JP5351910B2 - B-stage film and multilayer substrate - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin material in which the heat dimensional change of a cured product after curing can be made small, in addition the roughness uniformity of a roughening processed surface of the cured product can be raised, and to provide a multilayer board using the epoxy resin material. <P>SOLUTION: The epoxy resin material includes an epoxy resin, and a curing agent. The curing agent is a cyanate curing agent including: a tetramethyl bisphenol F type dicyanate; and at least one in a polymer of a polymerization component including the tetramethyl bisphenol F type dicyanate. The multilayer board 11 includes: a circuit board 12; and cured material layers 13-16 arranged on a surface 12a on which a circuit of the circuit board 12 is formed. The cured material layer 13-16 are formed by curing the epoxy resin material. <P>COPYRIGHT: (C)2012,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、例えば、多層基板において絶縁層を形成するために用いることができるエポキシ樹脂材料に関し、より詳細には、エポキシ樹脂と硬化剤とを含有するエポキシ樹脂材料、並びに該エポキシ樹脂材料を用いた多層基板に関する。   The present invention relates to an epoxy resin material that can be used, for example, to form an insulating layer in a multilayer substrate, and more specifically, an epoxy resin material containing an epoxy resin and a curing agent, and the epoxy resin material. Related to the multilayer substrate.

従来、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂組成物が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂組成物が用いられている。   Conventionally, various resin compositions have been used to obtain electronic components such as laminates and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin composition is used in order to form an insulating layer for insulating inner layers or to form an insulating layer located in a surface layer portion.

上記樹脂組成物の一例として、下記の特許文献1には、下記式(101)で表されるシアネートエステル樹脂と、エポキシ樹脂と、高分子樹脂と、硬化触媒と、無機充填材とを含む樹脂組成物が開示されている。ここでは、熱硬化後に形成される絶縁層の熱膨張率が低く、また絶縁層表面が低粗度でありながら、十分な密着強度を有するめっき導体層を形成可能であることが記載されている。   As an example of the resin composition, the following Patent Document 1 includes a cyanate ester resin represented by the following formula (101), an epoxy resin, a polymer resin, a curing catalyst, and an inorganic filler. A composition is disclosed. Here, it is described that it is possible to form a plated conductor layer having sufficient adhesion strength while the coefficient of thermal expansion of the insulating layer formed after thermosetting is low and the surface of the insulating layer has low roughness. .

Figure 0005351910
Figure 0005351910

上記式(101)中、nは平均値として1〜6の数を示し、Xはグリシジル基又は炭素数1〜8の炭化水素基を示し、炭化水素基/グリシジル基の比率は0.05〜2.0である。   In said formula (101), n shows the number of 1-6 as an average value, X shows a glycidyl group or a C1-C8 hydrocarbon group, and the ratio of hydrocarbon group / glycidyl group is 0.05- 2.0.

下記の特許文献2には、エポキシ樹脂と、シアネートエステル樹脂と、グアニジン化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体と、金属系硬化触媒と、無機充填材とを含む樹脂組成物が開示されている。ここでは、絶縁層が低熱膨張率であり、絶縁層表面に低粗度で均一な粗化面を形成でき、該粗化面に形成される導体層の密着性を良好にできることが記載されている。   Patent Document 2 below discloses a resin composition containing an adduct body of an epoxy resin, a cyanate ester resin, a guanidine compound and an epoxy resin, a metal-based curing catalyst, and an inorganic filler. Here, it is described that the insulating layer has a low coefficient of thermal expansion, can form a uniform roughened surface with low roughness on the surface of the insulating layer, and can improve the adhesion of the conductor layer formed on the roughened surface. Yes.

WO2008/044766A1WO2008 / 044766A1 特開2010−90237号公報JP 2010-90237 A

多層プリント配線板の絶縁層には、該絶縁層に積層される他の絶縁層又は回路などと剥離が生じ難いことが強く求められる。このため、上記絶縁層では、熱により寸法が大きく変化しないことが望まれる。すなわち、上記絶縁層の線膨張率が低いことが望ましい。   The insulating layer of the multilayer printed wiring board is strongly required to hardly peel off from other insulating layers or circuits laminated on the insulating layer. For this reason, in the said insulating layer, it is desired that a dimension does not change a lot with heat. That is, it is desirable that the insulating layer has a low coefficient of linear expansion.

また、近年、パッケージの高密度化に伴い、該パッケージに用いられている基板がそりやすくなっている。このため、基板のそりを小さくする要求が非常に高まっている。基板のそりを十分に抑制するためには、基板上に積層される上記絶縁層の線膨張率を低くする必要がある。   In recent years, as the density of a package increases, a substrate used in the package is easily warped. For this reason, the request | requirement which makes the curvature of a board | substrate small is increasing very much. In order to sufficiently suppress the warpage of the substrate, it is necessary to reduce the linear expansion coefficient of the insulating layer stacked on the substrate.

特許文献1〜2に記載のように、シアネートエステル樹脂を用いた場合には、上記絶縁層の熱による寸法変化を比較的小さくすることができ、上記絶縁層の線膨張率を比較的低くすることができる。しかしながら、近年、硬化物の熱による寸法変化をより一層小さくし、上記絶縁層の線膨張率をより一層高くすることが求められている。   As described in Patent Documents 1 and 2, when a cyanate ester resin is used, the dimensional change due to heat of the insulating layer can be made relatively small, and the linear expansion coefficient of the insulating layer can be made relatively low. be able to. However, in recent years, it has been required to further reduce the dimensional change due to heat of the cured product and to further increase the linear expansion coefficient of the insulating layer.

さらに、金属層が部分的に上面に設けられている回路基板などの部材上に、特許文献1〜2に記載のような従来の樹脂組成物を用いて絶縁層を形成して、更に該絶縁層の表面を粗化処理した場合に、該絶縁層の粗化処理された表面の粗度にむらが生じることがある。すなわち、金属層が設けられている部分に位置する絶縁層と金属層が設けられていない部分に位置する絶縁層とで、粗度が異なることがある。粗度にむらがあると、該絶縁層上に他の金属層を形成した場合に、該絶縁層と該他の金属層との接着強度が部分的に低くなるという問題がある。   Furthermore, an insulating layer is formed using a conventional resin composition as described in Patent Documents 1 and 2 on a member such as a circuit board on which a metal layer is partially provided on the upper surface, and the insulation is further performed. When the surface of the layer is roughened, unevenness may occur in the roughness of the roughened surface of the insulating layer. That is, the roughness may be different between the insulating layer located in the portion where the metal layer is provided and the insulating layer located in the portion where the metal layer is not provided. If the roughness is uneven, there is a problem that when another metal layer is formed on the insulating layer, the adhesive strength between the insulating layer and the other metal layer is partially lowered.

本発明の目的は、硬化後の硬化物の熱による寸法変化を小さくすることができ、更に硬化物の粗化処理された表面の粗度の均一性を高めることができるエポキシ樹脂材料、並びに該エポキシ樹脂材料を用いた多層基板を提供することである。   An object of the present invention is to provide an epoxy resin material capable of reducing the dimensional change due to heat of a cured product after curing, and further improving the uniformity of the roughness of the roughened surface of the cured product, and the A multilayer substrate using an epoxy resin material is provided.

本発明の限定的な目的は、保存安定性を高めることができるエポキシ樹脂材料、並びに該エポキシ樹脂材料を用いた多層基板を提供することである。   A limited object of the present invention is to provide an epoxy resin material capable of enhancing storage stability, and a multilayer substrate using the epoxy resin material.

本発明のさらに限定的な目的は、硬化物の粗化処理された表面の算術平均粗さRaを200nm以下にすることができるエポキシ樹脂材料、並びに該エポキシ樹脂材料を用いた多層基板を提供することである。   A further limited object of the present invention is to provide an epoxy resin material capable of setting the arithmetic average roughness Ra of the roughened surface of the cured product to 200 nm or less, and a multilayer substrate using the epoxy resin material. That is.

本発明の広い局面によれば、エポキシ樹脂と、硬化剤とを含有し、該硬化剤が、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと、該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との内の少なくとも1種を含むシアネート硬化剤である、エポキシ樹脂材料が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, an epoxy resin and a curing agent are contained, and the curing agent includes tetramethylbisphenol F type dicyanate and a polymer of a polymerization component including the tetramethylbisphenol F type dicyanate. An epoxy resin material is provided that is a cyanate curing agent comprising at least one of the following:

本発明に係るエポキシ樹脂材料のある特定の局面では、該エポキシ樹脂材料中の全樹脂成分の合計100重量%中、上記シアネート硬化剤の含有量は5重量%以上、30重量%以下である。   On the specific situation with the epoxy resin material which concerns on this invention, content of the said cyanate hardening | curing agent is 5 to 30 weight% in the total 100 weight% of all the resin components in this epoxy resin material.

本発明に係るエポキシ樹脂材料の他の特定の局面では、上記シアネート硬化剤全体100重量%中、上記テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと、上記テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との合計の含有量が1重量%以上、70重量%以下である。   In another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the total of the cyanate curing agent is 100% by weight of the tetramethylbisphenol F type dicyanate and a polymer of a polymerization component containing the tetramethylbisphenol F type dicyanate. The total content is 1% by weight or more and 70% by weight or less.

本発明に係るエポキシ樹脂材料の別の特定の局面では、無機充填材がさらに含有される。   In another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, an inorganic filler is further contained.

本発明に係るエポキシ樹脂材料のさらに別の特定の局面では、該エポキシ樹脂材料中の全固形分100重量%中、上記無機充填材の含有量は40重量%以上、80重量%以下である。   In still another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the content of the inorganic filler is 40% by weight or more and 80% by weight or less in 100% by weight of the total solid content in the epoxy resin material.

本発明に係るエポキシ樹脂材料のさらに別の特定の局面では、上記無機充填材はシリカである。   In still another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the inorganic filler is silica.

本発明に係るエポキシ樹脂材料の他の特定の局面では、熱可塑性樹脂がさらに含有される。   In another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, a thermoplastic resin is further contained.

本発明に係るエポキシ樹脂材料のさらに他の特定の局面では、エポキシ樹脂材料中の全樹脂成分の合計100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量が1重量%以上、30重量%以下である。   In still another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the content of the thermoplastic resin is 1 wt% or more and 30 wt% or less in a total of 100 wt% of all resin components in the epoxy resin material. .

本発明に係るエポキシ樹脂材料のさらに他の特定の局面では、上記熱可塑性樹脂はフェノキシ樹脂である。   In still another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the thermoplastic resin is a phenoxy resin.

本発明に係るエポキシ樹脂材料の別の特定の局面では、硬化促進剤が含有されないか又は含有され、硬化促進剤が含有される場合には、該エポキシ樹脂材料中の全樹脂成分の合計100重量%中、上記硬化促進剤の含有量が1重量%以下である。   In another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, a curing accelerator is not contained or contained, and when a curing accelerator is contained, the total resin component in the epoxy resin material is 100 weights in total. %, The content of the curing accelerator is 1% by weight or less.

本発明に係るエポキシ樹脂材料のさらに別の特定の局面では、該エポキシ樹脂材料は、フィルム状に成形されたBステージフィルムである。   In still another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the epoxy resin material is a B-stage film formed into a film shape.

本発明に係るエポキシ樹脂材料のさらに別の特定の局面では、該エポキシ樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられるエポキシ樹脂材料である。   In still another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the epoxy resin material is an epoxy resin material used for obtaining a cured product to be roughened or desmeared.

本発明に係る多層基板は、回路基板と、該回路基板の表面上に配置された硬化物層とを備えており、該硬化物層が、本発明に従って構成されたエポキシ樹脂材料を硬化させることにより形成されている。   A multilayer board according to the present invention includes a circuit board and a cured product layer disposed on the surface of the circuit board, and the cured product layer cures the epoxy resin material configured according to the present invention. It is formed by.

本発明に係るエポキシ樹脂材料は、エポキシ樹脂と硬化剤とを含有し、該硬化剤が、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと、該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との内の少なくとも1種を含むシアネート硬化剤であるので、硬化後の硬化物の熱による寸法変化を小さくすることができ、更に硬化物の粗化処理された表面の粗度の均一性を高めることができる。   The epoxy resin material according to the present invention contains an epoxy resin and a curing agent, and the curing agent is tetramethylbisphenol F type dicyanate and a polymer of polymerization components including the tetramethylbisphenol F type dicyanate. Since it is a cyanate curing agent containing at least one kind, the dimensional change due to heat of the cured product after curing can be reduced, and the uniformity of the roughness of the roughened surface of the cured product can be further increased. .

図1は、本発明の一実施形態に係るエポキシ樹脂材料を用いた多層基板を模式的に示す部分切欠正面断面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing a multilayer substrate using an epoxy resin material according to an embodiment of the present invention. 図2は、エポキシ樹脂材料を用いた硬化物層の表面における粗度を説明するための模式的な部分切欠正面断面図である。FIG. 2 is a schematic partial cutaway front sectional view for explaining the roughness on the surface of the cured product layer using the epoxy resin material.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

(エポキシ樹脂材料)
本発明に係るエポキシ樹脂材料は、エポキシ樹脂と、硬化剤とを含有する。該硬化剤は、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと、該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との内の少なくとも1種を含むシアネート硬化剤である。上記テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体は、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートエステル樹脂である。上記テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートは、重合により該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートエステル樹脂を与える化合物である。
(Epoxy resin material)
The epoxy resin material according to the present invention contains an epoxy resin and a curing agent. The curing agent is a cyanate curing agent containing at least one of tetramethylbisphenol F type dicyanate and a polymer of a polymerization component containing the tetramethylbisphenol F type dicyanate. The polymer of the polymerization component containing the tetramethylbisphenol F type dicyanate is a tetramethylbisphenol F type dicyanate ester resin. The tetramethylbisphenol F type dicyanate is a compound that gives the tetramethylbisphenol F type dicyanate ester resin by polymerization.

上記組成の採用により、硬化後の硬化物の熱による寸法変化を小さくすることができ、更に硬化物の粗化処理された表面の粗度の均一性を高めることができる。例えば、図2に示すように、金属層2が部分的に上面1aに設けられている回路基板1上に、エポキシ樹脂材料を用いて硬化物層3を形成して、更に硬化物層3の表面3aを粗化処理した場合に、硬化物層3の粗化処理された表面3aの粗度にむらを生じ難くすることができる。すなわち、金属層2が設けられている部分に位置する硬化物層3Aと、金属層2が設けられていない部分に位置する硬化物層3Bとで、表面3aの粗度の均一性を高めることができる。特に金属層2が銅層である場合に、上記粗度の均一性を高める効果がより一層高くなる。これは、銅層などの金属層2が触媒として作用するために、金属層2上では硬化物層3を形成する際の硬化速度が速くなることなどの影響が考えられる。   By adopting the above composition, the dimensional change due to heat of the cured product after curing can be reduced, and the uniformity of the roughness of the roughened surface of the cured product can be further increased. For example, as shown in FIG. 2, a cured product layer 3 is formed using an epoxy resin material on a circuit board 1 in which the metal layer 2 is partially provided on the upper surface 1 a, and the cured product layer 3 is further formed. When the surface 3a is roughened, unevenness in the roughness of the roughened surface 3a of the cured product layer 3 can be made difficult to occur. That is, the uniformity of the roughness of the surface 3a is enhanced by the cured product layer 3A located in the portion where the metal layer 2 is provided and the cured product layer 3B located in the portion where the metal layer 2 is not provided. Can do. In particular, when the metal layer 2 is a copper layer, the effect of increasing the uniformity of the roughness is further enhanced. This is because the metal layer 2 such as a copper layer acts as a catalyst, so that the effect of increasing the curing speed when forming the cured product layer 3 on the metal layer 2 is considered.

粗化処理された表面3aの粗度の均一性が高いと、硬化物層3の粗化処理された表面3aに金属層を形成した場合に、硬化物層3と金属層との接着強度が部分的に低くなるのを抑制できる。さらに、硬化物層3の粗化処理された表面3aの粗度が均一であると、該粗化処理された表面3aにめっき処理により他の金属層を形成した場合に、必要に応じてエッチングにより部分的に他の金属層を効果的に除去することもできる。   When the roughness of the roughened surface 3a is high, when the metal layer is formed on the roughened surface 3a of the cured product layer 3, the adhesive strength between the cured product layer 3 and the metal layer is increased. Partial lowering can be suppressed. Furthermore, if the roughness of the roughened surface 3a of the cured product layer 3 is uniform, etching is performed as necessary when another metal layer is formed on the roughened surface 3a by plating. The other metal layer can also be effectively removed partially.

また、本発明によれば、硬化物層3の粗化処理された表面3a全体を、算術平均粗さRaが200nm以下である均一な粗度を有する表面にすることが容易である。   Further, according to the present invention, it is easy to make the entire surface 3a subjected to the roughening treatment of the cured product layer 3 a surface having a uniform roughness with an arithmetic average roughness Ra of 200 nm or less.

さらに、上記組成の採用により、エポキシ樹脂材料の常温(24℃)での保存安定性も高くなる。特定の上記シアネート硬化剤の使用は、エポキシ樹脂材料の常温での保存安定性の向上に大きく寄与する。さらに、本発明のエポキシ樹脂材料では、硬化促進剤を用いなくてもよく、また硬化促進剤を用いる場合でも、該硬化促進剤の使用量を少なくすることができることからも、保存安定性をかなり高めることが可能である。なお、硬化促進剤の使用量が多いほど、エポキシ樹脂材料の保存安定性が低くなる傾向がある。また、良好なBステージフィルムを得るためには、硬化促進剤を用いることが好ましい。   Furthermore, by adopting the above composition, the storage stability of the epoxy resin material at room temperature (24 ° C.) is also increased. The use of the specific cyanate curing agent greatly contributes to the improvement in storage stability of the epoxy resin material at room temperature. Furthermore, in the epoxy resin material of the present invention, it is not necessary to use a curing accelerator, and even when a curing accelerator is used, the amount of the curing accelerator used can be reduced. It is possible to increase. In addition, there exists a tendency for the storage stability of an epoxy resin material to become low, so that there is much usage-amount of a hardening accelerator. In order to obtain a good B-stage film, it is preferable to use a curing accelerator.

粗化処理された硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくし、該表面の粗度の均一性をより一層高める観点からは、本発明に係るエポキシ樹脂材料は、無機充填材を含有することが好ましい。また、エポキシ樹脂と硬化剤とを含むエポキシ樹脂材料において、シリカなどの無機充填材を多く配合することにより、硬化物の熱による寸法変化をより一層小さくすることができ、すなわち線膨張率を低くすることができる。また、無機充填材を用いることにより、硬化物の粗化処理された表面により一層微細な孔を形成できる結果、該硬化物の粗化処理された表面上に設けられた金属層のピール強度をより一層高めることができる。   From the viewpoint of further reducing the surface roughness of the roughened cured product and further improving the uniformity of the surface roughness, the epoxy resin material according to the present invention contains an inorganic filler. It is preferable. In addition, in an epoxy resin material containing an epoxy resin and a curing agent, by adding a large amount of inorganic filler such as silica, the dimensional change due to heat of the cured product can be further reduced, that is, the linear expansion coefficient is lowered. can do. In addition, by using an inorganic filler, finer pores can be formed on the roughened surface of the cured product. As a result, the peel strength of the metal layer provided on the roughened surface of the cured product is increased. It can be further increased.

また、本発明に係るエポキシ樹脂材料の使用により、例えば、図2に示す金属層2が設けられている部分に位置する硬化物層3Aと、金属層2が設けられていない部分に位置する硬化物層3Bとで、無機充填材の存在状態を均一にすることができる。   Further, by using the epoxy resin material according to the present invention, for example, a cured product layer 3A located in a portion where the metal layer 2 shown in FIG. 2 is provided, and a cure located in a portion where the metal layer 2 is not provided. The presence state of the inorganic filler can be made uniform with the physical layer 3B.

本発明に係るエポキシ樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含有することが好ましく、フェノキシ樹脂を含有することがより好ましい。   The epoxy resin material according to the present invention preferably contains a thermoplastic resin, and more preferably contains a phenoxy resin.

本発明に係るエポキシ樹脂材料は、ペースト状であってもよく、フィルム状であってもよい。本発明に係るエポキシ樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、該樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムであってもよい。   The epoxy resin material according to the present invention may be a paste or a film. The epoxy resin material according to the present invention may be a resin composition or a B-stage film in which the resin composition is formed into a film.

以下、本発明に係るエポキシ樹脂材料に含まれているエポキシ樹脂及び硬化剤、並びに本発明に係るエポキシ樹脂材料に用いることができる無機充填材及び熱可塑性樹脂などの各成分の詳細を説明する。   Hereinafter, details of each component such as an epoxy resin and a curing agent contained in the epoxy resin material according to the present invention, and an inorganic filler and a thermoplastic resin that can be used in the epoxy resin material according to the present invention will be described.

[エポキシ樹脂]
上記エポキシ樹脂材料に含まれているエポキシ樹脂は特に限定されない。該エポキシ樹脂として、従来公知のエポキシ樹脂を使用可能である。該エポキシ樹脂は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物をいう。エポキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Epoxy resin]
The epoxy resin contained in the epoxy resin material is not particularly limited. A conventionally well-known epoxy resin can be used as this epoxy resin. The epoxy resin refers to an organic compound having at least one epoxy group. As for an epoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アダマンタン骨格を有するエポキシ樹脂、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ樹脂、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, biphenyl novolac type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, and fluorene type epoxy resin. , Phenol aralkyl type epoxy resin, naphthol aralkyl type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, epoxy resin having adamantane skeleton, epoxy resin having tricyclodecane skeleton, and epoxy resin having triazine nucleus in skeleton Etc.

粗化処理又はデスミア処理された硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくする観点からは、上記エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは90以上、より好ましくは100以上、好ましくは1000以下、より好ましくは800以下である。   From the viewpoint of further reducing the surface roughness of the roughened or desmeared cured product, the epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 90 or more, more preferably 100 or more, preferably 1000 or less, more Preferably it is 800 or less.

上記エポキシ樹脂の重量平均分子量は1000以下であることが好ましい。この場合には、エポキシ樹脂材料における無機充填材の含有量を多くすることができる。さらに、無機充填材の含有量が多くても、流動性が高いエポキシ樹脂材料である樹脂組成物を得ることができる。一方で、重量平均分子量が1000以下であるエポキシ樹脂と、フェノキシ樹脂などの熱可塑性樹脂との併用により、エポキシ樹脂材料であるBステージフィルムの溶融粘度の低下を抑制できる。このため、Bステージフィルムを基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。   The epoxy resin preferably has a weight average molecular weight of 1000 or less. In this case, the content of the inorganic filler in the epoxy resin material can be increased. Furthermore, even if there is much content of an inorganic filler, the resin composition which is an epoxy resin material with high fluidity | liquidity can be obtained. On the other hand, the combined use of an epoxy resin having a weight average molecular weight of 1000 or less and a thermoplastic resin such as a phenoxy resin can suppress a decrease in the melt viscosity of the B stage film that is an epoxy resin material. For this reason, when a B stage film is laminated on a board | substrate, an inorganic filler can be made to exist uniformly.

上記エポキシ樹脂材料に含まれている全樹脂成分(以下、全樹脂成分Xと略記することがある)100重量%中、上記エポキシ樹脂の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは30重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記エポキシ樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、粗化処理された硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の粗化処理された表面上に設けられた金属層のピール強度がより一層良好になる。「全樹脂成分X」とは、エポキシ樹脂と上記シアネート硬化剤と必要に応じて配合される他の樹脂成分との総和をいう。上記全樹脂成分Xには、無機充填材は含まれない。   The content of the epoxy resin is preferably 20% by weight or more, more preferably 30% in 100% by weight of the total resin components (hereinafter, may be abbreviated as total resin component X) contained in the epoxy resin material. % By weight or more, preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content of the epoxy resin is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the roughened cured product can be further reduced, and the surface of the cured product roughened. The peel strength of the metal layer provided above becomes even better. “Total resin component X” refers to the total of the epoxy resin, the cyanate curing agent, and other resin components blended as necessary. The total resin component X does not include an inorganic filler.

[硬化剤]
上記エポキシ樹脂材料に含まれている硬化剤は、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと、該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との内の少なくとも1種を含むシアネート硬化剤(以下、シアネート硬化剤Aと記載することがある)である。該シアネート硬化剤Aの使用は、硬化後の硬化物の熱による寸法変化を小さくし、かつ硬化物の粗化処理された表面の粗度の均一性を高めるために大きく寄与する。シアネート硬化剤Aには、エポキシ樹脂材料中の全てのシアネート硬化剤が含まれる。シアネート硬化剤Aは、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートのみを含んでいてもよく、該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体のみを含んでいてもよく、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との双方を含んでいてもよい。
[Curing agent]
The curing agent contained in the epoxy resin material is a cyanate curing agent containing at least one of tetramethylbisphenol F type dicyanate and a polymer of a polymerization component containing the tetramethylbisphenol F type dicyanate (hereinafter, It may be described as cyanate curing agent A). The use of the cyanate curing agent A greatly contributes to reducing the dimensional change due to heat of the cured product after curing and increasing the uniformity of the roughness of the roughened surface of the cured product. Cyanate curing agent A includes all cyanate curing agents in the epoxy resin material. The cyanate curing agent A may contain only tetramethylbisphenol F-type dicyanate, or may contain only a polymer of a polymerization component containing the tetramethylbisphenol F-type dicyanate. It may contain both the polymer of the polymerization component containing tetramethylbisphenol F type dicyanate.

上記テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートは、下記式(1)で表されるテトラメチルビスフェノールF型ジシアネートであることが好ましい。なお、下記式(1)において、ベンゼン環に結合している4つのメチル基の結合部位は特に限定されない。   The tetramethylbisphenol F type dicyanate is preferably a tetramethylbisphenol F type dicyanate represented by the following formula (1). In addition, in following formula (1), the coupling | bond part of four methyl groups couple | bonded with the benzene ring is not specifically limited.

Figure 0005351910
Figure 0005351910

合成の簡便性の観点から、上記式(1)で表されるテトラメチルビスフェノールF型ジシアネートは、下記式(1A)で表されるテトラメチルビスフェノールF型ジシアネートであることが好ましい。   From the viewpoint of ease of synthesis, the tetramethylbisphenol F type dicyanate represented by the above formula (1) is preferably a tetramethylbisphenol F type dicyanate represented by the following formula (1A).

Figure 0005351910
Figure 0005351910

上記シアネート硬化剤Aを用いれば、ベンゼン環にメチル基が4個結合しているので、硬化過程で生じたトリアジン環の周辺に立体障害が存在し、平面線形性が低下する。このため、硬化物の硬化性が良好になる。また、上記シアネート硬化剤AはビスフェノールF型骨格を有し、該ビスフェノールF型骨格は柔軟性が高い。従って、硬化物の柔軟性も高くなる結果、硬化物の粗化処理された表面上に設けられた金属層のピール強度が良好になる。   When the cyanate curing agent A is used, since four methyl groups are bonded to the benzene ring, steric hindrance exists around the triazine ring generated in the curing process, and the planar linearity is lowered. For this reason, the curability of the cured product is improved. The cyanate curing agent A has a bisphenol F-type skeleton, and the bisphenol F-type skeleton has high flexibility. Accordingly, the flexibility of the cured product is increased, and as a result, the peel strength of the metal layer provided on the roughened surface of the cured product is improved.

さらに、上記シアネート硬化剤Aは、ビスフェノールF型骨格を有するので、硬化性が比較的高く、エポキシ樹脂材料の硬化を速やかに進行させることに寄与する。従って、本発明に係るエポキシ樹脂材料では、硬化促進剤を含有していてもよく、含有していなくてもよい。上記シアネート硬化剤Aの使用により、エポキシ樹脂材料中の全樹脂成分の合計100重量%中、上記硬化促進剤の含有量が0重量%以上、1重量%以下であっても、エポキシ樹脂材料の硬化を速やかに進行させることができる。硬化促進剤を用いないか又は硬化促進剤の使用量を少なくすることで、エポキシ樹脂材料の保存安定性をより一層高めることができる。   Further, since the cyanate curing agent A has a bisphenol F-type skeleton, it has a relatively high curability and contributes to a rapid progress of curing of the epoxy resin material. Therefore, the epoxy resin material according to the present invention may or may not contain a curing accelerator. By using the cyanate curing agent A, even if the content of the curing accelerator is 0% by weight or more and 1% by weight or less in the total 100% by weight of all resin components in the epoxy resin material, Curing can proceed quickly. By not using the curing accelerator or reducing the amount of the curing accelerator used, the storage stability of the epoxy resin material can be further enhanced.

一方で、従来、ベンゼン環にメチル基が結合していないビスフェノールA型ジシアネートエステル樹脂が硬化剤として知られている。この硬化剤を用いた場合には、硬化過程で生じるトリアジン環が平面線形状であるので、スタック構造をとりやすく、結晶性がよく、一般には硬化性がさほどよくない。このため、ベンゼン環にメチル基が結合していないビスフェノールA型ジシアネートエステル樹脂を用いた場合には、硬化物の粗化処理された表面に粗化むらが生じやすい傾向がある。   On the other hand, conventionally, a bisphenol A type dicyanate ester resin in which a methyl group is not bonded to a benzene ring is known as a curing agent. When this curing agent is used, the triazine ring generated in the curing process has a planar line shape, so that it is easy to take a stack structure, good crystallinity, and generally not very hard. For this reason, when a bisphenol A type dicyanate ester resin in which a methyl group is not bonded to a benzene ring is used, there is a tendency that unevenness of the roughened surface of the cured product tends to occur.

また、従来、一般に、銅回路などの金属層が上面に部分的に設けられた回路基板上に、エポキシ樹脂材料を用いて硬化物層(絶縁層)を形成した場合には、金属層がある部分に設けられた硬化物層と、金属層がない部分に設けられた硬化物層とで、硬化度が異なる傾向がある。これに対して、特定の上記シアネート硬化剤Aを含む本発明に係るエポキシ樹脂材料の使用により、金属層がある部分に設けられた硬化物層と、金属層がない部分に設けられた硬化物層とで、硬化度の差異が生じ難くなる。この結果、粗化処理された硬化物層の粗度の均一性を高めることができる。例えば、硬化物の粗化処理された表面全体を、算術平均粗さRaが200μm以下である均一な粗度を有する表面にすることが容易になる。   Conventionally, in general, when a cured product layer (insulating layer) is formed using an epoxy resin material on a circuit board partially provided with a metal layer such as a copper circuit, there is a metal layer. There is a tendency for the degree of cure to be different between the cured product layer provided in the part and the cured product layer provided in the part without the metal layer. On the other hand, by using the epoxy resin material according to the present invention containing the specific cyanate curing agent A, a cured product layer provided in a portion with a metal layer and a cured product provided in a portion without a metal layer. It becomes difficult to produce a difference in the degree of curing between the layers. As a result, the uniformity of the roughness of the roughened cured product layer can be improved. For example, it becomes easy to make the entire roughened surface of the cured product a surface having a uniform roughness with an arithmetic average roughness Ra of 200 μm or less.

上記全樹脂成分X100重量%中、上記シアネート硬化剤Aの含有量は、好ましくは3重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは30重量%以下である。上記シアネート硬化剤Aの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、より一層良好な硬化物が得られ、硬化物の熱による寸法変化をより一層抑制できる。   The content of the cyanate curing agent A in 100% by weight of the total resin component X is preferably 3% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, preferably 50% by weight or less, more preferably 30% by weight or less. . When the content of the cyanate curing agent A is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, a better cured product can be obtained, and the dimensional change due to heat of the cured product can be further suppressed.

上記シアネート硬化剤Aの全体100重量%中、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと、該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との合計の含有量aは、好ましくは1重量%以上、より好ましくは10重量%以上、100重量%以下、より好ましくは90重量%以下、好ましくは70重量%以下である。上記含有量aが上記下限以上であると、硬化物の粗化処理された表面の粗度の均一性がより一層高くなる。上記含有量aが上記上限以下であると、硬化後の硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。   The total content a of tetramethylbisphenol F type dicyanate and the polymer of the polymerization component containing the tetramethylbisphenol F type dicyanate is preferably 1% by weight or more in 100% by weight of the whole cyanate curing agent A. More preferably, it is 10 weight% or more and 100 weight% or less, More preferably, it is 90 weight% or less, Preferably it is 70 weight% or less. When the content a is equal to or more than the lower limit, the uniformity of the roughness of the roughened surface of the cured product is further increased. When the content a is not more than the above upper limit, the dimensional change due to heat of the cured product after curing is further reduced.

[無機充填材]
上記エポキシ樹脂材料は、無機充填材を含むことが好ましい。該無機充填材は特に限定されない。該無機充填材として、従来公知の無機充填材を使用可能である。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The epoxy resin material preferably contains an inorganic filler. The inorganic filler is not particularly limited. As the inorganic filler, a conventionally known inorganic filler can be used. As for the said inorganic filler, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム及び窒化ホウ素等が挙げられる。粗化処理された硬化物の表面の表面粗さを小さくし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、硬化物の線膨張率をより一層低くすることができ、かつ粗化処理された硬化物の表面の表面粗さを効果的に小さくすることができる。シリカの形状は略球状であることが好ましい。   Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride. From the viewpoints of reducing the surface roughness of the surface of the cured product that has been roughened, forming finer wiring on the surface of the cured product, and imparting good insulation reliability to the cured product, the inorganic filling described above. The material is preferably silica or alumina, more preferably silica, and still more preferably fused silica. By using silica, the linear expansion coefficient of the cured product can be further reduced, and the surface roughness of the roughened cured product surface can be effectively reduced. The shape of silica is preferably substantially spherical.

上記無機充填材の平均粒子径は、好ましくは0.1μm以上、好ましくは20μm以下、より好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒子径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒子径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定できる。   The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 0.1 μm or more, preferably 20 μm or less, more preferably 1 μm or less. As the average particle diameter of the inorganic filler, a median diameter (d50) value of 50% is adopted. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤により表面処理されていることがより好ましい。これにより、粗化処理された硬化物の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつ硬化物により良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を付与することができる。   The inorganic filler is preferably surface-treated, and more preferably surface-treated with a coupling agent. As a result, the surface roughness of the cured product that has been roughened can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. And interlayer insulation reliability can be imparted.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanate coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

上記無機充填材の含有量は特に限定されない。上記エポキシ樹脂材料に含まれている全固形分(以下、全固形分Yと略記することがある)100重量%中、上記無機充填材の含有量は好ましくは30重量%以上、より好ましくは40重量%以上、更に好ましくは50重量%以上、好ましくは85重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、粗化処理された硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。「全固形分Y」とは、エポキシ樹脂と硬化剤と無機充填材と必要に応じて配合される固形分との総和をいう。「固形分」とは、不揮発成分であり、成形又は加熱時に揮発しない成分をいう。   The content of the inorganic filler is not particularly limited. The content of the inorganic filler is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% in 100% by weight of the total solid content (hereinafter sometimes abbreviated as total solid content Y) contained in the epoxy resin material. % By weight or more, more preferably 50% by weight or more, preferably 85% by weight or less, more preferably 80% by weight or less. When the content of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the roughened cured product can be further reduced, and the surface of the cured product is finer. Wiring can be formed. “Total solid content Y” refers to the total of the epoxy resin, the curing agent, the inorganic filler, and the solid content blended as necessary. “Solid content” refers to a non-volatile component that does not volatilize during molding or heating.

上記全固形分Y中の上記無機充填材の含有量が50重量%以上である場合に、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。   When the content of the inorganic filler in the total solid content Y is 50% by weight or more, the dimensional change due to heat of the cured product is further reduced.

[熱可塑性樹脂]
本発明に係るエポキシ樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。熱可塑性樹脂の使用により、エポキシ樹脂材料の回路の凹凸への追従性を高めることができ、粗化処理された硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、更に硬化物の粗化処理された表面の粗度をより一層均一にすることができる。
[Thermoplastic resin]
The epoxy resin material according to the present invention preferably contains a thermoplastic resin. By using the thermoplastic resin, it is possible to improve the followability of the circuit of the epoxy resin material to the unevenness of the circuit, and it is possible to further reduce the surface roughness of the surface of the cured product that has been subjected to the roughening treatment. The roughness of the roughened surface can be made even more uniform.

上記熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂及びポリエステル樹脂等が挙げられる。硬化物の耐熱性を高くし、またエポキシ樹脂及びシアネート硬化剤Aとの相溶性を良好にする観点からは、上記熱可塑性樹脂はフェノキシ樹脂であることが好ましい。   Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyimide resin, polycarbonate resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, and polyester resin. From the viewpoint of increasing the heat resistance of the cured product and improving the compatibility with the epoxy resin and cyanate curing agent A, the thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、及びナフタレン骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a bisphenol S skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, and a naphthalene skeleton.

樹脂組成物の硬化物の表面を粗化処理した後に、金属層を形成するためにめっき処理した場合に、硬化物と金属層との接着強度を高めることができるので、上記フェノキシ樹脂は、ビフェニル骨格を有することが好ましく、ビフェノール骨格を有することがより好ましい。   When the surface of the cured product of the resin composition is roughened and then plated to form a metal layer, the adhesive strength between the cured product and the metal layer can be increased. It preferably has a skeleton, and more preferably has a biphenol skeleton.

上記フェノキシ樹脂の具体例としては、例えば、東都化成社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」、「YX8100BH30」、「YL7600DMAcH25」及び「YL7213BH30」などが挙げられる。   Specific examples of the phenoxy resin include, for example, “YP50”, “YP55” and “YP70” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., and “1256B40”, “4250”, “4256H40”, “4275” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “YX6954BH30”, “YX8100BH30”, “YL7600DMAcH25”, “YL7213BH30”, and the like.

上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、好ましくは100000以下である。   The weight average molecular weight of the phenoxy resin is preferably 5000 or more, and preferably 100,000 or less.

上記熱可塑性樹脂の含有量は特に限定されない。上記全樹脂成分X100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量は、好ましくは0.1重量%以上、より好ましくは0.5重量%以上、更に好ましくは1重量%以上、好ましくは40重量%以下、より好ましくは30重量%以下、更に好ましくは20重量%以下、特に好ましくは15重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱による寸法変化に対する悪影響が小さくなる。また、上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、エポキシ樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。なお、上記全樹脂成分Xには、上記熱可塑性樹脂が含まれる。   The content of the thermoplastic resin is not particularly limited. The content of the thermoplastic resin in 100% by weight of the total resin component X is preferably 0.1% by weight or more, more preferably 0.5% by weight or more, still more preferably 1% by weight or more, preferably 40% by weight. Hereinafter, it is more preferably 30% by weight or less, further preferably 20% by weight or less, and particularly preferably 15% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, adverse effects on dimensional changes due to heat of the cured product are reduced. Moreover, the embedding property with respect to the hole or unevenness | corrugation of the circuit board of an epoxy resin material becomes it favorable that content of the said thermoplastic resin is below the said upper limit. The total resin component X includes the thermoplastic resin.

[他の成分及びエポキシ樹脂材料の詳細]
上記エポキシ樹脂材料は、必要に応じて硬化促進剤を含んでいてもよい。硬化促進剤の使用により、硬化速度をより一層速くすることができる。エポキシ樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物中での無機充填材の分散状態が良好になり、硬化物の熱による寸法変化が良好になったり、硬化物の粗化処理された表面の均一性を高めることができる。但し、本発明に係るエポキシ材料では、硬化促進剤を用いなくても速やかに硬化させることが可能である。該硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Details of other components and epoxy resin materials]
The said epoxy resin material may contain the hardening accelerator as needed. By using a curing accelerator, the curing rate can be further increased. By quickly curing the epoxy resin material, the dispersion state of the inorganic filler in the cured product becomes better, the dimensional change due to heat of the cured product becomes better, or the roughened surface of the cured product Uniformity can be improved. However, the epoxy material according to the present invention can be cured quickly without using a curing accelerator. The curing accelerator is not particularly limited, and a conventionally known curing accelerator can be used. As for the said hardening accelerator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物、リン化合物、アミン化合物及び有機金属化合物等が挙げられる。   Examples of the curing accelerator include imidazole compounds, phosphorus compounds, amine compounds, and organometallic compounds.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。   Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2 ′ -Methyl Midazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 [2′-Ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine Isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole Can be mentioned.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン等が挙げられる。   Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。   Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記有機金属塩としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。   Examples of the organic metal salt include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II), and trisacetylacetonate cobalt (III).

硬化物の絶縁信頼性を高める観点からは、上記硬化促進剤は、イミダゾール化合物であることが特に好ましい。   From the viewpoint of increasing the insulation reliability of the cured product, the curing accelerator is particularly preferably an imidazole compound.

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。エポキシ樹脂材料を効率的に硬化させる観点からは、上記全樹脂成分X100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は0重量%以上、好ましくは0.01重量%以上、好ましくは3重量%以下、より好ましくは1重量%以下である。なお、上記全樹脂成分Xには、上記硬化促進剤が含まれる。   The content of the curing accelerator is not particularly limited. From the viewpoint of efficiently curing the epoxy resin material, the content of the curing accelerator is 0% by weight or more, preferably 0.01% by weight or more, preferably 3% by weight or less in the total resin component X of 100% by weight. More preferably, it is 1% by weight or less. The total resin component X contains the curing accelerator.

耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、エポキシ樹脂材料には、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、揺変性付与剤及び上述した樹脂以外の他の樹脂等を添加してもよい。   For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility and workability, epoxy resin materials include coupling agents, colorants, antioxidants, UV degradation inhibitors, antifoaming agents, and thickeners. A thixotropic agent and other resins other than those mentioned above may be added.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

上記他の樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、ジビニルベンジルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、ビスマレイミド樹脂及びアクリレート樹脂等が挙げられる。   Examples of the other resin include polyphenylene ether resin, divinyl benzyl ether resin, polyarylate resin, diallyl phthalate resin, polyimide resin, benzoxazine resin, benzoxazole resin, bismaleimide resin, and acrylate resin.

(Bステージフィルムであるエポキシ樹脂材料)
本発明に係るエポキシ樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、該樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムであってもよい。
(B-stage film epoxy resin material)
The epoxy resin material according to the present invention may be a resin composition or a B-stage film in which the resin composition is formed into a film.

上記樹脂組成物をフィルム状に成形する方法としては、例えば、押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法、樹脂組成物を有機溶剤等の溶剤に溶解又は分散させた後、キャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法、並びに従来公知のその他のフィルム成形法等が挙げられる。なかでも、薄型化を進めることができるので、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。   As a method for forming the resin composition into a film, for example, an extrusion molding method is used in which the resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then formed into a film using a T-die or a circular die. Examples thereof include a casting molding method in which the resin composition is dissolved or dispersed in a solvent such as an organic solvent and then cast into a film, and other conventionally known film molding methods. Of these, the extrusion molding method or the casting molding method is preferable because the thickness can be reduced. The film includes a sheet.

上記樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば90〜200℃で10〜180分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムを得ることができる。   A B-stage film can be obtained by forming the resin composition into a film and drying it by heating at 90 to 200 ° C. for 10 to 180 minutes, for example, so that curing by heat does not proceed excessively.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。   The film-like resin composition that can be obtained by the drying process as described above is referred to as a B-stage film.

上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある半硬化物である。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。   The B-stage film is a semi-cured product in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and curing can proceed further.

上記樹脂組成物は、基材と、該基材の一方の表面に積層されたBステージフィルムとを備える積層フィルムを形成するために好適に用いることができる。積層フィルムのBステージフィルムが、上記樹脂組成物により形成される。   The said resin composition can be used suitably in order to form a laminated film provided with a base material and the B stage film laminated | stacked on one surface of this base material. A B-stage film of a laminated film is formed from the resin composition.

上記積層フィルムの上記基材としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルムなどのオレフィン樹脂フィルム、ポリイミド樹脂フィルム、銅箔及びアルミニウム箔などの金属箔等が挙げられる。上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。   Examples of the base material of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, polyimide resin film, metal foil such as copper foil and aluminum foil, and the like. Can be mentioned. The surface of the base material may be subjected to a release treatment as necessary.

上記エポキシ樹脂材料を回路の絶縁層として用いる場合、エポキシ樹脂材料により形成された層の厚さは、回路を形成する導体層の厚さ以上であることが好ましい。上記エポキシ樹脂材料により形成された層の厚さは、好ましくは5μm以上、好ましくは200μm以下である。   When the epoxy resin material is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the layer formed of the epoxy resin material is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer that forms the circuit. The thickness of the layer formed of the epoxy resin material is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(プリント配線板)
上記エポキシ樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。
(Printed wiring board)
The said epoxy resin material is used suitably in order to form an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂組成物により形成されたBステージフィルムを用いて、該Bステージフィルムを加熱加圧成形することにより得られる。   The printed wiring board can be obtained, for example, by heat-pressing the B stage film using a B stage film formed of the resin composition.

上記Bステージフィルムに対して、片面又は両面に金属箔を積層できる。上記Bステージフィルムと金属箔とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記Bステージフィルムを金属箔に積層できる。   A metal foil can be laminated on one side or both sides of the B-stage film. The method for laminating the B-stage film and the metal foil is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the B-stage film can be laminated on the metal foil using an apparatus such as a parallel plate press or a roll laminator while applying pressure while heating or without heating.

(銅張り積層板及び多層基板)
上記エポキシ樹脂材料は、銅張り積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張り積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層されたBステージフィルムとを備える銅張り積層板が挙げられる。この銅張り積層板のBステージフィルムが、本発明に係るエポキシ樹脂材料により形成される。
(Copper-clad laminate and multilayer board)
The said epoxy resin material is used suitably in order to obtain a copper clad laminated board. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate comprising a copper foil and a B stage film laminated on one surface of the copper foil. The copper-clad laminate B-stage film is formed of the epoxy resin material according to the present invention.

上記銅張り積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、エポキシ樹脂材料を硬化させた硬化物層と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。   The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 to 50 μm. Moreover, in order to raise the adhesive strength of the hardened | cured material layer which hardened the epoxy resin material, and copper foil, it is preferable that the said copper foil has a fine unevenness | corrugation on the surface. The method for forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a formation method by treatment using a known chemical solution.

また、本発明に係るエポキシ樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された硬化物層とを備える回路基板が挙げられる。この多層基板の硬化物層が、上記エポキシ樹脂材料を硬化させることにより形成される。上記硬化物層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記硬化物層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。   Moreover, the epoxy resin material according to the present invention is suitably used for obtaining a multilayer substrate. As an example of the multilayer substrate, there is a circuit substrate including a circuit substrate and a cured product layer laminated on the surface of the circuit substrate. The cured product layer of the multilayer substrate is formed by curing the epoxy resin material. It is preferable that the said hardened | cured material layer is laminated | stacked on the surface in which the circuit of the circuit board was provided. Part of the cured product layer is preferably embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記硬化物層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理又はデスミア処理されていることが好ましく、粗化処理されていることがより好ましい。   In the multilayer substrate, the surface of the cured product layer opposite to the surface on which the circuit substrate is laminated is preferably roughened or desmeared, and more preferably roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ特に限定されない。上記硬化物層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。   The roughening method can be any conventionally known roughening method and is not particularly limited. The surface of the cured product layer may be swelled before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記硬化物層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said multilayer substrate is further equipped with the copper plating layer laminated | stacked on the surface by which the roughening process of the said hardened | cured material layer was carried out.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された硬化物層と、該硬化物層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える回路基板が挙げられる。上記硬化物層及び上記銅箔が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層されたBステージフィルムとを備える銅張り積層板を用いて、上記Bステージフィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。   Further, as another example of the multilayer board, a circuit board, a cured product layer laminated on the surface of the circuit board, and a surface of the cured product layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated are provided. A circuit board provided with the laminated copper foil is mentioned. The cured product layer and the copper foil are formed by curing the B-stage film using a copper-clad laminate comprising a copper foil and a B-stage film laminated on one surface of the copper foil. Preferably it is. Furthermore, it is preferable that the copper foil is etched and is a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の硬化物層とを備える回路基板が挙げられる。上記複数層の硬化物層の内の少なくとも1層がが、上記エポキシ樹脂材料を硬化させることにより形成される。上記多層基板は、上記エポキシ樹脂材料を硬化させることにより形成されている上記硬化物層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。   Another example of the multilayer board is a circuit board including a circuit board and a plurality of cured product layers stacked on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of cured product layers is formed by curing the epoxy resin material. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the cured product layer formed by curing the epoxy resin material.

図1に本発明の一実施形態に係るエポキシ樹脂材料を用いた多層基板を模式的に部分切欠正面断面図で示す。   FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing a multilayer substrate using an epoxy resin material according to an embodiment of the present invention.

図1に示す多層基板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の硬化物層13〜16が積層されている。硬化物層13〜16は、絶縁層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の硬化物層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する硬化物層16以外の硬化物層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と硬化物層13の間、及び積層された硬化物層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。   In the multilayer substrate 11 shown in FIG. 1, a plurality of cured product layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12 a of the circuit substrate 12. The cured product layers 13 to 16 are insulating layers. A metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface 12 a of the circuit board 12. Among the plurality of cured product layers 13 to 16, the cured product layers 13 to 15 other than the cured product layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side include a metal layer in a partial region of the upper surface. 17 is formed. The metal layer 17 is a circuit. Metal layers 17 are respectively arranged between the circuit board 12 and the cured product layer 13 and between the laminated cured product layers 13 to 16. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connection and through hole connection (not shown).

多層基板11では、硬化物層13〜16が、本発明に係るエポキシ樹脂材料を硬化させることにより形成されている。本実施形態では、硬化物層13〜16の表面が粗化処理又はデスミア処理されているので、硬化物層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層基板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層基板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層17と下方の金属層17との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。   In the multilayer substrate 11, the cured product layers 13 to 16 are formed by curing the epoxy resin material according to the present invention. In this embodiment, since the surfaces of the cured product layers 13 to 16 are roughened or desmeared, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the cured product layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine hole. Moreover, in the multilayer substrate 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the part in which the metal layer 17 is not formed can be made small. In the multilayer substrate 11, good insulation reliability is imparted between the upper metal layer 17 and the lower metal layer 17 that are not connected by via-hole connection and through-hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
本発明に係るエポキシ樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The epoxy resin material according to the present invention is preferably used in order to obtain a cured product that is roughened or desmeared. The cured product includes a precured product that can be further cured.

本発明に係るエポキシ樹脂材料を予備硬化させることにより得られた予備硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、予備硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、予備硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、予備硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。   In order to form fine irregularities on the surface of the precured material obtained by precuring the epoxy resin material according to the present invention, the precured material is preferably subjected to a roughening treatment. Prior to the roughening treatment, the precured product is preferably subjected to a swelling treatment. The cured product is preferably subjected to a swelling treatment after preliminary curing and before the roughening treatment, and is further cured after the roughening treatment. However, the pre-cured product may not necessarily be subjected to the swelling treatment.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、予備硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30〜85℃で1〜30分間、予備硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との粗化接着強度が低くなる傾向がある。   As a method for the swelling treatment, for example, a method of treating a precured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution of a compound mainly composed of ethylene glycol or the like is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating a precured product with a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution at a treatment temperature of 30 to 85 ° C. for 1 to 30 minutes. The swelling treatment temperature is preferably in the range of 50 to 85 ° C. When the temperature of the swelling treatment is too low, it takes a long time for the swelling treatment, and the roughened adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。   For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfuric acid compound is used. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening solution preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。   Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, and ammonium persulfate.

上記粗化処理の方法は特に限定されない。上記粗化処理の方法として、例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液及び30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度30〜85℃及び1〜30分間の条件で、1回又は2回、予備硬化物を処理する方法が好適である。上記粗化処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。   The method for the roughening treatment is not particularly limited. As a method of the said roughening process, 30-90 g / L permanganic acid or a permanganate solution and 30-90 g / L sodium hydroxide solution are used, for example, process temperature 30-85 degreeC and 1-30 minutes. A method of treating a precured product once or twice under conditions is preferable. It is preferable that the temperature of the said roughening process exists in the range of 50-85 degreeC.

粗化処理された硬化物の表面の算術平均粗さRaは、50nm以上、350nm以下、更に好ましくは200nm以下である。この場合には、硬化物と金属層又は配線との接着強度を高くすることができ、更に硬化物層の表面により一層微細な配線を形成することができる。   The arithmetic average roughness Ra of the surface of the roughened cured product is 50 nm or more and 350 nm or less, and more preferably 200 nm or less. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer or wiring can be increased, and further finer wiring can be formed on the surface of the cured product layer.

(デスミア処理)
また、本発明に係るエポキシ樹脂材料を予備硬化させることにより得られた予備硬化物又は硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物層に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmear treatment)
Moreover, a through-hole may be formed in the precured material or hardened | cured material obtained by precuring the epoxy resin material which concerns on this invention. In the multilayer substrate or the like, a via or a through hole is formed as a through hole. For example, the via can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 to 80 μm. Due to the formation of the through hole, a smear that is a resin residue derived from the resin component contained in the cured product layer is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物層の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。   In order to remove the smear, the surface of the cured product layer is preferably desmeared. The desmear process may also serve as a roughening process.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。   In the desmear treatment, for example, a chemical oxidant such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used in the same manner as the roughening treatment. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記デスミア処理の方法は特に限定されない。上記デスミア処理の方法として、例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液及び30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度30〜85℃及び1〜30分間の条件で、1回又は2回、予備硬化物又は硬化物を処理する方法が好適である。上記デスミア処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。   The method for the desmear treatment is not particularly limited. As a method for the desmear treatment, for example, using a 30 to 90 g / L permanganate or permanganate solution and a 30 to 90 g / L sodium hydroxide solution, a treatment temperature of 30 to 85 ° C. and a condition of 1 to 30 minutes A method of treating a precured product or a cured product once or twice is preferable. It is preferable that the temperature of the said desmear process exists in the range of 50-85 degreeC.

本発明に係るエポキシ樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さを十分に小さくすることができる。   By using the epoxy resin material according to the present invention, the surface roughness of the surface of the cured product subjected to the desmear treatment can be sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.

実施例及び比較例では、以下に示す材料を用いた。   In the examples and comparative examples, the following materials were used.

(エポキシ樹脂)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製「850」) ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC−3000−H」)
(Epoxy resin)
Bisphenol A type epoxy resin (“850” manufactured by DIC) Biphenyl type epoxy resin (“NC-3000-H” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

(シアネート硬化剤)
シアネート硬化剤1(テトラメチルビスフェノールF型ジシアネート含有シアネートエステル樹脂、上記式(1A)で表されるテトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを10重量%と、該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体59重量%とを含む、ロンザジャパン社製「BA−3000S」、固形分75重量%とメチルエチルケトン25重量%とを含む)
シアネート硬化剤2(ロンザジャパン社製「BA−230S」、固形分75重量%とメチルエチルケトン25重量%とを含む)
(Cyanate curing agent)
Cyanate curing agent 1 (tetramethylbisphenol F-type dicyanate-containing cyanate ester resin, 10% by weight of tetramethylbisphenol F-type dicyanate represented by the above formula (1A), and the weight of the polymerization component containing the tetramethylbisphenol F-type dicyanate "BA-3000S" manufactured by Lonza Japan Co., which contains 59% by weight of the coalescence, 75% by weight of solids and 25% by weight of methyl ethyl ketone)
Cyanate curing agent 2 ("BA-230S" manufactured by Lonza Japan, including solid content 75% by weight and methyl ethyl ketone 25% by weight)

(硬化促進剤)
イミダゾール化合物(2−フェニル−4−メチルイミダゾール、四国化成工業社製「2P4MZ」)
(Curing accelerator)
Imidazole compound (2-phenyl-4-methylimidazole, “2P4MZ” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.)

(熱可塑性樹脂)
フェノキシ樹脂(三菱化学社製「YX6954BH30」、固形分30重量%とメチルエチルケトン35重量%とシクロヘキサノン35重量%とを含む)
(Thermoplastic resin)
Phenoxy resin ("YX6954BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, containing 30 wt% solids, 35 wt% methyl ethyl ketone, and 35 wt% cyclohexanone)

(無機充填材)
シリカ含有スラリー(アドマテックス社製「SC2050−HND」、平均粒子径0.5μm、固形分70重量%とシクロヘキサノン30重量%とを含む)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (manufactured by Admatechs "SC2050-HND", average particle size 0.5 µm, solid content 70 wt% and cyclohexanone 30 wt%)

(実施例1)
シアネート硬化剤1(ロンザジャパン社製「BA−3000S」)4.2重量部と、シアネート硬化剤2(ロンザジャパン社製「BA−230S」)3.0重量部と、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製「850」)8.6重量部と、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC−3000−H」)7.1重量部と、フェノキシ樹脂(三菱化学社製「YX6954BH30」)12.6重量部と、シリカ含有スラリー(アドマテックス社製「SC2050−HND」)64.1重量部と、イミダゾール化合物(四国化成社製「2P4MZ」)0.4重量部とを混合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、ワニスを得た。
Example 1
4.2 parts by weight of cyanate curing agent 1 (“BA-3000S” manufactured by Lonza Japan), 3.0 parts by weight of cyanate curing agent 2 (“BA-230S” manufactured by Lonza Japan), and bisphenol A type epoxy resin ( DIC (“850”) 8.6 parts by weight, biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku “NC-3000-H”) 7.1 parts by weight, and phenoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation “YX6954BH30”) 12.6 parts by weight, 64.1 parts by weight of silica-containing slurry (“SC2050-HND” manufactured by Admatechs) and 0.4 part by weight of an imidazole compound (“2P4MZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) are mixed uniformly. The solution was stirred at room temperature until a fresh solution was obtained to obtain a varnish.

塗工機を用いて、PETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上にワニスを塗工した。100℃のギアオーブン内で10分間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmであり、溶剤の残量が1.0重量%以上、1.5重量%以下であるシート状の成形体を得た。   The varnish was coated on the release treatment surface of the PET film (“XG284” manufactured by Toray Industries Inc., thickness 25 μm) using a coating machine. The solvent was volatilized by drying in a gear oven at 100 ° C. for 10 minutes. In this way, a sheet-like molded body having a thickness of 40 μm and a solvent remaining amount of 1.0 wt% or more and 1.5 wt% or less was obtained on the PET film.

(実施例2〜5及び比較例1〜2)
使用した材料の種類及び配合量(重量部)を下記の表1に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして、溶剤の残量が1.0重量%以上、1.5重量%以下であるシート状の成形体を作製した。
(Examples 2-5 and Comparative Examples 1-2)
The remaining amount of the solvent was 1.0% by weight or more and 1.5% by weight in the same manner as in Example 1 except that the type and blending amount (parts by weight) of the materials used were changed as shown in Table 1 below. A sheet-like molded body having a percentage of not more than% was produced.

(評価)
(a)積層体の作製
ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(日立化成社製「E−679F」、厚み0.6mm)の両面を、メック社製「CZ8101」にてエッチング処理し、エッチング処理された積層板を得た。次に、真空ラミネータ(名機製作所社製、MVLP−500)により、得られたシート状の成形体を積層板の両面にラミネートした。真空ラミネートは真空20秒、70℃、0.5MPaの条件、プレスは加圧115℃、1.0MPa、40秒の条件にて行った。なお、後述の真空ラミネートの際にも、同様の条件によりラミネートした。その後、PETフィルムを剥離して、170℃で60分間シート状の成形体を予備硬化(半硬化)させ、半硬化状態の予備硬化物を有する積層体A−1を得た。
(Evaluation)
(A) Production of Laminate Etching is performed on both sides of a glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate (“E-679F” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., thickness 0.6 mm) with “CZ8101” manufactured by MEC, An etched laminate was obtained. Next, the obtained sheet-like molded body was laminated on both surfaces of the laminated board by a vacuum laminator (MVLP-500, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.). The vacuum lamination was performed under the conditions of vacuum 20 seconds, 70 ° C., 0.5 MPa, and the press was performed under the conditions of pressure 115 ° C., 1.0 MPa, 40 seconds. It should be noted that lamination was performed under the same conditions when vacuum laminating described later. Thereafter, the PET film was peeled off, and the sheet-like molded body was precured (semi-cured) at 170 ° C. for 60 minutes, to obtain a laminate A-1 having a semi-cured precured product.

また粗化むらを検証するために、ガラスエポキシ基板(利昌工業社製「CS−3665」)の両面に、得られたシート状の成形体を真空ラミネート(上述の条件)した。その後、PETフィルムを剥離して、170℃で60分間シート状の成形体を予備硬化(半硬化)させ、半硬化状態の予備硬化物を有する積層体A−2を得た。   Further, in order to verify the roughening unevenness, the obtained sheet-like molded body was vacuum-laminated (the above-mentioned conditions) on both surfaces of a glass epoxy substrate (“CS-3665” manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.). Thereafter, the PET film was peeled off, and a sheet-like molded body was precured (semi-cured) at 170 ° C. for 60 minutes to obtain a laminate A-2 having a semi-cured precured product.

(b)膨潤処理
得られた積層体A−1を、60℃の膨潤液(スウェリングディップセキュリガントP、アトテックジャパン社製)に入れて、15分間揺動した。その後、純水で洗浄した。積層体A−2についても同様の処理を行った。
(B) Swelling treatment The obtained laminate A-1 was placed in a 60 ° C. swelling liquid (Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan) and rocked for 15 minutes. Thereafter, it was washed with pure water. The same process was performed also about laminated body A-2.

(c)過マンガン酸塩処理(粗化処理)
膨潤処理された積層体A−1を80℃の過マンガン酸カリウム(コンセントレートコンパクトCP、アトテックジャパン社製)粗化水溶液に入れて、25分間揺動した。その後、25℃の洗浄液(リダクションセキュリガントP、アトテックジャパン社製)により2分間洗浄し、純水でさらに洗浄した。予備硬化物の表面が粗化処理された積層体B−1を得た。膨潤処理された積層体A−2についても同様の処理を行い、表面が粗化処理された積層体B−2を得た。得られた積層体B−1、積層体B−2について、粗化処理された表面の算術平均粗さRaを測定した。
(C) Permanganate treatment (roughening treatment)
The swollen laminate A-1 was placed in a 80 ° C. potassium permanganate (Concentrate Compact CP, manufactured by Atotech Japan) roughening aqueous solution and rocked for 25 minutes. Then, it wash | cleaned for 2 minutes with the washing | cleaning liquid (Reduction securigant P, the Atotech Japan company make) of 25 degreeC, and also wash | cleaned further with the pure water. A layered product B-1 in which the surface of the precured product was roughened was obtained. The same process was performed on the swelled laminate A-2 to obtain a laminate B-2 whose surface was roughened. About the obtained laminated body B-1 and laminated body B-2, arithmetic mean roughness Ra of the roughened surface was measured.

(d)めっき処理
得られた積層体B−1について、無電解銅めっき及び電解銅めっき処理を以下の手順で行った。
(D) Plating process About the obtained laminated body B-1, the electroless copper plating and the electrolytic copper plating process were performed in the following procedures.

得られた積層体B−1の表面を、55℃のアルカリクリーナ(クリーナーセキュリガント902)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、粗化処理された予備硬化物を23℃のプリディップ液(プリディップネオガントB)で2分間処理した。次に40℃のアクチベーター液(アクチベーターネオガント834)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。その後、30℃の還元液(リデューサーネオガントWA)により5分間処理した。   The surface of the obtained laminate B-1 was treated with an alkaline cleaner (cleaner securigant 902) at 55 ° C. for 5 minutes and degreased and washed. After washing, the roughened pre-cured product was treated with a 23 ° C. pre-dip solution (Pre-Dip Neogant B) for 2 minutes. Next, it was treated with an activator solution (activator Neogant 834) at 40 ° C. for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Then, it processed for 5 minutes with the reducing liquid (reducer neogant WA) of 30 degreeC.

次に、上記予備硬化物を化学銅液(ベーシックプリントガントMSK−DK、カッパープリントガントMSK、スタビライザープリントガントMSK)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニールをかけた。無電解めっきの工程までのすべての工程は、ビーカースケールで処理液を1Lとし、予備硬化物を揺動させながら実施した。   Next, the pre-cured product was put in a chemical copper solution (basic print gantt MSK-DK, copper print gantt MSK, stabilizer print gantt MSK), and electroless plating was performed until the plating thickness reached about 0.5 μm. After the electroless plating, annealing was performed at a temperature of 120 ° C. for 30 minutes in order to remove the remaining hydrogen gas. All the steps up to the electroless plating step were performed while the pre-cured product was swung with a processing solution of 1 L on a beaker scale.

次に、無電解めっき処理された予備硬化物に、電解めっきをめっき厚さが25μmとなるまで実施した。電気銅めっきとして硫酸銅(リデューサーCu)を用いて、0.6A/cm2の電流を流した。銅めっき処理後、190℃で90分間加熱して予備硬化物を硬化させ、銅めっき層が形成された積層体C−1を得た。積層体B−2についても同様の処理を行い、銅めっき層が形成された積層体C−2を得た。得られた積層体C−1、積層体C−2について、銅めっき層のピール強度を測定した。   Next, electroplating was performed on the precured material that had been subjected to electroless plating until the plating thickness reached 25 μm. Using copper sulfate (reducer Cu) as the electrolytic copper plating, a current of 0.6 A / cm 2 was passed. After the copper plating treatment, the precured product was cured by heating at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a laminate C-1 having a copper plating layer formed thereon. The same process was performed about laminated body B-2, and laminated body C-2 in which the copper plating layer was formed was obtained. About the obtained laminated body C-1 and laminated body C-2, the peeling strength of the copper plating layer was measured.

<熱線膨張率の評価>
得られたシート状の成形体をPETフィルム上で、170℃で30分間硬化させ、更に190℃で90分硬化させ、硬化体を得た。得られた硬化体を、3mm×25mmの大きさに裁断した。線膨張率計(セイコーインスツルメンツ社製「TMA/SS120C」)を用いて、引張り荷重3.3×10−2N、昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化体の25〜150℃における平均線膨張率を測定した。熱線膨張率を下記の判定基準で判定した。
<Evaluation of thermal expansion coefficient>
The obtained sheet-like molded body was cured on a PET film at 170 ° C. for 30 minutes, and further cured at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a cured body. The obtained cured body was cut into a size of 3 mm × 25 mm. Using a linear expansion meter (“TMA / SS120C” manufactured by Seiko Instruments Inc.), 25 to 150 of the cured product cut under the conditions of a tensile load of 3.3 × 10 −2 N and a heating rate of 5 ° C./min. The average coefficient of linear expansion at 0 ° C. was measured. The thermal expansion coefficient was determined according to the following criteria.

[熱線膨張率の判定基準]
○:平均線膨張率が30ppm/℃以下
△:平均線膨張率が30ppm/℃を超え、40ppm/℃以下
×:平均線膨張率が40ppm/℃を超える
[Criteria for thermal expansion coefficient]
○: Average linear expansion coefficient is 30 ppm / ° C. or less Δ: Average linear expansion coefficient exceeds 30 ppm / ° C., 40 ppm / ° C. or less ×: Average linear expansion coefficient exceeds 40 ppm / ° C.

<算術平均粗さRaの測定>
非接触式の表面粗さ計(商品名「WYKO」、ビーコ社製)を用いて、上記積層体B−1及び積層体B−2について、粗化処理された表面の算術平均粗さRaを測定した。算術平均粗さRaはJIS B 0601−1994に従った。
<Measurement of arithmetic average roughness Ra>
Using a non-contact type surface roughness meter (trade name “WYKO”, manufactured by Beiko Co., Ltd.), the arithmetic average roughness Ra of the roughened surface of the laminate B-1 and the laminate B-2 was determined. It was measured. Arithmetic mean roughness Ra conformed to JIS B 0601-1994.

[算術平均粗さRaの判定基準]
○:算術平均粗さRaが200nm以下
△:算術平均粗さRaが200nmを超え、300nm以下
×:算術平均粗さRaが300nmを超える
[Criteria for arithmetic mean roughness Ra]
○: Arithmetic average roughness Ra is 200 nm or less Δ: Arithmetic average roughness Ra exceeds 200 nm, 300 nm or less ×: Arithmetic average roughness Ra exceeds 300 nm

<粗面(粗度)の均一性>
積層体B−1に設けられている予備硬化物部分の粗化処理された表面と、積層体B−2に設けられている予備硬化物部分の粗化処理された表面の上記算術平均粗さRaの測定結果から、粗度の均一性を下記の判定基準で判定した。
<Uniformity of rough surface (roughness)>
The arithmetic average roughness of the roughened surface of the preliminary-cured product portion provided in the laminate B-1 and the roughened surface of the preliminary-cured product portion provided in the laminate B-2 From the measurement results of Ra, the uniformity of roughness was determined according to the following criteria.

[粗度の均一性の判定基準]
○:積層体B−1に設けられている予備硬化物部分の粗化処理された表面と積層体B−2に設けられている予備硬化物部分の粗化処理された表面とで、算術平均粗さRa(nm)の差の絶対値が50nm以下
△:積層体B−1に設けられている予備硬化物部分の粗化処理された表面と積層体B−2に設けられている予備硬化物部分の粗化処理された表面とで、算術平均粗さRa(nm)の差の絶対値が50nmを超え、100nm以下
×:積層体B−1に設けられている予備硬化物部分の粗化処理された表面と積層体B−2に設けられている予備硬化物部分の粗化処理された表面とで、算術平均粗さRa(nm)の差の絶対値が100nmを超える
[Roughness uniformity criteria]
○: Arithmetic average between the roughened surface of the precured product portion provided in the laminate B-1 and the roughened surface of the precured product portion provided in the laminate B-2 Absolute value of difference in roughness Ra (nm) is 50 nm or less. Δ: Roughened surface of pre-cured product provided in laminate B-1 and pre-cured in laminate B-2 The absolute value of the difference in arithmetic average roughness Ra (nm) exceeds 50 nm and 100 nm or less between the roughened surface of the product part and X: the roughness of the precured product part provided in the laminate B-1 The absolute value of the difference in arithmetic average roughness Ra (nm) exceeds 100 nm between the surface subjected to the chemical treatment and the surface subjected to the roughening treatment of the precured product portion provided in the laminate B-2

<ピール強度の測定>
上記銅めっき層が形成された積層体C−1及び積層体C−2の銅めっき層の表面に10mm幅に切り欠きを入れた。その後、引張試験機(商品名「オートグラフ」、島津製作所社製)を用いて、クロスヘッド速度5mm/分の条件で、硬化物層上に設けられている銅めっき層と硬化物層との接着強度を測定し、得られた測定値をピール強度とした。
<Measurement of peel strength>
Cutouts were made in a width of 10 mm on the surfaces of the copper plating layers of the laminate C-1 and the laminate C-2 on which the copper plating layer was formed. Then, using a tensile tester (trade name “Autograph”, manufactured by Shimadzu Corporation), a copper plating layer and a cured product layer provided on the cured product layer at a crosshead speed of 5 mm / min. The adhesive strength was measured, and the obtained measured value was defined as peel strength.

[ピール強度の判定基準]
○:ピール強度が5.9N/cm以上
×:ピール強度が5.9N/cm未満
[Peel strength criteria]
○: Peel strength is 5.9 N / cm or more ×: Peel strength is less than 5.9 N / cm

<保存安定性の評価>
粘弾性測定装置(ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン社製「AR2000ex」)を用いて、得られたシート状の成形体の100℃における粘度η*を測定した。次に、シート状の成形体を24℃で48時間放置した。放置後のシート状の成形体の100℃における粘度η*を測定した。得られた粘度η*の測定値から、保存安定性を下記の判定基準で判定した。
<Evaluation of storage stability>
Using a viscoelasticity measuring device (“AR2000ex” manufactured by TA Instruments Japan Co., Ltd.), the viscosity η * at 100 ° C. of the obtained sheet-like molded body was measured. Next, the sheet-like molded body was left at 24 ° C. for 48 hours. The viscosity η * at 100 ° C. of the sheet-like molded product after being left standing was measured. From the measured value of the obtained viscosity η *, the storage stability was determined according to the following criteria.

[保存安定性の判定基準]
○:放置前の成形体の粘度η*に対して、放置後の成形体の粘度η*の変化が10%以下
×:放置前の成形体の粘度η*に対して、放置後の成形体の粘度η*の変化が10%を超える
[Criteria for storage stability]
○: Change in viscosity η * of the molded product after standing is 10% or less with respect to the viscosity η * of the molded product before standing X: Molded product after standing with respect to the viscosity η * of the molded product before standing Change in viscosity η * of the product exceeds 10%

結果を下記の表1に示す。   The results are shown in Table 1 below.

Figure 0005351910
Figure 0005351910

1…回路基板
1a…上面
2…金属層
3…硬化物層
3A…金属層が設けられている部分に位置する硬化物層
3B…金属層が設けられていない部分に位置する硬化物層
3a…表面
11…多層基板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…硬化物層
17…金属層(配線)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Circuit board 1a ... Upper surface 2 ... Metal layer 3 ... Hardened | cured material layer 3A ... Hardened | cured material layer located in the part in which the metal layer is provided 3B ... Hardened | cured material layer 3a located in the part in which the metal layer is not provided 3a ... Surface 11 ... Multilayer substrate 12 ... Circuit board 12a ... Upper surface 13-16 ... Hardened material layer 17 ... Metal layer (wiring)

Claims (9)

金属層が上面に部分的に設けられた回路基板の表面上において、金属層がある部分と金属層が無い部分との双方に硬化物層を形成するために用いられるBステージフィルムであって、
フィルム状に成形されたBステージフィルムであり、
エポキシ樹脂と、硬化剤と、無機充填材とを含有し、
前記硬化剤が、テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと、該テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との内の少なくとも1種を含むシアネート硬化剤を含み、
Bステージフィルム中の全樹脂成分の合計100重量%中、前記シアネート硬化剤の含有量が5重量%以上、30重量%以下であり、
Bステージフィルム中の全固形分100重量%中、前記無機充填材の含有量が30重量%以上であり、
前記シアネート硬化剤全体100重量%中、前記テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートと、前記テトラメチルビスフェノールF型ジシアネートを含む重合成分の重合体との合計の含有量が1重量%以上、70重量%以下である、Bステージフィルム
A B-stage film used for forming a cured product layer on both the portion with the metal layer and the portion without the metal layer on the surface of the circuit board on which the metal layer is partially provided on the upper surface,
It is a B stage film formed into a film,
Containing an epoxy resin, a curing agent, and an inorganic filler,
The curing agent includes a cyanate curing agent including at least one of tetramethylbisphenol F type dicyanate and a polymer of a polymerization component including the tetramethylbisphenol F type dicyanate;
In a total of 100% by weight of all resin components in the B-stage film , the content of the cyanate curing agent is 5% by weight or more and 30% by weight or less,
Entire solid content 100 wt% in B stage film state, and are the content of the inorganic filler is 30 wt% or more,
The total content of the tetramethyl bisphenol F type dicyanate and the polymer of the polymerization component containing the tetramethyl bisphenol F type dicyanate is 1% by weight or more and 70% by weight or less in 100% by weight of the whole cyanate curing agent. Oh Ru, B stage film.
Bステージフィルム中の全固形分100重量%中、前記無機充填材の含有量が40重量%以上、80重量%以下である、請求項1に記載のBステージフィルムEntire solid content 100 wt% in B stage film, the content of the inorganic filler is 40 wt% or more and 80 wt% or less, B-stage film according to claim 1. 前記無機充填材がシリカである、請求項1又は2に記載のBステージフィルムThe B stage film according to claim 1 or 2 , wherein the inorganic filler is silica. 熱可塑性樹脂をさらに含有する、請求項1〜のいずれか1項に記載のBステージフィルムThe B stage film according to any one of claims 1 to 3 , further comprising a thermoplastic resin. Bステージフィルム中の全樹脂成分の合計100重量%中、前記熱可塑性樹脂の含有量が1重量%以上、30重量%以下である、請求項に記載のBステージフィルム The B stage film according to claim 4 , wherein the content of the thermoplastic resin is 1% by weight or more and 30% by weight or less in a total of 100% by weight of all resin components in the B stage film . 前記熱可塑性樹脂がフェノキシ樹脂である、請求項又はに記載のBステージフィルムThe B-stage film according to claim 4 or 5 , wherein the thermoplastic resin is a phenoxy resin. 硬化促進剤を含有しないか又は含有し、
硬化促進剤が含有される場合には、Bステージフィルム中の全樹脂成分の合計100重量%中、前記硬化促進剤の含有量が1重量%以下である、請求項1〜のいずれか1項に記載のBステージフィルム
Contains or does not contain a curing accelerator,
When a hardening accelerator is contained, content of the said hardening accelerator is 1 weight% or less in the total of 100 weight% of all the resin components in a B stage film , Any one of Claims 1-6 B stage film as described in the item.
粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられるBステージフィルムである、請求項1〜のいずれか1項に記載のBステージフィルムA B-stage film to be used for obtaining a roughening treatment or desmearing cured product is, B-stage film according to any one of claims 1-7. 金属層が上面に部分的に設けられた回路基板と、
前記回路基板の表面上において、金属層がある部分と金属層が無い部分との双方に配置された硬化物層とを備え、
前記硬化物層が、請求項1〜のいずれか1項に記載のBステージフィルムを硬化させることにより形成されている、多層基板。
A circuit board with a metal layer partially provided on the upper surface ;
Oite on the surface of the circuit board, and a cured layer disposed on both the part and the metal layer is not part there is a metal layer,
The multilayer substrate in which the said hardened | cured material layer is formed by hardening the B stage film of any one of Claims 1-8 .
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JPH06256625A (en) * 1993-03-04 1994-09-13 Sumitomo Bakelite Co Ltd Resin composition for sealing
JP3317745B2 (en) * 1993-06-15 2002-08-26 住友ベークライト株式会社 Resin composition for sealing
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