100℃、4MPaで10分間圧着処理を行った。
<Press processing>
A multilayer insulating film (C ′) obtained by peeling off the protective film from the multilayer insulating film (C) was prepared. From the bottom, a SUS plate (200 mm × 200 mm × 1.5 mm), a circuit board (A) made of a glass epoxy substrate, a multilayer insulating film (C ′) (arranged so as to contact the circuit board on which the second layer is formed), SUS The plates (200 mm × 200 mm × 1.5 mm) were stacked in this order and placed in a vacuum press (manufactured by Mikado Technos Co., Ltd.), and subjected to pressure bonding treatment at 100 ° C. and 4 MPa for 10 minutes.

<加熱処理1>
多層絶縁フィルム(C’)が圧着され、スルーホールが樹脂で充填された回路基板(B)を、ギアオーブン中で、120℃、10分間の加熱処理を行った。
<Heat treatment 1>
The circuit board (B) in which the multilayer insulating film (C ′) was pressure-bonded and the through holes were filled with resin was subjected to a heat treatment at 120 ° C. for 10 minutes in a gear oven.

<加熱処理2>
更にギアオーブン中で、170℃、60分間の加熱処理を行い回路基板(C)を得た。
<Heat treatment 2>
Furthermore, heat treatment was performed at 170 ° C. for 60 minutes in a gear oven to obtain a circuit board (C).

<エッチング>
回路基板(C)上の基材の銅箔は、塩化第二鉄により常温で5分間揺動させながらエッチングし、銅箔を除去して、第1層を最外面として露出した。その後、純粋でよく洗浄した。
<Etching>
The base copper foil on the circuit board (C) was etched while being rocked with ferric chloride at room temperature for 5 minutes to remove the copper foil and expose the first layer as the outermost surface. Then it was pure and well washed.

<粗化メッキ>
次いで、多層絶縁フィルム(C’)の露出した第1層の表面に粗化処理を行った。70℃の過マンガン酸カリウム(コンセントレートコンパクトCP、アトテックジャパン社製)粗化水溶液に、多層絶縁フィルムを入れて5分間揺動させる処理を行った。また、過マンガン酸塩処理が終了した多層絶縁フィルムを、25℃の洗浄液(リダクションセキュリガントP、アトテックジャパン社製)を用いて2分間処理した後、純粋でよく洗浄し、乾燥させた。
次に、粗化処理された第1層が最外面となった多層絶縁フィルムに銅メッキ処理を行った。多層絶縁フィルムを60℃のアルカリクリーナ(クリーナーセキュリガント902)で5分間処理し、表面を脱脂洗浄した。洗浄後、多層絶縁フィルムを25℃のプリディップ液(プリディップネオガントB)で2分間処理した。その後、多層絶縁フィルムを40の℃のアクチベーター液(アクチベーターネオガント834)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(リデューサーネオガントWA)で5分間処理した。次に、多層絶縁フィルムを化学銅液(ベーシックプリントガントMSK−DK、カッパープリントガントMSK、スタビライザープリントガントMSK)に入れ、無電解メッキをメッキ厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解メッキ後は、残留水素ガス除去のため、120℃の温度で30分間アニールをかけた。無電解メッキの工程までのすべての工程においては、ビーカースケールで処理液を1Lとし、多層絶縁フィルムを揺動させながら各工程を実施した。
次に、無電解メッキ処理された樹脂シートに、電解メッキをメッキ厚さが20μmとなるまで実施した。電気銅メッキとして硫酸銅(リデューサーCu)を用い、電流は0.6A/cmとした。180℃×1hrのアフターベークを行った。その後、純水でよく洗浄し、真空乾燥機でよく乾燥させた。
<Roughening plating>
Next, a roughening treatment was performed on the exposed surface of the first layer of the multilayer insulating film (C ′). A 70 ° C. potassium permanganate (concentrate compact CP, manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) roughened aqueous solution was placed in a multilayer insulating film and subjected to a swinging treatment for 5 minutes. In addition, the multi-layer insulating film after the permanganate treatment was treated for 2 minutes using a cleaning solution (Reduction Securigant P, manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 25 ° C., and then washed thoroughly and dried.
Next, the copper plating process was performed to the multilayer insulating film in which the roughened first layer became the outermost surface. The multilayer insulating film was treated with an alkali cleaner (cleaner securigant 902) at 60 ° C. for 5 minutes to degrease and clean the surface. After washing, the multilayer insulating film was treated with a 25 ° C. pre-dip solution (Pre-dip Neogant B) for 2 minutes. Thereafter, the multilayer insulating film was treated with an activator solution (activator Neogant 834) at 40 ° C. for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Next, it was treated with a reducing solution (reducer Neogant WA) at 30 ° C. for 5 minutes. Next, the multilayer insulating film was placed in a chemical copper solution (basic print Gantt MSK-DK, copper print Gantt MSK, stabilizer print Gantt MSK), and electroless plating was performed until the plating thickness reached about 0.5 μm. After electroless plating, annealing was performed at a temperature of 120 ° C. for 30 minutes to remove residual hydrogen gas. In all the processes up to the electroless plating process, each process was performed while the processing liquid was 1 L on a beaker scale and the multilayer insulating film was swung.
Next, electrolytic plating was performed on the electroless plated resin sheet until the plating thickness reached 20 μm. Copper sulfate (reducer Cu) was used as the electrolytic copper plating, and the current was 0.6 A / cm 2 . After baking at 180 ° C. × 1 hr was performed. Thereafter, it was thoroughly washed with pure water and thoroughly dried with a vacuum dryer.

[実施例2〜21(実施例2、3、5〜8、10〜13、16〜21は参考例)及び比較例1〜5]:
多層絶縁フィルム(C)の原料配合、加熱乾燥条件、第1層ゲル分率などを下記表1〜4に示すようにしたこと以外は、実施例1と同様にして、回路基板の作製、多層絶縁フィルムの作製、プレス処理及び加熱処理を行った。
尚、比較例3については、多層絶縁フィルムの第1層は、実施例2と同様にして行い、硬化フィルム(a)を得た。次に、保護フィルムとしてのPETフィルム(東洋紡社製、厚み35μm、Ra:70nm、Rz:1.2μm)上に、実施例2の第2層を構成する原料配合からなる樹脂組成物を、ダイコーターにて仕上がり膜厚120μmとなるように、塗工後、加熱乾燥炉内にて、120℃、12分間の加熱処理を行うことにより、硬化フィルム(b)を得た。そして、硬化フィルム(a)と硬化フィルム(b)を、120℃で真空ラミネートにて張り合わせることにより、基材と第1層および第2層および保護フィルムからなる多層絶縁フィルムを得た。また、実施例2と同様のプレス処理及び加熱処理を行った。
[Examples 2 to 21 ( Examples 2, 3, 5 to 8, 10 to 13, 16 to 21 are reference examples) and Comparative Examples 1 to 5]:
The production of the circuit board, the multilayer, in the same manner as in Example 1, except that the raw material composition of the multilayer insulating film (C), the heating and drying conditions, the first layer gel fraction, etc. were as shown in Tables 1 to 4 below. Production of an insulating film, press treatment, and heat treatment were performed.
In addition, about the comparative example 3, the 1st layer of the multilayer insulating film was performed like Example 2, and the cured film (a) was obtained. Next, on a PET film (Toyobo Co., Ltd., thickness 35 μm, Ra: 70 nm, Rz: 1.2 μm) as a protective film, a resin composition comprising the raw material composition constituting the second layer of Example 2 was A cured film (b) was obtained by performing a heat treatment at 120 ° C. for 12 minutes in a heating and drying furnace after coating so that the film thickness was 120 μm. And the multilayer insulating film which consists of a base material, a 1st layer, a 2nd layer, and a protective film was obtained by bonding together the cured film (a) and the cured film (b) by 120 degreeC by vacuum lamination. Moreover, the press processing and heat processing similar to Example 2 were performed.

(実施例及び比較例の評価)
1.埋め込み性
回路基板(C)のスルーホール部分の断面を金属顕微鏡(OLYMPAS MM6−LS22)で観察し、多層絶縁フィルム(C)が下部まで封止されているものを○、封止されていないものを×とした。なお、封止の可否判断は、スルーホール部分の断面の気泡の存在の有無(無しを○、有りを×とした)で行った。
(Evaluation of Examples and Comparative Examples)
1. Embeddability The cross-section of the through-hole part of the circuit board (C) is observed with a metal microscope (OLYMPAS MM6-LS22). The multilayer insulation film (C) is sealed to the bottom. Was marked with x. Whether or not sealing was possible was determined based on the presence or absence of bubbles in the cross-section of the through-hole portion (the absence was marked with ◯ and the presence with x).

2.粗化接着強度
基材に銅箔を用いた実施例は、銅箔が薄すぎて測定が困難であったため、銅箔を取り除いた後にメッキを施して評価を行った。
多層絶縁フィルム(C)を、ガラスエポキシ基板(FR−4、品番「CS−3665」、利昌工業社製)に120℃で加熱ラミネートし、基材を剥離して、その後170℃のギアオーブン中で1時間加熱して、第1層の表面を、下記の過マンガン酸塩処理、即ち粗化処理を行った。
2. Roughening adhesive strength Since the example using a copper foil as a base material was difficult to measure because the copper foil was too thin, it was evaluated after plating after removing the copper foil.
The multilayer insulating film (C) is heated and laminated at 120 ° C. on a glass epoxy substrate (FR-4, product number “CS-3665”, manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.), and the base material is peeled off, and then in a 170 ° C. gear oven. The surface of the first layer was subjected to the following permanganate treatment, that is, roughening treatment.

(1)過マンガン酸塩処理:
70℃の過マンガン酸カリウム(コンセントレートコンパクトCP、アトテックジャパン社製)粗化水溶液に、多層絶縁フィルムを入れて5分間揺動させる処理を行った。また、過マンガン酸塩処理が終了した多層絶縁フィルムを、25℃の洗浄液(リダクションセキュリガントP、アトテックジャパン社製)を用いて2分間処理した後、純粋でよく洗浄し、乾燥させた。
(1) Permanganate treatment:
A 70 ° C. potassium permanganate (concentrate compact CP, manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) roughened aqueous solution was placed in a multilayer insulating film and subjected to a swinging treatment for 5 minutes. In addition, the multi-layer insulating film after the permanganate treatment was treated for 2 minutes using a cleaning solution (Reduction Securigant P, manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 25 ° C., and then washed thoroughly and dried.

(2)銅メッキ処理:
次に、粗化処理された第1層が最外面となった多層絶縁フィルムに銅メッキ処理を行った。多層絶縁フィルムを60℃のアルカリクリーナ(クリーナーセキュリガント902、アトテックジャパン社製)で5分間処理し、表面を脱脂洗浄した。洗浄後、多層絶縁フィルムを25℃のプリディップ液(プリディップネオガントB、アトテックジャパン社製)で2分間処理した。その後、多層絶縁フィルムを40の℃のアクチベーター液(アクチベーターネオガント834、アトテックジャパン社製)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(リデューサーネオガントWA、アトテックジャパン社製)で5分間処理した。次に、多層絶縁フィルムを化学銅液(ベーシックプリントガントMSK−DK、カッパープリントガントMSK、スタビライザープリントガントMSK、いずれもアトテックジャパン社製)に入れ、無電解メッキをメッキ厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解メッキ後は、残留水素ガス除去のため、120℃の温度で30分間アニールをかけた。無電解メッキの工程までのすべての工程においては、ビーカースケールで処理液を1Lとし、多層絶縁フィルムを揺動させながら各工程を実施した。
次に、無電解メッキ処理された樹脂シートに、電解メッキをメッキ厚さが20μmとなるまで実施した。電気銅メッキとして、硫酸銅(リデューサーCu、アトテックジャパン社製)を用い、電流は0.6A/cmとした。180℃×1hrのアフターベークを行った。得られた硬化物の銅層に、10mm幅に切り欠きを入れて、クロスヘッド速度5mm/分の条件で測定を行い、粗化接着強度を測定した。
具体的な粗化接着強度測定方法は、得られた銅箔メッキを施された回路基板に10mm幅に切り欠きを入れて、この回路基板を引張試験機(商品名「オートグラフ」、島津製作所社製)に固定し、銅層をチャックにセットして、引張試験機(商品名「オートグラフ」、島津製作所社製)を用いて、クロスヘッド速度5mm/分の条件で測定を行い、粗化した絶縁樹脂層と銅メッキとの接着強度を測定した。
(2) Copper plating treatment:
Next, the copper plating process was performed to the multilayer insulating film in which the roughened first layer became the outermost surface. The multilayer insulating film was treated with an alkali cleaner (cleaner securigant 902, manufactured by Atotech Japan) for 5 minutes, and the surface was degreased and washed. After washing, the multilayer insulating film was treated with a predip solution at 25 ° C. (Predip Neogant B, manufactured by Atotech Japan) for 2 minutes. Thereafter, the multilayer insulating film was treated with an activator solution at 40 ° C. (activator Neogant 834, manufactured by Atotech Japan) for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Next, it was treated for 5 minutes with a 30 ° C. reducing solution (reducer Neogant WA, manufactured by Atotech Japan). Next, the multilayer insulation film is placed in a chemical copper solution (basic print Gantt MSK-DK, copper print Gantt MSK, stabilizer print Gantt MSK, all manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.), and electroless plating is about 0.5 μm thick. It was carried out until. After electroless plating, annealing was performed at a temperature of 120 ° C. for 30 minutes to remove residual hydrogen gas. In all the processes up to the electroless plating process, each process was performed while the processing liquid was 1 L on a beaker scale and the multilayer insulating film was swung.
Next, electrolytic plating was performed on the electroless plated resin sheet until the plating thickness reached 20 μm. As the electrolytic copper plating, copper sulfate (reducer Cu, manufactured by Atotech Japan) was used, and the current was 0.6 A / cm 2 . After baking at 180 ° C. × 1 hr was performed. The copper layer of the obtained cured product was notched into a width of 10 mm and measured under the condition of a crosshead speed of 5 mm / min to measure the roughened adhesive strength.
A specific method for measuring the roughened adhesive strength is to cut a 10 mm width notch into the obtained copper foil-plated circuit board, and use this tensile strength tester (trade name “Autograph”, Shimadzu Corporation). The copper layer is set on the chuck and measured using a tensile tester (trade name “Autograph”, manufactured by Shimadzu Corporation) under the condition of a crosshead speed of 5 mm / min. The adhesion strength between the insulated insulating resin layer and the copper plating was measured.

3.表面粗さ
ガラスエポキシ基板(FR−4、品番「CS−3665」、利昌工業社製)に多層絶縁フィルムを加圧プレスし、過マンガン酸塩による粗化処理を行った。得られた硬化物を走査型レーザー顕微鏡(品番「1LM21」、レーザーテック社製)にて100μmの測定範囲における表面粗さ(Ra,Rz)を測定した。
3. Surface Roughness A multilayer insulating film was pressure-pressed on a glass epoxy substrate (FR-4, product number “CS-3665”, manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.), and roughened with permanganate. The obtained cured product was measured for surface roughness (Ra, Rz) in a measuring range of 100 μm 2 with a scanning laser microscope (product number “1LM21”, manufactured by Lasertec Corporation).

4.絶縁層厚み
スルーホール部分及びビアが存在しない任意の50箇所の回路基板断面を観察し、多層絶縁フィルム(C)が圧着された回路基板の上面側の面から、多層絶縁フィルムの樹脂成分までの最上点までの距離を計測し、絶縁層厚みを算出した。
絶縁層厚みは、第1層の元の厚さに対して80%以上であることが好ましく、元の厚みの90%以上であるものが更に好ましい。
4). Insulating layer thickness Observe the cross section of any 50 circuit boards where no through-holes and vias exist, and from the upper surface side of the circuit board to which the multilayer insulating film (C) is bonded to the resin component of the multilayer insulating film. The distance to the top point was measured and the insulating layer thickness was calculated.
The insulating layer thickness is preferably 80% or more with respect to the original thickness of the first layer, and more preferably 90% or more of the original thickness.

5.凹凸
スルーホール部分の任意の50箇所の回路基板断面を観察し、回路基板の上面側の面からスルーホール近傍の多層絶縁フィルム(C)の樹脂成分までの最上点までの距離から、多層絶縁フィルム(C)が圧着された回路基板の上面側の面からスルーホール中心部の最下点までの距離を引いた値の平均値を凹凸として算出した。
凹凸は、絶縁層厚みに対して30%以下であることが好ましく、20%以下であるものが更に好ましい。
5. Irregularities The cross section of the circuit board at any 50 locations in the through-hole part is observed, and the multilayer insulation film is determined from the distance from the upper surface of the circuit board to the uppermost point of the multilayer insulation film (C) in the vicinity of the through-hole. The average value of values obtained by subtracting the distance from the surface on the upper surface side of the circuit board to which (C) was pressure-bonded to the lowest point of the through-hole central portion was calculated as unevenness.
The unevenness is preferably 30% or less, more preferably 20% or less, with respect to the insulating layer thickness.

6.厚みバラツキ
スルーホール部分及びビアが存在しない任意の50箇所の回路基板断面を観察し、多層絶縁フィルム(C)が圧着された回路基板の上面側の面から、多層絶縁フィルムの樹脂成分までの最上点までの距離を計測し、これらの値の最大値から最小値を引いた値をバラツキとして算出した。
バラツキは、絶縁層厚みに対して40%以下であることが好ましく、30%以下であるものが更に好ましい。
6). Variation in thickness Observe the cross-sections of any 50 circuit boards where there are no through-holes and vias. From the top surface of the circuit board to which the multilayer insulation film (C) is bonded to the resin component of the multilayer insulation film The distance to the point was measured, and the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of these values was calculated as the variation.
The variation is preferably 40% or less, more preferably 30% or less with respect to the insulating layer thickness.

7.第1層と第2層の剥離性
回路基板(C)のスルーホール部分の断面を金属顕微鏡(OLYMPAS MM6−LS22)で観察し、第1層と第2層の界面で剥離が発生していないかどうかを観察した。
7). Peelability of first layer and second layer The cross section of the through-hole portion of the circuit board (C) is observed with a metal microscope (OLYMPAS MM6-LS22), and no peeling occurs at the interface between the first layer and the second layer. Observed whether or not.

8.第1層のゲル分率
各実施例および各比較例で作製した第1層の硬化フィルムのゲル分率を測定した。
まず、第1層の硬化フィルムを50mm×50mmのサイズに切り出し重量(Wo)を測定した。次に、常温(23℃)のN,N−ジメチルホルムアミド(和光純薬工業社製)が満たされたガラス瓶に50mm×50mmのサイズに切り出した実施例1〜12および比較例1〜10の第1層の硬化フィルムを10分間浸漬し、金属メッシュ(2000番)にてろ過を行い、前記金属メッシュおよび金属メッシュ上の残留物を170℃1時間加熱乾燥し、そのときの重量(W1)を測定した。そして、重量(Wo)、重量(W1)および金属メッシュの重量(Wc)から、以下の計算式にてゲル分率(%)を算出した。
ゲル分率(%)={(W1)−(Wc)}/Wo×100
8). Gel fraction of 1st layer The gel fraction of the cured film of the 1st layer produced in each Example and each comparative example was measured.
First, the cured film of the first layer was cut into a size of 50 mm × 50 mm, and the weight (Wo) was measured. Next, Examples 1-12 and Comparative Examples 1-10, which were cut out to a size of 50 mm × 50 mm in glass bottles filled with N, N-dimethylformamide (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) at room temperature (23 ° C.). One layer of the cured film is immersed for 10 minutes, filtered through a metal mesh (No. 2000), the metal mesh and the residue on the metal mesh are heated and dried at 170 ° C. for 1 hour, and the weight (W1) at that time is It was measured. Then, the gel fraction (%) was calculated from the weight (Wo), the weight (W1), and the weight (Wc) of the metal mesh by the following formula.
Gel fraction (%) = {(W1) − (Wc)} / Wo × 100

また、上記の評価結果を、多層絶縁フィルムの組成、製造条件などと共に、下記表1〜4に示す。   Moreover, said evaluation result is shown to following Tables 1-4 with a composition, manufacturing conditions, etc. of a multilayer insulation film.

Figure 0004922207
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表1〜4の評価結果などから、本発明の製造方法から得られた多層絶縁フィルムは、第1層及び第2層の各厚みを均一にでき、スルーホール等のような孔やビアホール等の凹凸等を有する回路基板に多層絶縁フィルムを積層する場合でも、ボイドが生じにくく、かつ、表面平坦性が充分に確保され、多層絶縁フィルムの第1層の厚みを均一に保つことができ、第1層と第2層が剥離し難いことが判った。また、本発明に係る多層プリント配線板の製造方法によれば、ビアホール等の孔や回路パターンの凹凸を有する回路基板上に多層絶縁フィルムを積層する場合でも、多層絶縁フィルムの積層部位による収縮率に差が生じにくく、極めて良好な厚さ精度を有し、かつ、多層絶縁フィルムの表面平坦性が充分に確保された回路基板と多層絶縁フィルムとからなる多層プリント配線板を得ることができる。そのため、本発明に係る多層絶縁フィルムを絶縁層として用いた多層プリント配線板は、金属配線を用いて回路を回路基板上に形成した際に、厚さ方向の電気抵抗と電気信号の長さのばらつきが少なくなり、信号のノイズ等が低減できる。   From the evaluation results of Tables 1 to 4, the multilayer insulating film obtained from the production method of the present invention can make the thicknesses of the first layer and the second layer uniform, such as a hole such as a through hole or a via hole. Even when a multilayer insulating film is laminated on a circuit board having irregularities, etc., voids are hardly generated, surface flatness is sufficiently secured, and the thickness of the first layer of the multilayer insulating film can be kept uniform. It was found that the first layer and the second layer were difficult to peel off. In addition, according to the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, even when a multilayer insulating film is laminated on a circuit board having via holes or other circuit pattern irregularities, the shrinkage rate due to the laminated portion of the multilayer insulating film Therefore, it is possible to obtain a multilayer printed wiring board composed of a circuit board and a multilayer insulating film in which the surface flatness of the multilayer insulating film is sufficiently ensured. Therefore, the multilayer printed wiring board using the multilayer insulating film according to the present invention as an insulating layer has an electrical resistance in the thickness direction and a length of an electrical signal when a circuit is formed on the circuit board using metal wiring. Variations are reduced and signal noise can be reduced.

本発明の多層絶縁フィルムの製造方法は、スルーホールやビアホール等の孔や回路パターン等の凹凸を有する回路基板上に、多層絶縁フィルムを積層する場合に、基板内部にボイドが生じにくく、表面平坦性が充分に確保され、多層絶縁フィルムの第1層の厚みを均一に保つことができ、第1層と第2層が剥離し難い多層絶縁フィルムを生産性良く製造できる方法を提供し、産業上、利用可能性が高いものである。   The method for producing a multilayer insulation film of the present invention is such that when a multilayer insulation film is laminated on a circuit board having irregularities such as through holes and via holes and circuit patterns, voids are not easily generated inside the board, and the surface is flat. Providing a method capable of producing a multilayer insulating film with sufficient productivity, capable of maintaining a uniform thickness of the first layer of the multilayer insulating film, and preventing the first layer and the second layer from being peeled off with high productivity, In addition, it is highly available.

Claims (7)

基材(B)と、基材(B)に接する第1層(A1)および第2層(A2)からなる絶縁層(A)とを具備してなる多層絶縁フィルムの製造方法であって、
絶縁層(A)は、熱硬化性樹脂(a1)、硬化剤(b1)、無機充填材(c1)および重量平均分子量5000以上の樹脂を含有する高分子材料(d)を含む樹脂組成物(I)であって、該重量平均分子量5000以上の樹脂を組成物(I)全量基準で5〜60重量%含む樹脂組成物(I)をフィルム状に形成し、ジメチルホルムアミドに常温10分浸漬させたときのゲル分率が72〜94%になるように硬化させ、第1層(AI)の硬化フィルムを作製する第一の工程と、引き続き、該硬化フィルムに、熱硬化性樹脂(a2)、硬化剤(b2)および組成物(II)の固形分全量基準で30〜90重量%の無機充填材(c2)を含む樹脂組成物(II)からなる第2層(A2)を積層する第二の工程とを経て、形成されることを特徴とする多層絶縁フィルムの製造方法。
A method for producing a multilayer insulating film comprising a substrate (B) and an insulating layer (A) comprising a first layer (A1) and a second layer (A2) in contact with the substrate (B),
The insulating layer (A) is a resin composition comprising a thermosetting resin (a1), a curing agent (b1), an inorganic filler (c1), and a polymer material (d) containing a resin having a weight average molecular weight of 5000 or more ( I) , a resin composition (I) containing 5 to 60% by weight of the resin having a weight average molecular weight of 5000 or more based on the total amount of the composition (I) is formed into a film and immersed in dimethylformamide at room temperature for 10 minutes. gel fraction cured so that 72-94% of the time were, a first step of preparing a cured film of the first layer (AI), subsequently, the cured film, a thermosetting resin (a2) The second layer (A2) comprising the resin composition (II) containing 30 to 90% by weight of the inorganic filler (c2) based on the total solid content of the curing agent (b2) and the composition (II) is laminated. It is formed through two processes. A method for producing a multilayer insulating film.
前記第1層(A1)の硬化フィルムを作製する際の硬化温度が130〜150℃の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の多層絶縁フィルムの製造方法。   2. The method for producing a multilayer insulating film according to claim 1, wherein a curing temperature in producing the cured film of the first layer (A1) is in the range of 130 to 150 ° C. 3. 前記高分子材料(d)に含有される重量平均分子量5000以上の樹脂がフェノキシ樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の多層絶縁フィルムの製造方法。   The method for producing a multilayer insulating film according to claim 1, wherein the resin having a weight average molecular weight of 5000 or more contained in the polymer material (d) is a phenoxy resin. 前記無機充填材(c1)は、イミダゾールシランカップリング剤による表面処理がされたシリカであり、かつ該シリカが組成物(I)の固形分全量基準で5〜50重量%含有されていることを特徴とする請求項1に記載の多層絶縁フィルムの製造方法。   The inorganic filler (c1) is silica that has been surface-treated with an imidazole silane coupling agent, and the silica is contained in an amount of 5 to 50% by weight based on the total solid content of the composition (I). The manufacturing method of the multilayer insulation film of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記無機充填材(c2)として、シリカ及び層状珪酸塩を含有し、該層状珪酸塩が組成物(II)の固形分全量基準で0.01〜5重量%であることを特徴とする請求項1に記載の多層絶縁フィルムの製造方法。   The inorganic filler (c2) contains silica and a layered silicate, and the layered silicate is 0.01 to 5% by weight based on the total solid content of the composition (II). 2. A method for producing a multilayer insulating film according to 1. 前記熱硬化性樹脂(a1、a2)は、エポキシ樹脂であり、および前記硬化剤(b1、b2)は、フェノール化合物であることを特徴とする請求項1に記載の多層絶縁フィルムの製造方法。   The method for producing a multilayer insulating film according to claim 1, wherein the thermosetting resin (a1, a2) is an epoxy resin, and the curing agent (b1, b2) is a phenol compound. 請求項1〜6のいずれかに記載の多層絶縁フィルムの製造方法から得られた多層絶縁フィルムを、第2層(A2)が回路基板に対向するように、該回路基板上に載置し、温度60〜200℃、かつ圧力1〜30MPaにて、加熱加圧する第1の工程と、
前記多層絶縁フィルムを温度60〜140℃で加温処理する第2の工程と、
前記第2の工程の温度よりも20℃以上高く、かつ140〜200℃の範囲の温度で前記多層絶縁フィルムを加温処理する第3の工程とを、
含むことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
The multilayer insulation film obtained from the method for producing a multilayer insulation film according to claim 1 is placed on the circuit board so that the second layer (A2) faces the circuit board, A first step of heating and pressurizing at a temperature of 60 to 200 ° C. and a pressure of 1 to 30 MPa;
A second step of heating the multilayer insulating film at a temperature of 60 to 140 ° C .;
A third step of heating the multilayer insulating film at a temperature in the range of 140 to 200 ° C. that is 20 ° C. higher than the temperature of the second step,
A method for producing a multilayer printed wiring board, comprising:
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